ES2418146T3 - Revestimiento duro multicapas para herramientas - Google Patents

Revestimiento duro multicapas para herramientas Download PDF

Info

Publication number
ES2418146T3
ES2418146T3 ES06705417T ES06705417T ES2418146T3 ES 2418146 T3 ES2418146 T3 ES 2418146T3 ES 06705417 T ES06705417 T ES 06705417T ES 06705417 T ES06705417 T ES 06705417T ES 2418146 T3 ES2418146 T3 ES 2418146T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
layer
hard material
alycr1
layers
material layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
ES06705417T
Other languages
English (en)
Inventor
Volker Derflinger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oerlikon Surface Solutions AG Pfaeffikon
Original Assignee
Oerlikon Trading AG Truebbach
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Trading AG Truebbach filed Critical Oerlikon Trading AG Truebbach
Application granted granted Critical
Publication of ES2418146T3 publication Critical patent/ES2418146T3/es
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders
    • C23C14/505Substrate holders for rotation of the substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/048Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with layers graded in composition or physical properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12576Boride, carbide or nitride component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975No layer or component greater than 5 mils thick
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264Up to 3 mils
    • Y10T428/2651 mil or less
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678Of metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

Capa de material duro con estructura multicapas para el mejoramiento de la resistencia al desgaste de piezas de trabajo, comprendiendo: - al menos una capa (AlyCr1-y) X donde 0.2 <= y <= 0.7 y X es uno de los elementos siguientes N, C, B, CN, BN, CBN, NO, CO, BO, CNO, BNO, CBNO, pero preferentemente N o CN, y/o una capa de (TizSi1-z) X donde 0.99 >= z > 0.7, caracterizada porque la capa de material duro comprende adicionalmente - al menos un paquete de capas con la estructura siguiente: una capa de mezcla de (AlCrTiSi) X seguida de otra capa de (TizSi1-z) X seguida de otra capa de mezcla de (AlCrTiSi) X seguida de otra capa de (AlyCr1-y) X.

Description

Revestimiento duro multicapas para herramientas.
Campo técnico
La presente invención se refiere a un revestimiento duro multicapas para herramientas (metal duro y acero rápido) para aplicaciones con desprendimiento de virutas, en particular aplicaciones de taladrado.
1 a) herramientas con revestimiento duro con una sucesión de múltiples capas diferentes de nitruro o carbonitruro de aluminio-cromo y nitruro o carbonitruro de titanio-silicio.
1 b) herramientas, en particular herramientas de corte y de conformación (brocas, fresas, roscadoras, machos roscadores, fresas roscadoras, fresas helicoidales, punzones, matrices, machos de embutir, etc.) con una secuencia de múltiples diferentes capas de nitruro o carbonitruro de aluminio-cromo y nitruro o carbonitruro de titanio-silicio.
1 c) un procedimiento para la fabricación de una secuencia de múltiples diferentes capas de nitruro o carbonitruro de aluminio-cromo y nitruro o carbonitruro de titanio-silicio con estructura de capas definida.
Estado actual de la técnica
El documento EP 1174528 A2 describe un revestimiento sobre herramientas que se compone de una secuencia de múltiples capas individuales, estando compuesta una primera capa de un nitruro, carburo, carbonitruro, boruro, óxido, etc. de los elementos Ti, Al y/o Cr, y una segunda capa de un nitruro, carburo, carbonitruro, boruro, óxido, etc. de Si y al menos un elemento de los grupos 4a, 5a y 6a de la TPE. La ventaja de este revestimiento consiste en que mediante el Si en la capa superior se mejora sensiblemente la resistencia al desgaste y la resistencia a la oxidación. Ante todo, las capas de cubierta sobre la base de Cr-Si muestran mejoramientos del avance durante la vida útil de la herramienta. Como capa inferior se han elegido capas de TiAlN, CrAlN y TiN.
En el documento EP 1422311 A2 se describen capas de material duro sobre la base de Al-Cr-(Si)-O que pueden estar conformadas como nitruros, carburos, óxidos, boruros, etc. Es válido para todas las capas que en las capas esté contenida un pequeña fracción de oxígeno (1-25 %at). Adicionalmente, se menciona que puede estar aplicada otra capa de material duro sobre el revestimiento mencionado en la invención. Como ejemplos se indican aquí, entre otros, Ti-Si-N, Ti-B-N, BN, Cr-Si-N, etc. Como ventaja de esta invención se indican aquí, ante todo, la inclusión de pequeñas cantidades de oxígeno o silicio y oxígeno, porque esto proporciona una mayor dureza así como a una mayor resistencia al desgaste y a la oxidación por alta temperatura.
En el documento EP 1219723 A2 se presenta un revestimiento sobre la base de Ti-Al-Cr-X-N, pudiendo la X ser Si, B y/o C. La ventaja de este revestimiento se indica como mejoramiento de la resistencia al desgaste respecto de revestimientos convencionales. Además, en la invención se describe un target que al menos debe estar compuesto de Ti, Al y Cr.
Desventajas del actual estado de la técnica
Las herramientas con capas de material duro de acuerdo con el estado actual de la técnica (revestimientos basados en Ti-Al-N) presentan menor avance durante la vida útil que los nuevos optimizados revestimiento duros de (Al1xCrxX)-(Ti1-ySiy) X donde X = N o CN.
Las desventajas del estado actual de la técnica muestran, además, que en revestimiento de Al-Cr-N a elevadas temperaturas bajo atmósfera inerte (por ejemplo, atmósfera de argón) ya a alrededor de 900° C comienza una descomposición del revestimiento. Si se realiza este tratamiento térmico bajo atmósfera de oxígeno, este proceso de disgregación se desplaza a un intervalo de temperatura mayor. Si ahora en el desprendimiento de viruta se observa un corte continuo, en la superficie de contacto entre la superficie de herramienta y la pieza de trabajo se produce,n localmente, temperaturas muy elevadas (en parte encima de 1000° C). Ahora, si dicha superficie de contacto es suficientemente grande para que poco/ningún oxígeno pueda actuar de manera estabilizante en la superficie del revestimiento, el CrN cúbico se descompone en Cr2N hexagonal y como resultado de una temperatura aún mayor, en Cr metálico. En el uso, este proceso de descomposición del revestimiento conduce a un desgaste prematuro del revestimiento que se configura, particularmente, como desgaste por erosión.
Planteamiento del problema en la presente invención
La presente invención pretende eliminar las desventajas del estado actual de la técnica y sirve, en particular, para un mejoramiento del avance durante la vida útil de piezas revestidas, por ejemplo herramientas para arranque de viruta, útiles de corte y moldeo o componentes para la construcción de máquinas y moldes. Además, el objetivo de la presente invención es poner a disposición un procedimiento para la deposición de estas capas, en particular para la deposición de tales capas sobre las piezas indicadas.
Indicación de la solución o del camino a la solución
Según la invención, el objetivo se consigue mediante un revestimiento duro según la reivindicación 1 o bien una herramienta con un revestimiento de este tipo según la reivindicación 12. Otras conformaciones según la invención se describen en las reivindicaciones secundarias.
La invención describe una estructura de multicapas especial de un revestimiento que pretende prevenir una disgregación (desgaste) prematura del revestimiento durante el uso. Mediante la estructura multicapas se previenen
o al menos se retrasan la disgregación y la posterior difusión del componente CrN dentro del revestimiento de AlCrN.
Para la deposición de las capas duras de Al-Cr-(X)-N/Ti-Si-N se ha usado una instalación industrial de revestimientos del modelo RCS de la firma Balzers, como también está descrito en el documento EP 1186681 en las figuras 3 a 6, descripción columna 7, línea 18 hasta columna 9, línea 25. Para ello, las piezas limpias se han fijado según el diámetro sobre dos soportes de sustrato dobles rotativos o bien, en el caso de diámetros menores a 50 mm, sobre tres soportes de sustrato rotativos y se instalan dos targets Ti-Si fabricados por pirometalurgia y cuatro targets de aleaciones de Al-Cr-(X) fabricados por pulvimetalurgia en seis fuentes de arco catódico situadas en las paredes de la instalación de revestimientos. En este caso, la geometría de la disposición de targets está determinada, esencialmente, por el plano octogonal de la instalación RCS en la que dos elementos calefactores opuestos separan dos grupos de tres segmentos consecutivos equipados, cada uno, de un cátodo de arco. Para los presentes ensayos se instaló, en cada caso, un target de SiTi en el elemento central opuesto de cada grupo de tres. Sin embargo, para fabricar tales capas también son posibles otras disposiciones de targets. En principio, tales capas pueden ser depuestas en toda instalación que presente al menos dos cátodos de arco en posición geométrica equivalente, por ejemplo sobre la misma altura de revestimiento de un portasustrato de rotación simple o múltiple. El entendido en la materia sabe, según el tipo de instalación, cómo puede continuar influyendo en el espesor de capa de las diferentes capas o laminados mediante la disposición de los targets o el ajuste del respectivo movimiento o giro del sustrato o de la velocidad angular en una rotación de pieza de trabajo.
A continuación, en primer lugar, se han llevado las piezas de trabajo a una temperatura de aproximadamente 500° C mediante calefactores radiantes también montadas en la instalación y, a continuación, la superficie es sometida a una limpieza caustica mediante iones de Ar aplicando un voltaje de polarización de -100 a -200 V en una atmósfera de Ar a una presión de 0,2 Pa.
A continuación, una capa adhesiva de Al-Cr-N de aproximadamente 0,2 µm de espesor es depositada mediante la operación de cuatro fuentes de Al-Cr con una capacidad de 3 kW y la aplicación de una polarización de sustrato de 50 V durante un periodo de 5 minutos. A continuación se ha creado selectivamente un revestimiento multicapas en el que primero 2 fuentes de Ti-Si con, en cada caso, también 3 kW adicionales son conectadas a las 4 fuentes de Al-Cr y operados juntos por un periodo de aproximadamente 1 minuto. A continuación se desconectan las 4 fuentes de Al-Cr y una capa pura de Ti-Si-N es depuesta por aproximadamente 3 minutos. Después se conectan nuevamente las 4 fuentes de Al-Cr durante aproximadamente 1 Minuto.
Continuando, las fuentes de Ti-Si se desconectan nuevamente y se depone un nuevo revestimiento puro de Al-Cr-N durante otros 5 minutos. En el margen de la invención, dicha secuencia para el paquete de capas se producirá varias veces durante la deposición. Finalmente es aplicada otra capa de cubierta de un espesor aproximado de 0,5 µm, producida exclusivamente con las fuentes de Ti-Si. En este caso, aquí también es posible aplicar una capa de cubierta de AlCrN más gruesa. Todas las capas fueron depuestas en una atmósfera de nitrógeno puro a una presión de más o menos 3 Pa y un voltaje preliminar negativo de sustrato de aproximadamente 50 voltios. Básicamente, la presión de proceso puede ser ajustada en cada uno de estos pasos en un intervalo de 0,5 hasta más o menos 8 Pa, preferentemente, sin embargo, entre 0,8 Pa y 5 Pa, empleando para capas carbonitrídicas una atmósfera de nitrógeno puro o bien una mezcla de nitrógeno y un gas noble, por ejemplo argón, para capas nitrídicas o una mezcla de nitrógeno y un gas con contenido de carbono a la que, en caso de necesidad, puede adicionarse un gas noble. Correspondientemente, para la deposición de capas con contenido de oxígeno o boro puede agregarse, como es conocido, oxígeno o un gas con contenido de boro.
La composición del target, la estructura cristalina de la capa y adherencia se muestran en la tabla 1. La tabla 2 resume los parámetros de proceso como la capacidad de target, el voltaje negativo preliminar de sustrato, presión de proceso y temperatura.
La piezas de trabajo según la invención se destacan porque es depuesto un revestimiento cúbico (AlyCr1-y) X donde
X = N o CN, pero preferentemente N, y 0,2 ≤ y < 0,7, preferentemente 0,3 ≤ y ≤ 0,5, alternando con un revestimiento cúbico (TizSi1-z) X donde X = N o CN, pero preferentemente N, y 0,99 ≥ z > 0,7, preferentemente 0,97 ≥ z ≥ 0,85 (véase la figura 1a), siendo aplicado al menos un paquete de capas y al menos una capa (AlyCr1-y) X o (TizSi1-z) X adicional. En este caso, la estructura de capas es microcristalina en ambas capas con un grano promedio de aproximadamente 5 – 150 nm, pero preferentemente aproximadamente 10 – 120 nm. Para el revestimiento son convenientes capas intermedias adicionales entre las capas puras (A-lyCr1-y) X y (TizSi1-z) X, en las que corren todas las fuentes de revestimientos y, por lo tanto, se depone una capa (AlyCr1-yTizSi1-z) X (véase la figura 1b). En caso necesario, estas capas intermedias, dependiendo de la secuencia o composición y propiedades de los diferentes sistemas de capas, pueden producir una adhesión mejorada entre las diferentes capas. Gracias a la disposición geométrica de targets dentro de la instalación de revestimiento, debido a la rotación de la pieza de trabajo durante la deposición de dicha capa intermedia es depuesta, adicionalmente, una estructura multicapas con capas muy delgadas, ya que, como antes, para el revestimiento se recurre a targets individuales sobre la base de Al-Cr y de Ti-Si. La anchura de las diferentes capas dentro de esta capa intermedia se encuentra en el intervalo de pocos nanómetros.
Otra posibilidad de construir el sistema multicapas deseado puede ser realizado mediante la conexión y desconexión periódica de las fuentes de revestimientos, análogamente a la figura 1c. Aquí, las fuentes de revestimientos corren para un material de revestimiento durante todo el proceso de deposición, mientras que las fuentes de revestimientos con el segundo material de revestimiento son conectadas periódicamente. En este caso, una estructura multicapas como mencionada anteriormente puede ser producida durante la operación conjunta de las fuentes de arco.
Los procedimientos según la invención se destacan porque se selecciona una conducción del procedimiento para deponer el paquete de capas descrito anteriormente. La estructura multicapas se consigue mediante la conexión y desconexión selectiva de las fuentes de revestimientos. La subestructura multicapas se consigue, adicionalmente, mediante la rotación o movimiento de las piezas de trabajo a revestir dentro de la instalación de revestimientos.
En el ejemplo 1 se comparan revestimientos con un número definido de capas o paquetes de capas, estando cada paquete de capas compuesto de una secuencia de capas de una capa de AICrTiSiN seguida de una capa de TiSiN, una capa de AICrTiSiN así como de una capa de AlCrN. Se puede observar claramente que respecto de la capa testeada en el experimento 1, depuesta según el estado actual de la técnica es posible conseguir con el revestimiento según la invención un mejoramiento del avance durante la vida útil. También se puede ver que un espesor de capa óptimo de las capas individuales de AlyCr1-yN und TizSi1-zN es importante para un aumento del avance durante la vida útil. Dicho espesor de capa está en AlyCr1-yN entre 75 nm y 200 nm, preferentemente entre 120 nm a 170 nm, y en TizSi1-zN entre 50 y 150 nm, preferentemente entre 70 a 120 nm. En el margen de este ejemplo, estos espesores de capa fueron variados por medio del tiempo de deposición que, para todos los experimentos se pudieron conseguir espesores totales comparables de aproximadamente 4 µm. Para estos experimentos se eligió una estructura de capas como se ha descrito en la figura 1b. Las capas en las que estuvieron aplicadas todas las fuentes de revestimientos no se modificaron para los experimentos respectivos y tuvieron, en cada caso, como resultado un espesor de capa individual de más o menos 20 ± 10 nm.
Básicamente, con multicapas de AlyCr1-yN/TizSi1-zN se pueden revestir ventajosamente herramientas completamente diferentes. Ejemplo de ello son herramientas de corte como fresas, fresas helicoidales, fresas de punta esférica, fresas planares y perfiladas, así como brocas o machos roscadores, herramientas de brochar, escariadores y plaquitas reversibles para mecanizados torneados y fresados o herramientas de conformación como, por ejemplo, punzones, matrices, anillos de embutir, núcleos eyectores o formadores de roscas. También los moldes de inyección, por ejemplo para aleaciones metálicas para moldeo por inyección, resinas sintéticas o termoplásticos, en particular moldes de inyección como se usan para la fabricación de piezas moldeadas de plástico o soportes de datos como CD, DVD y similares, pueden ser protegidos ventajosamente con capas de este tipo. Si bien no siempre se consiguen mejores resultados mediante los revestimientos según la invención para todas las aplicaciones sobre diferentes útiles, al menos en determinadas aplicaciones, como también se indica en los ejemplos, se consigue una considerablemente mayor resistencia al desgaste que con las capas conocidas hasta ahora.
Además, debido al comportamiento en principio similar de capas multicapas de AlyCr1-yX/TizSi1-zX también cabe esperar un mejoramiento del comportamiento de desgaste cuando en los siguientes sistemas de capas se eligen composiciones de target y parámetros de revestimiento de manera que X = N, C, B, CN, BN, CBN, NO, CO, BO,
CNO, BNO, CBNO, pero preferentemente N o CN y 0,2 ≤ y ≤ 0,7, preferentemente 0,40 ≤ y ≤ 0,68, y 0,99 ≥ z > 0,7, preferentemente 0,95 ≥ z ≥ 0,85.
Una posibilidad de mejorar las propiedades de la deposición de las multicapas AlyCr1-yNlTizSi1-zN consiste en la adición por aleación de otros elementos químicos de uno o varios grupos de los grupos IVb, Vb y/o Vib de la TPE o de silicio. Particularmente preferente puede ser la adición por aleación dentro del paquete de capas de la capa de AlyCr1-y-mMmN con 0 ≤ m ≤ 0.25, preferentemente 0 ≤ m ≤ 0.15. Han demostrado ser ventajosos, ante nada, los elementos para M = W, V, Mo, Nb y Si (para ello, véase el ejemplo 5).
Otra posibilidad de mejorar las propiedades de capas del sistema de capas consiste en la aplicación adicional de una capa antifricción sobre el paquete de capas o sobre la capa de cubierta que cierra hacia fuera la capa de material duro. En este caso, el sistema de capa antifricción puede estar estructurado de al menos un metal o un carburo de al menos un metal y carbono disperso, MeC/C, siendo el metal un metal de los grupos IVb, VB y/o VIB y/o silicio. Por ejemplo, para ello es particularmente apta una capa de cubierta de WC/C con una dureza ajustable entre 1000 y 1500 HV, que tiene excelentes propiedades de rodaje. También las capas de CrC/C muestran un comportamiento similar, si bien con un coeficiente de fricción algo más elevado.
En brocas para agujeros profundos se pudo determinar, ya después de la producción de un taladro, un alisado adicional de las superficies de desprendimiento de virutas que, hasta ahora, sólo es conseguida mediante un tratamiento mecánico costoso. La misma conduce a un mejoramiento de la evacuación de virutas a lo largo de la ranura de virutas y a una minimización del momento de fricción durante el proceso de taladrado. Tales propiedades
5 son particularmente importantes también para aplicación en componentes con solicitaciones al deslizamiento, a la fricción y rodadura, en particular ante falta de lubricación o marcha en seco o cuando, simultáneamente, deba ser protegida una contraparte sin revestir.
Otras posibilidades para la formación de una capa antifricción de terminación son capas de carbono similares al diamante libres de metales o bien capas de MoSx, WSx o capas de MoSx o bien WSx con contenido de titanio.
10 En este caso, como se ha mencionado, la capa antifricción puede ser aplicada directamente sobre el sistema de multicapas o después de aplicar otra capa adhesiva, para conseguir una adherencia a ser posible buena del compuesto de capas. En este caso, la capa adhesiva puede estar realizada metálica, nitrídica, carbídica, carbonitrídica o también como capa de gradientes.
Por ejemplo, las capas de WC/C o bien CrC/C, después de una aplicación por pulverización catódica o por arco de
15 una capa adhesiva de Cr o bien Ti, pueden ser fabricadas mediante pulverización catódica de targets de WC mediante la adición de un gas con contenido de carbono. En este caso se aumenta con el tiempo la parte de gas con contenido de carbono, para conseguir en la capa una mayor participación de carbono libre. Otros efectos ventajosos de la invención A continuación se representan, a modo de ejemplos, aplicaciones ventajosas de la invención en el uso en diferentes
20 operaciones de corte. Ejemplo 1: Taladrado con brocas de metal duro, enfriadas interiormente, en acero de construcción Herramienta: broca de metal duro de un diámetro D = 6,8 mm con canales de enfriamiento Pieza de trabajo: acero estructural DIN 1.1191 (Ck45)
25 Parámetros de taladrado: velocidad de corte Vc = 120 m/min avance por diente fz = 0,2 mm/revolución profundidad de taladro z = 34 mm (5 x D) Enfriamiento: emulsión al 5% Proceso: agujero ciego
30 Criterio de desgaste: desgaste angular VB = 0,2 mm El ejemplo 1 muestra una comparación de los avances durante la vida útil de brocas de metal duro revestidas sobre las cuales se han aplicado diferente cantidad de paquetes de capas con, en cada caso, igual capa adhesiva, concretamente AlCrN, y capa de cubierta, concretamente TiSiN. El tiempo de deposición de las capas de TiSiN y de AlCrN se ha adaptado, en cada caso, de manera que, finalmente, se ha conseguido un espesor total comparable. Un
Experimento Nro.
Espesor de capa [µm] Avance durante vida útil ** [m]
1 AlCrN + TiSiN
3.9 54.3
2 AlCrN + 2 x paquete de capas 1* + TiSiN
4.2 43.9
3 AlCrN + 4 x paquete de capas 1* + TiSiN
3.9 65.2
4 AlCrN + 8 x paquete de capas 1* + TiSiN
4.0 76.2
5 AlCrN + 12 x paquete de capas 1* + TiSiN
4.0 54.3
6 AlCrN + 15 x paquete de capas 1* + TiSiN
3.9 43.9
* En este caso, un (1x) paquete corresponde a una sucesión única de "AlCrTi-SiN+TiSiN+AlCrTiSiN+AlCrN". ** en la que se alcanzó una anchura de marcas de desgaste VB = 0,2 mm.
5 óptimo en el avance total durante la vida útil se ha encontrado en el experimento nro. 4 con el número total de 37 capas, que muestra un claro perfeccionamiento respecto del estado actual de la técnica del experimento nro. 1. Ejemplo 2: Taladrado en acero de construcción con brocas de metal duro enfriadas interiormente Herramienta: broca metal duro con canales de enfriamiento10 diámetro D = 6,8 mm Pieza de trabajo: acero de construcción DIN 1.1191 (Ck45) Parámetros de taladrado: velocidad de corte vc = 120 m/min avance por diente fz = 0,2 mm/revolución profundidad de taladro z = 34 mm (5xD) 15 Enfriamiento: emulsión al 5% Proceso: agujero ciego Criterio de desgaste: desgaste angular VP = 0,2 mm
Experimento
avance durante vida útil VB = 0,2 mm en metros
6 (capa múltiple de TiAlN/TiN)
32.3
8 (capa simple de TiAlN)
32.3
9 (capa simple de AlCrN)
65.9
10 AlCrN + 8 x paquete de capas 1* + TiSiN
76.2
El ejemplo 2 muestra una comparación de los avances durante la vida útil de brocas de metal duro revestidas. Aquí
20 también, mediante la multicapa de AlCrN/TiSiN se pudo conseguir una mejora del avance durante la vida útil de la herramienta respecto de capas de material duro de uso industrial de multicapas de TiAlN/TiN y revestimientos multicapas de TiAIN.
Ejemplo 3: Taladrado en acero de construcción con brocas de metal duro con enfriamiento exterior
25 Herramienta: broca de metal duro con canales de enfriamiento Diámetro D = 6,8 mm Pieza de trabajo: acero de construcción DIN 1.1191 (Ck45) Parámetros de taladrado: velocidad de corte vc = 120 m/min
avance por diente fz = 0,2 mm/revolución profundidad de taladro z = 23.8 mm (3,5xD)
30 Enfriamiento: emulsión al 5% Proceso: agujero ciego Criterio de desgaste: desgaste angular VB = 0,15 mm
Experimento nro.
Avance durante vida útil VB – 0,15 mm en metros
11 (multicapas de TiAlN/TiN)
46.1
12 (monocapa simple de TiAlN)
42.3
13 (AlCrN)
22.6
14 AlCrN + 8 x paquete de capas 1* + TiSiN
61.5
El ejemplo 3 muestra una comparación de los avances en vida útil de brocas revestidas de metal duro. Aquí la multicapas de AlCrN/TiSiN pudo conseguir un mejoramiento del avance durante la vida útil respecto de capas de material duro usadas industrialmente sobre base de Ti-Al-N.
5 Ejemplo 4: Taladrado hierro fundido (GGG-50) con brocas de metal duro con enfriamiento interior Herramienta: broca de metal duro con canales de enfriamiento
diámetro D = 6,8 mm Pieza de trabajo: hierro fundido con grafito esferoidal GGG-50
10 Parámetros de taladrado: velocidad de corte vc = 200 m/min avance por diente fz = 0,3 mm/revolución profundidad de taladro z = 34 mm (3,5xD)
Enfriamiento: emulsión al 5% Proceso: agujero ciego 15 Criterio de desgaste: desgaste angular VB = 0,1 mm
Experimento nro.
avance durante vida útil VB – 0,1 mm en metros
15 (multicapas TiAlN/TiN)
57.1
16 (monocapa TiAlN)
142.8
17 (AlCrN)
185.6
18 AlCrN + 8 x paquete de capas 1* + TiSiN
199.9
El ejemplo 4 muestra una comparación de los avances durante la vida útil de brocas revestidas de metal duro. Aquí también, mediante el revestimiento multicapas de AlCrN/TiSiN se pudo conseguir una mejora del avance durante la vida útil de la herramienta respecto de capas de material duro de uso industrial de revestimientos multicapas de
20 TiAlN/TiN y revestimientos monocapa de TiAIN. Ejemplo 5: Taladrado en acero de construcción con brocas HM enfriadas interiormente, Herramienta: broca de metal duro con canales de enfriamiento
diámetro D = 6,8 mm
Pieza de trabajo:
acero de construcción DIN 1.1191 (Ck45)
Parámetros de taladrado:
velocidad de corte vc = 120 m/min
avance por diente fz = 0,2 mm/revolución
profundidad de taladro z = 34 mm (5xD)
5
Enfriamiento: emulsión al 5%
Proceso:
agujero ciego
Criterio de desgaste:
desgaste angular VP = 0,2 mm
Experimento nro.
Al %at Cr %at M %at Espesor de capa [µm] avance durante vida útil VB = 0,2 mm en metros
19 AlCrWN + 8 x paquete de capas 2* + TiSiN
70 28 2 3.8 65.8
20 AlCrWN + 8 x paquete de capas 2* + TiSiN
70 25 5 3.4 59.3
21 AlCrNbN + 8 x paquete de capas 2* + TiSiN
70 25 5 3.8 57.8
22 AlCrMoN + 8 x paquete de capas 2* + TiSiN
70 25 5 4.8 61.2
23 AlCrVN + 8 x paquete de capas 2* + TiSiN
70 25 5 4.2 68.0
24 AlCrSiN + 8 x paquete de capas 2* + TiSiN
70 25 5 4.0 54.4
* Un (1x) paquete de capas 2* corresponde a una secuencia única de "AlCrMTi-SiN+TiSiN+AlCrMTiSiN+AlCrMN“, siendo M en cada caso uno de los elemento W, nb, Mo, V o Si.
El ejemplo 5 muestra una comparación de los avances durante la vida útil de brocas revestidas de metal duro según
10 la invención sobre las que se han depuesto sistemas multicapas con diferente composición química pero igual capa de cubierta (TiSiN). Como composición química se ha variado la composición de target, manteniendo constante el Al, y el Cr ha sido reemplazado, en parte, por un tercer elemento. Los parámetros de proceso en la deposición de capas se mantuvieron iguales, análogamente a los demás experimentos.
Otra posibilidad de fabricar un paquete de capas correspondiente resulta cuando, de manera análoga a la figura 1c,
15 las fuentes de AlCr o AlCrM o bien la fuente o las fuentes de TiSi es/son operada/s continuamente y la/s respectiva/s otra/s fuente o fuentes es/son, de ser necesario, conectada/s también. En particular, en operación continua de las 4 fuentes de AlCr o AlCrM mencionadas anteriormente se puede aumentar con esto la tasa de deposición y, por ejemplo, deponer el sistema de capas siguiente:
• una capa de mezcla de (AlCrTiSi) X
20 • seguida de otra capa (AlyCr1-y) X
seguida de otra capa de mezcla de (AlCrTiSi) X
seguida de otra capa (AlyCr1-y) X.
Descripción de las figuras
La figura 1 muestra diferentes variantes de capas. En las figuras 1a-c se discuten tres variantes de cómo puede ser estructurado un revestimiento multicapas.
En la figura 1a se representa una secuencia de capas con transiciones afiladas. Un sistema de capas (2) es
5 depuesto directamente sobre un segundo sistema de capas (1). Este proceso es repetido las veces necesarias hasta alcanzar el espesor de capas deseado. Como última capa puede deponerse una capa de cubierta (3) con espesor de capa mayor.
En la figura 1b se deponen entre las capas individuales otras capas de mezcla (4) en las cuales se aplican ambos sistemas de capas simultáneamente. También en este caso pueden aplicarse, adicionalmente, una capa de cubierta 10 como última capa individual. La capa de mezcla puede ser realizada delgada como capa de transición deslizante o bien más gruesa con un sector de composición de capa constante. Una capa de este tipo puede presentar, por ejemplo, la composición siguiente: Al = 40,7 %at, Cr = 21,2 %at, Ti = 32,8 %at y Si = 5,3 %at. Esta composición resulta cuando se operan, simultáneamente, targets de AlCr con una composición de Al=70 %at y Cr=30 %at y targets de TiSi con una composición de Ti=85 %at y Si= 15 %at. En este caso, en general se ajusta,
15 ventajosamente, la composición de una capa de mezcla con composición constante dentro del intervalo siguiente:
(Al1-a-b-cCraTibSic) X donde 0,18 ≤ a ≤ 0,48; 0.28 ≤ b ≤ 0,4; 0,004 ≤ c ≤ 0,12. En este caso, el contenido de Al es mantenido, ventajosamente, encima de 10 %at. Si se adicionan además, como descrito anteriormente, otros elementos para conseguir un efecto correspondiente, se deberían adicionar, según el elemento, una concentración mínima de 0,5 a 1 %at y una concentración máxima de 15 a 20 %at.
20 En la figura 1c se depone un revestimiento multicapas de tal manera que un sistema de capas (5) es aplicado durante todo el tiempo de deposición y el segundo sistema de capas es adicionado, periódicamente, mediante la conexión de la fuente de revestimiento correspondiente.
La figura 2 muestra en representación modificada la estructura de los paquetes de capas de la figura 1.
Tabla 1
Ensayo
Estructura cristalina Composición de target Espesor de capa [µm] Adherencia
COMENTARIO 1:
Target 2
Al %at
Cr %at M %at Ti %at Si %at
A
B1 70 30 - 85 15 4.0 HF1
B
B1 70 28 W=2 85 15 3.8 HF1
C
B1 70 25 W=5 85 15 3.4 HF1
D
B1 70 25 Nb=5 85 15 3.8 HF1
E
B1 70 25 V=5 85 15 4.8 HF1
F
B1 70 25 Mo=5 85 15 4.2 HF1
G
B1 70 25 Si=5 85 15 4.0 HF1
Tabla 2
Ensayo
PTarget Al-Cr-M [kW] PTarget Ti-Si [kW] Usubstrat [V] PN2 [Pa] Temp. [°C]
A
3 3 -50 3 500
B
3 3 -50 3 500
C
3 3 -50 3 500
D
3 3 -50 3 500
E
3 3 -50 3 500
F
3 3 -50 3 500
G
3 3 -50 3 500

Claims (13)

  1. REIVINDICACIONES
    1. Capa de material duro con estructura multicapas para el mejoramiento de la resistencia al desgaste de piezas de trabajo, comprendiendo:
    -
    al menos una capa (AlyCr1-y) X donde 0.2 ≤ y ≤ 0.7 y X es uno de los elementos siguientes N, C, B, CN, BN, CBN, NO, CO, BO, CNO, BNO, CBNO, pero preferentemente N o CN, y/o una capa de (TizSi1-z) X donde 0.99 ≥ z > 0.7, caracterizada porque la capa de material duro comprende adicionalmente
    -
    al menos un paquete de capas con la estructura siguiente: una capa de mezcla de (AlCrTiSi) X seguida de otra capa de (TizSi1-z) X seguida de otra capa de mezcla de (AlCrTiSi) X seguida de otra capa de (AlyCr1-y) X.
  2. 2.
    Capa de material duro según la reivindicación 1, caracterizada porque la al menos una capa de (AlyCr1-y) X, la otra capa (AlyCr1-y) X así como las capas de mezcla (AlCrTiSi) X contienen al menos otro elemento del grupo IVb, Vb y/o Vib de la tabla periódica de elementos, o silicio.
  3. 3.
    Capa de material duro según las reivindicaciones 1 y/o 2, caracterizada porque la al menos una capa (AlyCr1-y) X así como la otra capa (AlyCr1-y) X contienen 0,5 a 25 %at del otro elemento o silicio, estando determinada la concentración de los elementos y del silicio en las demás capas de mezcla (AlCrTiSi) X.
  4. 4.
    Capa de material duro según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada porque las capas del paquete de capas presentan los espesores de capa siguientes:
    -
    AlyCr1-yN entre 75 nm y 200 nm
    -
    TizSi1-zN entre 50 y 150 nm
    -
    capas de mezcla (AlCrTiSi) X 20 ± 10 nm.
  5. 5.
    Capa de material duro según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada porque la capa comprende múltiples paquetes de capas sucesivos.
  6. 6.
    Capa de material duro según la reivindicación 5, caracterizada porque el paquete de capas comprende 4, 8 o 12, pero preferentemente 8 paquetes de capas.
  7. 7.
    Capa de material duro según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada porque al menos una capa de (AlyCr1-y) X está depuesta directamente sobre la pieza de trabajo o sobre una capa adhesiva.
  8. 8.
    Capa de material duro según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada porque una capa de cubierta (AlyCr1-y) X o una capa de cubierta de (TizSi1-z) X cierran la capa de material duro.
  9. 9.
    Capa de material duro según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada porque sobre la capa de material duro está depuesta una capa antifricción.
  10. 10.
    Capa de material duro según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada porque el al menos un paquete de capas comprende la estructura siguiente:
    -
    una capa de mezcla de (AlCrTiSi) X
    -
    seguida de otra capa de (AlyCr1-y) X
    -
    seguida de otra capa de mezcla de (AlCrTiSi) X
    -
    seguida de otra capa de (AlyCr1-y) X.
  11. 11.
    Capa de material duro según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizada porque las capas de mezcla comprenden una estructura multicapas.
  12. 12.
    Pieza de trabajo, caracterizada porque la herramienta comprende un revestimiento según una de las reivindicaciones precedentes.
  13. 13.
    Pieza de trabajo según la reivindicación 12, caracterizada porque la pieza de trabajo es un componente para la construcción de máquinas y moldes, una herramienta, una herramienta para el arranque de virutas, una herramienta de corte o de conformación, pero preferentemente una broca.
ES06705417T 2005-04-01 2006-03-28 Revestimiento duro multicapas para herramientas Active ES2418146T3 (es)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH598052005 2005-04-01
CH5982005 2005-04-01
PCT/CH2006/000177 WO2006102780A1 (de) 2005-04-01 2006-03-28 Mehrlagige hartstoffbeschichtung für werkzeuge

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2418146T3 true ES2418146T3 (es) 2013-08-12

Family

ID=36471744

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES06705417T Active ES2418146T3 (es) 2005-04-01 2006-03-28 Revestimiento duro multicapas para herramientas

Country Status (11)

Country Link
US (4) US7348074B2 (es)
EP (1) EP1863946B1 (es)
JP (2) JP5289042B2 (es)
KR (1) KR101227337B1 (es)
CN (1) CN101151397B (es)
BR (1) BRPI0609661B1 (es)
ES (1) ES2418146T3 (es)
MX (1) MX2007012099A (es)
PL (1) PL1863946T3 (es)
PT (1) PT1863946E (es)
WO (1) WO2006102780A1 (es)

Families Citing this family (90)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120222315A1 (en) * 2001-11-13 2012-09-06 Larry Buchtmann Cutting Instrument and Coating
US7348074B2 (en) * 2005-04-01 2008-03-25 Oc Oerlikon Balzers Ag Multilayer hard coating for tools
US7537822B2 (en) * 2005-05-26 2009-05-26 Hitachi Tool Engineering, Ltd. Hard-coated member
EP2256229A1 (de) * 2005-11-04 2010-12-01 Sulzer Metaplas GmbH Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, Beschichtungsverfahren und Substrat mit einem Schichtsystem
US20070228664A1 (en) * 2006-03-31 2007-10-04 Krishnamurthy Anand Mechanical seals and methods of making
CN101426947A (zh) * 2006-04-21 2009-05-06 塞美康股份公司 涂覆体
US20080014420A1 (en) * 2006-07-11 2008-01-17 Ion Technology (Hong Kong) Limited Surface treatment for titanium or titanium-alloys
KR101432847B1 (ko) 2006-09-26 2014-08-26 오를리콘 트레이딩 아크티엔게젤샤프트, 트뤼프바흐 하드 코팅을 가지는 작업편
EP1918421B1 (en) * 2006-09-27 2017-03-15 Hitachi Metals, Ltd. Hard-material-coated member excellent in durability
DE102006046917C5 (de) * 2006-10-04 2014-03-20 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Kolbenring für Verbrennungskraftmaschinen
DE102006046915C5 (de) * 2006-10-04 2015-09-03 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Kolbenring für Verbrennungskraftmaschinen
SE0700800L (sv) * 2006-12-15 2008-06-16 Sandvik Intellectual Property Belagt skärverktyg
SE0602814L (sv) * 2006-12-27 2008-06-28 Sandvik Intellectual Property Skärverktyg med multiskiktbeläggning
JP4668214B2 (ja) * 2007-01-17 2011-04-13 株式会社神戸製鋼所 成形用金型
JP5254552B2 (ja) * 2007-02-01 2013-08-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
US7960016B2 (en) * 2007-03-23 2011-06-14 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Wear resistant hard coating for a workpiece and method for producing the same
US7960015B2 (en) * 2007-03-23 2011-06-14 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Wear resistant hard coating for a workpiece and method for producing the same
US7923130B2 (en) * 2007-05-30 2011-04-12 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool
JP5070622B2 (ja) * 2007-06-07 2012-11-14 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP4440980B2 (ja) * 2008-01-31 2010-03-24 ユニオンツール株式会社 切削工具用硬質皮膜
WO2009110829A1 (en) * 2008-03-07 2009-09-11 Seco Tools Ab Thermally stabilized (ti, si)n layer for cutting tool insert
SE532049C2 (sv) * 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
JP5129009B2 (ja) * 2008-04-21 2013-01-23 株式会社神戸製鋼所 金型用被膜
JP5234931B2 (ja) * 2008-06-23 2013-07-10 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜被覆部材および成形用冶工具
PL2310549T3 (pl) * 2008-07-09 2018-06-29 Oerlikon Surface Solutions Ltd., Pfäffikon System powłokowy, powlekany przedmiot obrabiany oraz sposób wytwarzania powlekanego przedmiotu obrabianego
EP2316790A4 (en) * 2008-07-16 2012-08-22 Japan Fine Ceramics Ct HARD POWDER, METHOD FOR MANUFACTURING HARD POWDER AND SINTERED ALLOY
EP2149620B1 (en) * 2008-07-31 2020-04-29 Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon Multilayer film-coated member and method for producing it
EP2149624B1 (en) * 2008-07-31 2012-08-08 Sulzer Metaplas GmbH Multilayer film-coated member and method for producing it
ES2388899T3 (es) 2008-09-05 2012-10-19 Lmt Fette Werkzeugtechnik Gmbh & Co. Kg Herramienta de fresado por generación con un revistimiento y procedimiento para el nuevo revestimiento de una herramienta de fresado por generación
JP5559575B2 (ja) 2009-03-10 2014-07-23 株式会社タンガロイ サーメットおよび被覆サーメット
WO2010145704A1 (en) * 2009-06-18 2010-12-23 Sulzer Metaplas Gmbh Protective coating, a coated member having a protective coating as well as method for producing a protective coating
JPWO2010150335A1 (ja) * 2009-06-22 2012-12-06 株式会社タンガロイ 被覆立方晶窒化硼素焼結体工具
JP5193153B2 (ja) * 2009-10-02 2013-05-08 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜、塑性加工用金型、塑性加工方法、及び硬質皮膜用ターゲット
EP2336383A1 (en) * 2009-12-04 2011-06-22 Sandvik Intellectual Property AB Multilayered coated cutting tool
JP4753143B2 (ja) * 2009-12-21 2011-08-24 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP5865599B2 (ja) 2010-04-15 2016-02-17 日東電工株式会社 ハードコートフィルムの製造方法
JPWO2011129422A1 (ja) 2010-04-16 2013-07-18 株式会社タンガロイ 被覆cBN焼結体
EP2591869B1 (en) * 2010-07-06 2015-09-09 Tungaloy Corporation Coated polycrystalline cbn tool
JP5351875B2 (ja) * 2010-11-30 2013-11-27 株式会社神戸製鋼所 塑性加工用金型およびその製造方法、ならびにアルミニウム材の鍛造方法
BR112013033654B1 (pt) * 2011-06-30 2020-12-29 Oerlikon Surface Solutions Ag, Trübbach método para fabricar um corpo revestido
CN102296269B (zh) * 2011-09-07 2013-02-06 钢铁研究总院 一种硬质涂层及其制备方法
EP2792765B1 (en) * 2011-12-15 2018-09-12 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) Multilayer hard film and method for producing same
JP5762626B2 (ja) * 2012-03-29 2015-08-12 オーエスジー株式会社 切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具
DE102012017694A1 (de) * 2012-09-07 2014-03-13 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Mo-haltige Beschichtungen auf Werkzeugen für das direkte Presshärten
JP2014069258A (ja) * 2012-09-28 2014-04-21 Nachi Fujikoshi Corp 硬質皮膜被覆切削工具
DE102012109254A1 (de) * 2012-09-28 2014-04-03 Walter Ag Werkzeug mit TiAlCrSiN-PVD-Beschichtung
US9093102B1 (en) 2013-03-12 2015-07-28 Western Digital Technologies, Inc. Systems and methods for tuning seed layer hardness in components of magnetic recording systems
US9103036B2 (en) 2013-03-15 2015-08-11 Kennametal Inc. Hard coatings comprising cubic phase forming compositions
JP6016271B2 (ja) 2013-03-29 2016-10-26 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
JP6016269B2 (ja) 2013-03-29 2016-10-26 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
JP6016270B2 (ja) 2013-03-29 2016-10-26 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
DE102013005437A1 (de) * 2013-03-29 2014-10-02 Empa Hartstoffschichten mit ausgewählter Wärmeleitfähigkeit
DE102013007305A1 (de) * 2013-04-29 2014-10-30 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Reaktives Sputtern mit intermetallischem oder keramischem Target
JP5663813B2 (ja) 2013-07-03 2015-02-04 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
JP5663814B2 (ja) 2013-07-03 2015-02-04 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
JP5663815B2 (ja) 2013-07-03 2015-02-04 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
PL3017079T5 (pl) * 2013-07-03 2020-12-28 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Sposób wytwarzania warstw tixsi1-xn
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
CN103789725B (zh) * 2014-01-29 2016-08-31 仪征亚新科双环活塞环有限公司 一种活塞环表面的多层多元复合硬质pvd镀层、活塞环及制备工艺
US9805748B1 (en) * 2014-06-24 2017-10-31 Western Digital (Fremont), Llc System and method for providing a protective layer having a graded intermediate layer
EP3018233A1 (de) * 2014-11-05 2016-05-11 Walter Ag Schneidwerkzeug mit mehrlagiger PVD-Beschichtung
JP6789986B2 (ja) * 2015-05-21 2020-11-25 ヴァルター アーゲー 多層アークpvdコーティングを有する工具
WO2017037956A1 (ja) 2015-09-04 2017-03-09 オーエスジー株式会社 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
JP6577036B2 (ja) 2015-09-04 2019-09-18 オーエスジー株式会社 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
CN105296949B (zh) * 2015-11-23 2018-08-28 上海理工大学 一种具有超高硬度的纳米结构涂层及其制备方法
CN108699686B (zh) * 2015-12-07 2021-01-26 Ihi伯尔纳股份公司 涂覆挤出工具
WO2017163535A1 (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆部材
CN105971568A (zh) * 2016-05-11 2016-09-28 四川行之智汇知识产权运营有限公司 水平完井稠油热采用筛管
US11014167B2 (en) * 2016-08-01 2021-05-25 Mitsubishi Materials Corporation Multilayer hard film-coated cutting tool
JP6880463B2 (ja) 2016-11-29 2021-06-02 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
CN106593458B (zh) * 2017-01-12 2019-03-01 河北工程大学 地铁施工用盾构机刀具
JP6507399B2 (ja) * 2017-03-28 2019-05-08 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6858347B2 (ja) * 2017-07-28 2021-04-14 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
KR102660356B1 (ko) * 2017-08-04 2024-04-26 오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘 성능 향상된 탭 드릴
JP6642836B2 (ja) * 2017-09-19 2020-02-12 株式会社タンガロイ 被覆ドリル
JP6995202B2 (ja) 2018-08-01 2022-01-14 オーエスジー株式会社 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
KR102519788B1 (ko) 2018-08-01 2023-04-10 오에스지 가부시키가이샤 경질 피막 및 경질 피막 피복 부재
WO2020026389A1 (ja) 2018-08-01 2020-02-06 オーエスジー株式会社 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
JP6999038B2 (ja) 2018-08-01 2022-01-18 オーエスジー株式会社 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
CN112262006B (zh) * 2018-08-24 2023-07-25 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
CN109161848B (zh) * 2018-09-18 2021-07-13 岭南师范学院 一种CrAlBCN涂层、低摩擦耐海水腐蚀纳米复合CrAlBCN涂层及其制备方法
CN113195139A (zh) * 2018-10-11 2021-07-30 株式会社不二越 硬质皮膜包覆钻头
CN109735803B (zh) * 2018-12-27 2021-10-15 广东工业大学 一种TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法
CN109881148A (zh) * 2019-03-13 2019-06-14 广东工业大学 一种单相固溶体结构的AlCrTiSiN高熵合金氮化物涂层及其制备方法和应用
CN110359029B (zh) * 2019-08-15 2021-06-29 株洲华锐精密工具股份有限公司 用于刀具的涂覆涂层及其制备方法
CN111020475A (zh) * 2019-12-16 2020-04-17 苏州星蓝纳米技术有限公司 一种新型at涂层
CN111235533B (zh) * 2020-03-05 2020-11-17 武汉大学 一种硬质合金铣刀的AlCrNbSiTiBC高温自润滑复合涂层及其制备方法
US11731202B2 (en) 2021-04-19 2023-08-22 Kennametal Inc. Coating, method for coating, and coated cutting tool
CN117328013B (zh) * 2023-11-30 2024-01-26 西安致远航空科技有限公司 一种航空拉刀表面涂层及其制备工艺

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3027502B2 (ja) * 1993-03-15 2000-04-04 健 増本 耐摩耗性非晶質硬質膜及びその製造方法
JPH08134629A (ja) * 1994-09-16 1996-05-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 超微粒積層膜と、それを有する工具用複合高硬度材料
JP3416938B2 (ja) * 1994-10-28 2003-06-16 住友電気工業株式会社 積層体
JPH0941127A (ja) * 1995-08-03 1997-02-10 Kobe Steel Ltd 硬質皮膜
US5790543A (en) * 1995-09-25 1998-08-04 Bell Atlantic Network Services, Inc. Apparatus and method for correcting jitter in data packets
JP3039381B2 (ja) * 1996-07-12 2000-05-08 山口県 耐高温酸化特性に優れた複合硬質皮膜の形成法
JPH10309605A (ja) * 1997-05-12 1998-11-24 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆硬質合金工具
US6827976B2 (en) * 1998-04-29 2004-12-07 Unaxis Trading Ag Method to increase wear resistance of a tool or other machine component
JP2000144376A (ja) * 1998-11-18 2000-05-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 摺動特性の良好な皮膜
US6274257B1 (en) * 1999-10-29 2001-08-14 Ionbond Inc. Forming members for shaping a reactive metal and methods for their fabrication
JP3417907B2 (ja) 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
DE60124061T2 (de) 2000-12-28 2007-04-12 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe Hartstoffschicht für Schneidwerkzeuge
JP3454428B2 (ja) * 2001-05-11 2003-10-06 日立ツール株式会社 耐摩耗皮膜被覆工具
EP1310580B1 (en) * 2001-11-07 2007-06-13 Hitachi Tool Engineering, Ltd. Hard layer-coated tool
JP2004009267A (ja) * 2002-06-11 2004-01-15 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜被覆高速度鋼製ラフィングエンドミル
DE60312110T2 (de) 2002-11-19 2007-10-11 Hitachi Tool Engineering Ltd. Hartstoffschicht und damit beschichtetes Werkzeug
EP1627094B1 (de) 2003-04-28 2018-10-24 Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon Werkstück mit alcr-haltiger hartstoffschicht
US7348074B2 (en) * 2005-04-01 2008-03-25 Oc Oerlikon Balzers Ag Multilayer hard coating for tools

Also Published As

Publication number Publication date
US20080131726A1 (en) 2008-06-05
USRE42491E1 (en) 2011-06-28
US20100012483A1 (en) 2010-01-21
US7718043B2 (en) 2010-05-18
KR101227337B1 (ko) 2013-01-28
CN101151397B (zh) 2010-12-01
JP5289042B2 (ja) 2013-09-11
EP1863946A1 (de) 2007-12-12
PL1863946T3 (pl) 2013-09-30
WO2006102780A1 (de) 2006-10-05
US7348074B2 (en) 2008-03-25
JP2013176837A (ja) 2013-09-09
US7618720B2 (en) 2009-11-17
CN101151397A (zh) 2008-03-26
EP1863946B1 (de) 2013-04-17
PT1863946E (pt) 2013-07-10
MX2007012099A (es) 2008-01-28
US20060222893A1 (en) 2006-10-05
BRPI0609661B1 (pt) 2017-02-07
JP2008534297A (ja) 2008-08-28
BRPI0609661A2 (pt) 2010-04-20
JP5648078B2 (ja) 2015-01-07
KR20080017000A (ko) 2008-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2418146T3 (es) Revestimiento duro multicapas para herramientas
ES2361281T3 (es) Materiales de revestimiento duros, con alta resistencia a la oxidación para herramientas de corte.
ES2648999T3 (es) Artículo recubierto con un patrón de recubrimientos con nanocapas
JP5143571B2 (ja) 切削工具のための高耐摩耗三重被覆
ES2672002T3 (es) Herramienta de corte
ES2820543T3 (es) Cuerpo revestido y procedimiento para el revestimiento de un cuerpo
JP5261018B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP5640004B2 (ja) コーティングシステム、コーティングされたワークピースおよびその製造方法
JP2006312235A (ja) 薄い耐摩耗性被膜
JP2001522725A (ja) PVDAl2O3被覆切削工具
JP4405835B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP5315527B2 (ja) 表面被覆切削工具
WO2011077928A1 (ja) 表面被覆切削工具
JP2010076083A (ja) 表面被覆切削工具
Caliskan et al. Effect of multilayer nanocomposite TiAlSiN/TiSiN/TiAlN coating on wear behavior of carbide tools in the milling of hardened AISI D2 steel
JP2008296356A (ja) 表面被覆切削工具
JP2007253316A (ja) 刃先交換型切削チップ
Teeter Thin wins
Jackson et al. Thin film nanomanufacturing of functionally graded titanium-based microcutting tools
BRPI0513216B1 (pt) Peça em trabalho com revestimento duro altamente resistente à oxidação e processo pvd