ES2304613T3 - Metodo de limpieza/enjuagado. - Google Patents

Metodo de limpieza/enjuagado. Download PDF

Info

Publication number
ES2304613T3
ES2304613T3 ES04746450T ES04746450T ES2304613T3 ES 2304613 T3 ES2304613 T3 ES 2304613T3 ES 04746450 T ES04746450 T ES 04746450T ES 04746450 T ES04746450 T ES 04746450T ES 2304613 T3 ES2304613 T3 ES 2304613T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
ether
cleaning
rinsing
fluorinated
hydrocarbon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
ES04746450T
Other languages
English (en)
Inventor
Tsuyoshi Asahi Glass Company Limited Hanada
Hidekazu Asahi Glass Company Limited Okamoto
Masaaki Asahi Glass Company Limited Tsuzaki
Maki Asahi Glass Company Limited SHIGEMATSU
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of ES2304613T3 publication Critical patent/ES2304613T3/es
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/16Organic compounds
    • C11D3/20Organic compounds containing oxygen
    • C11D3/2068Ethers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/16Organic compounds
    • C11D3/18Hydrocarbons
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/16Organic compounds
    • C11D3/24Organic compounds containing halogen
    • C11D3/245Organic compounds containing halogen containing fluorine
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/24Hydrocarbons
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/24Hydrocarbons
    • C11D7/247Hydrocarbons aromatic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/26Organic compounds containing oxygen
    • C11D7/263Ethers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/28Organic compounds containing halogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/50Solvents
    • C11D7/5004Organic solvents
    • C11D7/5018Halogenated solvents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/50Solvents
    • C11D7/5004Organic solvents
    • C11D7/5022Organic solvents containing oxygen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/50Solvents
    • C11D7/5004Organic solvents
    • C11D7/5027Hydrocarbons
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
    • C23G5/02Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
    • C23G5/02Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents
    • C23G5/032Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents containing oxygen-containing compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D2111/00Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
    • C11D2111/10Objects to be cleaned
    • C11D2111/14Hard surfaces
    • C11D2111/18Glass; Plastics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D2111/00Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
    • C11D2111/10Objects to be cleaned
    • C11D2111/14Hard surfaces
    • C11D2111/22Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D2111/00Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
    • C11D2111/40Specific cleaning or washing processes
    • C11D2111/44Multi-step processes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Emergency Medicine (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Detergent Compositions (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

Un método para limpieza y enjuagado de un artículo, caracterizado porque comprende una etapa de limpieza de contacto de un artículo que lleva adherido un contaminante, con un disolvente que contiene un hidrocarburo alifático y un éter glicólico conde el contenido de éter glicólico es de al menos 10% en peso, y una etapa de enjuagado de contacto del mismo con un éter fluorado, donde el éter fluorado es un compuesto representado por la fórmula 1: R1 - O - R2 Fórmula 1 donde cada uno de entre R1 y R2 es, independientemente, un grupo alquilo fluorado, donde el número de átomos de flúor contenidos en cada uno de R1 y R2 es de al menos 1, y el número total de átomos de carbono contenido en R1 y R2 es de 4 a 8.

Description

Método de limpieza/enjuagado.
Campo industrial
La presente invención se refiere a un método de limpieza y enjuagado que utiliza un disolvente no inflamable que se emplea para eliminar la suciedad como la de aceites y grasas que se adhieren a artículos tales como piezas electrónicas, por ejemplo ICs, piezas de instrumentos de precisión, substratos de vidrio y piezas moldeadas en resina, así como fundente y polvos sobre placas de circuitos estampados.
Antecedentes de la invención
Hasta ahora, se han utilizado mucho los hidrocarburos clorofluorados (citados de aquí en adelante como "HCFC") tales como dicloropentafluoropropano (de aquí en adelante citado "R-225") como disolventes hidrocarburo fluorado para limpieza de precisión, con el fin de eliminar aceites, fundente, ceras y similares que se adhieren a artículos, por ejemplo, durante las etapas de elaboración y mecanizado en la industria de instrumentos de precisión, industria de instrumentos ópticos, la industria eléctrica y electrónica, la industria de procesado de plásticos.
Sin embargo, la prohibición del empleo de HCFC en los países desarrollados va a decretarse antes del 2020 debido a su potencial de eliminación del ozono. Los hidrocarburos fluorados (que en adelante se citarán como "HFC", los hidrofluoroéteres (que en adelante se citarán como "HFE") y similares, son conocidos como disolventes hidrocarburo fluorado alternativos a HCFC que no contienen cloro en su molécula y que tienen potencial cero de eliminación del ozono.
Existe, por ejemplo, un método conocido para la limpieza de un artículo que se compone de una placa de circuito estampado, metal etc., en el que se utiliza de HFE que tiene un punto de ebullición de aproximadamente 20 a 120ºC (cf. Documento de Patente 1). Este método, sin embargo, falla frecuentemente en la eliminación adecuada de un contaminante debido a que no es suficiente la capacidad de disolución del HFE para el contaminante. Existe otro método conocido para limpieza de un artículo empleando un hidrocarburo alifático.
Sin embargo, estaba el problema de que estos disolventes hidrocarburo eran difíciles de secar y se necesitaba una gran cantidad de energía para secar el artículo después de limpio, aunque el potencial de agotamiento de ozono de estos disolventes hidrocarburo era cero y su eficacia de eliminación de la contaminante era alta.
Como método para resolver el problema ha sido propuesto un método de enjuagado con HFE después de limpiar con un disolvente hidrocarburo (cf. Documento de Patente 2). Sin embargo, este documento no describe ningún ejemplos específico de HFE.
No obstante, incluso en el método anterior, el HFE tiene una baja solubilidad para el disolvente hidrocarburo utilizado en la limpieza dependiendo de su clase, y el disolvente hidrocarburo no puede ser eliminado suficientemente enjuagando el artículo limpiado, con HFE, de manera que el disolvente hidrocarburo permanece sobre la superficie del artículo que se limpia, lo que causa el problema de enjuagado defectuoso tal como aparición de manchas.
Documento de Patente 1: JP-A-H05-271692 (reivindicaciones)
Documento de Patente 12: JP-A-H10-202209 (reivindicaciones)
Descripción de la invención Problema para ser resuelto por la invención
Un objeto de la presente invención es proporcionar un método para la limpieza y enjuagado de un artículo utilizando HFE, el cual hasta ahora ha sido difícil de aplicar en el enjuagado debido a su insuficiente solubilidad para un disolvente hidrocarburo, y un método con excelente comportamiento en la limpieza y comportamiento en el enjua-
gado.
Medios para resolver el problema
La presente invención proporciona un método para limpieza y enjuagado de un artículo, que comprende una etapa de limpieza en la que se pone en contacto el artículo, que tiene adherido un contaminante, con un disolvente hidrocarburo que contiene un hidrocarburo alifático y un éter glicólico (donde el contenido del éter glicólico es de al menos 10% en peso) y una etapa de limpieza en la que se pone en contacto el artículo con un éter fluorado, donde el éter fluorado es un compuesto fluorado representado por la fórmula 1:
fórmula 1R^{1} - O - R^{2}
donde R^{1} y R^{2}, cada uno independientemente, es un grupo alquilo fluorado, donde el número de átomos de flúor contenidos en cada uno de R^{1} y R^{2} es de al menos uno, y el número total de átomos de carbono contenidos en R^{1} y R^{2} es de 4 a 8.
La presente invención utiliza disolvente hidrocarburo que contiene un hidrocarburo alifático y un éter glicólico en la etapa de limpieza, en la que, según se ha podido demostrar, presenta excelentes acción de limpieza y de enjuagado.
Efecto de la invención
La presente invención se refiere al compuesto representado por la fórmula 1, de difícil aplicación hasta ahora al enjuagado, para emplearlo en la etapa de enjuagado, alcanzando con ello una excelente acción de limpieza y comportamiento en el enjuagado.
El mejor modo de llevar a cabo la invención
El éter fluorado de la presente invención es un compuesto representado por la fórmula 1. Cada uno de R^{1} y R^{2} tiene al menos un átomo de flúor, preferiblemente de 2 a 10 átomos de flúor, y el número total de átomos de carbono en R^{1} y R^{2} es de 4 a 8. El éter fluorado de la presente invención es superior en estabilidad térmica a HFE cuyo R^{1} ó R^{2} contiene un átomo de flúor.
Entre los ejemplos específicos del éter fluorado representado por la fórmula 1 se incluye éter 1,1,2,2-tetrafluoroetil-2,2,2-trifluoroetílico (CHF_{2}CF_{2}-O-CH_{2}CF_{3}), citado de aquí en adelante como "HFE347"), éter 1,1,2,2-tetrafluoroetil-2,2,3,3-tetrafluoropropilíco (CHF_{2}CF_{2}-O-CH_{2}CF_{2}CHF_{3}), citado de aquí en adelante como "HFE458"). En la presente invención, el éter fluorado se puede utilizar individualmente o se pueden utilizar al menos dos tipos de éteres fluorados en mezcla.
Además, dado que el secado se efectúa por reemplazamiento del disolvente hidrocarburo sobre la superficie del artículo recubierta por él, por el éter fluorado, el éter fluorado es preferiblemente uno que tiene punto de ebullición de 30 a 100ºC, y más preferiblemente uno que tiene un número total de átomos de carbono contenido en R^{1} y R^{2}, en un intervalo de 4 a 6.
El disolvente hidrocarburo que se utiliza en la etapa de limpieza de la presente invención contiene un hidrocarburo alifático y un éter glicólico.
Entre los ejemplos específicos preferidos de éter glicólico se incluyen éteres alquílicos de dietilen glicol y éteres alquílicos de dipropilen glicol por razones de su solubilidad para el éter fluorado representado por la fórmula 1. Ejemplos más específicos incluyen los compuestos cuya lista se da a continuación.
Éteres del tipo dietilen glicol tales como éter monometílico de dietilen glicol, éter monoetílico de dietilen glicol, éter mono-n-propílico de dietilen glicol, éter mono-isopropílico de dietilen glicol, éter mono n-butílico de dietilen glicol, éter mono-iso-butílico de dietilen glicol, éter dimetílico de dietilen glicol, éter dietílico de dietilen glicol, éter dibutílico de dietilen glicol.
Éteres tipo dipropilen glicol, tales como éter monometílico de dipropilen glicol, éter monoetílico de dipropilen glicol, éter mono n-propílico de dipropilen glicol, éter mono-isopropílico de dipropilen glicol, éter mono n-butílico de dipropilen glicol, éter mono isobutílico de dipropilen glicol.
El contenido del éter glicólico en el disolvente hidrocarburo es de al menos 10% en peso, y preferiblemente de al menos 30% en peso desde el punto de vista de la potenciación de la solubilidad entre el éter fluorado representado por la fórmula 1 y el disolvente hidrocarburo y de llevar a cabo el enjuagado de forma eficaz en un corto período de tiempo.
El disolvente hidrocarburo contiene un hidrocarburo alifático además del éter glicólico. El hidrocarburo alifático tiene la ventaja de tener una mayor estabilidad térmica que los otros disolventes hidrocarburo, además de su bajo precio y alto poder de limpieza.
El hidrocarburo alifático es, preferiblemente, un hidrocarburo saturado lineal o ramificado que tiene al menos 8 átomos de carbono y entre los ejemplos específicos del mismo se incluyen n-octano, n-decano, n-undecano, n-dodecano, queroseno, alcoholes minerales.
La limpieza de un artículo se lleva a cabo normalmente bajo calentamiento entre 30 y 100ºC, y el disolvente hidrocarburo tiene, preferiblemente, un punto de ebullición de al menos 100ºC, en particular preferiblemente de al menos 150ºC, porque el punto de ebullición del disolvente hidrocarburo es, preferiblemente, más alto que la temperatura de limpieza.
Se prefiere seleccionar una combinación del éter fluorado y disolvente hidrocarburo de manera que la diferencia entre los puntos de ebullición del disolvente hidrocarburo y el éter fluorado sea de al menos 50ºC, por razones de una eficaz separación y recuperación del disolvente hidrocarburo y el éter fluorado por destilación en un proceso de recolección en la etapa de limpieza y la etapa de enjuagado.
Entre los ejemplos específicos de la combinación preferida del éter fluorado utilizado en la etapa de enjuagado y el disolvente hidrocarburo empleado en la etapa de limpieza son como sigue: en un caso en que el éter fluorado es HFE347 o HFE458, el disolvente hidrocarburo puede ser una mezcla de n-decano y éter mono n-butílico de dietilen glicol, una mezcla de n-dodecano, n-undeceno y éter mono -butílico de dietilen glicol.
Además, el disolvente hidrocarburo de la presente invención puede contener al menos un miembro seleccionado entre alcoholes, compuestos orgánicos nitrogenados y compuestos organosilícicos, si es necesario, y entre sus ejemplos específicos se incluyen los compuestos enumerados a continuación.
Alcoholes. alcohol 2-etilbutílico, alcohol 2-etilhexílico, alcohol nonílico, alcohol decílico y ciclohexanol. Compuestos orgánicos nitrogenados: N-metil-2-pirrolidona y 1.3-dimetil-2-imidazolidinona.
Compuestos organosilícicos: dimetil polisiloxano, ciclopolisiloxano y octametil ciclotetrasiloxano.
En la presente invención, la etapa de enjuagado se puede llevar a cabo también utilizando éter fluorado que contiene un auxiliar de enjuagado. El auxiliar de enjuagado que se utiliza se puede seleccionar entre hidrocarburos, alcoholes inferiores y cetonas. La proporción de mezclado del auxiliar de enjuagado es, preferiblemente, inferior a 20% en peso sobre la cantidad total del éter fluorado y el auxiliar de enjuagado, más preferiblemente de menos de 10% en peso para evitar que la mezcla se haga inflamable.
Dado que el éter fluorado se somete a destilación para una nueva utilización, el auxiliar de enjuagado es preferiblemente uno que tiene un punto de ebullición de 30 a 100ºC como en el caso del éter fluorado, con el fin de incrementar la eficacia de recuperación del auxiliar de enjuagado. Además, un caso más preferido es aquel en que la mezcla de solución del éter fluorado y el auxiliar de enjuagado es una composición azeotrópica o tipo azeotrópico porque se hace innecesario ajustar la cantidad del auxiliar de enjuagado que se añade después de la destilación y porque se puede llevar a cabo además una limpieza al vapor con la mezcla del éter fluorado y el auxiliar de enjuagado después de la etapa de enjuagado.
Entre los ejemplos específicos de auxiliares de enjuagado se incluyen los compuestos dados a continuación.
Hidrocarburos: n-pentano, n-hexano, iso-hexano, n-heptano, isooctano, ciclopentano, ciclohexano y metilciclohexano.
Alcoholes inferiores: alcohol metílico, alcohol etílico, alcohol n-propílico, alcohol isopropílico y alcohol butílico.
Cetonas: acetona y metil etil cetona.
A continuación se describirá el método de limpieza y enjuagado de un artículo que tiene adherido un contaminante, según la presente invención, de acuerdo con procedimientos específicos.
En primer lugar, el disolvente hidrocarburo se pone en contacto con un artículo que tiene adherido un contaminante. El método para poner en contacto el artículo con el disolvente hidrocarburo se puede llevar a cabo siguiendo cualquiera de los métodos apropiados tales como un método de inmersión del artículo en el disolvente hidrocarburo, y un método de pulverización del disolvente hidrocarburo sobre el artículo.
La temperatura en el tiempo de contacto del artículo con el disolvente hidrocarburo se selecciona preferiblemente en un intervalo que no incluya el punto de inflamación del disolvente hidrocarburo, y es preferible un calentamiento ligero, con el fin de potenciar la separación del contaminante. Específicamente, se prefiere sumergir el artículo en un baño del disolvente hidrocarburo a una temperatura inferior en al menos 10ºC al punto de inflamación. Además, en el método de contacto por inmersión, se puede emplear, en combinación, un medio de aplicación de una fuerza mecánica tal como vibración ultrasónica, agitación, balanceo y aplicación con brocha , con el fin de potenciar la disolución y separación del contaminante. El tiempo de contacto del disolvente hidrocarburo con el artículo se establece de manera que el contaminante se elimine en el grado deseado.
Cuando el artículo se ha limpiado por contacto con el disolvente hidrocarburo, se enjuaga con un líquido de enjuagado compuesto del éter fluorado. El método para poner en contacto el artículo con el líquido de enjuagado se puede realizar también según un método de inmersión del artículo limpiado en el líquido de enjuagado, un método de pulverización del líquido de enjuagado sobre el artículo limpiado, un método de contacto del artículo limpiado con el vapor del líquido de enjuagado.
Con el fin de elevar más la eficacia del enjuagado, se puede repetir el mismo método de enjuagado o métodos de enjuagado diferentes en combinación. En particular, la eficacia de enjuagado se incrementa por una combinación del método de inmersión o el método de pulverización con el método de contacto con vapor. En este caso, se prefiere sumergir el artículo limpiado en el líquido de enjuagado o pulverizar el líquido de enjuagado sobre el artículo limpiado, y exponer después el artículo al vapor para efectuar el enjuagado.
Además, en el caso en que el artículo limpiado se sumerja en el líquido de enjuagado y luego se ponga en contacto con el vapor para efectuar el enjuagado, es preferible que actúe el líquido de enjuagado inmediatamente antes del contacto con el vapor a una temperatura inferior en al menos 10ºC al punto de ebullición del éter fluorado porque se puede potenciar la eficacia del enjuagado. Esto es debido a que el éter fluorado continúa condensándose sobre la superficie del artículo limpiado hasta que el artículo limpiado se calienta al punto de ebullición del éter fluorado.
Ejemplos
A continuación se describen ejemplos y ejemplos comparativos de la presente invención. Los Ejemplos 4 a 6, 10, 16 a 18 y 22 son ejemplos de la presente invención y los Ejemplos 1 a 3, 7 a 10, 11 a 15, 15 a 21, 23 y 24 son Ejemplos comparativos.
Ejemplos 1 a 6
Se prepararon soluciones mixtas de HFE347 (punto de ebullición 56ºC) o una composición azeotrópica de HFE347 y etanol (HFE347/etanol = 94,5/5,5 (basado en peso), punto de ebullición 54ºC), con uno de los disolventes hidrocarburo como se muestra en la Tabla 1 y se midieron para cada solución mixta para determinar un contenido máximo de cada disolvente hidrocarburo en que la solución mixta no sufrió separación de fases en dos fases. Se midió el contenido máximo de cada uno de los anteriores disolventes hidrocarburo por adición del disolvente hidrocarburo a 100 gramos de HFE a 25ºC hasta que tenía lugar la separación de fases.
La Tabla 1 muestra los resultados de la medición. En los "resultados de la medición" de la Tabla 1, \ccirculo indica que el contenido máximo del disolvente hidrocarburo era de al menos 50%; O indica que el contenido máximo del disolvente hidrocarburo era de 30 a 50%; y X indica que el contenido máximo del disolvente hidrocarburo era inferior a 30%.
TABLA 1
1
\newpage
Ejemplos 7 a 12
Se prepararon y midieron soluciones mixtas de HFE458 (punto de ebullición 93ºC) o una composición azeotrópica de HFE458 y etanol (HFE458/eanol = 71,0/29,0 (basado en peso), punto de ebullición 74ºC), con uno de los disolventes hidrocarburo como se dan en la Tabla 2, para cada solución mixta, para determinar el contenido máximo de cada disolvente hidrocarburo en que la solución mixta no sufría separación de fases en dos fases, de la misma manera que en los Ejemplos 1 a 6. La Tabla 2 muestra los resultados de la medida. Los símbolos \ccirculo, O y X de los "resultados de la medición" de la Tabla 2 tienen los mismos significados que en la Tabla 1
\vskip1.000000\baselineskip
TABLA 2
2
\newpage
Ejemplos 13 a 18
Se sumergieron piezas de tela metálica de 100 mallas, cortada de un tamaño de 50 mm x 50 mm, en cada uno de los disolventes hidrocarburo señalados en la Tabla 1, durante un minuto y se sumergieron luego en HFE347 o en una composición azeotrópica de HFE347 y etanol a temperatura ambiente durante 3 minutos. Después, se sacaron las piezas de tela metálica y se observaron en cuanto a su aspecto. La Tabla 3 muestra los resultados de la evaluación. En la Tabla 3, \ccirculo indica que no se observó mancha alguna; O que se observaron manchas ligeras; y X que las manchas eran obvias.
\vskip1.000000\baselineskip
TABLA 3
3
\newpage
Ejemplos 19 a 24
Se sumergieron piezas de tela metálica de 100 mallas, cortada de un tamaño de 50 mm x 50 mm, en cada uno de los disolventes hidrocarburo señalados en la Tabla 2, durante un minuto y se sumergieron luego en HFE458 o en una composición azeotrópica de HFE458 y etanol a temperatura ambiente durante 3 minutos. Después, se sacaron las piezas de tela metálica y se observaron en cuanto a su aspecto. La Tabla 3 muestra los resultados de la evaluación. En la Tabla 3, \ccirculo indica que no se observó mancha alguna; O que se observaron ligeras manchas; y X que las manchas eran obvias.
\vskip1.000000\baselineskip
TABLA 4
4

Claims (3)

1. Un método para limpieza y enjuagado de un artículo, caracterizado porque comprende una etapa de limpieza de contacto de un artículo que lleva adherido un contaminante, con un disolvente que contiene un hidrocarburo alifático y un éter glicólico conde el contenido de éter glicólico es de al menos 10% en peso, y una etapa de enjuagado de contacto del mismo con un éter fluorado, donde el éter fluorado es un compuesto representado por la fórmula 1:
Fórmula 1R^{1} - O - R^{2}
donde cada uno de entre R^{1} y R^{2} es, independientemente, un grupo alquilo fluorado, donde el número de átomos de flúor contenidos en cada uno de R^{1} y R^{2} es de al menos 1, y el número total de átomos de carbono contenido en R^{1} y R^{2} es de 4 a 8.
2. El método de limpieza y enjuagado según la reivindicación 1, donde el éter fluorado es éter 1,1,2,2-tetrafluoroetil-2,2,2-trifluoroetílico ó éter 1,1,2,2-tetrafluoroetil-2,2,3,3-tetrafluoropropílico.
3. El método de limpieza y enjuagado según la reivindicación 1 o la reivindicación 2 donde el hidrocarburo alifático es un hidrocarburo saturado lineal o ramificado que tiene al menos 8 átomos de carbono.
ES04746450T 2003-06-27 2004-06-25 Metodo de limpieza/enjuagado. Expired - Lifetime ES2304613T3 (es)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003184722 2003-06-27
JP2003-184722 2003-06-27
PCT/JP2004/008981 WO2005001015A1 (ja) 2003-06-27 2004-06-25 洗浄すすぎ方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2304613T3 true ES2304613T3 (es) 2008-10-16

Family

ID=33549625

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES04746450T Expired - Lifetime ES2304613T3 (es) 2003-06-27 2004-06-25 Metodo de limpieza/enjuagado.
ES07013715T Expired - Lifetime ES2335362T3 (es) 2003-06-27 2004-06-25 Metodo de limpieza y enjuagado.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES07013715T Expired - Lifetime ES2335362T3 (es) 2003-06-27 2004-06-25 Metodo de limpieza y enjuagado.

Country Status (12)

Country Link
US (1) US7662192B2 (es)
EP (2) EP1867709B1 (es)
JP (2) JP4655931B2 (es)
KR (2) KR101026095B1 (es)
CN (1) CN100412184C (es)
AT (2) ATE449156T1 (es)
AU (2) AU2004252335B2 (es)
CA (1) CA2530180C (es)
DE (2) DE602004024253D1 (es)
ES (2) ES2304613T3 (es)
SG (1) SG161108A1 (es)
WO (1) WO2005001015A1 (es)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4761293B2 (ja) * 2005-03-08 2011-08-31 Jx日鉱日石エネルギー株式会社 洗浄剤組成物及び洗浄方法
JP4749006B2 (ja) * 2005-03-15 2011-08-17 新オオツカ株式会社 被洗浄物防錆方法及び被洗浄物防錆装置
JP4894307B2 (ja) * 2005-03-29 2012-03-14 旭硝子株式会社 潜熱輸送装置用作動液および潜熱輸送装置の作動方法
WO2007007780A1 (ja) * 2005-07-12 2007-01-18 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 保護膜形成用材料およびこれを用いたホトレジストパターン形成方法
US8084367B2 (en) * 2006-05-24 2011-12-27 Samsung Electronics Co., Ltd Etching, cleaning and drying methods using supercritical fluid and chamber systems using these methods
JPWO2008149907A1 (ja) * 2007-06-08 2010-08-26 旭硝子株式会社 洗浄溶剤および洗浄方法
JP4995910B2 (ja) * 2007-07-05 2012-08-08 日本曹達株式会社 有機薄膜洗浄用溶剤
JP2011072967A (ja) * 2009-10-01 2011-04-14 Asahi Glass Co Ltd 含フッ素ポリマーの除去方法
JP5960439B2 (ja) * 2012-01-27 2016-08-02 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 除塵洗浄液およびそれを用いた洗浄方法
KR102478194B1 (ko) * 2017-06-26 2022-12-15 에이지씨 가부시키가이샤 진공 증착용의 마스크의 세정 방법 및 린스 조성물

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9007645D0 (en) * 1990-04-04 1990-05-30 Ici Plc Solvent cleaning of articles
DE4013369A1 (de) * 1990-04-26 1991-10-31 Hoechst Ag Neues azeotropes oder azeotropartiges gemisch aus 2,2,2-trifluorethyl-1,1,2,2-tetrafluorethylether und ethanol sowie dessen verwendung
JP3056239B2 (ja) * 1990-11-15 2000-06-26 昭和電工株式会社 ハンダフラックス除去液
JPH04270799A (ja) * 1991-02-25 1992-09-28 Arakawa Chem Ind Co Ltd 非ハロゲン系の工業用脱脂洗浄剤及び該洗浄剤を用いてなる物品の洗浄処理方法
JPH06128592A (ja) * 1992-10-15 1994-05-10 Tokuyama Sekiyu Kagaku Kk ワックス溶解組成物
JP3312758B2 (ja) * 1992-12-22 2002-08-12 山口日本電気株式会社 エレクトロニクス用洗浄液
JP4063906B2 (ja) * 1996-05-20 2008-03-19 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 洗浄方法
JPH10202209A (ja) * 1997-01-20 1998-08-04 Otsuka Giken Kogyo Kk 洗浄装置
JP3560269B2 (ja) * 1997-01-28 2004-09-02 第一工業製薬株式会社 非引火性工業用洗浄剤組成物およびそれを用いた洗浄方法
US6312759B1 (en) * 1997-05-16 2001-11-06 Nippon Zeon Co., Ltd. Fluorinated hydrocarbons, detergents, deterging method, polymer-containing fluids, and method of forming polymer films
JP2881195B1 (ja) * 1998-03-30 1999-04-12 工業技術院長 共沸様組成物
JP5013562B2 (ja) * 1998-06-25 2012-08-29 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 洗浄方法及び装置
JP4227695B2 (ja) 1999-02-09 2009-02-18 株式会社リコー 画像形成装置
JP3404541B2 (ja) * 1999-12-15 2003-05-12 独立行政法人産業技術総合研究所 1,1,2,2−テトラフルオロ−3−(1,1,2,2−テトラフルオロエトキシ)−プロパンとアルコール類からなる組成物
KR100632536B1 (ko) * 2000-03-20 2006-10-09 에스케이 주식회사 파울링 제거용 세정제 조성물 및 이의 사용방법
US6310018B1 (en) * 2000-03-31 2001-10-30 3M Innovative Properties Company Fluorinated solvent compositions containing hydrogen fluoride
US6372700B1 (en) 2000-03-31 2002-04-16 3M Innovative Properties Company Fluorinated solvent compositions containing ozone
JP2001300446A (ja) * 2000-04-28 2001-10-30 Nippon Zeon Co Ltd 被洗浄物の洗浄方法
TWI250206B (en) * 2000-06-01 2006-03-01 Asahi Kasei Corp Cleaning agent, cleaning method and cleaning apparatus
TWI315301B (en) * 2002-03-06 2009-10-01 Asahi Glass Co Ltd Solvent composition
JP2003327999A (ja) * 2002-03-06 2003-11-19 Asahi Glass Co Ltd 溶剤組成物
JP4270799B2 (ja) 2002-03-22 2009-06-03 オリンパス株式会社 画像記録装置
JP3833650B2 (ja) * 2003-12-04 2006-10-18 関東化学株式会社 低分子型有機el素子製造の真空蒸着工程において使用するマスクの洗浄液組成物および洗浄方法
JP4182062B2 (ja) 2005-01-21 2008-11-19 新明和工業株式会社 車両の荷役装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010242097A (ja) 2010-10-28
DE602004013154T2 (de) 2009-05-14
EP1867709B1 (en) 2009-11-18
WO2005001015A1 (ja) 2005-01-06
CA2530180C (en) 2011-05-24
AU2004252335B2 (en) 2009-04-09
SG161108A1 (en) 2010-05-27
EP1640443B1 (en) 2008-04-16
CN1809627A (zh) 2006-07-26
AU2004252335A1 (en) 2005-01-06
KR20100123928A (ko) 2010-11-25
AU2009200896B2 (en) 2010-11-11
AU2009200896A1 (en) 2009-03-26
ATE449156T1 (de) 2009-12-15
KR101080657B1 (ko) 2011-11-08
EP1640443A4 (en) 2006-12-06
DE602004013154D1 (de) 2008-05-29
ES2335362T3 (es) 2010-03-25
CN100412184C (zh) 2008-08-20
US20060135390A1 (en) 2006-06-22
EP1867709A1 (en) 2007-12-19
KR20060029217A (ko) 2006-04-05
US7662192B2 (en) 2010-02-16
JP4655931B2 (ja) 2011-03-23
JPWO2005001015A1 (ja) 2006-08-10
EP1640443A1 (en) 2006-03-29
DE602004024253D1 (de) 2009-12-31
ATE392466T1 (de) 2008-05-15
KR101026095B1 (ko) 2011-03-31
CA2530180A1 (en) 2005-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101080657B1 (ko) 세정 헹굼 방법
KR950010446B1 (ko) 세정방법
WO1992003205A1 (fr) Procede et dispositif de nettoyage
US7799750B2 (en) Solvent composition for cleaning
JPH06322394A (ja) ペンタフルオロブタンを含む組成物及びその組成物の使用
JP2017043680A (ja) 洗浄用溶剤組成物
JP2015081292A (ja) 洗浄剤
KR100502532B1 (ko) 마이크로에멀젼을 사용한 유기 및/또는 무기 오염물의제거에 의한 고형 표면의 세정 방법
JP5448625B2 (ja) リンス工程のない洗浄方法及び洗浄装置
JP6098473B2 (ja) カーボネート系洗浄剤
JP6100669B2 (ja) 洗浄液組成物
CN112074591B (zh) 包含全氟庚烯的三元和四元共沸物组合物和类共沸物组合物
KR101386531B1 (ko) 세정제 조성물
JP2656450B2 (ja) 乾燥方法
JPH0959680A (ja) 共沸様洗浄剤組成物
JP2002241794A (ja) 光学部品用洗浄液組成物
JP2651453B2 (ja) 洗浄組成物
SU720008A1 (ru) Моющее средство дл очистки узлов и блоков радиоэлектронной аппаратуры
JP2656450C (es)