DE3600253C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Festkörper-Bildsensor nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Ein solcher Bildsensor ist aus der US-PS 43 60 833 bekannt.

Zweidimensionale CCD-Bildsensoren, die im Halbbild-Speicher­ betrieb arbeiten, werden üblicherweise in Fernsehkameras eingesetzt. Im Halbbild-Speicherbetrieb werden Signalladungs­ übertragungen aus Photodioden für jedes Halbbild durchge­ führt, um eine ineinandergreifende Abtastung zu errei­ chen. Dieser Transfer von Signalladungen wird als Feld­ verschiebung bezeichnet. Feldverschiebungs-Signalladungen werden sequentiell von Vertikal-Transferregistern zu für eine Horizontal-Ladungsübertragung vorgesehenen Ladungskoppelabschnitten gesendet. Dieses Senden von Signalladungen bezeichnet man als Zeilenverschiebung. Die zeilenverschobenen Signalladungen werden durch die Horizontal-Ladungsübertragung in ein Ausgangssignal des Bildsensors umgesetzt.

Fig. 1 zeigt die typische Ausgestaltung von Elektroden eines CCD-Bildsensors. Die Zeilenverschiebung erfordert überlappte Abschnitte X zwischen der Elektrode 12 des Vertikal-Transferregisters und der Elektrode 15 des Horizontal-Transferregisters. Dies bedeutet, daß über die überlappenden Abschnitte X zwischen der Elektrode 12 und der Elektrode 15 eine gewisse Kopplungskapazität gebildet ist. Wenn demnach das Horizontal-Transferregister während der Feldverschiebung arbeitet, wird das Potential an der Elektrode 12 unvorteilhaft durch an die Elektrode 15 angelegte Horizontal-Treiberimpulse moduliert.

Wenn eine ineinandergreifende Abtastung erfolgt, ist obwohl die Horizontal-Transferfrequenz einem gradzahligen Vielfachen der Horizontal-Abtastfrequenz eines gerad­ zahligen Halbbildes (Feldes) entspricht, die Horizontal- Transferfrequenz nicht das geradzahlige Vielfache der Horizontal-Abtastfrequenz eines ungeradzahligen Halb­ bildes. Hieraus folgt: Da die Phasendifferenz zwischen dem Feld-(Halbbild-)Verschiebungsimpuls und dem Horizon­ tal-Treiberimpuls im ungeradzahligen Halbbild sich von derjenigen unterscheidet, die man in einem geradzahligen Halbbil erhält, erhält man Potentialänderungen im Ausgangssignal des Bildsensors, wodurch ein flimmerndes Bild entsteht.

Es hat sich gezeigt, daß solches Flimmern dadurch beseitigt werden kann, daß der Betrieb des Horizontal-Transferregisters in einem CCD-Bildsensor vorübergehend gestoppt wird, wenn die Halbbild-Verschie­ bung erfolgt. Obschon das Flimmern wirksam beseitigt werden kann, wenn der Betrieb des Horizontal-Transfer­ registers bei jeder Halbbild-Verschiebung vorübergehend angehalten wird, entsteht ein weiteres ernsthaftes Pro­ blem: Der Signalpegel des Bildsensor-Ausgangssignals (Schwarzpegel des Videobilds), den man erhält, wenn das Horizontal-Transferregister arbeitet, unterscheidet sich von demjenigen, den man erhält, wenn der Betrieb des Horizontal-Transferregisters vorübergehend angehalten wird. Dies ist besonders dann ein schwerwiegendes Problem, wenn die Empfindlichkeit der Fernsehkamera mit einem CCD-Bildsensor der obenerläuterten Art groß ist.

Wenn außerdem das Horizontal-Transferregister die La­ dungsübertragung durchführt, wenn eine Halbbild-Verschie­ bung erfolgt, verschlechtert sich die Schärfe oder Auflösung des erhaltenen Bildes in horizontaler Richtung, weil von dem Vertikal-Transferregister gesendete Ladun­ gen sich in unvorteilhafter Weise über verschiedene Stufen des Horizontal-Transferregisters verstreuen. Um eine derartig ungünstige Ladungsstreuung zu vermeiden, wurde der Betrieb des Horizontal-Transferregisters ge­ stoppt, wenn eine Halbbild-Verschiebung stattfand. Aller­ dings fördert das Anhalten des Horizontal-Tranferregi­ sters auch hier das Auftreten von Signalpegel-Differenzen.

Aus der DE-OS 34 12 861 ist eine rauscharme Schwarzpegel­ bezugsschaltung für Bildaufnahmeeinrichtungen bekannt, die für einen CCD-Bildwandler des Halbbildübertragungs­ typs geeignet ist. Die bekannte Schwarzpegelbezugs­ schaltung geht von einem Horizontalregister des CCD- Bindwandlers aus, dessen Ausgangssignal mit Hilfe eines potentialfreien (schwimmenden) Diffusionsgebietes eines auf einem Halbleiterchip ausgebildeten Ladungs-/Spannungs- Umsetzers abgenommen wird. Auf die letzte Horizontaltrans­ ferelektrode des Horizontalregisters folgt eine mit einer Gleichvorspannung beaufschlagte Elektrode, die den poten­ tialfreien Diffusionsbereich überlappt, welcher als Source­ elektrode eines Feldeffektelementes dient, das außerdem mit einem Rückstellgate, zwei Gleichspannungsgates und einer Rückstelldrainzone versehen ist. Die erwähnte mit einer Gleichvorspannung beaufschlagte Elektrode dient der Abschirmung des potentialfreien Diffusionsbereichs gegenüber den an den Horizontaltransferelektroden auf­ tretenden Taktsignalen. In ähnlicher Weise verhindern die Gleichspannungsgates, daß das Rücksetztaktsignal zum potentialfreien Diffusionsbereich gekoppelt wird. Der potentialfreie Diffusionsbereich ist mit dem Gate eines MOSFET verbunden, der Teil eines Pufferverstär­ kers ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Festkörper-Bildsensor zu schaffen, dessen Ausgangs­ signal für ein flimmerfreies Bild geeignet ist, während Signalpegel-(Schwarzpegel-)Schwankungen vermieden werden.

Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Erfindung gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Er­ findung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Die Erfindung schafft also einen Bildsensor, bei dem das Horizontal-Transferregister eine Endstufen-Elektrode besitzt, die unabhängig von den anderen Elekroden des Registes ist. Um das Flimmern zu beseitigen, wird der Betrieb des Horizontal-Transferregisters für eine gege­ bene Zeitspanne, während der eine Feld-(Halbbild-) Verschiebung stattfindet, angehalten. Die Endstufen- Elektrode wird angesteuert von vorgegebenen, kontinuier­ lichen Impulsen, selbst wenn der Betrieb des Horizontal- Transferregisters während der Halbbild-Verschiebung angehalten wird, um dadurch die Möglichkeit von Signal­ pegel-(Schwarzpegel-)Schwankungen zu eliminieren.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine typische Elektrodenanordnung eines CCD- Bildsensors;

Fig. 2 einen Teil des Horizontal-Transferregisters eines CCD-Bildsensors gemäß einer Ausführungs­ form der Erfindung;

Fig. 3A-3D Impulsdiagramme der Vertikal-Treiberimpulse Φ V 1-Φ V 4 für den CCD-Bildsensor nach Fig. 1;

Fig. 3E-3F Impulsdiagramme der Horizontal-Treiberimpulse Φ H 1-Φ H 2 für den Bildsensor nach Fig. 1;

Fig. 3G das Impulsdiagramm eines Horizontal-Transfer­ freigabeimpulses HP;

Fig. 4A ein Impulsdiagramm des Horizontal-Transfer­ freigabeimpulses HP, der in den Vertikal- Treiberimpulsen Φ V 1-Φ V 4 enthalten ist;

Fig. 4B den mit dem Freigabeimpuls HP synchronisierten Grundtaktimpuls CK;

Fig. 4C-4D vergrößerte Impulsdiagramme der Horizontal- Treiberimpulse Φ H 1-Φ H 2 für die Ausführungs­ form nach Fig. 2;

Fig. 4E ein vergrößertes Impulsdiagramm des Horizontal- Treiberimpulses Φ H 3 für die Endstufen-Elektrode 37, angewendet in Verbindung mit den Impulsen nach den Fig. 4C-4D für die Ausführungsform nach Fig. 2;

Fig. 4F ein vergrößertes Impulsdiagramm eines Rück­ setzimpulses Φ RS für die Ausführungsform nach Fig. 2;

Fig. 4G ein vergrößertes Impulsdiagramm des Bild­ sensor-Ausgangssignals OS für die Ausführungs­ form nach Fig. 2;

Fig. 4H ein vergrößertes Impulsdiagramm des Bildsen­ sor-Ausgangssignals, welches man bei einem herkömmlichen Bildsensor erhält, und

Fig. 5 eine Schaltungsskizze des Signalgenerators zum Erzeugen der in den Fig. 4C-4F dar­ gestellten Impulse.

Es sei angenommen, ein zweidimensionaler CCD-Bildsensor vom Zwischenzeilentyp mit 490 Bildelementen in vertikaler und 400 Bildelementen in horizontaler Richtung sei Be­ standteil einer Fernsehkamera der NTSC-Norm. Bei solchen Fernsehkameras sind für den CCD-Bildsensor 245 Sätze von Vertilkal-Transferregistern vorgesehen, so daß ein gleich­ zeitiges Auslesen von Signalladungen aus 490 Photodioden für jedes Halbbild möglich ist. Dieses Auslesen geschieht derart, daß die Signalladungen aus zwei in vertikaler Richtung benachbarten Photodioden einander aufaddiert werden.

Fig. 1 zeigt einen Teil eines zweidimensionalen CCD- Bildsensors vom Zwischenzeilen-Übertragungstyp. Dieser Bildsensor enthält 400 horizontale Bildelemente und 490 vertikale Bildelement. Diese Bildelemente bestehen aus Photodioden PD oder dergleichen. Photodioden PD erhält man dadurch, daß man N-Ionen in ein P-leitendes Halbleiter­ substrat implantiert. In diesem Substrat werden 245 (=⁴⁹⁰/₂) Vertikal-Transferregister (CCD-Schieberegister) VR als vergrabene Kanäle durch Implantation von N-Ionen gebildet. In ähnlicher Weise werden ein Horizontal-Transfer­ register (CCD-Schieberegister) HR durch N-Ionen-Implanta­ tion gebildet. Das aus den Vertikal- und Horizontal- Registern gebildete P-Substrat wird von einer Isolier­ schicht (SiO₂-Schicht) bedeckt. Dann werden aus Poly­ silizium bestehende Vertikal-Transferelektroden 11-14 und ebenfalls aus Polysilizium bestehende Horizontal- Transferelektroden 15 und 16 über die Isolierschicht ober­ halb der Vertikal- und Horizontal-Register VR und HR er­ zeugt.

Die Vertikal-Transferelektoden 11-14 empfangen Verti­ kal-Treiberimpulse Φ V 1-Φ V 4 (Fig. 3A-3D). Die Vertikal- Transferelektroden 11 und 13 überlappen einen Teil jeder der Photodioden PD. Eine solche teilweise Überlappung jeder der Photodioden PD durch die Elektroden 11 und 13 wird für die Halbbild-Verschiebung benötigt. In einer Linie mit dem jeweiligen Ende der Vertikal-Transferregister VR be­ finden sich Horizontal-Transferelekroden 15, so daß jede der Elektroden der Vertikal-Transferregister VR teilweise von einer entsprechenden Horizontal-Transferelektrode 15 überlappt wird. Die Horizontal-Transferelektroden 15 befinden sich über der Horizontal-Transferelektrode 16, und beide Horizontal-Transferelektroden 15 und 16 befinden sich auf der Oberseite des Horizontal-Transferregisters HR. Die Elektrode 15 empfängt Horizontal-Transferimpulse Φ H 1 (Fig. 3E, 4C), und die Elektrode 16 empfängt Horizon­ tal-Transferimpulse Φ H 2 (Fig. 3F, 4D).

Fig. 2 zeigt einen Teil des Horizontal-Transferregisters eines CCD-Bildsensors gemäß einer Ausführungsform der vor­ liegenden Erfindung. Fig. 3A bis 3D zeigen Impulsdiagramme der Vertikal-Treiberimpulse Φ V 1-Φ V 4, die bei dem CCD-Bildsensor nach Fig. 1 verwendet werden. Fig. 3E bis 3F zeigen Impulsdiagramme der Horizontal-Treiberimpulse Φ H 1 bis Φ H 2 für den CCD-Bildsensor nach Fig. 1. Fig. 4A zeigt ein vergrößertes Impulsdiagramm des Horizontal- Transferfreigabeimpulses HP, der in den Vertikal-Treiber­ impulsen Φ V 1 bis Φ V 4 enthalten ist. Fig. 4B zeigt den Grundtaktimpuls CK, der mit dem Horizontal-Transferfrei­ gabeimpuls HP synchronisiert ist. Fig. 4C bis 4D zeigen vergrößerte Impulsdiagramme von Horizontal-Treiberimpulsen Φ H 1 bis Φ H 2, die für die Ausführungsform nach Fig. 2 verwendet werden. Fig. 4E zeigt eine vergrößerte Wellen­ form des Horizontal-Treiberimpulses Φ H 3, der in Verbindung mit den Impulsen Φ H 1 bis Φ H 2 nach Fig. 4C und 4D bei der Ausführungsform nach Fig. 2 verwendet wird. Fig. 4F bis 4G zeigen vergrößerte Wellenformen des Rücksetzimpulses Φ RS und des Bildsensor-Ausgangssignals OS der Ausführungs­ form nach Fig. 2.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 sind die Horizon­ tal-Transferelektroden 31 bis 36 auf einem Horizontal- Transferregister (CCD-Schieberegister; HR in Fig. 1) angeordnet. Das Horizontal-Transferregister ist in dem Halbleitersubstrat 30 ausgebildet. Dieses Horizontal- Transferregister wird von den Impulsen Φ H 1 und Φ H 2 (Fig. 4C-4D) im Zwei-Phasen-Betrieb angesteuert.

Der Endabschnitt des Horizontal-Transferregisters besitzt eine Endstufen-Elektrode 37, die von dem Impuls Φ H 3 (Fig. 4E) angesteuert wird. Gemäß der Ausführungsform nach Fig. 2 werden selbst während der Zeitspanne, in der die Impulse Φ H 1 und Φ H 2 verschwinden (t 40-542, t 44- t 46 in den Fig. 4C und 4D), die Impulse Φ H 3 (Fig. 4E) dauernd an die Elektrode 37 angelegt. Dies ist ein Schlüs­ selmerkmal der vorliegenden Erfindung.

In dem Substrat 30 ist in der Nähe der Stelle der Endstu­ fen-Elektrode 37 eine schwimmende Diffusionszone 39 gebildet. Zwischen der Elektrode 37 und der Diffusionszone 39 befindet sich ein Ausganggate 38, welches mit einem gegebenen Vorpotential EB vorgespannt wird. Die n^--Zone unterhalb der Elekrode 37 ist über eine parasitäre Kapa­ zität 42 an die n-Diffusionszone 39 gekoppelt. Die Diffu­ sionszone 39 ist über einen MOS-Transistor Q 11 an ein Rück­ setzpotential (ER) gekoppelt. Das Gate von Q 11 empfängt den Rücksetzimpuls Φ RS (Fig. 4F). Wenn der Impulse Φ RS an das Gate von Q 11 gelegt wird, wird die Drain-Source- Strecke von Q 11 leitend, so daß die Kapazität 40 der Diffusionszone 39 mit dem Potential ER aufgeladen wird. Auf diese Weise wird die Diffusionskapazität 40 durch den Impuls Φ RS zurückgesetzt. Die Diffusionszone 39 ist auch an das Gate des MOS-Transistors Q 12 gekoppelt. Der Drain von Q 12 ist an die Spannungsversorgung EC angeschlossen. Die Source von Q 12 ist über die Drain-Source-Strecke eines MOS-Transistors Q 14, dessen Gate auf Masse liegt, auf Masse geschaltet. Die Source von Q 12 ist an das Gate eines MOS-Transistors Q 13 angeschlossen. Der Drain von Q 13 ist an die Spannungsversorgung EC angeschlossen. Die Source Q 13 ist über die Drain-Source-Strecke eines MOS-Transistors Q 15, dessen Gate auf Masse liegt, an Masse angeschlossen. Das Bildsensor-Ausgangssignal OS (Fig. 4G) wird von der Source des Transistors Q 13 abge­ geben. Die Transistoren Q 12 bis Q 15 bilden eine Source- Folger-Schaltung, die als Impedanzwandler für die Diffu­ sionskapazität 40 dient.

Wenn die Halbbild-Verschiebung und die Zeilen-Verschiebung durchgeführt werden, wird, selbst wenn keine Impulse an die Elektroden 31-36 gelegt werden (t 40- t 42, t 44- t 46 in den Fig. 4C bis 4D) der Puls Φ H 3, dessen Wellen­ form identisch oder ähnlich der Wellenform des Pulses Φ H 1 ist, an die Endstufen-Elektrode 37 gelegt (t 40- t 42, t 44- t 46 in Fig. 4E). Das Potential von Φ H 3 wird durch die Serienschaltung der parasitären Kapazität 42 und der schwimmenden Diffusionskapazität 40 geteilt, so daß ein gewisser Teil des Potentials von Φ H 3 dem Bildsensor- Ausgangssignal OS überlagert wird. Dann kann die während der Zeitspanne der Halbbild-Verschiebung erhaltene Wellen­ form des Ausgangssignals OS etwa so geformt werden, wie sie während der Zeit außerhalb der Zeitspanne der Halb­ bild-Verschiebung ist (Fig. 4G). Auf diese Weise wird die Möglichkeit von Signalpegel-(Schwarzpegel-)Schwankun­ gen des Ausgangssignals OS mit Hilfe der Ausführungsform nach Fig. 2 eliminiert. Wenn jedoch die Elektroden 37 in Verbindung mit dem Impuls Φ H 3 nicht verwendet wird, oder wenn die Elekrode 37 von dem Impuls Φ H 1 angesteuert wird, hat die Wellenform des Ausgangssignals OS den in Fig. 4H gezeigten Verlauf. Liegt einer dieser Fälle vor, werden im Ausgangssignal OS Signalpegel-(Schwarzpegel)- Schwankungen verursacht.

Fig. 5 zeigt den Aufbau einer Schaltung des Signalgenera­ tors, der die Impulse Φ H 1-Φ H 3 und Φ RS gemäß Fig. 4C bis 4F erzeugt. Ein D-Flipflop (D-FF) 100 wird von dem Taktimpuls CK (Fig. 4B) getaktet. Das Flipflop 100 wird durch den Horizontal-Transferfreigabeimpuls HP (Fig. 4A) gelöscht. Der Impuls P 100 vom Ausgang Q des Flipflops 100 wird an dessen Eingang D zurückgeführt. Der Impuls P 100 vom Ausgang Q des Flipflops FF 100 wird über einen invertierenden Puffer 112 in den Impuls Φ H 1 umgesetzt (Fig. 4C). Der Impuls P 101 wird über einen invertierenden Puffer 111 in den Impuls Φ H 2 umgesetzt (Fig. 4D). Der Impuls P 100 wird auf das NOR-Glied 102 gegeben. Dieses Verknüpfungsglied empfängt außerdem von dem Ausgang Q des D-Flipflops 104 den Impuls P 104, der über einen invertierenden Puffer 116 in den Impuls Φ H 3 (Fig. 4E) umgesetzt wird.

Der NOR-verknüpfte Ausgangsimpuls P 102 vom Gatter 102 wird an den D -Eingang des Flipflops 104 gelegt. Das Flipflop 104 wird durch den Impuls CK getaktet. Der Impuls P 104 wird an den D-Eingang des D-Flipflops 106 gelegt. Das Flipflop 106 wird von dem Impuls P 108 getaktet, wobei die­ ser Impuls P 108 durch Invertieren der Phase des Impulses CK mittels eines Negators 108 gewonnen wird. Der Impuls P 106 vom Q-Ausgang des Flipflops 106 wird auf ein NAND-Glied 110 gegeben, welches außerdem von dem -Ausgang des Flipflops 104 den Impuls P 105 empfängt. Der durch NAND-Verknüpfung gewonnene Ausgangsimpuls P 110 des Gat­ ters 110 wird von dem Negator 118 in den Impuls Φ RS (Fig. 4F) umgesetzt.

Die obige Beschreibung zeigt klar, daß erfindungsgemäß das Maß des Potential-Lecks von der Endstufen-Elektrode über die parasitäre Kapazität 42 zur schwimmenden Diffu­ sionszone 39 jederzeit im wesentlichen stabilisiert wer­ den kann. Demzufolge ist die Möglichkeit für Schwarzpegel­ schwankungen des Bildsensor-Ausgangssignals OS ausge­ schaltet. Dies sowie die Realisierung daraus resultieren­ der Vorteile sind außerdem durch einen kompakten Schal­ tungsaufbau möglich. Das Vorhandensein lediglich einer einfachen Elektrode (37), die durch einen kontinuierli­ chen Impuls (Φ H 3) angesteuert wird, gewährleistet die Lösung des erfindungsgemäßen Problems.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschrie­ bene Ausführungsform beschränkt. Beispielsweise läßt sich die Erfindung anwenden bei einem herkömmlichen CCD- Bildsensor der Art, wie er von Kenji HORII u. a. beschrie­ ben ist in "A New Configuration of CCD Imager with a Very Low Smear Level-FIT-CCD Imager", IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, ED-31, Nr. 7 (Juli 1984), Seiten 904 bis 906. Außerdem findet die Erfindung Andwendung bei dem Modell "CCD211", einem Bildsensor der Firma Fairchild Camera and Instrument Co., USA oder bei dem Modell "SID52501" Silicon Image Device, hergestellt von der Firma RCA Co., USA.

Die Erfindung läßt sich nicht nur einsetzen bei einem zweidimensionalen CCD-Bildsensor vom Zwischenzeilentyp mit Photo-Gattern und/oder Schiebe-Gattern, sondern außer­ dem bei einem zweidimensionalen Vollbild-CCD-Sensor. Selbstverständlich läßt sich ein Bildsensor, dessen photoempfindliches Element durch MOS-Dioden gebildet wird, zur Erreichung der erfindungsgemäßen Ziele ge­ stalten. Außerdem läßt sich die Erfindung anwenden bei einem zweidimensionalen MOS-Bildsensor mit X-Y-Adressie­ rung.

Claims (5)

1. Festkörper-Bildsensor, der sowohl einen optischen Bereich aus photoempfindlichen Elementen (PD), die Signal­ ladungen liefern, welche ein von dem optischen Bereich erfaßten Bild repräsentieren, als auch eine Registeranordnung (VR, HR; 100-118) zum Übertragen der Signalladungen aus den photoempfindlichen Elementen (PD) zu einer Ausgabezone (39) des Bildsensors nach Maßgabe vorgegebener Impulse (Φ V 1-Φ V 4; Φ H 1-Φ H 3) aufweist, wobei die Registeran­ ordnung (VR, HR; 100-118) enthält:
eine Horizontalregisteranordnung (HR), die ein Bild­ sensor-Ausgangssignal (OS) liefert, welches das von dem optischen Bereich erfaßte Bild repräsentiert, und die Horizontal-Transferelektroden (31-36) aufweist;
eine erste Schaltungsanordnung (100, 112, 114), die den Horizontal-Transferelektroden (31-36) Horizontal- Treiberimpulse (Φ H 1, Φ H 2) zuführt, so daß eine Signal­ ladungs-Übertragung stattfindet, wobei die Horizontal- Treiberimpulse (Φ H 1, Φ H 2) einen Leerabschnitt (t 40- t 42 oder t 44-t 46 in Fig. 4) aufweisen, während der die Horizontal-Treiberimpulse (Φ H 1, Φ H 2) verschwinden;
dadurch gekennzeichnet, daß die Horizontal­ registeranordnung (HR) außerdem eine Endstufen-Elektrode (37) unabhängig von den Horizontal-Transferelektroden (31-36) und angeordnet vor der Stelle der Ausgabezone (39), aus der das Bildsensor-Ausgangssignal (OS) erhalten wird, aufweist, und daß die Registeranordnung (VR, HR; 100-118) ferner eine zweite Schaltungsanordnung (102- 110, 116, 118) enthält, die der Endstufen-Elektrode (37) Endstufen-Treiberimpulse (Φ H 3) zuführt, welche sowohl dann, wenn die Horizontal-Treiberimpulse (Φ H 1, Φ H 2) er­ scheinen, als auch dann, wenn diese Impulse verschwinden, erzeugt werden.

2. Bildsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Horizontal-Registeranordnung (HR) eine Ausgangsgatter-Elektrode (38) aufweist, die mit einem gegebenen Vorpotential (EB) vorgespannt wird und zwi­ schen der Endstufen-Elektrode (37) und der Ausgabezone (39) angeordnet ist.

3. Bildsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Horizontal-Transferelektroden (31-36) für Zonen eines ersten Leitungstyps (n^-) in einer Wanne eines ersten Leitungstyps (n), die in einem Halbleitersubstrat (30) eines zweiten Leitungstyps (p) ausgebildet ist, vorgesehen sind, daß die Ausgabezone (39) eine weitere Zone vom ersten Leitungstyp (n) in dem Halbleitersubstrat (30) des zweiten Leitungstyps (p) ist, und daß die Endstufen-Elektrode (37) für eine weitere Zone des ersten Leitungstyps (n) in der Wanne des ersten Leitungstyps (n) zwischen der Stelle der Aus­ gabezone (39) und derjenigen (36) der Horizontal-Transfer­ elektroden (31-36) angeordnet ist, die der Stelle der Ausgabezone (39) am nächsten liegt.

4. Bildsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß zwischen der Ausgabezone des ersten Leitungstyps (n) und dem Halbleitertyp (30) des zweiten Leitungstyps (p) eine Kapazität (40) gebildet ist, wobei das an der Kapazität (40) erscheinende Poten­ tial den Signalladungen entspricht, und daß der Ausgabe­ zone (39) eine Einrichtung (Q 11) zum Vorladen der Kapa­ zität (40) mit einem gegebenen Potential (ER) synchron mit dem Endstufen-Treiberimpuls (Φ H 3) zugeordnet ist.

5. Bildsensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Horizontal-Registeranordnung (HR) eine Puffer­ einrichtung (Q 12-Q 15) zugeordnet ist, die an die Aus­ gabezone (39) gekoppelt ist und auf das Potential an der Kapazität (40) anspricht, um als Impedanzwandler für die Kapazität (40) zu wirken.