JPS58139515A - チップ状圧電振動部品の製造方法 - Google Patents
チップ状圧電振動部品の製造方法Info
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- JPS58139515A JPS58139515A JP8692282A JP8692282A JPS58139515A JP S58139515 A JPS58139515 A JP S58139515A JP 8692282 A JP8692282 A JP 8692282A JP 8692282 A JP8692282 A JP 8692282A JP S58139515 A JPS58139515 A JP S58139515A
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は板状の絶縁物と圧電振動ユニツＩ〜とを積層し
たチップ状の圧電振動部品に関する。 従来より、共振子、発振子、フィルタ、ＦＭディスクリ
ミネータなどの圧電振動部品としては、各圧電振動ユニ
ットの使用振動モードの特徴により、比較的周波数が低
い数百Ｋｚの周波数帯のセラミックフィルタでは、樹脂
等を箱体状に成型した外装ケース内に圧電振動］ニット
を収容したケースタイプのものや、周波数が高い数ＭＨ
ｚから数１０Ｍ＋−１７の周波数帯のセラミックフィル
タでは、エネルギー閉じ込め形１１電振動ユニットの振
動区域を除いた区域に外装樹脂を（＝ｊ看させたいわゆ
るｒイップ塗装形状のもの、あるいは表面波素子ではデ
ィップ塗装形状もしくはハーメチックシールドケースを
有するものが一般に知られているが、これら圧電振動部
品はいずれもリード端子を有するリード端子タイプのｂ
のである。 ところで、近年、電子機器の小形化に伴って電子部品実
装密度を高めるための種々の工夫がなされているが、上
記のＪ：うなリード端子タイプの圧電振動部品では、五
本本釣には、圧電振動ユニットを外装部材で被覆し、該
外装部材から複数本のリード端子を突出ざ甘た構成を有
しているため、形状が大きく実装密劇が低くなる欠点が
あった。 本発明は従来の圧電振動部品におりる上記事情に鑑みて
なされたものであって、その目的は、圧電振動部品を朗
産に好適な構造でチップ化づることにより、圧電振動部
品を実装すべき基板に直接取すイ１けるようにし、しか
も、実装密度の向１を図るとともに製造工程の簡略化を
図ることひある。 この発明のさらに他の目的は、圧電基板の表裏面に一対
の励振電極を設けた圧電振動コニツ］・を用いてもフェ
ーズボンデングできるようにした実用的なチップ状の圧
電振動部品を提供することである。 このため、本発明は、カバーとなるべき少くとも一つの
板状の絶縁物の少くとも二個所に切欠部を設
たチップ状の圧電振動部品に関する。 従来より、共振子、発振子、フィルタ、ＦＭディスクリ
ミネータなどの圧電振動部品としては、各圧電振動ユニ
ットの使用振動モードの特徴により、比較的周波数が低
い数百Ｋｚの周波数帯のセラミックフィルタでは、樹脂
等を箱体状に成型した外装ケース内に圧電振動］ニット
を収容したケースタイプのものや、周波数が高い数ＭＨ
ｚから数１０Ｍ＋−１７の周波数帯のセラミックフィル
タでは、エネルギー閉じ込め形１１電振動ユニットの振
動区域を除いた区域に外装樹脂を（＝ｊ看させたいわゆ
るｒイップ塗装形状のもの、あるいは表面波素子ではデ
ィップ塗装形状もしくはハーメチックシールドケースを
有するものが一般に知られているが、これら圧電振動部
品はいずれもリード端子を有するリード端子タイプのｂ
のである。 ところで、近年、電子機器の小形化に伴って電子部品実
装密度を高めるための種々の工夫がなされているが、上
記のＪ：うなリード端子タイプの圧電振動部品では、五
本本釣には、圧電振動ユニットを外装部材で被覆し、該
外装部材から複数本のリード端子を突出ざ甘た構成を有
しているため、形状が大きく実装密劇が低くなる欠点が
あった。 本発明は従来の圧電振動部品におりる上記事情に鑑みて
なされたものであって、その目的は、圧電振動部品を朗
産に好適な構造でチップ化づることにより、圧電振動部
品を実装すべき基板に直接取すイ１けるようにし、しか
も、実装密度の向１を図るとともに製造工程の簡略化を
図ることひある。 この発明のさらに他の目的は、圧電基板の表裏面に一対
の励振電極を設けた圧電振動コニツ］・を用いてもフェ
ーズボンデングできるようにした実用的なチップ状の圧
電振動部品を提供することである。 このため、本発明は、カバーとなるべき少くとも一つの
板状の絶縁物の少くとも二個所に切欠部を設
【プ、これ
ら切欠部の少くども上記絶縁物の厚み方向の壁面に夫々
チップ部品の外部接続端子電極となるべき導電膜を形成
し、上記絶縁物とＪ１電振動コニットとを積層１ノで該
圧電振動ユニットの引出し電極を上記導電膜に電気的に
接続し一体化したものにおいて、圧電振動二ｌニットは
圧電基数の表裏に設番プだ一対の励振電極を有し、基板
の一方面側の励振電極は、圧電基数の表裏に一対の電極
を設けたコンデンリ−を介して基板の他方面側に設けら
れた引出し電極に接続されているようにしたことを特徴
としている。 以下、添イ（１回向を参照して本発明の詳細な説明する
が、その前に関係技術についても述べる。 第１図（ａ ）および第１図（ｂ ）において、１１は
プリント基板、スルーホールメッキ基板としてよく用い
られる合成樹脂月利やアルミナ等からなる四角形の板状
の絶縁物、１２は表面波素子を構成する圧電振動ユニッ
トである。 上記絶縁物１１はその四隅に夫々−例として円弧状の切
欠き部１３ａ 、１３ｂ 、１３ｃ 、 １３ｄを有し
、これら切欠ぎ部１３ａ 、 １３ｂ 、 ｉ３ｃ 、
１３ｄの上記絶縁物１１の厚み方向の壁面１４ａ 、
１４ｂ 、 １４ｃ 、 １４ｄおよび絶縁物１１０
面の４−記切欠き部１３ａ’、 １３ｂ 、 １３Ｇ
、 １３ｄ近傍にわたって導電膜１５ａ 、 １５ｂ
、 １５ｃ 。 １５ｄを夫々形成している。 一方、圧電振動ユニツ］・１２は上記絶縁物１１とほぼ
同一の刈払を有１ノ、その一方の主面の四隅には３− 一例どして扇形の引出し電極１７，１８．１９および２
０を夫々形成している。 上記引出し電極１１および１８は夫々表面波（表面弾性
波）素子２１の入力端子およびアース端子であり、上記
引出し電極１９Ｊ３よび２０は夫々−り記表面波素子２
１の２つの出力端子である。 上記圧電振動ユニット１２には、その表面波水子２１部
分の振動を保障するためにその一方の４−面に凹部２２
を設けた上記絶縁物１１を積層し、両者を接着剤で接着
するとともに、表面波素子２１の上記引出し電極１７，
１８．１９および２０と、絶縁物１１の導電膜１５ａ、
１５ｂ、 １５ｃ、 １５ｄとをデツプ法等により半
田付【プ２６シている。 上記のようにすれば、第２図に示Ｊ−ようなチップ状の
弾性表面波部品２３を得ることができる。 上記弾性表面波部品２３をプリント基板に実装する場合
には、第２図に示すように、プリン１へ基板２４の取付
位置に上記弾性表面波部品２３を接着配置し、デツプ法
等により半田付けすると第３図に代表として引出し電極
１９と導電膜１５ｃについ−Ｃ示ず４ − ように、上記引出し電極１７，１８，１９，２０、導電
膜１５ａ、 １５ｂ、 １５０．１５ｄおよびこれらに
対応する４つの銅箔２５の３者がそれぞれ相互に導通し
た状態で、上記弾性表面波部品２３がプリント基板２４
に実装されることになる。 なお、上記弾性表面波部品２３の弾性表面波素子１２部
分をシールドする場合は、第４図および第５図に示すよ
うに、絶縁物１１の他方の主面にシールド電極Ｓを形成
し、該シールド電極Ｓを導電膜１５ｂを介して引出し電
極１８（アース端子）に接続すればよい。 上記の如き構成を有するチップ状の弾性表面波部品２３
を得るには、第６図（ａ ）に示すように、先ず、好ま
しくは、プリント基板月利、スルーホールメッキ基板材
料としてよく用いられている合成樹脂よりなる絶縁物母
材３１を用意し、該絶縁物母材３１に前後および左右の
間隔が製造する弾性表面波部品２３の巾および長さに等
しくなる位置に例えば丸孔または縁部には半丸孔３２．
・・・、３２を設け。 スルーホールメツ：ｔの手法により、第７図に示すよう
に、上記丸孔３２．・・・、３２の内壁面おＪ：びぞの
両開口端面周縁部に電＆膜３３．・・・、３３を夫々形
成するとともに四部２２をたとえば切削づるなとして設
け、また、好ましくは、圧電振動コニツＩ−母材３４に
接する側の開孔端面周縁部の電極を研摩除去する。 一方、第６図（ｂ ）に示ＪＪ：うに、ｌ■−電祠ｆｌ
を板状に成型して焼成することにより圧電振動ユニット
母材３４を形成し、印刷等の手法により、その一方の主
面に上記絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３２に対応
する位置に円形または半円形の引出し電極相当部３ｊ）
、・・・、３５を形成するとどもにこれら引出し電極相
当部３５．・・・、３５に接続されるインターデジタル
電極を設けて弾性表面波素子２１．・・・ 。 ２１を形成づる。 次に、上記絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３２、・
・・、３２と上記圧電振動ユニツ］・母材３４の引出し
電極相当部３５．・・・、３５どを夫々一致させて、（
これら絶縁物母材３１ど圧電振動ユニツ１へ母材３４と
を接着材（図示せず）により相互に接着する。 上記状態で、絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３２、
・・・、３２および圧電振動ユニット母材３４の引出し
電極相当部３５．・・・ 、３５の中心を通る線３６．
・・・ 。 ３６．３７．・・・ 、３７に沿って上記絶縁物母材３
１および圧電振動１ニツｌ−母＋Ａ３４を切断した後、
１記丸孔または半丸孔３２．・・・、３２に形成された
電極膜３３゜・・・、３３が加二［されてできた導電膜
１５ａ〜１５ｄと、引出し電極相当部３５．・・・、３
５が加工されてできた引出し電極１７〜２０とを半田付
【プすれば、第２図に示す弾性表面波部品２３を得るこ
とができる。このような製造方法は以下の例にも適用で
きる。 上記のようにすれば、一枚の絶縁物母材３１と一枚の圧
電振動ユニツＩ−母材３４とを相互に接着して切断する
だ（プで、大量の弾性表面波部品２３を大量に１産する
ことができる。しかも、絶縁物母材３１は市販されてい
るものまたはそれに準じて製造される製造容易で安価な
ものを使用できる。 上述１〕だ弾性表面波部品のように、励振電極がＦ「電
板の一方表面にのみ形成されるものは、引出し電極を容
易にチップ部品の外部接続端子電極と７− なるべぎ導電膜に接続できるが、以Ｆに述べるＪ、うな
本発明が対象とづる圧電板の対向」ミ表面に励振電極を
設けた］ネルギーとじこめ形厚み振動モードを用いるバ
ルク波部品では、一方の励振電極の引出し電極は、チッ
プ部品の外部接続端子電極となるべき第１の導電膜に容
易に接続Ｃきるが、他方の励振電極の引出し電極は何ん
らかの手段を用いて圧電板を回り込んで前記第１の導電
膜と同一平面にある第２の導電膜に接続してやらないと
フェーズボンデングできる構造にならない。以トにエネ
ルギーとじこめ形バルク波部品で７１−ズボンデングす
るための対策について述べる。 まず、関係技術としてバルク波エネルギー閉じ込め形の
二端子共振子の例を第８図、第９図お、１；び第１０図
に示す。 この例においては、第８図に示すように、圧
電振動コニツＩ・４１は圧電基板４２の一方の主面に形
成した円形の１ｉ１４４３，４４および１記圧電基板４
２の他方の主面に上記電極４３．４４に対向させて形成
した円形の電極４５．４６を有するｈいに独立して振動
する二端子共振子４７．４８を備え、 ８− これら二端子共振子４７ 、４ ＩＩの上記電極４３，
４４、を方向性をなくして取り扱いが便利になるよう圧
電基板４２の上記−ｈの主面の一本の対角線上の２つの
隅部に形成した引出し電８Ａ４９．５０に夫々引き出す
とともに、電極４５ど電極４６とを接続したものである
。また、実装すべき基板に立ててとりつけるどきは、た
とえば引出し電極５０を図にお（プる右下隅部に形成し
て電極４４と接続する。すると立てて実装するとぎ、実
装基板面に引出し電極４９．５０が接することになり、
はんだづけが容易になる。 上記圧電コニツ１〜４１は、第１０図に示すように、引
出し電極４９と５０との間に、二端子共振子４７と４８
とが直列に接続された回路構成を有するが、等測的には
一つの二端子共振子が構成される。このような構成だと
、両引出し電ｌｉｉ ４９．５０が圧電基板４２の一面
側に存在づるので、上記圧電振動ユニット４１には、そ
の−ｌ十から第１図（ａ ）と全く同様の構成を有する
絶縁物１１．１１を、第９図に示すように、積層して接
着し、上記引出し電極４９および５０を夫々上記一方の
絶縁物１１の導電膜１５ｂ、１５ｃに半田２６で半田付
番プ覆れば、チップ状のバルク波］ネルギー閉じ込め形
の２端子共振子を得ることができる。この場合、電極４
５．４６側の絶縁物１１は、四部２２を有するのみで隅
部に切欠部を有しない導通の絶縁板に置き換えてもよい
。このことは、以下の例にも適用される。 次に、本発明の実施例として三端子共振子］１ニッ］・
を用いた場合で、アース側共通電極とその引出し電極間
に一］ンデンザを介在させることにＪ、す、アース側共
通電極の引出し電極を、人・出力電極の引出し電極が設
Ｇ１られている圧電基板面側に設けたものについてのべ
る。 上記第８図から第１０図の例において、第１１図に示す
ような電極構成を有する圧電振動コニツＩ・５１を使用
すれば、第１２図に示づように、引出し電極５２．５３
が三端子共振子５４の分割電極５５．５６に夫々接線さ
れ、電極５７と上記三端子共振子５４の共通電極５８と
の間にコンデンサＣ１・が接続されたチップ状のバルク
波エネルギー閉じ込め形の三端子共振子を得ることがで
きる。このような構造だと、電極！】８の引出し電極ｊ
）７が引出し電極５２．５３と同一面側に位置すること
になる。なお、電極５７と対角位置にある隅部にｂ同様
な］ンデンザｃ１を構成するど、圧電振動ユニット５１
の方向性がなくなって取り扱いが便利′Ｃある。 このような、上記第８図から第１２図の例は発振子、Ｆ
Ｍディスクリミネータユニツ１〜、フィルタ等として使
用づることが（・きる。 また、第１３図に示すような電極構成を有する圧電振動
ユニット６１を使用すれば、第１４図に示すように、引
出し電極６２と６３との間に、三端子共振子５４、コン
デン１）Ｃ１および三端子共振子５４−、コンデンサＣ
−＋からなる第１２図と全く同一構成を有する２組の回
路をカスコードに接続するとともに、上記三端子共振子
５４−の分割電極の一方と共通電極との間にコンデンサ
Ｃ２を接続したチップ状のバルク波エネルギー閉じ込め
形のフィルタを得る。 上記コンデン−’ＪＣ１の一方の電極６４およびいま一
つの］ンデンリ−０２の一方の電極６５は上記フィ１１
− ルタの外部で相互に接続される。また、この倹形例とし
て、第１４図で点線で示したような接続を追加すると、
第１３図示のもの−ｂｈ向性がなくな−）で取り扱いが
便利である。 次に、非エネル１゛−閉じ込め形のフィルタの例を第１
５図、第１６図（ａ ）、（ｂ）に示す。 第１５図において、７１．７１は非Ｊネルギー閉じ込め
形の共振素子であって、これら共振素子７１．７１はそ
の各圧電基板７２の一方の主面に分割電極７３゜７３を
形成するとともに、他方の主面に共通電極７４を形成し
、上記分割電極７３．７３の間に満７５を形成して、長
さ振動モードを利用するものである。 一方、７６は共振素子７１．７１の取り付番プ用のアル
ミナ等のセラミック又は合成樹脂製基板ぐあって、該基
板７６にはアース側となる引出し電極７７を形成し、こ
れら引出し電極７７十には弾性を有りるＶ４ｔＪ性又は
等方性導電性シート ７８．７８を［−１にして、１記
共振素子７１．７１を載置固定し、その１１通電極１４
．１４を上記引出し電極７７に導通さｔ！（いる、。 上記共振素子７１．７１と基板１６が、例えば第１図１
２− （ｂ）の圧電振動コニツ１へ１２に相当する圧電振動コ
ニットを構成する。 上記共振素子７１．７１の上には、弾性を有づる異方導
電性シーｒ−７９，７９を間にして、基本的に第１図（
ａ ）と同様の構成を右する絶縁物１１−を被せて、該
絶縁物１１−と」記基板とを相互に接着している。 上記絶縁物１１−は共振素子７１．７１を収容するため
の四部２２′、２２− （一つの共通四部であってもに
い）を有し、これら四部２２′、２２−の内壁面には、
異方導電性シート ７９．７９を通して、共振素子７１
．７１の各一方の分割電極７３．７３を相互に導通させ
る接続電極８０を形成する一方、共振素子７１．７１の
各他方の分割電極７３．７３を夫々導電膜１５ａ、１５
ｄに導通させる接続電極８１．８１を形成している。 上記のＪ：うに゛りれば、共振素子７１．７１の圧電基
板７２．７２は弾性を右する導電性シード７８と７９と
の間に指示固定され、その振動が保障される一方、取り
付けの方向性をなくするために、その他方の分割電極７
３．７３は−Ｉ−記異方導電性シードア９を通して導電
膜１５ａ、１５１１に夫々引き出さね、また、ｊ（通電
極７４．７４も上記導電性シー１〜７８．７８を通して
、引出し電極７７から上記導電膜１５ａ、１５ｄどは異
なる位置に形成されたｙ９電膜１５ｂ、１５Ｇに引き出
される。 上記第１５図の例においＣ１絶縁物１１−側の異方導電
性シー１へ７９を使用せずに、例えば第１６図（ａ）お
よび第１６図（１１）に夫々示１ように、ボンラ５ング
ワイ〜７９０を使用して、上記他方の分割電極１３゜７
３を上記導電膜１５ａ、１５ｄに導通させるＪ、うにり
、てもＪ：い。 上記のようにして、非エネルギー閉じ込め形の単一振動
モードを用いた三端子形の共振子を７一段に縦続接続し
たフィルタもチップ化づることができる。縦続接続する
段数は任意である。また、−個の非エネルギー閉じ込め
形の単一振動モートを用いた二端子又は三端子形の発振
子やＦ Ｍディスクリミネータにも適用できる。使用モ
ードや非エネルギー閉じ込め形の振動素子の種類も上記
に限定されないことはいうまでもない。 次に、エネルギー閉じ込め形であって、従来り一ドを付
けて使用していた圧電振動ユニットを用いＩこ場合につ
い°（述べておく。第１７図は、この場合の基本的な圧
電振動］ニラ１〜を示す。図において １０１は圧電基
板、１０２，１０３は一対の励振電極、１０４、１０５
は一木の対角線上における圧電基板１０１の隅部の表側
、裏側にそれぞれ設（プた引出し電極である。この圧電
振動コニツｌ−には、その」ニ下から絶縁物１１．１１
を第１８図に示すように積層して接着し、引出し電極１
０４とこれに接触する導電膜１５ａを半田付けするとと
もに、引出し電極１０５とこれに接触−４る下側の絶縁
物１１の導電膜１５ｃを半田何番）する。同時に、コ字
状金属クリップ１０６を下側の絶縁物１１の導電膜１５
Ｃ１上側の絶縁物１１の導電膜１５ｄ間にはしわたしし
て、両者を半田付（）づる。このような構造ににって、
両励振電極１０２，１０３が上側の絶縁物１１の導電膜
１５ａ、 １５ｄにそれぞれ導通することになる。コ字
状金属クリップにかえてワイヤで接続を行ってｂよい。 また、電極を圧電基板の側面に沿わμたり、圧電基板の
隅部に孔を設けて電極膜を形成したりしてコ字状金属ク
リ１５− ツブやワイＶの機能をもたけ−でもよい。そし−（−１
このような構造は、上述のような二端子形状振子のみな
らず、三端子形の共振子やフィルタ等の圧電振動ユニツ
Ｉ〜を用いたものにも適用ｒきる。 以」、詳細に説明したことからも明らかなように、本発
明では、少くとも２個所に切り欠き部を設【プてその部
分に導電膜を形成した絶縁板を圧電振動ユニットに積層
してその引出し電極を上記導電膜に導通させることによ
り圧電振動部品をチップ化した圧電振動部品を製造した
から、■−組の絶縁物母材と圧電振動ユニット母林を積
層して切断するので容易に大量の圧電振動部品を得るこ
とができる、■製造■稈が簡単であることにＪ：す、価
格が安く、不良品の発生が少く、製品としての信頼性も
向上する、■リード線のないチップ形状化された抵抗や
コンデンサと同様構造であるためプリント基板等の回路
基板への実装が容易で・ある。 ■導電膜をスルーホールメッキの手払により￥ｇ易に形
成することができるといった効果に加え、Ｈ−１６＝ 電基板の表裏に一対の励振Ｎ極を有づる構造の圧電振動
ユニットの一方の励振電極を他方の励′ＩＦ！電極が設
（プである面側へ］ンデンザを介して引出しているので
、この種、圧電基板の表裏に一対の励振電極を有する構
造の圧電振動部品をフエーズボンデンクできるチップ形
とづることかできる効果を有りる。 なお、第２、第３、第５、第９、第１５、第１６（ｂ）
、第１８の各図は、各部の接続関係を明確にするための
もので、断面は適宜適当な箇所であるので、いわゆる断
面図とは異なることをことわっておく。
ら切欠部の少くども上記絶縁物の厚み方向の壁面に夫々
チップ部品の外部接続端子電極となるべき導電膜を形成
し、上記絶縁物とＪ１電振動コニットとを積層１ノで該
圧電振動ユニットの引出し電極を上記導電膜に電気的に
接続し一体化したものにおいて、圧電振動二ｌニットは
圧電基数の表裏に設番プだ一対の励振電極を有し、基板
の一方面側の励振電極は、圧電基数の表裏に一対の電極
を設けたコンデンリ−を介して基板の他方面側に設けら
れた引出し電極に接続されているようにしたことを特徴
としている。 以下、添イ（１回向を参照して本発明の詳細な説明する
が、その前に関係技術についても述べる。 第１図（ａ ）および第１図（ｂ ）において、１１は
プリント基板、スルーホールメッキ基板としてよく用い
られる合成樹脂月利やアルミナ等からなる四角形の板状
の絶縁物、１２は表面波素子を構成する圧電振動ユニッ
トである。 上記絶縁物１１はその四隅に夫々−例として円弧状の切
欠き部１３ａ 、１３ｂ 、１３ｃ 、 １３ｄを有し
、これら切欠ぎ部１３ａ 、 １３ｂ 、 ｉ３ｃ 、
１３ｄの上記絶縁物１１の厚み方向の壁面１４ａ 、
１４ｂ 、 １４ｃ 、 １４ｄおよび絶縁物１１０
面の４−記切欠き部１３ａ’、 １３ｂ 、 １３Ｇ
、 １３ｄ近傍にわたって導電膜１５ａ 、 １５ｂ
、 １５ｃ 。 １５ｄを夫々形成している。 一方、圧電振動ユニツ］・１２は上記絶縁物１１とほぼ
同一の刈払を有１ノ、その一方の主面の四隅には３− 一例どして扇形の引出し電極１７，１８．１９および２
０を夫々形成している。 上記引出し電極１１および１８は夫々表面波（表面弾性
波）素子２１の入力端子およびアース端子であり、上記
引出し電極１９Ｊ３よび２０は夫々−り記表面波素子２
１の２つの出力端子である。 上記圧電振動ユニット１２には、その表面波水子２１部
分の振動を保障するためにその一方の４−面に凹部２２
を設けた上記絶縁物１１を積層し、両者を接着剤で接着
するとともに、表面波素子２１の上記引出し電極１７，
１８．１９および２０と、絶縁物１１の導電膜１５ａ、
１５ｂ、 １５ｃ、 １５ｄとをデツプ法等により半
田付【プ２６シている。 上記のようにすれば、第２図に示Ｊ−ようなチップ状の
弾性表面波部品２３を得ることができる。 上記弾性表面波部品２３をプリント基板に実装する場合
には、第２図に示すように、プリン１へ基板２４の取付
位置に上記弾性表面波部品２３を接着配置し、デツプ法
等により半田付けすると第３図に代表として引出し電極
１９と導電膜１５ｃについ−Ｃ示ず４ − ように、上記引出し電極１７，１８，１９，２０、導電
膜１５ａ、 １５ｂ、 １５０．１５ｄおよびこれらに
対応する４つの銅箔２５の３者がそれぞれ相互に導通し
た状態で、上記弾性表面波部品２３がプリント基板２４
に実装されることになる。 なお、上記弾性表面波部品２３の弾性表面波素子１２部
分をシールドする場合は、第４図および第５図に示すよ
うに、絶縁物１１の他方の主面にシールド電極Ｓを形成
し、該シールド電極Ｓを導電膜１５ｂを介して引出し電
極１８（アース端子）に接続すればよい。 上記の如き構成を有するチップ状の弾性表面波部品２３
を得るには、第６図（ａ ）に示すように、先ず、好ま
しくは、プリント基板月利、スルーホールメッキ基板材
料としてよく用いられている合成樹脂よりなる絶縁物母
材３１を用意し、該絶縁物母材３１に前後および左右の
間隔が製造する弾性表面波部品２３の巾および長さに等
しくなる位置に例えば丸孔または縁部には半丸孔３２．
・・・、３２を設け。 スルーホールメツ：ｔの手法により、第７図に示すよう
に、上記丸孔３２．・・・、３２の内壁面おＪ：びぞの
両開口端面周縁部に電＆膜３３．・・・、３３を夫々形
成するとともに四部２２をたとえば切削づるなとして設
け、また、好ましくは、圧電振動コニツＩ−母材３４に
接する側の開孔端面周縁部の電極を研摩除去する。 一方、第６図（ｂ ）に示ＪＪ：うに、ｌ■−電祠ｆｌ
を板状に成型して焼成することにより圧電振動ユニット
母材３４を形成し、印刷等の手法により、その一方の主
面に上記絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３２に対応
する位置に円形または半円形の引出し電極相当部３ｊ）
、・・・、３５を形成するとどもにこれら引出し電極相
当部３５．・・・、３５に接続されるインターデジタル
電極を設けて弾性表面波素子２１．・・・ 。 ２１を形成づる。 次に、上記絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３２、・
・・、３２と上記圧電振動ユニツ］・母材３４の引出し
電極相当部３５．・・・、３５どを夫々一致させて、（
これら絶縁物母材３１ど圧電振動ユニツ１へ母材３４と
を接着材（図示せず）により相互に接着する。 上記状態で、絶縁物母材３１の丸孔または半丸孔３２、
・・・、３２および圧電振動ユニット母材３４の引出し
電極相当部３５．・・・ 、３５の中心を通る線３６．
・・・ 。 ３６．３７．・・・ 、３７に沿って上記絶縁物母材３
１および圧電振動１ニツｌ−母＋Ａ３４を切断した後、
１記丸孔または半丸孔３２．・・・、３２に形成された
電極膜３３゜・・・、３３が加二［されてできた導電膜
１５ａ〜１５ｄと、引出し電極相当部３５．・・・、３
５が加工されてできた引出し電極１７〜２０とを半田付
【プすれば、第２図に示す弾性表面波部品２３を得るこ
とができる。このような製造方法は以下の例にも適用で
きる。 上記のようにすれば、一枚の絶縁物母材３１と一枚の圧
電振動ユニツＩ−母材３４とを相互に接着して切断する
だ（プで、大量の弾性表面波部品２３を大量に１産する
ことができる。しかも、絶縁物母材３１は市販されてい
るものまたはそれに準じて製造される製造容易で安価な
ものを使用できる。 上述１〕だ弾性表面波部品のように、励振電極がＦ「電
板の一方表面にのみ形成されるものは、引出し電極を容
易にチップ部品の外部接続端子電極と７− なるべぎ導電膜に接続できるが、以Ｆに述べるＪ、うな
本発明が対象とづる圧電板の対向」ミ表面に励振電極を
設けた］ネルギーとじこめ形厚み振動モードを用いるバ
ルク波部品では、一方の励振電極の引出し電極は、チッ
プ部品の外部接続端子電極となるべき第１の導電膜に容
易に接続Ｃきるが、他方の励振電極の引出し電極は何ん
らかの手段を用いて圧電板を回り込んで前記第１の導電
膜と同一平面にある第２の導電膜に接続してやらないと
フェーズボンデングできる構造にならない。以トにエネ
ルギーとじこめ形バルク波部品で７１−ズボンデングす
るための対策について述べる。 まず、関係技術としてバルク波エネルギー閉じ込め形の
二端子共振子の例を第８図、第９図お、１；び第１０図
に示す。 この例においては、第８図に示すように、圧
電振動コニツＩ・４１は圧電基板４２の一方の主面に形
成した円形の１ｉ１４４３，４４および１記圧電基板４
２の他方の主面に上記電極４３．４４に対向させて形成
した円形の電極４５．４６を有するｈいに独立して振動
する二端子共振子４７．４８を備え、 ８− これら二端子共振子４７ 、４ ＩＩの上記電極４３，
４４、を方向性をなくして取り扱いが便利になるよう圧
電基板４２の上記−ｈの主面の一本の対角線上の２つの
隅部に形成した引出し電８Ａ４９．５０に夫々引き出す
とともに、電極４５ど電極４６とを接続したものである
。また、実装すべき基板に立ててとりつけるどきは、た
とえば引出し電極５０を図にお（プる右下隅部に形成し
て電極４４と接続する。すると立てて実装するとぎ、実
装基板面に引出し電極４９．５０が接することになり、
はんだづけが容易になる。 上記圧電コニツ１〜４１は、第１０図に示すように、引
出し電極４９と５０との間に、二端子共振子４７と４８
とが直列に接続された回路構成を有するが、等測的には
一つの二端子共振子が構成される。このような構成だと
、両引出し電ｌｉｉ ４９．５０が圧電基板４２の一面
側に存在づるので、上記圧電振動ユニット４１には、そ
の−ｌ十から第１図（ａ ）と全く同様の構成を有する
絶縁物１１．１１を、第９図に示すように、積層して接
着し、上記引出し電極４９および５０を夫々上記一方の
絶縁物１１の導電膜１５ｂ、１５ｃに半田２６で半田付
番プ覆れば、チップ状のバルク波］ネルギー閉じ込め形
の２端子共振子を得ることができる。この場合、電極４
５．４６側の絶縁物１１は、四部２２を有するのみで隅
部に切欠部を有しない導通の絶縁板に置き換えてもよい
。このことは、以下の例にも適用される。 次に、本発明の実施例として三端子共振子］１ニッ］・
を用いた場合で、アース側共通電極とその引出し電極間
に一］ンデンザを介在させることにＪ、す、アース側共
通電極の引出し電極を、人・出力電極の引出し電極が設
Ｇ１られている圧電基板面側に設けたものについてのべ
る。 上記第８図から第１０図の例において、第１１図に示す
ような電極構成を有する圧電振動コニツＩ・５１を使用
すれば、第１２図に示づように、引出し電極５２．５３
が三端子共振子５４の分割電極５５．５６に夫々接線さ
れ、電極５７と上記三端子共振子５４の共通電極５８と
の間にコンデンサＣ１・が接続されたチップ状のバルク
波エネルギー閉じ込め形の三端子共振子を得ることがで
きる。このような構造だと、電極！】８の引出し電極ｊ
）７が引出し電極５２．５３と同一面側に位置すること
になる。なお、電極５７と対角位置にある隅部にｂ同様
な］ンデンザｃ１を構成するど、圧電振動ユニット５１
の方向性がなくなって取り扱いが便利′Ｃある。 このような、上記第８図から第１２図の例は発振子、Ｆ
Ｍディスクリミネータユニツ１〜、フィルタ等として使
用づることが（・きる。 また、第１３図に示すような電極構成を有する圧電振動
ユニット６１を使用すれば、第１４図に示すように、引
出し電極６２と６３との間に、三端子共振子５４、コン
デン１）Ｃ１および三端子共振子５４−、コンデンサＣ
−＋からなる第１２図と全く同一構成を有する２組の回
路をカスコードに接続するとともに、上記三端子共振子
５４−の分割電極の一方と共通電極との間にコンデンサ
Ｃ２を接続したチップ状のバルク波エネルギー閉じ込め
形のフィルタを得る。 上記コンデン−’ＪＣ１の一方の電極６４およびいま一
つの］ンデンリ−０２の一方の電極６５は上記フィ１１
− ルタの外部で相互に接続される。また、この倹形例とし
て、第１４図で点線で示したような接続を追加すると、
第１３図示のもの−ｂｈ向性がなくな−）で取り扱いが
便利である。 次に、非エネル１゛−閉じ込め形のフィルタの例を第１
５図、第１６図（ａ ）、（ｂ）に示す。 第１５図において、７１．７１は非Ｊネルギー閉じ込め
形の共振素子であって、これら共振素子７１．７１はそ
の各圧電基板７２の一方の主面に分割電極７３゜７３を
形成するとともに、他方の主面に共通電極７４を形成し
、上記分割電極７３．７３の間に満７５を形成して、長
さ振動モードを利用するものである。 一方、７６は共振素子７１．７１の取り付番プ用のアル
ミナ等のセラミック又は合成樹脂製基板ぐあって、該基
板７６にはアース側となる引出し電極７７を形成し、こ
れら引出し電極７７十には弾性を有りるＶ４ｔＪ性又は
等方性導電性シート ７８．７８を［−１にして、１記
共振素子７１．７１を載置固定し、その１１通電極１４
．１４を上記引出し電極７７に導通さｔ！（いる、。 上記共振素子７１．７１と基板１６が、例えば第１図１
２− （ｂ）の圧電振動コニツ１へ１２に相当する圧電振動コ
ニットを構成する。 上記共振素子７１．７１の上には、弾性を有づる異方導
電性シーｒ−７９，７９を間にして、基本的に第１図（
ａ ）と同様の構成を右する絶縁物１１−を被せて、該
絶縁物１１−と」記基板とを相互に接着している。 上記絶縁物１１−は共振素子７１．７１を収容するため
の四部２２′、２２− （一つの共通四部であってもに
い）を有し、これら四部２２′、２２−の内壁面には、
異方導電性シート ７９．７９を通して、共振素子７１
．７１の各一方の分割電極７３．７３を相互に導通させ
る接続電極８０を形成する一方、共振素子７１．７１の
各他方の分割電極７３．７３を夫々導電膜１５ａ、１５
ｄに導通させる接続電極８１．８１を形成している。 上記のＪ：うに゛りれば、共振素子７１．７１の圧電基
板７２．７２は弾性を右する導電性シード７８と７９と
の間に指示固定され、その振動が保障される一方、取り
付けの方向性をなくするために、その他方の分割電極７
３．７３は−Ｉ−記異方導電性シードア９を通して導電
膜１５ａ、１５１１に夫々引き出さね、また、ｊ（通電
極７４．７４も上記導電性シー１〜７８．７８を通して
、引出し電極７７から上記導電膜１５ａ、１５ｄどは異
なる位置に形成されたｙ９電膜１５ｂ、１５Ｇに引き出
される。 上記第１５図の例においＣ１絶縁物１１−側の異方導電
性シー１へ７９を使用せずに、例えば第１６図（ａ）お
よび第１６図（１１）に夫々示１ように、ボンラ５ング
ワイ〜７９０を使用して、上記他方の分割電極１３゜７
３を上記導電膜１５ａ、１５ｄに導通させるＪ、うにり
、てもＪ：い。 上記のようにして、非エネルギー閉じ込め形の単一振動
モードを用いた三端子形の共振子を７一段に縦続接続し
たフィルタもチップ化づることができる。縦続接続する
段数は任意である。また、−個の非エネルギー閉じ込め
形の単一振動モートを用いた二端子又は三端子形の発振
子やＦ Ｍディスクリミネータにも適用できる。使用モ
ードや非エネルギー閉じ込め形の振動素子の種類も上記
に限定されないことはいうまでもない。 次に、エネルギー閉じ込め形であって、従来り一ドを付
けて使用していた圧電振動ユニットを用いＩこ場合につ
い°（述べておく。第１７図は、この場合の基本的な圧
電振動］ニラ１〜を示す。図において １０１は圧電基
板、１０２，１０３は一対の励振電極、１０４、１０５
は一木の対角線上における圧電基板１０１の隅部の表側
、裏側にそれぞれ設（プた引出し電極である。この圧電
振動コニツｌ−には、その」ニ下から絶縁物１１．１１
を第１８図に示すように積層して接着し、引出し電極１
０４とこれに接触する導電膜１５ａを半田付けするとと
もに、引出し電極１０５とこれに接触−４る下側の絶縁
物１１の導電膜１５ｃを半田何番）する。同時に、コ字
状金属クリップ１０６を下側の絶縁物１１の導電膜１５
Ｃ１上側の絶縁物１１の導電膜１５ｄ間にはしわたしし
て、両者を半田付（）づる。このような構造ににって、
両励振電極１０２，１０３が上側の絶縁物１１の導電膜
１５ａ、 １５ｄにそれぞれ導通することになる。コ字
状金属クリップにかえてワイヤで接続を行ってｂよい。 また、電極を圧電基板の側面に沿わμたり、圧電基板の
隅部に孔を設けて電極膜を形成したりしてコ字状金属ク
リ１５− ツブやワイＶの機能をもたけ−でもよい。そし−（−１
このような構造は、上述のような二端子形状振子のみな
らず、三端子形の共振子やフィルタ等の圧電振動ユニツ
Ｉ〜を用いたものにも適用ｒきる。 以」、詳細に説明したことからも明らかなように、本発
明では、少くとも２個所に切り欠き部を設【プてその部
分に導電膜を形成した絶縁板を圧電振動ユニットに積層
してその引出し電極を上記導電膜に導通させることによ
り圧電振動部品をチップ化した圧電振動部品を製造した
から、■−組の絶縁物母材と圧電振動ユニット母林を積
層して切断するので容易に大量の圧電振動部品を得るこ
とができる、■製造■稈が簡単であることにＪ：す、価
格が安く、不良品の発生が少く、製品としての信頼性も
向上する、■リード線のないチップ形状化された抵抗や
コンデンサと同様構造であるためプリント基板等の回路
基板への実装が容易で・ある。 ■導電膜をスルーホールメッキの手払により￥ｇ易に形
成することができるといった効果に加え、Ｈ−１６＝ 電基板の表裏に一対の励振Ｎ極を有づる構造の圧電振動
ユニットの一方の励振電極を他方の励′ＩＦ！電極が設
（プである面側へ］ンデンザを介して引出しているので
、この種、圧電基板の表裏に一対の励振電極を有する構
造の圧電振動部品をフエーズボンデンクできるチップ形
とづることかできる効果を有りる。 なお、第２、第３、第５、第９、第１５、第１６（ｂ）
、第１８の各図は、各部の接続関係を明確にするための
もので、断面は適宜適当な箇所であるので、いわゆる断
面図とは異なることをことわっておく。
第１図（ａ ＞は圧電振動部品の一例の絶縁物の斜視図
、第１図（ｂ）は第１図（ａ ）の圧電振動部品の圧電
振動」ニラ１〜の斜視図、第２図は第１図（ａ）および
第１図（ｂ）の絶縁物と圧電振動：Ｉニラ！・を使用し
た１「型振動部品の構造説明図、第３図は第２図のルミ
振動部品の回路基板への取付説明図、第４図は第１図（
ａ ）の絶縁物にシールド電極を設【プだ絶縁物の斜視
図、第５図１３１第４図の絶縁物を使用した圧電振動部
品のＩＭ構造説明図第６図（ａ ）は絶縁物用Ｈの斜視
図、第６図（１））は圧電振動ユニットＦＡ材の斜視図
、第７図は第６図（ａ ）の絶縁物母相の断面図、第８
図はバルク波エネルギー閉じ込め形の二端子共振子の圧
電振動：Ｉニットの斜視図、第９図はパル波エネルギー
閉じ込め形の二端子共振子の構造説明図、第１０図は第
９図の共振子の等価回路図、第１１図はバルク波エネル
ギー閉じ込め形の三端子共振子の）］′市振動ユニツ！
・の斜視図、第１２図は第１１図の等価回路図、第１３
図はバルク波エネルギー閉じ込め形のフィルタの圧電振
動−１ニツトの斜視図、第１４図は第１３図の等価回路
図、第１５図は非エネルギー閉じ込め形のフィルタの１
４造説明図、第１６図（ａ）ｄ３よび第１６図（ｂ ）
は夫々第１５図のフィルタの変形例の圧電振動コニツＩ
〜の平面図およびフィルタの構造説明図、第１７図はエ
ネルギー閉じ込め形の共振子の圧電振動コニットの斜視
図、第１８図は、第１７図示のユニツｌ〜を用いた共振
子の構造説明図である。 １１．１１”・・・・・・絶縁物、１２・・・・・・１
丁電振動ユニツ１へ、１３・・・・・・切欠き部、１！
ｉａ、 １５ｂ、 １５ｃ、 １５ｄ 、 −−−−・
−導電膜、１７．１８，１９，２０．・・・・・・引出
し電極、２６・・・・・・半田、３１・・・・・・絶縁
物母材、３４・・・・・・圧電振動：［ニラ１〜母材、
４１．５１．６１・・・・・・圧電振動、−１ニツ１〜
．７１・・・・・・共振素子、７６・・・・・・基板。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所 １９− ２０− （ｂ） 蛸７図 羽１０国 筋７４口 （（１） （ｂ） 第ｆ７図 笛１ｇ図
、第１図（ｂ）は第１図（ａ ）の圧電振動部品の圧電
振動」ニラ１〜の斜視図、第２図は第１図（ａ）および
第１図（ｂ）の絶縁物と圧電振動：Ｉニラ！・を使用し
た１「型振動部品の構造説明図、第３図は第２図のルミ
振動部品の回路基板への取付説明図、第４図は第１図（
ａ ）の絶縁物にシールド電極を設【プだ絶縁物の斜視
図、第５図１３１第４図の絶縁物を使用した圧電振動部
品のＩＭ構造説明図第６図（ａ ）は絶縁物用Ｈの斜視
図、第６図（１））は圧電振動ユニットＦＡ材の斜視図
、第７図は第６図（ａ ）の絶縁物母相の断面図、第８
図はバルク波エネルギー閉じ込め形の二端子共振子の圧
電振動：Ｉニットの斜視図、第９図はパル波エネルギー
閉じ込め形の二端子共振子の構造説明図、第１０図は第
９図の共振子の等価回路図、第１１図はバルク波エネル
ギー閉じ込め形の三端子共振子の）］′市振動ユニツ！
・の斜視図、第１２図は第１１図の等価回路図、第１３
図はバルク波エネルギー閉じ込め形のフィルタの圧電振
動−１ニツトの斜視図、第１４図は第１３図の等価回路
図、第１５図は非エネルギー閉じ込め形のフィルタの１
４造説明図、第１６図（ａ）ｄ３よび第１６図（ｂ ）
は夫々第１５図のフィルタの変形例の圧電振動コニツＩ
〜の平面図およびフィルタの構造説明図、第１７図はエ
ネルギー閉じ込め形の共振子の圧電振動コニットの斜視
図、第１８図は、第１７図示のユニツｌ〜を用いた共振
子の構造説明図である。 １１．１１”・・・・・・絶縁物、１２・・・・・・１
丁電振動ユニツ１へ、１３・・・・・・切欠き部、１！
ｉａ、 １５ｂ、 １５ｃ、 １５ｄ 、 −−−−・
−導電膜、１７．１８，１９，２０．・・・・・・引出
し電極、２６・・・・・・半田、３１・・・・・・絶縁
物母材、３４・・・・・・圧電振動：［ニラ１〜母材、
４１．５１．６１・・・・・・圧電振動、−１ニツ１〜
．７１・・・・・・共振素子、７６・・・・・・基板。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所 １９− ２０− （ｂ） 蛸７図 羽１０国 筋７４口 （（１） （ｂ） 第ｆ７図 笛１ｇ図
Claims (1)
- 板状の絶縁物の少くとも２個所に切欠部を設（Ｊ、これ
ら切欠部の上記絶縁物の厚み方向の５！面に夫々導電膜
を形成し、」９．記絶縁物と圧電振動ユニットとを積層
して該圧電振動ユニツｉ〜の引出し電（ルを上記導電膜
に電気的に接続したチップ状ＬＦ市振動部品において、
圧電振動コニットは圧電基〜の表裏に設けた一対の励振
電極を有し、基板の一１〕面側の励振電極は、圧電基板
の表裏に一対の電極を設けたコンデンサを介して基板の
他方面側に設けられた引出し電極に接続されていること
を特徴とするチップ状圧電撮動部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8692282A JPS58139515A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | チップ状圧電振動部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8692282A JPS58139515A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | チップ状圧電振動部品の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2146182A Division JPS58138115A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | チップ状圧電振動部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58139515A true JPS58139515A (ja) | 1983-08-18 |
| JPH0155607B2 JPH0155607B2 (ja) | 1989-11-27 |
Family
ID=13900342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8692282A Granted JPS58139515A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | チップ状圧電振動部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58139515A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0453318U (ja) * | 1990-09-11 | 1992-05-07 | ||
| US6583689B2 (en) * | 2000-12-19 | 2003-06-24 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Four-pole monolithic filter held in a container by conductive adhesives at four connecting electrode locations |
-
1982
- 1982-05-21 JP JP8692282A patent/JPS58139515A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0453318U (ja) * | 1990-09-11 | 1992-05-07 | ||
| US6583689B2 (en) * | 2000-12-19 | 2003-06-24 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Four-pole monolithic filter held in a container by conductive adhesives at four connecting electrode locations |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0155607B2 (ja) | 1989-11-27 |
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