JPS60123122A - チップ型圧電共振部品とその製造方法 - Google Patents
チップ型圧電共振部品とその製造方法Info
- Publication number
- JPS60123122A JPS60123122A JP23202683A JP23202683A JPS60123122A JP S60123122 A JPS60123122 A JP S60123122A JP 23202683 A JP23202683 A JP 23202683A JP 23202683 A JP23202683 A JP 23202683A JP S60123122 A JPS60123122 A JP S60123122A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- lead
- piezoelectric
- resonant
- leading
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
- H03H9/58—Multiple crystal filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、複数の圧電共振素子を積層したチップ型圧
電共振部品とその製造方法に関するものである。
電共振部品とその製造方法に関するものである。
従来のフィルタやＦＭディスクリミネータのような３端
子型の圧電共振部品は、複数の共振素子を重ねた積層体
から、接地用と入出力用の合計３本のリード端子を引出
したｍ造であるため、全体の形状が嵩高くなり、広い実
装スペースが必要になると共に、積層する圧電素子はリ
ード端子の引出し条件に合わせ異なった電極パターンの
ものを使用していたため、構成部品の種類数が多くなり
、製作コストが高くつくという欠点がある。
子型の圧電共振部品は、複数の共振素子を重ねた積層体
から、接地用と入出力用の合計３本のリード端子を引出
したｍ造であるため、全体の形状が嵩高くなり、広い実
装スペースが必要になると共に、積層する圧電素子はリ
ード端子の引出し条件に合わせ異なった電極パターンの
ものを使用していたため、構成部品の種類数が多くなり
、製作コストが高くつくという欠点がある。
また、各種電子機器は小型軽ω化の傾向にあり、このた
め内部に組込み使用する電子部品においては、実装スペ
ースの減少をはかることができるチップ化が主流になっ
てきている。
め内部に組込み使用する電子部品においては、実装スペ
ースの減少をはかることができるチップ化が主流になっ
てきている。
この発明は上記のような点にかんがみてなされたもので
あり、同じパターンの圧電共振素子を組合せて構成する
ことができるチップ型の圧電共振部品と、この共振部品
を効率よく組立てることができる製造方法を提供するこ
とを目的とする。
あり、同じパターンの圧電共振素子を組合せて構成する
ことができるチップ型の圧電共振部品と、この共振部品
を効率よく組立てることができる製造方法を提供するこ
とを目的とする。
この発明の構成は、圧電基板の両面に対向電極と、各電
極から異なる方向に延びて外周縁に達する引出部とを設
けて共振素子を形成し、複数枚の共振素子を引出部が対
向するよう重ねて絶縁性接着剤で貼合わせ、この積層体
の外周に対向する引出部にわたって導通する接地電極と
、相反する位置の引出部に導通する入力電極及び出ノｊ
電極とを設け、同じ電極パターンの共振素子を用いて構
成できるようにしたものである。
極から異なる方向に延びて外周縁に達する引出部とを設
けて共振素子を形成し、複数枚の共振素子を引出部が対
向するよう重ねて絶縁性接着剤で貼合わせ、この積層体
の外周に対向する引出部にわたって導通する接地電極と
、相反する位置の引出部に導通する入力電極及び出ノｊ
電極とを設け、同じ電極パターンの共振素子を用いて構
成できるようにしたものである。
以下、この発明の一実施例を添イ」図面にもとづいて説
明する。
明する。
図示のように、この発明のり１口形状に形成した二枚の
共振素子１．１と、重ね合せた両共振素子 １．１の外
面に重なる二枚の外装基板２．２とを積層し、この積層
体の外周に設けた接地電極３と入力電極４及び叶力電極
５とで構成され、両共振素子１，１は全く等しい電極パ
ターンのものが使用されている。
共振素子１．１と、重ね合せた両共振素子 １．１の外
面に重なる二枚の外装基板２．２とを積層し、この積層
体の外周に設けた接地電極３と入力電極４及び叶力電極
５とで構成され、両共振素子１，１は全く等しい電極パ
ターンのものが使用されている。
上記共振素子１は、第１図ないし第３図に示す□ように
、圧電基板６の両面中央部に対向電極９．８と、各電極
７，８から基板６の外周縁に達する導電性の引出部９，
１０とを設け、エネルギー閉じ込め形の厚みたてまたは
すべり振動が生じるように形成されている。
、圧電基板６の両面中央部に対向電極９．８と、各電極
７，８から基板６の外周縁に達する導電性の引出部９，
１０とを設け、エネルギー閉じ込め形の厚みたてまたは
すべり振動が生じるように形成されている。
圧電基板６の一面側に設けた引出部９は、第１図のよう
に、中心線ｘ −ｘ’を境とする一方のスペースにおい
て、片方のコーナに達するよう斜に施されている。
に、中心線ｘ −ｘ’を境とする一方のスペースにおい
て、片方のコーナに達するよう斜に施されている。
これに対して他面側の引出部１０は、第２図のように、
中心線Ｘ−Ｘ′を境とする他方のスペースにおいて、中
心線Ｙ −Ｙ’に沿うよう延び、その先端は基板６の中
心線×−Ｘ′方向に沿う辺縁の全長に延びる丁字形に形
成されている。
中心線Ｘ−Ｘ′を境とする他方のスペースにおいて、中
心線Ｙ −Ｙ’に沿うよう延び、その先端は基板６の中
心線×−Ｘ′方向に沿う辺縁の全長に延びる丁字形に形
成されている。
上記のような両引出部９と１０のパターンにより、圧電
基板６を中心線Ｙ −Ｙ’に反転させると、中心線Ｙ−
Ｙ’ｈに沿って設けられた引出部１０は変位しないが、
−面側の引出部９はその傾斜方向が中心線Ｙ −Ｙ’を
挾んで対称位置に変位することになる。
基板６を中心線Ｙ −Ｙ’に反転させると、中心線Ｙ−
Ｙ’ｈに沿って設けられた引出部１０は変位しないが、
−面側の引出部９はその傾斜方向が中心線Ｙ −Ｙ’を
挾んで対称位置に変位することになる。
従って二枚の共振索子１と１を中心軸Ｙ −Ｙ’に沿う
電極１０が対向するよう重ね合せると、第４図のように
、各々の外面に位置する引出部９，９は中心線Ｙ −Ｙ
’を挾んで逆方向に傾斜し、そのコーナ部分９ａと９ａ
は中心線ｘ −ｘ’力方向両端に位置する配置になる。
電極１０が対向するよう重ね合せると、第４図のように
、各々の外面に位置する引出部９，９は中心線Ｙ −Ｙ
’を挾んで逆方向に傾斜し、そのコーナ部分９ａと９ａ
は中心線ｘ −ｘ’力方向両端に位置する配置になる。
上記二枚の共振素子１と１にはその対向面に絶縁性接着
剤１１を塗布して積層接着４る。
剤１１を塗布して積層接着４る。
絶縁性接着剤１１の塗布は、第４図と第６図に示す第１
の実施例の場合、引出部１０の辺縁に沿う部分１０ａの
みを除き、電極８Ｌも含む全体に塗布し、両共振素子１
と１の対向面をこの接着剤１１でカップリングしている
。第４図は接着剤を一点鎖線て示している。
の実施例の場合、引出部１０の辺縁に沿う部分１０ａの
みを除き、電極８Ｌも含む全体に塗布し、両共振素子１
と１の対向面をこの接着剤１１でカップリングしている
。第４図は接着剤を一点鎖線て示している。
積層接着した両共振素子１と１の外面には、電極７と引
出部９の］−す部分９ａを除いた部分に接着剤１２を塗
布し、圧電基板６，６と平面的に等しい形状に形成した
パッケージ用外装基板２．２を接着剤１２で両圧電基板
６．６の外面に積層接着し、チップ型積層体１３を形成
する。
出部９の］−す部分９ａを除いた部分に接着剤１２を塗
布し、圧電基板６，６と平面的に等しい形状に形成した
パッケージ用外装基板２．２を接着剤１２で両圧電基板
６．６の外面に積層接着し、チップ型積層体１３を形成
する。
上記積層体１４において、接着剤１２は電極７の部分を
省いであるので、共振索子１，１とパッケージ用基板２
．２の対向面間には第６図の如く振動空間１４、１４が
形成される。
省いであるので、共振索子１，１とパッケージ用基板２
．２の対向面間には第６図の如く振動空間１４、１４が
形成される。
前記積層体１３の外周には対向する電極８，８の引山部
１０と導通する接地電極３と、一方外側電極７の引出部
つと導通する入力電極４と、他方外側電極７の引出部９
と導通ずる出力電極５とが導電ベーストの塗布によって
設けられている。
１０と導通する接地電極３と、一方外側電極７の引出部
つと導通する入力電極４と、他方外側電極７の引出部９
と導通ずる出力電極５とが導電ベーストの塗布によって
設けられている。
この第１の実施例のように、両共振素子１と１の対向−
振動面を絶縁性の接着剤１１でカップリングした構造で
あると、入力電極４と接地電極３に電気信号を加えるこ
とにより、二重モード共振が生じ、フィルタやＦＭディ
スクリミネータとして使用される。
振動面を絶縁性の接着剤１１でカップリングした構造で
あると、入力電極４と接地電極３に電気信号を加えるこ
とにより、二重モード共振が生じ、フィルタやＦＭディ
スクリミネータとして使用される。
次に第７図ないし第９図に示す第２実施例は、前記第１
実施例と基本構造は同じであるが、両共振索子１，１の
対向面を接着する絶縁性接着剤１１を第７図と第８図の
ように電極８の部分も省くように塗布し、両共擾素子１
，１の積層接着時に、第７図の如く、両共振素子１，１
間に振動空間１５を形成するようにしたものである。
実施例と基本構造は同じであるが、両共振索子１，１の
対向面を接着する絶縁性接着剤１１を第７図と第８図の
ように電極８の部分も省くように塗布し、両共擾素子１
，１の積層接着時に、第７図の如く、両共振素子１，１
間に振動空間１５を形成するようにしたものである。
この第２実施例のように、両共娠素子１，１０対向面間
に振動空間１５を形成すると、第９図に示すトラップ回
路に用いるのに好適な相互に独立した二つの共振子を一
つに組込んだものになり、険口ｖ７した共振が生じ、た
とえばテレビ用トラップとして使用する。
に振動空間１５を形成すると、第９図に示すトラップ回
路に用いるのに好適な相互に独立した二つの共振子を一
つに組込んだものになり、険口ｖ７した共振が生じ、た
とえばテレビ用トラップとして使用する。
この発明のチップ型圧電共振部品は上記のｊ：うな構成
であり、電極及びその引出部が痔ＬＪ （、Ｘ＝一枚の
共振素子１．１とパッケージ用外ｉ、１４ｉ２．２を用
意し、両共振索子１と１を絶縁性接着剤１１を用（１て
電極８，８の引出部１０．１０が対向するよう積層接着
し、次に両共振素子１，１の外面に接肴斉１１２て・′
］＼ッケージ用外装基板２と２を貼合せて積層体１３を
形成し、この積層体１３の外周に、両対向電ＶＭ８．８
の引出部ｉｏ、ｉｏと導通する接地電極３と、外側電極
７．７の各引出部９．９に導通する入力電”４と１３力
電極５を設ければ、第５図に示すように、フィルタやＦ
Ｍディスクリミネータ、テレヒ゛Ｉｆｆ ｌ−ラップと
して使用されるチップ型の圧電共振部品カー′でき上り
、接地電極３、入力電極４及び出力電極５の各々がプリ
ン１〜基板の配線上に半田付で直接的に接続されること
になる。
であり、電極及びその引出部が痔ＬＪ （、Ｘ＝一枚の
共振素子１．１とパッケージ用外ｉ、１４ｉ２．２を用
意し、両共振索子１と１を絶縁性接着剤１１を用（１て
電極８，８の引出部１０．１０が対向するよう積層接着
し、次に両共振素子１，１の外面に接肴斉１１２て・′
］＼ッケージ用外装基板２と２を貼合せて積層体１３を
形成し、この積層体１３の外周に、両対向電ＶＭ８．８
の引出部ｉｏ、ｉｏと導通する接地電極３と、外側電極
７．７の各引出部９．９に導通する入力電”４と１３力
電極５を設ければ、第５図に示すように、フィルタやＦ
Ｍディスクリミネータ、テレヒ゛Ｉｆｆ ｌ−ラップと
して使用されるチップ型の圧電共振部品カー′でき上り
、接地電極３、入力電極４及び出力電極５の各々がプリ
ン１〜基板の配線上に半田付で直接的に接続されること
になる。
以上のように、この発明によると上記のような構成であ
るので以下に示す効果がある。
るので以下に示す効果がある。
（１） 両面に電極とその引出部を設けた二枚の共振素
子を絶縁性接着剤で積層接着し、外周に対向電極と導通
ずる接地電極と、外側電極に各々導通ずる人力電極及び
出力電極を設けたので、フィルタやＦＭディスクリミネ
ータ、テレビ用トラップ等に使用する圧電共振部品のチ
ップ型化が可能になる。
子を絶縁性接着剤で積層接着し、外周に対向電極と導通
ずる接地電極と、外側電極に各々導通ずる人力電極及び
出力電極を設けたので、フィルタやＦＭディスクリミネ
ータ、テレビ用トラップ等に使用する圧電共振部品のチ
ップ型化が可能になる。
（２） 圧電共振部品のチップ型化により、全体形状の
小型化が実現でき、機器への組込みがスペース的に有利
になる。
小型化が実現でき、機器への組込みがスペース的に有利
になる。
（３） 積層接着する共振素子の電極引出部を、表裏で
引出方向を代えて形成し、この共振素子を対向面におけ
る電極が対向づるように積層接着したので、電極及び引
出部のパターンが一種類の共振素子を用い、積層式の三
端子型圧電共振部品を構成することができ、部品の種類
数を削減できる。
引出方向を代えて形成し、この共振素子を対向面におけ
る電極が対向づるように積層接着したので、電極及び引
出部のパターンが一種類の共振素子を用い、積層式の三
端子型圧電共振部品を構成することができ、部品の種類
数を削減できる。
（４） 共Ｓ素子を積層接着して外周に導電ペーストで
電極を設ければよいので、製作の自動化が可能になり、
量産によるコストダウンをはかることができる。
電極を設ければよいので、製作の自動化が可能になり、
量産によるコストダウンをはかることができる。
第１図はこの発明の実施例に用いる共振素子の平面図、
第２図は同底面図、第３図は同斜？５１図、第４図は圧
電共振部品の分解斜視図、第５図Ｌｅ＆同一トの出来上
りを示ず斜視図、第６図は第５図の矢印Ｖｌ −Ｖｌに
沿う縦断面図、第７図は同第２の実施例を示す縦断面図
、第８図は同上に用いる振動素子の斜視図、第９図は同
上の等価回路図である。 １・・・共振素子 ２・・・外装基板 ３・・・接地電極 ４・・・人力電忰 ５・・・出力電極 ６・・・）１電塁榴７．８・・・対
向電極 ９．１０・・・引出部１１・・・絶縁性接着剤
１２・・・接盾剤特許出願人 株式会社 伺Ｉ１１製
作所代 理 人 弁理士 和 １１ 昭 第６図 ＶＩ 第６図 １１ｚ１４ ′１８ 第７図 第８図 第９図
第２図は同底面図、第３図は同斜？５１図、第４図は圧
電共振部品の分解斜視図、第５図Ｌｅ＆同一トの出来上
りを示ず斜視図、第６図は第５図の矢印Ｖｌ −Ｖｌに
沿う縦断面図、第７図は同第２の実施例を示す縦断面図
、第８図は同上に用いる振動素子の斜視図、第９図は同
上の等価回路図である。 １・・・共振素子 ２・・・外装基板 ３・・・接地電極 ４・・・人力電忰 ５・・・出力電極 ６・・・）１電塁榴７．８・・・対
向電極 ９．１０・・・引出部１１・・・絶縁性接着剤
１２・・・接盾剤特許出願人 株式会社 伺Ｉ１１製
作所代 理 人 弁理士 和 １１ 昭 第６図 ＶＩ 第６図 １１ｚ１４ ′１８ 第７図 第８図 第９図
Claims (4)
- （１）圧電基板の両面に、対向電極と、各電極から異な
る方向に引出されて外周縁に達し、少なくとも一方を圧
電基板の反転によって引出し方向の向きが変位するよう
配置した引出部とを設けて圧電共振素子を形成し、複数
枚の前記共振素子を対向面間に間隔を保ら対向面の引出
部が相対１１！ＩＪスるように重ねて絶縁性接着剤で積
層固定し、この積層体の外周に、対向面の引出部とう９
通覆る接地電極と、相反する面の引出部と各々導通する
入力電極及び出力電極を設けたことを特徴とするチップ
型圧電共振部品。 - （２）積層した圧電共振素子の対向面間の全面が絶縁性
接着剤で接着されている特許請求の範囲第１項に記載の
チップ型圧電共振部品。 - （３）積層した圧電共振素子の対面面が絶縁性接着剤で
電極の部分に振動空間を残して接着されている特許請求
の範囲第１頂に記載のチップ型圧電共振部品。 - （４）圧電基板の両面に、対向電極と、各電極から異な
る方向に引出されて外周縁に達し少なくとも一方を圧電
基板の反転によって引出し方向の向きが変位するように
配置した引出部とを設けて圧電共振素子を形成し、複数
板の共振素子の互に重ねんとする面に絶縁性接着剤を塗
布した後、共振素子を対向面の引出部が相対向する配置
となるように重ね合わせて接着固定し、この積層体の外
周に導電性ペーストを塗布して対向引出部に導通する接
地電極と、相反する面の各引出部に導通する入力電極及
び出力電極を形成することを特徴とするチップ型圧電共
振部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23202683A JPS60123122A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | チップ型圧電共振部品とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23202683A JPS60123122A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | チップ型圧電共振部品とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60123122A true JPS60123122A (ja) | 1985-07-01 |
Family
ID=16932795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23202683A Pending JPS60123122A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | チップ型圧電共振部品とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60123122A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4876476A (en) * | 1987-04-30 | 1989-10-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip type piezoelectric device |
| US4918350A (en) * | 1987-06-26 | 1990-04-17 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Energy-trapping-by-frequency lowering-type piezoelectric resonance device |
| US4939403A (en) * | 1987-12-29 | 1990-07-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Energy-trapping-by-frequency-lowering-type piezoelectric resonance device |
| JPH0389708A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPH0375623U (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-30 | ||
| JPH03117933U (ja) * | 1990-03-14 | 1991-12-05 | ||
| JPH04135015U (ja) * | 1991-06-03 | 1992-12-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子 |
| US5933061A (en) * | 1997-08-08 | 1999-08-03 | Nec Corporation | Chip-type piezoelectric filter and filter circuit using such piezoelectric filter |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4815134B1 (ja) * | 1969-03-13 | 1973-05-12 | ||
| JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
-
1983
- 1983-12-07 JP JP23202683A patent/JPS60123122A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4815134B1 (ja) * | 1969-03-13 | 1973-05-12 | ||
| JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4876476A (en) * | 1987-04-30 | 1989-10-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip type piezoelectric device |
| US4918350A (en) * | 1987-06-26 | 1990-04-17 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Energy-trapping-by-frequency lowering-type piezoelectric resonance device |
| US4939403A (en) * | 1987-12-29 | 1990-07-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Energy-trapping-by-frequency-lowering-type piezoelectric resonance device |
| JPH0389708A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPH0375623U (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-30 | ||
| JPH03117933U (ja) * | 1990-03-14 | 1991-12-05 | ||
| JPH04135015U (ja) * | 1991-06-03 | 1992-12-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子 |
| US5933061A (en) * | 1997-08-08 | 1999-08-03 | Nec Corporation | Chip-type piezoelectric filter and filter circuit using such piezoelectric filter |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5844452A (en) | Piezoelectric ladder filter utilizing resonator with electrodes on opposite side edges | |
| JPS60123122A (ja) | チップ型圧電共振部品とその製造方法 | |
| JPS61191101A (ja) | フイルタ | |
| US4564825A (en) | Piezoelectric filter | |
| JPH0155604B2 (ja) | ||
| US5394123A (en) | Ladder type filter comprised of stacked tuning fork type resonators | |
| JPH0155605B2 (ja) | ||
| JPH04284015A (ja) | ラダー型フィルタ | |
| US6420945B1 (en) | Piezoelectric resonator having internal electrode films, piezoelectric component and ladder filter formed therefrom | |
| JPS58197909A (ja) | チツプ状圧電振動部品の実装構造 | |
| JPH0155606B2 (ja) | ||
| JPS6194408A (ja) | セラミツクフイルタ | |
| JPH0244167B2 (ja) | ||
| WO1995010861A1 (fr) | Filtre dielectrique et procede de fabrication | |
| JPS627213A (ja) | 圧電共振部品 | |
| JPH0119456Y2 (ja) | ||
| JPH0323704Y2 (ja) | ||
| JPH0397314A (ja) | 積層型圧電共振部品 | |
| JPH0155608B2 (ja) | ||
| JP2600921B2 (ja) | 圧電共振子 | |
| JPH0155607B2 (ja) | ||
| JP3114485B2 (ja) | 圧電フィルタ | |
| JPH03165613A (ja) | 圧電部品 | |
| JPS61182312A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPS58188917A (ja) | 圧電フイルタ及びその製造方法 |