JPS6156952A - 感湿抵抗素子 - Google Patents
感湿抵抗素子Info
- Publication number
- JPS6156952A JPS6156952A JP59181287A JP18128784A JPS6156952A JP S6156952 A JPS6156952 A JP S6156952A JP 59181287 A JP59181287 A JP 59181287A JP 18128784 A JP18128784 A JP 18128784A JP S6156952 A JPS6156952 A JP S6156952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- sensitive
- film
- moisture sensitive
- humidity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
- G01N27/126—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising organic polymers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
、−本発明は雰囲気中の湿度に感応する感湿膜を高分子
電解質で構成し、該感湿膜の抵抗値が湿気（水分）の吸
脱着に伴なって変化することを利用して湿度を検出する
抵抗変化型感湿素子に関するものである。
電解質で構成し、該感湿膜の抵抗値が湿気（水分）の吸
脱着に伴なって変化することを利用して湿度を検出する
抵抗変化型感湿素子に関するものである。
〈従来技術〉
雰囲気中の湿気や水蒸気に感応して電気抵抗値あるいは
電気容量が変化する感湿材料としては、従来よりの酸化
鉄（Ｆｅ２０３またはＦｅ５０．４ ）、酸化錫（Ｓｎ
０２） などの金属酸化物の焼結体または金属酸化膜
を用いたもの、■親水性高分子または高分子電解質を用
いたもの、■塩化ジリチウムＬｉＣ１）などの電解質塩
を用いたもの、■吸湿性高分子膜に炭素などの導電性粒
子捷たは繊維を分散させたものなどが知られている。
電気容量が変化する感湿材料としては、従来よりの酸化
鉄（Ｆｅ２０３またはＦｅ５０．４ ）、酸化錫（Ｓｎ
０２） などの金属酸化物の焼結体または金属酸化膜
を用いたもの、■親水性高分子または高分子電解質を用
いたもの、■塩化ジリチウムＬｉＣ１）などの電解質塩
を用いたもの、■吸湿性高分子膜に炭素などの導電性粒
子捷たは繊維を分散させたものなどが知られている。
一般に、金属酸化物及び高分子電解質を用いた感湿素子
は、広い感湿範囲を有する反面、素子の抵抗値が相対湿
度の値に対応して指数関数的に変化する。また金属酸化
物を用いた感湿素子は、耐熱性に優れ、感湿応答速度が
速い特徴を有する反面素子の抵抗値が高く、且つ比較的
大きな抵抗温度依存性を有するなどの欠点を有している
。特に、金属酸化物焼結体に於いては、感湿特性が構造
因子に大きく左右されるため感湿特性の再現性或いは互
換性が充分でないなどの欠点を有する。塩化リチウム々
どの電解質塩を用いた感湿素子は検出し得る湿度範囲か
狭く、特に高湿度雰囲気中に長時間素子を放置すると電
解質塩が溶出または希釈されるために感湿特性が著しく
劣化するなどの理由で、高湿度雰囲気の測定には利用す
ることができない。さらに吸湿性樹脂などに導電性粒子
或は繊維などを分散させた感湿素子は、高湿度雰囲気中
では急峻な抵抗変化を生じる反面、低湿度雰囲気中では
感度が々く、広範な湿度領吠の検知には利用することか
できない。
は、広い感湿範囲を有する反面、素子の抵抗値が相対湿
度の値に対応して指数関数的に変化する。また金属酸化
物を用いた感湿素子は、耐熱性に優れ、感湿応答速度が
速い特徴を有する反面素子の抵抗値が高く、且つ比較的
大きな抵抗温度依存性を有するなどの欠点を有している
。特に、金属酸化物焼結体に於いては、感湿特性が構造
因子に大きく左右されるため感湿特性の再現性或いは互
換性が充分でないなどの欠点を有する。塩化リチウム々
どの電解質塩を用いた感湿素子は検出し得る湿度範囲か
狭く、特に高湿度雰囲気中に長時間素子を放置すると電
解質塩が溶出または希釈されるために感湿特性が著しく
劣化するなどの理由で、高湿度雰囲気の測定には利用す
ることができない。さらに吸湿性樹脂などに導電性粒子
或は繊維などを分散させた感湿素子は、高湿度雰囲気中
では急峻な抵抗変化を生じる反面、低湿度雰囲気中では
感度が々く、広範な湿度領吠の検知には利用することか
できない。
また、親水性高分子膜或は高分子電解質膜を用いた感湿
素子では、感湿範囲か広く且つ感湿応答速度が速く、捷
た素子構造及び素子作製方法が比較的簡単々ため、低コ
スト化し易いなどの特徴を有する反面、従来のものは高
湿度雰囲気あるいは結露状態に長く放置すると素子特性
が変化し、而・ｊ湿・耐水性の点で問題があった。さら
に、従来のゝ（親水性高分子膜或は高分子電解を用いた
感湿素子では１００℃等の高温に素子を放置すると素子
が劣化するか又は一時的に素子特性が変化する等、耐熱
性の而で弱い欠点を有していた。
素子では、感湿範囲か広く且つ感湿応答速度が速く、捷
た素子構造及び素子作製方法が比較的簡単々ため、低コ
スト化し易いなどの特徴を有する反面、従来のものは高
湿度雰囲気あるいは結露状態に長く放置すると素子特性
が変化し、而・ｊ湿・耐水性の点で問題があった。さら
に、従来のゝ（親水性高分子膜或は高分子電解を用いた
感湿素子では１００℃等の高温に素子を放置すると素子
が劣化するか又は一時的に素子特性が変化する等、耐熱
性の而で弱い欠点を有していた。
〈発明の目的〉
本発明は、以上に述べた様な従来の感湿素子が有してい
た欠点を解消するためになされたもので、特に耐湿・耐
水性に優れ、且つ素子抵抗が比較的小さく、実使用上使
い易い素子特性を有し、さらに高温放置に対して素子特
性か変化しない耐熱性の点でも優れた感湿抵抗素子を提
供することを目的とするものである。
た欠点を解消するためになされたもので、特に耐湿・耐
水性に優れ、且つ素子抵抗が比較的小さく、実使用上使
い易い素子特性を有し、さらに高温放置に対して素子特
性か変化しない耐熱性の点でも優れた感湿抵抗素子を提
供することを目的とするものである。
〈描成の説明〉
第１図は本発明の１実施例を示す感湿抵抗素子の構造模
式図である。アルミナ−またはガラス等の高絶縁性基板
（１１上に真空蒸着法或はスパッタリング法等によって
金等の櫛歯状金属導電膜（２）を形成する。更に、該金
属導電膜（２）上に雰囲気中の湿度によって抵抗の変化
する感湿膜（３）を形成する。金属導電膜（２）は互い
に櫛歯が噛合する如くパターン形成され、その端部は外
部に露出してリード線（４）に接続された１対の電極を
形成している。
式図である。アルミナ−またはガラス等の高絶縁性基板
（１１上に真空蒸着法或はスパッタリング法等によって
金等の櫛歯状金属導電膜（２）を形成する。更に、該金
属導電膜（２）上に雰囲気中の湿度によって抵抗の変化
する感湿膜（３）を形成する。金属導電膜（２）は互い
に櫛歯が噛合する如くパターン形成され、その端部は外
部に露出してリード線（４）に接続された１対の電極を
形成している。
従来の感湿素子に見られる様に感湿膜が一次元線状高分
子電解質より成る場合、高湿度雰囲気下或は結露状態下
では感湿膜が膨潤又は、溶出するため、素子特性が大き
く劣化する。耐湿・耐水性をもった感湿膜を得るには、
感湿膜中の高分子電解質を架橋し、三次元網目構造とす
ることによって膨潤及び溶出を防ぐことができ、この様
な三次元的に架橋された感湿膜を用いることによって、
耐湿・耐水性の優れた感湿抵抗素子を得ることかできる
。
子電解質より成る場合、高湿度雰囲気下或は結露状態下
では感湿膜が膨潤又は、溶出するため、素子特性が大き
く劣化する。耐湿・耐水性をもった感湿膜を得るには、
感湿膜中の高分子電解質を架橋し、三次元網目構造とす
ることによって膨潤及び溶出を防ぐことができ、この様
な三次元的に架橋された感湿膜を用いることによって、
耐湿・耐水性の優れた感湿抵抗素子を得ることかできる
。
感湿抵抗素子の耐熱性は感湿材料の熱に対する化学的安
定性及び感湿膜の熱に対する構造的安定性によって決定
される。感湿膜は吸湿すると膨潤するので感湿膜の構造
的安定性は感湿膜自体の吸湿性によって左右され、吸湿
力が弱い程、感湿膜は安定である。しかしながら感湿膜
の吸湿力が弱いと、感湿膜中へ吸着される水の＠か少な
くなり、そのため素子抵抗が大きくなって実使用上問題
と々っでくる。そこで素子抵抗が大き過ぎること々くか
つ高温乾燥雰囲気下に素子を放置しても、特性が安定で
あるような感湿抵抗素子を得るには、感湿膜の吸湿性を
ある程度小さくし、しかも素子抵抗をあまり増加しない
ような物質を感湿膜に添加すれげ良い。本発明はこのよ
うな物質としてポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を使
用している。
定性及び感湿膜の熱に対する構造的安定性によって決定
される。感湿膜は吸湿すると膨潤するので感湿膜の構造
的安定性は感湿膜自体の吸湿性によって左右され、吸湿
力が弱い程、感湿膜は安定である。しかしながら感湿膜
の吸湿力が弱いと、感湿膜中へ吸着される水の＠か少な
くなり、そのため素子抵抗が大きくなって実使用上問題
と々っでくる。そこで素子抵抗が大き過ぎること々くか
つ高温乾燥雰囲気下に素子を放置しても、特性が安定で
あるような感湿抵抗素子を得るには、感湿膜の吸湿性を
ある程度小さくし、しかも素子抵抗をあまり増加しない
ような物質を感湿膜に添加すれげ良い。本発明はこのよ
うな物質としてポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を使
用している。
スチレンスルホン酸ナトリウム（ＮａＳＳと略す）をモ
ノマーとし、これに架橋剤としてＮＮ’−メチレンビス
アクリルアミド（ＭＢＡと略す）及びポリビニルアルコ
ール（ＰＶＡと略す）を夫々Ｎａ５Ｓ ］ ｆ、 Ｍ
ＢＡ Ｏ，０５？、 ＰＶＡ Ｏ，２？の割合で加え
、５ｍｌ！の水に溶解する。この水溶液を櫛歯状の金電
極（２）がパターン形成されたアルミナ基板上に塗布し
た後窒素雰囲気中で紫外線照射を行なって感湿膜（３）
を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子とする。
ノマーとし、これに架橋剤としてＮＮ’−メチレンビス
アクリルアミド（ＭＢＡと略す）及びポリビニルアルコ
ール（ＰＶＡと略す）を夫々Ｎａ５Ｓ ］ ｆ、 Ｍ
ＢＡ Ｏ，０５？、 ＰＶＡ Ｏ，２？の割合で加え
、５ｍｌ！の水に溶解する。この水溶液を櫛歯状の金電
極（２）がパターン形成されたアルミナ基板上に塗布し
た後窒素雰囲気中で紫外線照射を行なって感湿膜（３）
を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子とする。
ここでＮａ５Ｓは紫外線照射によって重合されると同時
にＭ Ｂ Ａ Ｋよって架橋され三次元網目構造を持っ
た感湿膜か形成される。
にＭ Ｂ Ａ Ｋよって架橋され三次元網目構造を持っ
た感湿膜か形成される。
以−ヒによって作製したＰＥＧが無添加の感湿抵抗素子
の感湿特性（抵抗−相対湿度特性）を第２図に実線で示
す・この感湿抵抗素子を１００℃の高温ＩＣｌ３時間放
置後感湿特性を測定すると、第２図に破線で示すような
特性を示し、さらに続けて２回目の感湿特性を測定する
と、元の第２図に実線で示す感湿特性が得られた。この
様にＰＥＧが無添加の感湿抵抗素子は１００℃の高温に
放置すると、感湿特性が一時的に変化し、相対湿度６０
％におけるその変化幅は相対湿度換算で４．２％ＲＨで
あった。
の感湿特性（抵抗−相対湿度特性）を第２図に実線で示
す・この感湿抵抗素子を１００℃の高温ＩＣｌ３時間放
置後感湿特性を測定すると、第２図に破線で示すような
特性を示し、さらに続けて２回目の感湿特性を測定する
と、元の第２図に実線で示す感湿特性が得られた。この
様にＰＥＧが無添加の感湿抵抗素子は１００℃の高温に
放置すると、感湿特性が一時的に変化し、相対湿度６０
％におけるその変化幅は相対湿度換算で４．２％ＲＨで
あった。
以下、実施例に従って本発明の詳細な説明する。
実施例 ｌ
Ｎａ５Ｓ］ ！、 ＭＢＡｏ、０５ ｆ、 ＰＶＡ０．
２ Ｆを５ｍｌ！の水に溶解する。この水溶液にさらに
（）、２１のポリエチレングリコールを溶解し、櫛歯状
の金電極（２）かパターン形成されたアルミナ基板上に
塗布した後、窒素雰囲気中で紫外線照射を行々って感湿
膜（３）を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子とした。
２ Ｆを５ｍｌ！の水に溶解する。この水溶液にさらに
（）、２１のポリエチレングリコールを溶解し、櫛歯状
の金電極（２）かパターン形成されたアルミナ基板上に
塗布した後、窒素雰囲気中で紫外線照射を行々って感湿
膜（３）を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子とした。
本実施例に基づく感湿抵抗素子の感湿膜＼！
性を測定し、さらに１００ ’Ｃの高７１１ＶＣ１５時
間枚置後、感湿特性を測定して、１００°Ｃ放置前後で
の相対湿度６０９６における変化幅を求めると、相対湿
度換算で’１．．２９４ ＲＨとほぼ測定誤差内の値と
なった。しかしながら、相対湿度３０９６における素子
抵抗はＰＥＧ無添加の素子抵抗か ２．５ＸＩＯΩ であるのに対し、ＰＥＧを０．２ｙ添
加した素子では３．８Ｘ１０７Ω と実使用上測定困難
な値を示した。
間枚置後、感湿特性を測定して、１００°Ｃ放置前後で
の相対湿度６０９６における変化幅を求めると、相対湿
度換算で’１．．２９４ ＲＨとほぼ測定誤差内の値と
なった。しかしながら、相対湿度３０９６における素子
抵抗はＰＥＧ無添加の素子抵抗か ２．５ＸＩＯΩ であるのに対し、ＰＥＧを０．２ｙ添
加した素子では３．８Ｘ１０７Ω と実使用上測定困難
な値を示した。
実施例 ２
ＮａＳＳＩ Ｗ、ＭｎＡｏ、０５ ｙ、ＰＶＡ０．２！
。
。
ＰＥＧ（’１．１５’を５ｍｆの水に溶解し、この水溶
液を櫛歯状の金電極（２）がパターン形成されたアルミ
ナ基板上に塗布した後窒素雰囲気中で紫外線照射を行な
って感湿膜（３）を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子
とした。本実施例に基づく感湿抵抗素子の感湿特性を測
定し、さらに１００℃の高温に１５時間放置後感湿特性
を測定１−で３００℃放置前後での相対湿度６０９６に
おける変化幅を求めると、相対湿度換算で１，２％ＲＨ
とほぼ測定誤差内の値となった。しかしなから相対湿度
３０９６における素子抵抗は１．４Ｘ１０７Ωと大きな
値を示１−たＯ 実施例 ３ ＮａＳＳ１９． ＭＢＡｏ、０５１． Ｐ ＶＡ Ｏ，
２ｙ。
液を櫛歯状の金電極（２）がパターン形成されたアルミ
ナ基板上に塗布した後窒素雰囲気中で紫外線照射を行な
って感湿膜（３）を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子
とした。本実施例に基づく感湿抵抗素子の感湿特性を測
定し、さらに１００℃の高温に１５時間放置後感湿特性
を測定１−で３００℃放置前後での相対湿度６０９６に
おける変化幅を求めると、相対湿度換算で１，２％ＲＨ
とほぼ測定誤差内の値となった。しかしなから相対湿度
３０９６における素子抵抗は１．４Ｘ１０７Ωと大きな
値を示１−たＯ 実施例 ３ ＮａＳＳ１９． ＭＢＡｏ、０５１． Ｐ ＶＡ Ｏ，
２ｙ。
ＰＥＧｏ、０５ｙを５ｍ７？の水に溶解し、この水溶液
を櫛歯状の金電極（２）がパターン形成されたアルミナ
基板上に塗布した後窒素雰囲気中で紫外線照射を行なっ
て感湿膜（３）を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子と
した。本実施例に基づ込て作製した感湿抵抗素子の感湿
特性を第３図に実線で示す。
を櫛歯状の金電極（２）がパターン形成されたアルミナ
基板上に塗布した後窒素雰囲気中で紫外線照射を行なっ
て感湿膜（３）を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子と
した。本実施例に基づ込て作製した感湿抵抗素子の感湿
特性を第３図に実線で示す。
この感湿抵抗素子を１００℃の高温に１５時間放置後感
湿特性を測定すると第３図に破線で示すような特性を示
し、１００℃放置前後での相対湿度６０％における変化
幅を求めると相対湿度換算で１．３％ＲＨと小さな値を
示した。さらに湿度３０％ＲＨでの素子抵抗も３．５Ｘ
１０ Ω と小さな値を示ｊ〜た。
湿特性を測定すると第３図に破線で示すような特性を示
し、１００℃放置前後での相対湿度６０％における変化
幅を求めると相対湿度換算で１．３％ＲＨと小さな値を
示した。さらに湿度３０％ＲＨでの素子抵抗も３．５Ｘ
１０ Ω と小さな値を示ｊ〜た。
実施例 ４
ＮａＳＳ ｌ ｋ！ 、 ＭＢ Ａ ０１０５ ｙ、ｐ
ＶＡｏ、２ ｙ。
ＶＡｏ、２ ｙ。
ＰＥＧｏ、０２５ｙを５ｍｌの水に溶解し、この水溶液
を櫛歯状の金電極（２）がパターン形成されたアルミナ
基板上に塗布した後窒素雰囲気中で紫外線照射を行々っ
て感湿膜（３）を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子と
した。本実施例に基づく感湿抵抗素子の感湿特性を測定
すると、相対湿度３０９６での素子抵抗は３．０Ｘ１０
’Ω と小さい値を示１−たが、１００℃の高温に１５
時間放置した後の感湿特性は放置前と異なり、相対湿度
６０９６における変化幅を求めると相対湿度換算で２．
８９ｆＳ ＲＨと大きな値を示した。
を櫛歯状の金電極（２）がパターン形成されたアルミナ
基板上に塗布した後窒素雰囲気中で紫外線照射を行々っ
て感湿膜（３）を形成し、第１図に示す感湿抵抗素子と
した。本実施例に基づく感湿抵抗素子の感湿特性を測定
すると、相対湿度３０９６での素子抵抗は３．０Ｘ１０
’Ω と小さい値を示１−たが、１００℃の高温に１５
時間放置した後の感湿特性は放置前と異なり、相対湿度
６０９６における変化幅を求めると相対湿度換算で２．
８９ｆＳ ＲＨと大きな値を示した。
以上の実施例で示した様にポリスチレンスルホン酸塩か
らなる感湿抵抗素子は、素子を高温乾燥中に長時間放置
すると、素子抵抗が一時的に変化するが、この様な変化
は感湿膜中にＰＥＧを添加すると変化幅が小さくなる。
らなる感湿抵抗素子は、素子を高温乾燥中に長時間放置
すると、素子抵抗が一時的に変化するが、この様な変化
は感湿膜中にＰＥＧを添加すると変化幅が小さくなる。
しかしながら感湿膜中にＰＥＧを添加すると素子抵抗が
増加するため感湿膜に添加するＰＥＧは、ある定められ
た量でなければならない。第４図にＰＥＧの添加量と、
素子を高温乾燥中に放置したときの相対湿度６０％にお
ける一時的変化幅の関係を第５図にＰＥＧの添加量と相
対湿度３０％における素子抵抗の関係を示す。これらの
図から明らかな様にＰＥＧの添加量はＮａ２ＳｉＯ３部
に対してＰＥＧｇ部から７部の範囲か良く、さらにＮａ
５Ｓ Ｉ ００部に対してＰＥＧ５部が最適である。
増加するため感湿膜に添加するＰＥＧは、ある定められ
た量でなければならない。第４図にＰＥＧの添加量と、
素子を高温乾燥中に放置したときの相対湿度６０％にお
ける一時的変化幅の関係を第５図にＰＥＧの添加量と相
対湿度３０％における素子抵抗の関係を示す。これらの
図から明らかな様にＰＥＧの添加量はＮａ２ＳｉＯ３部
に対してＰＥＧｇ部から７部の範囲か良く、さらにＮａ
５Ｓ Ｉ ００部に対してＰＥＧ５部が最適である。
〈発明の効果：〉
以上に記述した様に、スチレンスルホン酸ナトリウム（
ＮａＳＳ）、メチレンビスアクリルアミド（ＭＢＡ）、
ポリビニルアルコールＣＩ）ｖＡ）を感湿膜材料とし、
スチレンスルホン酸ナトリウムをメチレンビスアクリル
アミドで架橋重合した感湿膜に、ポリエチレングリコー
ル（ＰＥＧ）をスチレンスルホン酸ナトリウム１００部
に対して、３万全７部添加した感湿抵抗素子は、素子を
高温乾燥中に長時間放置しても、素子特性が変化する事
なく、耐熱計か優れており、さらに素子抵抗も小さく、
実使用に適した感湿抵抗素子を得ることができる。
ＮａＳＳ）、メチレンビスアクリルアミド（ＭＢＡ）、
ポリビニルアルコールＣＩ）ｖＡ）を感湿膜材料とし、
スチレンスルホン酸ナトリウムをメチレンビスアクリル
アミドで架橋重合した感湿膜に、ポリエチレングリコー
ル（ＰＥＧ）をスチレンスルホン酸ナトリウム１００部
に対して、３万全７部添加した感湿抵抗素子は、素子を
高温乾燥中に長時間放置しても、素子特性が変化する事
なく、耐熱計か優れており、さらに素子抵抗も小さく、
実使用に適した感湿抵抗素子を得ることができる。
ゝ！ ＠ｊ図は本発明の１実施例を説明す
る感湿抵抗第２図は、ポリエチレングリコールを添加し
ていない感湿抵抗素子の感湿特性である。 第３図はポリエチレングリコールをスチレンスルホン酸
ナトリウム１００部に対して、５部添加！−た感湿抵抗
素子の感湿特性である。 第４図は、ポリエチレングリコールの添加量と、相対湿
度６０９五における高温放置前後の変化幅との関係図で
ある。 第５図は、ポリエチレングリコールの添加ｔと、相対湿
度３０９６における素子抵抗との関係図であるＯ １・・・基板、 ２・・・金属導電膜、 ３・・・
感湿膜、 ４・・・リード線、
る感湿抵抗第２図は、ポリエチレングリコールを添加し
ていない感湿抵抗素子の感湿特性である。 第３図はポリエチレングリコールをスチレンスルホン酸
ナトリウム１００部に対して、５部添加！−た感湿抵抗
素子の感湿特性である。 第４図は、ポリエチレングリコールの添加量と、相対湿
度６０９五における高温放置前後の変化幅との関係図で
ある。 第５図は、ポリエチレングリコールの添加ｔと、相対湿
度３０９６における素子抵抗との関係図であるＯ １・・・基板、 ２・・・金属導電膜、 ３・・・
感湿膜、 ４・・・リード線、
Claims (1)
- １、スチレンスルホン酸ナトリウム、メチレンビスアク
リルアミド及びポリビニルアルコールを感湿膜材料とし
、前記スチレンスルホン酸ナトリウムが前記メチレンビ
スアクリルアミドで架橋重合された感湿膜を有する感湿
抵抗素子において、前記感湿膜中にポリエチレングリコ
ールを前記スチレンスルホン酸ナトリウム１００部に対
して３乃至７部の割合で添加したことを特徴とする感湿
抵抗素子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181287A JPS6156952A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 感湿抵抗素子 |
| US06/761,494 US4635027A (en) | 1984-08-28 | 1985-08-01 | Resistance-variation type moisture sensor |
| DE19853530447 DE3530447A1 (de) | 1984-08-28 | 1985-08-26 | Feuchtigkeitssensor vom widerstandsaenderungstyp |
| GB08521310A GB2163854B (en) | 1984-08-28 | 1985-08-27 | Resistance-variation moisture sensors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181287A JPS6156952A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 感湿抵抗素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6156952A true JPS6156952A (ja) | 1986-03-22 |
| JPH051903B2 JPH051903B2 (ja) | 1993-01-11 |
Family
ID=16098049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59181287A Granted JPS6156952A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 感湿抵抗素子 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4635027A (ja) |
| JP (1) | JPS6156952A (ja) |
| DE (1) | DE3530447A1 (ja) |
| GB (1) | GB2163854B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100529295B1 (ko) * | 2002-01-30 | 2005-11-17 | 자화전자 주식회사 | 폴리머를 이용한 습도 센서의 제조방법 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8322418D0 (en) * | 1983-08-19 | 1983-09-21 | Emi Ltd | Humidity sensor |
| WO1991003734A1 (de) * | 1989-08-29 | 1991-03-21 | At & S Austria Technologie & System Technik Gesellschaft M.B.H. | Verwendung eines quellfähigen kunststoffes, sowie verfahren zur herstellung eines resistiven feuchtigkeitssensors |
| US5855849A (en) * | 1996-01-16 | 1999-01-05 | Industrial Technology Research Institute | Solid state humidity sensor |
| US5741540A (en) * | 1996-01-16 | 1998-04-21 | Industrial Technology Research Institute | Method of forming solid state humidity sensor |
| US6450015B1 (en) | 2000-12-08 | 2002-09-17 | Eastman Kodak Company | Ambient condition sensor for a photosensitive media cartridge |
| US20060286922A1 (en) * | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Clifford Roux | Exhaust fan controller |
| CN100447561C (zh) * | 2005-12-27 | 2008-12-31 | 上海大学 | 湿度传感器湿敏元件感湿膜的制备方法 |
| NO327090B1 (no) * | 2007-06-28 | 2009-04-20 | Asle Ingmar Johnsen | Detektorsystem |
| US7883619B2 (en) * | 2007-11-13 | 2011-02-08 | Access Business Group International Llc | Water treatment system with moisture detector |
| GB201107664D0 (en) * | 2011-05-09 | 2011-06-22 | Univ Leuven Kath | Sensor for detecting liquid spilling |
| CN102141531B (zh) * | 2010-12-28 | 2013-12-04 | 浙江大学 | 测定丹参注射液醇沉上清液中水含量的方法 |
| US9671359B2 (en) | 2013-08-27 | 2017-06-06 | Council Of Scientific & Industrial Research | Resistive type humidity sensor based on porous magnesium ferrite pellet |
| TWI736133B (zh) * | 2020-02-14 | 2021-08-11 | 國立陽明交通大學 | 氣體感測器 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54111398A (en) * | 1978-02-20 | 1979-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Inflammable gas detecting element |
| JPS5832401A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-25 | 松下電器産業株式会社 | 感湿抵抗体 |
| JPS5899743A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-14 | Sharp Corp | 感湿素子及びその製造方法 |
| JPS58213245A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Hitachi Ltd | センサ用感湿材 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0076131B1 (en) * | 1981-09-28 | 1986-04-09 | Hitachi, Ltd. | Humidity sensor and method for preparing a humidity sensor |
| US4439479A (en) * | 1982-01-15 | 1984-03-27 | Teijin Limited | Slippery biaxially stretched polyester films |
| US4492719A (en) * | 1982-01-15 | 1985-01-08 | Teijin, Limited | Process for the production of slippery biaxially stretched polyester films |
-
1984
- 1984-08-28 JP JP59181287A patent/JPS6156952A/ja active Granted
-
1985
- 1985-08-01 US US06/761,494 patent/US4635027A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-08-26 DE DE19853530447 patent/DE3530447A1/de active Granted
- 1985-08-27 GB GB08521310A patent/GB2163854B/en not_active Expired
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54111398A (en) * | 1978-02-20 | 1979-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Inflammable gas detecting element |
| JPS5832401A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-25 | 松下電器産業株式会社 | 感湿抵抗体 |
| JPS5899743A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-14 | Sharp Corp | 感湿素子及びその製造方法 |
| JPS58213245A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Hitachi Ltd | センサ用感湿材 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100529295B1 (ko) * | 2002-01-30 | 2005-11-17 | 자화전자 주식회사 | 폴리머를 이용한 습도 센서의 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8521310D0 (en) | 1985-10-02 |
| US4635027A (en) | 1987-01-06 |
| GB2163854A (en) | 1986-03-05 |
| DE3530447C2 (ja) | 1987-04-09 |
| JPH051903B2 (ja) | 1993-01-11 |
| DE3530447A1 (de) | 1986-07-10 |
| GB2163854B (en) | 1988-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6156952A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| US2937524A (en) | Polyelectrolyte water-indicating devices | |
| US3703696A (en) | Humidity sensor | |
| US4520341A (en) | Moisture responsive element with crosslinked organic membrane and protective layering | |
| Rauen et al. | Humidity sensor based on conductivity measurements of a poly (dimethyldiallylammonium chloride) polymer film | |
| US6806722B2 (en) | Polymer-type humidity sensor | |
| JP2789522B2 (ja) | 基板上に黄緑石型酸化タングステン層を形成する方法および該黄緑石型酸化タングステン層含有湿度センサ素子 | |
| Lee et al. | Resistive humidity sensor using polyelectrolytes based on new-type mutually cross-linkable copolymers | |
| Lee et al. | Humidity‐sensitive properties of new polyelectrolytes based on the copolymers containing phosphonium salt and phosphine function | |
| JPH0412418B2 (ja) | ||
| JPS5899743A (ja) | 感湿素子及びその製造方法 | |
| JPS60168044A (ja) | 感湿素子 | |
| US4529642A (en) | Moisture sensitive resistive element | |
| Lee et al. | Resistive humidity sensor using phosphonium salt-containing polyelectrolytes based on the mutually cross-linkable copolymers | |
| JPS589056A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| JPS5816467B2 (ja) | 感湿素子 | |
| Han et al. | New efficient polyelectrolyte containing zwitterionic sulfobetaine salt for the high sensitive resistive humidity sensor | |
| US3522732A (en) | Sensing element for hygrometers | |
| JPH0515982B2 (ja) | ||
| JPS6118850A (ja) | 湿度・結露検出素子 | |
| JPS589055A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| JPS6237339B2 (ja) | ||
| JPS6235253A (ja) | ガスセンサ− | |
| JP3372090B2 (ja) | 感湿素子 | |
| KR950009012B1 (ko) | 유기고분자 습도센서 |