DE60225384T2 - Trägheitswandler - Google Patents

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DE60225384T2
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Shigehiro Kashiwara-shi YOSHIUCHI
Shusaku Osaka-shi KAWASAKI
Toshiyuki Kyoto-shi NOZOE
Takeshi Hirakata-shi Uemura
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Panasonic Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00Details of instruments
    • G01P1/02Housings
    • G01P1/023Housings for acceleration measuring devices

Description

  • GEBIET DER TECHNIK
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Trägheit erfassenden Wandler zur Verwendung in Kraftfahrzeugen, Flugzeugen, Schiffen und ähnlichen Beförderungsmitteln, Fotoapparaten, Videocameras und ähnlichen Abbildungsgeräten sowie in Eingabevorrichtungen für Elektronikgeräte usw.
  • TECHNISCHER HINTERGRUND
  • Zu den Anwendungsgebieten eines Trägheit erfassenden Wandlers gehört eine Videocamera. Einer bekannten Konfiguration solcher Wandler zufolge sind das Detektorelement und die Schaltkreiskomponente in einem Gehäuse untergebracht.
  • In der Struktur, bei der eine Schaltkreiskomponente und ein Detektorelement in einem einzigen Gehäuse untergebracht sind, ist das Detektorelement der Gefahr einer Verunreinigung mit Gas oder organischer Materie ausgesetzt, die von dem Harzkleber verdampfen, der zur Befestigung der Schaltkreiskomponente im Gehäuse verwendet wird. Lot und Flussmittel, die zur Verbindung der Schaltkreiskomponente verwendet werden, können ebenfalls eine Quelle der Verunreinigung sein. Die Verunreinigung führt zu einer Verschlechterung der Detektoreigenschaften des Detektorelements.
  • In jüngster Zeit wird ein an beiden Enden offenes Gehäuse mit einer Trennwand verwendet, um zwei Kammern bereitzustellen, die eine Kammer für die Unterbringung eines Detektorelements und die andere für die Unterbringung einer Schaltkreiskomponente. Es wird dadurch beabsichtigt, das Gas oder die organische Materie, die vom Harzkleber wie auch von Lot und Flussmittel erzeugt werden, die zur Verbindung der Schaltkreiskomponente verwendet werden, daran zu hindern, in die Kammer des Detektorelements einzudringen.
  • In der oben genannten Zweikammerkonfiguration wird ein Detektorelement in die eine Kammer montiert, und die Detektoreigenschaften werden eingestellt, dann wird ein Schaltkreiselement in die andere Kammer montiert, und die Eigenschaften werden nach dem Einstellen überprüft.
  • Wenn während der Montage oder der Einstellung der Eigenschaften eine Schaltkreiskomponente unbeabsichtigt beschädigt wird, muss nicht nur die Schaltkreiskomponente selbst weggeworfen werden, sondern das gesamte Detektorelement sowie das Gehäuse müssen weggeworfen werden. Dies ist ein wesentlicher Kostennachteil.
  • Selbst wenn die Reihenfolge des Zusammenbaus umgekehrt wird, indem nämlich zuerst eine Schaltkreiskomponente und dann ein Detektorelement montiert wird, sind ähnliche Nachteile unvermeidlich.
  • Es mag möglich sein, eine beschädigte Schaltkreiskomponente zu ersetzen, indem die beschädigte Komponente aus der anderen Kammer des Gehäuses entfernt wird. Eine Schaltkreiskomponente zu entfernen, die am Gehäuse mit Harzkleber und Lot befestigt ist, ist aber keine leichte Arbeit. Selbst wenn eine Schaltkreiskomponente erfolgreich entfernt wird, ist möglicherweise das Gehäuse mechanisch verformt.
  • Es kann auf JP-A-08 043 435 Bezug genommen werden, wo die Merkmale des Oberbegriffs der vorliegenden Erfindung offenbart werden. Ferner kann auf EP-A-0 886 144 und JP-A-08 114 622 Bezug genommen werden.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung wird in den Ansprüchen definiert.
  • Ein Vorteil, der von der vorliegenden Erfindung angestrebt wird, besteht darin, dass sie einen Trägheit erfassenden Wandler zur Verfügung stellen kann, der eine hohe Zuverlässigkeit am Detektorelement aufweist. Wenn ein Teil des Trägheit erfassenden Wandlers beschädigt wird, kann sowohl das Detektorelement als auch die Schaltkreiskomponente, die unbeschädigt geblieben sind, für eine Wiederverwendung geborgen werden.
  • In einer Konfiguration der vorliegenden Erfindung kann das Detektorelement, das die Schlüsselkomponente des Sensors ist, von der Abscheidung von Gas und organischer Materie freigehalten werden, die vom Harzkleber erzeugt werden, der zur Befestigung einer Schaltkreiskomponente verwendet wird, und ebenso vom Anhaften von Lot und Flussmittel. Daher bewahrt das Detektorelement des Trägheit erfassenden Wandlers der vorliegenden Erfindung eine hohe Zuverlässigkeit. Des Weiteren kann selbst bei Teilbeschädigung des Trägheit erfassenden Wandlers sowohl das Detektorelement als auch die Schaltkreiskomponente, die intakt geblieben sind, wiederverwendet werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer ersten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 2 ist eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht gemäss einer ersten beispielhaften Ausrüstung.
  • 3 ist eine Vorderansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer ersten beispielhaften Ausrüstung.
  • 4 ist eine Draufsicht des Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer ersten beispielhaften Ausrüstung.
  • 5 ist eine Draufsicht des ersten Gehäuses in der ersten Ausführungsform mit einer darauf montierten aktiven Komponente.
  • 6 ist eine halb geschnittene Ansicht des ersten Gehäuses mit der darauf montierten aktiven Komponente in der ersten Ausführungsform.
  • 7 ist eine Draufsicht einer Detektoreinheit in der ersten beispielhaften Ausführungsform, von der die Abschirmplatte entfernt wurde.
  • 8 ist eine Querschnittsansicht der Detektoreinheit von vorn.
  • 9 ist ein Blockdiagramm, das den elektrischen Schaltkreis in der ersten Ausführungsform zeigt.
  • 10 ist eine Draufsicht des ersten Gehäuses des Trägheit erfassenden Wandlers mit auf der Oberseite angeordneten Prüfelektroden.
  • 11 ist eine Querschnittsansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer zweiten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung von vorn.
  • 12 ist eine Querschnittsansicht von vorn, die den Trägheit erfassenden Wandler in einem getrennten Zustand zeigt.
  • 13 ist eine Querschnittsansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer dritten bespielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung von vorn.
  • 14 ist eine Draufsicht des Trägheit erfassenden Wandlers.
  • 15 ist eine Querschnittsansicht eines Schlüsselteils eines Trägheit erfassenden Wandlers, um eine vierte beispielhafte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu beschreiben.
  • 16 ist eine Vorderansicht, die einen Trägheit erfassenden Wandler gemäss einer fünften beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 17 zeigt die Draufsicht eines elastischen Gliedes in der fünften Ausführungsform.
  • 18 zeigt die Draufsicht eines elastischen Gliedes eines Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer sechsten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 19 ist die Querschnittsansicht des Wandlers einer sechsten beispielhaften Ausführungsform von vorn.
  • 20 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Trägheit erfassenden Wandler gemäss einer siebenten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 21 ist eine Querschnittsansicht des Trägheit erfassenden Wandlers in der siebenten Ausführungsform.
  • EINGEHENDE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Im Folgenden werden nun beispielhafte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen 1 bis 21 beschrieben.
  • (Ausführungsform 1)
  • 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer ersten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 2 ist die auseinandergezogene perspektivische Ansicht. 3 zeigt die Vorderansicht, 4 die Draufsicht.
  • 5 zeigt eine Draufsicht eines ersten Gehäuses mit der in der beispielhaften Ausführungsform montierten aktiven Komponente. 6 ist die halb geschnittene Vorderansicht.
  • 7 zeigt eine Draufsicht einer Detektoreinheit in Ausführungsform 1, wobei die Abschirmplatte entfernt ist. 8 ist die Querschnittsansicht von vorn.
  • 9 ist ein elektrisches Blockdiagramm in Ausführungsform 1.
  • 10 ist eine Draufsicht eines ersten Gehäuses eines Trägheit erfassenden Wandlers in Ausführungsform 1 mit auf der Oberseite angeordneten Prüfelektroden.
  • Auf 1 bis 10 Bezug nehmend, sind das erste Gehäuse 1 und das zweite Gehäuse 2 beide aus laminierten Keramikplatten gebildet. Die Gehäuse sind kastenförmig und haben eine Öffnung in der Oberseite, wie in 2, 5 und 6 veranschaulicht. Innerhalb des ersten Gehäuses 1 ist eine aktive Vorrichtung 2, die aus einem nackten Chip besteht, der eines der wichtigen Einzelelemente der Schaltkreiskomponenten ist, mit einem Kleber montiert und befestigt.
  • An einer Umfassungswand 3 des ersten Gehäuses 1 sind passive Vorrichtungen 4a bis 4e angebracht, die weitere wichtige Einzelelemente der Schaltkreiskomponenten sind. Im vorliegenden Beispiel werden der Chipwiderstand und der Chipkondensator als passive Vorrichtungen 4a bis 4e verwendet.
  • Die passiven Komponenten sind in der vorliegenden Ausführungsform auf die Oberseite der Umfassungswand 3 montiert. Daher kann, wenn die passiven Komponenten bei der Montage durch Lot oder einen leitfähigen Kleber mit der Oberfläche verbunden werden, das Lot oder der leitfähige Kleber durch ein Siebdruckverfahren auf die Oberfläche aufgebracht werden. Das Siebdruckverfahren gewährt eine hohe Produktivität.
  • Die Detektoreinheit 5 ist am ersten Gehäuse 1 angebracht und überdeckt die Öffnung des ersten Gehäuses 1. Wie in 1 bis 3, 7 und 8 gezeigt, gehören zur Detektoreinheit 5 ein zweites Gehäuse 6, ein Fugenring 9, ein Quarzoszillator 7 und eine metallische Abschirmplatte 8.
  • Das zweite Gehäuse 6 besteht aus einem laminierten Keramikkörper, der eine Öffnung in der Oberseite hat. Der Fugenring 9 ist auf einer Umfassungswand 10 des zweiten Gehäuses 6 befestigt. Der Quarzoszillator 7 ist eine Detektorvorrichtung für die Erfassung einer Trägheitskraft und ist innen im zweiten Gehäuse 6 montiert. Die Trägheitskraft wird durch den Quarzoszillator 7 in Gestalt einer Änderung der elektrischen Ladung erfasst, die in Übereinstimmung mit der darauf wirkenden Trägheitskraft erzeugt wird.
  • Die metallische Abschirmplatte 8 schliesst als Abdichtplatte die Öffnung des zweiten Gehäuses 6 ab.
  • Der Quarzoszillator 7 ist im zweiten Gehäuse 6 dicht eingeschlossen, indem die Abschirmplatte 8 auf den Fugenring 9 aufgeschweisst wird, wie in 8 veranschaulicht.
  • Neben dem soeben beschriebenen Schweissverfahren kann der hermetische Abschluss auch durch Glas, Lot, Au-Sn usw. erreicht werden.
  • Die Umfassungswand 10 des zweiten Gehäuses 6 ist mit einem Einschnitt für sechs Plätze auf der äusseren Seitenwand versehen, wie in 1, 2 und 7 veranschaulicht. Zweite Verbindungselektroden 11a bis 11f stehen auf den Einschnitten zur Verfügung und sind so ausgebildet, dass sie die ausgeschnittene Fläche sowie einen Teil der Bodenfläche überdecken. Die zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11e sind elektrisch mit dem Quarzoszillator 7 gekoppelt, wie in 9 gezeigt. Die zweite Verbindungselektrode 11f ist die Erdungselektrode (GND), die elektrisch mit dem zweiten Gehäuse 6 und dem Fugenring 9 verbunden ist und zusammen mit der Abschirmplatte 8 geerdet ist.
  • Inzwischen ist die in das erste Gehäuse 1 montierte aktive Vorrichtung 2 elektrisch über Draht 12 mit Elektroden 13 verbunden, die im ersten Gehäuse 1 zur Verfügung stehen, wie in 2, 5 und 6 veranschaulicht. Das erste Gehäuse 1 ist, wie in 1, 2 und 5 veranschaulicht, weiter mit sechs ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f auf der Oberseite der Umfassungswand 3 versehen, je eine zur Verbindung mit einer der Elektroden 13.
  • Die ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und die zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f sind elektrisch mit den jeweiligen Gegenstücken durch leitfähigen Kleber oder Lot verbunden: die erste Verbindungselektrode 14a mit der zweiten Verbindungselektrode 11a, die erste Verbindungselektrode 14b mit der zweiten Verbindungselektrode 11b, die erste Verbindungselektrode 14c mit der zweiten Verbindungselektrode 11c, die erste Verbindungselektrode 14d mit der zweiten Verbindungselektrode 11d, die erste Verbindungselektrode 14e mit der zweiten Verbindungselektrode 11e und die erste Verbindungselektrode 14f mit der zweiten Verbindungselektrode 11f.
  • Wie in 7 gezeigt, sind die zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11d in der Umfassungswand 10 des zweiten Gehäuses 6 an den vier Ecken der äusseren Seitenwandfläche angeordnet. Die ersten Elektroden 14a bis 14d sind an den Stellen angeordnet, die den zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11d entsprechen. Wenn eine Verbindung unter Verwendung von Lot oder einem ähnlichen leitfähigen Kleber hergestellt wird, kann die Detektoreinheit 5 relativ zum ersten Gehäuse 1 selbsttätig ausgerichtet werden, indem die Oberflächenspannung des härtenden Lots genutzt wird.
  • Der Vorteil der selbsttätigen Ausrichtung offenbart seine Bedeutung, wenn die Verbindung durch einen Reflow-Lötvorgang zustande gebracht wird.
  • Die passiven Vorrichtungen 4a bis 4e sind ebenfalls durch Lot mit den entsprechenden, auf dem ersten Gehäuse 1 zur Verfügung stehenden Mustern elektrisch verbunden.
  • So wird die elektrische Verbindung zwischen Quarzoszillator 7, aktiver Vorrichtung 2 und den passiven Vorrichtungen 4a bis 4e vervollständigt.
  • Die aktive Vorrichtung 2 kann statt durch Drahtverbindung 12 durch ein Flip-Tip-Montageverfahren mit den Elektroden 13 verbunden werden.
  • Nachdem die elektrische Verbindung zwischen den ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und den zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f vollendet ist, wird am zweiten Gehäuse 6 zum Zweck der Haftung und Abdichtung ein Harz 15 aussen um den Boden herum aufgebracht, wie in 3 und 4 gezeigt. So wird das zweite Gehäuse 6 fest auf der Oberseite der Umfassungswand 3 des ersten Gehäuses 1 angebracht. Folglich wird die Öffnung auf der Oberseite des ersten Gehäuses 1 durch das zweite Gehäuse 6 verschlossen und abgedichtet, wodurch die aktive Vorrichtung 2 sicher geschützt wird.
  • Eine Harzverkapselung der aktiven Vorrichtung 2 kann durch Einführung der oben beschriebenen Abdichtbehandlung entfallen. In einem Spezialfall, wo die aktive Vorrichtung 2 ein höheres Ausmass von Schutz braucht, kann eine Harzverkapselung zusätzlich angewendet werden.
  • Das erste Gehäuse 1 ist mit Einschnitten auf der Aussenseite der Umfassungswand 3 versehen, wie in 1 bis 5 und 10 gezeigt. An den entsprechenden Einschnitten stehen äussere Elektroden 16a bis 16d und Prüfelektroden 15e bis 16h zur Verfügung. Die äusseren Elektroden 16a, 16b, 16c und 16d sind so ausgebildet, dass sie die ausgeschnittene Fläche überdecken und sich zu einem Teil der Bodenfläche des ersten Gehäuses 1 hin erstrecken. Die äussere Elektrode 16a dient als Stromversorgungsanschluss (Vcc), die äussere Elektrode 16b dient als Ausgangsanschluss (OUT), die äusseren Elektroden 16c und 16d dienen dem Erdanschluss.
  • Die Prüfelektroden 16e, 16f, 16g und 16h sind in dem Bereich angeordnet, der um einen bestimmten, spezifisch vorbestimmten Abstand über dem Bodenniveau des ersten Gehäuses liegt. Dadurch wird verhindert, dass die Prüfelektroden einen Kurzschlusskontakt mit einem leitfähigen Muster der Leiterplatte haben, auf die das erste Gehäuse montiert ist.
  • Die Prüfelektroden 16e bis 16h werden verwendet, um Daten in den Speicherabschnitt der aktiven Vorrichtung 2 zu schreiben und verschiedene Arten von Überprüfungen auszuführen. Dadurch wird ermöglicht, Prüfungen auszuführen, während die passiven Komponenten ins erste Gehäuse montiert werden. Es erweist sich ferner als möglich, einen Trägheit erfassenden Wandler im fertigen Zustand zu prüfen.
  • Auf 10 Bezug nehmend, stehen Prüfelektroden 16i bis 16l auf der Oberseite der Umfassungswand 3 des ersten Gehäuses 1 zur Verfügung. Bei der vorliegenden Konfiguration kann eine Prüfsonde von oben her Kontakt mit den Prüfelektroden 16i bis 16l herstellen. Die Inspektion kann erfolgen, während eine passive Komponente in das erste Gehäuse montiert wird.
  • Die äusseren Elektroden 16a bis 16d befinden sich an den vier Ecken der äusseren Wandfläche der Umfassungswand 3 des ersten Gehäuses 1. Diese Konfiguration ist von Vorteil, wenn ein Trägheit erfassender Wandler durch Reflow-Löten oder einen ähnlichen automatisierten Lötprozess auf eine Leiterplatte montiert wird. Ein Trägheit erfassender Wandler kann nämlich selbsttätig ausgerichtet werden, indem die Oberflächenspannung genutzt wird, die durch ein hart werdendes Lot erzeugt wird. So können mögliche Versetzungsfehler während des Montagevorganges auf ein Minimum reduziert werden.
  • (Ausführungsform 2)
  • 11 und 12 zeigen die Querschnittsansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers von vorn sowie seine auseinandergezogene Querschnittsansicht in einer zweiten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • In der vorliegenden Ausführungsform 2 werden diejenigen wichtigen Einzelkomponenten, die mit denen der Ausführungsform 1 identisch sind, durch Verwendung der gleichen Bezugszahlen dargestellt, und ihre eingehende Beschreibung entfällt. Nur unterschiedliche Punkte werden eingehend beschrieben.
  • Im ersten Gehäuse 1A ist ein treppenförmiger Teil 3B einschliesslich einer Vertiefung an der Innenseite der Oberseite der Umfassungswand 3A ausgebildet. Der treppenförmige Teil 3B trägt das zweite Gehäuse 6. Ein zweites Gehäuse 6 kann automatisch an die bezüglich des ersten Gehäuses 1A richtige Stelle gebracht werden, indem einfach das zweite Gehäuse 6 auf den treppenförmigen Teil 3B aufgepasst wird. Folglich werden auch die ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und die zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f an die richtige relative Position gebracht. Daher können die betreffenden Elektroden mit hoher Zuverlässigkeit elektrisch verbunden werden. Die Öffnung des ersten Gehäuses 1A kann in der vorliegenden Ausführungsform durch das zweite Gehäuse 6 sicher verschlossen und abgedichtet werden.
  • (Ausführungsform 3)
  • 13 und 14 zeigen die Querschnittsansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers von vorn und seine Draufsicht in einer dritten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • In der vorliegenden Ausführungsform 3 werden diejenigen wichtigen Einzelkomponenten, die mit denen der Ausführungsform 1 und der Ausführungsform 2 identisch sind, durch Verwendung der gleichen Bezugszahlen dargestellt, und ihre eingehende Beschreibung entfällt. Nur unterschiedliche Punkte werden eingehend beschrieben.
  • Wie in 13 veranschaulicht, ist die Umfassungswand 3C des ersten Gehäuses 1B in der Höhe ausgedehnt worden, um höher als die Umfassungswand 3A in Ausführungsform 2 zu sein. Konkret ist das Niveau der Oberseite der Umfassungswand 3C höher als das der zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f (die Bezugszahlen sind in der Zeichnung nicht angegeben) des zweiten Gehäuses 6.
  • An der obersten Stelle der Umfassungswand C steht eine Abschirmelektrode 17 zur Verfügung, die im Wesentlichen die gesamte Fläche überdeckt, wobei vermieden wird, mit den passiven Vorrichtungen 4a bis 4e in Berührung zu kommen, wie in 14 gezeigt. Die Abschirmelektrode 17 ist über einen in der Umfassungswand 3C ausgebildeten, leitenden Kanal 20 elektrisch mit dem Erdungsanschluss verbunden, nämlich der äusseren Elektrode 16c oder der äusseren Elektrode 16d. Die Bezugszahlen für die äusseren Elektroden 16c und 16d sind in der Zeichnung nicht angegeben.
  • Die Abschirmelektrode 17 ist wirksam, um die jeweiligen Verbindungsabschnitte zwischen den ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und den zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f vor Rauschen von aussen zu schützen. Weiter ist die Abschirmelektrode 17 wirksam, um die aktive Vorrichtung 2 vor einer möglichen elektrostatischen Schädigung zu schützen, die durch Berührung mit den Fingern eines Montagearbeiters verursacht werden könnte. Die Bezugszahlen 11a bis 11f und 14a bis 14f sind in der Zeichnung nicht angegeben.
  • Die Ausdehnung der Umfassungswand 3C nach oben erschwert die Zufuhr von Lot zu jedem der Verbindungspunkte zwischen den ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und den zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f. Um Lot leicht einspritzen zu können, werden Einschnitte 18a bis 18f zu einer Tiefe ausgeführt, die das Niveau des treppenförmigen Teils 3B an den Stellen erreicht, die den ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und den zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f entsprechen. Das Lot wird in die Einschnitte 18a bis 18f eingespritzt, und es wird gewährleistet, dass die Kopplung zwischen den ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und den zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f eine stabile elektrische Verbindung ist.
  • Das Lot wird nur ins Innere der Leerräume 18a bis 18f eingespritzt. Das eingespritzte Lot wird für Haftung und Abdichtung mit einem (nicht gezeigten) Harz 15 überdeckt. Dadurch wird ein unbeabsichtigter Kurzschluss zwischen der Abschirmelektrode 17 und den ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f bzw. den zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f verhindert.
  • Das oben beschriebene Verfahren, Lot und leitenden Kleber über die Einschnitte 18a bis 18f einzuspritzen, macht es leicht und sicher, die ersten Verbindungselektroden mit den zweiten Verbindungselektroden zu verbinden. Im Ergebnis kann die Fläche der ersten und zweiten Verbindungselektroden verringert werden. Das bedeutet einen leichteren Schutz gegen äusseres Rauschen.
  • Da sich die Elektroden in den Einschnitten 18a bis 18f befinden, wird die Klebwirkung des leitfähigen Klebemittels verstärkt.
  • Da des Weiteren der leitfähige Kleber nur auf einem niedrigeren Niveau als die Öffnung der Einschnitte 18a bis 18f angewendet wird, verursacht der leitfähige Kleber keinen Kurzschluss zwischen der Abschirmelektrode und den ersten und/oder zweiten Verbindungselektroden.
  • (Ausführungsform 4)
  • 15 ist eine Querschnittsansicht eines Schlüsselteils, um einen Trägheit erfassenden Wandler in einer vierten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu beschreiben.
  • In der vorliegenden Ausführungsform 4 werden diejenigen wichtigen Einzelkomponenten, die mit denen der Ausführungsformen 1 bis 3 identisch sind, durch Verwendung der gleichen Bezugszahlen dargestellt, und ihre eingehende Beschreibung entfällt. Nur unterschiedliche Punkte werden eingehend beschrieben.
  • 15 zeigt eine entlang der in 14 angedeuteten Linie B-B geschnittene Querschnittsansicht.
  • 15 liefert eine detaillierte Veranschaulichtung eines im ersten Gehäuse 1C angebrachten Loches 19. Das Loch verläuft vom treppenförmigen Teil 3B aus nach unten, und sein Durchmesser verringert sich in einer bestimmten Tiefe und weiter. Wenn die ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und die zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f durch Lot alle mit ihren entsprechenden Gegenstücken verbunden werden, wirkt das Loch 19 so, dass mögliche Kurzschlussstörungen verhindert werden, die durch Lot verursacht werden, das sich ausserhalb des Bereichs der ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und der zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f ausbreitet. Das Loch 19 nimmt nämlich das überflüssige Lot in sich auf.
  • Wenn das Loch 19 ein gerades Loch ist, kann das Lot durch das Loch laufen, um in das erste Gehäuse 1C auszufliessen. Der verringerte Lochdurchmesser verhindert ein Ausfliessen des Lots.
  • So wird verhindert, dass Lot und leitfähiger Kleber durch das Loch austreten. Im Ergebnis werden mögliche Störungen bei der elektrischen Verbindung zwischen den ersten Verbindungselektroden und den zweiten Verbindungselektroden verhindert.
  • (Ausführungsform 5)
  • 16 und 17 zeigen eine Vorderansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer fünften beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bzw. eine Draufsicht des elastischen Gliedes.
  • In der vorliegenden Ausführungsform 5 werden diejenigen wichtigen Einzelkomponenten, die mit denen der Ausführungsform 1 identisch sind, durch Verwendung der gleichen Bezugszahlen dargestellt, und ihre eingehende Beschreibung entfällt. Nur unterschiedliche Punkte werden eingehend beschrieben.
  • Wie in 16 gezeigt, sind das erste Gehäuse 1 und das zweite Gehäuse 6 über ein dünnes elastisches Glied 21 verbunden und elektrisch gekoppelt. Das elastische Glied 21 ist mit dritten Verbindungselektroden 22a bis 22f versehen, deren jede sich so erstreckt, dass sie beide Oberflächen an den Stellen, die den ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und den zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f entsprechen, überdecken, wie in 17 gezeigt. Das elastische Glied 21 ist integral aus einem isolierenden Siliconmaterial und einem leitfähigen Material aus kohlenstoffhaltigem Silicon gebildet.
  • Die ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und die dritten Verbindungselektroden 22a bis 22f werden an den jeweils entsprechenden Elektroden mit Lot verbunden; ebenso die zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11b und die dritten Verbindungselektroden 22a bis 22f. Dadurch wird die Detektoreinheit 5 elastisch gehalten.
  • In der oben beschriebenen Konfiguration wird das Detektorelement, das innerhalb des zweiten Gehäuses montiert ist, elastisch gehalten. Dadurch wird eine Verschlechterung des Detektorsignalniveaus des Detektorelements unterdrückt, was dazu beiträgt, stabile Betriebseigenschaften zu verschaffen.
  • Die Grundfläche des elastischen Gliedes ist im Wesentlichen mit der Fläche identisch, über die hinweg das erste und zweite Gehäuse überlappen. Weiter ist das elastische Glied mit dritten Verbindungselektroden versehen, um die ersten Verbindungselektroden und die zweiten Verbindungselektroden elektrisch zusammenzukoppeln. Im Ergebnis werden die Gehäuse einschliesslich des Elektrodenabschnitts elastisch zusammengekoppelt.
  • Die vorliegende Ausführungsform 5 hat das Ziel, eine Detektoreinheit 5 elastisch zu halten. Daher wird eine Befestigung der Detektoreinheit 5 mit Harz 15 zum Kleben und Abdichten, wie es in der Ausführungsform 1 verwendet worden war, hier in der Ausführungsform 5 nicht verwendet.
  • Obwohl in der Beschreibung der vorliegenden Ausführungsform 5 ein Silicon als isolierendes Material des elastischen Gliedes 21 verwendet wird, kann jedes andere Material verwendet werden, soweit es eine elastische Eigenschaft besitzt, die für die Vibrationsschutzleistung geeignet ist.
  • Das elastische Glied der vorliegenden Ausführungsform kann mit den zuvor in den Ausführungsformen 1 bis 4 beschriebenen Strukturen integriert werden.
  • Eine Integration des elastischen Gliedes mit den anderen Strukturen wird neue Vorteile schaffen, in denen die durch die ursprüngliche Konfiguration geschaffenen innewohnenden Merkmale und die aus der Elastizität hervorgehenden Vorteile gut kombiniert sind. Somit wird sie nützlichere Vorteile zur Verfügung stellen.
  • (Ausführungsform 6)
  • 18 und 19 zeigen eine Draufsicht eines elastischen Gliedes eines Trägheit erfassenden Wandlers sowie seine Querschnittsansicht von vorn gemäss einer sechsten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • In der vorliegenden Ausführungsform 6 wird das elastische Glied 21 von 16 durch eine andere Entsprechung aus einem anderen Material ersetzt.
  • Auf 18 und 19 Bezug nehmend, wird ein elastisches Glied 21A aus einem isolierenden Siliconmaterial 23a und einem kohlenstoffhaltigen, leitenden Material 23b gebildet, die in bestimmten, vorgegebenen gleichen Abständen miteinander verbunden, laminiert und zu einer bestimmten Dicke geschnitten wurden. Dies wird anisotroper Leitgummi genannt. Das so zur Verfügung gestellte elastische Glied 21A macht es möglich, die ersten Verbindungselektroden 14a bis 14f und die zweiten Verbindungselektroden 11a bis 11f bei den ihnen entsprechenden Elektroden zu koppeln, ohne die in der Ausführungsform 5 beschriebenen dritten Elektroden zu verwenden.
  • Obwohl in der Beschreibung der vorliegenden Ausführungsform ein Silicon als isolierendes Material des elastischen Gliedes 21A verwendet wird, können beliebige andere Materialien verwendet werden, soweit sie eine elastische Eigenschaft besitzen, die für die Vibrationsschutzleistung geeignet ist.
  • Das elastische Glied der vorliegenden Ausführungsform kann mit den zuvor in den Ausführungsformen 1 bis 5 beschriebenen Strukturen integriert werden.
  • Eine Integration des elastischen Gliedes der vorliegenden Ausführungsform mit den anderen Strukturen wird neue Vorteile schaffen, in denen die durch die ursprüngliche Konfiguration geschaffenen innewohnenden Merkmale und die durch das elastische Glied zustande kommenden Vorteile gut kombiniert sind. Somit wird sie nützlichere Vorteile zur Verfügung stellen.
  • (Ausführungsform 7)
  • 20 und 21 zeigen eine perspektivische Ansicht bzw. eine Querschnittsansicht eines Trägheit erfassenden Wandlers gemäss einer siebenten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • In der vorliegenden Ausführungsform werden diejenigen wichtigen Einzelkomponenten, die mit denen der Ausführungsform 1 identisch sind, durch Verwendung der gleichen Bezugszahlen dargestellt, und ihre eingehende Beschreibung entfällt. Nur unterschiedliche Punkte werden eingehend beschrieben.
  • Wie in 20 gezeigt, sind Anschlusspole 24a bis 24d durch Hartlöten an den äusseren Elektroden 16m bis 16p auf dem ersten Gehäuse 1D angebracht. Die Anschlusspole 24a bis 24d bestehen aus einem mit leitfähigem Lot überzogenen Stahlblech in einer Grösse, die für ein Einsetzen in Rundlöcher einer Montageplatte geeignet ist.
  • Die Anschlussstücke 24a bis 24d können zur gleichen Zeit angebracht werden, zu der das erste Gehäuse 1D mit einem Laminierverfahren hergestellt wird. Zum Beispiel können Anschlussstücke 24a bis 24d in Streifenform während der Herstellung des ersten Gehäuses 1D durch Laminieren keramischer Platten laminiert werden. Die Leitung zwischen betreffenden Schichten äusserer Elektroden sowie die Verbindung zwischen betreffneden äusseren Elektroden und den Anschlusspolen 24a bis 24d werden auch gleichzeitig erreicht. Danach werden die Anschlusspole 24a bis 24d zu einer konkreten, vorausbestimmten Gestalt gebogen.
  • Wenn ein Trägheit erfassender Wandler mit Hilfe der Anschlussstücke 24a bis 24d auf eine Platte montiert wird, kann er mit verbesserter Genauigkeit auf eine Stelle montiert werden. Weiter eröffnet die Montage mittels der Anschlusspole den Weg, die Trägheit erfassenden Wandler für eine gedruckte Leiterplatte zu verwenden, auf der eine Oberflächenmontage nicht möglich ist, sowie unter rauen Betriebsbedingungen wie in einem Kraftfahrzeug, wo die Anforderungen an die Zuverlässigkeit der Montage strenger sind.
  • Die Anschlusspole 24a bis 24d können integral mit dem ersten Gehäuse 1D hergestellt werden. In diesem Falle ist die Zuverlässigkeit um einen weiteren Schritt verbessert.
  • Die Beschreibungen in den obigen Ausführungsformen 1 bis 7 beruhen auf der Herstellung des ersten und des zweiten Gehäuses in Gestalt laminierter Keramikplatten. Neben der aus laminierten Platten gebildeten Struktur können die Gehäuse auf andere Weise zur Verfügung gestellt werden, zum Beispiel durch Formen oder maschinelle Bearbeitung eines Barrens. Ausser dem keramischen Werkstoff können natürlich andere Arten von Werkstoffen wie Glas-Epoxid-Material verwendet werden, um die Gehäuse zu liefern.
  • Obwohl die Beschreibungen der Ausführungsformen 1 bis 7 auf einer Detektorvorrichtung mit Quarzoszillator beruhen, ist es nicht die Absicht der vorliegenden Erfindung, die Detektorvorrichtung auf einen Quarzoszillator zu beschränken. Jegliches anderes Material kann für den Zweck verwendet werden, solange sich seine physikalische Grösse in Übereinstimmung mit der Trägheit ändert und der Betrag der Änderung als ein elektrisches Signal erfasst wird.
  • INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
  • In einem Trägheit erfassenden Wandler der vorliegenden Erfindung hat ein erstes Gehäuse eine Öffnung und eine darin montierte Schaltkreiskomponente. Das Gehäuse ist mit äusseren Elektroden und ersten Verbindungselektroden versehen. Ein Detektorelement ist in ein zweites Gehäuse montiert, von dem eine Öffnung mit einer Abdichtplatte dicht verschlossen ist, und das Gehäuse ist mit zweiten Verbindungselektroden versehen. Das zweite Gehäuse wird so am ersten Gehäuse angebracht, dass ersteres die Öffnung des letzteren überdeckt. Die zweiten und ersten Verbindungselektroden werden elektrisch gekoppelt.
  • Dadurch wird ein Detektorelement, das die Schlüsselkomponente des Sensors ist, von der Abscheidung von Gas und organischer Materie, die aus einem Harzkleber erzeugt werden, der für die Befestigung einer Schaltkreiskomponente verwendet wird, sowie von einem Verspritzen von Lot und Flussmaterial frei gehalten.
  • Somit werden Trägheit erfassende Wandler mit einem hoch zuverlässigen Detektorelement hergestellt. Ausserdem können, selbst wenn der Trägheit erfassende Wandler während der Montage der Schaltkreiskomponenten oder der Einstellung der Eigenschaften teilweise beschädigt wird, sowohl das Detektorelement als auch die Schaltkreiskomponenten, die unbeschädigt geblieben sind, wieder verwendet werden.
  • Obwohl die vorangehenden Beschreibungen bezüglich des Trägheit erfassenden Wandlers für eine Erfassung der Trägheit gegeben worden sind, können die durch die vorliegende Erfindung vorgeschlagenen Strukturen natürlich auf jegliche andere Arten von Sensorvorrichtungen für die Erfassung physikalischer Grössen angewendet werden.
  • Bezugszahlen in den Zeichnungen
  • 1, 1A, 18, 1C, 1D
    erstes Gehäuse
    2
    aktive Vorrichtung
    3, 3A, 3C
    Umfassungswand
    3B
    treppenförmiger Teil
    4a–4e
    passive Vorrichtung
    5
    Detektoreinheit
    6
    zweites Gehäuse
    7
    Quarzoszillator
    8
    Abschirmplatte
    9
    Fugenring
    10
    Umfassungswand
    11a–11f
    zweite Verbindungselektrode
    12
    Draht
    13
    Elektrode
    14a–14f
    erste Verbindungselektrode
    15
    Harz
    16a–16d
    äussere Elektrode
    16m–16p
    äussere Elektrode
    16e–16h
    Prüfelektrode
    16i–16l
    Prüfelektrode
    17
    Abschirmelektrode
    18a–18f
    Einschnitt
    19
    Loch
    20
    leitender Kanal
    21, 21A
    elastisches Glied
    22a–22f
    dritte Verbindungselektrode
    23a
    isolierendes Material
    23b
    leitendes Material
    24a–24d
    Anschlusspol

Claims (30)

  1. Trägheit erfassender Wandler mit einem ersten Gehäuse (1) mit einer Öffnung sowie einer Aussenelektrode (16) und einer ersten Verbindungselektrode (14); einer auf das erste Gehäuse (1) montierten Schaltkreiskomponente (2, 4); und einem zusammen mit einem Detektorelement (5) montierten zweiten Gehäuse (6) mit einer von einer Abdichtplatte (8) verschlossenen Öffnung und einer zweiten Verbindungselektrode (11), worin das zweite Gehäuse am ersten Gehäuse angebracht ist, wobei das zweite Gehäuse eine Öffnung des ersten Gehäuses verdeckt und die zweite Verbindungselektrode und die erste Verbindungselektrode elektrisch gekoppelt sind; dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Gehäuse (6) auf der Oberseite der Umfassungswand (3) des ersten Gehäuses (1) einen anderen Abschnitt als einen äusseren Umfassungsabschnitt der Oberseite verdeckt, die erste Verbindungselektrode (14) auf der Oberseite der Umfassungswand (3) des ersten Gehäuses (1) angebracht ist und die zweite Verbindungselektrode (11) in einem Ausschnitt angebracht ist, der auf der Umfassungswand (10) des zweiten Gehäuses (6) angebracht ist.
  2. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussenelektrode (16) in zumindest zwei Ecken der Umfassungswand des ersten Gehäuses ausgebildet ist und einen unteren Teil einer Seitenwand sowie einen Teil der Bodenfläche des ersten Gehäuses abdeckt.
  3. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Verbindungselektrode (14) an zumindest zwei Stellen auf der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses angebracht ist, während die zweite Verbindungselektrode (11) im zweiten Gehäuse angebracht ist und einen unteren Teil sowie einen Teil der Bodenfläche der Umfassungswand an einer Stelle verdeckt, die der ersten Verbindungselektrode entspricht.
  4. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine aktive Komponente (2) innerhalb des ersten Gehäuses montiert ist, während eine passive Komponente (4) auf der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses montiert ist.
  5. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1 oder Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine Prüfelektrode (16e–g) auf einer äusseren Seitenwand der Umfassungswand des ersten Gehäuses angebracht ist und die Prüfelektrode in einem Bereich angeordnet ist, wo sie vom Boden des ersten Gehäuses durch einen vorbestimmten Abstand getrennt ist.
  6. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Prüfelektrode (16i–l) auf der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses angebracht ist und an einer Stelle in einem im Voraus bestimmten Abstand von der ersten Verbindungselektrode angeordnet ist.
  7. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Harz (15) zum Kleben und Abdichten entlang der Nachbarschaft des unteren Aussenumfangs des zweiten Gehäuses angebracht ist.
  8. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein eine Vertiefung bildender treppenförmiger Teil (3B) auf der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses angebracht ist und das zweite Gehäuse von dem treppenförmigen Teil gehalten wird.
  9. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses so angeordnet ist, dass sie sich über der zweiten Verbindungselektrode des zweiten Gehäuses befindet, und das erste Gehäuse mit einer Abschirmelektrode (17) auf der Oberseite der Umfassungswand versehen ist.
  10. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 8 oder Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ausschnitt (18) von der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses her abwärts in Richtung auf die Oberseite des treppenförmigen Teils an einer Stelle in einer inneren Seitenwand der Umfassungswand des ersten Gehäuses angebracht ist und die Stelle der zweiten Verbindungselektrode des zweiten Gehäuses entspricht.
  11. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine Elektrode auf der inneren Oberfläche des Ausschnitts angebracht ist.
  12. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 10 oder Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausschnitt nur in einem Raum unter einer Öffnung des Ausschnitts mit einem leitfähigen Kleber gefüllt ist.
  13. Trägheit erfassender Wandler nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein Loch (19) an einer Stelle im Boden des treppenförmigen Teils des ersten Gehäuses angebracht ist, die der zweiten Verbindungselektrode des zweiten Gehäuses entspricht.
  14. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser des im treppenförmigen Teil des ersten Gehäuses angebrachten Loches (19) in einem tieferen Segment abnimmt.
  15. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Verbindungselektrode und die erste Verbindungselektrode über ein elastisches Glied (21) elektrisch gekoppelt sind.
  16. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine dritte Verbindungselektrode für eine elektrische Kopplung der ersten Verbindungselektrode und der zweiten Verbindungselektrode im elastischen Glied (21) ausgebildet ist.
  17. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das elastische Glied (21) eine anisotrope Leitfähigkeit besitzt.
  18. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussenelektrode (16) in zumindest zwei Ecken der Umfassungswand des ersten Gehäuses ausgebildet ist und einen tieferen Bereich sowie einen Teil der Bodenfläche des ersten Gehäuses verdeckt.
  19. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine aktive Komponente (2) innerhalb des ersten Gehäuses montiert ist, während eine passive Komponente auf der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses montiert ist.
  20. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Gehäuse mit einer Prüfelektrode (16e–g) auf der äusseren Seitenwand der Umfassungswand versehen ist, während die Prüfelektrode durch einen gewissen, spezifischen Abstand vom Boden des ersten Gehäuses abgehoben angeordnet ist.
  21. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine Prüfelektrode (16i–l) auf der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses angebracht ist und die Prüfelektrode in einem durch einen vorbestimmten Abstand von der ersten Verbindungselektrode getrennten Bereich angeordnet ist.
  22. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass ein eine Vertiefung bildender, treppenförmiger Teil (3B) in der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses angebracht ist und das zweite Gehäuse vom treppenförmigen Teil gehalten wird.
  23. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses so angeordnet ist, dass sie sich über der zweiten Verbindungselektrode des zweiten Gehäuses befindet, und das erste Gehäuse mit einer Abschirmelektrode (17) auf der Oberseite der Umfassungswand versehen ist.
  24. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 22 oder Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ausschnitt (18) von der Oberseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses her abwärts in Richtung auf die Oberseite des treppenförmigen Teils an einer Stelle in einer inneren Seitenwand der Umfassungswand des ersten Gehäuses ausgebildet ist und die Stelle der zweiten Verbindungselektrode des zweiten Gehäuses entspricht.
  25. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass eine Elektrode auf der inneren Oberfläche des Ausschnitts angebracht ist.
  26. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 24 oder Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausschnitt nur in einem Raum unterhalb der Öffnung des Ausschnitts mit einem leitfähigen Kleber gefüllt ist.
  27. Trägheit erfassender Wandler nach einem der Ansprüche 22 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass ein Loch (19) im Boden des treppenförmigen Teils des ersten Gehäuses an einer Stelle angebracht ist, die der zweiten Verbindungselektrode des zweiten Gehäuses entspricht.
  28. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser des im treppenförmigen Teil des ersten Gehäuses angebrachten Loches in einem tieferen Segment abnimmt.
  29. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 2 oder Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussenelektrode auf der Aussenseite der Umfassungswand des ersten Gehäuses angeordnet ist und die Aussenelektrode einen Anschlusspol (24) zum Einsetzen in ein Stegloch einer Leiterplatte besitzt.
  30. Trägheit erfassender Wandler nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlusspol mit dem ersten Gehäuse integriert laminiert ist.
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