DE60206230T2 - Festzustandspeicher - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Informationsspeicherungsvorrichtungen und insbesondere auf eine programmierbare Adresslogik für diodenbasierte Festkörperspeichervorrichtungen. Genauer gesagt bezieht sich die vorliegende Erfindung auf einen einmalig programmierbaren (OTP) Festkörperspeicher.
  • Tragbare Vorrichtungen, wie z. B. PDAs, Handcomputer, Digitalkameras und Digitalmusikspieler, umfassen einen Speicher zum Speichern von Daten, digitalen Bildern und MP3-Dateien. Unterschiedliche Typen von Speicher sind für diese tragbaren Vorrichtungen verfügbar. Herkömmliche Speichertypen umfassen einen Flash-Speicher, Minifestplatten, Mini-Compact-Disks und Magnetband. Jeder dieser Speichertypen weist jedoch eine oder mehr der folgenden Einschränkungen auf: große physische Größe, geringe Speicherkapazität, relativ hohe Kosten, schlechte Robustheit, langsame Zugriffszeit und hohe Leistungsaufnahme.
  • Ein diodenbasierter Festkörper-OTP-Speicher ist in der Europäischen Patentanmeldung 1265287 offenbart. Verglichen mit dem herkömmlichen Speicher weist der diodenbasierte Speicher eine hohe Stoßtoleranz, eine geringe Leistungsaufnahme, eine schnelle Zugriffszeit, eine angemessene Übertragungsgeschwindigkeit und eine gute Speicherkapazität auf. Der diodenbasierte Speicher kann in eine standardmäßige tragbare Schnittstelle (z. B. PCMCIA, CF) einer tragbaren Vorrichtung passen.
  • Eine Adresslogik der diodenbasierten Speichervorrichtung ist auf der gleichen Ebene wie ein Hauptspeicher gebildet. Bei einer diodenbasierten Mehrebenenspeichervorrichtung weist jede Ebene einen Hauptspeicher und eine Adresslogik auf (im Gegensatz zu einem herkömmlichen Festkörperspeicher, wie z. B. DRAM). Außerdem ist die Adresslogik der di odenbasierten Speichervorrichtung programmierbar. Die Adresslogik kann programmiert werden, nachdem jede Schicht hergestellt worden ist. Da keine Maskierung erforderlich ist, ist ein physisches Verarbeiten vereinfacht.
  • Die US-A-4,795,657 offenbart eine Festkörperspeichervorrichtung, die einen Decodierer mit einer ersten und einer zweiten Gruppe von Adresselementen aufweist, die unterschiedliche zugewiesene Logikelemente mit entsprechenden Stromtragefähigkeiten aufweisen. Die Offenbarung dieser Druckschrift entspricht allgemein dem Oberbegriff von Anspruch 1.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Festkörperspeichervorrichtung geliefert, die einen Decodierer aufweist, der eine erste und eine zweite Gruppe von Adresselementen aufweist, wobei den Adresselementen der ersten Gruppe ein erster logischer Wert zugewiesen wurde und den Adresselementen der zweiten Gruppe ein zweiter logischer Wert zugewiesen wurde, wobei eine Stromtragefähigkeit der ersten Gruppe von Adresselementen größer ist als die Stromtragefähigkeit der zweiten Gruppe von Adresselementen, dadurch gekennzeichnet, dass Elemente der ersten Gruppe physisch größer sind als Elemente der zweiten Gruppe.
  • Ein Strom, der während eines Programmierens durch die Adresselemente fließt, bewirkt, dass sich die Widerstandswertzustände nur der zweiten Gruppe von Adresselementen verändern.
  • Andere Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung zusammen mit den beiliegenden Zeichnungen ersichtlich, die beispielhaft die Prinzipien der vorliegenden Erfindung veranschaulichen.
  • 1 ist ein Blockdiagramm einer Ebene einer Festkörperspeichervorrichtung.
  • 2a2c sind Darstellungen von unterschiedlichen Typen von programmierbaren Elementen in der Ebene.
  • 3 ist eine weitere Darstellung eines programmierbaren Elements.
  • 4 ist eine Darstellung eines Verfahrens zum Verändern der Widerstandswertzustände von Adresselementen.
  • 5a5c sind Darstellungen von unterschiedlichen Entwürfen für ausgewählte und nicht ausgewählte Adresselemente eines Decodierers.
  • 6a und 6b sind Darstellungen einer Ebene einer Festkörperspeichervorrichtung, die eine Fehlerverwaltung zulässt.
  • 7 ist eine Darstellung eines Verfahrens zum Vermeiden von Fehlern bei einer Mehrebenenfestkörperspeichervorrichtung.
  • 8 ist eine Darstellung einer Mehrebenenfestkörperspeichervorrichtung.
  • Es wird Bezug genommen auf 1, die eine Ebene 8 einer Festkörperspeichervorrichtung zeigt. Die Ebene 8 umfasst einen Hauptspeicher 10 und eine programmierbare Adresslogik 12, 14. Der Hauptspeicher 10 umfasst ein Kreuzungspunktwiderstandsarray von OTP-Speicherelementen 16, Bahnen, die als Wortleitungen 18 fungieren, die sich entlang Zeilen der Speicherelemente 16 erstrecken, und Bahnen, die als Bitleitungen 20 fungieren, die sich entlang Spalten der Speicherelemente 16 erstrecken. Es kann eine Wortleitung 18 für jede Zeile der Speicherelemente 16 und eine Bitleitung 20 für jede Spalte der Speicherelemente 16 vorliegen. Jedes Speicherelement 16 ist an einem Kreuzungspunkt einer Wortlei tung 18 und einer Bitleitung 20 angeordnet. Nur eine relativ geringe Anzahl von Speicherelementen 16 ist gezeigt, um die Darstellung der Ebene 8 zu vereinfachen. In der Praxis können Arrays jeder beliebigen Größe verwendet werden.
  • Die Adresslogik 12, 14 verwendet eine kombinatorische Diodenlogik zum Adressieren der Speicherelemente 16 während Lese- und Schreiboperationen. Die Adresslogik 12, 14 umfasst einen OTP-Zeilendecodierer 12 zum Auswählen der Wortleitungen 18. Der Zeilendecodierer 12 wählt die Wortleitungen 18 durch ein Decodieren von Adressen aus, die an Zeilenadressleitungen 22 geliefert werden (die Adressen können durch externe Zeilenadresstreiber 24 geliefert werden). Der Zeilendecodierer 12 umfasst eine Mehrzahl von OTP-Adresselementen 26. Jedes Adresselement 26 des Zeilendecodierers 12 befindet sich an einem Kreuzungspunkt einer Wortleitung 18 und einer Zeilenadressleitung 22.
  • Die Adresslogik 12, 14 umfasst auch einen OTP-Spaltendecodierer 14 zum Auswählen der Bitleitungen 20. Der Spaltendecodierer 14 wählt die Bitleitungen 20 durch ein Decodieren von Adressen aus, die an Spaltenadressleitungen 28 geliefert werden (die Adressen können durch externe Spaltenadresstreiber 30 geliefert werden). Der Spaltendecodierer 14 umfasst auch eine Mehrzahl von OTP-Adresselementen 26. Jedes Adresselement 26 des Spaltendecodierers 14 befindet sich an dem Kreuzungspunkt einer Bitleitung 20 und einer Spaltenadressleitung 28.
  • Ein Ende jeder Wortleitung 18 endet bei einer Zeilenerfassungslogik 34. Die Zeilenerfassungslogik 34 umfasst mehrere Erfassungswiderstände 36, wobei jeder Erfassungswiderstand 36 zwischen eine Zeilenleistungsleitung 38 und ein Ende einer Wortleitung 18 geschaltet ist. Eine Zeilenerfassungsleitung 40 kreuzt die Wortleitungen 18. Die Zeilenerfassungslogik 34 umfasst auch mehrere Erfassungselemente 42, wobei jedes Erfassungselement 42 zwischen die Zeilenerfassungsleitung 40 und eine Wortleitung 18 geschaltet ist.
  • Ein Ende jeder Bitleitung 20 endet bei einer Spaltenerfassungslogik 44. Die Spaltenerfassungslogik 44 umfasst mehrere Erfassungswiderstände 36, wobei jeder Erfassungswiderstand 36 zwischen eine Spaltenleistungsleitung 46 und ein Ende einer Bitleitung 20 geschaltet ist. Eine Spaltenerfassungsleitung 48 kreuzt die Bitleitungen 20. Die Spaltenerfassungslogik 44 umfasst auch mehrere Erfassungselemente 42, wobei jedes Erfassungselement 42 zwischen die Spaltenerfassungsleitung 48 und eine Bitleitung 20 geschaltet ist.
  • Eine Zeilenprogrammierleitung 50 zwischen dem Hauptspeicher 10 und dem Zeilendecodierer 12 kreuzt die Wortleitungen 18. Programmierelemente 52 sind zwischen die Zeilenprogrammierleitung 50 und die Wortleitungen 18 geschaltet.
  • Eine Spaltenprogrammierleitung 54 zwischen dem Hauptspeicher 10 und dem Spaltendecodierer 14 kreuzt die Bitleitungen 20. Programmierelemente 52 sind zwischen die Spaltenprogrammierleitung 54 und die Bitleitungen 20 geschaltet.
  • Die Speicherelemente 16, die Adresselemente 26, die Erfassungselemente 42 und die Programmierelemente 52 können alle diodenbasiert sein. Dies vereinfacht die Herstellung der Ebene 8.
  • Unterschiedliche Typen von programmierbaren Elementen 16/26/42/52 sind in den 2a2c gezeigt. Das programmierbare Element von 2a umfasst eine Sicherung 110, die in Reihe mit einer Diode 112 gekoppelt ist. Vor einem Programmieren ist der Widerstandswertzustand eines derartigen Elements niedrig, wobei die Sicherung 110 intakt ist. Während des Programmierens kann der Widerstandswertzustand des Elements durch ein „Durchbrennen" der Sicherung 110 von niedrig zu hoch verändert werden.
  • Das programmierbare Element von 2b umfasst einen Widerstand 120, der in Reihe mit einer Diode 122 gekoppelt ist. Vor einem Programmieren ist der Widerstandswertzustand eines derartigen Elements niedrig, wobei der Widerstand 120 intakt ist. Während des Programmierens kann der Widerstandswertzustand des Elements durch ein „Durchbrennen" des Widerstands 120 von niedrig zu hoch verändert werden.
  • Das programmierbare Element von 2c umfasst nur eine Diode 132. Vor einem Programmieren ist die Diode 132 intakt, wodurch ihr Widerstandswertzustand niedrig ist. Während des Programmierens kann die Diode 132 geöffnet werden, um ihren Widerstandswertzustand von niedrig zu hoch zu verändern. Eine derartige Diode 132 fungiert als eine Sicherung. Bei der Alternative kann die Diode 132 als eine Antisicherung fungieren, die während des Programmierens von einem hohen Widerstandswertzustand zu einem niedrigen Widerstandswertzustand übergeht.
  • Die programmierbaren Elemente 16/26/42/52 sind nicht auf die Typen beschränkt, die in den 2a2c gezeigt sind. Zum Beispiel könnten die programmierbaren Elemente 16/26/42/52 Transistoren anstelle von Dioden umfassen.
  • Um nun zu 1 zurückzukehren, kann die Ebene 8 hergestellt werden wie folgt. Spaltenleitungen 20 werden auf einem Substrat gebildet, ein Mehrschichtfilm aus Silizium wird auf den Spaltenleitungen 20 gebildet, und Wortleitungen 18 werden auf dem Film gebildet. Jedes programmierbare Element 16/26/42/52 kann als derjenige Abschnitt des Films (F) zwischen zwei sich kreuzenden Bahnen (T) (siehe 3) gebildet werden. Die Größe des programmierbaren Elements 16/26/42/52 wird durch den überlappenden Bereich zwischen sich kreuzenden Bahnen und die Dicke des Films bestimmt. Zum Beispiel wird eine Diode in dem Hauptspeicher 10 als derjenige Abschnitt des Films zwischen sich kreuzenden Wort- und Bitleitungen 18 und 20 gebildet.
  • Die unterschiedlichen Schichten des Filmes weisen geeignete Dotierungen (und/oder eine Kombination von kristallinem und amorphem Silizium) auf, um die Dioden 112, 122, 132 zu bilden. Zusätzliche Schichten mit geeigneten Dotierungen können hinzugefügt werden, um Widerstände 120, Sicherungen 110 oder Antisicherungen zu bilden. Die Erfassungswiderstände 36 können durch ein Modifizieren der Enden der Wort- und Bitleitungen 18 und 20 gebildet werden. Die Zeilen- und Spaltenadresstreiber 24 und 30 können auf dem Substrat gebildet werden.
  • Die Zeilen- und Spaltendecodierer 12 und 14 können während einer Vorrichtungsherstellung programmiert werden, nachdem die Ebene 8 hergestellt worden ist. Die Decodierer 12 und 14 werden durch ein Verändern der Widerstandswertzustände von ausgewählten Adresselementen von einem niedrigen Widerstandswertzustand zu einem hohen Widerstandswertzustand (oder umgekehrt) programmiert. Einzelheiten der kombinatorischen Logik zum Adressieren des Hauptspeichers (d. h. die Einzelheiten darüber, welche Adresselemente ausgewählt werden) sind in der Europäischen Patentanmeldung 1265287 offenbart. Verschiedene Arten des Programmierens der Decodierer 12 und 14 sind im Folgenden beschrieben.
  • Daten können durch ein Liefern von Zeilen- und Spaltenadressen an die Zeilen- und Spaltendecodierer 12 und 14 in den Hauptspeicher 10 geschrieben werden. Ein Schreibstrom fließt durch eine ausgewählte Wortleitung 18 und eine ausgewählte Bitleitung 20 und fließt deshalb an dem Kreuzungspunkt der ausgewählten Wort- und Bitleitung 18 und 20 durch das Speicherelement 16. Die Stärke des Schreibstroms ist ausreichend, um den Widerstandswertzustand des ausgewählten Elements zu verändern (z. B. durch ein Öffnen der Sicherung 110 von 2a, ein Öffnen des Widerstands 120 von 2b, ein Öffnen der Diode 132 von 2c, ein Kurzschließen der Antisicherung).
  • Der Widerstandswertzustand eines Speicherelements 16 kann durch ein Liefern von Zeilen- und Spaltenadressen an die Zeilen- und Spaltendecodierer 12 und 14 erfasst werden. Ei ne Spannung wird an die zweite Zeilenerfassungsleitung 40 angelegt, und eine Spannung einer entgegengesetzten Polarität wird an die zweite Spaltenerfassungsleitung 48 angelegt. Ein Erfassungsstrom fließt durch eine ausgewählte Wortleitung 18 und eine ausgewählte Bitleitung 20 und fließt deshalb an dem Kreuzungspunkt der ausgewählten Wort- und Bitleitung 18 und 20 durch das Speicherelement 16. Die Stärke des Erfassungsstroms zeigt den Widerstandswertzustand des ausgewählten Speicherelements 16 an.
  • Jedes Adresselement 26 weist eine Verbindung auf, die während eines Programmierens unterbrochen werden kann. Zum Beispiel ist die Sicherung 110 die Verbindung für das Adresselement, das in 2a gezeigt ist, der Widerstand 120 für das Adresselement von 2b und die Diode 132 für das Adresselement von 2c. Jede Verbindung ist aus einem photoempfindlichen Material hergestellt, das normalerweise für Solarzellen und Anzeigen verwendet wird. Z. B. können die Verbindungen aus amorphem Silizium mit einer P-dotierten Schicht hergestellt sein. Die Leitfähigkeit von intrinsischem amorphem Silizium ist normalerweise 106 mal geringer als bei dem dotierten amorphen Silizium. Wenn dieselbe jedoch mit Licht bestrahlt wird, nimmt die Leitfähigkeit der intrinsischen Region auf ein Niveau zu, das demjenigen der dotierten Region ähnlich ist. Durch ein Bestrahlen eines Adresselements 26 wird die Dichte des Stroms, der durch das Adresselement 26 fließt, bis zu dem Punkt erhöht, an dem die Verbindung durchbrennt.
  • Es wird nun Bezug genommen auf 4, die ein Verfahren zum Verändern des Widerstandswertzustands von „ausgewählten" Adresselementen 26 veranschaulicht. Adresselemente, die ausgewählt sind, sind durch X angezeigt. Bei diesen ausgewählten Elementen werden ihre Widerstandswertzustände während des Programmierens verändert. Nicht ausgewählte Adresselemente sind durch 0 angezeigt. Bei diesen nicht ausgewählten Adresselementen werden ihre Widerstandswertzustände während des Programmierens nicht verändert.
  • Während der Programmierung des Zeilendecodierers 12 wird eine Spannung (–V) über die Zeilenprogrammierleitung 50 angelegt, und eine Spannung von entgegengesetzter Polarität (+V) wird an die Zeilenerfassungsleitung 40 angelegt. (Während des Programmierens des Spaltendecodierers 14 wird eine Spannung über die Spaltenprogrammierleitung 54 angelegt, und eine Spannung von entgegengesetzter Polarität wird an die Spaltenerfassungsleitung 48 angelegt.) Dies legt wirksam eine Spannung über zwei Dioden an, die gegeneinander geschaltet sind. Die Spannung wird auf eine Weise angelegt, dass die Dioden in den Programmierelementen 52 vorwärts vorgespannt sind und die Dioden in den Adresselementen 26 rückwärts vorgespannt sind. Die Spannungen können durch die Zeilen- und Spaltenadresstreiber 24 und 30 angelegt werden.
  • Eine elektromagnetische Strahlung (EM) wird an die ausgewählten Adresselemente 26 angelegt. Die elektromagnetische Strahlung weist eine ausreichende Intensität auf, um die Leitfähigkeit der ausgewählten Adresselemente erheblich zu erhöhen. Folglich wird die Dichte des Stromes, der durch die ausgewählten Adresselemente fließt, erhöht. Diese Zunahme der Stromdichte bewirkt, dass sich die Verbindungen der ausgewählten Adresselemente öffnen. Die Verbindungen der nicht ausgewählten Adresselemente bleiben ununterbrochen.
  • Die Programmierelemente 52 können eine höhere Stromtragefähigkeit als die ausgewählten Adresselemente 26 aufweisen.
  • Diese optische Programmierung der Adressdioden 26 kann durch ein Verwenden einer Vorrichtung durchgeführt werden, der adressierbare Laserdioden umfasst. Die Laserdioden bestrahlen nur die ausgewählten Adresselemente 26. Linsen und andere optische Elemente können verwendet werden, um die EM-Strahlung auf die ausgewählten Adresselemente 26 zu fokussieren. Alle ausgewählten Elemente 26 können gleichzeitig bestrahlt werden, wodurch die Widerstandswertzustände aller ausgewählten Adresselemente 26 zur gleichen Zeit verändert werden.
  • Bei der Alternative könnten die nicht ausgewählten Adresselemente vor der Bestrahlung maskiert werden, und eine Gesamtbestrahlung könnte an die Schicht angelegt werden. Die Widerstandswertzustände der maskierten Adresselemente würden nicht verändert.
  • Damit eine EM-Strahlung an ausgewählte Adresselemente 26 angelegt wird, können die Bahnen für die EM-Strahlung durchlässig hergestellt sein. Materialien für diese durchlässigen Bahnen können von dem Typ sein, der bei Flüssigkristallanzeigen verwendet wird. Als eine Alternative zum Herstellen von durchlässigen Bahnen kann die EM-Strahlung zu den ausgewählten Adresselementen 26 geführt werden.
  • Ein alternativer Lösungsansatz zum Verändern der Widerstandswertzustände der ausgewählten Adresselemente 26 wird nun beschrieben. Die nicht ausgewählten Adresselemente bei jedem Decodierer 12 und 14 sind mit einer größeren Stromtragefähigkeit gebildet als die ausgewählten Adresselemente 26. Während des Programmierens der Decodierer 12 und 14 werden auf die im Vorhergehenden beschriebene Weise alle Adresselemente rückwärts vorgespannt und die Erfassungselemente werden vorwärts vorgespannt. Folglich fließt ein Strom durch die ausgewählten und nicht ausgewählten Adresselemente. Dieser Strom bewirkt, dass die Verbindungen der ausgewählten Adresselemente 26 unterbrochen werden, der Strom bewirkt jedoch nicht, dass die Verbindungen der nicht ausgewählten ausgewählten Adresselemente unterbrochen werden.
  • Die Verbindungen können unterbrochen werden, ohne eine EM-Strahlung an die ausgewählten Adresselemente 26 anzulegen. Deshalb können die Verbindungen aus einem Material hergestellt sein, das nicht photoleitend ist. Eine Zuverlässigkeit beim Unterbrechen der Verbindungen kann jedoch erhöht werden, indem die Verbindungen aus einem photoleitenden Material hergestellt werden und die ausgewählten Adresselemente 26 während des Programmierens bestrahlt werden.
  • Die Speicherelemente 16 und die ausgewählten Adresselemente 26 können mit der minimalen Auflösung hergestellt werden, womit die optimale Speicherkapazität ermöglicht wird. Die nicht ausgewählten Adresselemente können mit größeren Abmessungen hergestellt werden, indem die Größe der Adressleitungen über die minimale Auflösung erhöht wird und die Abschnitte der Speicherleitungen (d. h. Wort- und Bitleitungen), die die Adressleitungen kreuzen, erhöht werden.
  • Die 5a5c zeigen unterschiedliche Entwürfe für ausgewählte Adresselemente 26a und vergrößerte nicht ausgewählte Adresselemente 26b. Wenn ein Adressprotokoll gewährleisten kann, dass keine Spalte benachbarte vergrößerte (nicht ausgewählte) Adresselemente 26b aufweist, dann kann die Adresslogik die Konfiguration aufweisen, die in 5a gezeigt ist. 5a zeigt einen Zeilendecodierer 12, bei dem Spalten keine benachbarten vergrößerten (nicht ausgewählten) Adresselemente 26b enthalten. Obwohl dieselben nicht so gezeigt sind, können die Adresselemente 26a und 26b bei vollem Kontaktabstand gebildet sein.
  • Wenn das Adressprotokoll keine derartige Garantie liefern kann, wodurch die Adresslogik benachbarte vergrößerte Adresselemente in einer Spalte umfassen könnte, kann der Abstand zwischen den Wortleitungen 18 erhöht werden. Dies würde jedoch die Datenspeicherungsdichte des Hauptspeichers verringern.
  • Stattdessen kann der Zeilendecodierer 12 in zwei voneinander beabstandete Sätze 12a und 12b geteilt werden, wie es in 5b gezeigt ist. Wortleitungen 18a mit ungeraden Zahlen werden mit Wortleitungen 18b mit geraden Zahlen interdigital (ineinandergreifend) angeordnet. Ein erster Satz von Adressleitungen 22a kreuzt die Wortleitungen 18a mit ungeraden Zahlen, und ein zweiter Satz von Adressleitungen 22b kreuzt die Wortleitungen 18b mit geraden Zahlen. Der erste und der zweite Satz von Adressleitungen 22a und 22b empfangen das gleiche Adresssignal.
  • Dieser Lösungsansatz ermöglicht es, dass die Größe von benachbarten Speicherelementen 26b um das Dreifache vergrößert wird, er ermöglicht aber trotzdem, dass die ausgewählten Speicherelemente 26a mit minimaler Auflösung hergestellt werden. Wenn ein Adressprotokoll gewährleisten kann, dass keine Spalte benachbarte vergrößerte (nicht ausgewählte) Adresselemente 26b aufweist, kann die Größe der nicht benachbarten vergrößerten Speicherelemente 26b um das Fünffache vergrößert werden (siehe 5c).
  • Die 5a5c wurden gerade in Verbindung mit dem Zeilendecodierer 12 beschrieben. Die gleichen Prinzipien können jedoch auf den Spaltendecodierer 14 angewandt werden.
  • Es wird nun Bezug genommen auf 6a, die Abschnitte einer Ebene 208 einer Speichervorrichtung zeigt, die eine Fehlerverwaltung ermöglicht. Die Ebene 208 umfasst einen Hauptspeicher 210, einen Zeilendecodierer 212 und eine Zeilenerfassungslogik 234. Die Zeilenerfassungslogik 234 umfasst Erfassungswiderstände 236. Die Ebene 208 umfasst ferner Wortleitungen 218, Bitleitungen 220, Zeilenadressleitungen 222, eine Leistungsversorgungsleitung 238, eine Zeilenerfassungsleitung 240 und eine Zeilenprogrammierleitung 242. Elemente zum Adressieren, Erfassen und Programmieren auf der Spaltenseite sind nicht gezeigt. Ausgewählte Adresselemente sind durch X angezeigt, und nicht ausgewählte Adresselemente sind durch 0 angezeigt.
  • Ein fehlerhafter Bereich in der Ebene 8 ist durch den Buchstaben D identifiziert. Zum Beispiel kann der fehlerhafte Bereich D durch einen Kurzschluss von zwei benachbarten Wortleitungen 218 verursacht werden. Der fehlerhafte Bereich D macht die zwei zugeordneten Zeilen unbrauchbar.
  • Der Zeilendecodierer 212 kann programmiert sein, um den fehlerhaften Bereich D zu vermeiden. Die Wortleitungen 218, die dem fehlerhaften Bereich D entsprechen, werden von dem Hauptspeicher 210 getrennt. Zum Beispiel können Unterbrechungen (Diskontinuitäten) in diesen Wortleitungen 218 gebildet werden. Bei der Alternative können die Erfassungswiderstände 236 dieser Wortleitungen 218 geöffnet werden. Falls die Erfassungswiderstände 236 aus einem photoleitenden Material, wie z. B. amorphem Silizium, hergestellt sind, können dieselben geöffnet oder „durchgebrannt" werden, indem bewirkt wird, dass ein Strom durch die Widerstände fließt (z. B. durch ein Vorspannen der Adress- und Schreibleitungen bezüglich der Treiberspannung), und dann eine EM-Strahlung angelegt wird. Das Anlegen der EM-Strahlung erhöht die Leitfähigkeit. Die Zunahme des Stromes bewirkt, dass der bestrahlte Erfassungswiderstand durchbrennt.
  • Die getrennten Wortleitungen werden durch Reservewortleitungen ersetzt. Bestimmte Wortleitungen und ihre verbundenen Speicher-, Adress- und Erfassungselemente werden als Reserveelemente reserviert. 6a zeigt, dass die letzten paar Wortleitungen der Ebene 208 als Reserveelemente reserviert sind (wie es durch Block 211 angezeigt ist). Der Ort der Reserveelemente ist jedoch nicht derart beschränkt; die Reservewortleitungen können sich an jedem beliebigen Ort in der Ebene 208 befinden. Anfangs sind alle Adresselemente, die mit den Reserveelementen verbunden sind, nicht ausgewählt.
  • Die Reservewortleitungen weisen eine zusätzliche Logik 252 auf. Jede Adressleitung 254 ist mit einer entsprechenden Reservewortleitung durch ein Reserveadresselement 256 verbunden. Das Codieren kann durch ein optisches Programmieren der ausgewählten Reserveadresselemente 256 durchgeführt werden.
  • 6b zeigt den Decodierer 212 neu abgebildet, um den fehlerhaften Bereich D zu vermeiden. Die zwei Wortleitungen 218a und 218b, die dem fehlerhaften Bereich D zugeordnet sind, sind durch ein Öffnen ihrer Erfassungswiderstände 236 getrennt.
  • Zwei Reserveleitungen 218c und 218d ersetzen die zwei Leitungen 218a und 218b, die getrennt wurden. Die Adresselemente 256, die mit diesen zwei Ersatzreserveleitungen 218c und 218d verbunden sind, wurden programmiert, um mit den Widerstandswertzuständen von ausgewählten und nicht ausgewählten Adresselementen für die zwei getrennten Leitungen 218a und 218b übereinzustimmen. Somit weisen diese beiden Ersatzreserveleitungen 218c und 218d nun die gleichen Adressen wie die getrennten Wortleitungen 218a und 218b auf. Die Reserveadresselemente, die mit diesen zwei Ersatzreserveleitungen 218c und 218d verbunden sind, werden auf einen hohen Widerstandswertzustand verändert und somit wirksam von dem Zeilendecodierer 212 entfernt.
  • Die nicht verwendete Reserveleitung 218e wird durch ein Öffnen ihres Erfassungswiderstandes 236 getrennt.
  • Es wird nun Bezug genommen auf 7, die ein Verfahren zum Herstellen einer Mehrebenenfestkörperspeichervorrichtung veranschaulicht. Nachdem eine erste Ebene der Vorrichtung gebildet ist (Block 302), werden Fehler in der ersten Ebene identifiziert (Block 304). Derartige Fehler umfassen, sind jedoch nicht beschränkt auf Diskontinuitäten oder Fehler bei einem oder beiden Kreuzungspunktdrähten und Kurzschlüsse zwischen Datenleitungen. Die Fehler können durch ein Messen von I-V-Charakteristika jedes Kreuzungspunktes in dem Hauptspeicher identifiziert werden.
  • Nachdem die Fehler identifiziert worden sind, werden die Decodierer programmiert, um eine erhebliche Anzahl der Fehler zu vermeiden (Block 306). Das Programmieren verringert den Fehlerpegel auf Null oder einen annehmbaren Pegel für eine Fehlerkorrektur (d. h. einen Pegel, der eine Fehlerkorrektur nicht belastet oder überlastet).
  • Nachfolgende Ebenen werden gebildet (Block 308). Jedes Mal, wenn eine Ebene gebildet ist (Block 302), werden Fehler in der Ebene identifiziert (Block 304), und die Decodierer auf dieser Ebene werden programmiert, um diese Fehler zu vermeiden (Block 306).
  • Nachdem die Ebenen gebildet worden sind, wird die Speichervorrichtung fertiggestellt (Block 310). Im Rahmen der Fertigstellung der Speichervorrichtung werden Adressleitungen verbunden, Schnittstellenschaltungsanordnung hinzugefügt und die Ebenen gehäust.
  • Details des Entwurfs und der Herstellung des Hauptspeichers, des Adressierens mehrerer Ebenen, des Häusens mehrerer Schichten in einen einzigen Chip, des Lesens und Schreibens in den Hauptspeicher usw. sind in der US-Patentschrift des Anmelders mit der Seriennummer 09/875,356 offenbart.
  • Dieses Verfahren ermöglicht, dass eine Fehlerverwaltung auf einzelnen Ebenen implementiert wird, und vermeidet somit das Problem, dass ein fehlerhafter Bereich in einer Ebene die Verwendung des gleichen Speicherbereichs einer anderen Ebene ausschließt. Es implementiert auch eine Fehlerverwaltung auf eine Weise, die den fehlerhaften Adressort physisch neu positioniert, und benötigt deshalb keine Fehlerliste für eine Neuabbildung. Dies vereinfacht die Verwendung des Speichersystems.
  • Er wird nun Bezug genommen auf 8, die eine Mehrebenenfestkörperspeichervorrichtung 410 zeigt. Mehrere Ebenen 412 sind aufeinander gestapelt. Anders als bei einem herkömmlichen Halbleiterspeicher sind Decodierer in jeder Schicht 412 gebildet. Jede Schicht 410 ist durch eine Speichersystemschnittstelle 416 mit einer Steuer-/Schnittstellenschal tungsanordnung 414 verbunden. Die Steuer-/Schnittstellenschaltungsanordnung 414 ist in dem Substrat gebildet. Die Steuer-/Schnittstellenschaltungsanordnung 414 führt eine Fehlercodekorrektur (ECC) und Fehlerverwaltungsfunktionen sowie Funktionen zum Betreiben der Vorrichtung 410 durch. Diese Funktionen umfassen ein Setzen von Schreibspannungen, ein Setzen von Schreibaktivierungsleitungen und ein Steuern von Leistungserfassungsstreifenbildung, ein Adressieren des Speichers durch ein Umwandeln von logischen Adressen in Adressleitungsmuster, die benötigt werden, um auf physische Speicherorte zuzugreifen, und eine Datenleseverarbeitung von Erfassungsleitungsausgangssignalen.
  • Die Vorrichtung 410 ist nicht auf eine Steuer-/Schnittstellenschaltungsanordnung beschränkt, die durch die Schichten gemeinschaftlich verwendet wird. Stattdessen kann jede Ebene 412 ihre eigene Steuer-/Schnittstellenschaltungsanordnung aufweisen.
  • Der Hauptspeicher könnte werkseitig auf die gleiche Weise und zur gleichen Zeit wie die Adresslogik programmiert werden. Der Hauptspeicher könnte mit Mikrocode, Abbildungsdaten usw. vorprogrammiert werden.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die spezifischen Ausführungsbeispiele beschränkt, die im Vorhergehenden beschrieben und veranschaulicht sind. Stattdessen wird die vorliegende Erfindung gemäß den folgenden Ansprüchen aufgefasst.

Claims (8)

  1. Eine Festkörperspeichervorrichtung, die einen Decodierer (12) aufweist, der eine erste und eine zweite Gruppe von Adresselementen (26b, 26a) aufweist, wobei den Adresselementen (26b) der ersten Gruppe ein erster logischer Wert zugewiesen wurde und den Adresselementen (26a) der zweiten Gruppe ein zweiter logischer Wert zugewiesen wurde, wobei eine Stromtragefähigkeit der ersten Gruppe von Adresselementen (26b) größer ist als eine Stromtragefähigkeit der zweiten Gruppe von Adresselementen (26a), dadurch gekennzeichnet, dass Elemente (26b) der ersten Gruppe physisch größer sind als Elemente (26a) der zweiten Gruppe.
  2. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der die Elemente (26b) der ersten Gruppe etwa dreimal größer sind als die Elemente (26a) der zweiten Gruppe.
  3. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Adresselemente (26a, 26b) Dioden umfassen.
  4. Die Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, die ferner eine Programmierlogik (50, 52) und eine Erfassungslogik (34) aufweist, wobei, die Programmierlogik eine Programmierleitung (50) und Programmierelemente (52) umfasst, wobei die Erfassungslogik eine Erfassungsleitung (40) umfasst.
  5. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 4, bei der die Programmierelemente (52) die gleiche Stromtragefähigkeit aufweisen wie die erste Gruppe von Adresselementen (26b).
  6. Die Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Adresselemente (26a, 26b) aus einem photoleitenden Material hergestellt sind.
  7. Die Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Adresselemente (26a, 26b) des Decodierers (12) in zwei voneinander beabstandete Sätze (12a, 12b) getrennt sind, wobei jeder Satz (12a, 12b) Adresselemente (26a, 26b) aus der ersten und der zweiten Gruppe umfasst.
  8. Die Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, die ferner einen Hauptspeicher (10) aufweist, wobei die Elemente der zweiten Gruppe (26a) die gleiche Stromtragefähigkeit aufweisen wie Speicherelemente (16) des Hauptspeichers (10).
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