DE3390522T1

DE3390522T1 - Spanendes Werkzeug und dessen Herstellungsverfahren

Info

Publication number: DE3390522T1
Application number: DE19833390522
Authority: DE
Inventors: Viktor Petrovi&ccaron; &Zcaron;ed'; Al'bert Michajlovi&ccaron; Char'kov Bojarunas; Galina Konstantinovna Galickaja; Aleksej Georgievi&ccaron; Moskovskaja oblast' Gavrilov; Anatolij Michajlovi&ccaron; Lejn; Andrej Karlovi&ccaron; Moskau/Moskva Sinel'&scaron;&ccaron;ikov; Evgenij Michajlovi&ccaron; Moskau/Moskva Stepnov
Original assignee: VNI SKIJ INSTR NYJ I
Current assignee: VNI SKIJ INSTR NYJ I
Priority date: 1983-08-25
Filing date: 1983-08-25
Publication date: 1985-10-03
Also published as: SE8501672D0; AU2122383A; CA1219549A; FI851486A0; NO851602L; FR2558087A1; DK179185A; AU563891B2; NL8320321A; FR2558087B1; CH667605A5; GB2156387A; SE453468B; JPS60502093A; GB2156387B; FI851486L; BR8307747A; DK179185D0; DE3390522C2; WO1985000999A1

Description

*"; "· ·-*. - DEAp-32685.2

7EIIIIZEuG ΙΚΙΌ DECcEIT HEIiSTELIDIIGSVEHi

Gebiet der Technik

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Metallbearbeitung, und zwar betrifft spanendes Werkzeug und dess-n Herstellungveriahren.

Vorhergehender Stand der Technik

Eine der Entwicklungstendenzen der modernen Lletall". bearbeitüng besteht in der. Vervollloommnung der Betriebskennv.'er te von spanenden Werkzeugen durch Auftragen verschleiss- ^ fester Beschichtungen auf ihre Oberfläche. **"' Bis in die Gegenwart wir de das Hauptaugenmerk bei

der Vervollkommnung der Eigenschaften des Werkzeugs auf die chemische Beschaffenheit der Beschichtungen gerichtet, die unter konkreten ITutzungsbe dingung en effertiv sind. Man kann jedoch die Eigenschaften der /Werkzeuge auch durch Vervollkommnung der Struktur der Be schichtung en verbessern.

Bekannt ist ein spanendes w^rerkz3Ug (die akzeptierte G3-Anmeldung ITr. 1303910, Elasse C23C 11/08 vom 24.01.73), das eine aus einer Hartlegierung bestehende Grundlage ent"" ¹^O hält, auf die eine verschleissfeste Beschichtung aufgetragen ist, die iJikrokristalle einer hochschmelzbaren Verbindung von Metallen mit Elementen aus der Gruppe C, K ν und/oder B enthält. Im gegebenen spanenden Werkzeug sind

als Metalle der verschleissfesten Beschichtung die LIetal-Ie aus der Gruppe Γι, Zr, Hf, V₁ rTb, Ta verwendet v;orden.

Bekannt ist auch ein Herstellungsverfahren von spanendem './erkzeug (die gleiche akzeptierte GB-inmoldung ITr. I3O391O, Klasse C23G II/08 vom 24.01.73), das im Erhitzen der Grundlage auf 1000 bis HOO⁰G, in der Zugabe von Ue" teile und Elemente aus der Gruppe G, IT und B enthaltenden -,ieaktanten und im Ablauf einer chemischen Reaktion zwischen ihnen unter Bildung einer Beschichtung, die Mikro-Icristalle ihrer hochschmelzbaren Verbindung enthält, best eht.

Das nach dem beschriebenen Verfahren hergestellte spanende ./erkzeug ist jedoch durch eine hohe Cberfläch.-n-

energie gekennzeichnet, wodurch seine aktive Adhäsions" und Biffusionswechselwirkung mit dem zu bearbeitenden Stoff hervorgerufen wird.

Bekannt ist ein anderes spanendes Werkzeug (die US-Patent schrift Nr. 4I699I3, Klasse B23B 15/I8 1979), das aine Grundlage enthält, deren Arbeitsfläche eine verschleissfeste Beschichtung hat, die Mirkrokristalle einer hochschmelzbaren Verbindung von Metallen mit Elementen aus der Gruppe C, IT, B und 0 enthält.

Dieses spanende Werkzeug ist jedoch auch durch eine hohe Oberflächenenergie gekennzeichnet, wodurch ebenfalls seine aktive üdhäsions- und Diffusionsv;echf elwirkuns; mit dem zu bearbeitenden Stoff hervorgerufen wird.

Bekannt ist auch ein Herstellungsverfahren von spanendem Werkzeug (die gleiche US-Fat ent schrift ITr. 4169913» Klasse B23B 15/18, 1979), das im Verdampfen und Ionisieren eines LietaIls im Vakuum, in dor anschliessenden -Zuführung' eines gasförmigen ixeaktanton, der 21emente der Gruppe C, υ_t 3 und. 0 enthält, in das Vakuum und in der 'Wechselwirkung der Uetallo mit diesen Elementen bis zur Bildung einer νsrcchieissfesten Beschichtung■ besteht. In diesem Verfahren bewirkt ein ZLektronenstrahl das Verdampfen der Metalle unter Verwendung einer Spazialelolctrodc, die für das Ionisieren der Metalle vorgesehen ist, während die '.Vechselwirkung der LIetalle mit den Elementen aus der Gruppe G, IT, 0 und B auf der nicht erhitzen Grundlage vonstatten geht.

In diesem Herstellungsverfahren doo ir-;ahnt j.t. rpanen-

~jQ den Werkzeugs führen die Temperaturv.erhältniGse beim Auftragen der Beschichtung jedoch zur Vernichtung der iäierrie der 'Wechselwirkung der List alle und der Elemente aus der Gruppe G, N, 0 und 3 durch die nicht erhitzte Grundloge, was zur Jntstehung einer Beschichtung mit einem hohen ITiveau an freier Cberflächenenergie führt, was wiederum die Standzeit des spanend en' V/crkzeugs verringert. Äusserdem 5raö;;licl'it in uioscm H

eines spanenden .7erkz^ungs der Verdampfungs~ und icnisierungcprozess der Metalle nicht die Erzielung eines hohen lonisierungsgrads, »as --oenfalls zur Entstehung einer Deschichtung mit einem hohen. Hiveau an freier Gberflächenenergie führt und was, de schon oben erwähnt, die Standzeit des Jerkseugs verringert.

Bekannt ist ein anderes Verfahren zur Herstellung

des genannten spanenden '.Verkzeugs (die Dissertation von S.V.Zasöanov "Untersuchung der Schneideigenschaften und Erarbeitung weiterer Wege der Entwicklung von Werkzeugen mit verschleissfesten Beschichtung en", Llcskau, Ί 979» Lloskauer Hochschule für Werkzeugmaschinenbau, S. 50, russ.), das im Verdampfen und. Ionisieren.wenigstens .eines Metalls im Vakuum, im Erhitzen der Grundlage des spanenden Jerkseugs, in der Säuberung der Arbeitsfläche der Grundlage durch Bombardierung mit Ionen wenigstens eines Metalls, in der folgenden Zuleitung eines gasförmigen Reaktanzen in das Vakuum und in der 'Jech ε el wirkung -wenigstens eines Uetalls mit wenigstens einem ε einen Element bis zur Bildung einer verschleissfesten Beschichtung besteht.

Aber auch dieses Herstellungsverfahren des genannten ./erkzeugs ermöglicht nicht die Erzielung eines minimalen .Verts'an freier Energie der Arbeitsfläche. Las bjv;irkt eine intensive diffusions- und Adhäsions^echsel-virl-oing der Arbeitsfläche mit dem zu bearbeitenden i-laterial, was '.viodorum die Standzeit des spanenden '.ierkzeugs verringert.

Offenbarung der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein spancndes werkzeug zu schaffen, das solch eine Struktur der Beschichtung hat, die deren Standzeit erhöht, und die Erarbeitung eines Herstellungsverfahrens des spanenden .•'erkzeugs, in dem die 'Temper at ^Verhältnisse und der Lruck, bei dem die νerschleissfeste Beschichtung aufgetragen' wird, eine Erhöhung der Standzeit des spanenden ..erkzeugs ermöglichen.

Das wird dadurch, erreicht, dass in einem spanenden .Verkzoug, das eine Grundlage enthält, auf deren Arbeitsfläche eine verschleissfeste Beschichtung aufgetragen ist, die Llikrokr ist alle einer hochschmelzbaren Verbindung we~ nigstens eines Metalls mit wenigstens einem Element aus der Gruppe G, IT, O und B enthält, gemäße der Erfindung eine maximale Menge der Mikrokristalle einer hochschmelzbaren Verbindung wenigstens eines Metalls mit wenigstens einem .Element aus der Gruppe G, N, 0 und B, die zusätzlich Si enthält, mit ein und derselben kristallografischen Ebene parallel zur Arbeitsfläche der Grundlage orientiert ist.

Es ist zweckraässig, dass in dem spanenden Werkzeug', die kristallografische Ebene, nach der die Uikrokristalle orientiert sind, eine minimale Oberflächenenergie aufweist.

Das wird auch dadurch erreicht, dass in einem Herstellungsverfahren des zum Patent angebotenen spanenden 'Werkzeugs, das im Verdsrapfen und Ionisieren wenigstens eines Metalls im Vakuum, im Erhitzen der Grundlage des spanenden V/erkzeugs, in der Säuberung der Arbeitsfläche der Grundlage durch Bombardierung mit Ionen v.eni Ostens eines Metalls, in der folgenden Zuleitung eines gasförmigen xieaktenten in das Vakuum und in der .Vechselwirkung wenigstens eines Metalls mit wenigstens einem seinen Element bis zur Bildung einer verschleissfesten Beschichtung aus ihrer hochschmelzbaren Verbindung, die Mikrokristalle enthält, besteht, gemäss der Erfindung das Erhitzen der Grundlage (I) des spanenden Werkzeugs bis zu einer iemperatur, die weniger als ICO⁰C unter der Entfestigungstemperatur der Grundlage liegt, vorgenommen wird, die -,vährend der Entstehung der Beschichtung (3) in einem Bereich zwischen dieser Erwärmungstemperatur der Grundlage und der temperatur + 5O⁰O bei gleichzeitiger regulierung des Drucks des gasförmigen ^eaktanten in einem Bereich von 13,3 Pa bis 1»33; IO Pa gehalten wird.

In der vorliegenden Erfindung ist die zwischenmole-

kulare Wechselwirkung- zwischen dem spanenden Werkzeug und dem zu "bearbeitenden Material auf ein Minimum gebracht worden, v;as zur Verringerung der Intensität der Prozesse der Adhäsions-, chemischen und Biffusionswechsilwirkung zwischen dem spanenden■'J-jrkzeug und dem zu bearbeitenden Material führt, v;as wiederum die Standzeit des spanenden Vverkzeugs erhöht.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

jQ Im folgenden ;-;ird die vorliegende Erfindung durch die Beschreibung eines konkreten Ausführungsbeispiels und anhand der beiliegenden Zeichnungen erläutert, und zwar zeigt:

Fig. I - die Gesamtansicht eines nach dem zum.Patent angebotenen Verfahren hergestellten spanenden Werkzeugs gemä'ss der Erfindung (t ei Iv? eis er Ausschnitt);

Fig. 2 - die Gesamtansicht eines spanenden Werkzeugs r;ie in Ug. I, mit kristallografisch^ Ebenen der I.likrokristalle, die minimale Oberflächenenergie aufweisen (teilweiser'Ausschnitt), gemäss der Srfidnung.

Beste Variante der Erfindung

Das spanende 7erkzeug enthält eine Grundlage I (5ig. I), deren Arbeitsfläche 2 eine Beschichtung 3 hat, die durch die Verbindung .'TiIT gebildet «;ird. In Fig. I sind schem'atisch (stark vergrössert) die Llikrolccistalle der Verbindung TiIT abgebildet, die mit ein und denselben kristallografischen Ebenen 4 parallel 3ur Grundlage I orientiert sind.

In Fig. 2 sind schematisch (stark vergrössert) die Llikrokristalle der Verbindung TiH abgebildet, die mit der durch minimale Oberflächenenergie gekennzeichneten kristallografischen jJbene parallel zur Grundlage I orientiert sind.

Das Verfahren zur Herstellung des zum Patent angebo"

tenen spanenden ί'/erkzeugs besteht darin, dass wenigstens ein Metall im Vakuum verdampft und ionisiert v.drd.· Dann erwärmt man die Grundlage des spanenden Vierkzeugs und säubert ihre Arbeitsfläche durch Bombardierung mit Uetallionen. Das Erwärmen der Grundlage des spanenden ',7erkzeugs wird bis zu einer Temperatur, die weniger als 100⁰G unter der jSntfestigungsteraperctur der Grundlage liegt, vorgenommen.

Die jJIrwärmungstemperatur wird während der Entstehung der Beschichtung in einem Bereich zwischen dieser !Temperatur .und. der-Temperatur + 5Q°G gehalten. Dann wird ein gasförmiger Reaktant zugeführt, der wenigstens ein Element aus der Gruppe G, K, O, B und Si enthält, dessen D_ruck 5 in einem Bereich von 13»33 bis 1,33; IO" Pa reguliert wird, und man lässt wenigstens ein Metall mit wenigstens einem lülement der Gruppe C, IT, 0, 3 und' Si reagieren, was zur Bildung einer verschleissfesten .Beschichtung führt, die Mikrokristalle einer hochschmelzbaren Verbindung w-e~ nigstens eines Metalls mit wenigstens einem Element aus der Gruppe G, IT, 0, B und'Si enthält, die mit ein und derselben kristallografischen ^bene parallel aur Arbeitsfläche der Grundlage orientiert sind.

Das spanende Werkzeug wirkt folgendermassen.

7ahrend des Prozesses der Metallverarbeitung tritt •die verschleissfeste Beschichtung 3 (i'ig. I, 2) mit dem su bearbeitenden Metall unter hoher temperatur und hohem Druck in ■.7echsel\;irkung, die in der Schneidzone entstehen. Die Orientierung einer maximalen Menge der Liikrokristalle mit ein und derselben kristenografischen Sbene 4 parallel zur Arbeitsfläche 2 der Grundlage I ermöglicht eine Verringerung der froien iiiergie der Arbeitsfläche 2 der Grundlage I, was zu einer Verringerung der Intensität der zwischennolekularen Wechsel·.·;irkung der Arbeitefläche 2 ftii; dem zu bearbeitenden Material führt.

7enn die kristallografische -jbene 3 (^iS· 2) der Orientierung der Llikrokristalle eine minimale Oberflächen-

energie besitzt, sinkt die zv;ischenmol elml are 'J kung bis auf einen minimalen '.Vert, wodurch die Standzeit des spanenden '.Terkzeugs noch mehr erhöht wird.

Zum besseren Verständnis der vorliegenden Erfindung

sind im folgenden konkrete Durchführungsbeispiele der Erfindung gezeigt.
Seispiel I.
Hergestellt v.-urden Bohrer β 5 mm und Irobckörper für eine liöntgen-CtrulrairunterGuchung der Beschichtung aus ctehl folgender Zusammensetzung:

0 Cr TT ~ V Mo Pe

0,85 5,6 b,0 2,0 5,0 Hest

inlasst empor at ur des Stahls - >60°0.

Lie von Verunreinigungen gesäuberten Bohrer und der i-robe-rörper für die i.iöntgen-Ctrulcturuntvjrsuchungen wurden in Lpczialkassetten gelegt und gleichzeitig in eine Vakuumkammer eingebracht, in der eine '^itankatode aufgestellt worden war. In der Kammer wurde ein Vakuum von

—5
b,ö5; IO Ta geschaffen, danach ein elektrischer Bogen gezündet und auf diese .Veise das 'Titan verdampft und ioniciort.

An die Bohrer und den Probekörper für die Hontgen-Ctrulcburuntersuchungen vdrde eine negative Spannung angelegt, die die positiv geladenen 'litanionen beschleunigt, und durch Bombardierung der .Arbeitsfläche der Bohrer und des Irobekörpcrs mit Titanion^n ^T»iiurde die oäuberung ihrer Oberfläche und das iiraärmen der Grundlage vorgenommen. Dann ;vurde die an die Bohrer und den Probekörper angelsgte Spannung verringert. Gleichzeitig strömte in die Kammer Stickstoff ein, der mit dem Titan reagierte bis zur üitstehung einer Beschichtung aus der hochschmelzbaren Verbindung 'ΓΐΙΤ, die iuikrokristalle enthält. Das Auftragen ■ der Beschichtung üil! auf die Arbtdtsflache der Boiirer und

-S-

die Oberfläche des Probekörpers V7urae bei verschiedenen 3rv7*ermungsverfahren der Bohrer und Probekörper und bei verschiedenen V/erten des Stickstoffdrucks vorgenommen.

Jedes Verfahren wurde an einer neuen Bohrersarie im Beisein eines neuen Probekörpers erprobt. Der Grientierurr;sgrad der Llikrokristalle der iiockscimelzbaren Verbindung Till v;urde nach der Methode der Rontgen-Etrukturuni; er suchung der BeSchichtung des Probekörpers nach der Höhe der

jQ Spitze der Beugung der Hontgenstrahlung von der kristallo-Srafischen jfoene- 4 (5) des I.Iikrokrictall3 mit minimaler Oberflächenenergie bestimmt. Die höchste Spitze der Beugung der Röntgenstrahlung von der ^bene 4 (5) mrd in der gegebenen Serie als IOO_;5 angenommen und im Vergleich dazu die Höhe der Spitzen der Beugung dieser Jtene der L'ikrokristelle 2iIT in den übrigen Versuchen eingeschätzt.

Je 5 Bohrer aus jeder fertigen Bohrerserie mit einer Beschichtung aus der hoch schmelzbar en Verbindung TiIT v.urden beim Bohren von 15 mm tiefen Löchern in Stahl der Zusammensetsung.

0,42 bis 0,49 [Rest

auf einer Genlcceclitboiirmaschine bei folgender' -Ar';eitsvjeise erprobt:

" Geschwindigkeit V = 4,5 m/min - Vorschubgrösse S = 0,03 mm

Die Tabelle I zeigt die Versuchsergebnisse der Serien der Bohrer und Probekörper für die üöntgen-Strukturuntersuchung en, die in neun verschiedenen Betriebsbedingungen hergestellt v-urden.

Die grösste Standzeit der Bohrer wird laut Versuchsergebnissen bei Einhaltung einer jjrvvärmungstemperatur der Grundlage eier Bohrer vor der einführung des Stickstoffs von 500 bis 55O°G, eines Drucks des■stickstoffs von 1,19 ^a ^"d ainer Jrvrernun^'stamp er atur der .Bohr or u ehr end dor ,VechGcl-.virkun·"; Css Titcns ait "ion Stickstoff in oinom

Bereich von 5O°C bis 5GO⁰C erreicht. Dabei zeichneten sich die Bohrer mit einer Beschichtung aus der hochschmelsbaron Verbindung TiIT, die Kikrokristalle enthält, deren überwiegende Kenge mit der Ubene 4 (5) parallel zur Arbeit sf lache der Grundlage orientiert ist, durch grösste Standzeit aus.

Beispiel 2.

Hergestellt v;urden Bohrer φ 5 mm und Frobekörper für Höntgen-btrukturuntersuchungen aus einer Hartlegierung der Zusammensetzung

'30 Co

92% 2est

mit einer Jiiit fest igung stemper at ur von 700 bis 720⁰C.

Die von Verunreinigungen gesäuberten Bohrer und ein Frobekörper für iiöntgen-Strukturunt er suchung en wurden gleichseitig in eine Vakuumkammer eingebracht, in der sich eine Katode aus einer aus 50% Ti und 50% Hf bestehenden Legierung befand. Das Auftragen der Beschichtung geschah analog vjie im Beispiel I, jedoch mit dem Unterschied, dass sich in der Vakuumkammer'eine Katode aus einer aus 50% Di und 50% Hf bestehenden Legierung befand. Die Beschichtung aus der hochschmelzbaren Verbindung (Ti, PIf)H wurde auf die Oberfläche der 3ohrer und Frobekörper nach verschiedenen 3rv;ärmungsverfahren der Bohrer und Frobekörper und bei verschiedenen Drücken dos Stickstoffs aufgetragen. Der Crientierungsgrad der Llikrokristalle der ho cn schmelzbar en Verbindung ?;urde v;ie im Beispiel I gemessen.

Jq 5 Bohrer aus jeder fertigen Bohrerserie mit einer

jjO Beschichtung aus der hochschaelzbaren Verbindung (ü,Hf)IT viurden beim Bohren von Löchern in Graphit auf einer Senkrechtbohrmaschine bei folgender Bohrweise erprobt:

- Gesc-LYjindigkeit V = 63 m/min

- Vorschub.grösse S = 0,13 mm/U - 2iefs des Loches 1 = 16 mm

Die Tabelle I zeigt die Vercuciiser^obnisse der Bohrer

■ - jo -

und der frobekörper für die ilöntgen-Ctralrburuntersuciiun"-gen, die unter verschiedenen Betriebsbedingungen ^srgestellt v.urden. Die grösfcte Standzeit der Bohrer wird laut Ver-Suchsergebnissen bei Einhaltung einer Erwärmungstemperatür der Hartlegierungsgrundlage vor der Einführung des Stickstoffs von 600° bis 70O°0, eines Drucks des Stick-

-1
stoffs von 6,65; IO Pa und einer Erwärmungstemperatur der Hartlegierungsgrundlage während des Auftragens der Beschichtung von ICO⁰G bis 600°C erreicht.

Dabei zeichnen sich die Bohrer mit einer Beschichtung aus der hochschmelzbaren Verbindung (Ti, Hf)IT, die LSikrokristalle enthält, deren überwiegende Menge mit der durch miniaale Oberflächenenergie gekennzeichneten Sbene 4 (5) parallel zur Arbeitsfläche der Grundlage orientiert ist, durch grösste Standzeit aus.

339Q522

Tabelle I

Lfd. Jerkzeug iSrwärmungstenperatur Druck des ITr. · der Grundlage Stickstoffs

bei der Born- bei Ent- ^^a

bardierung stehung
durch Metall- der Beionen, schichtung.

O/-t art

Bohrer aus Stahl	500	400	1,33	-Hf²
mit einer Be			2,66	•ίο-²
schichtung aus
der hochschiaelz-	500	400	6,65	• io"²
baren Verbindung	5OO	400	3,99	•ίο"²
TiH	500	400	1,19
	500	400	2,66
	550	40	3,99	•ίο"¹
	550	50	3,99	•ίο"¹
	550	400	3,99	•ίο"¹
	550	500	3,99	• ίο"¹
Bohrer aus einer	650	600	1,33	• ίο"²
Hartlegierung	65O	600	6,65	• io"²
mit einer Be	650	600	1,19
schichtung aus	650	600	1,33
der hochschmelz	650	600	2,66
baren Verbindung	650	40	# 6,65	• io"¹
(Ti, Hf)IT
	650	30	6,65	• 10 "¹
	650	100	6,65	•ίο"¹
	650	500	6,65	• ίο'¹
	750	500	6,65	• ίο"¹
	400	400	6,65	•ίο"¹

ft · -	Port setzung	der	33905	22


γ -		Tabelle I

Intensität der Beugung Versuchsergebnisse Zoeffizient der Röntgenstrahlung (Anzahl der der Srhöhung

von der Orientierungs- Löcher) ebene der Uikr©kristalle

der Standzeit

40 60 90 100

30 80

90 100 40 60

'30 100

30

60

80

100

85

450	1,0
650	1,44
750	1,7
810	1,8
350	-
450	1,0
700	1,6
750	1,7
SOO	1,8
410
5OO	2,08
800	3,3
IO7O	4,4
240	-
260	I₇I
500	2,1
750	3,1
1Q7O	4,4
3OO	5,3
580	2,4

Lie vorliegende Erfindung kann für die ■Metallbearbeitung durch νerschiedende Zerspanungsarten angewendet werden.

Die Erfindung ermöglicht aurserdem eine Verbesserung der Qualität von ^ussenflächen- und iCorxOsicnssciiutzuberzügen und eine Verbesserung der Betriebsciiaralcteristiken der Bauteile von gleitenden Paarungen.

Industrielle Anwendbarkeit

Die Erfindung kann für die Herstellung von spanendem werkzeug aus verschiedenartigen, für die >7erkseugherstellung verwendeten "Werkstoffen eingesetzt

Claims

1. Spanendes Werkzeug, das eine Grundlage enthält, auf deren Arbeitsfläche eine vercchleissfeste Beschichtung aufgetragen ist, die Liilcrolcristalle einer hochschmelzbaren Verbindung wenigstens eines - LI et s Ils mit wenigstens einem Element aus der Gruppe C, IT, O und 3 enthalt, dadurch ge kennz eic Ii net, dass die maxiaale Anzahl der llikrokristalle einer hochschmelzbaren Verbindung wenigstens eines Metalls mit wenigstens einem Clement aus der Gruppe G, IT, 0 und 3, die zusätzlich Si enthält, mit ein und der~ selben kristallografischen ifoene (4, 5) Parallel zur Arbeitsfläche (2) der Grundlage (I) orientiert itt.

2. Werkzeug nach Anspruch I, da durch.ge -

k e η η ζ e i c h η e t, dass die kristallogrsfische .ibene (4, 5) der Orientierung der i.iikrokristalle durch eine minimale Oberflächenenergie gekennzeichnet' ist.

3. Herstellungsverfahren von spanendem Werkzeug nach Anspruch I, das im Verdampfen und Ionisieren wenigstens eines Metalls im Vakuum, im IMiitzen der Grundlage des spanenden V/erkzeugs, in der. Säuberung-der .Arbeitsfläche der G_rundlage durch Bombardierumg mit Ionen wenigstens eines Uetalls, in der anschliessenden Zuleitung eines gasförmigen xieaktanten in das Vakuum und in der _;Vech£elwirlamg wenigstens eines Lletalls mit wenigstens einem seinen j'loment bis zur iiitstehung einer verschleissfasten Beschichtung aus ihrer hochschmelzbaren Verbindung, die Llikrokristalle enthält, besteht, d a g u r c h g e k e η η ξ 3 ic h η e. t, . dass das ^rhitsc-n der Grundlage (I) des spanenden Werkzeugs

pQ bis zu einer Temperatur, die weniger' als ICO⁰G unter der -jitfestigungstemperatur der Grundlage liegt, vorgenommen wird, die während der Entstehung des Belags. (3) in einem Bereich zwischen dieser Erwärmungstamperatur der Grundlage und der Temperatur 50°C bei gleichzeitiger Regulierung

des Drucks des gasförmigen Reaktanzen in einem Bereich von 13,3 Pa bis 1,33 · io""² Pa gehalten wird.