DE19653956A1 - Flaches Wärmerohr - Google Patents

Flaches Wärmerohr

Info

Publication number
DE19653956A1
DE19653956A1 DE19653956A DE19653956A DE19653956A1 DE 19653956 A1 DE19653956 A1 DE 19653956A1 DE 19653956 A DE19653956 A DE 19653956A DE 19653956 A DE19653956 A DE 19653956A DE 19653956 A1 DE19653956 A1 DE 19653956A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
heat pipe
flat heat
aluminum
plate
pipe according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19653956A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaaki Yamamoto
Jun Niekawa
Yuichi Kimura
Kenichi Namba
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=27464944&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE19653956(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Publication of DE19653956A1 publication Critical patent/DE19653956A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28DHEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
    • F28D15/00Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
    • F28D15/02Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
    • F28D15/0233Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes the conduits having a particular shape, e.g. non-circular cross-section, annular
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28FDETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F3/00Plate-like or laminated elements; Assemblies of plate-like or laminated elements
    • F28F3/02Elements or assemblies thereof with means for increasing heat-transfer area, e.g. with fins, with recesses, with corrugations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]

Description

Hintergrund der Erfindung Bereich der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein flaches Wärmerohr von kleiner Größe, das leicht herzustellen ist, eine hohe Wärmeleitfähigkeit hat, und dafür eingerichtet ist, hitzeerzeugende elektronische Komponenten wie ein IG1BT (Isolierschichtbipolartransistor), IPM (Intelligente Energiequelle, Triebwerk), Energieelemente (Transistor) von Thyristoren, etc. oder Rektifikationsvorrichtungen, etc. abzukühlen.
Flaches Wärmerohr im Sinne der vorliegenden Anmeldung bezeichnet im wesentlichen plattenförmige Wärmetauscherelemente für den Einsatz zur Hitzeabführung von elektronischen Komponenten und dergleichen.
Beschreibung der relevanten Technik
Heutzutage werden Roll-Bond-Platten, zur Verbindung durch Druck oder Wärme vorbereitete, ggf. beschichtete und profilierte Platten als wirksame Kühlvorrichtungen für elektronische Komponenten betreffend die Leistungselektronik vorgeschlagen, die für elektronische Apparaturen, leistungselektrische Apparaturen, etc. verwendet werden.
Die oben erwähnte Roll-Bond-Platte wird, wie in den Fig. 23a und 23b gezeigt, durch Thermodruckbonden von zwei Aluminiumplatten 80, 81 hergestellt, wobei ein Freihalteelement an einem Abschnitt, an dem ein Wärmeleit- bzw. Wärmeübertragungsweg 25 gebildet wird, dazwischen gesetzt wird, wobei dann ein Teil des Freihaltelementes durch Luftdruck aufgeblasen wird. Daher ist die Roll-Bond-Platte in solch einer Weise geformt, daß ein Abschnitt des Wärmeübertragungsweges 25 vorspringt, so daß eine Fläche der Roll-Bond-Platte konkav-konvex geformt ist.
Daher hat die Roll-Bond-Platte die folgenden Probleme:
  • (1) Da sie durch Aufblasen des Abschnittes des Wärmeübertragungsweges 25 durch Luftdruck gebildet wird, kann die dimensionale Genauigkeit des Wärmeübertragungsweges 25 nicht verbessert werden. Es ist auch schwierig, den Wärmeübertragungsweg 25 dünner bzw. schlanker zu machen.
  • (2) Da die Aluminiumplatten 80, 81 mit Thermodruckbonden verbunden werden, können keine Rillen (enge Rillen bzw. Nuten) oder Dochte bzw. Erhebungen darauf angeordnet werden, so daß keine die hohe Wärmeleitfähigkeit erhalten werden kann.
  • (3) Da die Flächen der Aluminiumplatten 80, 81 konkav-konvex sind, ist es schwierig, Kühlrippen, die für die Verbesserung der Abkühlung nützlich sind, hieran zu befestigen.
Es ist daher ein Gegenstand der vorliegenden Erfindung, ein flaches Wärmerohr bereitzustellen, welches ermöglicht, einen optional geformten Wärmeübertragungsweg mit hoher Genauigkeit zu bilden, dabei dünn und unter Ausbildung der Rillen und Dochte herstellbar ist und wobei die Befestigung der Kühlrippen erleichtert wird.
Zusammenfassung der Erfindung
Eine erste Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest zwei Aluminiumplatten, die im wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind, aneinander hartgelötet sind, um einen Wärmeübertragungsweg dazwischen zu bilden, wobei eine Arbeitsflüssigkeit in den Wärmeübertragungsweg füllbar oder eingefüllt ist.
Eine zweite Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem eine Aluminiumplatte, die in einer geriffelten Weise bearbeitet ist, zwischen die beiden Aluminiumplatten zwischengesetzt ist.
Eine dritte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem die Aluminiumplatte, die in geriffelter Weise bearbeitet ist, eine Aluminium-Hartlötplatte ist.
Eine vierte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem Durchlaßöffnungen auf den Seitenwänden der konkav­ konvexen Abschnitte der Aluminiumplatte, die in geriffelter Weise bearbeitet ist, angeordnet sind.
Eine fünfte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem ein Metallrohr auf einem Öffnungsende des Wärmeübertragungsweges gelötet ist, wobei ein vorbestimmter Abschnitt des Hilfsmetallrohres durch das Druckbonden und/oder Schweißen abgedichtet ist.
Eine sechste Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem Tragkörper zwischen zumindest den beiden im wesentlichen parallel zueinander angeordneten Aluminiumplatten derart angeordnet sind, daß die Aluminiumplatten in einem vorbestimmten Abstand voneinander entfernt liegen.
Eine siebte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem eine vorbestimmte Anzahl von vorspringenden Abschnitten auf einer Aluminiumplatte von den zumindest zwei im wesentlichen parallel zueinander angeordneten Aluminiumplatten gebildet sind, wobei dann vordere Abschnitte der vorspringenden Abschnitte an die anderen Aluminiumplatten angefügt werden.
Eine achte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem Rillen auf den Innenflächen des Wärmeübertragungsweges gebildet sind, und/oder ein Docht auf dem Wärmeübertragungsweg angebracht ist.
Eine neunte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem der Docht Rillen, die auf einer Innenfläche der Aluminiumplatte gebildet sind, oder einen unebenen Abschnitt aufweist, der durch Schmelzen eines Lotes, der die Innenfläche der Aluminiumplatte bildet, und durch Verfestigen des Lotes, der die Innenfläche der Aluminiumplatte bildet, gebildet ist.
Eine zehnte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem der Docht eine auf der Aluminiumplatte festgelötete, wellenartige Platte, ein zylindrisches Drahtgewebe, ein plattenartiges Drahtgewebe oder eine Anzahl von aneinander anstoßenden Kugeln aufweist.
Eine elfte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem vorspringende Abschnitte auf einer Aluminiumplatte von den zumindest zwei im wesentlichen parallel zueinander angeordneten Aluminiumplatten gebildet sind, wobei Lochabschnitte auf der anderen Aluminiumplatte derselben angeordnet sind und die Aluminiumplatten durch Einschieben des vorspringenden Abschnittes in die Lochabschnitte positioniert werden.
Eine zwölfte Ausführung der vorliegenden Erfindung liefert ein flaches Wärmerohr, bei dem Kühlrippen auf einem Teil oder dem Ganzen der Fläche der Aluminiumplatte gelötet sind.
Weitere Gegenstände und Vorteile der Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungen der Erfindung, wie in den beiliegenden Zeichnungen illustriert, hervor.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Fig. 1 ist eine erläuternde Aufbauansicht, die ein flaches Wärmerohr gemäß einer ersten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 2a ist eine Querschnittsansicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer zweiten Ausführung der vorliegenden Erfindung und Fig. 2b ist eine Perspektivansicht einer geriffelten Lötplatte, die in dem og. flachen Wärmerohr verwendet wird.
Fig. 3 ist eine Schnittansicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer dritten Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Fig. 4a ist eine auseinandergezogene Draufsicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Fig. 4b ist eine Querschnittsansicht davon, und Fig. 4c ist eine Perspektivansicht einer Lötplatte zur Bildung eines Weges, der in dem flachen Wärmerohr verwendet wird.
Fig. 5a ist eine auseinandergezogene Draufsicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung, Fig. 5b ist eine Querschnittsansicht, die entlang der Linie A-A der Fig. 5a genommen wurde, und Fig. 5c-f sind Perspektivansichten von Tragkörpern, die in dem flachen Wärmerohr verwendet werden.
Fig. 6a ist eine erläuternde Aufbauansicht, die ein flaches Wärmerohr gemäß einer sechsten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt, und Fig. 6b ist eine Querschnittsansicht, die entlang der Linie B-B der Fig. 6a genommen wurde.
Fig. 7a ist eine Seitenansicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer siebten Ausführung der vorliegenden Erfindung, und Fig. 7b ist eine Querschnittsansicht davon.
Fig. 8a-c ist eine auseinandergezogene Verfahrensansicht, die ein Beispiel für ein Herstellungsverfahren des flachen Wärmerohrs gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 9 ist eine auseinandergezogene Verfahrensansicht, die ein Beispiel für ein anderes Herstellungsverfahren des flachen Wärmerohrs gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 10 ist eine Draufsicht, die eine Ausführung zeigt, in der Kühlrippen auf dem flachen Wärmerohr gemäß der vorliegenden Erfindung angebracht sind.
Fig. 11 ist eine Draufsicht, die ein flaches Wärmerohr gemäß einer achten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 12a ist eine Draufsicht, die ein Beispiel für einen Abschnitt zeigt, durch den die Arbeitsflüssigkeit auf das flache Wärmerohr gemäß der vorliegenden Erfindung gefüllt wird, Fig. 12b ist eine Seitenansicht davon und Fig. 12c ist eine Vorderansicht davon.
Fig. 13a ist eine erläuternde Ansicht, die ein Beispiel für ein Herstellungsverfahren des flachen Wärmerohrs gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, und Fig. 13b ist eine erläuternde Ansicht, die ein anderes Beispiel desselben zeigt.
Fig. 14a-d ist eine erläuternde Ansicht, die ein Beispiel für ein Verfahren zum Gießen einer Arbeitsflüssigkeit in das flache Wärmerohr der vorliegenden Erfindung, und dann zum Abdichten desselben zeigt.
Fig. 15 ist eine Perspektivansicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer neunten Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Die Fig. 16a und 16b sind Perspektivansichten des flachen Wärmerohrs gemäß jeweils der zehnten und elften Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Die Fig. 17a bis 17d sind Perspektivansichten des flachen Wärmerohrs gemäß jeweils der zwölften, dreizehnten, vierzehnten und fünfzehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Fig. 18 zeigt eine erläuternde Herstellungsverfahrensansicht des flachen Wärmerohrs gemäß der dreizehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung.
Fig. 19 ist eine Draufsicht, die ein flaches Wärmerohr gemäß der sechszehnten und siebzehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 20 ist eine Schnittansicht, die das flache Wärmerohr gemäß der sechzehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 21 ist eine Schnittansicht, die das flache Wärmerohr gemäß der siebzehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 22 ist eine Perspektivansicht, die das flache Wärmerohr gemäß der sechzehnten und siebzehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 23a ist eine Draufsicht eines flachen Wärmerohrs aus der bekannten Technik, und Fig. 23b ist eine Schnittansicht, die entlang der Linie C-C der Fig. 23a genommen wurde.
Genaue Beschreibung der bevorzugten Ausführungen
Ein flaches Wärmerohr gemäß der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß zwei im wesentlichen parallel zueinander angeordnete Aluminiumplatten aneinander hartgelötet sind, um einen Wärmeübertragungsweg dazwischen zu bilden, und daß eine Arbeitsflüssigkeit in den Wärmeübertragungsweg gefüllt wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird als Aluminiumplatte ein Aluminiumplattenmaterial mit einer Dicke von z. B. 0,2 mm bis 5 mm und hoher thermischer Leitfähigkeit, d. h. dem Niveau von JIS-A-1000, oder einer Lötplatte verwendet. Allgemein wird die Aluminiumplatte für die äußeren Elemente und die Lötplatte für das innere Element verwendet.
Als Lötplatte kann eine Platte mit beidseitigem Bonden benutzt werden, die ein Kernmaterial aufweist, das mit Loten auf beiden Seiten davon befestigt ist, und die eine Dicke von z. B. 0,5 mm bis 10 mm, etc. hat. Z.B. gibt es JIS- BA12PC (Kernmaterial 303, Lot BA4343 [A 1-6 bis 8 wt% Si-Legierung]), JIS- BA22PC (Kernmaterial 6951, Lot Ba4343) und JIS-BA24PC (Kernmaterial 6951, Lot BA4045 [A 1-9 bis 11 wt% Si-Legierung]), etc. Es kann auch eine Platte mit einseitigem Bonden als Lötplatte eingesetzt werden. Wenn zwei oder mehr Lötplatten daran angeordnet sind, kann die Bondstärke in Bedarfsfällen erhöht werden. Das Löten zum Bonden wird unter Erhitzung auf ca. 600°C ausgeführt.
Als Arbeitsflüssigkeit kann ein normales Heizmedium wie eine Alkoholart, verschmutzungsfreies Frigen, eisfreie Flüssigkeit, "FLORINATO" (Sumitomo 3M Co.-hergestellte fluorinerte Flüssigkeit) verwendet werden.
Selbst wenn das flache Wärmerohr horizontal angeordnet ist, kann, solange Rillen auf einer Wandfläche des Abschnittes des Wärmeübertragungsweges gebildet sind, oder Dochte in dem Wärmeübertragungsweg angeordnet sind, die Arbeitsflüssigkeit prompt eingesetzt werden, wodurch die Wärmeübertragungseigenschaften verbessert werden. Als Dochte können normale Artikel wie Maschennetze, Filze, ungewebte Stoffgewebe, etc. benutzt werden.
Da das flache Wärmerohr gemäß der vorliegenden Erfindung flach an seinen Flächen ist, können Kühlrippen leicht daran befestigt werden. Wenn die Kühlrippen durch Löten daran befestigt werden, verbessern sich die thermischen Übertragungseigenschaften zwischen dem flachen Wärmerohr- Hauptkörper und den Kühlrippen, wodurch außerdem ein Strahlungseffekt der Kühlrippen verbessert wird.
Das Formen eines schalenartigen Abschnitts der Aluminiumplatte und das Formen des konkav-konvexen Abschnitts der Lötplatte werden durch Druckformen durchgeführt. Für die Durchlochungsbearbeitung der Lötplatte werden die Preßlochung, die Schneidebearbeitung, das Wasserstrahlschneiden, die Laserstrahlbearbeitung, etc. verwendet, wenn die Dicke des Arbeitsmaterials relativ dick ist (ca. 1 mm und mehr), und der normale mechanische Schneider, die Laserstrahlmaschine, etc. werden verwendet, wenn das Material dünn ist.
In dem Wärmeübertragungsweg in dem flachen Wärmerohr gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Arbeitsflüssigkeit ausreichend im Umlauf, um eine hohe thermische Leitfähigkeit zu erzielen, wenn das Querschnittsausmaß auf nicht weniger als
0,5 mm × 0,5 mm oder nicht weniger als den entsprechenden Querschnittsbereich eingestellt ist, was zu bevorzugen ist.
Bei der vorliegenden Erfindung werden zumindest zwei Aluminiumplatten durch Löten verbunden, wobei dabei der Wärmeübertragungsweg gebildet wird. Wenn eine Lötplatte für irgendeine der Aluminiumplatten verwendet wird, kann das Löten leicht ausgeführt werden. Das Erhitzen für das Löten wird durchgeführt, indem die Lötplatte zwischen die Aluminiumplatten gelegt wird und leichter Druck bis zu solch einem Grad, daß jeweilige Elemente nicht verformt werden, ausgeübt wird. Die Heiztemperatur wird geändert entsprechend den Arten von Lötplatten. Allgemein wird das Löten bei einer Temperatur von 600°C durchgeführt. Das Erhitzen wird unter Verwendung des Heizofens durchgeführt. Bei dieser Gelegenheit ist es wirksam, das Löten der Kühlrippen gleichzeitig durchzuführen.
Bei der vorliegenden Erfindung wird ein Öffnungsabschnitt zuvor an zumindest einer Stelle des Wärmeübertragungsweges angeordnet, dann wird die Arbeitsflüssigkeit durch den Öffnungsabschnitt darin eingefüllt. Wenn ein aus Aluminium oder Aluminiumlegierung, etc. hergestelltes Metallrohr luftdicht an dem Öffnungsabschnitt befestigt wird, kann die Arbeitsflüssigkeit leicht in den Weg eingefüllt, und dann leicht nach dem Eingießen abgedichtet werden.
Obwohl das Abdichten durch Druckbonden oder Schweißen erleichtert wird, kann das Löten eingesetzt werden. Wenn das Schweißen zusammen mit dem Druckbonden ausgeführt wird, wird das Abdichten sicher durchgeführt, was zu bevorzugen ist. Die Art der Arbeitsflüssigkeit wird gemäß der Temperatur etc., bei der das Wärmerohr benutzt wird, in geeigneter Weise geändert.
Bei der vorliegenden Erfindung kann die Arbeitsflüssigkeit, wenn Rillen auf Innenflächen des Wärmeübertragungsweges oder Dochte in dem Wärmeübertragungsweg angeordnet sind, schnell zirkulieren. Gemäß der vorliegenden Erfindung können die oben erwähnten Rillen leicht zu dem Zeitpunkt des Auswälzens oder Preßformens der Aluminiumplatte gebildet werden, wobei die gebildeten Rillen bei den vorausgehenden Verfahren nicht eliminiert werden können. Außerdem können verschieden geformte Dochte einfach darin angeordnet werden.
Bei der vorliegenden Erfindung kann, wenn beide der Aluminiumplatten durch Anordnung der vorspringenden Abschnitte auf einer der Aluminiumplatten und der Lochabschnitte auf der anderen, und durch das Einfügen der vorspringenden Abschnitte in die Lochabschnitte positioniert werden, die Ausmaßgenauigkeit des geformten flachen Wärmerohrs verbessert werden.
Fig. 1 ist eine erläuternde Aufbauansicht, die ein flaches Wärmerohr gemäß einer ersten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt. Eine Anzahl geschlitzter Löcher 13 ist auf einer Lötplatte 10 der einseitigen Bondenart gebildet, und auf einer rechten Fläche und einer rückseitigen Fläche einer Brücke 14 sind abwechselnd Vertiefungen 15 gebildet, die die Brücke 14 kreuzen. Aluminiumplatten 20, 21 werden auf einer rechten Fläche und einer rückseitigen Fläche der Lötplatte 10 jeweils übereinandergelegt, wonach sie auf eine vorbestimmte Temperatur erhitzt werden, wobei drei von ihnen als ein Körper zusammengelötet werden.
Diese Lötplatte 10 kann gebildet werden, indem zuerst Vertiefungen 15 gebildet werden, und dann werden die geschlitzten Löcher 13 durch Lochung bearbeitet. Die geschlitzten Löcher 13 und die Vertiefungen 15 der Brücke 14 können auch mit nur einem Preßvorgang gebildet werden.
Die Eigenschaften des flachen Wärmerohrs werden hiernach beschrieben:
  • (1) Da die obere und untere Aluminiumplatte perfekt durch die beidseitige Bondenlötplatte zusammengelötet werden, kann die Aluminiumplatte dem hohen Innendruck standhalten.
  • (2) Da jede der Vertiefungen in einer Breitenrichtung der Brücke gebildet ist, fließt die Arbeitsflüssigkeit kontinuierlich in der Flächenrichtung durch die geschlitzten Löcher 13 und die Vertiefungen 15.
  • (3) Da jede der Vertiefungen in einer Breitenrichtung der Brücke gebildet ist, besteht keine Notwendigkeit, eine Anzahl von Aluminiumplatten übereinanderzulegen, so daß drei der Aluminiumplatten ausreichen.
Fig. 2a ist eine Querschnittsansicht des flachen Wärmerohrs gemäß der zweiten Ausführung der vorliegenden Erfindung. Bei diesem flachen Wärmerohr sind Aluminiumplatten 20, 21 auf der oberen und unteren Fläche der Lötplatte 10 angeordnet, die in einem trapezförmigen Querschnitt geriffelt sind. Durchlochte Elemente 30 sind an beiden Seitenendabschnitten der Aluminiumplatten 20, 21 zur Verstärkung angelötet. Endabschnitte der Lötplatte 10 sind zwischen die Durchlöcherung 30 und die Aluminiumplatten 20, 21 zwischengesetzt.
Fig. 2b ist eine Perspektivansicht der o.g. Lötplatte 10. Eine Anzahl von Fenstern 16 ist auf den Seitenflächen der trapezförmigen Abschnitte der Lötplatte angeordnet. Bei dem flachen Wärmerohr, auf das die in Fig. 2b gezeigte Lötplatte 10 angewandt wird, setzen sich Wärmeübertragungswege 25 jeweils in der Flächenrichtung fort.
Die Lötplatte 10 wird durch Anordnen von Fenstern 16 auf der Lötplatte 10 und dem Bearbeiten der Lötplatte 10 zu einer geriffelten Querschnittsform gebildet.
Fig. 3 ist eine Schnittansicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer dritten Ausführung der vorliegenden Erfindung. Bei diesem flachen Wärmerohr wird das durchlochte Element 30 direkt an die Aluminiumplatten 20, 21 ohne Zwischensetzen der beiden Endabschnitte der geriffelten Lötplatte 10 zwischen die Durchlöcherung 30 und die Aluminiumplatten 20, 21 unabhängig von dem durchlochten Element 30 angelötet.
Fig. 4a ist eine auseinandergezogene Draufsicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung und Fig. 4b ist eine Querschnittsansicht davon.
Bei diesem flachen Wärmerohr sind die Aluminiumplatten 20, 21 auf einer oberen und unteren Fläche der Lötplatte 10 angeordnet, die in trapezförmigem Querschnitt an vorbestimmten Abschnitten davon geriffelt ist.
In Fig. 4a bezeichnet die Bezugszahl 40 ein Aluminiumrohr zum Ausgießen der Arbeitsflüssigkeit in den Wärmeübertragungsweg.
Fig. 4c ist eine Perspektivansicht der Lötplatte 10. Die konkav-konvexen Abschnittsreihen 41, die jeweils einen rechteckigen Querschnitt haben, sind in Mehrzahl in regelmäßigen Abständen gebildet. Beide Enden eines jeden der vorspringenden Abschnitte 42, die die konkav-konvexe Abschnittsreihe 41 bilden, werden offen gelassen. Dementsprechend ist bei dem flachen Wärmerohr der Wärmeübertragungsweg 25 kontinuierlich in der Flächenrichtung gebildet.
Die Lötplatte 10 wird durch Verzahnen der Lötplatte 10 an den Endabschnitten 43 des vorspringenden Abschnittes 42 gebildet, wobei Abschnitte davon gebildet werden, die dann bewirken, daß die Abschnitte 42 vorspringen.
Fig. 5a ist eine auseinandergezogene Draufsicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung und Fig. 5b ist eine Schnittansicht, die entlang der Linie A-A aus Fig. 5a genommen wurde.
Das flache Wärmerohr weist eine Aluminiumplatte 22, die in einer schalenartigen Weise gebildet ist, und die flach bleibende Aluminiumplatte 20 auf, wobei beide Aluminiumplatten 20 und 22 übereinandergelegt und an deren Umfangsbereichen zusammengelötet sind, wodurch ein Raum (Wärmeübertragungsweg) an deren Mittelabschnitt gesichert wird. Der Tragkörper 50 ist an einen gewünschten Abschnitt der Platten entsprechend dem Raum gelötet, um den Innendruck bei Verwendung zu tragen. Der Tragkörper 50 wird unnütz gemäß der Benutzungsbedingung.
Die Fig. 5c, 5d, 5e und 5f sind Perspektivansichten von jeweiligen Ausführungen des Tragkörpers 50, die jeweils einen zylindrischen Tragkörper, einen faßartigen Tragkörper, einen trommelartigen Tragkörper und einen kugelförmigen Tragkörper zeigen.
Fig. 6a ist eine erläuternde Aufbauansicht, die ein flaches Wärmerohr gemäß einer sechsten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Lötplatte 10, die in einer L-Form in ihrem Mittelbereich durchlocht ist, ist auf der Aluminiumplatte 20 angeordnet. Innenrahmen 60, die jeweils aus einer Lötplatte bestehen, sind an den gewünschten Abschnitt innerhalb des durchlochten Abschnittes gelötet, um den Innendruck bei Verwendung zu tragen.
Fig. 6b ist eine Schnittansicht, die entlang der Linie B-B der Fig. 6a genommen wurde. Das auf einem Mittelabschnitt des Innenrahmens 60 angeordnete Loch 61 ist in einen abgegrateten Lochabschnitt 23, der auf der Aluminiumplatte angeordnet ist, eingefügt, wodurch der Innenrahmen 60 positioniert wird. Der Innenrahmen 60 kann durch Einschieben des Innenrahmens 60 in eine auf einer Innenfläche der Aluminiumplatte 20 angeordnete Vertiefung positioniert werden.
Das flache Wärmerohr wird durch Anordnen der Aluminiumplatte 22 auf der Lötplatte 10 und dem Innenrahmen 60 und dann durch ihr Erhitzen auf eine Löttemperatur gebildet.
Die obere Fläche des abgegrateten Lochabschnittes 23 und eine Innenfläche der Aluminiumplatte 22 sind luftdicht unter Verwendung eines drahtartigen Lötmaterials zusammengelötet.
Der Wärmeübertragungsweg ist zwischen der Lötplatte 10 und dem Innenrahmen 60 der Lötplatte gebildet. Dieser Wärmeübertragungsweg ist kontinuierlich in der Flächenrichtung gebildet. In Fig. 6a bezeichnet die Bezugszahl 40 ein Aluminiumrohr zum Gießen der Arbeitsflüssigkeit in den Wärmeübertragungsweg.
Fig. 7a ist eine Seitenansicht eines flachen Wärmerohrs gemäß einer siebten Ausführung der vorliegenden Erfindung und Fig. 7b ist eine vertikale Schnittansicht davon.
Bei diesem flachen Wärmerohr ist eine Anzahl von kegelstumpfartigen konischen Vorsprungsabschnitten 23 in regelmäßigen Abständen auf einer Aluminiumplatte 23 der beiden Aluminiumplatten, die im wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind, gebildet, und Vorderenden der kegelstumpfartigen konischen Vorsprungsabschnitte 90 sind an deren andere Aluminiumplatte 21 gelötet. Die Aluminiumplatte 21 ist eine Lötplatte mit einem Lötmaterial auf einer ihrer Flächen, und sie ist mit der Lötmaterialseite nach oben blickend angeordnet. Ein Umfangsabschnitt 91 und Vorderabschnitte 92 der vorspringenden Abschnitte der Aluminiumplatte 23 sind an die Aluminiumplatte 21 gelötet.
Dieses flache Wärmerohr hat einen höheren Widerstand gegen die Innendruckkraft. Ebenfalls unterschiedlich zu dem Rohr aus Fig. 5 ist, da der Tragkörper nicht benutzt wird, daß beide Aluminiumplatten 21, 23 leicht miteinander verbunden werden. Außerdem hat eine Fläche der Aluminiumplatte 23 auf einer Seite, auf der die vorspringenden Abschnitte gebildet sind, auch eine im wesentlichen flache Form, so daß die hohe Wärmeleitfähigkeit erreicht werden kann, egal wie die Flächen der Aluminiumplatten 21, 23 mit dem wärmeerzeugenden Element verbunden sind.
Die Form und die Anzahl der vorspringenden Abschnitte kann optional gemäß der Verwendung ausgewählt werden. Wenn eine Anzahl von vorspringenden Abschnitten mit kleinem Durchmesser gebildet wird, wird die Stärke der Aluminiumplatte 23 verbessert, und dann wird die thermische Leitfähigkeit angeglichen. Die Form des vorspringenden Abschnittes ist optional säulen(elliptischer Zylinder)-förmig, quadratisch pfeilerartig, kegel(elliptischer Kegel)-artig, sechseckig kegelartig, rechteckig kegelartig, etc.
In Fig. 8 wird ein Beispiel für eine siebte Ausführung eines Herstellungsverfahrens eines flachen Wärmerohrs gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt. Wie in Fig. 8a gezeigt, ist eine Aluminiumplatte 23 der beiden Aluminiumplatten in einer schalenartigen Form, und die nächsten gewünschten tiefliegenden Abschnitte des vorspringenden schalenartigen Abschnittes in Kegeln auf der gegenüberliegenden Seite preßgeformt, wobei dann kegelstumpfartige konische Vorsprungsabschnitte 90 gebildet werden. Außerdem ist die Aluminiumplatte 23 auf der anderen Aluminiumplatte 21 angebracht, wobei ihre kegelstumpfartigen konischen Vorsprungsabschnitte 90 nach unten gerichtet sind, wie in Fig. 8c gezeigt, und dann wenden sie in den Ofen gehalten, der auf eine vorbestimmte Temperatur geheizt wird, wodurch beide Aluminiumplatten 21, 23 aneinander gelötet werden. Bei dieser Gelegenheit werden die Tiefe der Aluminiumplatte 23 an dem Schalenabschnitt und die Höhe des vorspringenden Abschnittes 90 angeglichen, und die andere Aluminiumplatte 21 wird mit einer Lötplatte, die ein Lötmaterial auf einer ihrer Seitenflächen hat, ausgestattet und sie wird mit der Lötmaterialseite nach oben gerichtet angeordnet.
Das Preßformen des schalenartigen Abschnitts kann gleichzeitig mit dem der vorspringenden Abschnitte ausgeführt werden.
In Fig. 9 ist ein Verfahren zum Ausführen des gleichzeitigen Lötens des flachen Wärmerohrs gemäß der vorliegenden Erfindung und der abstrahlenden Kühlrippen gezeigt.
Die Aluminiumplatte 21, die mit einer Lötplatte ausgestattet ist, die ein Lötmaterial auf einer ihrer Seitenflächen hat, ist an der niedrigsten Stelle mit der Lötmaterialseite nach oben angeordnet.
Die schalenartige Aluminiumplatte 3 mit vorspringenden Abschnitten ist mit den vorspringenden Abschnitten nach unten gerichtet angeordnet, auf denen die Lötplatte 10 mit den Lötmaterialien auf beiden Seitenflächen angeordnet ist. Außerdem sind vier blockartige Kühlrippen 70 auf der Lötplatte 10 angeordnet. Der Zusammenbau wird in einem Lötofen erhitzt. Bei dieser Gelegenheit wird, wenn die Lötmaterialien der Lötplatten 21, 10 vorher mit Flußmittel beschichtet werden, die Halte kraft verbessert.
Wie in Fig. 10 gezeigt, wird, wenn die aneinander anstoßenden rechten Kühlrippen 70 und die linken Kühlrippen 70 derart angeordnet sind, daß die rechten Spitzenabschnitte und die linken Spitzenabschnitte abwechselnd versetzt sind, die thermische Leitfähigkeit verbessert.
Wenn das flache Wärmerohr mit Kühlrippen hauptsächlich auf MCM (Multi- Chip-Modulen) angeordnet ist, kann das MCM zufriedenstellend gekühlt werden. In dem Fall, wo das flache Wärmerohr auf dem MCM angeordnet ist, ist das flache Wärmerohr mit den Kühlrippen nach oben gerichtet angeordnet.
Fig. 11 ist eine Draufsicht, die ein flaches Wärmerohr gemäß einer achten Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt.
Bei diesem flachen Wärmerohr sind die Kühlrippen 70 an eine Seitenfläche des in Fig. 1 gezeigten Hauptkörpers des flachen Wärmerohrs mit der Lötplatte 11 angelötet, wohingegen die hitzeerzeugende elektronische Komponente 71 an dessen andere Seitenfläche angelötet ist. In Fig. 11 bezeichnet die Bezugszahl 40 ein Aluminiumrohr zum Gießen der Arbeitsflüssigkeit in den Wärmeübertragungsweg. Es ist effizient, die Kühlrippen an das flache Wärmerohr zu löten, wenn das flache Wärmerohr durch Löten gebildet wird. Da der Hauptkörper des flachen Wärmerohrs und die Kühlrippen metallisch miteinander aufgrund des Anlötens der Kühlrippen verbunden sind, wird die thermische Leitfähigkeit zwischen den beiden, verglichen mit einem in der Technik bekannten thermisch leitenden Harzbeschichtungsverfahren, verbessert, was zu einer Verbesserung des Abstrahlungseffektes der Kühlrippen führt.
In Fig. 12a ist eine Draufsicht, die ein Beispiel für einen Arbeitsflüssigkeits- Befüllungsabschnitt auf dem flachen Wärmerohr gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, gezeigt, und in Fig. 12b ist eine Seitenansicht davon gezeigt, und Fig. 12c ist eine Vorderansicht davon.
Ein Aluminiumrohr 40 ist in einen Öffnungsabschnitt des Wärmeübertragungsweges des flachen Wärmerohrs eingeschoben, wobei das Aluminiumrohr 40 luftdicht an die Umfangsfläche des Öffnungsabschnittes durch Lötmaterial 46 angelötet ist. Das Aluminiumrohr 40 ist an einem vorbestimmten Abschnitt von ihm reibschlüssig eingefügt und an einem vorderen Abschnitt von ihm durch Schweißen abgedichtet.
In den Fig. 13a und 13b, 14 und 15 sind Beispiele für ein Herstellungsverfahren des flachen Wärmerohrs gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt. Das flache Wärmerohr wird unter Verwendung von den zwei, in den Fig. 13a und 13b gezeigten Aluminiumplatten 21, 23 gebildet. Bei dieser Gelegenheit werden die Kühlrippen, wie in Fig. 9 gezeigt, an das flache Wärmerohr gleichzeitig angelötet. Die Aluminiumplatte 23 in Fig. 13a ist eine schalenartig geformte Platte, die kegelstumpfartige konische Vorsprungsabschnitte 90 hat, und die Aluminiumplatte 21 in Fig. 13b ist eine Lötplatte, die auf einer ihrer Seiten ein Lötmaterial hat.
Die Fig. 14a, 14b und 14c zeigen ein Verfahren des Ausgießens und Abdichtens der Arbeitsflüssigkeit.
Ein Öffnungsende 94 ist vorspringend angeordnet (Fig. 14a), die Arbeitsflüssigkeit wird durch das vorspringende Öffnungsende 94 gegossen, dann wird ein Mittelabschnitt des vorspringenden Öffnungsendes 94 von oben nach unten verstemmt (Fig. 14b) und außerdem wird das Vorderende verschweißt, um es abzudichten (Fig. 14c). Das TIG-Schweißen, das Plasma- Schweißen, das Laserstrahl-Schweißen, etc. sind als Schweißverfahren geeignet. Wie in Fig. 14d gezeigt, wird das Vorderende des vorspringenden Öffnungsendes 94 leicht innerhalb des äußeren Umfangs des Wärmerohrs positioniert. Auf diese Weise wird die Sorge vermindert, daß das vorspringende Öffnungsende 94 aufgrund der äußeren Kräfte nach dem Abdichten beschädigt werden könnte, wodurch die Zuverlässigkeit verbessert wird.
Da die beiden Seiten des vorspringenden Öffnungsendes 94 frei sind, wird bei dem flachen Wärmerohr das Aluminium frei seitlich nach außen gedrückt, wenn das reibschlüssige Einfügen vertikal ausgeführt wird, wobei das reibschlüssige Einfügen mit Sicherheit in die Praxis umgesetzt wird.
Fig. 15 ist eine Perspektivansicht eines flachen Wärmerohrs mit Kühlrippen gemäß einer neunten Ausführung der vorliegenden Erfindung, das mit dem oben erwähnten Herstellungsverfahren hergestellt wird. Das so hergestellte flache Wärmerohr mit Kühlrippen wird aufrecht angeordnet, wie in Fig. 15 gezeigt, wobei dann ein vorbestimmter Abschnitt davon mit einem Heizelement 93 erhitzt und der Heizwiderstand gemessen wird. Der Heizwiderstand des flachen Wärmerohrs mit den Kühlrippen beträgt zwei­ drittel desjenigen des Aluminiumgehäuses, das mit den abstrahlenden Kühlrippen zusammengelötet ist, und hat die gleiche Größe/Zahl wie das flache Wärmerohr.
Nachfolgend werden ein Baubeispiel für die Rille und ein Anordnungsbeispiel des Dochtes beschrieben. Fig. 16 ist für das Baubeispiel der Rille und Fig. 17 ist das Anordnungsbeispiel.
In den Fig. 16a und 16b sind flache Wärmerohre gemäß jeweils der zehnten und elften Ausführung der vorliegenden Erfindung gezeigt. Diese Ausführungen weisen das flache Wärmerohr mit den Rillen auf.
Bei dem in Fig. 16a gezeigten flachen Wärmerohr sind Rillen 51 auf Innenflächen der beiden Aluminiumplatten 20, 21 gebildet. Diese Rillen 51 können mit dem Anätzverfahren oder dem Formpreßverfahren gebildet werden. Die Arbeitsflüssigkeit kann frei entlang dieser Rillen 51 fließen. Die Aluminiumplatten 20, 21 werden durch Lötmaterialien 46 verbunden.
Bei dem in Fig. 16b gezeigten flachen Wärmerohr sind die Innenflächen der beiden Aluminiumplatten 20, 21 aus Lötmaterial 46 gemacht, und die Fläche des Lötmaterials wird sofort geschmolzen, dann verfestigt, wobei die Fläche in einer unebenen Weise rauh gemacht wird. Dieser auf der oben erwähnten Fläche gebildete Unebenheitsabschnitt 52 bildet die Rillen. Dieser Unebenheitsabschnitt 52 wird gebildet, wenn das Löten auf den beiden Aluminiumplatten 20, 21 ausgeführt wird. Die Form des Unebenheitsabschnittes 52 hängt von der Dicke des Lötmaterials und der Löttemperatur ab. Je dicker das Lötmaterial ist und je höher die Löttemperatur ist, desto tiefer ist der Unebenheitsabschnitt.
Fig. 17a zeigt ein flaches Wärmerohr gemäß einer zwölften Ausführung der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführung ist eine wellenartige Platte 53 als Docht zwischen den beiden Aluminiumplatten 20, 21 angeordnet, wobei die wellenartige Platte 53 an zwei der Aluminiumplatten 20, 21 angelötet ist, und der benachbarte Bereich 54 eines verbundenen Abschnittes der Aluminiumplatten 20, 21 und der wellenartigen Platte 53 bilden Kühlmitteldurchgänge.
Fig. 17b zeigt ein flaches Wärmerohr gemäß einer dreizehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführung ist eine Vielzahl von plattenartigen Metallnetzen 55 als Docht zwischen den beiden Aluminiumplatten 20, 21 angeordnet. Das Drahtgeflecht 55 kann ein einziges sein.
Fig. 17c zeigt ein flaches Wärmerohr gemäß einer vierzehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführung sind zylindrische Metallnetze 56 als Docht zwischen den beiden Aluminiumplatten 20, 21 angeordnet.
Fig. 17d zeigt ein flaches Wärmerohr gemäß einer fünfzehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführung ist eine Anzahl von Kugeln 57 derart zwischen den beiden Aluminiumplatten 20, 21 angeordnet, daß sie aneinander anstoßen.
In Fig. 18 ist eine Herstellungsmethode für das in Fig. 17b gezeigte flache Wärmerohr gezeigt, das mit Kühlrippen ausgestattet ist. Eine Leerplatte der Lötplatte wird in eine vorbestimmte Form gepreßt, dann wird ein plattenartiges Drahtgeflecht 55 auf der bearbeiteten Lötplatte 10 angeordnet, und dann wird die Lötplatte 10 darauf gesetzt und außerdem werden Kühlrippen 70 darauf angeordnet. Dieser Zusammenbau wird durch den Lötofen geführt, um aus ihm ein Lötprodukt zu machen, und dann wird die Arbeitsflüssigkeit darin eingefüllt, wobei der Vakuumverschluß ausgeführt wird.
Das flache Wärmerohr mit den Rillen oder Dochten in ihm und mit den Kühlrippen, die an ihm außen befestigt sind, wird mit dem Herstellungsverfahren hergestellt und dann wird sein Heizwiderstand ähnlich dem aus Fig. 15 gemessen. Gemäß der Messung wird der Heizwiderstand um 10 auf 20%, verglichen mit dem ohne die Rillen und die Dochte, verringert.
Die Fig. 19, 20, 21 und 22 zeigen flache Wärmerohre gemäß der sechszehnten und siebzehnten Ausführung der vorliegenden Erfindung. Diese Ausführungen weisen jeweils zwei Aluminiumplatten auf. Vorspringende Abschnitte sind auf einer der Aluminiumplatten angeordnet, und Löcher sind auf der anderen der Aluminiumplatten angeordnet, wobei die Aluminiumplatten durch Einschieben der vorspringenden Abschnitte in die Löcher positioniert werden.
Fig. 19 ist eine Draufsicht des flachen Wärmerohrs mit den vorspringenden Abschnitten und den Löchern für die Positionierung. Das flache Wärmerohr hat eine L-Form und ist mit zwei positionierenden Abschnitten 101 ausgestattet.
In Fig. 20 ist eine Schnittansicht eines Beispiels für den positionierenden Abschnitt gezeigt. Das flache Wärmerohr weist zwei Aluminiumplatten 102, 103 auf. Die vorspringenden Abschnitte 104 sind auf der unteren Aluminiumplatte 102 angeordnet und die Lochabschnitte 105 sind auf der oberen Aluminiumplatte 103 angeordnet.
Die obere und untere Aluminiumplatte 102, 103 werden durch Einschieben der vorspringenden Abschnitte 104 in die Lochabschnitte 105 positioniert. Wenn der Freiraum zwischen den vorspringenden Abschnitten 104 und den Lochabschnitten 105 klein gestaltet ist, kann die dimensionale Genauigkeit verbessert werden.
In Fig. 21 ist eine Schnittansicht eines anderen Beispiels des positionierenden Abschnittes gezeigt. Bei diesem Beispiel ist der vorspringende Abschnitt 112 der unteren Aluminiumplatte 110 kegelartig gestaltet und die Löcher 113 der oberen Aluminiumplatte 111 sind relativ klein gestaltet, wobei dann der vorspringende Abschnitt 112 so angepaßt wird, daß er in das Loch 113 eingreift, was zu einer Verbesserung der Positionierungsgenauigkeit führt.
In Fig. 22 ist eine Perspektivansicht des Beispiels des positionierenden Abschnittes gezeigt. Bei diesem Beispiel ist das äußere Ausmaß der oberen Aluminiumplatte 121 um ca. 0,1 mm auf 0,5 mm, verglichen mit dem Ausmaß der unteren Aluminiumplatte 122, kleiner gestaltet, und das Positionieren wird durch den positionierenden Abschnitt 123 durchgeführt. Daher verbessert sich, selbst wenn eine leichte Abweichung bei der Positionierung bewirkt wird, die dimensionale Genauigkeit des flachen Wärmerohrs, ohne das äußere Ausmaß der unteren Aluminiumplatte 122 abzuändern. Selbst in einem Fall, wo das flache Wärmerohr mittels Schrauben in einem Roboter automatisch auf dem Energieelement etc. angebracht wird, wird die dimensionale Genauigkeit verbessert, wobei die Position der Mutter schwierig abzuändern ist.
Außerdem kann die Positionierung durch den vorspringenden Abschnitt und den Lochabschnitt an einer Stelle oder einer Vielzahl von Stellen nach Bedarf ausgeführt werden. Außerdem können der vorspringende Abschnitt und der Lochabschnitt auf der oberen Aluminiumplatte angeordnet werden, und die entsprechenden Lochabschnitte und vorspringenden Abschnitte können auf der unteren Aluminiumplatte angeordnet werden.
In einem Fall, wo das flache Wärmerohr unter Verwendung von drei oder mehr Aluminiumplatten oder Lötplatten gebildet wird, werden z. B. die vorspringenden Abschnitte auf einer Aluminiumplatte angeordnet und die Lochabschnitte werden auf zwei der anderen Aluminiumplatten gebildet, wobei drei oder mehr der Aluminiumplatten oder der Lötplatten durch Durchstoßen der vorspringenden Abschnitte durch die Lochabschnitte positioniert werden können. Die entsprechenden vorspringenden Abschnitte und Lochabschnitte können auf der jeweils aneinander stoßenden Aluminiumplatte oder Lötplatte angeordnet werden.
Wie oben beschrieben, können, da das flache Wärmerohr gemäß der vorliegenden Erfindung durch ein Bearbeitungsverfahren wie das Preßformen, das Durchlochen, die Laserstrahlbearbeitung, das Schneiden, etc. gebildet wird, verschieden geformte Wärmeübertragungswege sehr fein und mit großer Genauigkeit gebildet werden. Außerdem kann das dünne und biegsame flache Wärmerohr erhalten werden, wobei dann der Bereich seiner Verwendung vergrößert werden kann. Da die Rillen und die Dochte in dem Wärmeübertragungsweg angeordnet werden können, kann die thermische Leitfähigkeit verbessert werden. Außerdem können die Kühlrippen, da die Oberfläche des Wärmerohrs flach ist, leicht innerhalb des Wärmeübertragungsweges hierzu angeordnet werden, wodurch der zufriedenstellende Abstrahlungseffekt erhalten werden kann. Die Lochabschnitte und die vorspringenden Abschnitte können hierauf zur Positionierung der Aluminiumplatten angeordnet werden, wobei die dimensionale Genauigkeit verbessert werden kann.
Dementsprechend kann die bemerkenswerte industrielle Auswirkung erreicht werden.
Viele sehr unterschiedliche Ausführungen der Erfindung können gebaut werden, ohne den Geist und den Rahmen der Erfindung zu verlassen. Es sollte verstanden werden, daß die Erfindung nicht auf die spezifischen, in der Spezifikation beschriebenen Ausführungen, außer wie in den anhängenden Ansprüchen definiert, beschränkt ist.

Claims (12)

1. Flaches Wärmerohr, mit wenigstens zwei im wesentlichen parallel zueinander angeordneten und derart aneinander gelöteten Aluminiumplatten, daß sie einen Wärmeübertragungskreislauf dazwischen bilden, in den eine Arbeitsflüssigkeit einfüllbar ist.
2. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 1, bei dem eine geriffelte Aluminiumplatte zwischen die beiden Aluminiumplatten zwischengesetzt ist, um einen Wärmeübertragungsweg zu bilden.
3. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 2, bei dem die geriffelte Aluminiumplatte eine Aluminium-Lötplatte ist.
4. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 2 oder 3, bei dem Durchbohrungen auf Seitenwänden von konkav-konvexen Abschnitten der geriffelten Aluminiumplatte angeordnet sind.
5. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 1, bei dem ein Metallrohr zum Zuführen der Arbeitsflüssigkeit in das Wärmerohr auf ein Öffnungsende des Wärmeübertragungsweges gelötet wird, und ein vorbestimmter Abschnitt des Metallrohrs nach Einfüllen der Arbeitsflüssigkeit durch Druckbonden und/oder Schweißen abgedichtet wird.
6. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 1, bei dem Tragkörper zwischen den zumindest zwei im wesentlichen parallel zueinander angeordneten Aluminiumplatten in solcher Weise angeordnet sind, daß die Aluminiumplatten mit einem vorbestimmten Abstand räumlich entfernt voneinander angeordnet sind.
7. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 1, bei dem eine vorbestimmte Anzahl von vorspringenden Abschnitten auf einer Aluminiumplatte der zumindest zwei im wesentlichen parallel zueinander angeordneten Aluminiumplatten gebildet ist, wobei dann Vorderabschnitte der vorspringenden Abschnitte mit den anderen Aluminiumplatten verbunden werden.
8. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 1 bis 7, bei dem Rillen auf den Innenflächen des Wärmeübertragungskreislaufes gebildet sind, und/oder ein Docht auf dem Wärmeübertragungskreislauf angeordnet ist.
9. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 8, bei dem der Docht Rillen, die auf einer Innenfläche der Aluminiumplatten gebildet sind, oder einen unebenen Abschnitt aufweist, der durch Schmelzen und Verfestigen eines Lötmaterials, das die Innenfläche der Aluminiumplatten bildet, gebildet wird.
10. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 8, bei dem der Docht eine auf die Aluminiumplatte gelötete wellenartige Platte, ein zylindrisches Drahtgeflecht, ein plattenartiges Drahtgeflecht oder eine Anzahl von aneinander anstoßend angeordneten Kugeln aufweist.
11. Flaches Wärmerohr gemäß Anspruch 1, bei dem vorspringende Abschnitte auf einer Aluminiumplatte der zumindest zwei im wesentlichen parallel zueinander angeordneten Aluminiumplatten gebildet sind, Lochabschnitte auf der anderen Aluminiumplatte derselben angeordnet sind, und die Aluminiumplatten durch Einschieben des vorspringenden Abschnittes in den Lochabschnitt positioniert werden.
12. Flaches Wärmerohr gemäß wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem Kühlrippen auf einem Teil oder dem Ganzen der Fläche der Aluminiumplatten angelötet sind.
DE19653956A 1995-12-21 1996-12-21 Flaches Wärmerohr Withdrawn DE19653956A1 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33286795 1995-12-21
JP6808096 1996-03-25
JP12517096 1996-05-21
JP31298096A JP3164518B2 (ja) 1995-12-21 1996-11-08 平面型ヒートパイプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19653956A1 true DE19653956A1 (de) 1997-06-26

Family

ID=27464944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19653956A Withdrawn DE19653956A1 (de) 1995-12-21 1996-12-21 Flaches Wärmerohr

Country Status (3)

Country Link
US (2) US6397935B1 (de)
JP (1) JP3164518B2 (de)
DE (1) DE19653956A1 (de)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2810845A1 (fr) * 2000-06-23 2001-12-28 Alstom Module de puissance a composants electroniques de puissance et procede de fabrication d'un tel module
EP1175135A1 (de) * 2000-07-21 2002-01-23 Mitsubishi Materials Corporation Flüssigkeitsgekühlter Kühlkörper und zugehöriges Herstellungsverfahren
WO2003074958A1 (en) * 2002-02-28 2003-09-12 Motorola, Inc. Flat-plate heat-pipe with lanced-offset fin wick
DE10222443C1 (de) * 2002-05-22 2003-10-02 Bernhard Harter Flächenwärmetauscher
EP1391673A2 (de) * 2002-08-21 2004-02-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Wärmeaustauschplatte und Verfahren zu dessen Herstellung
EP1244145A3 (de) * 2001-03-20 2006-03-22 Motorola, Inc. Pressgeformtes Zweiphasenkühlmodul und Herstellungsverfahren dafür
EP1430530B1 (de) * 2001-05-14 2009-09-02 M.Pore Gmbh Wärmetauscher
CN107062963A (zh) * 2017-04-27 2017-08-18 厦门大学 一种用于毛细泵环的交错式微通道冷凝器
DE202017006708U1 (de) 2016-11-22 2018-02-05 Viessmann Werke Gmbh & Co Kg Solarkollektor
DE102018203548A1 (de) * 2018-03-08 2019-09-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Wärmeübertrager und Verfahren zu dessen Herstellung
EP3761353A4 (de) * 2019-04-18 2021-06-09 Furukawa Electric Co. Ltd. Kühlkörper
EP3836205A1 (de) * 2019-12-13 2021-06-16 Valeo Siemens eAutomotive Germany GmbH Kühlvorrichtung für halbleiterschaltelemente, stromwechselrichtervorrichtung, anordnung und herstellungsverfahren

Families Citing this family (132)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11183068A (ja) * 1997-12-18 1999-07-06 Fujikura Ltd 平板状ヒートパイプ
JPH11287578A (ja) * 1998-03-31 1999-10-19 Fujikura Ltd 平板状ヒートパイプの製造方法
US6935409B1 (en) * 1998-06-08 2005-08-30 Thermotek, Inc. Cooling apparatus having low profile extrusion
US7147045B2 (en) * 1998-06-08 2006-12-12 Thermotek, Inc. Toroidal low-profile extrusion cooling system and method thereof
US6896039B2 (en) * 1999-05-12 2005-05-24 Thermal Corp. Integrated circuit heat pipe heat spreader with through mounting holes
US7305843B2 (en) 1999-06-08 2007-12-11 Thermotek, Inc. Heat pipe connection system and method
US6981322B2 (en) 1999-06-08 2006-01-03 Thermotek, Inc. Cooling apparatus having low profile extrusion and method of manufacture therefor
JP4485013B2 (ja) * 2000-05-16 2010-06-16 ティーエス ヒートロニクス 株式会社 プレート型ヒートパイプ及びその製造方法
US6871701B2 (en) * 2001-04-09 2005-03-29 The Furukawa Electric Co., Ltd. Plate-type heat pipe and method for manufacturing the same
KR100486710B1 (ko) * 2001-05-15 2005-05-03 삼성전자주식회사 미세 윅(Wick) 구조를 갖는 씨피엘(CPL) 냉각장치의 증발기
JP4826867B2 (ja) * 2001-06-12 2011-11-30 Smc株式会社 熱交換器及びそれを用いた熱交換装置
JP2003161594A (ja) * 2001-09-14 2003-06-06 Denso Corp 沸騰冷却装置
US7857037B2 (en) * 2001-11-27 2010-12-28 Thermotek, Inc. Geometrically reoriented low-profile phase plane heat pipes
US9113577B2 (en) 2001-11-27 2015-08-18 Thermotek, Inc. Method and system for automotive battery cooling
US7198096B2 (en) * 2002-11-26 2007-04-03 Thermotek, Inc. Stacked low profile cooling system and method for making same
JP2003234590A (ja) * 2002-02-08 2003-08-22 Denso Corp 沸騰冷却装置
US6817097B2 (en) * 2002-03-25 2004-11-16 Thermal Corp. Flat plate fuel cell cooler
US20040011509A1 (en) * 2002-05-15 2004-01-22 Wing Ming Siu Vapor augmented heatsink with multi-wick structure
US20040035555A1 (en) 2002-08-07 2004-02-26 Kenichi Nara Counter-stream-mode oscillating-flow heat transport apparatus
US6880626B2 (en) * 2002-08-28 2005-04-19 Thermal Corp. Vapor chamber with sintered grooved wick
DE10246990A1 (de) * 2002-10-02 2004-04-22 Atotech Deutschland Gmbh Mikrostrukturkühler und dessen Verwendung
EP1567069A4 (de) * 2002-11-08 2008-11-12 Warsaw Orthopedic Inc VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN F R DEN TRANSPEDIKULûREN ZUGANG ZU BANDSCHEIBEN
KR100450826B1 (ko) * 2002-12-11 2004-10-01 삼성전자주식회사 열 전달장치
JP2004245550A (ja) * 2003-02-17 2004-09-02 Fujikura Ltd 還流特性に優れたヒートパイプ
US6945317B2 (en) * 2003-04-24 2005-09-20 Thermal Corp. Sintered grooved wick with particle web
JP2004344958A (ja) * 2003-05-23 2004-12-09 Sentan Zairyo:Kk 炭素アルミニウム複合材料または炭化珪素アルミニウム複合材料に金属を接合したハイブリッド材料および該ハイブリッド材料を用いた熱交換器用部品
US20050139995A1 (en) * 2003-06-10 2005-06-30 David Sarraf CTE-matched heat pipe
EP1639628A4 (de) * 2003-06-26 2007-12-26 Thermal Corp Wärmetransfereinrichtung und verfahren zu ihrer herstellung
US6994152B2 (en) * 2003-06-26 2006-02-07 Thermal Corp. Brazed wick for a heat transfer device
US20050022976A1 (en) * 2003-06-26 2005-02-03 Rosenfeld John H. Heat transfer device and method of making same
US6938680B2 (en) * 2003-07-14 2005-09-06 Thermal Corp. Tower heat sink with sintered grooved wick
JP4015975B2 (ja) * 2003-08-27 2007-11-28 三菱電機株式会社 半導体装置
US7025124B2 (en) * 2003-10-24 2006-04-11 Chin Wen Wang Supporting structure for planar heat pipe
FR2861894B1 (fr) * 2003-10-31 2008-01-18 Valeo Equip Electr Moteur Dispositif de refroidissement d'une electronique de puissance
US6957691B2 (en) * 2003-11-12 2005-10-25 Pao-Shu Hsieh Sealing structure of a heat-dissipating tube
US7269005B2 (en) * 2003-11-21 2007-09-11 Intel Corporation Pumped loop cooling with remote heat exchanger and display cooling
EP1688025A4 (de) * 2003-11-27 2009-01-21 Ls Cable Ltd Flache plattenwärmeübertragungsvorrichtung
KR100581115B1 (ko) * 2003-12-16 2006-05-16 엘에스전선 주식회사 판형 열전달 장치 및 그 제조 방법
CN1300541C (zh) * 2003-12-19 2007-02-14 财团法人工业技术研究院 平板型热管的热传加强结构
JP2005177921A (ja) * 2003-12-19 2005-07-07 Zexel Valeo Climate Control Corp チューブの製造方法、熱交換チューブ、及び熱交換器
US20050141195A1 (en) * 2003-12-31 2005-06-30 Himanshu Pokharna Folded fin microchannel heat exchanger
US6901994B1 (en) * 2004-01-05 2005-06-07 Industrial Technology Research Institute Flat heat pipe provided with means to enhance heat transfer thereof
CN1314112C (zh) * 2004-01-08 2007-05-02 杨洪武 发热电子元件的热管散热器
TW200527185A (en) * 2004-02-05 2005-08-16 Wincomm Corp Heat dissipating device
JP4724435B2 (ja) * 2004-03-04 2011-07-13 昭和電工株式会社 平板状ヒートパイプおよびその製造方法
TWI236870B (en) * 2004-06-29 2005-07-21 Ind Tech Res Inst Heat dissipation apparatus with microstructure layer and manufacture method thereof
US20060113662A1 (en) * 2004-07-03 2006-06-01 Juan Cepeda-Rizo Micro heat pipe with wedge capillaries
TWI284190B (en) * 2004-11-11 2007-07-21 Taiwan Microloops Corp Bendable heat spreader with metallic screens based micro-structure and method for fabricating same
US20060196640A1 (en) * 2004-12-01 2006-09-07 Convergence Technologies Limited Vapor chamber with boiling-enhanced multi-wick structure
CN100590377C (zh) * 2005-02-18 2010-02-17 阳傑科技股份有限公司 热管冷却系统及其热传递连接器
US7469740B2 (en) * 2005-03-28 2008-12-30 Asia Vital Components Co., Ltd. Heat dissipating device
TWI285251B (en) * 2005-09-15 2007-08-11 Univ Tsinghua Flat-plate heat pipe containing channels
JP4747875B2 (ja) * 2006-02-16 2011-08-17 アイシン精機株式会社 トルク変動吸収装置
JP4725348B2 (ja) * 2006-02-16 2011-07-13 アイシン精機株式会社 トルク変動吸収装置
WO2007124028A2 (en) * 2006-04-18 2007-11-01 Celsia Technologies Korea, Inc. Support structure for planar cooling devices and methods
KR100775013B1 (ko) * 2006-04-18 2007-11-09 (주)셀시아테크놀러지스한국 판형 열전달 장치
US20070277962A1 (en) * 2006-06-01 2007-12-06 Abb Research Ltd. Two-phase cooling system for cooling power electronic components
WO2008012960A1 (fr) * 2006-07-28 2008-01-31 Molex Kiire Co., Ltd. tuyau chauffant et son procédé de fabrication
US20080029249A1 (en) * 2006-08-01 2008-02-07 Inventec Corporation Supporting column having porous structure
US8042606B2 (en) * 2006-08-09 2011-10-25 Utah State University Research Foundation Minimal-temperature-differential, omni-directional-reflux, heat exchanger
US20080080133A1 (en) * 2006-10-02 2008-04-03 Hsiu-Wei Yang Flat type heat pipe device and method of fabrication thereof
WO2008109804A1 (en) * 2007-03-08 2008-09-12 Convergence Technologies Limited Vapor-augmented heat spreader device
US20080266801A1 (en) * 2007-04-30 2008-10-30 Rockwell Automation Technologies, Inc. Phase change cooled power electronic module
US20080289801A1 (en) * 2007-05-02 2008-11-27 Batty J Clair Modular Thermal Management System for Spacecraft
CN100460798C (zh) * 2007-05-16 2009-02-11 中山大学 一种均温回路热管装置
KR100899188B1 (ko) 2007-10-26 2009-05-26 박천표 증발기
WO2009048225A2 (en) * 2007-10-08 2009-04-16 Cheonpyo Park Evaporator
KR100912914B1 (ko) * 2007-10-08 2009-08-20 박천표 증발기
CN101970967A (zh) * 2007-10-10 2011-02-09 嘉合科技有限公司 具有可插入式毛细结构系统的鼓形均热板
TWM336673U (en) * 2008-02-04 2008-07-11 Celsia Technologies Taiwan Inc Vapor chamber and supporting structure thereof
TWM335720U (en) * 2008-02-14 2008-07-01 Celsia Technologies Taiwan Inc Homeothermy plate and support structure thereof
US7770631B2 (en) * 2008-03-19 2010-08-10 Chin-Wen Wang Method for manufacturing supporting body within an isothermal plate and product of the same
US7832462B2 (en) * 2008-03-31 2010-11-16 Alcatel-Lucent Usa Inc. Thermal energy transfer device
TWM347809U (en) * 2008-05-26 2008-12-21 Xu xiu cang Fast temperature-averaging heat conductive device
TW200948506A (en) * 2008-05-26 2009-12-01 Ji-De Jin Heat transfer device having no liquid filled pipe and manufacturing method thereof
US20100002392A1 (en) * 2008-07-07 2010-01-07 I-Ming Liu Assembled Heat Sink Structure
US20100006268A1 (en) * 2008-07-14 2010-01-14 Meyer Iv George Anthony Vapor chamber and supporting structure of the same
US20100051227A1 (en) * 2008-08-29 2010-03-04 Anbudurai Kuppuswamy Thermal energy storage
US8297341B2 (en) * 2008-09-08 2012-10-30 Getac Technology Corp. Heat dissipating structure and method of forming the same
TWI459889B (zh) * 2008-09-18 2014-11-01 Pegatron Corp 均溫板
US20100089554A1 (en) * 2008-10-09 2010-04-15 Steve Hon-Keung Lee Drum-based vapor chamber with an insertable wick system
US20100243212A1 (en) * 2009-03-26 2010-09-30 Meyer Iv George Anthony Non-flat vapor chamber with stiffening plate
JP2012524998A (ja) * 2009-04-21 2012-10-18 ユナ ティーアンドイー カンパニーリミテッド 冷却装置を備えた太陽光モジュール及びその製造方法
CN101929818A (zh) * 2009-06-19 2010-12-29 富准精密工业(深圳)有限公司 均温板及其制造方法
US20100326629A1 (en) * 2009-06-26 2010-12-30 Meyer Iv George Anthony Vapor chamber with separator
CN101957151A (zh) * 2009-07-13 2011-01-26 富准精密工业(深圳)有限公司 平板式热管及应用该平板式热管的散热器
CN101957153B (zh) * 2009-07-17 2013-03-13 富准精密工业(深圳)有限公司 平板式热管
TWM375205U (en) * 2009-09-24 2010-03-01 Celsia Technologies Taiwan Inc Flat hot pipe
CN102062553B (zh) * 2009-11-12 2013-12-04 富准精密工业(深圳)有限公司 平板式热管
US20110214841A1 (en) * 2010-03-04 2011-09-08 Kunshan Jue-Chung Electronics Co. Flat heat pipe structure
CN102205485A (zh) * 2010-03-31 2011-10-05 富准精密工业(深圳)有限公司 平板式热管及其制造方法
JP5714836B2 (ja) * 2010-04-17 2015-05-07 モレックス インコーポレイテドMolex Incorporated 熱輸送ユニット、電子基板、電子機器
JP4929377B2 (ja) * 2010-06-18 2012-05-09 株式会社東芝 テレビジョン受像機、及び電子機器
US20110315351A1 (en) * 2010-06-23 2011-12-29 Celsia Technologies Taiwan, I Vapor chamber having composite supporting structure
CN102374808A (zh) * 2010-08-26 2012-03-14 富准精密工业(深圳)有限公司 平板式均热板
RU2457417C1 (ru) * 2010-11-22 2012-07-27 Открытое акционерное общество "УРАЛЬСКИЙ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЙ КОМБИНАТ" Металлическая тепловая труба плоского типа
US20120255716A1 (en) * 2011-04-07 2012-10-11 Wu Wen-Yuan Heat dissipation device and manufacturing method thereof
US10018428B2 (en) * 2011-06-27 2018-07-10 Raytheon Company Method and apparatus for heat spreaders having a vapor chamber with a wick structure to promote incipient boiling
US11765861B2 (en) * 2011-10-17 2023-09-19 Asia Vital Components Co., Ltd. Vapor chamber structure
DE102011119174A1 (de) * 2011-11-23 2013-05-23 Inheco Industrial Heating And Cooling Gmbh Vapor Chamber
CN103846365A (zh) * 2012-11-30 2014-06-11 象水国际股份有限公司 均温板及其制造方法
JP5654186B1 (ja) * 2013-01-25 2015-01-14 古河電気工業株式会社 ヒートパイプ
TW201437599A (zh) * 2013-03-25 2014-10-01 He Ju Technology Co Ltd 扁管板片及對流熱交換器
JP6121854B2 (ja) * 2013-09-18 2017-04-26 東芝ホームテクノ株式会社 シート型ヒートパイプまたは携帯情報端末
JP2015058824A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 三菱重工オートモーティブサーマルシステムズ株式会社 扁平熱交換チューブ、それを用いた熱媒体加熱装置および車両用空調装置
JP6121893B2 (ja) * 2013-12-24 2017-04-26 東芝ホームテクノ株式会社 シート型ヒートパイプ
KR20150091905A (ko) * 2014-02-04 2015-08-12 엘지전자 주식회사 증기 챔버
US9498858B2 (en) 2014-08-08 2016-11-22 SEAKR Engineering, Inc. System and method for dissipating thermal energy
US9370090B2 (en) 2014-09-29 2016-06-14 General Electric Company Circuit card assembly and method of manufacturing thereof
US10222125B2 (en) 2015-04-06 2019-03-05 International Business Machines Corporation Burst resistant thin wall heat sink
US10215504B2 (en) 2015-04-06 2019-02-26 International Business Machines Corporation Flexible cold plate with enhanced flexibility
NO341387B1 (en) * 2015-04-24 2017-10-30 Goodtech Recovery Tech As Heat Tube With Channel Structure
JP6233350B2 (ja) * 2015-05-29 2017-11-22 日亜化学工業株式会社 波長変換部材及び波長変換部材を備えた光源装置
US9982867B2 (en) 2015-05-29 2018-05-29 Nichia Corporation Wavelength converting member and light source device having the wavelength converting member
US10018427B2 (en) * 2016-09-08 2018-07-10 Taiwan Microloops Corp. Vapor chamber structure
US10352626B2 (en) * 2016-12-14 2019-07-16 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Heat pipe
CN110088556B (zh) * 2017-04-28 2021-06-25 株式会社村田制作所 均热板
JP6462771B2 (ja) 2017-06-01 2019-01-30 古河電気工業株式会社 平面型ヒートパイプ
US10976111B2 (en) * 2017-10-27 2021-04-13 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Loop type heat pipe
JP7031260B2 (ja) * 2017-12-01 2022-03-08 株式会社オートネットワーク技術研究所 蓄電モジュール
US10739082B2 (en) * 2018-01-03 2020-08-11 Asia Vital Components Co., Ltd. Anti-pressure structure of heat dissipation device
US11131508B2 (en) * 2018-03-19 2021-09-28 Asia Vital Components Co., Ltd. Middle member of heat dissipation device and the heat dissipation device
US20190285357A1 (en) * 2018-03-19 2019-09-19 Asia Vital Components Co., Ltd. Middle member of heat dissipation device and the heat dissipation device
CN108568703B (zh) * 2018-04-20 2020-10-27 西安交通大学 一种用于高速电主轴转轴表面冷却的柔性热管
US10962301B2 (en) * 2018-07-23 2021-03-30 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Loop heat pipe
US11076510B2 (en) * 2018-08-13 2021-07-27 Facebook Technologies, Llc Heat management device and method of manufacture
WO2020100533A1 (ja) 2018-11-16 2020-05-22 株式会社村田製作所 ベーパーチャンバー
CN109883227A (zh) * 2019-01-29 2019-06-14 株洲智热技术有限公司 强化沸腾装置
US11181323B2 (en) * 2019-02-21 2021-11-23 Qualcomm Incorporated Heat-dissipating device with interfacial enhancements
KR102147124B1 (ko) * 2019-04-16 2020-08-31 주식회사 폴라앤코 주입관이 없는 휴대 전자기기용 박막 증기챔버 및 이의 제조방법
US11802739B2 (en) * 2020-09-01 2023-10-31 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling assemblies having channels to supply fluid to wick structures
US20220243992A1 (en) * 2021-01-29 2022-08-04 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Heat transfer element, method for forming the same and semiconductor structure comprising the same

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3576210A (en) * 1969-12-15 1971-04-27 Donald S Trent Heat pipe
US3777811A (en) * 1970-06-01 1973-12-11 Trw Inc Heat pipe with dual working fluids
US3735806A (en) * 1970-12-07 1973-05-29 Trw Inc Unidirectional thermal transfer means
JPS4715741A (de) * 1971-01-27 1972-08-25
US3779310A (en) * 1971-04-05 1973-12-18 G Russell High efficiency heat transit system
US3971435A (en) 1971-07-13 1976-07-27 Ncr Corporation Heat transfer device
US3853112A (en) * 1971-07-23 1974-12-10 Thermo Electron Corp Vapor transfer food preparation and heating apparatus
US3934643A (en) * 1971-07-26 1976-01-27 Nikolaus Laing Controllable heat pipe
DE2235792A1 (de) * 1972-07-21 1974-01-31 Dornier System Gmbh Vorrichtung zur uebertragung von waermeenergie
US4046190A (en) * 1975-05-22 1977-09-06 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Flat-plate heat pipe
JPS5224369A (en) * 1975-07-31 1977-02-23 Toyo Seisakusho:Kk A heat pipe
SU559099A1 (ru) * 1975-09-04 1977-05-25 Предприятие П/Я А-1665 Плоска теплова трубка
US4231423A (en) 1977-12-09 1980-11-04 Grumman Aerospace Corporation Heat pipe panel and method of fabrication
SU937962A1 (ru) * 1980-08-13 1982-06-23 Предприятие П/Я Г-4090 Теплова труба
SU1002800A1 (ru) * 1981-12-24 1983-03-07 Предприятие П/Я Г-4371 Устройство дл прижати капилл рно-пористой структуры к внутренней поверхности корпуса тепловой трубы
US4602679A (en) 1982-03-22 1986-07-29 Grumman Aerospace Corporation Capillary-pumped heat transfer panel and system
SU1108324A1 (ru) * 1983-04-08 1984-08-15 Севастопольский Приборостроительный Институт Теплова труба
US4753154A (en) * 1984-05-10 1988-06-28 Fuji Electric Corporate Research And Development Ltd. Gun barrel for tank
SU1341487A1 (ru) * 1985-11-18 1987-09-30 Организация П/Я В-8466 Капилл рна структура тепловой трубы
JPS6383587A (ja) * 1986-09-29 1988-04-14 Toshiba Corp 平板形ヒ−トパイプ
US4899812A (en) * 1988-09-06 1990-02-13 Westinghouse Electric Corp. Self-securing turbulence promoter to enhance heat transfer
US4944344A (en) * 1988-10-31 1990-07-31 Sundstrand Corporation Hermetically sealed modular electronic cold plate utilizing reflux cooling
US4941530A (en) * 1989-01-13 1990-07-17 Sundstrand Corporation Enhanced air fin cooling arrangement for a hermetically sealed modular electronic cold plate utilizing reflux cooling
US4880053A (en) * 1989-04-24 1989-11-14 The Board Of Governors Of Wayne State University Two-phase cooling apparatus for electronic equipment and the like
US5179500A (en) * 1990-02-27 1993-01-12 Grumman Aerospace Corporation Vapor chamber cooled electronic circuit card
JP3093442B2 (ja) 1992-04-28 2000-10-03 昭和アルミニウム株式会社 ヒートパイプ式ヒートシンク
DE4240082C1 (de) * 1992-11-28 1994-04-21 Erno Raumfahrttechnik Gmbh Wärmerohr
US5309986A (en) * 1992-11-30 1994-05-10 Satomi Itoh Heat pipe
US5427174A (en) * 1993-04-30 1995-06-27 Heat Transfer Devices, Inc. Method and apparatus for a self contained heat exchanger
JP3203458B2 (ja) 1993-12-08 2001-08-27 ファナック株式会社 ヒートプレート付きヒートシンク
FI93773C (fi) * 1994-03-09 1995-05-26 Shippax Ltd Oy Lämmönvaihtoelementti
US5642776A (en) * 1996-02-27 1997-07-01 Thermacore, Inc. Electrically insulated envelope heat pipe

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1168906A1 (de) * 2000-06-23 2002-01-02 Alstom Elektronisches Leistungsmodul mit elektronischen Hochleistungsbauteilen und zugehöriges Herstellungsverfahren
FR2810845A1 (fr) * 2000-06-23 2001-12-28 Alstom Module de puissance a composants electroniques de puissance et procede de fabrication d'un tel module
EP1175135A1 (de) * 2000-07-21 2002-01-23 Mitsubishi Materials Corporation Flüssigkeitsgekühlter Kühlkörper und zugehöriges Herstellungsverfahren
US6563709B2 (en) 2000-07-21 2003-05-13 Mitsubishi Materials Corporation Liquid-cooled heat sink and manufacturing method thereof
EP1244145A3 (de) * 2001-03-20 2006-03-22 Motorola, Inc. Pressgeformtes Zweiphasenkühlmodul und Herstellungsverfahren dafür
EP1430530B1 (de) * 2001-05-14 2009-09-02 M.Pore Gmbh Wärmetauscher
WO2003074958A1 (en) * 2002-02-28 2003-09-12 Motorola, Inc. Flat-plate heat-pipe with lanced-offset fin wick
DE10222443C1 (de) * 2002-05-22 2003-10-02 Bernhard Harter Flächenwärmetauscher
EP1391673A2 (de) * 2002-08-21 2004-02-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Wärmeaustauschplatte und Verfahren zu dessen Herstellung
EP1391673A3 (de) * 2002-08-21 2013-05-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Wärmeaustauschplatte und Verfahren zu dessen Herstellung
DE202017006708U1 (de) 2016-11-22 2018-02-05 Viessmann Werke Gmbh & Co Kg Solarkollektor
CN107062963A (zh) * 2017-04-27 2017-08-18 厦门大学 一种用于毛细泵环的交错式微通道冷凝器
DE102018203548A1 (de) * 2018-03-08 2019-09-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Wärmeübertrager und Verfahren zu dessen Herstellung
EP3761353A4 (de) * 2019-04-18 2021-06-09 Furukawa Electric Co. Ltd. Kühlkörper
EP3836205A1 (de) * 2019-12-13 2021-06-16 Valeo Siemens eAutomotive Germany GmbH Kühlvorrichtung für halbleiterschaltelemente, stromwechselrichtervorrichtung, anordnung und herstellungsverfahren

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1038484A (ja) 1998-02-13
JP3164518B2 (ja) 2001-05-08
US20020056542A1 (en) 2002-05-16
US6397935B1 (en) 2002-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19653956A1 (de) Flaches Wärmerohr
DE4427854C2 (de) Kühlvorrichtung und Montageverfahren dafür
DE102007015293B4 (de) Metall/Keramik-Verbindungssubstrat mit Wärmeabstrahlkörper
DE60213925T2 (de) Kühlungsvorrichtung
EP0231456B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Abführen der Verlustwärme wenigstens einer Baugruppe elektrischer Elemente
EP1087182B1 (de) Distanzplatte für einen Hohlraumboden und Hohlraumboden
DE2502472C2 (de) Kühlkörper für Thyristoren
DE19805930A1 (de) Kühlvorrichtung
DE10393588T5 (de) Optimales Ausbreitungssystem, Vorrichtung und Verfahren für flüssigkeitsgekühlten, mikroskalierten Wärmetausch
DE19710783A1 (de) Kühler für elektrische Bauelemente oder Schaltkreise sowie elektrischer Schaltkreis mit einer solchen Wärmesenke
EP0278240A2 (de) Kühlkörper, insbesondere zum Kühlen elektronischer Bauelemente
DE10261402A1 (de) Wärmesenke in Form einer Heat-Pipe sowie Verfahren zum Herstellen einer solchen Wärmesenke
DE10335622A1 (de) Harzversiegelte Halbleiterbaugruppe
DE19708282A1 (de) Eine ein siedendes und kondensierendes Kühlmittel verwendende Kühlvorrichtung
EP2721912A1 (de) Vorrichtung zum kühlen und verfahren zu deren herstellung sowie verwendung der vorrichtung
EP1306640B1 (de) Rohrboden für Abgaswärmeübertragung
DE112004002839T5 (de) Vorrichtung für den Wärmetransport und Verfahren zu dessen Herstellung
DE3940933C2 (de) Verfahren zum Verformen einer Basisplatte für Halbleitermodule und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens
DE19814051A1 (de) Geschichteter Wärmetauscher
WO2002093644A2 (de) Wärmetauscher
DE202021104673U1 (de) Radiator und Kühlvorrichtung
EP0106262B1 (de) Wärmetauscher, insbesondere Heizkörper
EP1285213B1 (de) Mikrostruktur-wärmetauscher und verfahren zu dessen herstellung
DE2460631B2 (de)
DE60024723T2 (de) Platte mit Wulsten für Wärmetauscher und deren Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8125 Change of the main classification

Ipc: F28D 15/02

8130 Withdrawal