DE409808C - Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strecken - Google Patents

Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strecken

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DE409808C
DE409808C DEZ14115D DEZ0014115D DE409808C DE 409808 C DE409808 C DE 409808C DE Z14115 D DEZ14115 D DE Z14115D DE Z0014115 D DEZ0014115 D DE Z0014115D DE 409808 C DE409808 C DE 409808C
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Expired
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DEZ14115D
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strecken. Den Gegenstand des Hauptpatentes bildet eine Einrichtung zum @"ergleichen zweier Strecken miteinander, bei der diese Strecken parallel nebeneinander angeor dret sind, die aber so ausgebildet ist, daß sich trotzdem die gleiche Meßgenauigkeit erzielen läßt wie bei denjenigen Geräten, bei denen die beiden Strecken, entsprechend dem Abbeschen Komparatorgrundsatz, in einer Geraden hintereinander angeordnet sind. Zur Erreichung dieses Ziels wurde dabei die eine der Strecken mit einem Fernrohr angeschnitten, vor das. ein parallel zu den Strecken verschiebbares optisches System geschaltet war, dessen Brennpunkte und dessen Knotenpunkte eine bestimmte Lage zu den Strecken hatten. Bei der weiteren Ausbildung des Gegenstandes des Hauptpatentes hat es sich gezeigt, daß es möglich und zuweilen vorteilhaft ist, als Zielvorrichtung statt des Fernrohrs einen Kollimator zu wählen dessen Marke auf die mit der Zielvorrichtung anzuschneidende Strecke abgebildet wird, also das Anschneiden im umgekehrten Strahlengang wie bisher auszuführen. Wegen dieser umgekehrten Strahlenlichtung in dem verschiebbaren optische -i System ist natürlich auch die besondere Lage, die bei Anwendung eines Fernrohrs für den vorderen Brennpunkt und den vorderen positiven Knotenpunkt des verschiebbaren optischen Systems gefordert worden war, den entsprechenden hintere=n Punkten zu geben. Bei der neuen Anordnung beobachtet man dann, z. B. mit einer Lupe, die Stellung des Bildes der Kolliinatormarke auf der angeschnittenen Strecke. Ist der Körper, dem die Strecke angehört, durchsichtig, so kann die Beobachtung von dessen Rückseite aus geschehen. Ist er aber undurchsichtig, so muß sie natürlich von vorn geschehen. Wird dann die anzuschneidende Strecke z. B. von der Teilung eines Maßstabes gebildet, so mag man im letzteren Fall, um beim Ablesen der Teilung nicht das Auffallen der die Kollimatormarke abbildenden Strahlen auf den Maßstab zu behindern, beispielsweise die die Teilung tragende Fläche gegen die die beiden miteinander zu vergleichenden Strecken enthaltende Ebene unter einem spitzen Winkel eieigen und spiegelnd ausbilden, so daß die die Marke abbildenden und die reflektierten, zum Ablesen dienenden Strahlen verschiedene Richtungen erhalten. Wird auch die zweite Strecke durch eine Zielvorrichtung angeschnitten, so läßt sich die neue Einrichtung so ausbilden, daß die Beobachtungsorte für beide Strecken nebeneinander zu liegen kommen und dann auch so, daß beide Strecken durch ein und dieselbe Vorrichtung gleichzeitig beobachtet werden können.
  • In der Zeichnung ist der Gegenstand der Erfindung veranschaulicht. Die Abb. i und 2 geben schematisch ein Ausführungsbeispiel im Aufriß und Grundriß wieder, während Abb. 3 eine Abänderung dieses Ausführungsbeispiels im Aufriß zeigt. Abb. 4 gibt den teilweise im Schnitt gezeichneten Grundriß eines zweiten Ausführungsbeispiels wieder.
  • Die in Abb. i bis 3 dargestellte Einrichtung is l: zum Vergleichen der Teilungen zweier Maßstäbe a und b bestimmt. Die Teilung des Maßstabes a. wird mit einem feststehenden Kollimator angeschnitten, hinter den ein parallel zu den Teilungen verschiebbares optisches System geschaltet ist. Der Kollimator besteht aus einem Objektiv c, in dessen vorderer Brennebene eine mit einer spaltförinigen Öffnung d versehene Blende c angeordnet ist, vor der sich eine Glühlampe cl befindet. Das verschiebbare optische System besteht aus einem Pentagonalprisma ä, einer Sammellinse h, und einer Zerstreuungslinse i. Zum Beobachten der auf den Maßstab a. abgebildeten Kollimatormarke dient ein aus einem Objektiv j und einem Okular 1a bestehendes Mikroskop, vor dem ein die Strahlen rechtwinklig ablenkendes, total reflektierendes Prisma L angeordnet ist. Zum Anschneiden der Teilung des Maßstabes b dient ein Mikroskop, Glas aus einem Objektiv ifa und einem Okular za besteht. Die beiden Mikroskope, das Prisma l und das aus den Gliedern g, k und i bestehende System sind fest miteinander verbunden, und die Anordnung des Systems g, h, i ist so gewählt, daß der hintere Brennpunkt des Linsensystems h, i auf der die Teilung des Maßstabes a tragenden Fläche und der hintere positive Knotenpunkt dieses Linsensystems, der in bezug auf die Zeichenebene zugleich auch der hintere positive Knotenpunkt des ganzen Systems g, h, i ist, auf der Teilung des Maßstabes b liegt.
  • Beim Vergleichen der Teilungen a und b miteinander werden die beiden Mikroskope j, k, t und in, ia und das System g, h, i. zu- sammen verschoben und nach jeder Verschiebung beide Mikroskope abgelesen. Aus den in der Patentschrift zum Hauptpatent angegebenen Gründen sind dabei die im allgemeinen bei einer solchen Verschiebung infolge der Ungenauigkeiten der Führungen auftretenden Drehungen auch hier in gleichem Maße wie dort unschädlich.
  • Wie aus Abb. 3 ersichtlich, läßt sich das eben beschriebene Ausführungsbeispiel leicht dahin abändern, daß beide Teilungen zugleich beobachtet werden können. Bei der Ausführungsform nach Abb.3 sind mit dem verschiebbaren optischen System zwei rhombische Prismen o und p verbunden, durch die die von den Teilungen der beiden Maßstäbe a und b ausgehenden Strahlen einem -eineinsamen Mikroskop zugeleitet werden, das aus einem Objektiv d und einem Okular r besteht.
  • Auch das in Abb. 4 dargestellte Ausführungsbeispiel ist zum Vergleichen der Teilungen zweier Maßstäbe bestimmt, die hier mit s und t bezeichnet sind. Zum Anschneiden der Teilung des Maßstabes t dient ein feststehender Kollimator, der aus einem Objektiv t(, einer mit einer spaltförmigen Öffming 0 versehenen Blende "t2 und einer zur Beleuchtung des Spaltes dienenden Glühlampe <<2 besteht. Zwischen diesen Kollimator und die Teilung des Maßstabes t ist ein parallel zu dein Maßstab verschiebbares optisches System geschaltet, das aus einer Sammellinse v1 und einem einfach spiegelnden Prisma 7,2 besteht. Dieses System ist so angeordnet, daß der hintere y Brennpunkt der Linse 1-,1 in die die Teilung tragende Fläche des Älaßstabes t fällt, und daß der hintere negative Knotenpunkt dieser Linse, der in bezug auf solche Strahlen, die in der die Teilung des Maßstabes s und die optische Achse de. Systems vl, v= enthaltenen Ebene verlaufen, den hinteren positiven Knotenpunkt des Systems vl, v= bildet, auf die Teilung des Maßstalles s fällt: d. h. die Anordnung ist so gehoffen, daß die Sammellinse v1 von der die Teilung tragenden Fläche des :Maßstabes t einen Abstand gleich der einfachen Brennweite f der Linse v1 und von der Teilung des Maßstabes s einen Abstand gleich der doppelten Brennweite der Linse v1 hat. Zur Verschiebung des Systems v1, v2 dient eine Schraubenspindel w, die mit einem Handrad w1 versehen und in zwei Lagern w2 und w3 drehbar, aber nicht verschiebbar gelagert ist. Die Fassung v3 des optischen Systems v1, v2 ist als Mutter ausgebildet, die mit der Spindel w gepaart, ist. Um eine Verdrehung der Fassung v3 auf der Spindel w zu verhindern, ist die Fassung mit einem Stift v4 versehen, der in einer Nut v' der Grundplatte des ganzen Geräts gleitet. Zum Anschneiden der Teilung des Maßstabes s dient ein mit einer Zielmarke ausgestattetes Mikroskop _i-, und die Beobachtung der vom Kollimator entworfenen Strichmarke auf dem Maßstab t geschieht mit einem Mikroskop y, dem ein Spiegelprisma y1 vorgeschaltet ist. Die beiden Mikroskope _r und 3, sowie das optische System v1, v2 sind miteinander durch eine Brücke z fest verbunden, die an ihrem einen Ende mit der Fassung @R verschraubt ist und an ihrem anderen Ende auf einer Führung z1 lose aufruht, wobei um ein leichte. Gleiten auf der Führung zu erzielen, zwischen dieser Führung und der Brücke eine Kugel z2 angeordnet ist.
  • Das Vergleichen der Maßstäbe s und t mit der eben beschriebenen Vorrichtung geschieht in der `"eise, daß man durch Drehen des Handrades w1 das optische System v1, v2 mit der die Mikroskope 1- und y tragenden Brücke nacheinander in verschiedene Stellungen bringt und in jeder derselben die Stellung der Marke im Mikroskop x gegenüber der Teilung de: Maßstabes s abliest und außerdem im Mikroskop .y die Stellung des vom Kolliniator entworfenen -Markenbildes auf der Teilung des Maßstabes t beobachtet. Durch die den Knotenpunkten des optischen Systems v1, v2 gegebene besondere Lage sind wieder die unveruieidlichen, bei der Verschiebung der Brücke z auftretenden Drehungen derselben unschädlich gemacht.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strekken nach Patent 394809, dadurch gekennzeichnet, daß die feststehende Zielvorrichtung, die zum Anschneiden der einen der beiden Strecken dient, von einem Kolliinator gebildet wird, dessen Marke auf die mit der Zielvorrichtung anzuschneidende Teilung abgebildet wird.
DEZ14115D Einrichtung zum Vergleichen zweier parallel nebeneinander verlaufender Strecken Expired DE409808C (de)

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