CN110088556B - 均热板 - Google Patents

Abstract

本发明是均热板，具有：壳体，其由外缘部接合起来的对置的第1片材和第2片材构成；柱，其在上述第1片材和第2片材之间从内侧对它们进行支承；以及工作液，其被封入于上述壳体内，上述第1片材和第2片材在接合部和距接合部最近的上述柱间之间不具有角度为90°以下的角部，均热板满足下述式1，式1：0.02≤b/a≤0.3[式中：a是从最外侧的柱的外缘起至第1片材与第2片材的接合部的内缘止的距离(mm)，b是上述最外侧的柱的外缘处的第1片材与第2片材之间的距离(mm)]。

Description

均热板

技术领域

本发明涉及均热板。

背景技术

近年来，因元件的高集成化、高性能化引起的发热量增加。另外，由于产品的小型化发展，发热密度增加，因此散热对策渐为重要。该状况下在智能手机、平板电脑等移动终端的领域中特别显著。近年来，作为热对策部件，多使用石墨片材等，但其热输送量不充分，因此研究各种热对策部件的使用。其中，为了能够非常有效地输送热，面状的热管亦即均热板的使用的研究正在发展。

均热板具有在壳体的内部设置有通过毛细管力输送工作液的芯体，并封入有工作液的构造。上述工作液在吸收来自发热元件的热的蒸发部处吸收来自发热元件的热，并在均热板内蒸发，向冷凝部移动，冷却而返回液相。返回到液相的工作液通过芯体的毛细管力再次向发热元件侧(蒸发部)移动，冷却发热元件。通过重复上述动作，均热板不具有外部动力而自行工作，能够利用工作液的蒸发潜热和冷凝潜热二维地以高速使热扩散。

作为均热板，专利文献1公开一种均热板，具有通过对置的两个板状体将具有空洞部的在中央部形成有凸部的壳体、和封入该空洞部的工作液，在上述空洞部具备芯体构造，上述凸部的外周部通过激光焊接而密封。另外，专利文献2公开一种均热板，其特征在于，层叠两个以上蚀刻加工过的金属片材，形成至少外周部的局部通过接合而密闭的容器，在该均热板中，上述容器的外周部将上述金属片材的侧壁扩散接合而形成，侧壁的宽度为0.3mm以上。

专利文献1：日本特开2016-35348号公报

专利文献2：日本特开2015-59693号公报

专利文献1、2记载的均热板为了形成壳体的内部空间，需要预先将构成壳体的金属片材以凸状形成、或者在片材形成槽等前加工。本发明人尝试了如下内容，即，不进行这样的壳体的用于形成内部空间的金属片材的前加工，在构成壳体的两个片材之间设置柱，由此确保壳体的内部空间。然而，得知了，存在这样得到的均热板有时可靠性差的情况。

发明内容

本发明目的在于提供可靠性高的使用在两个片材之间设置柱的壳体的均热板。

本发明人为了提高使用了在上述的两个片材之间设置了柱的壳体的均热板的可靠性而认真研究的结果，发现了通过调整接合部附近处的两个片材之间的角度，能够得到可靠性高的均热板，得到本发明。

根据本发明的第1主旨，提供以下均热板，具有：壳体，其由外缘部接合起来的对置的第1片材和第2片材构成；柱，其在上述第1片材和第2片材之间从内侧对它们进行支承；以及工作液，其被封入于上述壳体内，上述第1片材和第2片材在接合部和距接合部最近的上述柱之间不具有角度为90°以下的角部，均热板满足下述式1，式1：0.02≤b/a≤0.3[式中：a是从最外侧的柱的外缘起至第1片材与第2片材的接合部的内缘止的距离(mm)，b是上述最外侧的柱的外缘处的第1片材与第2片材之间的距离(mm)]。

根据本发明的第2主旨，提供具有上述的均热板而构成的散热设备。

根据本发明的第3主旨，提供具有上述的均热板或者上述散热设备而构成的电子设备。

根据本发明，通过在使用了将柱设置于上述的两个片材之间的壳体的均热板中，调整接合部附近的两个片材间的角度，具体而言，通过调整接合部的内部侧的端部与距接合部最近的柱之间的距离、和距接合部最近的柱存在的位置处的第1片材与第2片材之间的距离间的关系，能够提高均热板的可靠性。另外，通过成为本发明的结构，能够容易制造可靠性高的均热板。

附图说明

图1是示意性地示出本发明的一个实施方式的均热板1的剖面的剖视图。

图2是示意性地示出从第1片材侧观察本发明的一个实施方式的均热板1的俯视图。

图3是示意性地示出一个方式的具有微细构造的凸部的剖面的剖视图。

图4是示意性地示出其他方式的具有微细构造的凸部的剖面的剖视图。

图5是示意性地示出其他方式的具有微细构造的凸部的剖面的剖视图。

图6是示意性地示出其他方式的具有微细构造的凸部的剖面的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的均热板详细地进行说明。

如图1和图2所示那样，本实施方式的均热板1构成为，具有由对置的第1片材2和第2片材3构成的壳体4、和封入壳体4内部的工作液(未图示)。为了在上述壳体4中确保内部空间，在第1片材2和第2片材3之间，设置有从内侧支承它们的多个柱5。第1片材2和第2片材3在将存在于边缘侧的柱5连结的内侧的区域11(以下，也称为“中央区域”)处，由柱5支承，以规定距离隔开。第1片材2和第2片材3在中央区域11的外侧的区域12(以下，也称为“末端区域”)处，相互接近，在外缘部处接触，接合并密封。以下，也将第1片材和第2片材接合的部分6称为“接合部”。换言之，典型而言，上述第1片材2和第2片材3从距片材的边缘最近的柱5的端部开始相互接近，在位于片材的外缘部的接合部6处相互接合并密封。第2片材3在其内侧表面(即，壳体的内部空间侧的主面)具有多个凸部7。在第2片材3上设置有芯体8。即，在本实施方式的均热板1中，芯体8位于第2片材3上，柱5位于芯体8上，第1片材2位于柱5上。

上述壳体4由对置的第1片材2和第2片材3构成。

上述壳体4(即，均热板)的大小未特别限定。壳体4的厚度(图1中T所示)优选为100μm以上且600μm以下，更优选为200μm以上且500μm以下。壳体4的长度(图1中L所示)和宽度(图2中W所表)能够根据使用的用途而适当地设定，例如可以是5mm以上且500mm以下，20mm以上且300mm以下或者50mm以上且200mm以下。

上述壳体4的形状未特别限定。例如，上述壳体4的平面形状(图2所示的形状，即图1中从附图上侧观察的形状)可以是三角形或者矩形等多边形、圆形、椭圆形、将这些组合的形状等。

形成上述第1片材2和第2片材3的材料只要具有适于作为均热板而使用的特性、例如热传导性、强度、柔软性等，则未特别限定。构成上述第1片材2和第2片材3的材料能优选为金属，例如是铜、镍、铝、镁、钛、铁或者以它们作为主成分的合金等，特别优选为铜。构成第1片材2和第2片材3的材料也可以相同，也可以不同，但优选相同。

上述第1片材2和第2片材3的厚度(图1中t所示)未特别限定，但优选为10μm以上且200μm以下，更优选为30μm以上且100μm以下，例如优选为40μm以上且60μm以下。第1片材2和第2片材3的厚度也可以相同也可以不同。另外，第1片材2和第2片材3的各片材的厚度也可以整体相同，也可以局部较薄。在一个方式中，第1片材2和第2片材3的厚度相同。另外，在其他方式中，第1片材2和第2片材3的各片材的厚度遍及整体相同。

在本实施方式中，第2片材3在内部空间侧的主面具有多个凸部7。片材具有这样的多个凸部，由此能够在凸部间保持工作液，能够提高本发明的均热板的透过率。通过提高透过率，均热板的热输送能力提高。此处，凸部是指高度比四周相对高的部分，除了包含从主面突出的部分之外，还包含形成于主面的凹部、例如由于槽等而高度相对变高的部分。

上述凸部7的高度未特别限定，但优选为1μm以上且100μm以下，更优选为5μm以上且50μm以下，进一步优选为15μm以上且30μm以下。通过更加提高凸部的高度，能够使工作液的保持量更多。另外，通过更加降低凸部的高度，能够更大地确保用于供工作液的蒸气移动的空间。因此，通过调整凸部的高度，能够调整均热板的热输送能力和热扩散能力。

上述凸部7间的距离未特别限定，但能优选为1μm以上且500μm以下，更优选为5μm以上且300μm以下，进一步优选为15μm以上且150μm以下。通过缩小凸部间的距离，能够更加增大毛细管力。另外，通过增大凸部间的距离，能够更加提高透过率。

上述凸部7的形状未特别限定，但可以是圆柱形状、棱柱形状、圆锥台形状、棱锥台形状等。另外，上述凸部7的形状也可以是壁状，即，也可以在邻接的凸部之间形成有槽的形状。

上述凸部7也可以是与第1片材2或者第2片材3一体形成，另外也可以是与第1片材2或者第2片材3分开单独制造，其后固定于规定的位置。

此外，在本发明的均热板中，上述凸部7不是必需的结构，也可以不存在。

在一个方式中，上述第1片材2和第2片材3中的至少一者或者两者具有上述凸部7，这样的凸部7在其表面具有微细构造。凸部7在其表面具有微细构造，由此能够在凸部7的表面作用毛细管力，输送工作液。即，凸部7本身作为芯体发挥功能。由此，均热板的热输送能提高。

如上述那样，凸部7其本身可作为芯体发挥功能，本方式的均热板不需要除凸部以外的芯体。因此，本发明提供一种均热板，其在表面具备具有作为芯体发挥功能的微细构造的凸部7，不具有除凸部7以外的芯体。

此处，“微细构造”是指凸形状和/或者凹形状以规定间隔存在多个的构造，且是指凸形状的高度和凹形状的深度为10nm以上且10，000nm以下，凸形状和凹形状的宽度为10nm以上且10000nm以下的构造。凸形状是指存在多个突起的形状，凹形状是指存在多个凹陷的形状，多个突起和多个凹陷分别也可以是相同的形状，也可以是不同形状。微细构造例如也可以是排列有多个圆柱状、棱柱状的柱的形状、形成有多个槽的形状、形成有多个半圆形状或者半椭圆形状的突起的形状等。另外，微细构造也可以是规则的形状，也可以是不规则的形状。

作为具有微细构造的凸部的例子，例如可举出如图3所示那样，在凸部的表面形成有多个柱状突起21的结构。这样的柱状突起21的高度、粗细、间隔、朝向等也可以相同，也可以不同。具有这样的微细构造的凸部例如能够通过激光加工等微细加工而形成。

作为具有微细构造的凸部的其他例子，如图4所示那样，可举出在凸部的表面形成有多个圆山状(球头状)突起22的结构。这样的圆山状突起22的高度、粗细、间隔、朝向等也可以相同，也可以不同。这样的具有微细构造的凸部例如能够通过在形成表面光滑的凸部之后浸渍于蚀刻液而获得。

作为具有微细构造的凸部的其他例子，如图5所示那样，可举出形成有多个针山状(锥状)突起23的结构。这样的针山状突起23的高度、粗细、锥形的角度、间隔、朝向等也可以相同，也可以不同。这样的具有微细构造的凸部例如能够通过在形成表面光滑的凸部之后浸渍于蚀刻液、或者实施镀敷而获得。在利用蚀刻的情况下，能够得到大小和形状比较一致的针山状突起23。另外，在利用镀敷的情况下，能够得到更细的、例如锥形的角度小的针状的针山状突起23。

作为具有微细构造的凸部的其他例子，如图6所示那样，可举出在凸部的表面形成有多个凹陷24的结构。这样的凹陷24的深度、宽度等形状也可以相同，也可以不同。具有这样的微细构造的凸部例如能够通过在形成了表面光滑的凸部之后进行喷砂那样的物理处理而获得。

上述第1片材2和第2片材3在上述外缘部处相互接合。未特别限定为这样的接合方法，能够使用例如激光焊接、电阻焊接、扩散接合、钎焊、TIG焊接(钨-不活泼气体焊接)、超声波接合或者树脂密封，能够优选使用激光焊接、电阻焊接或者钎焊。

上述柱5使第1片材与第2片材之间的距离成为规定距离地从内侧支承第1片材2和第2片材3。通过将柱5设置于壳体4的内部，从而能够抑制在壳体的内部被减压了的情况下、施加有来自壳体外部的外压的情况下等壳体变形。此外，在柱支承第1片材和第2片材时，柱也可以直接与各片材接触而进行支承，也可以经由其他部件例如芯体等而进行支承。

形成上述柱5的材料未特别限定，但能例如为金属，例如为铜、镍、铝、镁、钛、铁或者以它们作为主成分的合金等，特别优选为铜。在优选的方式中，形成柱的材料是与第1片材和第2片材的任一个或者两者相同的材料。

上述柱5的高度比上述凸部7的高度大。在一个方式中，上述柱5的高度优选为上述凸部7的高度的1.5倍以上且100倍以下，更优选为上述凸部7的高度的2倍以上且50倍以下，进一步优选为上述凸部7的高度的3倍以上且20倍以下，更进一步优选为上述凸部7的高度的3倍以上且10倍以下。

上述柱5的高度能够根据所希望的均热板的厚度而适当地设定，优选为50μm以上且500μm以下，更优选为100μm以上且400μm以下，进一步优选为100μm以上且200μm以下，例如为125μm以上且150μm以下。此处，柱的高度是指均热板的厚度方向的高度(图1中上下方向的高度)。

此外，上述柱5的高度在一个均热板中也可以相同，也可以不同。例如，某个区域中的柱5的高度和其他区域中的柱5的高度也可以不同。通过变更一部分柱5的高度，能够局部变更均热板的厚度。

上述柱5的形状未特别限定，但可以是圆柱形状、棱柱形状、圆锥台形状、棱锥台形状等。

上述柱5的粗细只要给予能够抑制均热板的壳体的变形的强度则未特别限定，但例如与柱的高度方向垂直的剖面的等效圆直径为100μm以上且2000μm以下，优选为300μm以上且1000μm以下。通过增大上述柱的等效圆直径，能够更加抑制均热板的壳体的变形。另外，能够缩小上述柱的等效圆直径，能够较大地确保用于供工作液的蒸气移动的空间。

上述柱5的配置未特别限定，但优选均衡地例如柱间的距离成为恒定地以格子点状配置。通过均衡地配置柱，能够遍及均热板整体地确保均匀的强度。

上述柱5的数量和间隔未特别限定，但使均热板的内部空间按规定的一个片材的主面的面积每1mm²，优选为0.125个以上且0.5个以下，更优选为0.2个以上且0.3个以下。通过增多上述柱的数量，能够更加抑制均热板(或者壳体)的变形。另外，通过更加减少上述柱的数量，能够更大地确保用于供工作液的蒸气移动的空间。

上述柱5也可以与第1片材一体形成，另外也可以与第1片材分开独立制造，其后固定于第1片材的规定位置。

上述芯体8只要具有能够通过毛细管力使工作液移动的构造则未特别限定。发挥使工作液移动的毛细管力的毛细管构造未特别限定，也可以在以往的均热板中使用的公知的构造。例如，上述毛细管构造是具有细孔、槽、突起等凹凸的微细构造，例如可举出纤维构造、槽构造、网眼构造等。

上述芯体8的厚度未特别限定，但例如为5μm以上且200μm以下，优选为10μm以上且80μm以下，更优选为30μm以上且50μm以下。

上述芯体8的大小和形状未特别限定，但例如优选具有在壳体的内部能够从蒸发部至冷凝部连续设置的大小和形状。

在本实施方式的均热板中，芯体为一个，但不局限于此，也可以是多个，例如两个、三个、四个、五个或者更多。

此外，在本发明的均热板中，上述芯体8不是必需的结构，也可以不存在。在这种情况下，也可以是，在第1片材和第2片材的任一个或者两者的表面形成凹凸、槽等，使这样的片材本身作为芯体发挥功能。另外，在不存在芯体的位置处，上述柱5可与第1片材和第2片材两者直接接触。

上述工作液只要在壳体内的环境下可产生气-液的相变化则未特别限定，例如能够使用水、醇类、氟利昂替代物等。在一个方式中，工作液为水性化合物，优选为水。

在本实施方式的均热板1中，上述说明的第1片材2、第2片材3、柱5、芯体8处于以第2片材3、芯体8、柱5和第1片材2的顺序层叠的状态。在末端区域12处，随着接近片材的边缘，第1片材2和第2片材3接近，在外缘部处接触并被接合，被密封。以下，也将第1片材和第2片材接合的部分称为“接合部”。第1片材和第2片材中的至少一个在末端区域处为了与另一个片材接近而变形(弯曲或者弯曲)，但优选为90°以下，更优选为100°以下，若为110°以下的角度则不变形。

将在从最外侧的柱的外缘起至第1片材与第2片材的接合部的内缘止的距离(mm)设为“a”，将最外侧的柱的外缘中的第1片材与第2片材间的距离(mm)设为“b”的情况下，本发明的均热板满足下述式1。此处，“最外侧的柱”是指距第1片材和第2片材的接合部最近的柱。

式1：0.02≤b/a≤0.3

通过满足上述的式1，能够得到可靠性高的均热板。

在优选的方式中，本发明的均热板满足下述式1’。

式1’：0.06≤b/a≤0.1

在一个方式中，接合部的宽度(图1的“c”所示)优选为1mm以下，更优选为0.8mm以下，进一步优选为0.7mm以下。另外，接合部的宽度优选为0.02mm以上，更优选为0.1mm以上，进一步优选为0.2mm以上。

在一个方式中，与第1片材和第2片材的接合部邻接的片材开始变形的位置处的第1片材与第2片材之间的距离优选为0.06mm以上，更优选为0.1mm以上，进一步优选为0.2mm以上。即，b优选为0.06以上，更优选为0.1以上。另外，最外侧的柱的外缘的第1片材与第2片材之间的距离优选为1mm以下，更优选为0.8mm以下，进一步优选为0.4mm以下。

此处，典型而言，“最外侧的柱的外缘”能是中央区域11与末端区域12的边界。“从最外侧的柱的外缘起至第1片材和第2片材的接合部的内缘止的距离(mm)”是指接合部的内部侧的端部与距接合部最近的柱之间的距离。

上述“最外侧的柱的外缘的第1片材与第2片材之间的距离(mm)”是指最外侧的柱的外缘处的第1片材的内侧主面与第2片材的内侧主面之间的距离。另外，当在内侧主面存在凸部或者凹部的情况下，第1片材和第2片材的内侧主面之间的距离以假定为不存在这样的凸部或者凹部的情况下的面为基准。

上述第1片材和第2片材的接合部6所在的高度方向的位置(图1中上下方向上的位置)，只要是中央区域11的第1片材和第2片材之间的高度(包含与第1片材或者第2片材相同的高度的情况)，则未特别限定。在优选的方式中，对于接合部6所在的高度方向的位置而言，从第1片材和第2片材的中间部分即接合部起至中央区域11处的第1片材的内侧主面止的在高度方向上的距离与从接合部起至中央区域11处的第2片材的内侧主面止的在高度方上的距离相等。

以上，针对本发明的均热板，通过上述实施方式进行了说明，但本发明的均热板不限定于图示的方式，能够进行各种改变。

例如，也可以是，其他方式的均热板还在第1片材2的内侧主面上存在凸部。

也可以是，其他方式的均热板在第1片材2或者第2片材3的一个或者两者的内侧主面上取代凸部而存在凹部。

也可以是，其他方式的均热板在第1片材2上还具有芯体。在这种情况下，也可以是，柱5未与第1片材2直接接触，而经由上述芯体支承第1片材2。

本发明的均热板由于如上述那样热输送能力和热扩散能力高，因此适当地用于散热设备。

因此，本发明也提供具有本发明的均热板而构成的散热设备。

本发明的均热板有利于小型化(特别是轻薄化)，适于要求小型化的机器例如电子设备的利用。

因此，本发明也提供具有本发明的均热板或者本发明的散热设备而构成的电子设备。

实施例

作为实施例1第1片材，准备60mm×110mm尺寸的Cu制的片材。使a＝15mm，中央区域的尺寸为26mm×76mm。在该中央区域，通过蚀刻形成柱。柱是直径0.6mm的圆柱形，将第1片材与第2片材之间的距离(b)调整为规定的值(b＝0.300mm)。具体而言，柱的高度为0.230mm。柱以1.3mm间隔配置于中央区域。第1片材的厚度t为0.05mm。

作为第2片材，准备60mm×110mm尺寸的Cu制的片材。使a＝15mm，中央区域的尺寸为26mm×76mm。在该中央区域，通过蚀刻形成凸部。凸部是底面为0.15mm×0.15mm的四棱柱形，高度为0.03mm。凸部以0.15mm间隔配置于中央区域。第2片材的厚度t为0.05mm。

作为芯体，使用厚度0.04mm的网状物。

作为工作液，使用水。

使用上述的第1片材、第2片材、芯体、工作液，按以下的顺序制成均热板。

首先，从下依次层叠第2片材、芯体、第1片材，通过电阻焊焊接外周部4个边，制成均热板主体。此时，形成于第1片材的柱朝内配置，形成于第2片材的凸部朝内配置。接合部的宽度c通过焊接时的电极宽度调整为规定的值(c＝0.7mm)。另外，调整接合位置，以使得从最外侧的柱的外缘起至第1片材和第2片材的接合部的内缘止的距离a成为规定的值(a＝15mm)。从距层叠的第1片材和第2片材端以1.3mm靠内侧的部位以宽度c＝0.7mm进行了焊接。

接下来，在将得到的均热板主体的4个角中的1个角切除，并在该处插入Cu管之后，利用焊料将均热板主体和Cu管固定。将该Cu管经由换向阀而与真空泵和加有工作液的注射器相连。开始，形成使换向阀与均热板内部和真空泵相连的状态，使均热板主体内部减压。其后，对阀进行换向，将均热板内部和加有工作液的注射器相连，将规定量的工作液注入均热板内部之后，将Cu管凿紧并密封，成为实施例1的均热板。

实施例2～6和比较例1～2a、b、c除了成为下述表所示的值以外，其他与实施例1相同，制成实施例2～6和比较例1～2的均热板。

[表1]

	a(mm)	b(mm)b/a	c(mm)
				实施例1	15	0.30.02	0.7
实施例2	5	0.30.06	0.7
				实施例3	3	0.30.1	0.7
实施例4	1	0.30.3	0.7
				实施例5	3	0.30.1	0.06
实施例6	1	0.30.3	0.06
				比较例1	25	0.30.012	0.7
比较例2	0.5	0.30.6	0.7

(评价)

·性能试验和可靠性试验

针对通过上述所制成的均热板，通过测定温度差特性来评价性能。温度差特性为，针对5个均热板，在均热板的一个短边部中央处并且距端部10mm靠内侧处设置15mm×15mm的陶瓷加热器，投入了3W的热量时，比较地进行设置有陶瓷加热器的面的相反一侧的面的均热板的温度和距另一个短边部端部10mm靠内侧的均热板的温度差(ΔT(℃))。ΔT的平均值如表2所示。

·可靠性试验

针对通过上述制成的均热板，通过105℃下放置100小时的高温放置试验，评价均热板的可靠性。评价针对5个均热板，通过同时外观和按压第1片材、第2片材来判断在高温放置前后是否泄漏。若产生泄漏，则在外观上第1片材与第2片材的距离变大。另外，若同时按压则一个片材向另一个片材方向变形。在认为是至少任一个的情况下判断为泄漏。泄漏个数如表2所示。

[表2]

	ΔT(℃)	泄漏个数
			实施例1	8	0/5
实施例2	6	0/5
			实施例3	5	0/5
实施例4	5	0/5
			实施例5	5	0/5
实施例6	5	0/5
			比较例1	14	0/5
比较例2	-	3/5

工业上的可利用性

本发明的均热板可靠性高，因此能够在广泛的用途中使用。特别是，作为电子设备等冷却设备等，能够在谋求小型且高效的热输送的用途中使用。

附图标记说明

1...均热板；2...第1片材；3...第2片材；4...壳体；5...柱；6...接合部；7...凸部；8...芯体；11...中央区域；12...末端区域；21...柱状突起；22...圆山状突起；23...针山状突起；24...凹陷。

Claims (9)

1.一种均热板，其特征在于，具有：

壳体，其由外缘部接合起来的对置的第1片材和第2片材构成；

柱，其在所述第1片材和第2片材之间从内侧对它们进行支承；以及

工作液，其被封入于所述壳体内，

所述第1片材和第2片材在接合部和距接合部最近的所述柱之间不具有角度为90°以下的角部，

所述柱设置有多个，并且，沿着壳体的一个边方向，最外侧的两外侧柱和配置于这两外侧柱之间的中间柱以恒定的间隔排列，

所述第1片材和所述第2片材间的接合部比所述第1片材和所述第2片材之间的中间位置靠所述第2片材侧，并且比所述第2片材靠内侧，

所述均热板满足下述式1，

式1：0.02≤b/a≤0.3

式中：a是从最外侧的柱的外缘起至第1片材与第2片材的接合部的内缘止的距离，单位为mm，

b是所述最外侧的柱的外缘处的第1片材与第2片材之间的距离，单位为mm。

2.根据权利要求1所述的均热板，其特征在于，

第1片材和第2片材的厚度为10μm以上且200μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的均热板，其特征在于，

所述接合部的宽度为1.0mm以下。

4.根据权利要求1或2所述的均热板，其特征在于，

所述第1片材和第2片材是铜的片材。

5.根据权利要求1或2所述的均热板，其特征在于，

所述均热板还具有芯体。

6.根据权利要求1或2所述的均热板，其特征在于，

所述第1片材和第2片材中的至少一者在其内表面的至少局部具备凸部。

7.根据权利要求6所述的均热板，其特征在于，

所述凸部是在表面形成有微细构造的凸部。

8.一种散热设备，其特征在于，

具有权利要求1～7中任一项所述的均热板而构成。

9.一种电子设备，其特征在于，

具有权利要求1～7中任一项所述的均热板或者权利要求8所述的散热设备而构成。

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