JPS639288A - 固体撮像素子の駆動方法 - Google Patents

固体撮像素子の駆動方法

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JPS639288A
JPS639288A JP61151591A JP15159186A JPS639288A JP S639288 A JPS639288 A JP S639288A JP 61151591 A JP61151591 A JP 61151591A JP 15159186 A JP15159186 A JP 15159186A JP S639288 A JPS639288 A JP S639288A
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pulse
reset
vertical
signal
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JP61151591A
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Yukio Endo
幸雄 遠藤
Yoshitaka Egawa
佳孝 江川
Nozomi Harada
望 原田
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Toshiba Corp
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    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/148Charge coupled imagers
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    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
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    • HELECTRICITY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は固体撮像素子の駆動方法に係り、特に出力信号
のサグを防止してダイナミックレンジの拡大を図る方法
に関する。
(従来の技術) CCDIli像素子やMO8型撮像素子等の固体撮像素
子は、ITVカメラやビデオカメラなどに広く使われ始
めている。また最近は、固体撮像素子に更に光導電膜を
積層して高感度素子を得る技術が注目されている。固体
撮像素子は従来使われている撮像管に比べて小型、軽量
、高信頼性という特徴を有し、特性面でも図形歪、残像
、焼付きがない等の利点を有する。
しかし固体撮像素子には撮像管にはない特有の問題があ
り、このため撮像管にはない特有の駆動方法を用いて特
性改善を行なう必要がある。例えば固体撮像素子には光
漏れ込みによるスミア現象がある。これを除去するため
には、垂直ブランキング期間に限り高速掃出しパルスを
印加して信号電荷の出力部への掃出しを行なうことが有
効である(特開昭58−17787号公報参照)。また
素子の光電変換特性の高輝度入力側を圧縮して広いダイ
ナミックレンジを有する特性を駆動パルスで実現する方
法も提案されている(特願昭59−73976号)。こ
れは、垂直ブランキング期間に余分な信号電荷を出力部
へ捨てて、再蓄積を行なうことで可能になる。また積層
型搬像素子では残像が問題となるが、高輝度入力時に発
生する残像を駆動パルスで改善する方法も提案されてい
る。
例えば、垂直ブランキング期間に信号電荷蓄積を停止さ
せ、必要以上の過剰電荷を素子出力側へ捨てるものがあ
る (特願昭59−90416号参照)。以上の例に共
通していることは、固体撮像素子の駆動パルスの垂直ブ
ランキング期間に余分な信号電荷を素子の信号電荷出力
部へ捨てることである。ところが、固体搬像素子はこの
様な動作をさせると、垂直ブランキング期間に限って通
常期間で発生する信号の数十倍の過大信号が出力部に発
生する視像がある。これにより、素子の信号処理回路で
は広いダイナミックレンジをもつことが要求される。ま
たこの過大信号により、出力信号にサグが発生する。
以上の問題を図面を用いて具体的に説明する。
第7図は固体@像素子を用いた白黒TVカメラの構成例
を示す。21がCOD踊像素像素子る。
NTSC同期パルス発生回路22より得られたパルスで
タイミングパルス発生回路23を動作させ、クロックト
ライバ24で電圧、電流増幅した後のクロックパルスで
CCDl1像素子21が駆動される。[1素子21の出
力はプリアンプ25で約500m、VI)l)になるよ
うに増幅され、低域通過フィルタ26で信号に飛込んで
いるリセットパルスが除去される。そしてクランプ回路
27で直流分が再生され、ガンマ補正回路28でガンマ
補正。
白クリップ、BL処理等が行われて信号出力される。
この様な白黒TVカメラの構成において、先に説明した
特有の駆動法は垂直ブランキング期間に余分な信号電荷
を出力部に捨てる動作である。そのためには、素子の信
号出力部にはリセットゲートとリセットドレインが設け
られ、出力端子の信号電荷をリセットゲートにリセット
パルスを印加することによってリセットドレインに捨て
ることができるようになっている。この場合、余分な信
号電荷の除去の駆動方法には二つある。
第8図はその一つの方法を示すもので、この方法では垂
直ブランキング期間に垂直有効期間と同じリセットパル
スを発生させるものである。この駆動法では、COD出
力信号には本来信号成分がない垂直ブランキング期間に
おいて、図示のような過大信号が現われる。この過大信
号により、有効期間においてサグが発生する。これらは
その後通過する低域通過フィルタ26の後にも残る。そ
してこの過大信号は低域通過フィルタ26.クランプ回
路27.ガンマ補正回路28等の特性として大きいダイ
ナミックレンジを要求することになる。また、サグは垂
直方向シェーディングとなり、画質劣化をもたらす。
第9図は別の駆動法である。この方法では垂直ブランキ
ング期間に、有効期間におけるようなりセットパルスの
供給を停止し、この期間リセットゲートをオン状態に保
つ。この駆動法では、過大信号電荷はリセットドレイン
に捨てられるために出力端子には現われず、図示のよう
な波形になる。
この場合には、垂直ブランキング期間にリセットパルス
の飛び込みがなくなるので、リセットパルスの飛込みが
ある有効期間との信号レベル差が大きくなり、これに起
因して先の駆動法よりも大きいサグが発生する。
(発明が解決しようとする問題点) 以上のように固体撮像素子のスミア、ダイナミックレン
ジ、残像等の特性改善を駆動法の改良により行なおうと
すると、過大信号の発生により信号処理回路のダイナミ
ックレンジに制約が生じ、またサグが発生して画質劣化
をもたらす、といった曲頭があった。
本発明は、この様な問題を解決した固体撮像素子の駆動
方法を提供することを目的とする。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、有効期間とブランキング期間を通じてリセッ
トゲートにリセットパルスを印加する駆動法を基本とし
、ブランキング期間のりセラ1へパルスの位相を、有効
期間のそれから180°ずらしたものとする。即ち、垂
直有効期間では、水平レジスタ最終段のパルス位相が“
H″レベル期間リセットパルスがオンとなる動作をさせ
、従来と同様信号成分が出力端子に現われるようにする
。一方垂直プランキング期間では、水平レジスタ最終段
のパルス位相がll L IIレベル期間にリセットパ
ルスがオンとなる動作をさせて、信号成分をリセットド
レインに捨て、出力にはリセットパルスの飛込み成分の
みがあるようにする。
(作用) この様な駆動法を採用すると、垂直ブランキング期間で
は過大信号はリセットドレインに捨てられる。一方、リ
セットパルスの飛込みは垂直有効期間、垂直ブランキン
グ期間を通じて同量あるために、雨期間の信号レベル差
によるサグの発生も防止される。
(実施例) 以下、本発明の詳細な説明する。
第1図は一実施例のCCD l1ii&素子を用いた白
黒TVカメラの構成例である。1はCCD1fi像素子
であり、信号電荷蓄積部と信号電荷読み出し部を有する
。信号電荷蓄積部は図では省略されているが、例えばフ
ォトダイオードアレイにより構成され、信号電荷読み出
し部として垂直CODレジスタと水平CODレジスタと
がある。これらの駆動電極および端子としては、垂直C
ODの転送電極φV(実際には4層駆動の場合、4つの
転送電極φV1〜φV4の繰返し)、水平CODの転−
送電極φH(実際には2相駆動の場合、二つの電極φH
工、φ1」2の繰返し)、出力ゲート電極OG、出力端
子であるフローティング拡散層FD。
リセットグー1〜R3,リセットドレインRDがある。
リセットドレインRDは電源VRDに接続されている。
感光部で光電変換された信号電荷は、垂直CCD、水平
CCDを通り、出力ゲートOGを介してフローティング
拡散層FDに形成された容ICRとC1によって電圧に
変換される。そして1画素毎にリセットゲートR8に印
加されるリセットパルスにより、フローティング拡散1
!FDの電荷はリセットドレインRDに捨てられる。
電圧変換された信号電圧は、オンチップに形成されたプ
リアンプ11により低インピーダンス化された出力端子
O8から取出される。取出された出力信号は更にプリア
ンプ12で所定電圧レベルに増幅され、低域通過フィル
タ13によりリセットパルス飛込み成分の除去が行われ
る。そしてクランプ回路14で直流分が再生され、ガン
マ補正回路15でガンマ補正、白クリツプ除去、BL処
理等が行われて信号出力される。
CCDIIfi像素子1の駆動素子1期パルス発生回路
2で発生されたNTSCパルスに同期した水平パルスH
D、垂直パルスVD、垂直ブランキングパルスVBLな
どにより、CODタイミングパルス発生回路3で所望の
パルスを得て行なう。垂直転送電極φVは垂直CODド
ライバ4により、水平転送電極φHは水平CODドライ
バ5により、それぞれ駆動される。リセットゲートR8
に印加されるリセットパルスは、タイミングパルス発生
回路3より得られる基準リセットパルスPR8とリセッ
ト制御パルスRcにより、リセットパルス制御回路6を
動作させることで得られる。ここでリセットパルス制御
回路6は、位相六回路71位相B回路8およびスイッチ
回路9により構成される。位相A回路7と位相8回路8
は、互いに180°位相のずれたリセットパルスを得る
ためのもので、スイッチ回路9は、垂直有効期間では位
相六回路7の出力を通し、垂直ブランキング期間では位
相8回路8の出力を通す。そしてスイッチ回路9の出力
はリセットドライバ10を介してリセットゲートR8に
供給される。
第2図は、この様に構成されたTVカメラの動作を説明
するための信号波形図である。この図は、垂直有効期間
と垂直ブランキング期間の垂直および水平CODレジス
タパルス、リセットパルスおよびこれにより得られる出
力信号の関係を示す。
垂直CODレジスタパルスは図示のように、第1のフィ
ールドシフトパルスVFI、高速掃出しパルスSO1第
2のフィールドシフトパルスVF2およびラインパルス
LSにより構成される。
VFI とSOは先に説明したように固体撮像素子の特
性改善のために、余分な信号電荷を出力に捨てるための
動作を行なうものである。水平レジスタパルスは全期間
を通じて同じパルスである。リセットパルスは、図で異
なる方向の斜線を施して示したように、垂直有効期間と
垂直ブランキング期間とで互いに18o°位相のずれた
パルスとして供給している。その具体的なタイミング関
係は後述するが、この結果得られるCOD出力信号は、
垂直有効期間と垂直ブランキング期間のリセットパルス
飛込み量が等しくなり、しかも過大信号の発生がなくな
る。
第3図〜第6図を用いて垂直有効期間と垂直ブランキン
グ期間のリセット動作の違いを具体的に説明する。
第3図と第4図は垂直有効期間でのリセット動作を説明
するものである。水平CODレジスタパルスは図示のよ
うにHIIレベル ll l I+レベルのデユーティ
が1/1であり、リセットパルスは水平レジスタパルス
の(I H11レベルの一部の期間に限りオン(” H
”レベル)となる。従って時刻t1では、第4図に示す
ようにフローティン拡散層FDはリセットドレインRD
にリセットされる。
時刻t2では水平レジスタパルスが“H°ルベル。
リセットパルスが゛IMルベルであり、リセットゲート
が閉じて信号電荷流入の待ち状態となる。
時刻t3では、リセットゲートが閉じたままで水平レジ
スタパルスが“L IIレベルになり、信号電荷が70
−ティング拡散層FDに蓄えられる。この結果得られる
出力信号は第3図のようになり、これを低域通過フィル
タでリセットパルスの飛込み分を除去すると、信号成分
のみの画像信号が得られる。 第5図および第6図は垂
直ブランキング期間でのリセット動作を、第3図および
第4図に対応させて示している。水平レジスタパルスは
垂直有効期間と同じであり、リセットパルスが垂直有効
期間とは18o°ずれている。従って時刻t4では水平
レジスタパルスがHljレベルでリセットはオフであり
、水平レジスタパルスが゛Lパレベルになると同時にリ
セットパルスが“H”レベルになる。このとき水平レジ
スタから70一テイング拡散層FDに転送された過大信
号電荷QLは、第6図に示すように蓄えられることなく
そのままリセットドレインRDに捨てられる。その後時
刻t5ではリセットがオフとなる。
こうしてこの実施例によれば、垂直ブランキング期間と
垂直有効期間のリセットパルスの飛込み量が等しくなり
、低域通過フィルタを用いてこの飛込みリセットパルス
を除去すれば、サグのない良好な画像信号が得られる。
以上の実施例では、CCDl1像素子を一個用いた白黒
TVカメラを説朔したが、本発明はこれに限られるもの
ではなく、単板カラーカメラあるいは素子を3個用いた
3板カラーカメラの場合にも適用することができる。特
にカラーカメラの場合、サグは着色現象となるので、本
発明の適用は有用である。また実施例ではnチャネルC
CDの場合を説明したが、nチャネルCCDについても
同様に本発明を適用することができる。この場合、各パ
ルスの極性を上記実施例と逆にすればよい。また実施例
ではCOD躍像素像素子号電荷検出手段としてフローテ
ィング拡散層を用いたが、70−ティング・ゲート型の
信号電荷検出手段を用いた場合にも本発明は有効である
その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施することができる。
[発明の効果] 以上述べたように本発明の駆動方法によれば、垂直ブラ
ンキング期間の過大信号の発生と垂直有効期間の初めの
部分でのサグの発生を効果的に防止することができ、固
体搬像素子を用いて良好な画像信号を得ることができる
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例のCCD1i像素子駆動回路
を示す図、第2図はその動作を説明するための信号波形
図、第3図は垂直有効期間のリセット動作を具体的に説
明するための信号波形図、第一 14− 4図は同じく出力部の電荷転送の様子を示す図、第5図
は垂直ブランキング期間のリセット動作を具体的に説明
するための信号波形図、第6図は同じく出力部の電荷転
送の様子を示す図、第7図は従来のCCDll1l像装
置の構成例を示す図、第8図はその動作の一例を説明す
るための信号波形図、第9図は他の動作を説明するため
の信号波形図である。 1・・・CCD撮像素子、2・・・同期パルス発生回路
、3・・・タイミングパルス発生回路、4,5・・・ク
ロックトライバ、6・・・リセットパルス制御回路、7
・・・位相六回路、8・・・位相8回路、9・・・スイ
ッチ回路、10・・・リセットドライバ、11・・・プ
リアンプ、12・・・プリアンプ、13・・・低域通過
フィルタ、14・・・クランプ回路、15・・・ガンマ
補正回路、φV・・・垂直COD転送電極、φH・・・
水平CCD転送電極、OG・・・出力ゲート、FD・・
・フローティング拡散層、R8・・・リセットゲート、
RD・・・リセットドレイン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 t1t2t3 t4t5t6 LPF    −−−−−−−−−一    −tfj
A事号 第3図 第4図 武力 第5図 第6図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基板に信号電荷蓄積部と信号電荷読み出し部が配列形成
    され、信号電荷出力部に余分な信号電荷を捨てるリセッ
    トゲートとリセットドレインを有する固体撮像素子を用
    い、1フィールド期間が信号電荷の蓄積を行なう有効期
    間と前記信号電荷蓄積部の余分な信号電荷を前記信号電
    荷出力部に掃出すブランキング期間に分離され、且つ有
    効期間とブランキング期間を通じて前記リセットゲート
    にリセットパルスを印加して前記信号電荷出力部の余分
    な信号電荷をリセットドレインに捨てる動作を行なう駆
    動方法において、前記有効期間とブランキング期間とで
    前記リセットパルスの位相を180°ずらしたことを特
    徴とする固体撮像素子の駆動方法。
JP61151591A 1986-06-30 1986-06-30 固体撮像素子の駆動方法 Pending JPS639288A (ja)

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