DE2906695C2

DE2906695C2 - Sensor für brennbare Gase

Info

Publication number: DE2906695C2
Application number: DE2906695A
Authority: DE
Inventors: Michio Ibaragi Osaka Matsuoka; Seiichi Kadoma Osaka Nakatani; Yoshikiko Osaka Nakatani; Masayuki Katano Osaka Sakai
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1978-02-20
Filing date: 1979-02-19
Publication date: 1985-02-28
Also published as: JPS5853862B2; JPS54111398A; FR2417765A1; NL188309C; GB2017674B; US4241019A; FR2417765B1; DE2906695A1; GB2017674A; NL7901329A; NL188309B

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sensor für brennbare Gase mit einem gesinterten Fühlelement, das als Hauptbestandteil y-Elsenoxid (^-Fe₂O₃) und als Zusätze eine Aluminiumoxidkomponente und eine Seltenerdenoxidkomponente wie Lathanoxid oder Ceroxid aufweist, wobei die Mengen der Zusätze von Bruchteilen au eines Mol-% bis 10 oder 20 Mol-% der Basis des gesinterten Fühlelementes ausmachen, das zur Konzentrationsbestimmung reduzierter Gaskomponenten mit seinem elektrischen Widerstand als Meßgröße dient, mit auf dem Fühlelement angebrachten Elektroden zur Messung seines elektrischen Widerstandes und mit einem Heizelement, das ihn auf einer bestimmten Betriebstemperatur hält.

Bei einem bekannten Sensor dieser Art (DE-OS 26 51 160) wird die einen Zusatz bildende Alumlniumoxid-2> komponente von Or-Al₂O₃ gebildet, das eine Korundstruktur aufweist und für die Erzielung einer hohen thermischen Stabilität des Sensors nicht besonders geeignet ist.

Es hat sich herausgestellt, daß y-Eisen(III)-oxid ()>-Fe₂O₃) mi! einer Spinell-Struktur ausgezeichnete Eigenschaften als Gasfühler aufweist. Eisen(III)-oxld liegt in unterschieulichen Kristallformen vor, die sich in ihren chemischen und physikalischen Eigenschaften weitgehend unterscheiden. Neben ar-Eisen(III)-oxid (ar-Fe₂O₃) mit 3» Korundstruktur sind auch das V-Fe₂O₃, das /3-Fe₂O₃, das Or-Fe₂O₃ usw. bekannt. Unter ihnen weist nur das y-Fe₂O₃ brauchbare Gasfühleigenschaften.

Die Empfindlichkeit dieses y-Fe₂O, gegenüber dem Reduziergas, nämlich einem brennbaren Gas, ist am stärksten ausgeprägt bei einer Temperatur von 300 bis 400° C. Die höchste Empfindlichkeit tritt bei etwa 350° C auf und sie wird gewöhnlich definiert als das Verhältnis R_a (Widerstand in Luft) zu R_g (Widerstand in dem zu .'5 erfassenden Gas). Eine wesentliche Größe für ein Gasfühlelement ist die Änderung des Elementwiderstandes pro Gaskonzentrationseinheit innerhalb des Konzentrationsbereiches, In dem die Gasermittlung durchgeführt werden soll. Dieses sogenannte Widerstandsänderungsverhältnis soll so groß wie möglich sein und es bestimmt, wie eine Gaskonzentration quantitativ ermittelt werden kann. Um ein Gasfühlelement hoher Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit zu erreichen, muß nicht nicht nur die Empfindlichkeit des Elements eher hoch sein, ■411 sondern auch unter schwierigen Arbeitsbedingungen langzeitig stabil bleiben.

Weiterhin wird bei der Herstellung von Sensoren im allgemeinen ein Alterungsschritt durchgeführt, der jedoch die Produktivität beeinträchtigt und die Kosten erhöht. Aus diesem Grund sollte der erzeugte Sensor bereits unmittelbar nach der Herstellung und über einen langen Zeltraum stabile Eigenschaften aufweisen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sensor für brennbare Gase gemäß der eingangs erwähnten ■45 Art derart zu schaffen, daß die Änderung des Widerstandes des Fühlelementes pro Gaskonzentrationseinheit Innerhalb des Konzentrationsbereiches, in dem die Gasermittlung durchgeführt wird, auch bei hohen Temperaturbedingungen sowie bei hohem Feuchtigkeitsgehalt über einen langen Verwendungszeitraum des Sensors so groß wie möglich bleibt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Aluminiumoxidkomponente 0,5 bis 0,70 Mol-96 y-Aiumlnlumoxld (y-Al₂O₃) und die Seltenerdenoxidkomponente Insgesamt 0,05 bis 15 Mol-96 mindestens einer Substanz aus der aus Lanthan (La), Cer (Ce), Praseodym (Pr) und Neodym (Nd) bestehenden Gruppe als La₂O₃, Ce₂O₃, Pr₂O₃ bzw. Nd₂O₃ beträgt.

Der erfindungsgemäße Sensor wird nun anhand der Zeichnung beschrieben. In letzterer 1st

FI g. 1 eine Perspektivdarstellung des beanspruchten Sensors in Form einer Sinterschicht, und
FI g. 2 eine Perspektivdarstellung des beanspruchten Sensors in Form eines Sinterkörpers.

Indem man V-Fe₂O₃ und y-Al₂O₃ sowie verschiedene Zusätze verwendet, erhält man ein Gasfühlelement, mit einem hohen Widerstandsänderungsverhältnis, das in der Lage 1st, Gaskonzentrationen quantitativ gut zu erfassen sowie seine Eigenschaften auch unter schwierigen Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen langzeitig beizubehalten.

Beispiel 1

Es wurden Fe₃O₄ (mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,3 um), y-Al₂O₃ und Nd₂O₃ In unterschiedlichen Verhältnissen, wie in Tabelle 1 angegeben, zusammengefügt, die jeweiligen Mischungen in einem Gefäß aus nichtrostendem Stahl mit Kugeln aus nichtrostendem Stahl naß vermählen und dann gepulvert. Die so hergestellten Mischungen wurden bei 80° C vakuumgetrocknet und dann in Vakuum bei 800° C eine Stunde lang gesintert. Der so hergestellten Sintermischung wurde Polyäthylenglycol hinzugegeben, um eine Paste herzustellen.

Es wurde ein Aluminiumoxidsubstrat 1 mit einer Länge von 5 mm und einer Breite von 5 mm sowie einer Dicke von 0,5 mm zur Aufnahme eines Gasfühlelements hergestellt. Auf dieses Aluminiumoxidsubstrat 1 wurde die oben erläuterte Paste in einer Dicke von etwa 70 μΐη gedruckt, an der Luft bei Raumtemperatur

getrocknet und schließlich bei 400° C e'ne Stunde lang an Luft gesintert; auf diese Weise entstand ein Gasfühlelement 2. Auf das Element 2 wurden Kammelektroden 3 durdi Aufdampfen von Gold bei einem Abstand von > 0,5 mm zwischen den Elektroden aufgebracht und auf die gegenüberliegende Seite des Substrats eine handelsübliche Widerstandsglasurpaste aus Rutheniumoxid aufgetragen und die Paste zu einem Glasurwiderstand 4 als Heizelelement aufgesintert. Auf das Heizelement 4 wurden Goldelektroden 5 gedruckt und die Elektroden als Heizerelektroden aufgesintert. Zuleitungsdrähte b wurden mit der Elektroden 3 und 5 mittels einer leitfähigen Paste verbunden. . '"

An diesem Punkt ist das Ausgangs-Fe₃O₄ zu V-Fe₂O₃ oxidiert und sind die Lösungsmittel in den Pasten verdampft, so daß man eine Sinterschicht 2 mit einer für die Praxis ausreichenden mechanischen Festigkeit erhält. Die Dicke des so hergestellten Gasfühlelements 2 betrug etwa 50 μΐη.

An den so hergestellten unterschiedlichen Sensoren wurden Messungen durchgeführt. Mit dem Strom im Heizelement 4 wurde jeweils die Temperatur des Elements für die Messung eingestellt. Der Widerstand (/?„) des Elements in Luft wurde in einem 50-1-Gefäß gemessen, in dem trockene Luft so in Bewegung gehalten wurde, daß keine turbulente Luftströmung entstand. Der Widerstand (R_a) des Elements In einem Gas wurde in dem oben erwähnten Behälter gemessen, indem Isobutan-Gas von mehr als 99% Reinheit mit 10 ppm/s (Volumenprozent) in den Behälter eingelassen wrrde. Die Widerstandsmessung von (R_g) erfolgte an zwei Punkten, und zwar wenn das eingeführte Gas 0,05 Vol.-* sowie 0,5 Vol.-% erreichte [R_s (0,05) bzw. R_g (0,5)]. Der Grund für *> die Wahl dieser Werte ist die niedrige Explosionsgrenze von Isobutan mit etwa 2 Vol.-95; es muß also ein Brenngiis-Fühlelement das Gas vom praktischen Gesichtspunkt aus im Bereich von etwa ¹Z₅₀ bis V₅ des Explosionsgrenzwerts erfassen können. Während der Messung wurde das Element durch Stromzufuhr zum Heizelement auf 350° C gehalten.

Bei Sensoren dieser Art ist der Elementwiderstand R₁, im Konzentrationsbereich von beispielsweise 0,05 bis -^ 0,5 Vol.-% im wesentlichen proportional zu C"", wobei C die Konzentration des zu erfassenden Gases ist. Das oben erwähnte Widerstandsänderungsverhältnis läßt sich also mit der Konstance (/;) ausdrücken, die im folgenden als »Konzentrationsfaktor« bezeichnet werden soll. Bspw. ist für ein Widerstandsänderungsverhältnis von 6,02 der Konzentrationsfaktor η = 0,780.

Danach wurde das Element einem Dauerlasttest unterzogen. Es wurde dabei das jeweilige Heizelement mit -¹» Strom so gespeist, daß das Element auf 350° C b'ueb, und dann 10 V- über die Elektroden 3 gelegt; unter diesen Bedingungen wurde das Element in einer Atmosphäre mit einer Temperatur von 60° C und einer relativen Feuchtigkeit von 95% vorgehalten. Zu zwei Zeltpunkten (20 und 2000 Std.) nach dem Anlegen des Heizstroms und der Gleichspannung wurden die Gasfühleigenschaften jedes Elements gemessen. Die Tabelle 1 zeigt die so erfaßten Anfangswerte R_g, η sowie deren Änderungswerte Z(R₈, Δη. ^;-

WIe sich aus den oben erläuterten Versuchsergebnissen zeigt, hat ein Gasfühlelement nach der vorliegenden Erfindung mit 0,5 bis 70 Mol-% V-Ai₂O₃, 0,05 bis 15 Mol-% Nd₂O₃, Rest V-Fe₂O₃ im für die Erfassung praktischen Gasko-izentrationsbereich ein sehr hohes Widerstandsänderungsverhältnis und kann das Gas quantitativ gut erfassen. Darüber hinaus sind seine Gasfühleigenschaften bereits unmittelbar nach Herstellung des Elements und über einen langen Zeltraum danach selbst unter Arbeltsbedingungen wie einer Temperatur von 60° C und ·»< > .einer relativen Feuchtigkeit von 95% stabil. Ein Gasfühlelement nach der vorliegenden Erfindung braucht daher nicht gealtert zu werden.

Bisher sind oben y-Al₂O₃ und Nd₂O₃ als beispielhafte Zusätze zu V-Fe₂O₃ angegeben worden. Ahnliche Resultate lassen sich erzielen, wenn man Nd₂O₃ durch La₂O₃, Ce₂O₃ oder Pr₂O₃ ersetzt. Auch in diesem Fall entspricht der Mengenanteil einer dieser Substanzen In der Zusammensetzung mit V-Ai₂O₃ und y-Fe₂O₃ dem 4< • Fall Nd. Liegen y-Al₂O₃ zu weniger als 0,5 Mol-% oder Nd₂O₃, La₂O₃, Ce₂O₃ oder Pr₂O₃ zu weniger als 0,05 Mol-% vor, reicht die Wirkung dieser Zusätze nicht aus, um ein Gasfühlelement mit hochstabilen Gasfühleigenschaften übe: längere Einsatzzeiten unter hoher Temperatur und Feuchtigkeit zu erreichen. Liegen weiterhin mehr als 70 Mol-% y-Al₂O₃ vor, wird der Widerstand des Gasfühlelements anomal hoch, ob das Element die Form eines Sinterkörpers oder einer Sinterschicht hat; weiterhin hat das Element keine ausreichende mechani- *> sehe Festigkeit. Beträgt der Anteil des Nd₂O₃, La₂O₃, Ce₂O₃ oder Pr₂O₃ mehr als 15 Mol-%, hat das Fühlelement unter hoher Temperatur und hoher Feuchtigkeit keine ausreichende Standzelt.

In diesem Beispiel 1 1st die Verwendung von nur Nd₂O₃, La₂O₃, Ce₂O₃ und Pr₂O₃ beschrieben. Entsprechende Ergebnisse lassen sich jedoch erzielen, wenn man zwei, drei oder alle vier dieser Elemente gemeinsam als Zuschläge zu y-Al₂O₃ und V-Fe₂O₃ einsetzt, sofern der gemeinsame Anteil im Bereich von 0,05 bis 15 Mol-% liegt. Die Einzelheiten dieser mehreren Zuschläge sollen im folgenden Beispiel erläutert werden.

Beispiel 2

70 Mol-% eines Fe₃O₄-Pulvers (durchschnittliche Teilchengröße 0,5 μίτι), 25 Mol-% und y-AI₂O₃-Pulver sowie «« insgesamt 5 Mol-% mindestens einer der Substanzen La₂O₃, Ce₂O₃, Pr₂O₃ und Nd₂O₃ (in unterschiedlichen Zusammensetzungen) wurden wie im Bsp. 1 zu den verschiedenen in der Tabelle 2 aufgeführten Mischungen naß vermählen und gepulvert, dann jede Mischung bei 80° C unter Unterdruck getrocknet. Die so erhaltenen Mischpulver wurden zu einem rechteckigen Parallelepiped druckgeformt, In Stickstoff eine Stunde bei 800° C gesintert, auf Raumtemperatur ofengekühlt, dann allmählich in Luft auf 400° C erwärmt und eine Stunde auf <>5 400° C vorgehalten; auf diese Welse wurde das Mischmaterial oxidiert. An diesem Punkt war das Fe₂O₄ zu V-Fe₂O₃ umgewandelt. Auf dem so hergestellten Sinterkörper 7 wurde Gold zu einem Paar Kammelektroden 8 aufgedampft und auf seine gegenüberliegende Seite ein Platinheizelement 9 mit einem anorganischen Kleber

■ ³

aufgeklebt. Zuleitungsdrä'hte 10 wurden an den Kammelektroden 8 und dem Heizelement 9 mit einer leitfähigen Paste angebracht. Die Arbeitstemperatur jedes Sensors wurde mit dem an den Heizer 9 gelegten Strom eingestellt. Die Elementtemperatur wurde auf 350° C gehalten und die Gasfühleigenschaften der Gasfühlelemente unter den gleichen Bedingungen wie im Beispiel 1 gemessen. Danach wurden die Sensoren in einer Atmosphäre von 60° C und 95% rel. F. für die Dauer von 2000 Stunden vorgehalten und dabei die Elementtemperatur auf 350° C gehalten. Nach diesen Dauertests wurden die Sensoren aus der Atmosphäre genommen, an ihnen die Gaseigenschaften gemessen und diese gemessenen Eigenschaften mit den oben gemessenen Anfangswerten verglichen; die Tabelle 2 zeigt die Ergebnisse. Wie sich aus der Tabelle 2 ergibt, haben die Sensoren nach diesem Beispiel 2 sehr gute Dauerlasteigenschaften unter hohen Temperature^ und hoher Feuchtigkeit wie im Beispiel 1.

Im Beispiel 1 handelt es sich bei dem Sensor um eine Sinterschicht, Im Beispiel 2 um einen Sinterkörper. Wie sich zeigt, lassen sich mit In beiden Fällen sehr gute Ergebnisse sowohl hinsichtlich der Anfangs- als auch der Dauerlasteigenschaften bei hoher Arbeltstemperatur und -feuchtigkeit erreichen, obgleich die Absolutwerte der Widerstände sich für die Sinterschicht von denen des Sinterkörpers unterscheiden.

In den Beispielen wurde ein Glasurheizelement aus Rutheniumoxid oder ein Platinumheizelement angegeben. Man kann jedoch auch andere Heizelemente verwenden bspw. ein Heizwendei. Weiterhin wurden In diesen Beispielen La, Ce, Pr und Nd als Oxide zugegeben. Auch andere Verbindungsformen bspw. Karbide lassen sich hier verwenden, wenn sie sich beim Erwärmen auf eine hohe Temperatur zu den entsprechenden Oxiden umwandeln. Schließlich war in den Beispielen das Ausgangsmaterial für das y-Ferrloxld Fe₃O₄. Auch andere Ausgangssubstanzen lassen sich verwenden, wenn sie in dem resultierenden Gasfühlelement zu V-Fe₂O₃ werden.

Wie sich aus der obigen Beschreibung ergibt, weist der Sensor nach der vorliegenden Erfindung ein hohes Widerstandsänderungsverhältnis, d. h. einen hohen Konzentrationsfaktor auf. Weiterhin zeigt er ausgezeichnete Dauerlasteigenschaften unter hoher Temperatur und hoher Feuchtigkeit, denen der Sensor im Einsatz ausgesetzt ist. Die Anfangseigenschaften des Sensors bleiben daher an einem bspw. unmittelbar dem Sonnenlicht ausgesetzten Ort, in einer Küche oder einem Badezimmer, wo die Feuchtigkeit sehr hoch Ist, und anderswo über längere Zeit erhalten.

Weiterhin lassen sich erforderlichenfalls weitere Zuschläge, die in den oben genannten Beispielen nicht genannt sind, einsetzen, wenn die mit dem oben erläuterten Sensoren erreichten Eigenschaften von Ihnen nicht beeinträchtigt werden. Weiterhin ist der Sensor nicht nur für Isobutan wirksam, sondern auch für andere brennbare Gase wie Äthan, Propan und Wasserstoff, obgleich es hler nur an Isobutan erläutert ist.

Tabelle 1

Probe Zusammensetzung (Mol-%) Anfangswert

Nr.

Y-Fe₂O₃ Y-Al₂O₃ Nd₂O₃ Ra Rg (0,5) η

(ΚΩ) (ΚΩ)

Änderung der Eigenschaften nach dem Dauerlasttest

Nach 20 Std.
Δ Rg (0,5) Δ η

nach 2000 Std. Δ Rg (0,5) Δ η

1*)	100,0	0	0	640	31
2*)	90,0	10,0	0	692	34
3*)	95,0	0	5,0	648	32
4*)	99,9	0,1	0,01	643	30
5	99,45	0,5	0,05	652	32
6*)	98,99	1,0	0,01	680	34
7*)	94,9	0,1	5,0	648	33
8	90,0	5,0	5,0	684	36
9	85,0	10,0	5,0	693	37
10	75,0	20,0	5,0	815	39
Il	45,0	50,0	5,0	887	41
12	15,0	70,0	15,0	1247	58
13*)	20,0	75,0	5,0	3400	194
14	79,5	20,0	0,5	810	41
15	79,0	20,0	1,0	813	38
16	70,0	20,0	10,0	876	40
17*)	60,0	20,0	20,0	858	48
*) Vergleichsproben
(Al₂O₃ :	: 25 Mol-% [konstant].	Rest V-Fe₂O₃)

0,59 0,74 0,60 0,61 0,68 0,63 0.59 0,69 0,76 0,77 0,70 0,68 0,55 0,77 0,76 0,74 0,64

- 3,4
+ 10,6

- 4,1

- 3,2

- 1,1
+ 3,4

- 2,7
+ 2,6
+ 2,7
+ 0,8
+ 0,8
+ 4,3
+ 4,8
+ 2,9
± 0
+ 3,4
+ 4,2

-4,2

- 1,0
-6,3

-5,7

- 1,1
-2,2
-2,1

- 1,4
-0,9
-0,5
-1,9
-4,0
-5,1
±0
-0,7
±0
-0,9

+ 38,2 + 24,6 + 27,4 + 38,1 + 4,3 + 11,4 + 20,3 + 3,5 + 3,0 + 2,1 + 3,1 + 4,8 + 6,2 + 3,4 + 2,8 + 3,4 + 16,9

- 17,3 -12,4

- 10,7 -16,8

- 3,2 -11,6

- 9,7

- 4,8

- 4,1

- 0,7

- 2,0

- 4,9

- 9,8

- 0,8

- 1,1

- 1,0

- 7,8

Tabelle 2

Probe Zusammenselzung (Mol-%)

^Nr· La₂O₃ Ce₂O₃ Pr₂O₃ Nd₂O₃

Ra /?£(0,05) Rg (0,5) Widerstand- Konzen-

(ΚΩ) (ΚΩ) (Κ.Ω) änderungs- trations-

verhältnis faktor

21*)	0	0	0	.0
22	5,0	0	0	0
23	0	5,0	0	0
24	0	0	5,0	η V
25	0	0	0	5,0
26	2,5	2,5	0	0
27	0	2,5	2,5	0
28	0	0	2,5	2,5
29	2,5	0	0	2,5
30	2,0	1,0	1,0	0
31	0	2.0	2.0	1.0

2,0 1,0 0

2,0 1,0

1,0

Anfangswert 604

Wert n. d. Test 560

Anfangswert 612

Wert n. d. Test 634

Anfangswert 889

Wert n. d. Test 861

Anfangswert 684

Wert n. d. Test 644

, „ Anfangswert 788

Wert n. d. Test 749

Anfangswert 777

Wert n. d. Test 782

Anfangswert 807

Wert n. d. Test 809

Anfangswert 833

Wert n. d. Test 845

Anfangswert 667

Wert n. d. Test 656

Anfangswert 786

Wert n. d. Test 790

Wert n. d. Test 828

τ _n Anfangswert 844 '^U Wert η. d. Test 845

2,0

. ₀

Anfangswert 690

Wert η. d. Test 699

Anfangswert 843

Wert n. d. Test 856

193 206	37 45	5,17 4,57	0,71 0,66
197 209	33 35	5,94 5,91	0,77 0,77
274 288	53 57	5,16 5,01	0,71 0,70
201 213	36 38	563 5,52	0,75 0,74
226 230	39 40	5,81 5,78	0,76 0,76
231 233	38 39	6,08 5,97	0,78 0,78
235 238	39 40	6,02 5,95	0,78 0,77
252 256	40 41	6,30 6,24	0,80 0,79
208 201	36 36	5,78 5,58	0,76 0,74
233 235	37 38	6,29 6,18	0,80 0,79
239 239	40 41	5,98 5,82	0,77 0,76
253 255	41 42	6,17 6,07	0,79 0,78
NJ NJ O Ui	37 37	5,81 5,67	0,76 0,75
263 260	42 43	6,26 6,04	0,79 0,78

2»

*) Vergleichsbproben

(AI₂O₃: 25 Mol% [konstant]. Rest 7-Fe₂O₃)

.1(1

40

45

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentanspruch:

Sensor für brennbare Gase mit einem gesinterten Fühlelement, das als Hauptbestandteil y-Eisenoxld Cy-Fe₂O₃) und als Zusätze eine Aluminiumoxidkomponente und eine Seltenerdenoxidkomponente wie Lathanoxid oder Ceroxid aufweist, wobei die Mengen der Zusätze von bruchtellen eines Mol-% bis 10 oder 20 Mol-96 der Basis des gesinterten Fühlelementes ausmachen, das zur Konzentrationsbestimmung reduzierter Gaskon:- ponenten mit seinem elektrischen Widerstand als .Meßgröße dient, mit auf dem Fühlemenent angebrachten Elektroden zur Messung seines elektrischen Widerstandes und mit einem Heizelement, das ihn auf einer bestimmten Betriebstemperatur hält, dadurch gekennzeichnet, daß die Alumln'umoxldkomponente 0,5 bis 0,70 Mol-*, y-Aluminiumoxid Cy-Al₂O₃) und die Seltenerdenoxidkomponente insgesamt 0,05 bis 15 Mol-% mindestens einer Substanz aus der aus Lanthan (La), Cer (Ce), Praseodym (Pr) und Neodym (Nd) besiehenden Gruppe als La₂O₃, Ce₂O₃, Pr₂O₃ bzw. Nd₂O₃ beträgt.