JPH0155607B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0155607B2
JPH0155607B2 JP8692282A JP8692282A JPH0155607B2 JP H0155607 B2 JPH0155607 B2 JP H0155607B2 JP 8692282 A JP8692282 A JP 8692282A JP 8692282 A JP8692282 A JP 8692282A JP H0155607 B2 JPH0155607 B2 JP H0155607B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base material
electrode
piezoelectric vibrating
main surface
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP8692282A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS58139515A (ja
Inventor
Isao Toyoshima
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP8692282A priority Critical patent/JPS58139515A/ja
Publication of JPS58139515A publication Critical patent/JPS58139515A/ja
Publication of JPH0155607B2 publication Critical patent/JPH0155607B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0542Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は板状の絶縁物と圧電振動ユニツトとを
積層したフエースボンデングができるチツプ状圧
電振動部品の製造方法に関する。
従来より、共振子、発振子、フイルタ、FMデ
イスクリミネータなどの圧電振動部品としては、
各圧電振動ユニツトの使用振動モードの特徴によ
り、次のようなタイプのものが周知である。すな
わち、比較的周波数が低い数百KHzの周波数帯の
セラミツクフイルタでは、樹脂等を箱体状に成形
した外装ケース内に圧電振動ユニツトを収容した
ケースタイプのものがある。また、周波数が高い
数MHzから数10MHzの周波数帯のセラミツクフイ
ルタでは、エネルギー閉じ込め型圧電振動ユニツ
トの振動区域を除いた区域に外装樹脂を付着させ
たいわゆるデイツプ塗装のものがある。さらに、
表面波素子ではデイツプ塗装もしくはハーメチツ
クシールドケースを有するものが知られている。
そして、これら圧電振動部品はいずれもリード端
子を有するリード端子タイプのものである。
ところで、近年、電子機器の小型化に伴つて電
子部品の実装密度を高めるための種々の工夫がな
されているが、上記のようなリード端子タイプの
圧電振動部品では、基本的には、圧電振動ユニツ
トを外装部材で被覆し、該外装部材から複数本の
リード端子を突出させた構成を有しているため、
形状が大きく実装密度が低いうえに、リード端子
の取付工程等を含むので製造効率も低いという欠
点があつた。
本発明は従来の圧電振動部品における上記事情
に鑑みてなされたものであつて、その目的は、量
産に好適なチツプ状圧電振動部品の製造方法を提
供することである。
このため、本発明は、一つの主面側の格子点位
置に引出し電極相当部が形成されてなり、隣り合
う格子点を頂点とする各四角形の内側に圧電振動
部分が形成され、一つの主面側にて上記圧電振動
部分の入力電極および出力電極が夫々上記各四角
形の一つの対角線上の2つの格子点上に夫々形成
された引出し電極相当部に引き出され、上記一つ
の主面に対向するいま一つの主面側にて上記圧電
振動部分の電極がこれら両主面に夫々形成された
対向電極の間の静電容量を介して上記一つの主面
側にて上記各四角形のいま一つの各対角線上にあ
る頂点上の引出し電極相当部に引き出されてなる
電極パターンを有する基板母材と板状の絶縁物母
材とを用意し、この絶縁物母材の上記基板母材の
各引出し電極相当部に対応する位置に夫々孔を形
成し、各孔の内壁面に電極膜を形成し、上記絶縁
物母材の各孔を基板母材の上記各引出し電極相当
部に夫々合致させて接着材により基材母材上に絶
縁物母材を積層して相互に接着した後、上記絶縁
物母材と基板母材とを絶縁物母材の各孔を通り上
記四角形の辺に沿う線に沿つて切断し、上記電極
膜と引出し電極相当部とを導電的に接続すること
を特徴としている。
以下、添付の図面を参照して本発明の実施例を
説明する。
本発明の実施例を説明する前に、本発明の関係
技術についても説明する。
第1図aおよび第1図bにおいて、11はアル
ミナもしくは樹脂等からなる四角形の板状の絶縁
物、12は表面波素子を構成する圧電振動ユニツ
トである。
上記絶縁物11はその四隅に夫々一例として円
弧状の切欠部13a,13b,13c,13dを
有し、これら切欠部13a,13b,13c,1
3dの上記絶縁物11の厚み方向の壁面14a,
14b,14c,14dおよび絶縁物11の面の
上記切欠部13a,13b,13c,13d近傍
にわたつて導電膜15a,15b,15c,15
dを夫々形成している。
一方、圧電振動ユニツト12は上記絶縁物11
とほぼ同一の寸法を有し、その一方の主面の四隅
には一例として扇形の引出電極17,18,19
および20を夫々形成している。
上記引出し電極17および18は夫々表面波
(表面弾性波)素子21の入力端子およびアース
端子であり、上記引出し電極19および20は
夫々上記表面波素子21の2つの出力端子であ
る。
上記圧電振動ユニツト12には、その表面波素
子21部分の振動を保障するために、その一方の
主面に凹部22を設けた上記絶縁物11を積層
し、両者を接着剤で接着するとともに、表面波素
子21の上記引出し電極17,18,19および
20と、絶縁物11の導電膜15a,15b,1
5c,15dとをデイツプ法等で半田26で半田
付けしている。
上記のようにすれば、第2図に示すようなチツ
プ状の弾性表面波部品23を得ることができる。
上記弾性表面波部品23をプリント基板24に
実装する場合には、第2図に示すように、プリン
ト基板24の取付位置に上記弾性表面波部品23
を接着し、デイツプ法等により半田付けすると、
第3図に代表として引出し電極19と導電膜15
cについて示すように、上記引出し電極17,1
8,19,20、導電膜15a,15b,15
c,15dおよびこれらに対応する4つの銅箔2
5の三者が夫々相互に導通した状態で、上記弾性
表面波部品23がプリント基板24に実装される
ことになる。
なお、上記弾性表面波部品23の弾性波素子1
2部分をシールドする場合は、第4図および第5
図に示すように、絶縁物11の他方に主面にシー
ルド電極Sを形成し、該シールド電極Sを導電膜
15bを介して引出し電極18(アース端子)に
接続すればよい。
上記の如き構成を有するチツプ状の弾性表面波
部品23は、次のようにして製造される。
第6図aに示すように、まず、アルミナ等の絶
縁物材料を板状に成形して焼成した絶縁物母材3
1を用意し、該絶縁物母材31に前後および左右
の間隔が製造する四角形状の弾性表面波部品23
の巾および長さに等しくなる頂点位置に例えば丸
孔(または縁部には半丸孔)32,…,32を設
け、スルーホールメツキの手法により、第7図に
示すように、上記丸孔32,…,32の内壁面お
よびその両開口端面周縁部に電極膜33,…33
を夫々形成したのち、好ましくは、圧電振動ユニ
ツト母材34に接する側の開口端面周縁部の電極
を研摩除去する。
一方、第6図bに示すように、圧電材料を板状
に成形して焼成することにより、圧電振動ユニツ
ト母材34を形成し、印刷等の手法により、その
一方の主面に上記絶縁物母材31の丸孔(または
半丸孔)32,…,32に対応する位置に円形ま
たは半円形の引出し電極相当部35,…,35を
形成するとともにこれら引出し電極相当部35,
…,35に接続されるインターデジタル電極を設
けて弾性表面波素子21,…,21を形成する。
次に、上記絶縁物母材31の丸孔(または半丸
孔)32,…,32と上記圧電振動ユニツト母材
34の引出し電極相当部35,…,35とを夫々
一致させて、これら絶縁物母材31と圧電振動ユ
ニツト母材34とを接着剤(図示せず)により相
互に接着する。
上記の状態で、絶縁物母材31の丸孔(または
半丸孔)32,…,32および圧電振動ユニツト
母材34の引出し電極相当部35,…,35の中
心を通る線36,…,36,37,…,37に沿
つて上記絶縁物母材31および圧電振動ユニツト
母材34を切断した後、上記丸孔(または半丸
孔)32,…,32に形成された電極膜33,
…,33が加工されてできた導電膜15a〜15
dと、引出し電極相当部35,…,35が加工さ
れてできた引出し電極17〜20とを半田付けす
れば、第2図に示す弾性表面波部品23を得るこ
とができる。このような製造方法は、後述する本
発明の実施例にも適用することができる。
上記のようにすれば、一枚の絶縁物母材31と
一枚の圧電振動ユニツト母材34とを相互に接着
して遮断するだけで、大量の弾性表面波部品23
を容易に生産することができる。
上述した弾性表面波部品のように、励振電極が
圧電板の一方表面にのみ形成されるものは、引出
し電極を容易にチツプ部品の外部接続端子電極と
なるべき導電膜に接続できるが、以下に述べるよ
うな圧電板の対向主表面に励振電極を設けたエネ
ルギーとじこめ型厚み振動モードを用いるバルク
波部品では、一方の励振電極の引出し電極は、チ
ツプ部品の外部接続端子電極となるべき第1の導
電膜に容易に接続できるが、他方の励振電極の引
出し電極は何等かの手段を用いて圧電板を廻り込
んで前記第1の導電膜と同一平面にある第2の導
電膜に接続してやらないと、フエースボンデング
できる構造にならない。
以下に、エネルギーとじこめ型バルク波部品で
フエースボンデングするための対策について述べ
る。
まず、バルク波エネルギー閉じ込め型の二端子
共振子に本発明を適用した実施例を第8図、第9
図および第10図に示す。
本実施例においては、第8図に示すように、圧
電振動ユニツト41は、圧電基板42の一方の主
面に形成した円形の電極43,44と、上記圧電
基板42の他方の主面に、上記電極43,44に
対向させて、形成した円形の電極45,46を有
し、互いに独立して振動する二端子共振子47,
48を備える。そして、方向性をなくして取り扱
いが便利になるように、これら二端子共振子4
7,48の上記電極43,44を、圧電基板42
の上記一方の主面の一本の対角線上の2つの隅部
に形成した引出し電極49,50に夫々引き出す
とともに、電極45と電極46とを接続する。
上記圧電ユニツト41は、第10図に示すよう
に、引出し電極49と50との間に、二端子共振
子47と48とが直列に接続された回路構成を有
するが、等価的には一つの二端子共振子が構成さ
れる。このような構成だと、両引出し電極49,
50が圧電基板42の一面側に存在する。従つ
て、上記圧電振動ユニツト41には、その上下か
ら第1図aと全く同様の構成を有する絶縁物1
1,11を、第9図に示すように、積層して接着
し、上記引出し電極49および50を夫々上記一
方の絶縁物11の導電膜15b,15cに半田2
6で半田付けすれば、チツプ状のバルク波エネル
ギー閉じ込め型の2端子共振子を得ることができ
る。この場合、電極45,46側の絶縁物11
は、凹部22を有するのみで、隅部に切欠部を有
しない普通の絶縁板に置き換えてもよい。以上に
説明した本発明の関係技術は、次に述べる本発明
の実施例にも適用される。
次に、三端子共振子ユニツトを用いた場合で、
アース側共通電極とその引出し電極間にコンデン
サを介在させることにより、アース側共通電極の
引出し電極を、入・出力電極の引出し電極が設け
られている圧電基板面側に設けたものについて述
べる。
上記第8図ないし第10図において、第11図
に示すような電極構成を有する圧電振動ユニツト
51を使用すれば、第12図に示す三端子共振子
を得ることができる。この三端子共振子は、引出
し電極52,53が三端子共振子54の分割電極
55,56に夫々接続され、電極57と上記三端
子共振子54の共通電極58との間にコンデンサ
C1が接続されたチツプ状のバルク波エネルギー
閉じ込め型のものである。このような構造だと、
電極58の引出し電極57が引出し電極52,5
3と同一面側に位置することになる。なお、電極
57と対角位置にある隅部にも同様なコンデンサ
C1を構成すると、圧電振動ユニツト51の方向
性がなくなつて取り扱いが便利である。
上記第8図ないし第12図に示すものは発振
子、FMデイスクリミネータユニツト、フイルタ
等として使用することができる。
また、第13図に示すような電極構成を有する
圧電振動ユニツト61を使用すれば、第14図に
示すように、引出し電極62と63との間に、三
端子共振子54、コンデンサC1および三端子共
振子54′、コンデンサC1からなる第12図と全
く同一構成を有する2組の回路をカスケードに接
続するとともに、上記三端子共振子54′の分割
電極の一方と共通電極との間にコンデンサC2
接続したチツプ状のバルク波エネルギー閉じ込め
型のフイルタを得る。
上記コンデンサC1の一方の電極64およびい
ま一つのコンデンサC2の一方の電極65は上記
フイルタの外部で相互に接続される。また、この
変形例として、第14図で点線で示したような接
続を追加すると、第13図に示すものも方向性が
なくなつて取り扱いが便利である。
なお、上記第2図、第3図、第5図、第9図の
各図は、各部の接続関係を明確にするためのもの
で、断面は適宜適当な箇所であるので、いわゆる
断面図とは異なることを断つておく。
以上、詳細に説明したように、本発明は、一つ
の主面側の格子点位置に引出し電極相当部が形成
されてなり、隣り合う格子点を頂点とする各四角
形の内側に圧電振動部分が形成され、一つの主面
側にて上記圧電振動部分の入力電極および出力電
極が夫々上記各四角形の一つの対角線上の2つの
格子点上に夫々形成された引出し電極相当部に引
き出され、上記一つの主面に対向するいま一つの
主面側にて上記圧電振動部分の電極がこれら両主
面に夫々形成された対向電極の間の静電容量を介
して上記一つの主面側にて上記各四角形のいま一
つの各対角線上にある頂点上の引出し電極相当部
に引き出されてなる電極パターンを有する基板母
材と板状の絶縁物母材とを用意し、この絶縁物母
材の上記基板母材の各引出し電極相当部に対応す
る位置に夫々孔を形成し、各孔の内壁面に電極膜
を形成し、上記絶縁物母材の各孔を基板母材の上
記各引出し電極相当部に夫々合致させて接着材に
より基板母材上に絶縁物母材を積層して相互に接
着した後、上記絶縁物母材と基板母材とを絶縁物
母材の各孔を通り上記四角形の辺に沿う線に沿つ
て切断し、上記電極膜と引出し電極相当部とを導
電的に接続することを特徴とするチツプ状圧電振
動部品の製造方法である。
従つて、本発明によれば、圧電基板の表裏に一
対の励振電極を有し、圧電振動ユニツトの一方の
励振電極を他方の励振電極が設けてある面側へコ
ンデンサを介して引き出した電極構造を有するチ
ツプ状圧電振動部品も、一組の絶縁物母材と圧電
振動ユニツト母材を積層して切断するだけで容易
に大量生産することができるうえ、製造工程が簡
単であることにより、チツプ状圧電振動部品の価
格が安くなり不良品の発生率が少く、製品として
の信頼性も向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図aはチツプ状圧電振動部品の絶縁物の斜
視図、第1図bはチツプ状振動部品の圧電振動ユ
ニツトの斜視図、第2図はチツプ状圧電振動部品
の一例の構造説明図、第3図は第2図のチツプ状
圧電振動部品の回路基板への取付説明図、第4図
は第1図aの絶縁物にシールド電極を設けた絶縁
物の斜視図、第5図は第4図の絶縁物を使用した
チツプ状圧電振動部品の構造説明図、第6図aは
絶縁物母材の斜視図、第6図bは圧電振動ユニツ
ト母材の斜視図、第7図は第6図aの絶縁物母材
の断面図、第8図はバルク波エネルギー閉じ込め
型の二端子共振子の圧電振動ユニツトの斜視図、
第9図はバルク波エネルギー閉じ込め型の二端子
共振子の構造説明図、第10図は第9図の共振子
の等価回路図、第11図は本発明により製造され
るバルク波エネルギー閉じ込め型の三端子共振子
の圧電振動ユニツトの斜視図、第12図は第11
図の等価回路図、第13図は本発明により製造さ
れるいま一つのバルク波エネルギー閉じ込め型の
フイルタの圧電振動ユニツトの斜視図、第14図
は第13図の等価回路図である。 11,11′…絶縁物、12…圧電振動ユニツ
ト、13…切欠き部、15a,15b,15c,
15d…導電膜、17,18,19,20…引出
し電極、26…半田、31…絶縁物母材、34…
圧電振動ユニツト母材、41,51,61…圧電
振動ユニツト。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 一つの主面側の格子点位置に引出し電極相当
    部が形成されてなり、隣り合う格子点を頂点とす
    る各四角形の内側に圧電振動部分が形成され、一
    つの主面側にて上記圧電振動部分の入力電極およ
    び出力電極が夫々上記各四角形の一つの対角線上
    の2つの格子点上に夫々形成された引出し電極相
    当部に引き出され、上記一つの主面に対向するい
    ま一つの主面側にて上記圧電振動部分の電極がこ
    れら両主面に夫々形成された対向電極の間の静電
    容量を介して上記一つの主面側にて上記各四角形
    のいま一つの各対角線上にある頂点上の引出し電
    極相当部に引き出されてなる電極パターンを有す
    る基板母材と板状の絶縁物母材とを用意し、この
    絶縁物母材の上記基板母材の各引出し電極相当部
    に対応する位置に夫々孔を形成し、各孔の内壁面
    に電極膜を形成し、上記絶縁物母材の各孔を基板
    母材の上記各引出し電極相当部に夫々合致させて
    接着材により基板母材上に絶縁物母材を積層して
    相互に接着した後、上記絶縁物母材と基板母材と
    を絶縁物母材の各孔を通り上記四角形の辺に沿う
    線に沿つて切断し、上記電極膜と引出し電極相当
    部とを導電的に接続することを特徴とするチツプ
    状圧電振動部品の製造方法。
JP8692282A 1982-05-21 1982-05-21 チップ状圧電振動部品の製造方法 Granted JPS58139515A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8692282A JPS58139515A (ja) 1982-05-21 1982-05-21 チップ状圧電振動部品の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8692282A JPS58139515A (ja) 1982-05-21 1982-05-21 チップ状圧電振動部品の製造方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2146182A Division JPS58138115A (ja) 1982-02-12 1982-02-12 チップ状圧電振動部品の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58139515A JPS58139515A (ja) 1983-08-18
JPH0155607B2 true JPH0155607B2 (ja) 1989-11-27

Family

ID=13900342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8692282A Granted JPS58139515A (ja) 1982-05-21 1982-05-21 チップ状圧電振動部品の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58139515A (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0453318U (ja) * 1990-09-11 1992-05-07
JP3682224B2 (ja) * 2000-12-19 2005-08-10 日本電波工業株式会社 4ポール・モノリシック・フィルタ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS58139515A (ja) 1983-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4737742A (en) Unit carrying surface acoustic wave devices
JP3222220B2 (ja) チップ型圧電共振子の製造方法
US4736128A (en) Surface acoustic wave device
JPH0155604B2 (ja)
US5844452A (en) Piezoelectric ladder filter utilizing resonator with electrodes on opposite side edges
JPH05315885A (ja) チップ型発振子およびこの発振子を用いた発振回路
JPH0155605B2 (ja)
JP3147793B2 (ja) ラダー型フィルタ
JPS5977715A (ja) チツプ状圧電振動部品
JPH03220911A (ja) 弾性表面波フィルタ
JPS58197909A (ja) チツプ状圧電振動部品の実装構造
JPH0155606B2 (ja)
US6806626B2 (en) Electronic component
JPH0155607B2 (ja)
JPS60123122A (ja) チップ型圧電共振部品とその製造方法
JPH0155608B2 (ja)
JPH0244167B2 (ja)
JPS58139517A (ja) チツプ状圧電振動部品
JPH1141062A (ja) 圧電フィルタ
EP0800268B1 (en) Piezoelectric resonator
JPS6012811A (ja) 圧電振動部品
JPH0397314A (ja) 積層型圧電共振部品
JPS63107307A (ja) チツプ状圧電部品とその製造方法
JPS62122311A (ja) コンデンサ内蔵形圧電共振子
JPH03165613A (ja) 圧電部品