JP5988362B2 - ガスセンサのエージング方法 - Google Patents
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Description
前記ヒータ膜に間欠的にヒータ電力を加えながら、室温の高湿雰囲気中でエージングすることにより、空気中での、ガスセンサのメタンあるいはLPGへの感度を向上させることを特徴とする。
4 Si基板
6 空洞
8 絶縁膜
10 ヒータ膜
12 層間絶縁膜
14 SnO2膜
16 ベース
18 ステム
20 リード線
22 キャップ
24 フィルタ
26 不織布
28 押さえリング
30,31 開口
32 金網
Claims (2)
- Si基板の空洞に設けた絶縁膜のブリッジまたは絶縁膜のダイアフラムに、金属酸化物半導体膜とヒータ膜とを設けたガスセンサのエージング方法において、
前記ヒータ膜に間欠的にヒータ電力を加えながら、室温の高湿雰囲気中でエージングすることにより、空気中での、ガスセンサのメタンあるいはLPGへの感度を向上させることを特徴とする、ガスセンサのエージング方法。 - 前記室温は0℃以上40℃以下の温度であることを特徴とする、請求項1のガスセンサのエージング方法。
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