JPS58139514A - チップ状圧電振動部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 積層１ノだチップ状の圧電振動部品（、一関する。

従来より、共振子、発振子、フィルク、Ｆ　Ｍ　−ｉ’
イスクリミネータを家どの圧電振動部品としては、各庁
市振動」ニットの使用振勤王−ドの特徴により、比較的
周波数が低い数百Ｋｌの周波数帯の１？シミツクフイル
タでは、樹脂等を箱体状に成−１＋！シた外装クース内
に圧電振動１ニツ］〜を収容し！．一ケースタイプのも
のや、周波数が高い数Ｍ１−（ｌｈＩＩ：）数１０Ｍ　
＋−１　７の周波数帯のセーノーミックノｒルタ（”　
Ｌｌ−「ネルギー閉じ込め形ＩＰ電振動二１ニツ］一の
Ｉｈｖψ１１１に域を除いた区域に外装ＩＡ４　１１ｆ
ｔをイ・１着さ［！ｌ、一いわ１．＋１イ）ディップ塗
装形状のもの、あるいは表面波ｉ＋＋　ｆ　（はディッ
プ塗装形状ｂ　シ＜　ＬＪハーメ１ツノ．ノ２・−ルド
ケースを有づるｂのが　般に知られ（いろか、これら圧
電振動部品はいずれもリード端」′季（ｊりるリード端
子タイプのｂのである１。

ところで、近勾、電子機器の小形化に伴一〕（電子部品
実装密度を高めるための秤ノＺの１人がなされているが
、−１記のようなリード端子タイ／゛の１電振動部品で
は、基本的には、圧電振動１ニツトを外装部材で被覆し
、該外装部材から複数本のリード端子を突出させた構成
を右しでいる！こめ、形状が大きく実装密度が低くなる
欠点があ・）Ｉご１。

本発明は従来の圧電振動部品にお（Ｊるに記事情に鑑み
でなされた−ものであつ−（、その１１（白は、１電振
動部品を量産に好適な構造でチップ化するこどにより、
圧電振動部品を実装リベき基板に直接Ｉ１１．り付１−
Ｊるようにし、しかも、実装密度の向上を図るとともに
製光Ｉ稈の簡略化を図ることである。

この発明のざらに１１！！の［１的は、実装時に方向性
を問わなくて−りみ実装能率を向上させたチップ状の圧
電振動部品をＩｉｉ！（Ｒすることである。

このため、本発明は、カバーとなるべぎ少くどし一つの
板状の絶縁物の少くとも２個所に切欠部を設け、これら
切欠部の少くとも上記絶縁物の厚み方向の壁面に夫々チ
ップ部品の外部接続端子電極どなるべぎ導電膜を形成し
、上記絶縁物と圧電振動ユニツｌ−とを積層して該圧電
振動ユニットの引出し電極を１記導電膜に電気的に接続
し一体化したものにおいて、入力端子電極と出力端子電
極とが圧電振動、−ｌニラ１〜の基板の対角線上に配置
されたことを特徴とｌ〕Ｃいる。

以下、添イ・１図向を参照して本発明の詳細な説明する
が、その前に関係技術についでも述べる。

第１図（ａ　）おＪ：び第１図（ｂ）において、１１は
プリンｌ−基１、スルーボールメッキ基板とじてよく用
いられる合成樹脂材料やアルミノ等り璽らなる四角形の
板状の絶縁物、１２は表面波ｉｆ＝を（ｉη成する圧電
振動−１ニツ１〜である３゜ −１−配絶縁物１１はその四隅に大ノン−例として円弧
状の切欠き部１３ａ　、　１３ｂ　、　１３ｃ　、　１
３ｄを右し、これら切欠ぎ部１３ａ　、　１３ｂ　、　
１３ｃ　、１３（＋の［−記絶縁物１１の１９み６面の
壁面１４ａ　、　１／Ｉｂ　、　１４ｃ　、　１４ｄお
よび絶縁物１１の而の−１−配切欠き部１３ａ　、　１
３ｈ　、　１３ｃ　、　１３ｄ近傍にわたって）９電９
１．ｊ　１！ｉａ　、１！ｊｂ　、ｉ！ｉｃ、１５ｄを
夫々形成している。

一方、圧電振動、ノニツＩ〜１２は上記絶縁物１１どほ
ぼ同一の寸法を有し、その一方の主面の四隅には一例と
して扇形の引出し電極１７，１８，１９および２０を夫
々形成している。

上記引出し電極１７および１８は夫々表面波（入面弾性
波）素子２１の入力端子おＪ：びアース端子Ｃあり、−
１配引出し′ｉ′８極１９極上９２０は大々上記表向波
素子２１の２つの出力端子である。

−１−記圧電振動Ｊ−ツｌ−１２には、その表面波水子
２１部分の振動を保障するためにその一方の主面に３− 四部２２を設（）た１、＝　Ｆｉ＋、絶縁物１１を積層
し、両者を接着剤で接石Ｊるどと６に、表面波索子２１
の上記引出し電極１７．１１１．＋９お、１、び２０ど
、絶縁物１１の導電膜１５ａ、　１５１１．１５ｃ、　
ｉ５ｄどをデツプ法等により半田飼け２６シている。

上記のようにりれぽ、第２図に示すＪ：うなデツプ状の
弾性表面波部品２３を得ることができる。

上記弾性表面波部品２３をプリン１〜基板に実装する場
合には、第２図に示す１にうに、プリン］・基板２４の
取付位置に上記弾性表面波部品２３を接着配置し、デツ
プ状等により半田付すすると第３図に代表として引出し
電極１９と導電膜１５ｃについて示すように、」−引出
出し電極１７，１８，１９，２０、導電膜１５ａ、１５
ｂ、　１５ｃ、　１５（ｆおＪ：びこれらに対応Ｊる４
つの銅箔２５の３者がそれぞれ相互に導通した状態で、
Ｌ記弾竹表面波部品２３がプリント基板２４に実装され
ることになる。

なお、１−記弾性表面波部品２３の弾性表面波素子１２
部分をシールトリーる場合は、第４図および第５図に小
ＪＪ：うに、絶縁物１１の使方の主面にシール−４＝ ド電極Ｓを形成し、該シールド電極Ｓを導電膜１５ｂを
介して引出し電８Ａ１８（アース端子）に接続づればよ
い。

上記の如ぎ構成を右するデツプ状の弾性表面波部品２３
を得るには、第６図（ａ　）に示づように、先ず、好ま
しくは、プリン１〜塁板（Ａ１１、スルー小−ルメッギ
基板祠判としてＪ：＜用いられている合成樹脂よりなる
絶縁物母材旧を用意し、該絶縁物母材旧に前後および左
右の間隔が製造づる弾性表面波部品２３の［［１および
長さに等しくなる位置に例えば丸孔または縁部には半丸
孔３２．・・・、３２を設け、スルーホールメツ１−の
手払により、第７図に示Ｊように、上記丸孔３２．・・
・、３２の内壁部Ｊ３よびその両開］］端面周縁部に電
極膜３３．・・・、３３を夫々形成するとともに凹部２
２をたとえば切削するなどして設置ノ、また、好ましく
は、圧電振動−１ニツｌ−ｊＴｌ　＋Ａ３４に接する側
の開孔端面周縁部の電極を研摩除去する。

一方、第６図（ｂ）に示ＦＪｉ、うに、月−電材料を板
状に成型して焼成することに、」：り圧電振動−１ニツ
１〜Ｒ３材３４合形成１ノ、印刷鋳の手法により、その
一方の主面に１記絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３
２に対応する（＜／　ＷＨに円形または半円形の引出し
電極相当部３５．・・・、３５を形成するとともにこれ
ら引出１）電極相当部３！）、・・・　、３５に接続さ
れる。インター１゛ジタル電極を設ｆｌ　Ｕ弾ｆ１表面
波素子２１．・・・　。

２１を形成りる。

次に、１配絶縁物ｔ々ｊ月３１の丸孔または２ｒ丸孔３
２、・・・　、３２ど上記１．Ｌ電振動コニツＩ−母料
３４の引出し電極相当部３ｊ）、・・・　、３；）とを
夫々一致ざｉ！τ、これ１う絶縁物Ｎ１３１ど月電振り
Ｊ：１ニット母材３４とを接看祠（図示口ず）（こ、Ｊ
、り相Ｎに接着する。

上記状態で、絶縁物Ｉ」祠３１の丸孔または半丸孔３２
、・・・、３２および１１−電振動二７ニツ１−１１月
３４の引出し電極相当部３１）、・・・　、３５の中心
を通る線３６．・・・。

３６．３７．・・・、３７に治っで上記絶縁物母材３１
および圧電振動コニツｉ・川（Ａ３４を切断した後、上
記丸孔または半丸孔３２．・・・、３２に形成された電
極膜３３゜・・・　、３３が加工されてできた導電膜１
５ａ〜１５ｄと、引出し電極相当部３５．・・・、３；
）が加工されてできた引出し電極１１へ−２０どをずｆ
ｆ１角しノリれば、第２図（こ示す弾性表面波部品２３
を１ｑることかで、べろ。このよう４１製造り法１３１
以下の例にも適用でさる。１上記のよう【こりれば、一
枚の絶縁物１）口４３１ど枚の月電振動−ｌニッ１−Ｒ
１月３４とを相７７　ｔＪ接右［，７（切Ｗ１するだ（
−］で、人φの弾性表面波部品２３を人１−に生産づる
ことができる。しかも、絶縁物内材３１は市販されてい
るｂのまたはそれに準じ−（製造される＃Ａ造容易で安
価なものを使用できる、。

上述した弾性表面波部品のように、励振電極が圧電板の
−６表面にのみ形成されるものは、引出し電極を容易に
ずツブ部品の外部接続端子電極となるべき導電膜に接続
できるが、１ス下に述べるＪ、うな圧電板の対向主表面
に励振電極を設置Ｊ　／、：　］ネルギーどじこめ形厚
み振動モードを用いるバルク波部品では、一方の励振電
極の引出し電極は、チップ部品の外部接続端子電極どな
るべき第１の導電膜に容易に接続できるが、他方の励振
電極の引出し電極は何んらかの手段を用いて１１゛電板
を同り込んで前記第１の導電膜と同−平向にある第２の
　７− 導電膜に接続しくやらないとフェーズボンデングできる
ＩＭ造に１．νＩ）ない。以下にエネルギーとじこめ形
バルク波部品Ｃ７［−ズボンデングするための対策につ
いて述ぺる。

まず、バルク波“１ネルギー閉じ込め形の一端子共振子
の例を第８図、第９図および第１０図に示す。

この例においＵ　ｌ；Ｌ、第８図に示すように、圧電振
動コニット４１は圧電基板４２の一方の主面に形成した
円形の電極４３，４４ｉ１５Ｊ：び上記圧電基板４２の
他方の主面に上記電極４３，４１１に対向させて形成し
た円形の電極４５．４６を有づる互いに独立して振動す
る二端子ハ振了　４７，４８を備え、これら一端子共振
子４７．４８の上記電４４ｊ　４３，４４、を本発明に
従って方向性をなくして取り扱いが便利になるよう圧電
基板４２の一上記一方の主面の一本の対角線−１二の２
つの隅部に形成し！、：引出し電極４９．５０に夫々引
き出すとともに、電４ｆｉ４５と電極４６とを接続した
ものである。また、後述するように実装すべき基板に立
ててとりつ（〕るとぎは、たどえば引出し電極５０を図
における右下隅部に形成して電極４４と接続する。

８− すると９でて実装置るとさ、実装基板面に引出し・電極
４つ、５０が接−！ｌることになｔ）　、ＬＬ　／ｖ　
／、ｆ　−，５１１が容易にイ【る。

１記圧電−１ニツ１〜４１は、第１０図に示１、うに、
引出し電＄４！４９と５０どの間に、一端子共振子４７
と４８とが自利に接続された回路構成を右Ｊるが、四価
的には一つの一端子共振子が構成される。この、」、う
な構成だと、両引出し電極４９　、　！ｌ　（ｌが１１
・ｆ社基根４２の一面側に存在するので、上記圧電ＩＮ
ｉ！仙」−−ツト４１には、その１下から第１図（ａ　
＞と全く同様の構成を有づる絶縁物１１．１１を、第で
（図に示ｆｆ　、Ｊ、うに、積層して接着し、上記引出
し電極４９おＪ、び！１０を夫々上記一方の絶縁物１１
の導電膜１５ｔｌ、１！＋Ｃに１′。

０１２Ｇで半ＩＩＩ　ｆｓｌ　ｌ］Ｊ゛れば、チップ状
のバルク波］ネルキー閉じ込め形の２端子共振子を得る
ことがて・きる。この場合、電％　４５．４６側の絶縁
物１１は、四部２２を有するのみで隅部に切欠部を右し
イ１い曹通の絶縁板に若き換えてもよい。このことは、
以トの例に６適用される。

次に、ヨ端子共振子ユニツｉ−を用いた場合で、アース
側共通電極とその引出し電極間に］ンデン１ノを介在さ
せることにより、アース側共通電極の引出し電極を、人
・出力電極の引出し電極が設りられている圧電材板面側
に設けたものについてのへる。

」−２第８図から第１０図の例において、第１１図に示
すような電極構成を有づ−る圧電振動ユニット５１を使
用Ｊれば、第１２図に示Ｊように、引出し電極５２　、
５３が三端子」１．振子；）４の分割電極５５．５６に
夫々接線され、電極５７と上記三端子共振子５４の共通
電極５８との間にコンデンサＣ１が接続されたチップ状
のバルク波ｒネルギー閉じ込め形の三端子共振子を１ｑ
ることができる。このような構造だと、電極５８の引出
し電極５７が引出し電極５２．５３と同一面側に位置す
ることになる。なお、本発明に従って電極５７と対角位
置にある隅部にも同様な］ンデンリ−０１を構成づると
、圧電振動コニツ１−５１の方向性がなくなって取り扱
いが便利である。

このような、上記第８図から第１２図の例は発振子、Ｆ
　Ｍディスクリミネータユニット、フィルタ等どして使
用°りることができる。

また、第１３図に示すような電極構成をイ、１４る圧電
振ｎＪ−Ｉニツ１〜６１を使用Ｊれぽ、第１４図に示り
」、うに、引出し電極６２と６３どの間に、二Ｊ一端子
其振ｒ５４、丁１ンデン］ノ０１お」、び子：端子」し
振子り４′、１ンデン（Ｊ−Ｃ″１からなる第１２図と
全く同−構成を有する２組の回路をＪｊスニ１−ドに接
続りるどどｔ）に、１−２三端子共振子５４″の分割電
極の−ｈと共通電極との間に］ンデン４ノｃ２を接続し
たｆツｌ状のバルク波丁ネルギー閉じ込め形のフィルタ
を得る１゜ 上記］ンデンリＣ１の一方の電極６４およびいま一つの
コンデンリＣ２の一方の電極６５は１−記フィルタの外
部で相互に接続される。また、この変形例と１ノで、本
発明に従っ゛ＣＣ第１固ような接続を追加すると、第１
３図示のもの一ｔ）′ｊ′Ｅ向性がなくなって取り扱い
が便利である。

次に、非エネルギー閉じ込め形の７〜（ルタの例全２１
５図、第１６図（ａ　）、（ｈ）に示す。

第１５図においＣ１７１．７１は非エネルギー閉じ込１
　１　− め形のハ振素子であって、これら共振素子７１．７１は
その各圧電基板７２の一方の主面に分割電極７３。

７３を形成りるどどもに、他方の主面に共通電極７４を
形成し、上記分割電極７３．７３の間に溝７５を形成し
て、長さ撮動モードを利用するものである。

一方、７６は共振素子７１．７１の取りイ」り用のアル
ミノ等のセラミック又は合成樹脂製基板であっＣ１該基
板７６にはアース側となる引出し電極７７を形成し、こ
れら引出し電極７７上には弾性を有覆る異方性又は等方
性導電性シー１−　７８．７８を間にして、上記共振素
子７１．７１を載置固定し、その共通電極７４、１４を
上記引出し電極１７に導通させている。

上記共振水子７１．７１と基板７６が、例えば第１図（
１）〉の圧電振動ユニット１２に相当する圧電振動：Ｉ
ニットを構成づる。

上記共振素子７１　、　７１の十には、弾性を有する異
方導電性シー１〜　７９．　７９を間にして、基本的に
第１図（ａ　）と同様の構成を有する絶縁物１１′を被
せ゛Ｃ１該絶縁物１１−と［記基板とを相互に接着して
いる。

　１　２− １Ｉ記絶縁物１１−は共振素子　７１．７１を収容づる
ｌ、二めの凹部２２−　　、２２−　（一つの共通凹部
てあー）でｔ）よい）を有し、これら四部２２−　　、
２２”の内壁面には、異方導電性シー１〜　７９．７９
を通して、共振水子７１、７１の各−一方の分割電４４
ｉ　７３，７３を相４ｊに＞９通させる接続電極８０を
形成する一ｔ５、共振素子７１．７１の各他方の分割電
極７３．７３を人々導電膜１ｈａ，１！ｉｄに導通させ
る接続電極ａｉ，ｇｉを形成している。

１肥のようにづ−れば、共振素子７１．７１の圧電基板
７２．７２は弾性を有する導電性シート７８と１９との
間に指示固定され、その振動が保障される一方、本発明
に従って取り付けの方向性をなくするために、その他方
の分割電極７３．７３はＪ二記異７’Ｊ　＋！ｊ電竹シ
ート７９を通して導電膜１！Ｉａ，１５ｄ　ｋＴ．大々
引き出され、また、共通電極７４　、　７４も一１゛記
シ９電ｆ１シート　７８、７８を通して、引出し電極７
１から上記導電１１ｍ１．’＋ａ。

１５ｄとは異なる位置に形成された導電膜１！ｉｔ）、
１ｈｃに引き出される。

に２第１５図の実施例においＣ１絶縁物１１−側の異方
導電性シート１９を使用せずに、例えば第１６図（Ｆｌ
）おＪ、び第１６図（ｂ）に夫々示ｔＪ、うに、ボンデ
ングワイ）／９０を使用しで、」−記使方の分割電４４
Ｂ　７３．７３を１−２樽電膜１　！ｉａ　、　１！ｉ
ｄに導通さＵるＪ：うにしてもよい。

■−記のようにして、非王ネルギー閉じ込め形の１１！
−振動モードを用いたヨ一端子形の共振子を二段に縦続
接続したフィルタもチップ化することができる。縦続接
続覆る段数は任意である。また、−１１６１のりＩＩネ
ルギー閉じ込め形の単一振動モードを用いた二端子又は
三端子形の発振子やＦＭディスクリミネータにし適用で
きる。使用モードや非コニネルギー閉じ込め形の振１．
ＩＪ累子の種類も上記に限定されないごど１．Ｊいつま
でもない。

次に、■ネルー１′−閉じ込め形であって、従来リード
を付ｌ′Ｊで使用していた圧電振動コニットを用いた場
合について述べておく。第１７図は、この場合の１ｊ本
的イ丁月電振動コニットを示す。図におい（１０１は圧
電基板、１０２，１０３は一対の励振電極、１０４．０
１５は木ブを明に従−）で一本の対角線上における圧電
基板１０１の隅部の表側、裏側にそれぞれ設けだ引出し
電極である３、この圧電振動Ｉ−ツト（。

は、そのＬ下から絶縁物１１．１１を第１８図にニルり
ように積層し−ｃ　＋ｅ　’ｉ’￥し、引出１−’ｒＨ
ｌΦ１０４どビーれ（３Ｉ８触する導電膜１５ａを半１
丁１　（１’　Ｃ−ｊ−！］ルどど（−）Ｉｊ、　、　
引出１ノ電極１０５どこれに接触４る一ト側の絶縁１％
ＩＮの導電膜１：）Ｃを半田（＝Ｉ（Ｊづる。同時に、
゛１字状金属′ノリツブ１０６を下側の絶縁物１１の導
電１＋！　１！ｉｃ　、１側の絶縁物１１の導電膜１５
（１間にはしわたししで、両者を半田付（ノする。この
Ｊ、うな構造にＪ：っ（、両励振電極１０２．１０３が
上側の絶縁物１１の導電膜１５０゜１Ｍにぞれぞれ導通
づることになる。−１字状金属クリップにかλてワイＶ
′ｃ接続を行−）でｆ）、Ｉ、い、。

Ｊ：た、電極をＬｌ−主基板の側面に治わＩ！ｌごｈｉ
　、　＋−ｒ電基板基板部に孔を設【」て電極膜を形成
し７ｊすｌ、【］宇状状金属リップや「ノイ１７の機能
をｂたｌ′でもよい。そｌ、で、このＪ：う４７構）告
は、上述のようイｊ′二端子形共振子のみならず、三端
子形のＪ４振了やフィルタ等の１１電振ｌｌ−１ニツ１
〜を用いたものにも適用ぐきる４、 −１！’ｉ　− 以上、詳細に説明したことからも明らかなように、本発
明では、少くとも２個所に切り欠き部を設（プてその部
分に′４４電膜を形成した絶縁板を圧電振動ユーツト１
″積層してその引出し電極を上記導電膜に導通さμるこ
とにより圧電振動部品をチップ化するようにしたので、
■−相の絶縁物母材と圧電振動ユニツ１〜母材を積層し
て切断するだけで容易に大量の圧電振動部品を得ること
ができる、■製造Ｔ稈が筒中であることにより、価格が
安く、不良品の発生が少く、製品としての信頼性も向、
トする、■リード線のないチップ形状化された抵抗やコ
ンデンリと同様構造であるためプリンｌ−基板等の回路
基板等への実装が容易である、■導電膜をスルーホール
メッキの手法により容易に形成することがぐさる、とい
った効果に加え、実装時に、取りつり方向に気を配る必
要がなくなり、実装に要する］ス］−低減を達成できる
効果を有する。

なＡ３、第２、第３、第５、第９、第１５、第１６（ｂ
）、第１８の各図は、各部の接続関係を明確にするため
のものぐ、断面は適宜適当な箇所である１６− ので、いわゆる断面図とはＹ　’ｔ′ｆることをことわ
・）でおく。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ　）　Ｌｔ　Ｊ［電振動部品の一例の絶縁物
の斜視図、第１図（ｂＨ；を第１図（ａ　）の導電Ｊｋ
ｊ　１Ｅ１１部品の圧電振動−ｌニラ］・の斜視図、第
２図は第１図（ａ）および第１図（１１）の絶縁物どＬ
ｌ−主振動コニツ１−を使用した圧電振動部品の構造説
明図、第３図は第２図の１１電振動部品の回路基板への
取イ」説明図、第４図は第１図（ａ　）の絶縁物にシー
ルド電極を設【フだ絶縁物の斜視図、第５図１．１第４
図の絶縁物を使用した圧電振動部品の禍造ル；１明図、
第６図（ａ　）は絶縁物母材の斜視図、第６図（１））
は圧電振動ユニット母材の斜視図、第７図は第６図（ａ
　）の絶縁物母材の断面図、第８図はバルク波−１−ネ
ルギー閉じ込め形の二端子共振子の圧電振動］ニラ（−
の斜視図、第９図はパル波丁ネルギー閉じ込め形の二端
子共振子の構造説明図、第１０図は第９図の共振イの等
価回路図、第１１図はバルク波エネルギー閉じ込め形の
ｍ：端子共振子のロー電振仙コニツ］−の斜視図、第１
２図は第１１図の等価回路図、第１３図はバルク波−［
ネルギー閉じ込め形のフィルタのｎ−型振動−１−ット
の斜視図、第１４図は第１３図の秀価回路図、第１５図
は非エネルギー閉じ込め形のフィルタの構造説明図、第
１６図（ａ　）おにび第１６図（ｂ）（五人々第１５図
のフィルタの変形例の１１電撮動−１ニットの平面図お
よびフィルタの構造説明図、第１７図はエネルギー閉じ
込め形の共振子の圧電振動コニツＩ〜の斜視図、第１８
図は、第１７図示の−１−ツ１〜を用いｌＪ共振子のＷ
Ｉ構造説明図ある。 １１．１１−・・・・・・絶縁物、１２・・・・・・圧
電振！１１：１ニツ１−１１３・・・・・・切欠き部、
１！ｉａ、　１５ｂ、　１５ｃ、　１５ｄ　、　−−−
−・−導電膜、１７．１８，１９，２０．・・・・・・
引出し電極、２６・・・・・・半１’ｌ、３１・・・・
・・絶縁物母材、３４・・・・・・圧電振動ユニット母
材、４１．５１．６１・・・・・・ハ；電振動二１ニツ
１〜．７１・・・・・・」を振索、子、７６・・・・・
・基板。 特　　許　　出　　願　　人 株式会社村田製作所 １９− 第４図 （ｂ） 箸７圓 第１３０ （（１） （ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 機状の絶縁物の少くとも２個所に切欠７ｆｌｌ　／！：
   ｒＪ　１１、これら切欠部のト記絶縁物の厚み方向の壁
   面に夫々導電膜を）ｌ構成し、ト記絶縁物とＩ−１電＋
   １＋セΦ）Ｊ　−１、Ｌ　−・Ｉトとを積層（）で該圧
   電振ΦＩＪコニットの引出１７電神をＦ記導電Ｉ１９に
   電気的に接続したチッＩ状り′市ｉｈｖ動部品において
   、入力端子電極と出力端ｒ電極どが圧電撮動−１ニット
   の基板の対角線１１．７八Ｉ！置されたことを特徴どす
   るデツプ状圧電振動部品。