CH636207A5

CH636207A5 - Mikrofotografische lichtmesseinrichtung an einem mit einer aufsatzkamera versehenen mikroskop.

Info

Publication number: CH636207A5
Application number: CH380178A
Authority: CH
Inventors: Winfried Kraft; Guenter Reinheimer; Herbert Leiter
Original assignee: Leitz Ernst Gmbh
Priority date: 1977-04-18
Filing date: 1978-04-07
Publication date: 1983-05-13
Also published as: DE2717033C2; FR2388289A1; JPH0139082B2; FR2388289B1; GB1598659A; DE2717033A1; JPS53129631A; US4174159A

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Messung der 25 Objekthelligkeit und damit zur Bestimmung der Belichtungszeit in mikrofotografischen Geräten, welche aus einem mit einer Aufsatzkamera versehenen Mikroskop bestehen.

Es ist bei derartigen Geräten bekannt, aus dem Aufnahmestrahlengang vom Objektiv zum Film einen Teil-Strahlengang 30 für die visuelle Beobachtung auszuspiegeln. Ferner ist es bekannt, einen weiteren Teil-Strahlengang auszuspiegeln, der zur Belichtungsmessung dient.

Diese Belichtungsmessung kann mit mehreren Methoden durchgeführt werden. Z.B. kann mit Hilfe einer Zwischenlinse 35 die Austrittspupille des Objektivs über einen Strahlenteiler in eine Hilfsebene abgebildet werden, in der ein fotoelektrischer Empfänger angeordnet ist, dessen der Objekthelligkeit entsprechendes Ausgangssignal einem Anzeigegerät oder auch, zwecks automatischer Steuerung, direkt der Verschlusssteue-40 rung zugeführt wird. Es kann aber auch das Objekt selbst über einen Strahlenteiler in eine Bildebene abgebildet werden, in der ebenfalls ein fotoelektrischer Empfänger angeordnet ist.

Insbesondere im letzteren Fall kann die Anordnung auch derart getroffen sein, dass zwischen einer Messung des gesam-45 ten Objektbildes (Integralmessung) und einer Messung nur eines Bildteiles (Detailmessung) durch Einführen unterschiedlicher Blenden umgeschaltet werden kann. Da das bildwichtige Detail aber nur in den seltensten Fällen in der Mitte des Objektes bzw. dessen Bildes liegt, ist bereits vorgeschlagen so worden, die Blende, die zur Lokalisierung des Bilddetails dient, ortsvariabel zu machen, so dass ihre kleine Öffnung praktisch auf jede Stelle des Bildes geschoben werden kann, mit dem Ergebnis, dass dann eben nur Licht von diesem Detail zum Fotoempfänger gelangt, während der Rest des 55 Objektes bzw. dessen Bildes abgeblendet bleibt. Statt dessen könnte man natürlich auch die Blende fest anordnen und dafür das Objekt so lange verschieben, bis das gewünschte Detail in der Blendenöffnung erscheint. Dies ist in einer älteren Ausführungsform auch bereits bekannt, ist aber gegenüber 60 einer ortsvariablen Messfeldblende umständlich und damit nachteilig.

Aber auch die Anordnung einer ortsvariablen Messfeldblende hat insofern gewisse Nachteile, als für die Verschiebemöglichkeit der Blende ein verhältnismässig grosser Raum 65 vorgesehen sein muss und der Aufwand zur Verschiebung der Blende optisch und mechanisch sehr gross ist.

Von diesem Stand der Technik ausgehend, liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine mikrofotografische Messeinrichtung zu schaffen, bei der dieser Platzbedarf und der grosse optisch-mechanische Aufwand im Blendenraum nicht auftritt

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und trotzdem eine Detailmessung ohne mühsames Verschieben des Objektes möglich ist.

Gemäss der Erfindung ist diese Aufgabe dadurch gelöst, dass das für die Belichtungsmessung abgezweigte Teilstrahlenbündel über mindestens ein reflektierendes Mittel zu der Messfeldblende gespiegelt wird, das kardanisch aufgehängt ist, und dass sowohl Mittel zum Verstellen des kardanisch aufgehängten reflektierenden Mittels als auch Mittel zur Beobachtung des in der Blendenöffnung erscheinenden Objektdetails vorgesehen sind.

Während bei den Messmethoden nach dem Stand der Technik entweder die Blende ortsfest bleibt und das Objekt so lange verschoben wird, bis das gewünschte Objektdetail in der Blendenöffnung erscheint, oder das Objekt insoweit ortsfest bleibt und die Blende mit ihrer Öffnung zu dem bildwichtigen Objektdetail hin verschoben wird, bleiben in der erfindungsge-mässen Einrichtung sowohl das Objekt als auch die Messfeldblende ortsfest. Es wird lediglich mittels des kardanisch aufgehängten reflektierenden Mittels das Bild des Objektes verschoben, und zwar in der Weise, dass das Bild des bildwichtigen Objektdetails durch die für die Detailmessung bestimmte Öffnung der Messfeldblende für den fotoelektrischen Empfänger sichtbar wird. Das kardanisch aufgehängte reflektierende Mittel kann dabei entweder der Strahlenteiler selbst sein, der den Messstrahlengang aus dem Aufnahmestrahlengang abzweigt, es kann jedoch auch dieser Strahlenteiler ortsfest sein und statt dessen ein weiterer Umlenkspiegel im Messstrahlengang angeordnet und kardanisch aufgehängt sein.

Die Art und Weise, wie das kardanisch aufgehängte reflektierende Mittel schwenkt und damit das Bild des Objektes auf der Messfeldblende verschoben wird, ist an sich ohne Bedeu-. tung. Z.B. kann dies durch ein manuell betätigbares Getriebe geschehen. Es wird jedoch insbesondere vorgeschlagen, dies mittels elektrischer Verstellmittel (Motore) zu bewirken, die ihrerseits von einem Mikroprozessor ansteuerbar sein können.

Damit in der Blendenöffnung für die Detailmessung auch mit Sicherheit das bildwichtige Bilddetail eingefangen wird, ist es natürlich erforderlich, den Einstellvorgang zu beobachten. Es wird daher vorgeschlagen, der Messfeldblende einen Reflexspiegel nachzuordnen, über den die Blendenöffnung beobachtbar ist, wenn der fotoelektrische Empfänger aus dem Strahlengang entfernt ist.

In einer bevorzugten Ausführungsform können der Reflexspiegel und der Fotoempfänger baulich miteinander auf einer besonderen Schiebeeinheit dergestalt verbunden sein, dass je nach Schieberstellung entweder der Reflexspiegel oder der Fotoempfänger im Strahlengang steht. Der Schieber hat dann die beiden fixierten Stellungen «Beobachten» und «Messen», zwischen denen er verschiebbar ist.

Insbesondere wenn ein Mikroprozessor zur Steuerung der elektrischen Verstellmittel des kardanisch aufgehängten reflektierenden Mittels verwendet wird, ist es aber auch möglich, für die Sichtbarmachung des in der Blendenöffnung erscheinenden Objektdetails einen Leuchtzeiger zu benutzen, der als heller Punkt über das ohnehin vom Benutzer beobachtete Bildfeld wandert. Die Bewegung des kardanisch aufgehängten reflektierenden Mittels und die Bewegung des hellen Punktes über das Bildfeld müssen dann lediglich vom Mikroprozessor proportional gesteuert werden.

In an sich bekannter Weise ist es auch möglich, die Messfeldblende selbst als Schieber auszubilden und zusätzlich zu der Blendenöffnung für die Detailmessung mit einer zweiten, grösseren Öffnung für eine Integralmessung zu versehen. Die Messfeldblende kann dann ebenfalls zwischen zwei fixen Stellungen verschoben werden, so dass in der einen Stellung eine Detailmessung und in der anderen Stellung eine Integralmessung vorgenommen werden kann, in welcher der Umlenkspiegel eine Mittelstellung einnimmt.

Wenn die Messfeldblende in dieser Weise als Schieber ausgebildet ist, ist es allerdings unangenehm, dass bei der Beobachtung vor einer Detailmessung vom Objekt immer nur diejenige kleine Stelle gesehen wird, die von dem Blendenloch freigegeben wird, nicht jedoch die Lage dieser kleinen Stelle innerhalb des Gesamtobjektes. Es wird daher noch vorgeschlagen, mit dem Blendenschieber einen durchsichtigen Träger fest zu verbinden, der eine Markierung in der Grösse der Lochblende trägt. Während der Beobachtung ist dann dieser Träger in den Strahlengang zu bringen, so dass die Gesamtübersicht über das Objekt erhalten bleibt.

Die Gesamtübersicht über das Objekt bleibt auch erhalten, bei einer Ausführungsform, wie sie ausserdem noch vorgeschlagen wird, bei welcher über der Messfeldblende, zwischen dieser und dem Fotoempfänger unter etwa 45° ein von der Seite her beleuchteter Spiegel angeordnet ist, der während des Beobachtungsvorganges eingeklappt ist und ein Bild des Blendenloches in den Binotubus rückspiegelt, wozu noch ein Tri-pelspiegel erforderlich ist, wie noch erläutert werden wird.

Um die Blende für die Detailmessung der Form der jeweiligen bildwichtigen Details angleichen zu können, wird ferner vorgeschlagen, diese Blende in ihrer Form und Grösse veränderbar zu machen. Diese Blende bzw. deren Öffnung ist daher nicht immer von runder Form, sondern kann auch zu einer rechteckigen, ovalen, oblongen oder zu einer sonstigen geeigneten Form und Grösse verstellt werden.

In einer besonderen Ausführungsform kann die Grösse der Blende durch Einführung eines Vario-Objektivs in den Messstrahlengang variabel gemacht sein. In diesem Fall braucht die Blende kein Schieber zu sein, sondern kann ortsfest belassen werden.

Die Grösse der Blende ist bei der Belichtungsmessung . natürlich durch entsprechende Eichfaktoren zu berücksichtigen, die manuell oder automatisch eingebracht werden können.

In der Zeichnung ist die Erfindung in einem Ausführungsbeispiel dargestellt. Es zeigen:

Fig. 1 schematisch ein Mikroskop mit der erfindungsge-mässen Einrichtung in Ansicht,

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung der erfindungsge-mässen Einrichtung im Detail mit ortsfestem Strahlenteiler und kardanisch aufgehängtem Umlenkspiegel,

Fig. 3 eine Darstellung gemäss Fig. 2 mit einem Varioobjektiv im Messstrahlengang,

Fig. 4 eine Darstellung gemäss Fig. 2 mit einem Blendenschieber, der mit einem durchsichtigen Träger verbunden ist,

Fig. 5 eine Ausführungsform, bei welcher die Lage des Details innerhalb des Gesamtobjektes durch Rückspiegelung der Messfeldblende in den Binotubus sichtbar gemacht ist,

Fig. 6 eine Ausführungsform gemäss Fig. 5, bei welcher der Strahlenteiler im Aufnahmestrahlengang selbst kardanisch aufgehängt ist.

In Fig. 1 ist ein Mikroskopstativ 1 dargestellt, das in bekannter Weise im wesentlichen über einen Tubus 2 mit Objektiv 3 und einen Tisch 4 verfügt.

Das Mikroskopstativ 1 hat einen waagerechten Trägerteil la, an dem auf der Beobachterseite ein schräger Okularteil 5 angesetzt ist. Über dem Trägerteil erhebt sich ein weiterer Tubus 6, der eine Aufsatzkamera 7 mit zwischengeschaltetem Kamera-Verschluss 8 trägt.

Über dem Okularteil 5 ist an den Tubus 6 eine Messeinrichtung 9 angesetzt, die über ein eigenes Beobachtungsokular 10 verfügt.

Im Inneren des Tubus 6 ist ein Strahlenteiler 11 angeordnet, der einen Teil der vom Objektiv 3 kommenden Strahlen in die Messeinrichtung 9 ablenkt. Die funktionswesentlichen Teile dieser Messeinrichtung sind am besten aus Fig. 2 erkennbar. Sie bestehen aus einem kardanisch gelagerten Umlenkspiegel 12, einem Messfeldblenden-Schieber 13, einem foto-elektrischen Empfänger 14, einem Reflexspiegel 15 und dem bereits erwähnten Beobachtungsokular 10. Hinzu kommt noch ein Linsensystem 16, das ein Bild des Objektes in der Ebene der Messfeldblende 13 entwirft.

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Der Messfeldblenden-Schieber 13 ist als Schieber ausgebildet, der eine kleinere Blende I3a für die Detailmessung und eine grössere Blende 13b für eine Integralmessung besitzt. Der Messfeldblenden-Schieber ist in Richtung des Doppelpfeiles A in der Weise verschiebbar, dass entweder die Blende 13a 5 oder die Blende 13b in der optischen Achse 17 steht.

Desgleichen sind der Fotoempfänger 14 und der Reflexspiegel 15 auf einem gemeinsamen Schieber 18 zu einer Baueinheit zusammengefasst. Dieser Schieber 18 ist ebenfalls mit zwei Öffnungen 18a und 18b versehen und kann in Richtung io des Doppelpfeiles B verschoben werden. Dabei gelangt entweder die Öffnung 18a oder die Öffnung 18b in die optische Achse.

Durch die Öffnung 18a fallen die Strahlen von der jeweils eingeschalteten Blende des Messfeldblenden-Schiebers 13 auf is den Reflexspiegel 15 und von dort in das Okular 10. Ist dagegen der Schieber in seine andere Endstellung verschoben, so fallen diese Strahlen durch die Öffnung 18b auf den dahinter angeordneten Fotoempfänger 14.

Die Wirkungsweise der Einrichtung ist folgende: 20

Wenn eine Integralmessung beabsichtigt ist, so ist eine Beobachtung in der Messeinrichtung unnötig, da ohnehin die Helligkeit des ganzen Objektfeldes ausgemessen wird. Es ist dann lediglich erforderlich, den Messfeldblenden-Schieber 13 so zu verschieben, dass die grosse Blende 13b im Strahlengang 25 steht, und den Schieber 18 so zu verschieben, dass der Fotoempfänger 14 ebenfalls im Strahlengang steht und dass der Umlenkspiegel 12 in einer Mittenstellung steht. Die Beobachtung des Objektes erfolgt dann lediglich durch das Okularteil 5.

Ist jedoch für die Belichtungszeit die Helligkeit eines 30 bestimmten Objektdetails massgebend, so muss eine Detailmessung vorgenommen werden. Dazu ist zunächst der Schieber 18 so zu verschieben, dass die Öffnung 18a und der Reflexspiegel 15 im Strahlengang stehen. Ausserdem ist der Messfeldblenden-Schieber 13 in die Stellung zu bringen, in der35 die kleine Blende 13a in der optischen Achse steht. Diese kleine Blende 13a kann, wie bereits beschrieben, in ihrer Form und Grösse veränderbar und an das ausgewählte Bilddetail anpassbar sein.

Danach ist der Umlenkspiegel 12 zu kippen und dabei das 40 Bild 19 des Objektes über die Messfeldblende zu führen, bis das gewünschte Objektdetail in der Blende 13a erscheint. Dieser Einstellvorgang ist durch das Okular 10 über den Reflex-spiegel 15 beobachtbar.

Als Handhabe für die Kippung des Umlenkspiegels 12 ist 45 in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel eine am Spiegel befestigte Stange mit Kugelknopf 12a dargestellt. Stange und Kugelknopf stehen aber nur sinnbildlich für jedes beliebige mechanische Getriebe, das geeignet ist, die Aufgabe, d.i. die kontrollierte Kippung des Spiegels, zu bewirken. 50

Wie bereits ausgeführt, können für die Kippung des Spiegels aber auch elektrische Verstellmittel, die z.B. mittels eines Mikroprozessors ansteuerbar sein können, eingesetzt werden. Mit diesem Mikroprozessor kann auch ein Leuchtzeiger gesteuert werden, der im Gesichtsfeld 5a des Okularteils 5 55 jeweils das Detail anzeigt, das bei der gerade erreichten Stellung des Umlenkspiegels 12 in die Öffnung 13a abgebildet wird.

Diese Verstell- und Beobachtungsmechanismen gehören nicht zum eigentlichen Erfindungsgedanken, der allein darin 60 besteht, sowohl das Objekt als auch die Messfeldblende stationär zu halten und statt dessen das Bild des Objektes über der Messfeldblende zu verschieben.

Nachdem durch Beobachtung festgestellt ist, dass das bildwichtige Objektdetail durch die Blende 13a sichtbar ist, ist 65 dann der Schieber 18 so zu verschieben, dass nunmehr der Fotoempfänger 14 in der optischen Achse 17 steht. Danach kann die Belichtungsmessung durchgeführt werden, und die auf diese Weise ermittelte Verschlusszeit kann am Verschluss 8 eingestellt werden. Natürlich kann die vom Fotoempfänger gelieferte Grösse auch direkt zur automatischen Steuerung des Verschlusses 8 benutzt werden.

Im Ausführungsbeispiel der Fig. 3 sind diejenigen Bauelemente, die bereits in Fig. 2 vorhanden waren, mit den gleichen Bezugszeichen beziffert. Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform, bei welcher die Messfeldblende 33 ortsfest ist und die Umschaltung zwischen Detailmessung bis hin zur Integralmessung stufenlos mittels eines Vario-Objektivs 36 durchführbar ist, das zwischen dem Strahlenteiler 11 und dem Umlenkspiegel 12 angeordnet ist und dort an der Stelle des Linsensystems 16 der Fig. 2 steht.

Fig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem während der Beobachtung vor einer Detailmessung die Übersicht über das Gesamtobjekt erhalten bleibt. Zu diesem Zweck ist die Messfeldblende 43 mit einer etwa gleich grossen durchsichtigen Trägerplatte 43d fest verbunden, auf der die Lochgrössen für die Detailblende 43a und die Integralblende 43b markiert sind. Für die Beobachtung und die Messung sind die Messfeldblende 43 mit der Trägerplatte 43d gemeinsam, da fest verbunden, zusätzlich zur Richtung des Doppelpfeiles A auch noch in Richtung des Doppelpfeiles B verschiebbar, so dass während der Beobachtung die durchsichtige Trägerplatte im Strahlengang steht.

Vor den Vorgängen «Beobachten» und «Messen» müssen die Messfeldblende und Trägerplatte in Pfeilrichtung B in der gleichen Weise verschoben werden wie der Schieber 18. Daher sind dieser Schieber 18 und die Messfeldblende/Trägerplatte miteinander verbunden. Diese Verbindung besteht über eine Führungsleiste 46, innerhalb derer die Messfeldblende/Trägerplatte relativ zum Schieber 18 auch in Pfeilrichtung A verschoben werden kann.

Desgleichen zeigt die Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel, bei dem die Übersicht über das Gesamtobjekt erhalten bleibt, wenn die Beobachtung vor einer Detailmessung durchgeführt wird. Und zwar geschieht dies in diesem Beispiel dadurch,

dass ein Bild der Blende in den Binotubus zurückgespiegelt wird. Zu diesem Zweck wird der Blendenschieber 53 quasi von hinten von einer besonderen Lichtquelle 51 beleuchtet, und zwar über einen unter 45° zwischen der Blende 53 und dem Fotoempfänger 54 ein- und ausklappbaren Spiegel 57. Durch diese Beleuchtung wird die Blende 53a bzw. 53b über den Umlenkspiegel 12 und den Strahlenteiler 11 zum Prisma des Binotubus reflektiert; von dort zu einem Tripelspiegel 56 und von diesem zurück in das Gesichtsfeld 5a des Okularteiles 5.

Da in diesem Gesichtsfeld das gesamte Objekt sichtbar ist, wird das jeweils angemessene Detail durch die zusätzliche Beleuchtung besonders hervorgehoben und dadurch kenntlich gemacht. Die Auswahl des gewünschten Details geschieht auch hier durch Kippen des Umlenkspiegels 12.

Für die Belichtung ist es dann lediglich erforderlich, den Spiegel 57 auszuklappen. Dann kann der vom Strahlenteiler 11 abgezweigte Messstrahlengang ungehindert auf den Fotoempfänger 54 fallen und die Dauer der Belichtung bestimmen. Während der Belichtung ist es zweckmässig, die Lichtquelle 51 durch einen Schieber 58 abzudecken, damit von dieser Quelle her kein Falschlicht zum Fotoempfänger gelangt.

Schliesslich ist in Fig. 6 noch ein Ausführungsbeispiel gezeigt, bei dem das kardanisch aufgehängte reflektierende Mittel der Strahlenteiler 61 selbst ist, der notwendigerweise im Aufnahmestrahlengang ohnehin angeordnet ist. Dafür ist dann der Umlenkspiegel 62 fest angeordnet.

Dazu wird jedoch besonders daraufhingewiesen, dass diese Ausführungsform, d.h. die kardanische Aufhängung des Strahlenteilers 61 am Aufnahmestrahlengang, nicht notwendigerweise nur bei einer Ausführungsform anwendbar ist, die im übrigen die Merkmale der Fig. 5 besitzt, sondern auch mit allen anderen bisher beschriebenen Merkmalen kombiniert werden kann. Ausserdem könnte dabei bei anderer konstruktiver Gestaltung der Umlenkspiegel 62 ganz entfallen.

6 Blatt Zeichnungen

Claims

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1. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung an einem mit einer Aufsatzkamera versehenen Mikroskop, bei welcher Einrichtung aus dem Aufnahmestrahlengang mittels eines Strahlenteilers ein Teilstrahlenbündel ausgespiegelt wird, das ein Bild des Objektes in einer Bildebene entwirft, in der eine mit einer Öffnung für Detailmessung versehene Messfeldblende angeordnet ist, der ein einschiebbarer fotoelektrischer Empfänger in Lichtrichtung nachgeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Teilstrahlenbündel über mindestens ein reflektierendes Mittel (12, 61) zu der Messfeldblende (13) gespiegelt wird, das kardanisch aufgehängt ist, und dass sowohl Mittel zum Verstellen des kardanisch aufgehängten reflektierenden Mittels (12, 61) als auch Mittel zur Beobachtung des in der Blendenöffnung erscheinenden Objektdetails vorgesehen sind.

2. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das reflektierende Mittel ein Strahlenteiler (61) im Aufnahmestrahlengang ist.

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PATENTANSPRÜCHE

3. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das reflektierende Mittel ein im Messstrahlengang zwischen dem ortsfesten Strahlenteiler (11) und der Messfeldblende (13) angeordneter Umlenkspiegel (12) ist.

4. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass als Mittel zum Verstellen des reflektierenden Mittels (12, 61) ein manuell betätigbares mechanisches Getriebe (12a) vorgesehen ist.

5. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass als Mittel zum Verstellen des reflektierenden Mittels (12,61) elektrisch arbeitende Verstellmittel vorgesehen sind.

6. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrischen Verstellmittel mittels eines Mikroprozessors angesteuert werden.

7. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass als Mittel zur Beobachtung des in der Blendenöffnung erscheinenden Objektdetails ein der Messfeldblende nachgeordneter Reflexspiegel (15) vorgesehen ist, über den die Blende (13a) beobachtbar ist, wenn der fotoelektrische Empfänger (14) aus dem Strahlengang entfernt ist.

8. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflexspiegel (15) und der fotoelektrische Empfänger (14) auf einem gemeinsamen Schieber (18) angeordnet sind.

9. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass als Mittel zur Beobachtung ein Lichtzeiger vorgesehen ist, der in dem visuell beobachteten Objektbild (5a) einen Punkt markiert, der von dem Mikroprozessor proportional mit dem Umlenkspiegel (12) gesteuert wird.

10. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein Messfeldblenden-Schieber (13) zusätzlich zu der Blende für die Detailmessung (13a) noch eine grössere Blende (13b) für die Integralmessung besitzt und zwischen zwei Stellungen verschiebbar ist, in welchen einmal die Blende für die Detailmessung (13a) und zum anderen die Blende für die Integralmessung (13b) im Strahlengang steht.

11. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende für die Detailmessung (13a) nach Form und Grösse variabel ist und dass Mittel zur Konstanthaltung des Einflusses der Blendengrösse auf die Belichtungsmessung vorgesehen sind.

12. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass im

Messstrahlengang vor der Messfeldblende (33) ein Varioobjektiv (36) angeordnet ist.

13. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die 5 Messfeldblende (43) mit einer durchsichtigen Trägerplatte (43d) fest verbunden ist, welche Markierungen (43a, 43b) in der Grösse der Detailblende und/oder der Integralblende trägt, und die während des Beobachtungsvorganges in den Messstrahlengang bringbar ist.

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14. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 und 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lichtquelle (51) vorgesehen ist, welche die Messfeldblende (53) während des Beobachtungsvorganges von hinten beleuchtet, und dass zusätzliche reflektierende Mittel (56) vor-15 gesehen sind, die ein Bild der Blende im Gesichtsfeld (5a) des Mikroskop-Okulars (5) entwerfen.

15. Mikrofotografische Lichtmesseinrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das zusätzliche reflektierende Mittel ein Tripelspiegel (56) ist, der den seitlich 20 aus demPrisma des Tubus (6) austretenden Strahlengang in diesen zurück und zum Okulargesichtsfeld (5a) reflektiert.