JPS6012810A - 圧電振動部品およびその製造方法 - Google Patents
圧電振動部品およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS6012810A JPS6012810A JP12087183A JP12087183A JPS6012810A JP S6012810 A JPS6012810 A JP S6012810A JP 12087183 A JP12087183 A JP 12087183A JP 12087183 A JP12087183 A JP 12087183A JP S6012810 A JPS6012810 A JP S6012810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- vibrating
- piezoelectric
- unit
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 210000004709 eyebrow Anatomy 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
本究明は圧電振動部品2よびその製造方法に関し、より
詳しくは、部品に直接、端子電極部力1し成されたチッ
プ状の圧ii:DR動部品詮よびその製造方法に関する
ものである。
詳しくは、部品に直接、端子電極部力1し成されたチッ
プ状の圧ii:DR動部品詮よびその製造方法に関する
ものである。
(従来技術)
従来よシ、たとえば第1図に示すように、入力端子1,
2と出力端子3,4曲に2組のエネルギー閉じ込め型2
恵モードセラミツクフイルタ5と6を結合コンデンサC
によシ縦続に接続した回路構成を有するフィルタがめっ
たが、この棟のフィルタでは、チップ状のフィルタとし
て製品化されたものはなかった。最近、コンデンサや抵
@ばもちろん、コイル部品や機構部品までがチップ化さ
れつつあり、チップ化された圧′亀振動部品を要求する
声が高まっていた。
2と出力端子3,4曲に2組のエネルギー閉じ込め型2
恵モードセラミツクフイルタ5と6を結合コンデンサC
によシ縦続に接続した回路構成を有するフィルタがめっ
たが、この棟のフィルタでは、チップ状のフィルタとし
て製品化されたものはなかった。最近、コンデンサや抵
@ばもちろん、コイル部品や機構部品までがチップ化さ
れつつあり、チップ化された圧′亀振動部品を要求する
声が高まっていた。
(発明の目的)
本発明は上述のような背景をもとになされたものでろっ
て、その目的は、圧電母材2よびその上下に′MMする
カバーの構造が車種で、特殊な加工や金型を必吸とぜず
、+、i: Qに、 I〆1;のよい、lだ実装イ。
て、その目的は、圧電母材2よびその上下に′MMする
カバーの構造が車種で、特殊な加工や金型を必吸とぜず
、+、i: Qに、 I〆1;のよい、lだ実装イ。
順性のよい圧電振動部品およびその製造方法を得ること
でるる。
でるる。
()#i明の構成)
このため、本究明は、圧電基板の対向面にそれぞれ振動
電極が設けられ、圧電基板の側部両端に設けられた引出
電極へ一方面の振動″酸極が引出されるとともに、+m
m側側中間に設けられた引出電極へ他方面の振動*極が
引出ちれたエネルギーとじこめ型三端子圧電振動ユニッ
ト、この圧電振動ユニットとほぼ時しい長さ2よび禍ヲ
有し、引出電極に対応する位置にそれぞれ切欠ぎが設け
ら江圧電振動ユニットの振動部の摂動を許容するを間を
残して圧電振動ユニットに接盾された上下一対のカバー
、と金有し、谷引出電極とカバーに設けられた端子電極
部とが導通して2v、圧電基板の前記側部中間の引出電
極に導通している端子電極部は他方のカバーへ延設され
ていることを特俵としている。互た、本発明は、俵数組
の振動ユニットかはソ一定間隔で形成され、これら1i
R動ユニットの振動部から人々引出′市極が1・:而の
uUI :?sに引き出されてなるはy−疋巾を有する
長尺の圧′亀母材と、該圧電母材の巾とは!1″等しい
巾を有し、上記引出′1.lf極に対応する位置に切欠
@か設けられた上下一対のカバーとを用意し、上記圧電
母材の上下面に夫々上記振動部の振at許容する空間を
残して上記カバ=全接着し、圧電母材とそのカバーとか
らなる長尺ユニットヲ形成した後、この長尺ユニットの
外面に金属膜を形成し、上記切欠き全通し引出′電極に
導通する端子′電極Sを残して上記金属膜を除去した後
、上記長尺ユニットf:振動ユニットの境界部で順次切
り噛すようにしたことを特徴としている。
電極が設けられ、圧電基板の側部両端に設けられた引出
電極へ一方面の振動″酸極が引出されるとともに、+m
m側側中間に設けられた引出電極へ他方面の振動*極が
引出ちれたエネルギーとじこめ型三端子圧電振動ユニッ
ト、この圧電振動ユニットとほぼ時しい長さ2よび禍ヲ
有し、引出電極に対応する位置にそれぞれ切欠ぎが設け
ら江圧電振動ユニットの振動部の摂動を許容するを間を
残して圧電振動ユニットに接盾された上下一対のカバー
、と金有し、谷引出電極とカバーに設けられた端子電極
部とが導通して2v、圧電基板の前記側部中間の引出電
極に導通している端子電極部は他方のカバーへ延設され
ていることを特俵としている。互た、本発明は、俵数組
の振動ユニットかはソ一定間隔で形成され、これら1i
R動ユニットの振動部から人々引出′市極が1・:而の
uUI :?sに引き出されてなるはy−疋巾を有する
長尺の圧′亀母材と、該圧電母材の巾とは!1″等しい
巾を有し、上記引出′1.lf極に対応する位置に切欠
@か設けられた上下一対のカバーとを用意し、上記圧電
母材の上下面に夫々上記振動部の振at許容する空間を
残して上記カバ=全接着し、圧電母材とそのカバーとか
らなる長尺ユニットヲ形成した後、この長尺ユニットの
外面に金属膜を形成し、上記切欠き全通し引出′電極に
導通する端子′電極Sを残して上記金属膜を除去した後
、上記長尺ユニットf:振動ユニットの境界部で順次切
り噛すようにしたことを特徴としている。
(実施例)
以下、本発明をフィルタに適用した実施例について添付
図面を参照して本究明を具体的に説明する。
図面を参照して本究明を具体的に説明する。
先ず、実施例製法によって得られるチップ伏フィルタに
ついて説明する。
ついて説明する。
上記チップ伏フィルタは、第2図に示すように、フィル
タユニット11とそのカバー12.13とから構成され
る。
タユニット11とそのカバー12.13とから構成され
る。
上記フィルタユニツ)11に、第3図に示すように、圧
電基板14の一方の主面に、3端子型のエネルギー閉じ
込め型2東モードフイルタ(以下、単にフィルタと化す
。)5および60分割電極17゜182よび19..2
0、結合コンデンサCの電極21および引出電極22.
23ならびにこれら電極を接続する電極が形成され、圧
電基板11の他方の主面に上記フィルタ5.6の共通電
極24゜25、M会コンデンサCの他方の電極26,2
よびこれら電極を相互に接続する電極が形成されてなる
ものである。
電基板14の一方の主面に、3端子型のエネルギー閉じ
込め型2東モードフイルタ(以下、単にフィルタと化す
。)5および60分割電極17゜182よび19..2
0、結合コンデンサCの電極21および引出電極22.
23ならびにこれら電極を接続する電極が形成され、圧
電基板11の他方の主面に上記フィルタ5.6の共通電
極24゜25、M会コンデンサCの他方の電極26,2
よびこれら電極を相互に接続する電極が形成されてなる
ものである。
上記圧電基板14の両主面には大々刀バー12゜13が
、フィルタ5および6の形Jy、部分に振動部+1aを
残して、接盾剤で貼り付けられている。フィルタ5の引
出′電極22およびフィルタ6の引出゛電極23は、カ
バー12のコーナ部に設けた2つの切欠@ 12 ah
よひ12b’に弁して、上記カバー12に形成された端
子電極272よび28に大々引き出され、コンデンサC
の電極26.(M2図には現われていない。)は、カバ
ー13に設けた切欠@ 13 aおよび該刀パー13の
フィルタユニツ)11とは反対側の面にその巾方向に形
成された電極(図示せず。)を介して、上記カバー12
に形成された端子電極29に引き出されている。
、フィルタ5および6の形Jy、部分に振動部+1aを
残して、接盾剤で貼り付けられている。フィルタ5の引
出′電極22およびフィルタ6の引出゛電極23は、カ
バー12のコーナ部に設けた2つの切欠@ 12 ah
よひ12b’に弁して、上記カバー12に形成された端
子電極272よび28に大々引き出され、コンデンサC
の電極26.(M2図には現われていない。)は、カバ
ー13に設けた切欠@ 13 aおよび該刀パー13の
フィルタユニツ)11とは反対側の面にその巾方向に形
成された電極(図示せず。)を介して、上記カバー12
に形成された端子電極29に引き出されている。
次に、上記の構成を有するフィルタの製造方法を説明す
る。
る。
本実施例においては、先ず、第4図に示すように、はy
−泥中を有する長尺の圧電母材31を用意し、その一方
の主面に、第3図VcJ?いて笑線で示す電極パターン
を遵現してはソ等間隔に、印刷もしくは蒸着等の手法に
よって形成し、他方の工面にも、第3図に2いて点綴で
示す電極パターンを上記電極パターンと対向させて形成
する。
−泥中を有する長尺の圧電母材31を用意し、その一方
の主面に、第3図VcJ?いて笑線で示す電極パターン
を遵現してはソ等間隔に、印刷もしくは蒸着等の手法に
よって形成し、他方の工面にも、第3図に2いて点綴で
示す電極パターンを上記電極パターンと対向させて形成
する。
葦だ、第3図の引出電極22.23に夫々対応する位置
に切欠き32,32.・・・を設けたガラヌエホキシも
しくはセラミック等からなるカバー33と、第3図の′
tjL極26極対6する位置に切欠きあ。
に切欠き32,32.・・・を設けたガラヌエホキシも
しくはセラミック等からなるカバー33と、第3図の′
tjL極26極対6する位置に切欠きあ。
34、・・・を有する上記と同様のい1一つのカバー3
5とを用意する。
5とを用意する。
上記カバー332よび35は、圧電母材31とはy等し
い巾および長さを有する。
い巾および長さを有する。
上記圧電母材31の両主面に、M3図の分割成極17.
18yよび19.20と共通型4i1ii24寂よび2
5とその通数、すなわち、フィルタ5,6の振動部の振
動を許谷する空間(図示せず。)を残して、第5図に示
すように、接着剤36.36により、カバー332よび
35全夫4接着して、一つの長尺ユニット37(il−
形j戊する。
18yよび19.20と共通型4i1ii24寂よび2
5とその通数、すなわち、フィルタ5,6の振動部の振
動を許谷する空間(図示せず。)を残して、第5図に示
すように、接着剤36.36により、カバー332よび
35全夫4接着して、一つの長尺ユニット37(il−
形j戊する。
上記接着剤36.36は、倣動部の振動を許谷する上記
空間が形成されるよりに、塗布部分および厚与を考慮し
て圧電母イ汀31の両主面に塗布することが好ましい。
空間が形成されるよりに、塗布部分および厚与を考慮し
て圧電母イ汀31の両主面に塗布することが好ましい。
上記長尺ユニット37は、回転させながら、ヌパッタリ
ング、蒸1u、もしぐはイオンブレーティング等のPV
D詠で表面全体に金属膜(図示せず。
ング、蒸1u、もしぐはイオンブレーティング等のPV
D詠で表面全体に金属膜(図示せず。
)を形成する。この金属膜の材斜は、半田くわれを考慮
して、ニッケル(Ni)と銅(Cu)の合金とすること
が好フしい。Iた、上記金属膜の上に電解メッキを施し
て膜厚をざらに厚くすることが好互しい。
して、ニッケル(Ni)と銅(Cu)の合金とすること
が好フしい。Iた、上記金属膜の上に電解メッキを施し
て膜厚をざらに厚くすることが好互しい。
次に、長尺ユニット37の上記切欠!!32.32゜・
・・2よび34,34.・・・を含む側面、2よび上下
で瞬り8う切欠ぎ32と34との間を除いてエツチング
レジスト膜(図示せず。)を夫々塗布した後、全体をエ
ツチング故に浸漬し、第6図に示すように、上記エツチ
ングレジスト膜で保護された部分を除いて、上記金属膜
を除去し、端子電極27゜28および29を形成する。
・・2よび34,34.・・・を含む側面、2よび上下
で瞬り8う切欠ぎ32と34との間を除いてエツチング
レジスト膜(図示せず。)を夫々塗布した後、全体をエ
ツチング故に浸漬し、第6図に示すように、上記エツチ
ングレジスト膜で保護された部分を除いて、上記金属膜
を除去し、端子電極27゜28および29を形成する。
その後、上記長尺ユニット37の長手方向に対してはy
直交する線l□、11. ・・・に沿って切断し、必要
に応じ、端子電極27.28j、−よび29に電解メッ
キをほどこしたシ半田ディップすれば、第7図(a)お
よび第7図(L))に示すように、第2図および第3図
1Cj?いて説明したチップ状フィルタを得る。
直交する線l□、11. ・・・に沿って切断し、必要
に応じ、端子電極27.28j、−よび29に電解メッ
キをほどこしたシ半田ディップすれば、第7図(a)お
よび第7図(L))に示すように、第2図および第3図
1Cj?いて説明したチップ状フィルタを得る。
上記チップ状フィルタは、圧’+11:母材31とカバ
ー332よび35との接眉剤36による接層後のPVD
法による金属膜の形成と、エツチング処理とによシ、端
子電極27.282よび29が大々形成され、端子電極
27.28は夫々切欠@32゜32を介してフィルタユ
ニット11(第3回診図)の力量電極22.23i’l
:棉通し、また、端子電極29は切欠き3°4を介して
上詰フィルタユニツ)11の電極26に導通する。
ー332よび35との接眉剤36による接層後のPVD
法による金属膜の形成と、エツチング処理とによシ、端
子電極27.282よび29が大々形成され、端子電極
27.28は夫々切欠@32゜32を介してフィルタユ
ニット11(第3回診図)の力量電極22.23i’l
:棉通し、また、端子電極29は切欠き3°4を介して
上詰フィルタユニツ)11の電極26に導通する。
上記のようにすれば、圧電母材31、カバー33および
35はいずれも単純な形状を有しておフ、これらのもの
を製造するのに特殊な金型や加工も不要であり、長尺ユ
ニット37の切断によシ、■単に、大量のチップ状フィ
ルタを装量することができる。
35はいずれも単純な形状を有しておフ、これらのもの
を製造するのに特殊な金型や加工も不要であり、長尺ユ
ニット37の切断によシ、■単に、大量のチップ状フィ
ルタを装量することができる。
なP、上記実hI例に2いて、接着剤36の厚与によシ
、圧電母材31の振動部分の儀@全許容する空間を形成
する代りに、刀パー33.351111に注み(図示せ
ず。)を設けて上記と同様の窒聞を形成するようにして
もよい。
、圧電母材31の振動部分の儀@全許容する空間を形成
する代りに、刀パー33.351111に注み(図示せ
ず。)を設けて上記と同様の窒聞を形成するようにして
もよい。
本究明は、上記実施例において制明したようなエネルギ
ー閑じ込め形のフィルタの曲に、2端子Wめるいは3端
子型の同様な′A振子、FMディスクリミネータ用共倣
子Pよび表面−M、装置等に広く適用することができる
。
ー閑じ込め形のフィルタの曲に、2端子Wめるいは3端
子型の同様な′A振子、FMディスクリミネータ用共倣
子Pよび表面−M、装置等に広く適用することができる
。
(発明の効果)
以上、詳述したことからも明らかなように、本発明は、
圧電基板の主面に刀バーを接jgシてなるチップ状の圧
電振動部品の製造方法において、予め多数のフィルタユ
ニットが内部に形成された長尺ユニットにPvl)法等
により形成した金属膜をエツチングして端子電極を形成
した後、上記長尺ユニットを切断して圧電振動部品を得
るようにしたから、1つの長尺ユニットの切断で多数の
圧′亀振動部品を得ることができ、圧電振動部品を比較
的簡単な工程で大賞に生産することができる。
圧電基板の主面に刀バーを接jgシてなるチップ状の圧
電振動部品の製造方法において、予め多数のフィルタユ
ニットが内部に形成された長尺ユニットにPvl)法等
により形成した金属膜をエツチングして端子電極を形成
した後、上記長尺ユニットを切断して圧電振動部品を得
るようにしたから、1つの長尺ユニットの切断で多数の
圧′亀振動部品を得ることができ、圧電振動部品を比較
的簡単な工程で大賞に生産することができる。
圧′亀母材の両主面に接着する刀バーはいずれも切欠き
を有する単純な形状を有しておシ、製作が容易であり、
圧電振動部品のコストも大巾に引き下げることができる
。
を有する単純な形状を有しておシ、製作が容易であり、
圧電振動部品のコストも大巾に引き下げることができる
。
上記カバーの材質を選択することにより、信頼性のグレ
ードおよび使用条件に応じた圧電振動部品を製造するこ
とができる。
ードおよび使用条件に応じた圧電振動部品を製造するこ
とができる。
実装基板に対向するカバーに設けられた端子電極が、い
ま一つのカバー(残シの端子電極が設けられている)互
で延設されているので、従来リード付で使ろていた、圧
電基板の表裏に一対の振動!極を有する圧電振動ユニツ
)(Hそのまま用いることができてコストダウンが達成
できるとともに、このような圧電振動ユニットを用いて
も確実に7エースボンデングできる。
ま一つのカバー(残シの端子電極が設けられている)互
で延設されているので、従来リード付で使ろていた、圧
電基板の表裏に一対の振動!極を有する圧電振動ユニツ
)(Hそのまま用いることができてコストダウンが達成
できるとともに、このような圧電振動ユニットを用いて
も確実に7エースボンデングできる。
第1図は納会コンデンサで3端子型フイルタを縦続に接
続したフィルタの回路図、第2図は本発明方法によ41
1造される第1図の回路構成を有するフィルタの分解斜
視図、第3図は第2図のフィルタに使用されるフィルタ
ユニットの平面図、第4図、第5図および第6図は夫々
本発明方法を適用したチップ状フィルタの装造方法の一
実施例の製造工程の説明図、第7図(a)および第7図
(b)は夫々チップ状フィルタの完成品を異なる方向か
ら見た斜視図である。 22.23・・・引出電極、 26・・・電極、 27
゜28.29・・・端子電極、 31・・・圧電母材、
32・・・切欠き、 33・・・カバー、 34・・・
切欠き、35・・・カバー、 36・・・接着剤、 3
7・・・長尺ユニット。 第1図 第2図 2 第6図 す 第7図(0) 第7図(b) to 56 27
続したフィルタの回路図、第2図は本発明方法によ41
1造される第1図の回路構成を有するフィルタの分解斜
視図、第3図は第2図のフィルタに使用されるフィルタ
ユニットの平面図、第4図、第5図および第6図は夫々
本発明方法を適用したチップ状フィルタの装造方法の一
実施例の製造工程の説明図、第7図(a)および第7図
(b)は夫々チップ状フィルタの完成品を異なる方向か
ら見た斜視図である。 22.23・・・引出電極、 26・・・電極、 27
゜28.29・・・端子電極、 31・・・圧電母材、
32・・・切欠き、 33・・・カバー、 34・・・
切欠き、35・・・カバー、 36・・・接着剤、 3
7・・・長尺ユニット。 第1図 第2図 2 第6図 す 第7図(0) 第7図(b) to 56 27
Claims (2)
- (1)圧電基板の対向面にそれぞれ振動電極が設けられ
、圧電基板の側部両端に設けられた引出電極へ一方面の
振wJ電極が引出されるとともに、前記側部中間に設け
られた引出電極へ他方面の倣動電極が引出されたエネル
ギーとじこめ型三端子圧電振動ユニット、 この圧電振動ユニットとほぼ等しい長さおよび幅を有し
、引出電極に対応する位置にそれぞれ切欠きが設けられ
、圧電振動ユニットの振動部の振Iaヲ許容する空間を
残して圧電振動ユニットに接着された上下一対のカバー
、 とを有し、各引出電極とカバーに設けられた端子電極部
とが導通して′S?)、圧′醒基板の前記側部中間の引
出電極に導通している端子を極部は他方のカバーへ延設
されている圧電振動部品。 - (2) 複数組の振動ユニットがはY一定間隔て形成さ
れ、これら振動ユニットの振動部から夫々引出電極が主
面の側部に引き出されてなるはy−泥中を有する長尺の
圧電母材と、該圧電母材の巾とはy等しい巾を有し、上
記引出電極に対応する位置に切欠きが設けられた上下一
対のカバーとを用意し、上記圧電母材の上下面に大々上
記振動部の振#lを許容する全問を残して上記カッく−
を接着し、圧電母材とそのカバーとからなる長尺ユニッ
トを形成した後、との長尺ユニットの外面に金属膜全形
成し、上記切欠@を通し引出電極に導通する端子電極部
を残して上記金属膜を除去した後、上記長尺ユニットを
倣動ユニットの境界部で順次切り離すようにしたことを
特徴とする圧電振動部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12087183A JPS6012810A (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | 圧電振動部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12087183A JPS6012810A (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | 圧電振動部品およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6012810A true JPS6012810A (ja) | 1985-01-23 |
Family
ID=14797012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12087183A Pending JPS6012810A (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | 圧電振動部品およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6012810A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02299310A (ja) * | 1989-05-13 | 1990-12-11 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子及びその製造方法 |
JPH04183013A (ja) * | 1990-11-17 | 1992-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子の製造方法 |
US5933061A (en) * | 1997-08-08 | 1999-08-03 | Nec Corporation | Chip-type piezoelectric filter and filter circuit using such piezoelectric filter |
JP2014143558A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Seiko Instruments Inc | 電子デバイスの製造方法、電子デバイス及び発振器 |
KR20190025747A (ko) | 2017-06-21 | 2019-03-11 | 가부시키가이샤 미쯔이 이앤에스 머시너리 | 내연 기관의 과급기 잉여 동력 회수 장치 및 선박 |
KR20190026944A (ko) | 2017-05-31 | 2019-03-13 | 가부시키가이샤 미쯔이 이앤에스 머시너리 | 내연 기관의 과급기 잉여 동력 회수 장치 및 선박 |
KR20190042016A (ko) | 2017-10-02 | 2019-04-23 | 가부시키가이샤 미쯔이 이앤에스 머시너리 | 내연 기관의 과급기 잉여 동력 회수 장치 및 선박 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5433714A (en) * | 1977-08-19 | 1979-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | Automatic playing envelope generating system |
JPS5661820A (en) * | 1979-10-25 | 1981-05-27 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Quartz oscillator |
-
1983
- 1983-07-02 JP JP12087183A patent/JPS6012810A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5433714A (en) * | 1977-08-19 | 1979-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | Automatic playing envelope generating system |
JPS5661820A (en) * | 1979-10-25 | 1981-05-27 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Quartz oscillator |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02299310A (ja) * | 1989-05-13 | 1990-12-11 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子及びその製造方法 |
JPH04183013A (ja) * | 1990-11-17 | 1992-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子の製造方法 |
US5933061A (en) * | 1997-08-08 | 1999-08-03 | Nec Corporation | Chip-type piezoelectric filter and filter circuit using such piezoelectric filter |
JP2014143558A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Seiko Instruments Inc | 電子デバイスの製造方法、電子デバイス及び発振器 |
KR20190026944A (ko) | 2017-05-31 | 2019-03-13 | 가부시키가이샤 미쯔이 이앤에스 머시너리 | 내연 기관의 과급기 잉여 동력 회수 장치 및 선박 |
KR20190025747A (ko) | 2017-06-21 | 2019-03-11 | 가부시키가이샤 미쯔이 이앤에스 머시너리 | 내연 기관의 과급기 잉여 동력 회수 장치 및 선박 |
KR20190042016A (ko) | 2017-10-02 | 2019-04-23 | 가부시키가이샤 미쯔이 이앤에스 머시너리 | 내연 기관의 과급기 잉여 동력 회수 장치 및 선박 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9491849B2 (en) | Electronic component | |
TW432401B (en) | Method of producing thermistor chips | |
JP3614030B2 (ja) | マザー基板,子基板およびそれを用いた電子部品ならびにその製造方法 | |
JPS6012810A (ja) | 圧電振動部品およびその製造方法 | |
JPH0155609B2 (ja) | ||
JPS58138115A (ja) | チップ状圧電振動部品の製造方法 | |
JPS58197909A (ja) | チツプ状圧電振動部品の実装構造 | |
JPH0155605B2 (ja) | ||
JPS6012811A (ja) | 圧電振動部品 | |
JP2003249837A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JPH0215131B2 (ja) | ||
JPH09162084A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
WO2019181760A1 (ja) | 高周波モジュール | |
JPS58139517A (ja) | チツプ状圧電振動部品 | |
JPH0244167B2 (ja) | ||
JP2600921B2 (ja) | 圧電共振子 | |
CN109412546A (zh) | 一种植有焊接材料的基板及其加工工艺 | |
JPH0215132B2 (ja) | ||
JPS58139516A (ja) | チツプ状圧電振動部品 | |
JPH0251906A (ja) | チップ型圧電共振子及びその製造方法 | |
JPH0397279A (ja) | 電子部品の基板及びその基板を備えた電子部品の製造方法 | |
JPS5921542Y2 (ja) | セラミツク共振子 | |
JPS58139515A (ja) | チップ状圧電振動部品の製造方法 | |
JP2006100546A (ja) | 多数個取り配線基板、電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
KR19980063683A (ko) | 압전세라믹 전자부품 및 그 제조방법 |