DE2658422A1 - Negativ-trockenresistfilm und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents
Negativ-trockenresistfilm und verfahren zu seiner herstellungInfo
- Publication number
- DE2658422A1 DE2658422A1 DE19762658422 DE2658422A DE2658422A1 DE 2658422 A1 DE2658422 A1 DE 2658422A1 DE 19762658422 DE19762658422 DE 19762658422 DE 2658422 A DE2658422 A DE 2658422A DE 2658422 A1 DE2658422 A1 DE 2658422A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- film
- photopolymerizable layer
- dry resist
- photopolymerizable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
- G03F1/56—Organic absorbers, e.g. of photo-resists
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/095—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having more than one photosensitive layer
- G03F7/0955—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having more than one photosensitive layer one of the photosensitive systems comprising a non-macromolecular photopolymerisable compound having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/136—Coating process making radiation sensitive element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
KALLE Niederlassung der Hoechst AG K 2521
Wiesbaden-Biebrich WLK-Dr.S-cb
21. Dez. 1976
Negativ-Trockenresistfilm und Verfahren zu seiner
Herste!lung
Die Erfindung bezieht sich auf einen, insbesondere flüssig entwickelbaren Negativ-Trockenresistfilm aus temporärer
Trägerfolie, photopolymerisierbarer Schicht und Deckfolie sowie auf ein Verfahren zu seiner Herstellung.
Es ist ein Negativ-Trockenresistfilm bekannt, der aus
einer einheitlichen photopolymerisierbaren Schicht, die
sich zwischen zwei Folien (temporärer Träger- und Deckfolie) befindet, besteht. Die photopolymerisierbare
Schicht wird im Verlauf ihrer Anwendung nach Entfernen der Deckfolie als Trockenresistfilm auf ein permanentes
Substrat, im allgemeinen Kupfer, auflaminiert. Um eine seitenrichtige FoIienabtrennung bei der Anwendung zu
erzielen, muß man für eine unterschiedliche Haftung der photopolymerisierbaren Schicht zur Deck- und Trägerfolie
Sorge tragen, was man durch die Verwendung unterschiedlicher Folien erreicht.
Es ist bekannt (DT-AS 11 40 080, US-PS 2,993,789), photopolymerisierbare
Schichten aus Teilen hoher und niedriger Strahlungsempfindlichkeit aufzubauen und lichtunempfindliche
zusätzliche Schutz- und Verankerungsschichten aufzubringen. Dies bezieht sich jedoch auf solche Schichten,
die bei der Anwendung fest mit dem permanenten Substrat vorzugsweise Metall - verbunden bleiben, d. h. auf
809826/0209
ORIGINAL INSPECTED
Druckplatten. Dieses Schichtmaterial ist vom Aufbau und von der Anwendung völlig verschieden vom Negativ-Trockenresistfilm,
bei dem vor der endgültigen Verarbeitung vorzugsweise beide Folien von der photopolymerisierbaren
Schicht abgetrennt werden müssen.
Es ist auch ein Trockenresistfilm bekannt (DT-OS 24 50 380),
der aus zwei verschieden zusammengesetzten Schichten zwischen den Folien besteht, und zwar aus einer lichtunempfindlichen
und einer lichtempfindlichen Schicht. Diese
Anordnung erlaubt es, dickere, positiv arbeitende Trockenresistfilme mit diskutabler Lichtempfindlichkeit
herzustellen, wtfbei jedoch die lichtunempfindliche zweite
Schicht bei der Verarbeitung des Materials zu Nachteilen, d. h. zu starken Unterwaschungen führt. Dieser Schichtaufbau
hat sich als kompliziert und technisch schwierig realisierbar erwiesen.
Der eingangs beschriebene einschichtige Aufbau von Negativ-Trockenresistfilmen bewirkt folgende Schwierigkeiten
und Nachteile:
Da die photopolymerisierbare Masse nach allein Seiten hin gleiche Eigenschaften aufweist, müssen zwangsläufig erwünschte
unterschiedliche Eigenschaften an der Ober- und Unterseite der Schicht - beispielsweise verschiedene
Haftung - von den Eigenschaften der in Wechselwirkung mit der photopolymerisierbaren Schicht stehenden Folien- oder
Metalloberflächen bewirkt werden. Dies bedeutet, daß z. B. die die photopolymerisierbare Schicht einschließenden
Folien nicht nur hinsichtlich optischer Klarheit, Lichtdurchlässigkeit, Dimensionsstabilität, Flexibilität bzw.
Steifheit ganz besondere und nur unvollständig erfüllbare
Eigenschaften besitzen sollen, sondern auch hinsichtlich der Haftkräfte gegenüber der Schicht ganz spezifische
809826/0209
■S
Mirkragen zeigen sollen, was utatiuirgeiBaB die Anzahl der
verwemdfoaretni Folientypen stark einschränkt.
BIe pftetopaljroeri si erbare Scfaiciit sail Forderungen
erfüllen!, die schwer rniteimainider vereinbar sind, wie z. B.
nicht zu §r©ISe Meichiiieit» um etwa den Randaustritt an den
RoHenschnittkanten umu Bruckspuren zu vermeiden, nicht zu
starke lOebrigfceit, era ein Hängenbleiben der Deckfolie bei
der FoTiientrennung und um ein Einfangen von Schmutzpartikeln
aus der Lttft* was zu Löcherbildung in den
gedruckten Schaltungen führen kann, zu vermeiden, und eine
ausreichende Flexibilität, um ein Absplittern von Teilchen
aus der pttotopolynerisierten Schicht zu verhindern. Das
Auffinden derart befähigter photopolymerer Schichten ist
dadurch naturgemäß sehr eingeschränkt.
Ein weiterer Nachteil der bekannten PHotopolymerschicht
ist die Lichtschwächung, die mit zunehmender Eindringtiefe in relativ dicke Schichten auftritt. So beobachtet man bei
Schichten von mehr als ca. 35 .um Dicke, daß die Eindringtiefe
des zur Belichtung verwendeten Lichts bei zunehmender Dicke in einer die praktische Anwendung der
Schicht hindernden Weise abnimmt; d. h. die der Belichtungsquelle
abgekehrte Schichtseite erfährt eine geringere Initiatoranregung, so daß dort die Vernetzungsdichte
geringer ist.
Ein anderer Nachteil des gleichmäßigen Aufbaus der photopolymerisierbaren Schicht ist es, daß es nicht
möglich ist, die Resistenz des aufgebrachten Bildes den während der Galvanoverarbeitung in den verschiedenen
Schicht- bzw. Tiefenbereichen unterschiedlichen chemischen und mechanischen Angriffen anzupassen. So können z. B. im
Galvanobad im Bereich der Haftung der Schicht an der Substratoberfläche zu Resistflanken der Bildstellen hin
803828/0209
bei der Vernickelung und Vergoldung mechanische Kräfte auftreten, die eine besonders starke und zähe Schicht nur
in diesem Bereich erforderlich machen.
Nachteilig kann sich weiterhin das Zusammentreffen von
verschiedenen Schichtkomponenten auswirken, wenn sie
chemische oder physikalische Hechseiwirkung aufeinander ausüben, was sich oftmals erst nach längerer Lagerung
zeigt. Hier sind beispielsweise Farbstoffe und gefärbte Stoffe zu nennen, die die Aufgabe haben, die bildmäßige Belichtung schon vor der Heiterverarbeitung der photopolymerisierbaren Schicht sichtbar zu machen; oder
Farbstoffe, die als Kennfarbe dienen und Stoffe, deren Lichtabsorption regulierend auf zu große Lichtempfindlichkeit der Schicht wirkt oder solche, welche die nicht erwünschte Lichtstreuung verhindern.
chemische oder physikalische Hechseiwirkung aufeinander ausüben, was sich oftmals erst nach längerer Lagerung
zeigt. Hier sind beispielsweise Farbstoffe und gefärbte Stoffe zu nennen, die die Aufgabe haben, die bildmäßige Belichtung schon vor der Heiterverarbeitung der photopolymerisierbaren Schicht sichtbar zu machen; oder
Farbstoffe, die als Kennfarbe dienen und Stoffe, deren Lichtabsorption regulierend auf zu große Lichtempfindlichkeit der Schicht wirkt oder solche, welche die nicht erwünschte Lichtstreuung verhindern.
Es war deshalb Aufgabe der Erfindung, einen Negativ-Trockeresistfilm
zu schaffen, der die vorbeschriebenen Nachteile nicht aufweist und darüber hinaus in der
photopolymerisierbaren Schicht Stoffe enthalten kann, die normalerweise nicht zusammen eingesetzt werden können.
photopolymerisierbaren Schicht Stoffe enthalten kann, die normalerweise nicht zusammen eingesetzt werden können.
Die Lösung dieser Aufgabe geht von dem eingangs beschriebenen Negativ-Trockenresistfilm aus temporärer
Trägerfolie, photopolymerisierbarer Schicht und Deckfolie aus und ist dadurch gekennzeichnet, daß die photopolymerisierbare Schicht aus mindestens zwei Teilschichten besteht.
Trägerfolie, photopolymerisierbarer Schicht und Deckfolie aus und ist dadurch gekennzeichnet, daß die photopolymerisierbare Schicht aus mindestens zwei Teilschichten besteht.
Hierdurch wird erreicht, daß die unvollständig erfüllbaren, jedoch geforderten Eigenschaften der die photopolymerisierbare
Schicht einschließenden Folien wesentlich herabgesetzt werden können, da Eigenschaften, wie
809826/0209
ζ. B. unterschiedliche Oberflächenadhäsion, nunmehr von
Teilschichten der photopolymerisierbaren Schicht leicht übernommen werden können. Weiterhin können die Forderungen
der photopolymerisierbaren Schicht selbst erfüllt werden in Hinsicht auf nicht zu große Weichheit, nicht zu starke
Klebrigkeit, ausreichende Flexibilität, da die Teilschicht auf diese Forderungen hin getrennt einstellbar ist. Damit
kann auch ein größeres Angebot photopolymerer Schichten gemacht werden. Schließlich wird hierdurch erreicht, die
Teilschichten speziell auf stärkere Resistenz in bestimmten Schichtbereichen auszurichten.
Auch das Zusammentreffen von Komponenten, die in einer Schicht unerwünschte chemische und physikalische Wechselwirkung aufeinander ausüben, wird durch die erfindungsgemäße Anordnung weitgehend verhindert.
Als temporäre Trägerfolie dient ein dünner, flexibler, glatter transparenter Schichtträger. Er soll eine gute
Festigkeit besitzen, formbeständig sein gegenüber Temperaturveränderungen und gegenüber üblichen Lösungsmitteln widerstandsfähig. Diese Forderungen werden am
besten von einer Polyesterfolie, insbesondere von biaxial
verstreckten Folien aus Polyäthylenterephthalat erfüllt.
Als Deckfolie, die durch Aufpressen oder Beschichten auf die polymerisierbar Schicht aufgebracht wird, ist jedes
abdeckende flexible Material brauchbar, sofern es die Forderung der geringeren Haftung gegenüber der photopolymerisierbaren Schicht als die gegenüber der Trägerfolie erfüllt. In der Praxis wird deshalb eine PoIyolefinfolie, insbesondere eine Folie aus Polyäthylen, als
Deckfolie verwendet.
809626/0209
Die photopolymerisierbare Schicht besteht im wesentlichen
aus mindestens einer polymerisierbaren Verbindung, einem Photoinitiator, einem Bindemittel und gegebenenfalls
Farbstoffen, welche aus einer Lösung auf die temporäre Trägerfolie aufgetragen werden.
Den Schichten können Farbstoffe wie Samaronmarineblau oder
Rhodamin B zugesetzt werden oder verschiedene Mengen 9-Phenylacridin zur Beeinflussung der Flankenform der
Resistschichten oder 3-Mercaptopropionsäureanilid als
Haftvermittler zur Erhöhung der Beständigkeit in Ni/Au-GaIvanobädern.
Als Beschichtungskomponenten können z. B. verwendet werden:
eine Mischung aus einem Photomonomeren, bestehend aus dem Umsetzungsprodukt von 2,2,4-Trimethyl-hexamethylendiisocyanat
mit 2-Hydroxyä'thylmethacrylat und einem
Terpolymeren, bestehend aus n-Hexylmethacrylat, Methacrylsäure
und Styrol, dem noch zugesetzt sind: 9-Phenyiacridin, Michlers Keton, Triäthylenglykcldimethacrylat,
Saßiaronmarineblau' ' HGL der Hoechst AG
ein Copolymerisat von Methylmethacrylat und Methacrylsäure,
Polymethylmethacrylat, Weichmacher und einem
Terpolymeren von Äthylacrylat, Methylsnethacrylat und
Acrylsäure, sowie Michlers Keton und 9-Phenylacridin und als additionspolymerisierbares Monomeres Trimethylpropantriacrylat
oder ein
809826/0209
Photomonomeres nach dem ersten Beispiel dieser Aufzählung mit einem Terpolymeren, bestehend aus η-Methyl-methacrylat,
n-Hexyl-methacrylat, Methacrylsäure sowie 9-Phenyl-acridin,
Michlers Keton, Triäthylenglykoldimethacrylat
und Samaronmarineblau^ ' HGL.
Durch den erfindungsgemäßen Aufbau der photopolymerisierbaren
Schicht in TeiΊschichten sind Negativ-Trockenresistfilme
herstellbar, die eine sehr dicke gleichmäßig ausgetrocknete photopolymerisierbare Schicht besitzen und
welche zusätzlich durch Kombination verschiedener Komponenten in den Teil schichten zu unterschiedlichen
jeweils gewünschten Eigenschaften führen. Vorzugsweise enthält die der Deckfolie benachbarte photopolymerisierbare
Schicht einen Haftvermittler. Hierdurch erreicht man
eine verstärkte Haftung der photopolymerisierten Schichten auf dem permanenten Substrat bei der Weiterverarbeitung.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung enthält die
photopolymerisierbare Schicht mindestens in einer Teilschicht einen Farbstoff. Hiedurch kann die Einfärbung der
Schicht gesteuert werden, ohne daß chemische oder physikalische Wechselwirkungen mit anderen zugesetzten
Stoffen auftreten, die unerwünscht sind.
Der Aufbau der photopolymerisierbaren Schicht in Teilschichten
bringt es auch mit sich, daß die jeweils äußeren Schichten in ihrer Haftung zu temporärer Träger- und
DeckfoTie eingestellt werden können, so daß nunmehr die
Forderung nach unterschiedlicher Hafteigenschaft der
Trägerfo.liert- bzw. der Deckfolien-Oberflache entfällt.
ErfindungsgemSß wird dadurch ein Wegativ-Trockenresistfilra
§GScteff©[»fl uolchar" die photopolyierisierbare Schicht
Träfer= «ftd Dscfcfolis aeis den gleichen Material
AO
enthält, welche gegebenenfalls von unterschiedlicher Dicke
sind.
So können im Gegensatz zu den bisher eingesetzten Polyolefinen stippenfreie und dimensionsstabile Polyesterfolien
als Deckfolie verwendet werden.
Der erfindungsgemäße Schichtaufbau bringt es mit sich, daß
eine regelmäßige und glatte Ausbildung der photopolymerisierbaren
Schicht und ihre gute Austrocknung erreicht wird, was beim Aufbringen von Lösungen für relativ dicke
Schichten bisher nicht gewährleistet war. Weiterhin ist es möglich, eine schlechte Planlage der photopolymerisierbaren
Schicht durch entsprechende Schichtkombination zu beseitigen. Dies macht sich ganz besonders beim Aufbau von
dicken Schichten auf relativ dünnen temporären Trägerfolien bemerkbar.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zur Herstellung eines Negativ-Trockenresistfilms
durch Aufbringen der photopolymerisierbaren Schicht auf die temporäre Trägerfolie aus einer Lösung und Trocknen
und Abdecken der Schicht mit einer Deckfolie, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß man die photopolymerisierbare
Schicht im kontinuierlichen Arbeitsgang in mindestens zwei Teil schichten jeweils aus Lösung aufbringt
und trocknet.
Hierdurch wird erreicht, daß bei einem Verfahren zur Herstellung dickerer photopolymerisierbarer Schichten im
Bereich über etwa 40 ,um nunmehr gleichmäßig ausgetrocknete Schichten zur Verfügung gestellt werden können,
welche durch Kombination gleicher Lösungen oder unterschiedlicher Lösungen zu Schichten mit gleichen oder
unterschiedlichen Eigenschaften der jeweils gewünschten
9828/0203
Art führen, wie ζ. Β. Haftung, Einfärbung, Empfindlichkeit
der Schichten, Flankenform, mechanische Festigkeit bzw. Flexibilität, Widerstandsfähigkeit gegen chemischen oder
mechanischen Angriff.
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es möglich,
erhöhte Lichtempfindlichkeit an der dem Licht abgewandten
Schichtseite durch Verwendung einer lichtempfindlicheren
Teilschicht oder verstärkte Haftung zur temporären Trägerfolie durch Zusatz entsprechender stärker haftenden
Mittel zu erzielen.
Durch Verwendung der gleichen Lösung oder einer anderen Lösung oder des gleichen oder eines anderen Lösungsmittels
von Beschichtung zu Beschichtung ist eine weitere Variation dahingehend möglich,, daß die Tei I schichten an
ihren Oberflächen einen Grenzbereich aufweisens der
entweder durch Anlösen mit dem gleichen Lösungsmittel eine einheitliche Übergangszone aufweist oder durch Nichtaufweichen
der getrockneten Oberfläche durch ein nicht angreifendes Lösungsmittel zu einer zweiten,, völlig von
der ersten Beschichtung getrennten Zone führen kann. Entsprechende Übergänge zwischen diesen Extremen sind
ebenso möglich.
Das erfindungsgemäße Verfahren bietet gegenüber der mehrfachen Einfachbeschichtung die großen Vorteile,, daß
das Zwischenaufrollen des Materials völlig entfällt, was zu nachteiligen und verfahrenshemmenden Verklebungen und
Beschädigungen führt, und daß auch eine Zwischenkaschierung
bzw. -Delaminierung mit einer Deckfolie überflüssig wird.
Gegenüber dem bekannten Naß-auf-Naß-Antrag hat das
erfindungsgemäße Verfahren den Vorteils daß nunmehr
809326/0209
dicke und gut ausgetrocknete Schichten hergestellt werden können, weiche eine ganz ausgezeichnete Beschichtungsquaiität
besitzen.
Die vorliegende Erfindung umfaßt auch eine Vorrichtung zur
Durchführung des Verfahrens, die dadurch gekennzeichnet ist, daß mindestens zwei an sich bekannte Antrags- und
Trocknungseinrichtungen hintereinander angeordnet sind.
Hierdurch wird erreicht, daß nach Antragen der ersten Beschichtungslösung das Verdampfen des Lösungsmittels
erfolgen kann, bevor der zweite Antrag einer weiteren Beschichtungslösung und Trocknen erfolgt.
Zur Beschichtung sind alle bekannten Antragselemente geeignet, wie sie zum Aufbringen von Lösungen auf
Trägeroberflächen und Trocknen derselben verwendet werden. Hierher gehören zum Beispiel Vorrichtungen mit Walzenantrag
oder Sprühvorrichtungen und Vorrichtungen wie Strahlungstrockner.
Vorzugsweise werden als Antragseinrichtung Schlitzgießer
und als Trocknungseinrichtung Schwebetrockner eingesetzt.
Die Verwendung des erfindungsgemäßen Negativ-TrockenresistfiTms
geschieht in einem Verfahren zur Modifizierung von Substratoberftächen beliebiger Kärper, auf welche man
deft Pfegativ-Trockenresistf i?r& unter Hä>meeinwi rku-ng
auf kaschiert, ihn bildmäßig beliebtet-, die Iffchtfa·? ■ 1-stellen
dttrch Auswaschen entfernt and dir freigelegt.?1
Substratoberflache modifiziert, wonach die Bildete!.ν
anschließend gegebenenfalls entfernt werden*
-«9826/0209
Unter Modifizieren ist zum Beispiel das Ätzen der
Oberfläche und/oder ein weiterer Aufbau oqv Substratoberfläche
durch galvanische Methoden zu verstehen.
Eine nach Trocknung 30 ,um dicke photopolymerisierbare
Schicht wird auf eine 23 ,um Polyesterfolie aufgebracht
und nach deren Trocknung an einem zweiten Äntragswerk der ßeschichtungsmaschine mit einer weiteren 30 ,um dicken
pfrotopolymerisierbaren Schicht versehens getrocknet und
mit Polyolefin-Deckfolre» die 23 ,um dick istD kaschiert
und aufgewickelt. Die restiöserfrei ausgetrocknete
Doppelschicht ist von gleichmäßiger Qualität und ohne Schichtunruhe. Sie zeigt keine streifigen Dickstellen und
Durchhänge* wie sie entstehen, wenn die relativ dünne
23 ,um Polyesterfolie im Einschichtverfahren mit der
vergleichsweise -schweren 60 .um Schicht versehen wird. Die
ß&schich'tungslö'sung besteht aus folgenden Bestandteilen:
bsstsSiend ays dsm Umsetzungsps-odukt von
£a2p4-Triffl3ihyI--he)iam@thylen=cHisoeyanat mit Hydroxy»
(173 §) und ©Inem Teppolytieren (200 g)9
aas n=Hfsyl»-ra©thacry]at0 ^©thacrylsSure und
Styro1o dara noch "sygssstzt sind 9°Pfo@ny1acHdin (S5I g),
Sichlers Keton·(αβ4-g)„ TriSthylenglykoidimetbacrylat
M1 ; HGL (I0O g).
Cr-.
Auf eine 25 ,um dicke getrocknete Schicht der in Beispiel 1 genannten Zusammensetzung wird im kontinuierlichen
Verfahren eine zweite Schicht von 15 ,um Stärke aufgebracht, die einen auf den Feststoffgehalt
bezogenen Anteil von 0,6 % eines Haftvermittlers aus 3-Mercaptopropionsäureanilid
enthält. Die Schicht wird bei 1300C getrocknet, wie in Beispiel 1 beschrieben mit einer
Deckfolie versehen und aufgewickelt. Die haftvermittelnde
Photopolymerschicht, die durch Auflaminieren auf Metalloberflächen in unmittelbaren Kontakt mit der
Metallschicht (permanentes Substrat) kommt, zeichnet sich durch besondere Widerstandsfähigkeit gegenüber Ablösungserscheinungen beim Aufbau von Ni/Au-Schichten in Galvanobädern
aus.
Durch Beschichtung einer trockenen, auf ein 23 ,um dickes
Polyesterfolienband aufgebrachten 15 ,um dicken Schicht
der in Beispiel 1 genannten Zusammensetzung mit einer 20 ,um dicken Schicht nachstehender Zusammensetzung wird
eine photopolymerisierbare Doppelschicht erhalten.
Ais Beschichtungslösung werden 240 g des in Beispiel 1
genannten Photomonomeren und ein Terpolyüieres verwendet
:300 g), das aus Methyl -methacrylat, ri-Hsxyl-methacrylat
'jrid Methacrylsäure besteht, dem 8,6 g 9-Fhenylacridin,
C2S g Michlers Katon, 6,4 g Triäthylenglykoldimethacrylat
jnd 2,6 g Samaronmarineblau zugesetzt wurden.
809826/0209
Die Doppel schicht haftet auf kupfermetailisierten
Oberflächen wesentlich besser als die Erstschicht allein. Dies zeigt sich an folgender Versuchsanordnung:
Wird in die Schicht ein sich kreuzendes Linienmuster eingeritzt, so lassen sich - im Gegensatz zur Erstschicht
allein - mit der Klebestreifen-Abziehmethode praktisch keine ScMclrtteiTe mehr von der Metalloberfläche abreißen
Beisρ i e1 4
Eine 15 ,um dicke Photopolymerschicht (Schicht I) wurde
auf eine Polyesterträgerfolie aufgetragen. Diese getrocknete Schicht wurde mit einer 20 ,um dicken Schicht
versehen, welche aus den in Beispiel 1 genannten Bestandteilen besteht. Schließlich wurde an einer dritten
Beschichtungsstation in kontinuierlicher Weise eine dritte
15 ,um dicke Schicht (Schicht III) aufgebracht.
Sch-icht I und III bestanden aus einem Copolymerisat von
Methylmethacrylat und Methacrylsäure (18 g), Polymethylmethacrylat
MG 258 000 (15 g), Weichmacher aus einem Genuisch von TriäthyTenglykoldicaprat und -dicaprilat
(& §)» Trimetnylo-Tprapantriacrylat (34 g} und einem
TerpoTynreren von KtbyTacryTat, Me.thyT-ntethacryTat und
Acrylsäure (T3 g τη. LQ % Ätfryleel losal ve) ^ VSichle^z Keton
(T gj a-nd f-PB&nylctcrfeLtB (t g).
Dier erfrattene Pbatopölymerfitm zeichnete ·;?■·". jjrcft plane-Lage^
eise gute Haftung na-cfi dem Lamfnie^^V t»f Ktfpfepo-berfTa1Ch-er>
aus, o,hrte daß- er eine nackte?' rg-e Sprödigfceit
Besaß.
Γ 9 * s r- ■ Γ? ? 0 9
BAD ORIGINAL
Durch Beschichtung einer trockenen 25 ,um dicken Schicht
der Zusammensetzung nach Beispiel 1 mit einer 20 ,um
dicken Schicht der für Schicht III in Beispiel 4 genannten Zusammensetzung wird unter Beibehaltung einer durch die
dickere Schicht hervorgerufenen hohen Lichtempfindlichkeit
durch Kombination mit der dünneren Schicht eine in Ni/Au-GaIvanobädern
resistentere Schicht erhalten.
Eine auf Polyesterträger aufgebrachte photopolymerisierbare
Schicht einer in Beispiel 1 genannten Zusammensetzung wird mit einer für Schicht III in Beispiel 4
genannten Zusammensetzung beschichtet.
Andererseits beschichtet man die Polyesterträgerfolie erst
mit einer Schicht entsprechend Schicht III des Beispiels 4 und gibt dann erst die Lösung der nach Beispiel 1
beschriebenen Art und trocknet.
Man erhält auf diese Weise je nach Wahl eine photopolymerisierbare
Schichtkombination mit Flanken, deren Winkel mit der Substratoberfläche zwischen stumpf- und
spitzwinkliger Form variiert werden können.
Hierdurch wird eine Beeinflussung der Form des Leiterbahnmetallsteges
beim anschließenden Galvanoaufbau oder
bei der Ätzung erreicht.
809826/0209
Durch Kombination einer mit Samaronmarineblau angefärbten Schicht der Zusammensetzung nach Beispiel 1 mit einer mit
Rhodamin B rot angefärbten Schicht nachstehender Zusammensetzung wird ein in der Durchsicht von der Färbung der
Einzel schichten abweichendes rotviolettes Photopolymermaterial mit guter Transparenz und gutem Kontrast zum
Kupfer erhalten:
200 g des in Beispiel 1 genannten Photomonomeren und 200 g des dort angeführten Terpolymeren.
- Patentansprüche -
80 9826/0209
Claims (10)
- PatentansprücheNegätiν-Trockeηresistfilm aus temporärer Trägerfolie, photopolymerisierbarer Schicht und üeckfolie, dadurch gekennzeichnet, daß die photopolymerisierbare Schicht aus mindestens zwei Teil schichten besteht.
- 2. Film nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die der Deckfolie benachbarte photopolymerisierbare Schicht einen Haftvermittler enthält.
- 3. Film nach Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die photopolymerisierbare Schicht mindestens in einer Teilschicht einen Farbstoff enthält.
- 4. Film nach Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die photopolymerisierbare Schicht von Träger- und Deckfolie aus dem gleichen Material abgedeckt ist.
- 5. Verfahren zur Herstellung eines Negativ-Trockenresistfilms nach Ansprüchen 1 bis 4 durch Aufbringen der photopolymerisierbaren Schicht auf die temporäre Trägerfolie aus einer Lösung und Trocknen und Abdecken der Schicht mit einer Deckfolie, dadurch gekennzeichnet, daß man die photopolymerisierbare Schicht im kontinuierlichen Arbeitsgang in mindestens zwei Teilschichten jeweils aus Lösung aufbringt und trocknet.
- 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man die photopolymerisierbare Schicht herstellt durch Aufbringen der gleichen Lösung und Trocknen hintereinander.809826/0209
- 7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mau die photopolyraerisierbare Schicht herstellt durch Aufbringen and Trocknen unterschiedlicher Lösungen.
- 8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Ansprüchen 5 bis 7, gekennzeichnet durch mindestens zwei an sich bekannte Antrags- und Trocknungseinrichtungen.
- 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Antragseinrichtung Schlitzgießer und als Trocknungseinrichtung Schwebetrockner dienen.
- 10. Verfahren zur Modifizierung von Substratoberflächen beliebiger Körper, auf welche man einen Negativ-Trockenresistfilm unter Wärmeeinwirkung aufkaschiert, bildmäßig belichtet, die Nichtbildstellen durch Auswaschen entfernt und die freigelegte Oberfläche modifiziert und die Bildstellen anschließend gegebenenfalls entfernt, dadurch gekennzeichnet, daß man einen Negativ-Trockenresistfilm des Aufbaues nach Ansprüchen 1 bis 4 verwendet.
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2658422A DE2658422C2 (de) | 1976-12-23 | 1976-12-23 | Verfahren zur Herstellung eines Negativ-Trockenresistfilms |
NLAANVRAGE7714128,A NL186723C (nl) | 1976-12-23 | 1977-12-20 | Werkwijze voor het vervaardigen van reliefachtige afbeeldingen en gevormde produkten aldus verkregen. |
BE183613A BE862048A (fr) | 1976-12-23 | 1977-12-20 | Procede pour l'obtention d'enregistrements en relief |
CH1566377A CH635203A5 (de) | 1976-12-23 | 1977-12-20 | Verfahren zur herstellung von reliefartigen aufzeichnungen. |
FR7738594A FR2375624A1 (fr) | 1976-12-23 | 1977-12-21 | Procede pour l'obtention d'enregistrements en relief |
GB53174/77A GB1597607A (en) | 1976-12-23 | 1977-12-21 | Process for recording an image |
SE7714551A SE435108B (sv) | 1976-12-23 | 1977-12-21 | Forfarande for framstellning av reliefartade uppteckningar genom att kontinuerligt pafora minst tva fotopolymeriserbara delskikt pa en temporer berare |
BR7708588A BR7708588A (pt) | 1976-12-23 | 1977-12-22 | Processo para a producao de registros do tipo em relevo |
IT52332/77A IT1090632B (it) | 1976-12-23 | 1977-12-22 | Procedimento per produrre registrazione a rilievo |
JP15548277A JPS5382322A (en) | 1976-12-23 | 1977-12-23 | Method of producing relief recording material |
US06/073,473 US4337308A (en) | 1976-12-23 | 1979-09-07 | Process for making relief-type recordings |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2658422A DE2658422C2 (de) | 1976-12-23 | 1976-12-23 | Verfahren zur Herstellung eines Negativ-Trockenresistfilms |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2658422A1 true DE2658422A1 (de) | 1978-06-29 |
DE2658422C2 DE2658422C2 (de) | 1986-05-22 |
Family
ID=5996394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2658422A Expired DE2658422C2 (de) | 1976-12-23 | 1976-12-23 | Verfahren zur Herstellung eines Negativ-Trockenresistfilms |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4337308A (de) |
JP (1) | JPS5382322A (de) |
BE (1) | BE862048A (de) |
BR (1) | BR7708588A (de) |
CH (1) | CH635203A5 (de) |
DE (1) | DE2658422C2 (de) |
FR (1) | FR2375624A1 (de) |
GB (1) | GB1597607A (de) |
IT (1) | IT1090632B (de) |
NL (1) | NL186723C (de) |
SE (1) | SE435108B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4349620A (en) | 1979-06-15 | 1982-09-14 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Solvent developable photoresist film |
EP0214103A2 (de) * | 1985-09-04 | 1987-03-11 | Ciba-Geigy Ag | Geklebte photostrukturierbare Polyimidfolie |
US4894313A (en) * | 1986-05-31 | 1990-01-16 | Basf Aktiengesellschaft | Photosensitive recording element comprising migration resistant dyes |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1980001321A1 (en) * | 1978-12-25 | 1980-06-26 | N Smirnova | Dry film photoresist |
JPS58134632A (ja) * | 1982-02-05 | 1983-08-10 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 感光性積層物 |
US4504566A (en) * | 1982-11-01 | 1985-03-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Single exposure positive contact multilayer photosolubilizable litho element with two quinone diazide layers |
DE3606266A1 (de) * | 1986-02-27 | 1987-09-03 | Basf Ag | Lichtempfindliches aufzeichnungselement |
DE3827245A1 (de) * | 1988-08-11 | 1990-02-15 | Hoechst Ag | Photopolymerisierbares aufzeichnungsmaterial |
DE4024908A1 (de) * | 1990-08-06 | 1992-02-20 | Ant Nachrichtentech | Verfahren zum herstellen von resistmustern auf substraten |
US5288589A (en) * | 1992-12-03 | 1994-02-22 | Mckeever Mark R | Aqueous processable, multilayer, photoimageable permanent coatings for printed circuits |
US5405731A (en) * | 1992-12-22 | 1995-04-11 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Aqueous processable, multilayer, photoimageable permanent coatings for printed circuits |
EP0729071A1 (de) * | 1995-02-15 | 1996-08-28 | Schablonentechnik Kufstein Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung einer Druckschablone |
KR100599219B1 (ko) | 1999-06-24 | 2006-07-12 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 감광성 엘리먼트, 감광성 엘리먼트롤, 이것을 사용한레지스트패턴의 제조법, 레지스트패턴, 레지스트패턴적층기판, 배선패턴의 제조법 및 배선패턴 |
JP2004020643A (ja) * | 2002-06-12 | 2004-01-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | ドライフィルムレジスト及びプリント基板の製造方法 |
JP5264589B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2013-08-14 | 富士フイルム株式会社 | 同時2光子吸収3次元光記録媒体および同時2光子3次元光記録方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1140080B (de) * | 1957-02-18 | 1962-11-22 | Du Pont | Platte zur Erzeugung von Reliefdruckformen durch Photopolymerisation |
US3469982A (en) * | 1968-09-11 | 1969-09-30 | Jack Richard Celeste | Process for making photoresists |
DE1962089B1 (de) * | 1969-12-11 | 1971-05-27 | Agfa Gevaert Ag | Mehrfachbegiessanlage |
DE2202360A1 (de) * | 1971-01-21 | 1973-05-17 | Du Pont | Lichthaertbares material |
DE2448850A1 (de) * | 1974-10-14 | 1976-04-22 | Hoechst Ag | Verfahren zum aufbringen einer kopierschicht |
DE2558530A1 (de) * | 1974-12-28 | 1976-07-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | Bilderzeugungsverfahren |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB841454A (en) * | 1957-09-16 | 1960-07-13 | Du Pont | Improvements in or relating to photopolymerisable elements |
NL245513A (de) * | 1959-01-23 | |||
US3615435A (en) * | 1968-02-14 | 1971-10-26 | Du Pont | Photohardenable image reproduction element with integral pigmented layer and process for use |
BE755709A (fr) * | 1969-10-29 | 1971-02-15 | Shipley Co | Procede d'application d'une reserve photographique sur un support et produit obtenu |
US3785817A (en) * | 1970-10-05 | 1974-01-15 | A Kuchta | Transfer of photopolymer images by irradiation |
US3770438A (en) * | 1971-12-09 | 1973-11-06 | J Celeste | Photopolymerizable transfer elements |
US3982943A (en) * | 1974-03-05 | 1976-09-28 | Ibm Corporation | Lift-off method of fabricating thin films and a structure utilizable as a lift-off mask |
-
1976
- 1976-12-23 DE DE2658422A patent/DE2658422C2/de not_active Expired
-
1977
- 1977-12-20 NL NLAANVRAGE7714128,A patent/NL186723C/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-12-20 BE BE183613A patent/BE862048A/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-12-20 CH CH1566377A patent/CH635203A5/de not_active IP Right Cessation
- 1977-12-21 GB GB53174/77A patent/GB1597607A/en not_active Expired
- 1977-12-21 SE SE7714551A patent/SE435108B/sv not_active IP Right Cessation
- 1977-12-21 FR FR7738594A patent/FR2375624A1/fr active Granted
- 1977-12-22 IT IT52332/77A patent/IT1090632B/it active
- 1977-12-22 BR BR7708588A patent/BR7708588A/pt unknown
- 1977-12-23 JP JP15548277A patent/JPS5382322A/ja active Granted
-
1979
- 1979-09-07 US US06/073,473 patent/US4337308A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1140080B (de) * | 1957-02-18 | 1962-11-22 | Du Pont | Platte zur Erzeugung von Reliefdruckformen durch Photopolymerisation |
US3469982A (en) * | 1968-09-11 | 1969-09-30 | Jack Richard Celeste | Process for making photoresists |
DE1962089B1 (de) * | 1969-12-11 | 1971-05-27 | Agfa Gevaert Ag | Mehrfachbegiessanlage |
DE2202360A1 (de) * | 1971-01-21 | 1973-05-17 | Du Pont | Lichthaertbares material |
DE2448850A1 (de) * | 1974-10-14 | 1976-04-22 | Hoechst Ag | Verfahren zum aufbringen einer kopierschicht |
DE2558530A1 (de) * | 1974-12-28 | 1976-07-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | Bilderzeugungsverfahren |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
DE-Z.: K. Maurischat, Galvanotechnik, 65(8) 659-672 (1974) * |
Kirk Othmer, Encyclopedia of Chemical Technology, 5, 683 ff (1964) * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4349620A (en) | 1979-06-15 | 1982-09-14 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Solvent developable photoresist film |
EP0214103A2 (de) * | 1985-09-04 | 1987-03-11 | Ciba-Geigy Ag | Geklebte photostrukturierbare Polyimidfolie |
EP0214103A3 (en) * | 1985-09-04 | 1987-12-09 | Ciba-Geigy Ag | Adhesively bonded photostructurable polyimide foil |
US4894313A (en) * | 1986-05-31 | 1990-01-16 | Basf Aktiengesellschaft | Photosensitive recording element comprising migration resistant dyes |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4337308A (en) | 1982-06-29 |
NL7714128A (nl) | 1978-06-27 |
JPS5382322A (en) | 1978-07-20 |
FR2375624B1 (de) | 1980-08-22 |
NL186723C (nl) | 1991-02-01 |
NL186723B (nl) | 1990-09-03 |
SE435108B (sv) | 1984-09-03 |
CH635203A5 (de) | 1983-03-15 |
FR2375624A1 (fr) | 1978-07-21 |
JPS6131855B2 (de) | 1986-07-23 |
SE7714551L (sv) | 1978-06-24 |
BE862048A (fr) | 1978-06-20 |
IT1090632B (it) | 1985-06-26 |
DE2658422C2 (de) | 1986-05-22 |
GB1597607A (en) | 1981-09-09 |
BR7708588A (pt) | 1978-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2658422A1 (de) | Negativ-trockenresistfilm und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2706589C2 (de) | Verfahren zum Herstellen von reflektierendem Bahnenmaterial | |
DE3508701C2 (de) | ||
DE2752337C2 (de) | ||
EP0043989B1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Verbundfolie | |
DE2105616A1 (de) | Fotopolymerisierbare Verbindungen und hieraus bestehende Produkte | |
DE2638710C2 (de) | Vorsensibilisierte Druckplatte | |
DE2921643C2 (de) | Trockenübertragungssystem und Verfahren zum trockenen Übertragen eines Films | |
DE2855060A1 (de) | Photographisches papier | |
DE4203608A1 (de) | Verfahren zur photochemischen oder mechanischen herstellung flexibler druckformen | |
DE697157C (de) | Verfahren zur Verbesserung der Haftfestigkeit photographischer Emulsionen, besondersauf sogenannten Sicherheitsfilmen | |
EP1319502A1 (de) | Oberflächenfolie zum Aufkaschieren auf ein Substrat | |
DE2736867C2 (de) | Reproduktionsmaterial, insbesondere Abbildungsfilm zur Verwendung im graphischen Gewerbe, sowie Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE3236602C2 (de) | ||
DE1816991A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von metallisierten Folien und Faeden | |
DE3433293C2 (de) | ||
DE3036602C2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Leuchtschirmes einer Farbbildröhre | |
DE1422899A1 (de) | Photographischer Film | |
DE1696264B2 (de) | Verfahren zur Herstellung lichtundurchlässiger Papiere für fotografische Zwecke | |
DE2405880B2 (de) | Verbundplatte, insbesondere zur Herstellung einer Druckplatte | |
DE1572119B2 (de) | Wäßrige Haftschichtdisperion | |
DE578816C (de) | Zierspiegel | |
DE1447781A1 (de) | Fotografischer Abziehfilm | |
DE2600167B2 (de) | Verwendung einer vorbehandelten Papierbahn zur Herstellung einer metallisierten Papierbahn | |
DE1522456A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von AEtzreserven und hierfuer geeignete Materialien |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
8125 | Change of the main classification | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8366 | Restricted maintained after opposition proceedings | ||
8305 | Restricted maintenance of patent after opposition | ||
D4 | Patent maintained restricted | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |