DE4206680C1 - Verfahren zur Metallisierung von Nichtleiteroberflächen und die Verwendung von Hydroxymethansulfinsäure im Verfahren - Google Patents
Verfahren zur Metallisierung von Nichtleiteroberflächen und die Verwendung von Hydroxymethansulfinsäure im VerfahrenInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 title claims abstract description 16
- SBGKURINHGJRFN-UHFFFAOYSA-N hydroxymethanesulfinic acid Chemical compound OCS(O)=O SBGKURINHGJRFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 6
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 claims abstract description 5
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims abstract description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 claims description 14
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- -1 Rhothenium Chemical compound 0.000 claims description 5
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 5
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 claims description 4
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims description 4
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-L sulfite Chemical class [O-]S([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims description 2
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 2
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 claims description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920002006 poly(N-vinylimidazole) polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 claims description 2
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 claims description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002717 polyvinylpyridine Polymers 0.000 claims description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- BUUPQKDIAURBJP-UHFFFAOYSA-N sulfinic acid Chemical compound OS=O BUUPQKDIAURBJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000004764 thiosulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims 3
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical class [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000003518 caustics Substances 0.000 abstract 2
- 239000013522 chelant Substances 0.000 abstract 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920006316 polyvinylpyrrolidine Polymers 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 150000003455 sulfinic acids Chemical class 0.000 description 2
- UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N thiourea Chemical compound NC(N)=S UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001817 Agar Polymers 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- 241000206672 Gelidium Species 0.000 description 1
- 229920000084 Gum arabic Polymers 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021205 NaH2PO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002666 PdCl2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 241000978776 Senegalia senegal Species 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Natural products NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000205 acacia gum Substances 0.000 description 1
- 235000010489 acacia gum Nutrition 0.000 description 1
- 235000010419 agar Nutrition 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000454 electroless metal deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 239000011152 fibreglass Substances 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 150000004676 glycans Chemical class 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000005445 natural material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-M phosphinate Chemical compound [O-][PH2]=O ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000867 polyelectrolyte Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 description 1
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- NQXGLOVMOABDLI-UHFFFAOYSA-N sodium oxido(oxo)phosphanium Chemical compound [Na+].[O-][PH+]=O NQXGLOVMOABDLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L sodium thiosulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=S AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000019345 sodium thiosulphate Nutrition 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229920001059 synthetic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001864 tannin Polymers 0.000 description 1
- 239000001648 tannin Substances 0.000 description 1
- 235000018553 tannin Nutrition 0.000 description 1
- 238000005494 tarnishing Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 239000012974 tin catalyst Substances 0.000 description 1
- CVNKFOIOZXAFBO-UHFFFAOYSA-J tin(4+);tetrahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Sn+4] CVNKFOIOZXAFBO-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/03—Conductive materials
- H05K2201/032—Materials
- H05K2201/0329—Intrinsically conductive polymer [ICP]; Semiconductive polymer
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/07—Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
- H05K2203/0703—Plating
- H05K2203/0716—Metallic plating catalysts, e.g. for direct electroplating of through holes; Sensitising or activating metallic plating catalysts
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Description
Die Verwendung von metallbeschichteten, nichtleitenden Materialien
als Leiterplatte ist weit verbreitet. Es wechseln dabei immer
Lagen mit Leiterbahnen und Lagen aus nichtleitendem Material
miteinander ab. Zum elektrischen Verbinden von Leiterbahnen verschiedener
Lagen werden an geeigneten Stellen Bohrungen gesetzt.
Diese können das Material vollständig oder auch nur teilweise
(sogenannte Sacklöcher) durchdringen. Durch Metallisieren der
Bohrungen werden die elektrischen Verbindungen zwischen den verschiedenen
Leiterbahnen hergestellt.
Für diesen Zweck sind eine ganze Reihe unterschiedlicher Verfahren
bekannt geworden. Angewendet werden zur Zeit noch am häufigsten
die Verfahren, die zum Metallisieren des nichtleitenden
Basismaterials ein außenstromlos (chemisch) abscheidendes Metallisierungsbad
benutzen. Sehr oft ist dies ein Kupferbad, aber
auch chemisch abscheidende Nickelbäder werden verwendet. Derartige
außenstromlose Metallisierungsbäder haben mehrere schwerwiegende
Nachteile: Sie arbeiten mit Chemikalien, die in der
Handhabung problematisch sind und deren Entsorgung hohe Kosten
verursacht, wie z. B. Formalin und Komplexbildner (EDTA u. a.).
Der Überwachungsaufwand für diese Bäder ist erheblich, die Bäder
haben nur eine sehr begrenzte Standzeit und einen sehr hohen
Chemikalienverbrauch.
Deshalb sind in den letzten Jahren verstärkt Verfahren entwickelt
worden, die ohne den Schritt stromlose Metallabscheidung
auskommen:
- 1. Belegen der Bohrlochwandungen mit einer Schicht aus Kohlenstoffpartikeln und anschließende galvanische Metallisierung. Das Verfahren ist unselektiv und belegt leitende und nichtleitende Materialien gleichermaßen. Dadurch entsteht bei der Ankontaktierung zwischen den Leiterbahnen und der Bohrlochhülse eine Trennschicht aus Kohlenstoff. Bei thermischer oder mechanischer Belastung der Leiterplatte kann es dann zu Innenlagenabrissen an diesen Stellen kommen (EP 2 44 535 A1).
- 2. Erzeugen einer leitfähigen Polymerschicht aus der Bohrlochwandung. Dieses Verfahren ist an aufwendige apparative Voraussetzungen gebunden und ist Beschränkungen hinsichtlich der bearbeitbaren Basismaterialien ausgesetzt.
- 3. Belegen des nichtleitenden Materials mit einer Schicht aus Nichtmetallchalcogenid (in der Regel Sulfid) und anschließend galvanische Metallisierung (US 49 52 286, US 49 19 768, US 48 10 333, EP 2 98 298 A2). Das Verfahren ist ebenfalls unselektiv und belegt auch die Kupferoberflächen mit einer Sulfidschicht, die in einem zusätzlichen Prozeßschritt wieder entfernt werden muß.
Innerhalb der DE-PS 37 41 459 wird ebenfalls ein Direktgalvanisierungsverfahren
beschrieben, bei dem vor der galvanischen Metallabscheidung
mit einer Lösung vorbehandelt wird, die
beispielsweise stickstoffhaltige Sulfogruppen tragende
organische Verbindungen enthalten kann. Dieses Verfahren
arbeitet jedoch nicht substratunabhängig.
Weiter beschreibt die DE-PS 33 23 476 ein Direktgalvansierungsverfahren,
wobei vor und nach der Aktivierung mit Edelmetallen
mit einer Natriumpersulfatlösung behandelt wird und im
Galvanisierungsbad Thioharnstoff oder dessen Derivate enthalten
sein kann. Die Substratspezifität ist auch hier unbefriedigend
gelöst.
Es sind weiterhin eine Reihe von Verfahren bekannt geworden, die
einen kolloidalen Palladium/Zinn Katalysatoren benutzen, um auf
einer nichtleitenden Oberfläche eine geringe Grundleitfähigkeit
zu erzeugen, gerade ausreichend, um direkt darauf galvanisch ein
Metall abzuscheiden (EP 2 48 683 A2, DE-OS 33 23 476, DE-OS 33 04 004,
US 30 99 608, EP 3 98 019 A1, DE-OS 33 39 946). Nachteilig bei diesen
Systemen ist der hohe Gehalt an Säure und Chloriden in dem Pd/Sn
Katalysator. Hierdurch wird ein Angriff auf die Oxid-Grenzschicht
zwischen Kupfer und Nichtleiter ermöglicht, und die behandelten
Leiterplatten sind anfällig für den Rotring Fehler. Um
eine fehlerlose Ankontaktierung der Innenlagen zu erhalten, muß
zudem das Zinnhydroxid möglichst vollständig von den Kupfer Innenlagen
entfernt werden. Auf dem Harz der Bohrlöcher muß jedoch
eine Mindestmenge von Zinn zurückbleiben, da ansonsten eine
vollständige Kupferbelegung beim anschließenden Galvanisieren
nicht erreicht werden kann. Diese widersprüchlichen Anforderungen
führen dazu, daß diese Verfahren für die Produktion hochwertiger
Leiterplatten nicht geeignet sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum
Durchkontaktieren von Leiterplatten ohne eine chemisch-außenstromloses
Metallisierungsbad zu entwickeln, das selektiv nur
die nichtleitenden Oberflächen mit einer Katalysatorschicht
überzieht und gleichzeitig substratunabhängig arbeitet.
Diese Aufgabe wird durch das erfindungsgemäße Verfahren mit den
folgenden Verfahrensschritten gelöst:
- 1. Konditionierung der Bohrlochoberfläche durch einen Chelatkomplexbildner und/oder eine kationische, oberflächenaktive Substanz.
- 2. Behandeln der Leiterplatte mit einer kolloidalen, durch ein organisches Polymer stabilisierten sauren Lösung eines Edelmetalls.
- 3. Aktivieren der katalytischen Schicht durch eine Lösung, die Sulfinsäure, Sulfite, Thiosulfate, Dithionite, Dithionate oder Tetrathionate oder deren Gemische enthält.
- 4. Galvanische Metallisierung bis zur gewünschten Schichtstärke.
Vor und nach Schritt 1 kann eine Ätzreinigung
und vor Schritt 2 eine Behandlung mit einer Vortauchlösung erfolgen.
Vor dem Metallisierungsprozeß werden die Materialien einem Reinigungs-
und Vorbehandlungsverfahren unterworfen.
Zur Reinigung der Bohrlochoberfläche können alle bekannten sogenannten
Desmear- und Reinigungsverfahren sowie Kombinationen
hiervon eingesetzt werden. Bekannte Desmearverfahren arbeiten
mit Schwefelsäure, Chromsäure oder bevorzugt Permanganat. Auch
eine Behandlung der Oberfläche in einem Plasma ist möglich.
Als Konditionierungsmittel eignen sich die gleichen Substanzen,
die auch für Verfahren mit stromlosen Metallisierungsbädern geeignet
sind. Hier sind in erster Linie kationische Netzmittel
wie Trimethylalkylammoniumhalogenide, kationische Polyelektrolyte
wie quaterniertes Polyvinylimidazol oder stickstoffhaltige
Chelatkomplexbildner wie Triethanolamin.
Als Edelmetallkolloid können Kolloide der Metalle Palladium,
Platin, Rhodium, Ruthenium, Silber und Gold eingesetzt werden,
wobei Palladium ganz besonders bevorzugt ist. Die Konzentration
des Metalls in den erfindungsgemäß eingesetzten Bädern kann zwischen
50 mg/l und mehreren Gramm pro Liter betragen, wobei die
Wirtschaftlichkeit des Verfahrens die Konzentration nach oben
begrenzt. Sehr gute Ergebnisse werden in der Regel mit Konzentrationen
zwischen 100 und 500 mg/l erhalten. Die Kolloide werden
mit einem ionischen oder nichtionischen, löslichen organischen
Polymer stabilisiert. Es eignet sich hierzu Naturstoffe
wie zum Beispiel Proteine, Peptide, Polysaccharide, Gelatine,
Agar-Agar, Gummi Arabicum, Tannin oder auch synthetische Polymere
wie Polyvinylpyridin, Polyvinylalkohol, Polyvinylacetat,
Polyethylenglycol, Polyimine, Polyacrylsäure, Polyacrylamid, Polyacrylate,
Polyvinylpyrrolidon, Polyvinylmethylketon sowie Copolymere
und Mischungen dieser Komponenten. Besonders gut eignet
sich Polyvinylpyrrolidon. Das Molekulargewicht der Polymeren
kann zwischen 1.000 und 10.000.000 liegen. Das Verhältnis Metall : Polymer
kann zwischen 3 : 1 und 1 : 20 betragen, bevorzugt ist
der Bereich zwischen 1 : 1 und 1 : 3.
Die Herstellung derartiger Kolloide ist beschrieben in den EP
1 87 962 A2 und EP 1 63 831 A2.
Vorteilhaft ist es sowohl wegen der Kosten als auch wegen der
einfacheren Handhabung, wenn das Lösungsmittel für das Kolloid
Wasser ist. Technisch möglich ist jedoch auch die Verwendung eines
organischen Lösungsmittels oder Mischungen derselben untereinander
oder mit Wasser.
Ein Gehalt des Metallkolloids an Chlorid-, Bromid- oder Iodidionen
von 0,1 bis 50 g/l erleichtert die anschließende galvanische
Metallisierung der Bohrlöcher. Eine gleichmäßige Metallbelegung
ist schon nach deutlich kürzeren Galvanisierzeiten zu erreichen.
Erhöhte Temperaturen beim Behandeln der Leiterplatten mit dem
Metallkolloid verbessern ebenfalls die Galvanisierbarkeit. Eine
Temperatur im Bereich zwischen 50 und 80°C hat sich als vorteilhafte
Ausführungsform erwiesen. Grundsätzlich kann das erfindungsgemäße
Verfahren jedoch bei allen Temperaturen zwischen
dem Erstarrungs- und dem Siedepunkt des verwendeten Lösungsmittels
betrieben werden.
Der pH-Wert des Metallkolloids ist von entscheidendem Einfluß
auf die Galvanisierbarkeit der damit behandelten Nichtmetalloberflächen.
Beste Ergebnisse erhält man mit pH-Werten im sauren
Bereich zwischen 1 und 3, mit einem Optimum bei 1,5 bis 2.
Werden die Kolloide bei sauren pH-Werten eingesetzt, kommt es,
insbesondere bei den weniger edlen Edelmetallen wie Silber, Palladium
und Ruthenium, zu einer langsamen Oxidation und Wiederauflösung
des Metalls durch Luftsauerstoff oder verschlepptes
Oxidationsmittel. Das Eintragen von Oxidationsmitteln wird durch
Behandeln der Leiterplatten mit einer verdünnten Lösung eines
Reduktionsmittels vor der Behandlung mit dem Metallkolloid verhindert.
Zusätzlich ist es vorteilhaft, zu dem Metallkolloid regelmäßig
geringe Mengen Reduktionsmittel zuzusetzen. Besonders
bevorzugt ist eine Ausführungsform, bei der mittels einer Elektrode
das Reduktionspotential in der Metallkolloidlösung permanent
überwacht wird und durch automatische Nachdosierung von Reduktionsmittel
auf einem konstanten Wert gehalten wird. Diese
Vorgehensweise hat sich insbesondere auch bei den Reduktionsmitteln
(wie z. B. Borwasserstoffverbindungen, Hypophosphit) als
vorteilhaft erwiesen, die durch das Edelmetallkolloid katalytisch
zersetzt werden. In diesem Fall übernimmtt der bei der Zersetzung
entstehende Wasserstoff die Pufferung gegen Oxidationsmittel.
Die so aufgebrachte katalytische Edelmetallschicht wird in einem
weiteren Schritt aktiviert werden. Hierdurch wird die galvanische
Metallisierung wesentlich erleichtert. Kennzeichnend für
diesen Schritt ist, daß Verbindungen eingesetzt werden, die nur
auf die katalytische Edelmetallschicht einwirken und die Kupferoberflächen
nicht verändern. Dies wird erreicht durch verdünnte
Lösungen von Verbindungen, die Schwefel in einer Oxidationsstufe
enthalten, für die gilt: (Ox) 0 < Ox < 6). In diese
Klasse fallen z. B. Sulfonsäuren, Sulfinsäuren, Sulfoxide, Sulfone,
Sulfite, Dithionite, Dithionate und Tetrathionate. Besonders
geeignet sind Sulfinsäuren, insbesondere die Hydroxymethansulfinsäure.
Die so behandelten Leiterplatten können jetzt ohne weitere Behandlung
in einem beliebigen galvanischen Metallisierungsbad
galvanisiert werden. Wegen der besonders guten Leitfähigkeit
dieses Metalls ist ein Kupferüberzug besonders bevorzugt, aber
ein Aufbringen anderer Metalle ist, falls gewünscht, ebenfalls
möglich. Als besonders vorteilhaft hat sich die Verwendung von
Mattkupferbädern erwiesen. Die zu metallisierenden Oberflächen
sind hiermit schon nach einer besonders kurzen Zeit vollständig
mit einer geschlossenen Metallschicht belegt.
1,7 g PdCl₂ werden in 40 ml (10-200 ml) 20%iger Salzsäure,
gegebenenfalls unter leichten Erwärmen, gelöst. Anschließend
wird mit Wasser auf 1 Liter verdünnt. Zu dieser Lösung
gibt man 1,5 g (1-20 g) Polyvinylpyrrolidon K15. Nach dem Lösen
wird mit Wasser auf 3 Liter aufgefüllt.
10 g (5-100 g/l) NaH₂PO₂ · H₂O werden in 1 l Wasser gelöst.
Die Lösung b wird unter intensivem Rühren zu der Lösung a hinzugefügt.
Nach kurzer Zeit beginnt die Lösung dunkel zu werden
und eine Gasentwicklung setzt ein. Die Reaktion ist abgeschlossen,
wenn die Gasentwicklung abgeschlossen ist. Nach dem
Einstellen des pH mit Salzsäure oder Natronlauge auf 1,8 (0,8-3,5)
ist die Lösung gebrauchsfertig.
Ein Absetzen der Palladiumpartikel ist auch nach langen Lagerzeiten
und bei hohen Temperaturen nicht zu beobachten.
Ist die Lösung längere Zeit intensiv mit Luft in Berührung gekommen,
kann es zu einer Rücklösung des Palladiums kommen. In
diesem Fall kann der Katalysator durch Zugabe von 2 g/l Natriumhydrophosphit
regeneriert werden.
Anstelle von Polyvinylpyrrolidon K15 wird Polyvinylpyrrolidon
K60 eingesetzt. Es wird ebenfalls ein Katalysator mit guten katalytischen
Eigenschaften und hervorragender Stabilität erhalten.
Gemäß diesem Beispiel durchkontaktierte doppelseitige und mehrlagige
Leiterplatten aus Epoxidharz mit Papier oder Glasfaser-
Verstärkung, Polyimid oder Teflon sind von hervorragender Qualität
und zeigen weder Fehler in der Belegung der unterschiedlichen
Materialien mit Kupfer noch bei der Ankontaktierung von Innenlagen.
So bearbeitete Leiterplatten sind ebenfalls von hoher Qualität.
Wird die galvanische Metallabscheidung genau verfolgt, ist jedoch
festzustellen, daß eine vollständige Bedeckung der
Bohrlochhülsen mit Kupfer länger dauert als im Beispiel 3.
Gemäß diesem Beispiel behandelte flexible, starr-flexible oder
starre, doppelseitige und mehrlagige Leiterplatten aus Epoxidharz
mit Papier und/oder Glasfaserverstärkung, Polyimid, Thermoplasten
oder Keramik sind einwandfrei durchkontaktiert. Während
und nach dem Behandeln mit der Nachtauchlösung ist kein Anlaufen
der Kupferkaschierung zu beobachten, die Kupferoberflächen sind
vielmehr hellrosa gefärbt.
Nach diesem Verfahren behandelte Leiterplatten zeigen dieselben
guten Ergebnisse wie nach Beispiel 3 bis 5 behandelte.
Verfahren entsprechend Beispiel 5 oder 6 mit einer Nachtauchlösung
aus 10 g/l Natriumthiosulfat anstatt der Hydroxymethansulfinsäure.
So behandelte Leiterplatten lassen sich gut galvanisch
metallisieren.
In allen Verfahrensbeispielen handelt es sich um wäßrige Lösungen
der aufgeführten Inhaltsstoffe. Die angegebenen Konzentration
der Inhaltsstoffe können oft ohne sichtbare Auswirkungen
auf das Ergebnis der Durchkontaktierung um einen Faktor zwei bis
fünf über- oder unterschritten werden. Das gleiche gilt für die
angegebenen Behandlungszeiten. Temperaturen können häufig um 10
bis 20°C ohne großen Einfluß auf das Ergebnis der Verfahren variiert
werden.
Claims (8)
1. Verfahren zur Metallisierung von Nichtleiteroberflächen, gekennzeichnet
durch die Schritte:
- a.) Konditionierung durch einen Chelatbildner und/oder eine kationische, oberflächenaktive Substanz,
- 2b.) Behandlung mit einer kolloidalen, durch ein organisches Polymer stabilisierten sauren Lösung eines Edelmetalls,
- c.) Behandlung mit einer Lösung, die Sulfinsäure, Sulfite, Thiosulfate, Dithionite, Dithionate oder Tetrathionate oder deren Gemische enthält und
- d.) galvanische Metallisierung.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor
und/oder nach der Konditionierung eine Ätzreinigung vorgenommen
wird.
3. Verfahren gemäß Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Behandlung mit einer Vortauchlösung vor der Behandlung
mit einer kolloidalen Edelmetallösung erfolgt.
4. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in
der kolloidalen sauren Edelmetallösung Säure, Edelmetalle und/oder
Edelmetallsalze, organische Schutzkolloid und ein Reduktionsmittel
enthalten sind.
5. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1-4, dadurch
gekennzeichnet, daß als Edelmetall Palladium, Platin, Rhodium,
Rhothenium, Silber oder Gold eingesetzt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als
organisches Polymer Polyvinylpyridin, Polyvinylalkohol, Polyvinylpyrrolidon,
Polyvinylacetat, Polyacrylat oder Copolymere
oder Mischungen eingesetzt werden.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als
Konditionierungsmittel quaternisiertes Polyvinylimidazol,
Triethanolamin oder Monoethanolamin eingesetzt wird.
8. Verwendung von Hydroxymethansulfinsäure zur Metallisierung
von Nichtleiteroberflächen.
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4206680A DE4206680C1 (de) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | Verfahren zur Metallisierung von Nichtleiteroberflächen und die Verwendung von Hydroxymethansulfinsäure im Verfahren |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4206680C1 true DE4206680C1 (de) | 1994-01-27 |
Family
ID=6453129
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4206680A Expired - Fee Related DE4206680C1 (de) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | Verfahren zur Metallisierung von Nichtleiteroberflächen und die Verwendung von Hydroxymethansulfinsäure im Verfahren |
DE59304131T Expired - Lifetime DE59304131D1 (de) | 1992-02-28 | 1993-02-17 | Verfahren zur metallisierung von nichtleiteroberflächen und die verwendung von hydroximethansulfinsäure im verfahren |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59304131T Expired - Lifetime DE59304131D1 (de) | 1992-02-28 | 1993-02-17 | Verfahren zur metallisierung von nichtleiteroberflächen und die verwendung von hydroximethansulfinsäure im verfahren |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0627021B1 (de) |
JP (1) | JP2799076B2 (de) |
KR (1) | KR100213528B1 (de) |
AT (1) | ATE144007T1 (de) |
DE (2) | DE4206680C1 (de) |
HK (1) | HK62697A (de) |
SG (1) | SG46616A1 (de) |
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