JPS58139516A - チツプ状圧電振動部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は板状の絶縁物と圧電撮動」ニットとを積層した
チップ状の圧電振動部品に関４る。

従来より、共振子、発振子、フィルタ、Ｉ〜１ノ′イス
クリミネータなどの圧電振動部品どじＣは、各圧電振動
コニットの使用振動モードの特徴にＪ、す、比較的周波
数が低い数百に／の周波数帯のセラミックフィルタでは
、樹脂等を箱体状に成型しＩＺ二外装クりス内に圧電振
動ユニットを収容したケースタイプのｂのや、周波数が
高い数Ｍ　ｌ−１ｚから数１０Ｍ１ｌｚの周波数帯のヒ
ラミックフィルタでは、エネルギー閉じ込め形圧電振動
ユニツｌ〜の振動区域を除いた区域に外装樹脂を（ｖｌ
　＠さ１１ｃいわゆるディップ塗装形状のもの、あるい
は表面波素子ではディップ塗装形状ｔｉ＋、＜はハーメ
ブックシールドケースをイ１１するｂのが一般に知られ
Ｃいるが、これら圧電振動部品はいずれもリード端子を
有するリード端子タイプのものである。

ところで、近年、電子機器の小形化に伴って電子部品実
装密度を高めるための種々の工夫がなされ−Ｃいるが、
上記のようなリード端子タイプの圧電振動部品で（よ、
基本的には、圧電撮動コニツトを外装Ｎ（祠で被覆し、
該外装部月から複数本のリード端子を突出させた構成を
有しているため、形状が大きく実装密石が低くなる欠点
があった。

本発明は従来の圧電振動部品における上記事情に鑑みて
なされたものであって、その［１的は、圧電振動部品を
恒産に好適な構造でヂッ／化Ｊることにより、圧電振動
部品を実装Ｊ“べき基板に肖接取り（＝Ｊけるようにし
、しかも、実装密面の向ｌを図るとどもに製造１稈の簡
略化を図ることで′ある３゜この発明のさらに他の目的
は、圧？４ｉ基板の人用面に一対の励振電極を設【〕だ
従来からある１１：電振動ユニットを用いてもフェーズ
ボンデング（゛きるようにした実用的なチップ状の圧電
ｌｆｉ動部品を提供することである。

このため、本発明は、カバーとなるべき少くと５一つの
板状の絶縁物の少くとも二個所に切欠部を設け、これら
切欠部の少くども上記絶縁物の厚み方向の壁面に夫々チ
ップ部品の外部接続端ｒ電極となるべき導電膜を形成し
、上記絶縁物ど；１電振動ユニツ１へとを積層して該圧
電振動ユニットの引出し電極を」、２導電膜に電気的に
接続し−（本化したものにおいて、圧電振動、ｌニラ１
〜は圧電基板の表裏に設Ｇ：Ｊｊ　７．ニ一対の励振電
極を右し、基板の一方面側の励振電極は、クリップのよ
うな金属体を介して基板の他７Ｊ而側に設置〕られた引
出し電極に接続されているＪ、うにしたことを特徴とし
ている。

以下、添イ」図面を参照して本発明の詳細な説明するが
、その前に関係技術についても述べる。

第１図（ａ）ＪｊＪ、び第１図（ｂ　）において、１１
はプリント・基板、スルーホールメツギ基板としてよく
用いられる合成樹脂材料やアルミナ等からなる四角形の
根状の絶縁物、１２は表面波素子を構成する圧電振動−
１，：：：ッ１〜である。

上記絶縁物１１はその四隅に夫々−例として円弧状の切
欠き部１３ａ、１３ｔ＋　、　１３ｃ　、　１３ｄを有
し、これら切欠き部１３ａ　、　１３ｂ　、　１３ｃ　
１１３ｄの上記絶縁物１１の厚み方向の壁面１４ａ　、
　１４ｂ　、　１４ｃ　、　１４ｄおよび絶縁物１１の
面の上記切欠き部１３ａ　、１３ｂ　、１３ｃ　、１３
ｄ近傍にわたって１ｉｌ１％１５ａ　、　１５ｂ　、　
１５ｃ　。

１５ｄを夫々形成している。

一方、圧電振動Ｅｌｌニラ〜１２は上記絶縁物１１とほ
ぼ同一の寸法をイラし、その一方の主面の四隅には一例
として扇形の引出し電ｉ１７，１８．１９および２０を
夫々形成している。

３− −に引出出し電極１７＋Ｊ３Ｊζび１８は夫々表面波（
表面弾性波）素子２１の入力端子おにびアース端子Ｃ−
あり、上記引出し電極１９および２０は夫々ト配表面波
素子２１の２つの出力端子である。

上記圧電振動−ｌニット１２には、その表面波素子２１
部分の振動を保障するためにその一方の１面に四部２２
を設けた」記絶縁物１１を積層し、両者を接着剤で接着
するとともに、表面波素子２１の」−引出出し電極１７
，１８．１９ｉｔ３よび２０と、絶縁物１１の８Ｊ！電
膜１５ａ、　１５ｂ、　１５ｃ、　１５ｄとをデツプ法
等により半ＩＪ、Ｉ付け２６シている。

上記のようにす゛れば、第２図に示すにうなチップ状の
弾性表面波部品２３を１ｑることかできる。

１記弾性表面波部品２３をプリント基板に実装置る場合
には、第２図に示すＪ：うに、プリント基板２４の取付
位置に１記弾性表面波部品２３を接着Ｍｄし、デツプ法
等により半Ｂ：ｌ　（１りすると第３図に代表として引
出し電極１９と導電膜１５ｃに−）い（１１”＜　’１
ように、上記引出し電極１７，１８，１９，２０、導電
膜１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄおよびこれらに対応
する４つの銅４− 箔２５の３者がそれぞれ相互に導通した状態で、を２弾
性表面波部品２３がプリント基板２４に実装されること
になる。

なａ３、上記弾性表面波部品２３の弾性表面波素子１２
部分をシールドする場合は、第４図および第５図に示す
ように、絶縁物１１の他方の主面にシールド電極Ｓを形
成し、該シールド電極Ｓを導電膜１５ｂを介しＣ引ＩＩ
口）電極１８（アース端子）に接続すればＪ：い。

上記の如き構成を有するチップ状の弾性表面波部品２３
を得るには、第６図（ａ）に示すように、先ず、好まし
くは、プリント基板材料、スルーホールメッキ基板材料
としてよく用いられている合成樹脂よりなる絶縁物母材
３１を用意し、該絶縁物母材３１に前後および左右の間
隔が製造する弾性表面波部品２３のｔｉ１ｒ１３よび長
さに等しくなる位置に例えば丸孔またｔよ縁部には半丸
孔３２．・・・、３２を設はスルーホールメツ４の手法
により、第７図に示すように、上記丸孔３２．・・・、
３２の内壁面Ｊ５よびその両開口端面周縁部に電極膜３
３．・・・、３３を夫々形成４るどどもに四Ｐ、＋＋　
２２をたとえば切削するなとしく設け、また、好ましく
は、圧電振動ユニットｊ＋１１４３４に接Ｊる側の開孔
端面周縁部の′ｉｆｉ棒を１ｔｌｌ　ｌす除ノ、する。

一方、第６図（１））に示すように、圧電月別を板状に
成型して焼成することにより圧電振動−１ニットｌ々１
月３４を形成し、印刷等の手法にＪ：す、イの一方の主
面に上記絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３２に対応
する位ＩＮに円形または半円形の引出し電極相当部３５
．・・・、３５を形成するととｂにこれら引出し電極相
当部３５．・・・、３５に接続されるインターデジタル
電極を設（）て弾性表面波部品２１．・・　。

２１を形成づる。

次に、上記絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３２、・
・・　、３２と上記圧電振動ユニツ１〜母材３４の引出
し電極相当部３５．・・・　、３５とを夫々一致さけて
、これら絶縁物母材３１と圧電振動コニット母材３４と
を接着材〈図示せず）に」、り相互に接着する。

上記状態で、絶縁物１（１４４’　３１の丸孔または半
丸孔３２、・・・、３２おにび月］電振動」ニラ１〜母
１ｔＡ３４の引出し電極相当部３５．・・・、３５の中
心を通る線３６．・・・。

３６．３７．・・・　、３７にγＦｋ−，て上記絶縁物
母材３１および圧電振動］ニラ１〜ｂモ材３４を切断し
た後、上記丸孔または半丸孔３２．・・・、３２に形成
された電極膜３３゜・・・、３３が加工されてできた導
電膜１５ａ〜１５ｄと、引出し電極相当部３５．・・・
、３５が加工されてできた引出し電極１７・〜・２０と
を半田付けでれば、第２図に示す弾性表面波部品２３を
得ることができる。このような製造方法は以下の例にも
適用できる。

１−記のようも、：、りれば、一枚の絶縁物用材３１と
一枚のＦ〔雷振動］ニツ［・母材３４とを相互に接着し
て切断するだ５３で、大量の弾性表面波部品２３を大量
に住産Ｊることができる。しかも、絶縁物Ｆｆ１月３１
は市販されているものまたはそれに準じて製造される製
造容易で安価なものを使用できる。

−ト述した弾性表面波部品のように、励振電極が圧電板
の一方表面にのみ形成されるものは、引出し電極を容易
にチップ部品の外部接続端子電極となるべき導電膜に接
続できるが、以下に述べるような本発明が対象とする圧
電板の対向主表面に励　７− 振電極を設（プたゴニネルギーとじこめ形厚み１辰動ｌ
−一ドを用いるバルク波部品では、−’１５の励振電極
の引出し電極は、チップ部品の外部接続端子電極となる
べき第１の導電膜に容易に接続できるが、他方の励振電
極の引出し電極は何／υらかの、］゛段を用いて圧電板
を回り込んで前記第１の導電膜と同一平面にある第２の
導電膜に接続してやらないとフェーズボンデングできる
構造にならない。以下にエネルギーどじこめ形バルク波
部品で７１−ズボンデングするための対策について述べ
る。

まず、関係技術としてバルク波Ｊ−ネルギー閉じ込め形
の二端子共振子の例を第８図、第９図および第１０図に
示ず。　この例においては、第８図に示すように、圧電
振動ユニット４１は圧電基板４２の一方の主面に形成し
た円形の電極４３．４４おにび上記圧電基板４２の他方
の主面に上記電極／１３，４４に対向させ−Ｃ形成した
円形の電極４５．４Ｇを右り゛る勾いに独立して振動す
る二端子共振子４７．４８を備え、これら二端子共振子
４７．４８の１−記電極４３，４４、を方向性をなくし
て取り扱いが便利になるよう圧電＝８一 基板４２の上記一方の主面の一本の対角線上の２つの隅
部に形成した引出し電極４９．５０に夫々引き出Ｊとと
もに、電極４５と電ｌ［ｉ４６とを接続したものである
。また、実装すべき基板に立ててとりつけるどきは、Ｉ
ことえば引出し電極５０を図にお【）る右下隅部に形成
して電極４４と接続する。すると立てて実装置るとき、
実装基板面に引出し電極４９．５０が接することに＜Ｚ
す、はんだづけが容易になる。

１−記圧電ＴＬニット４１は、第１０図に示づように、
引出し電極４９と５０との間に、二端子共振子４７と４
８とが直列に接続された回路構成を有するが、等測的に
は一つの二端子共振子が構成される。このような構成だ
と、両引出し電極４９．５０が圧電基板４２の一面側に
存在Ｊるので、上記圧電振動ユニツ］〜４１には、その
１−下から第１図（ａ　’）と全く同様の構成を有する
絶縁物ｉｉ、ｉ１を、第９図に示すように、積層して接
着し、上記引出し電極４９および５０を夫々上記一方の
絶縁物１１の導電膜１５ｂ、１５ｃに半田２６で手口１
付ｔ−Ｊ　ＦＪれば、チップ状のバルク波エネルギー閉
じ込め形の２端子共振子を得ることができる。この場合
、？１極４５，４６側の絶縁物１　＋　ＧＪ、凹部２２
を有するのみＣ隅部に切欠部を有しくｆい％４通の絶縁
板に圓ぎ換え−Ｃもよい３、このことは、１ストの例に
も適用される。

次・に、玉端子共振子ニ２ニツ１〜を用いＩ（”場合（
、アース側共通電極とその引出し電極間に］ンｊンリを
介イ１させることにより、アース側共通電極の引出し電
極を、入・出力電極の引出し電極が設４Ｊられている圧
電星板面側に設けｋものに−）いてのべる。

上記第８図から第１０図の例にａ３いて、第１１図に示
すようイ１電極構成を右する圧電振動ユニツ］・ｊｌｌ
を使用づれば、第１２図に示ｔ　Ｊ：うに、引出し電極
５２　、５３が三端子共振子５４の分割電極！ｉ！ｉ、
５（ｉに人々接線され、電極！）１ど上記三端子共振子
ｈ４の共通電極５８との間に］ンデンリ−Ｃ１が接続さ
れたチップ状のバルク波Ｊ−ネルギー閉じ込め形の三端
子共振子を得ることができる。このよう（、−構造だと
、電極５８の引出し電極！＋７が引出し電極５２．５３
と同一面側に位置することになる。なお、電極；）７と
り・ｊ角イイ１首ＩＪある隅部に１）同様イ２　＝コン
デンサＯ１を構成すると、圧電振動−１ニツｈ！ｉ１の
方向性がなくなって取り１７６いが便利である、。

このような、１−４第８図か１う第１２図の例は発振子
、［Ｍディス９リミネータコニット、フィルタ等として
使用りることができる。

また、第１３図に示４ような電極構成を有する圧電振動
ユニツｈ６１を使用すれば、第１４図に示刀ように、引
出し７電極６２と６３どの間に、三端子共振子５４、］
ンデンリ０１および三端子共振子５４−、コンデンサ０
′１からなる第１２図と全く同一構成を有り一６２組の
回路をカス−１−ドに接続づるとともに、上記三端子Ｊ
（娠ｒ！ｉ４−の分割電極の一方と共通電極どの間に＝
１ンｆンリーＣ２を接続したチップ状のバルク波土ネル
ギー閉じ込め形のフィルタを得る。

上記：コンデン’ＪＣ＋の一方の電極６４おＪ、びいま
一つの］ンデンリ°Ｃ２の一方の電極６５は上記フィル
タの外部で相７ｊに接続される。８１：た、この変形例
として、第１４図で点線で示したような接続を追−１１
− 加づると、第１３図示のものも方向↑ｌ（が’＋’Ｌ　
＜　’ｔｉっ（取り扱いが便利である。

次に、非−［ネルギー閉じ込め形のフィルタの例を第１
５図、第１６図（ａ　）、＜　１１　）　ニ示’ｊｌ−
０第１５図におい−（，７１，７１は非エネルギー閉じ
込め形の共振素子であって、これら共振素子　７１，７
’１はその各１ｉＥ電基板７２の一方の主面に分割電極
７３゜７３を形成するとともに、他方の主面に共通電４
４ｉ７４を形成し、上記分割電極７３．７３の間に渦７
５を形成して、良さ振動モードを利用するものＣ′ある
。

一方、７６は共振素子７１．７１の取り（＝Ｊ　ＩＪ用
のアルミナ等のセラミック又ｔま合成樹脂製基板であっ
で、該基板１６にはアース側となる引出し電極７１を形
成し、これら引出し電極７７上には弾性を有する異ｈ゛
性又は等方性導電性シート　７８．７８を間にして、１
記共振素子７１　、７１を載置固定し、その共通電極７
４．１４を」二記引出し電極７７に導通させている。

上記共振素子７１．７１と基板７６が、例えば第１図（
ｂ　）の圧電振動：、ｌニラ１へ１２に相当Ｍるｔｔ　
”ｒＥｒ振動ユニット・を構成する。

１２− 上記共振素子７１．７１の、トには、弾性を有覆る異方
導電性シー１−７９．７９を間にして、基本的に第１図
（ａ）と同様の構成を右する絶縁物１１−を被せて、該
絶縁物１１′と１−記基板とを相互に接着している。

上記絶縁物１１′は」（振索子７１．７１を収容Ｊるた
めの凹部２２′、２２−　（一つの共通四部であっても
よい）を有し、これら四部２２′、２２−の内壁面には
、異方導電性シー１〜７９．７９を通して、共振素子７
１．７１の各−１ノの分割電極７３．７３を相互に導通
させる接続電極８０を形成する一方、共振素子７１．７
１の各イド；方の分割電極７３．７３を夫々導電膜１！
ｉａ、１５ｄに導通させる接続電極８１．８１を形成し
ている。

上記のように覆れば、共振素子７１．７１の圧電基板７
２．７２は弾性を有づる導電性シート７８と７９との間
に指示固定され、その振動が保障される一方、取りイ」
りの方向性をなくするために、その他方の分割電極７３
．７３は上記異方導電性シート７９を通して導電膜１５
ａ、　１５ｄに人々引き出され、また、共通電極７４　
、７４も一１記導市ｖ１シー１〜７８．７８を通して、
引出し電極７７から上記導電膜１５ａ、１！ｉｄとは責
イｉる位置に形成された導電膜１５１１，１５Ｃに引き
出される。

上記第１５図の例において、絶縁物１１−側の巽り導電
性シート７９を使用せずに、例えば第１６図（ａ）おＪ
：び第１６図（１〕）に夫々示？Ｉ　、Ｊ：うに、ボン
ｆングワイψ９０を使用しで、上記他方の分割電４４！
７３゜７３を上記導電膜Ｈ＋ａ、１５ｄに導通さＶるよ
うに１ノでもよい。

上記のＪ、うにして、非エネルギー閉じ込め形の単一振
動モードを用いた三端子形の」（振子を二段に縦続接続
した一ノイルタもチラー１化でることがＣぎる。縦続接
続づる段数は任意である。また、−個の非コーネルギー
閉じ込め形の単−撤動七−ドを用いた二端子又は三端子
形の発振子やＦＭディスクリミネータにも適用できる。

使用モードや：ｌｌ’　ｒｒネルギー閉じ込め形の振動
素子の種類も４−記に限定されないことはいうまでもな
い８゜ 次に、エネルギー閉じ込め形であって、従来リードをト
ロリで使用していた圧電撮動：１ニットを用いて、本発
明を実施する場合について述べておく。

第１７図は、この場合の基本的な圧電振動コニットをホ
す。図ＩＪＪｉいＵ　１０１は圧電基板、４０２，１０
３は一対の励１辰電捧、１０４．１０！ｉは一本の対角
線上にお【）る圧電基板１０１の隅部の表側、裏側にそ
れぞれ設Ｃプた引出し電極である。この圧電振動コニッ
トには、その−ＩＬ″Ｆから絶縁物１１．１１を第１８
図に示すように積層して接着（）、引出し電極１０４ど
これに接触する導電１４１１！ｉａを半田（＝Ｉけする
とともに、引出し電極１０５どこれに接触覆る下側の絶
縁物１１の導電膜１５ｃを半ｍ　（＝Ｊ’　ｔ′）する
。同時に、コ字状金属クリップ１０６を］・側の絶縁物
１１の導電膜１５Ｃ１上側の絶縁物１１の導電膜１５ｄ
間にはしわたしして、両者を半ＦＢ付りＪる。このよう
な構造にＪ：って、両励振電極１０２．１０３が上側の
絶縁物１１の導電膜１５ａ、１５ｄにそれぞれ導通する
ことになる。コ字状金属クリップにかλてワイψで接続
を行ってもにい。

また、電極を圧電基板の側面に沿わせたり、圧電基板の
隅部に孔を設Ｃ１て電極膜を形成したりして］字状金属
クリップやワイヤの機能をもたせてもよい。そして、こ
のような構造は、上述のような−１Ｅ）− 一端子形共振子のみならず、三端子形の共振子ヤ）フィ
ルタ等の圧電振動Ｘ１ニツ］・を用いたちのＩ−二４ｖ
適用できる。

以上、詳１１１１に説明したことからも明ｌうかイＩＪ
、うに、本発明では、少くとも２個所に切り欠き部を設
りてその部分に導電膜を形成した絶縁板を汀市振動＝１
ニットに積層してぞの引出し電極を一１記導電膜に導通
さＵることににり圧電振動部品をチップ化した圧電振動
部品を製造した／）＋　＋ら、■−絹の絶縁物母料と圧
電振動＝−ニツ１〜母祠を積層し゛（切断するので容易
に大量の圧電振動部品を得ることがＣきる、■製造工程
が筒中であることにより、価格が安く、不良品の発生が
少く、製品としての信頼性も向上する、■リード線のな
いチップ形状化された抵抗やコンデンリと同様構造であ
るためプリント基板等の回路基板への実装が容易である
。

■導電膜をスルーボールメッキの手法によＶ）容易に形
成することかできるといった効果に加え、ｆｌ−型基板
の表裏に一対の励振電極を右づる従来構）ｂの圧電振動
−１ニツ１−を用いてもノ〕−ズ小ンーＪン１６− りできるブラーｆ形とＪることができる効果を有づる。

なお、第２、第３、第５、第９、第１５、第１６（ｂ）
、第１８の各図は、各部の接続関係を明確にりるための
もので、断面は適宜適当な箇所であるのＣ１いわゆる断
面図とは異なることをことわっておく。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ　）は１１−電振動部品の一例の絶縁物の斜
視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ　＞の圧電振動部品の
圧電振動＝１ニツ１・の斜視図、第２図は第１図＜ａ　
＞および第１図（ｂ）の絶縁物と圧電振動コニツ１〜を
使用した圧電振動部品の構造説明図、第３図は第２図の
圧電振動部品の回路基板への取イ］説明図、第４図は第
１図（ａ　）の絶縁物にシールド電極を設（フた絶縁物
の斜視図、第５図は第４図の絶縁物を使用した圧電振動
部品の構造説明図、第６図（ａ　）は絶縁物Ｒ］祠の斜
視図、第６図（ｂ）は圧電振動−ｌニラ１〜Ｎ祠の斜視
図、第１図は第６図（ａ　）の絶縁物用Ｈの断面図、第
８図はバルク波Ｊネルギー閉じ込め形の一端子共振了の
ｊ］］電振動コニツトの斜視図、第９図はパル波［ネル
ギー閉じ込め形の＝端子共振子の構造説明図、第１０図
は第９図の共振子の等価回路図、第１１図はパル′ｌ波
エネルギー閉じ込め形の三端子共振イのＦｌ−電１＆ｖ
動ユニットの斜視図、第１２図は第１１図の等（ｉ１１
＋　ｌ「ｉｌｌ同図第１３図はバルク波エネルギー閉じ
込め形のノイルタの圧電振動」ニットの斜視図、第１４
図は第１３図の等価回路図、第１５図は非エネルギー閉
じ込め形のフィルタの構造説明図、第１６図＜ａ）およ
び第１６図（ｂ）は夫々第１５図のフィルタの変形例の
圧電振動ユニットの平面図およびフィルタの構造説明図
、第１７図はＪ−ネルギー閉じ込め形の共振子の圧電振
動コーニットの斜視図、第１８図ト１、第１７図示の一
１ニツ１へを用いた共振子の構造説明図である。 ｉｉ、１ｉ−・・・・・・絶縁物、１２・・・・・・Ｌ
１電振動−ｌニラ１〜．１３・−・−切欠ぎ部、１５ａ
、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ　、　・−・・Ｅ’ｊ電膜、
１７．１８，１９，２０．・・・・・・引出し電極、２
６・・・・・・半１１１．３１・・・・・・絶縁物母材
、３４・・・・・・圧電振動ユニット母材、ＩＩＩ、５
１．６１・・・・・・１−ｆ　’ｔｕ　１ＩＩｉ動−１
ニツ１−１７１・・・・・・共振索子、７６・・・・・
・基板。 特　　Ｗ［出　　願　　人 株式会社村田製作所 −１９＝ ２０− 吊乙図 （ｂ） 第７図 菊３図 菊ｌＯ図 躬／４図　　よ う 躬１５　（ｆＥＪ （α） （ｂン 躬１７図 で１３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 板状の絶縁物の少くとも２個所に切欠部をｉｉＱす。 これら切欠部のＬ記絶縁物のｌｅ−み方向の壁面（１−
   人々導電膜を形成し、上記絶縁物とＬＦ電振動コニット
   とを積層し′ＣＣ１圧電振動コニツト引出し電（４１を
   」−記導電膜に電気的に接続しＩこチップ状圧電振動部
   品においＣ１圧電振動コニツトは圧電基板の表裏に設け
   た一対の励振電極をイ１するもので゛あって、基板の一
   方面側の励振電極は、金属体を介（］Ｃ基板の他面側に
   設【ノられた引出し電極に接続されていることを特徴と
   するチップ状圧電振動部品、。