DE394809C - Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strecken - Google Patents

Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strecken

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DE394809C
DE394809C DEZ13263D DEZ0013263D DE394809C DE 394809 C DE394809 C DE 394809C DE Z13263 D DEZ13263 D DE Z13263D DE Z0013263 D DEZ0013263 D DE Z0013263D DE 394809 C DE394809 C DE 394809C
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parallel
optical system
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DEZ13263D
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

  • Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strecken. Den Gegenstand der vorliegenden Erfindung bildet eine Verbesserung der Meßvorrichtungen, die zum Vergleich zweier Strecken nüteinander dienen. Um einen solchen Vergleich mit möglichst großer Genauigkeit durchführen zu können, hat man bei diesen Vorrichtungen, entsprechend einem von E. Abbe aufgestellten Grundsatz, die beiden zu vergleichenden Strecken in einer Geraden, also hintereinander, angeordnet, weil dann das Meßergebnis durch i fehlerhafte Abweichungen der Führungen, in denen die zur Ausführung des Vergleichs zu verschiebenden Teile, z. B. die beiden Strecken selbst, angeordnet sind, fast nicht beeinflußt wird. Diese Anordnung hat j(doJi. den Nachteil, daß die Meßvorrichtung verhältnismäßig lang wird, nämlich mindestens gleich der doppelten Länge des zu messenden Gegenstandes, so daß sich der Abbesche Grundsatz im allgemeinen nur bei Vorrichtungen für kürzere Gegenstände durchführen läßt.
  • Der Erfindung gemäß läßt sich die gItiche Meßgenauigkeit wie bisher bei Verineidung dieses Nachteils dadurch erzielen, daß man bei einer Vorrichtung, bei der die beiden zu vergleichenden Strecken nebeneinander angeordnet werden, zum Anvisieren der einen der beiden Strecken eine feststehende Zielvorrichtung vorsieht, vor die ein parallel zu den Strccken verschiebbares optisches System geschaltet ist, von dem erstens die optische Achse in der durch die beiden Strecken bestimmten Ebene liegt, von dem zweitens der vordere Brennpunkt auf der mit diesem System anzuschneidenden Strecke und drittens der vordere positive Knotenpunkt auf der andern der beiden Strecken liegt.
  • Die Zielvorrichtung, die man zwcckmäßig als Fernrohr, das mit einer Zielmarke versehen ist, ausbilden wird, ersetzt zusammen mit dem vorgeschalteten optischen System ein verschiebbarc-, Mikroskop, wie es bisher zum Anschneiden einer Strecke bei den Einrichtungen der vorliegenden Art vcrwendet wurde. Es läßt sich leicht nachweisen, daß bei der der Erfindung entsprechenden Anordnung des verschiebbaren optischen Systems auch bei nebeneinanderliegenden Strecken die durch fehlerhafte Abweichungen der Führungen entstehenden Meßfehler sich in den gleichen Grenzen halten wie bei Einhaltung des erwähnten Abbeschen Grundsatzes, wenn man berücksichtigt, daß auch bei Drehungen des der Zielvorrichtung vorgeschalteten optischen Systems um seinen vorderen positiven Knotenpunkt die Richtung des aus dem System austretenden Parallelstrahlenbündels erhalten bleibt, und daß eine Drehung um irgendeine senkrecht zu der die beiden Strecken enthaltenden Ebene stehende Achse ersetzt werden kann durch eine durch den vorderen Knotenpunkt des beweglichen optischen Systems gehende und ebenfalls senkrecht auf der erwähnten Ebene stehende Achse und eine Schiebung in dieser Ebene.
  • -Das der Zielvorrichtung vorgeschaltete optische System hat man selbstverständlich so auszubilden, daß das aus ihm austretende Strahlenbündel auch bei einer Verschiebung stets in die Zielvorrichtung gelangt. Um dies zu erreichen, muß das System außcr einer Anzahl Linsen noch eine Anzahl Spiegelflächen erhalten, die das Strahlenbündel in der erforderlichen Weise ablenken. Ist dann die Anzahl der vorhandenen Spiegelflächen gerade, so wird der vordere positive Knotenpunkt des Systems von dem vorderen positiven Knotenpunkt der Linsenanordnung gebildet. Ist die Anzahl der Spiegelflächen ungerade, so bildet wegen der in diesem Fall erfolgenden Umkehrung des Bildes durch die Spiegel der vordere negative Knotenpunkt der Linsenanordnung den vorderen positiven Knotenpunkt des gesamten verschiebbarün Systems. Die Verwendung einer ungeraden Anzahl Spiegelflächen kann sich z. B. dann erforderlich machen, wenn eine Linsenanordnung gewählt ist, deren vorderer positiver Knotenpunkt nicht zugänglich ist, beispielsweise weil er innerhalb einer Linse liegt.
  • An Hand der Zeichnung sei der Gcgenstand der Erfindung näher beschrieben. Abb. i der Zeichnung gibt schematisch eine Einrichtung zum Vergleichen zweier Teilungen miteinander wieder, währtnd die Abb. 2, und 3 als Ausführungsbeispiel eine Einrichtung zum Vergleichen der Steigung von Schraubenspindeln mit einem Maßstab darstellen. Bei dieser letzten Einrichtung wird somit die eine Strecke von der Länge der zu prüfenden Schraubenspindel gebildet. Abb. 2 stellt einen Seitenrißschnitt und Abb. 3 einen Grundriß der letztgenannten Einrichtung dar.
  • Die Teilungen der in Abb. i wiedergegebenen Vorrichtung sind mit a und b bezeichnet. Zum Anvisieren der erstgenannten Teilung dient in üblicher Weise ein senkrecht zur Zeichenebene stehendes Mikroskop c. Zum Anvisieren der Teilung b, deren einzelne Teilstriche in Wirklichkeit senkrecht zur Zeichenebene gerichtet sind, dient ein feststehendes, aus einem Objektiv d und einem Okular e bestehendes Zielfemrohr, vor dem ein aus eincr -Zerstreuungslinse f, einer Sammellinse g und einem Pentagonalprismah bestehendes optisches System angeordnet ist. Die optische Achse dieses Systems liegt ebenso wie diejenige des Vernrohrs in der durch die Teilungen a und b bestimmten Ebene. Das Mikroskop c und das optische System f, g, A sind fest miteinander verbunden und gemeinsam in einer Führung parallel zu den Teilungen a und b verschiebbar. Der vordere Brennpunkt des Linsensystems f, -, der mit F bezeichnet ist, liegt auf der Teilung b, so daß das aus dem Prisma lz austretende und in das Fcrnrohr d, e eintretende Bündel der die Teilung b abbildenden Strahlen parallelstrahlig ist. Der vordere positive Knotenpunkt des Systems f, g, der mit K bezeichnet ist, und der zugleich d#r vordere positive Knotenpunkt des gesamte.i Systems f, -, h ist, liegt auf der Teilung a.
  • Will man die Teilungen a und b miteinander vergleichen, so stellt man der Reihe nach durch Verschieben des Systems f, g. lt und des Mikroskops c entweder das Mikroskop c oder das System f, g, k auf verschiedene Teilstriche der betreffenden Teilung ein und liest in dem andern verschiebbaren Teil die Stellung der entsprechenden Teilstriche der andern Teilung gegenüber der betreffenden Zielmarke ab. Da die Führung, _in der das Mikroskop c und das System f, g, k verschiebbar sind, im allgemeinen nicht genau parallel den Teilungen a und b verläuft, so erleiden im allgemeinen das Mikroskop c und das System f, g, h bei einer Verschiebung zugleich eine zusätzliche Drehung. Es ist aber ieicht ersichtlich, daß bei der gewählten Anordnung eine kleine Drehung der verschiebbaren Teile sowohl um eine parallel zu den Teilungen a und b verlaufende wie um eine den Brennpunkt F und den Knotenpunkt K enthaltende als auch um eine durch den Knotenpunkt K gehende und senkrecht zur Zeichenebene stehende Achse und somit auch um eine beliebig gerichtete Achse nur Ablesungsfehler zweiter Ordnung verursacht und infolgedessen unschädlich ist.
  • Bei der in den Abb. 2 und 3 dargestellten Einrichtung ist auf einer Grundplatte i eine aus zwei mit Spitzen il und j2 versehenen Lagerböcken kl und k2 bestehende Einspannvorrichtung für eine Schraubenspindel 1 befestigt. Außerdem trägt die Grundplatte i noch ein Zielfernrochr m mit gebrochener Achse, eine Führungsleiste n und auf einem Bock o einen Maßstab p mit einer Teilung pl. Auf der Spindel 1, von der die gesamte Länge oder ein Teilbetrag dErselben die Strecke darstellt, die mit d#r Teilung pl verglichen werden soll, ist eine Multter 11 angeordnet. An dieser Mutter ist mit ihrem einen Ende eine Brücke q befestigt, die mit ihrem andern Ende unter Zwischenfügung einer Kugel r auf der Führungsleiste n aufliegt. Diese Brücke trägt ein optisches System, das aus einer verkitteten Sammellinse m' und einem rechtwinklig gleichschenkligen Prisma m', dessen Hypotenusenfläche eine Spiegelfläche bildet, besteht, und das zusammen mit dem Zielfernrohr m zum Anvis-leren der Teilungpl dient. Das System m', m2, dessen optische Achse in der durch die gemeinsame Achse A-A der Spitzen il und j2 und durch die Teilung pl bestimmten Ebene verläuft, ist dabei so ausgebildet und angeordnet, daß sein Brennpunkt auf der Teilung p' und sein vorderer positiver Knotenpunkt, d. i. der vordere negative Knotenpunkt der Sammellinse m', in der Achse A-A liegt. Von den Spitzen il und j2 der Einspannvorrichtung ist die erstgeiiannte, jl, in dem Lagerbock kl mit Hilfe einer Schraube s' in achsialer Richtung verstellbar, während die letztgenannte, i2, die einerseits einen Mitnehmer S2 für den Schraubenbolzen 1 und anderseits eine mit einer Teilung versehene Trommel s3 trägt, zwar um ihre Achse drehbar, in der Richtung dieser Achse aber nicht verstellbar ist. Schließlich sei noch erwähnt, daß das Fernrohr m mit einem Okularmil"rometer»nt3 ausgestattet ist.
  • Will man mit dieser Vorrichtung die Steigung des Schraubenbolzens 1 prüfen, so dreht man zu wiederholten Malen die Spitze j2 Mit Hilfe der Trommel S2 z. B. je um 36o', wodurch die Mutter I' und damit auch die Brücke q und das optische System fft', mt2 in &r Richtung der Bolzenachse A-A verschoben werden. Die Größe der Verschiebung liest man dann jeweils mit Hilfe des Okularinikrometers »b3 an der Teilung pl ab.

Claims (1)

  1. PATr-#i,#-T-ANSPRUCI-I: Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strecken, dadurch gekennzeichnet, daß zum Beobachten der einen der beiden Strecken eine feststehende Zielvorrichtung dient, vor die ein parallel zu den Strecken verschiebbares optisches System geschaltet ist, dessen optische Achse in der durch die beiden Strecken bestimmten Ebene liegt, dessen vorderer Brennpunkt auf der mit diesem System anzuschneidenden Strecke und dessen vorderer positiver Knotenpunkt auf der andern der beiden Strecken liegt.
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