JP3454428B2 - 耐摩耗皮膜被覆工具 - Google Patents
耐摩耗皮膜被覆工具Info
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Description
削加工に使用される硬質皮膜被覆工具に関するものであ
る。
の直切削においては、特開昭62−56565号公報、
特開平2−194159号公報に代表されるTiAlN
皮膜が開発され切削工具に適用されている。TiAlN
皮膜は、TiN、TiCNに比べ耐酸化性が優れるた
め、刃先が高温に達する調質鋼の切削においては、切削
工具の性能を著しく向上させるものである。
率、高精度化の要求を満たす為、切削速度の高速化に加
え、環境問題及び加工コスト低減の観点から乾式での切
削加工が重要視されている。こうような切削環境下にお
いては、切削工具表面に被覆される耐摩耗皮膜と切削さ
れる材料(以下、被削材と称す)との溶着現象が切削性
能に大きな影響を及ぼすとともに、切削温度がより高温
になりTiAlN系皮膜でも耐酸化が十分ではない状況
にある。すなわち、従来までの前記TiN、TiCNお
よびTiAlN皮膜はこのような苛酷な切削環境下にお
いては、被削材との溶着現象等に起因した摩擦抵抗の増
加及び酸化の進行により、十分な切削性能を得られな
く、また酸化による摩耗進行を十分に抑制できていなく
なったのが現状である。
を改善する観点より特表平11−502775号公報に
示される二硫化モリブデンや、特開平7−164211
号公報に示される炭化タングステンおよびダイヤモンド
ライクカーボンからなる潤滑性皮膜を硬質皮膜最表面に
積層した切削工具が開発されているが、いずれも硬質皮
膜との密着性が悪く、皮膜そのものが非常に脆い上耐酸
化性に乏しく、切削時に剥離または破壊、酸化摩滅など
により上記切削環境下においては十分対応できてはいな
い。
7−237010号公報や特開平10−130620号
公報に代表されるようにTiAlNに第3成分を添加す
る事例があるものの、第3成分の添加によるだけでは十
分に満足される耐酸化性の向上は実現されていないのが
実状である。また特開平8−118106号公報にはT
iSiNの事例も提案されているが、単なるTiSiN
では耐酸化性を改善するには至っていない。
られるように硬質皮膜内部にSi3N 4粒等を介在させ
る事例もみられるがSi3N4粒界を介して酸化が進行
するため十分な耐酸化性を付与するに至っていない。
に鑑み、切削加工の乾式化、高速化に対応可能な、即
ち、耐酸化性に優れるとともに被削材との溶着性が少な
い硬質層を提案し、耐酸化及び耐溶着性を同時に実現
し、高硬度鋼を乾式で高速切削出来うる耐摩耗皮膜被覆
工具を提供することを課題とする。
耐摩耗性と様々な被削材と摩擦抵抗の低減に及ぼす影響
および皮膜の層構造について詳細な検討を行った結果、
耐溶着性を付与する(TiaSi1−a)(NxB
1−x)、但し、0.5≦a<1.0、0.5≦x≦
1.0で示される化学組成からなる硬質層を被覆するこ
とにより耐溶着性を改善し、さらにその結晶形態を制御
することにより、耐酸化性及び耐摩耗性を同時に付与さ
れた硬質皮膜被覆工具とする事により、高硬度鋼の乾式
高速切削加工において切削工具の性能が極めて良好とな
ることを見出し本発明に到達した。また、該硬質層はC
rAlN系硬質皮膜等との組み合わせにより、より密着
性、耐酸化性の優れた被覆工具を実現するものである。
また上記耐摩耗皮膜は、物理蒸着法により被覆されるこ
とが望ましい。
用について詳しく述べる。(Ti aSi1−a)(Nx
B1−x)、但し、0.5≦a<1.0、0.5≦x≦
1.0、で示される化学組成からなるTiとSiより構
成される窒化物もしく窒硼化物は、大気中、室温におけ
る鋼との摩擦係数が従来のTiAl窒化物皮膜の0.8
に比べ、0.6と低摩擦を示すが、特に高温下ではその
数値が0.3に激減する。これは高温下で皮膜内のSi
が切粉との間の反応により皮膜表面に内部拡散し、皮膜
表面で低融点のSi酸化物を形成することに起因するこ
とが確認された。
i1−a)(NxB1−x)皮膜は潤滑皮膜として機能
し、溶着による切削抵抗の増大を抑制する作用を有する
ものであることが確認された。さらに硼素の添加によ
り、硼素が皮膜内部でBN相を形成し、このBN相の有
する潤滑性の作用により、より一層潤滑性が向上するこ
とが明らかとなった。
検討した結果、(TiaSi1−a)(NxB1−x)
相の結晶形態が耐酸化性に大きく影響を及ぼし、結晶形
態を制御することにより、一般的に耐酸化性が優れると
言われる(TiAl)N系皮膜より優れる耐酸化性を持
たせることができるという驚くべき知見を得るに至っ
た。(TiaSi1−a)(NxB1−x)相は被覆時
のイオンエネルギーにより結晶形態が異なり、イオンエ
ネルギーが低い場合は全体的に柱状結晶を呈し、その中
にSi3N4粒子が介在した形態となる。イオンエネル
ギーが高い場合は、全体的にアモルファス状に近い状態
となり、TiNBの中にSiとNの結合が確認される状
態となる。イオンエネルギーが中程度であり、かつ被覆
温度が550℃以上の場合は完全アモルファスのTiS
iBN相が微細に存在し、このTiSiBN相のSi含
有量は、マトリックスとなるTiSiBN相より富む形
態となることが確認された。温度が低いとイオンエネル
ギーが高い場合と同様の結晶形態を呈することが確認さ
れた。温度、イオンエネルギーと結晶形態との相関理由
は今後の物理学的研究が必要である。
微細に存在する場合、粒界が非常に整合した粒界とな
り、欠陥が少なく、酸素の粒界での拡散を著しく抑制
し、非常に優れた耐酸化性を有することが確認された。
同時に微細に介在することにより、マトリックスを歪強
化し、硬度が向上し結果耐摩耗性をも向上することにな
った。
が中程度となる、-100V〜-150Vの印荷バイア
ス、反応圧力は1Pa〜5Pa程度、被覆温度は550
℃以上が好ましい範囲である。
元素の組成は、(TiaSi1−a)において、aの値
が0.5≦a<1.0という式を満足させることが必要
である。aの値が0.5未満の場合、Si含有量が多く
なりすぎて、皮膜そのものの靭性が劣化し、乾式高速切
削において皮膜の内部破壊や破壊にともなう皮膜の剥離
が顕著となり、十分な性能を発揮できない。
硼化物の場合、NxB1−xで0.5≦x≦1.0を満
足することが必要であり、xの値が0.5未満の場合
は、皮膜の硬度が著しく上昇し、残留圧縮応力が増大
し、皮膜の密着性が劣化するため十分な切削性能を示さ
ない。
径は500nmを越えると格子歪の効果が少なく、皮膜
の硬度向上寄与が低下するため、500nm以下である
方がより好ましい。該硬質層は、静的および動的条件下
において優れた密着性、低摩擦、高耐酸化性を有するも
のの、HRCが60を越えるような高硬度鋼の乾式高速
切削加工には、単一皮膜では密着性が十分でなく剥離が
発生する場合がある。そこで、優れた耐密着性並びに耐
摩耗性、耐酸化性を有した(CrAl)N硬質層等と積
層することが、このような高硬度鋼切削ではより好まし
い結果となる。(TiAl)N系硬質層との積層も性能
を改善するものであるが、(CrAl)N硬質層との積
層が耐酸化性の向上の観点からより好ましいものであ
る。
によっては第3の金属成分を添加されたものでも同様の
作用が期待されることは、言うまでもないことである。
法については、特に限定されるものではないが、被覆母
材への熱影響、工具の疲労強度、皮膜の密着性等を考慮
した場合、比較的低温で被覆でき、被覆した皮膜に圧縮
応力が残留するアーク放電方式イオンプレーティング、
もしくはスパッタリング等の被覆基体側にバイアス電圧
を印加する物理蒸着法であることが望ましい。
ークイオンプレーティング装置を用い、金属成分の蒸発
源である各種合金製ターゲット、ならびに反応ガスであ
るN 2ガスから目的の皮膜が得られるものを選択し、被
覆基体温度600℃、反応ガス圧力3.0Paの条件下
にて、被覆基体である外径10mmの超硬合金製2枚刃
エンドミル、および超硬合金製インサートに−130V
の電位を印加し、全皮膜総厚みが3μmとなるように成
膜した。また硼素、Siは蒸発源であるターケ゛ットに必要量
添加した。比較例19,20の(TiSi)N系皮膜は
基体温度400℃、反応ガス圧力3.0Pa、バイアス
-100Vで成膜したもので単純な固溶体(TiSi)
N層である。試作した本発明例並びに比較例を表1に示
す。尚多層の場合はTiSiN系層の総厚1.5μ、他
層の総厚1.5μとなるよう均等に被覆した。
質皮膜被覆インサートを用い切削試験を行った。工具寿
命は刃先の欠けないしは摩耗等により工具が切削不能と
なった時の切削長とした。得られた結果を表1に併記す
る。
切削ダウンカット、被削材S50C(硬さHB22
0)、切り込みAd10mm×Rd1mm、切削速度2
50m/min、送り0.06mm/tooth、エア
ーブロー使用、とした。
2TN、巾100mm×長さ250mmの面取り加工、
被削材SKD61(硬さHRC45)、切り込み2.0
mm、切削速度150m/min、送り0.15mm/
rev、乾式切削とした。表1に試験結果を併記する。
した結果を表2に示す。耐酸化性はそれぞれ5μの皮膜
を被覆し900℃大気中で1時間保持した時に形成され
る酸化層の厚さで評価した。摩擦係数は600℃におい
てSKD61のボールを用い、一般的なボールオンディ
スク法により測定した。
が多すぎる場合の比較例であり、静的評価数値は満足す
るものの密着性が十分ではなく工具寿命が短い結果であ
る。また19,20は同じ(TiSi)N系皮膜である
が、被覆条件によりアモルファスナノ構造が介在しない
単純な固溶体(TiSi)Nの事例である。比較例1
3、14、15は、TiAlN系皮膜に第3成分を添加
した事例であり、耐酸化性は改善はされるものの、本発
明例と比べれば改善効果が少ない。
優れると同時に、密着性にも優れ、溶着現象に起因した
異常摩耗や皮膜の酸化摩耗、皮膜剥離が進行することも
なく、総合して工具寿命が著しく向上する。従って、本
発明は高硬度鋼の乾式高速切削加工に十分対応するもの
である。
は、従来の被覆工具に比べ優れた高密着性、低摩擦、高
耐酸化性を同時に有すことから、乾式高速切削加工にお
いて格段に長い工具寿命が得られ、切削加工における生
産性の向上に極めて有効であるものである。
xB1−x)マトリックス内に介在する微細アモルファ
ス結晶(TiaSi1−a)(NxB1−x)のTEM
像を示す。
aSi1−a)(NxB1−x)マトリックスの極微電
子線回折像を示す。
aSi1−a)(NxB1−x)微細アモルファス結晶
(TiaSi1−a)(NxB1−x)の極微電子線回
折像を示す。
aSi1−a)(NxB1−x)マトリックスの組成分
析結果を示す。
aSi1−a)(NxB1−x)微細アモルファス結晶
(TiaSi1−a)(NxB1−x)の組成分析結果
を示す。
Claims (3)
- 【請求項1】 基体上に硬質皮膜、(TiaSi1−
a)(NxB1−x)、但し、0.5≦a<1、0.5
≦x≦1、で示される化学組成からなる硬質層を少なく
とも1層被覆された耐摩耗皮膜被覆工具において、該硬
質層が相対的にSiに富む(TiSi)(NxB1−
x)相と相対的にSiの少ない(TiSi)(NxB1
−x)相とから構成され、該Siに富む(TiSi)
(NxB1−x)相がアモルファス相であることを特徴
とする耐摩耗皮膜被覆工具。 - 【請求項2】 請求項1記載の耐摩耗皮膜被覆工具にお
いて、該Siに富む(TiSi)(NxB1−x)相の
結晶粒径が500nm以下であることを特徴とする耐摩
耗皮膜被覆工具。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載の耐摩耗皮膜被覆工
具において、該硬質層とCrとAlを主成分とする窒化
物、炭窒化物、窒酸化物、窒硼化物層が2層以上積層さ
れたことを特徴とする耐摩耗皮膜被覆工具。
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