JP6654406B2 - ガス検出装置とガス検出方法 - Google Patents
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Description
前記ガスセンサの最高温度が400℃以上となるように、0.3S以上1.5S以下のヒートクリーニング時間の間、前記ヒータを駆動し、次いで前記ガスセンサの温度が300℃以上380℃以下で安定するように、1S以上3S以下の検出時間の間、前記ヒータを駆動し、その後、前記ヒータをオフすることにより、前記ガスセンサを30S以上の周期で駆動する、ヒータコントローラと、
前記検出時間での前記ガスセンサの出力をサンプリングする手段、とを備えている。
ヒータコントローラにより、
前記ガスセンサの最高温度が400℃以上となるように、0.3S以上1.5S以下のヒートクリーニング時間の間、前記ヒータを駆動し、
次いで前記ガスセンサの温度が300℃以上380℃以下で安定するように、1S以上3S以下の検出時間の間、前記ヒータを駆動し、
その後、前記ヒータをオフすることにより、前記ガスセンサを30S以上の周期で駆動し、
前記検出時間での前記ガスセンサの出力をサンプリング手段によりサンプリングする。
ガス感度(H2,EtOH,Toluene:各10ppm)
実験No. 動作条件 H2 EtOH Toluene
1 VH 1.8V(340℃)連続駆動 2.8 3.3 2.8
2 VH 1.8V×2.5S 60S周期 1.3 1.8 1.7
* センサ数は各3個で、1.8V×2.5Sの場合、ヒータオンから2.5S目の信号を示し、
* ガス感度は空気中の抵抗値Ra/ガス中の抵抗値Rgで定義し、平均値を表示.
ガス感度(H2,EtOH,Toluene:各10ppm)
実験No. 動作条件 H2 EtOH Toluene
11 VH 2.3V(420℃)×0.1S+1.8V×2S 0.8 1.6 1.7
12 VH 2.3V(420℃)×0.4S+1.8V×2S 2.4 2.5 1.8
13 VH 2.3V(420℃)×0.5S+1.8V×2S 2.7 2.8 2.2
14 VH 2.3V(420℃)×1S+1.8V×2S 3.2 3.2 2.8
15 VH 2.3V(420℃)×1.5S+1.8V×2S 3.4 3.2 3.0
* センサ数は各3個で、1.8Vへ移行後2S目の信号を示し、
* ガス感度は空気中の抵抗値Ra/ガス中の抵抗値Rgで定義し、平均値を表示.
ガス感度(H2,EtOH,Toluene:各10ppm)
実験No. 動作条件 H2 EtOH Toluene
21 VH 2.05V(380℃)×0.5S+1.8V×2S 1.5 1.6 1.5
22 VH 2.2V (400℃)×0.5S+1.8V×2S 2.5 2.0 1.8
23 VH 2.3V(420℃)×0.5S+1.8V×2S 3.2 2.2 2.1
24 VH 2.5V(460℃)×0.5S+1.8V×2S 2.6 1.7 1.5
25 VH 2.8V(515℃)×0.5S+1.8V×2S 2.6 1.5 1.3
* センサ数は各3個で、1.8Vへ移行後2S目の信号を示し、
* ガス感度は空気中の抵抗値Ra/ガス中の抵抗値Rgで定義し、平均値を表示.
ガス感度(H2,EtOH,Toluene:各10ppm)
実験No. 動作条件 H2 EtOH Toluene
31 VH 2.3V (420℃)×0.5S+1.7V(325℃)×2S 3.1 2.2 2.0
32 VH 2.3V (420℃)×0.5S+1.9V(355℃)×2S 3.4 2.3 2.1
* センサ数は各3個で、1.8Vへ移行後2S目の信号を示し、
* ガス感度は空気中の抵抗値Ra/ガス中の抵抗値Rgで定義し、平均値を表示.
4 基板
6 空洞
8 支持膜
10−13 ブリッジ
14 SnO2膜
16 パッド
22 ヒータ
30 携帯電子機器
32 ガスセンサ駆動部
34 ヒータコントローラ
35 Vcコントローラ
36 ADコンバータ
37 基準値記憶部
38 タイマ
40 入出力インターフェース
42 電池
44 バス
46 通信部
48 ヒューマンインターフェース
50 センサ群
52 プロセッサ
Tr1,Tr2 トランジスタ
R1 負荷抵抗
P 動作周期
T1,T2,T3 時間
Claims (3)
- 基板の空洞上に設けられている支持膜に、ヒータと、膜厚が3μm以上40μm以下で、SnO2の質量100mass%に対し、0.3mass%以上5mass%以下の貴金属が分散されているSnO2膜とを備えるmemsガスセンサと、
前記ガスセンサの最高温度が400℃以上となるように、0.3S以上1.5S以下のヒートクリーニング時間の間、前記ヒータを駆動し、次いで前記ガスセンサの温度が300℃以上380℃以下で安定するように、1S以上3S以下の検出時間の間、前記ヒータを駆動し、その後、前記ヒータをオフすることにより、前記ガスセンサを30S以上の周期で駆動する、ヒータコントローラと、
前記検出時間での前記ガスセンサの出力をサンプリングする手段、とを備え、
検出対象のガスがH2あるいは有機溶剤であるガス検出装置。 - 前記ヒートクリーニング時間が0.4S以上1.2S以下であることを特徴とする、請求項1に記載のガス検出装置。
- 基板の空洞上に設けられている支持膜に、ヒータと、膜厚が3μm以上40μm以下で、SnO2の質量100mass%に対し、0.3mass%以上5mass%以下の貴金属が分散されているSnO2膜とを備えるmemsガスセンサを、
ヒータコントローラにより、
前記ガスセンサの最高温度が400℃以上となるように、0.3S以上1.5S以下のヒートクリーニング時間の間、前記ヒータを駆動し、
次いで前記ガスセンサの温度が300℃以上380℃以下で安定するように、1S以上3S以下の検出時間の間、前記ヒータを駆動し、
その後、前記ヒータをオフすることにより、前記ガスセンサを30S以上の周期で駆動し、
前記検出時間での前記ガスセンサの出力をサンプリング手段によりサンプリングし、
H2あるいは有機溶剤を検出する、ガス検出方法。
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JP2015219290A JP6654406B2 (ja) | 2015-11-09 | 2015-11-09 | ガス検出装置とガス検出方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015219290A JP6654406B2 (ja) | 2015-11-09 | 2015-11-09 | ガス検出装置とガス検出方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015219290A Active JP6654406B2 (ja) | 2015-11-09 | 2015-11-09 | ガス検出装置とガス検出方法 |
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- 2015-11-09 JP JP2015219290A patent/JP6654406B2/ja active Active
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