CN211060713U - 均热板、散热器件以及电子设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了均热板、散热器件以及电子设备，该均热板具有：壳体；柱，在上述壳体的内部空间配置为从内侧支承上述壳体；工作液，被封入上述壳体的内部空间；至少一个金属箔，配置在上述壳体的内部空间；以及至少一个吸液芯，配置在上述壳体的内部空间，上述金属箔在一方的主面具有多个槽以及中空的凸部的至少任一方，上述金属箔以及上述吸液芯在它们的至少一部分以层叠的状态被夹持在上述壳体的主内面与上述柱之间。

Description

均热板、散热器件以及电子设备

技术领域

本实用新型涉及均热板、散热器件以及电子设备。

背景技术

近年，元件的高集成化、高性能化所引起的发热量增加。另外，由于产品的小型化不断发展，发热密度增加，所以散热对策变得重要。该状况在智能手机、平板等移动终端的领域特别显著。近年来，作为热对策部件，使用石墨板等的情况较多，但由于其热输送量不充分，所以对各种热对策部件的使用持续研究。其中，作为能够非常有效地使热量扩散的器件，面状的导热管亦即均热板的使用的研究不断推进。

通常在均热板为了使工作流体环流而在壳体内壁设置有被称为吸液芯(wick)的毛细管结构。通常在该吸液芯的上部配置有用于从内侧支承壳体的支承体，由此，防止由于减压所引起的壳体的变形、来自外部的力例如与其它的部件的接触所引起的壳体的变形。

例如，在专利文献1记载了在壳体内壁具有吸液芯结构(wick structure)15，并在壳体内部具有与吸液芯结构15抵接的支承板(supporting plate)17的均热板。

专利文献1：美国专利申请公开第2011/0011565号说明书

然而，在专利文献1的均热板中，若使支承板柔软至保护吸液芯的程度，则支承板不具有足够支承壳体的强度，而有壳体崩溃的担心。若使支承板坚硬至保持壳体的强度的程度，则有在壳体内壁与支承板之间压碎吸液芯的担心。

实用新型内容

因此本实用新型的目的在于提供能够抑制壳体的变形，并且设置在壳体内部的吸液芯不容易崩溃的均热板、散热器件以及电子设备。

为了解决上述的课题，本实用新型的某一方面的均热板具有：壳体；柱，在所述壳体的内部空间配置为从内侧支承所述壳体；工作液，被封入所述壳体的内部空间；至少一个金属箔，配置在所述壳体的内部空间；以及至少一个吸液芯，配置在所述壳体的内部空间，所述金属箔在一方的主面具有多个槽以及中空的凸部的至少任一方，所述金属箔以及所述吸液芯在它们的至少一部分以层叠的状态被夹持在所述壳体的主内面与所述柱之间。

另外，在一实施方式的均热板中，所述金属箔在具有所述凸部的情况下，在与该凸部存在的主面对置的主面具有与该凸部对应的形状的凹部，在具有所述槽的情况下，在与该槽存在的主面对置的主面具有与该槽对应的形状的凸部。

另外，在一实施方式的均热板中，所述壳体由密封了外缘部的对置的两个片材构成。

另外，在一实施方式的均热板中，所述吸液芯以及所述金属箔分别存在至少两个，一部分的吸液芯以及金属箔被夹持在所述壳体的一个主内面与所述柱之间，另一部分的吸液芯以及金属箔被夹持在与所述一个主内面对置的主内面与所述柱之间。

另外，在一实施方式的均热板中，所述凸部大致为圆柱形状。

另外，在一实施方式的均热板中，所述凸部大致为四棱柱形状。

另外，在一实施方式的均热板中，所述凸部的上表面的当量圆直径在 1μm以上500μm以下。

另外，在一实施方式的均热板中，沿着第一方向形成部分所述槽，并沿着第二方向形成其他槽。

另外，在一实施方式的均热板中，所述第一方向与所述第二方向正交。

另外，在一实施方式的均热板中，所述槽的宽度在1μm以上500μm 以下。

另外，在一实施方式的均热板中，所述槽的深度以及所述凸部的高度在1μm以上100μm以下。

另外，在一实施方式的均热板中，所述凸部以及所述槽当中相邻的彼此间距离在1μm以上500μm以下。

并且，根据本实用新型，提供具有本实用新型的均热板构成的散热器件。

并且，根据本实用新型，提供具有本实用新型的均热板或者本实用新型的散热器件构成的电子设备。

根据本实用新型，能够提供能够抑制壳体的变形，并且设置在壳体内部的吸液芯不容易崩溃的均热板、具备该均热板的散热器件以及电子设备。

附图说明

图1是本实用新型的一实施方式的均热板的示意剖视图。

图2是本实用新型的一实施方式的均热板的示意剖视图。

图3是本实用新型的一实施方式的金属箔的立体图。

图4是本实用新型的一实施方式的金属箔的立体图。

图5是本实用新型的一实施方式的金属箔的立体图。

图6是本实用新型的一实施方式的金属箔的立体图。

图7是本实用新型的一实施方式的金属箔的立体图。

图8是本实用新型的一实施方式的金属箔的立体图。

图9是本实用新型的一实施方式的均热板的示意剖视图。

图10是本实用新型的一实施方式的均热板的示意剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本实用新型的均热板进行详细的说明。

图1、图2、图9以及图10分别是本实用新型的一实施方式的均热板 1a、1b、1c以及1d的剖视图。如这些图所示，本实用新型的均热板具有壳体2、在壳体2的内部空间配置为从内侧支承壳体2的柱3、配置在壳体2的内部空间的至少一个金属箔5、以及配置在壳体2的内部空间的至少一个吸液芯4。另外，虽然未图示，但在本实用新型的均热板的壳体2 内还封入有工作液。上述金属箔5在一方的主面具有中空的凸部8以及多个槽10的至少任一方。金属箔5以及吸液芯4在它们的至少一部分，以层叠的状态被夹持在壳体2的主内面与柱3之间。本实用新型的均热板由于通过柱3从内侧支承壳体2，所以能够抑制由于壳体内部的减压所引起的变形以及来自壳体外部的负荷所引起的变形。另外，本实用新型的均热板虽然在吸液芯4负担来自柱3的压力，但由于金属箔5以及吸液芯4在层叠的状态下被夹持在壳体2的主内面与柱3之间，所以具有中空的凸部 8以及多个槽10的至少任一方的金属箔5作为缓冲材料发挥作用，所以能够降低施加给吸液芯的负荷，能够抑制吸液芯的功能降低。

在图1所示的实施方式中，金属箔5具有图3所示那样的凸部8。在图2所示的实施方式中，金属箔5具有图6所示那样的多个槽10。在图1 中，金属箔5在与凸部8存在的主面对置的主面具有与该凸部对应的形状的凹部。另外，在图2中，金属箔5在与槽10存在的主面对置的主面具有与该槽对应的形状的凸部。

以下，对均热板的各构成进行详细的说明。

壳体2只要具备两个对置的主内面即可。壳体的主内面既可以是多边形，也可以是圆形。在本说明书中主内面是指规定壳体的内部空间的面当中面积最大的面、和与该面对置的面。

壳体2的高度(即，均热板的厚度)A例如在100μm以上600μm以下即可，优选为200μm以上500μm以下的范围。壳体2的宽度(即，均热板的宽度)B例如在5mm以上500mm以下即可，优选为20mm以上 300mm以下的范围，更优选为50mm以上200mm以下的范围。另外，虽然未图示，但与表示壳体2的宽度B的箭头正交的从纸面近前朝向里侧的壳体2的进深D(即，均热板的进深)例如在5mm以上500mm以下即可，优选为20mm以上300mm以下的范围，更有选为50mm以上200mm以下的范围。上述的高度A、宽度B以及进深D既可以在壳体2的任何的位置都一样，也可以不一样。

壳体2既可以从单一的部件一体地形成，例如也可以如图1、图2、图9以及图10所示，由密封了外缘部的对置的两个片材构成。另外，也可以由两个以上的板状部件形成。在图1、图2、图9以及图10的均热板中，上部壳体片材6形成壳体2的上侧的主内面，下部壳体片材7形成壳体2的下侧的主内面。在壳体2中，上部壳体片材6和下部壳体片材7在各自的外缘部相互密封。上部壳体片材6以及下部壳体片材7的外缘部是指在内侧距离片材的端部规定距离的区域。在图1、图2、图9以及图10 的均热板中，例如能够激光焊接、电阻焊接、TIG焊接(钨/非活性气体焊接)、扩散接合、钎焊、树脂密封以及超声波接合等密封上部壳体片材6的外缘部与下部壳体片材7的外缘部，优选能够通过激光焊接或者电阻焊接进行密封。

壳体2的形状并不特别限定。例如，壳体2的平面形状(在图1中从附图上侧观察到的形状)可以是三角形或者矩形等多边形、圆形、椭圆形、组合了它们的形状等。

形成壳体2的材料并不特别限定，例如能够使用Cu、Ni、Al、Mg、 Ti、Fe等金属部件、以及将它们作为主成分的合金金属部件等，优选使用 Cu、Cu合金。

构成壳体2的壁面的厚度C(在图示的例子中，是壳体片材的厚度) 例如在10μm以上200μm以下即可，优选为30μm以上100μm以下的范围，更优选为40μm以上60μm以下的范围。上述的厚度C既可以在壳体 2的任何的位置都一样，也可以不一样。例如，也可以上部壳体片材6的厚度C与下部壳体片材7的厚度不同。

壳体2的内部空间侧以及外部空间侧的表面也可以如图1、图2、图 9以及图10所示那样平坦，在本实用新型中也可以形成如形成在金属箔5 那样的凹凸、槽等。

柱3在壳体2内配置为从内侧支承壳体2。在图1、图2、图9以及图10的均热板中，柱3具有圆柱形状，但柱3的形状并不限定于此，能够使用具有两个底面的柱状的形状。作为柱3的形状，例如能够使用圆柱形状、棱柱形状、锥台形状等任意的形状。在柱3的底面中的一方与吸液芯接触，另一方不与吸液芯接触的情况下，与吸液芯接触的一方的底面具有比另一方的平面大的面积，从而能够有效地降低施加给吸液芯的压力。柱3也可以固定于壳体2。在柱3的底面与吸液芯4或金属箔5接触的情况下，柱3也可以固定于吸液芯4或金属箔5。

上述柱3的粗度只要是给予能够抑制均热板的壳体的变形的强度的粗度则并不特别限定，但例如与柱的高度方向垂直的剖面的当量圆直径在 100μm以上2000μm以下即可，优选为300μm以上1000μm以下的范围，更优选为500μm以上800μm以下的范围。通过增大上述柱的当量圆直径，能够进一步抑制均热板的壳体的变形。另外，通过减小上述柱的当量圆直径，能够更宽地确保用于工作液的蒸气进行移动的空间。优选柱3具有壳体2的高度A的0.08倍以上0.9倍以下的高度，例如具有在50μm以上 500μm以下，优选为100μm以上400μm以下的范围，更有选为100μm以上200μm以下的范围的高度。

形成柱3的材料并不特别限定，例如能够使用Cu、Ni、Al、Mg、Ti、 Fe等金属部件、以及将它们作为主成分的合金金属部件等，优选使用Cu、 Cu合金。在优选的方式中，形成柱的材料是与第一片材以及第二片材的任意一方或者双方相同的材料。

配置在壳体2的内部空间的柱3的根数例如在每1mm²为0.125根以上0.5根以下即可，优选为每1mm²为0.15根以上0.35根以下的范围。通过使柱3的根数处于这样的范围，能够更有效地支承壳体，能够使壳体的崩溃难度提高。柱3既可以如图1、图2、图9以及图10所示那样以等间隔配置，例如配置为柱间的距离恒定的格子点状，也可以以非等间隔配置。通过均衡地配置柱3，从而能够在整个均热板确保均匀的强度。

配置在壳体2的内部空间的与壳体2的主内面接触的柱3的底面的面积的总和相对于壳体2的主内面的面积的比例例如在1％以上70％以下即可，优选为5％以上50％以下的范围。

柱3既可以与壳体2一体地形成，另外，也可以独立于壳体2制造，然后固定在壳体2的规定的位置。

吸液芯4只要具有能够通过毛细管力使工作液移动的结构则并不特别限定。发挥使工作液移动的毛细管力的毛细管结构并不特别限定，也可以是在以往的均热板中使用的公知的结构。例如，上述毛细管结构能够列举具有细孔、槽、突起等凹凸的微小结构，例如纤维结构、槽结构、网眼结构等。

上述吸液芯4的大小以及形状并不特别限定，但例如优选具有能够在壳体的内部从蒸发部连续地设置到凝结部的大小以及形状。

在图1、图2、图9以及图10所示的本实用新型的均热板中，吸液芯 4具有对置的两个主面，为了使工作液环流，在壳体2的内部空间配置至少一个吸液芯。吸液芯4在其至少一部分，以与金属箔5层叠的状态被夹持在上述壳体的主内面与上述柱之间。

吸液芯4的厚度例如在5μm以上200μm以下的范围即可，优选为 10μm以上80μm以下的范围，更优选为30μm以上50μm以下的范围。吸液芯4的厚度既可以在吸液芯4的任何位置都一样，也可以如图10所示那样不同。另外，吸液芯4不需要一定如图1、图2、图9以及图10所示那样，形成在均热板的壳体2的整个主面，也可以部分地形成。

吸液芯4的材料并不特别限定，例如能够使用多孔体、网状物、烧结体、无纺布等，优选使用网状物、无纺布。成为吸液芯4的材料的多孔体例如可以是由金属多孔体、陶瓷多孔体、树脂多孔体构成的材料等。成为吸液芯4的材料的网状物例如可以是由金属网状物、树脂网状物、或者进行了表面涂层的这些网状物构成的材料，优选由铜网状物、SUS网状物、聚酯构成。成为吸液芯4的材料的烧结体例如可以是由金属多孔质烧结体、陶瓷多孔质烧结体构成的材料，优选由铜、镍的多孔质烧结体构成。在本实用新型中通过上述的结构降低施加给吸液芯的压力，所以吸液芯也能够使用强度不够而在通常均热板中进行使用的吸液芯。

金属箔5配置在壳体2的内部空间。也可以金属箔5以及吸液芯4均在壳体2内部配置两个以上。在吸液芯4以及金属箔5分别至少存在两个的情况下，如图9所示，可以在上述壳体的一个主内面与上述柱之间夹持一部分的吸液芯以及金属箔，并在与上述一个主内面对置的主内面与上述柱之间夹持另一部分的吸液芯以及金属箔。这里，也可以与壳体的主内面一起夹持一部分的吸液芯以及金属箔的柱3、和与上述主内面所对置的主内面一起夹持另一部分的吸液芯以及金属箔的柱3是不同的柱。

金属箔5在其一方的主面具有中空的凸部8以及多个槽10的至少任一方。金属箔5通过具有这样的中空的凸部8以及槽10的至少任一方，从而即使在均热板的主面施加压力，从柱3对吸液芯4施加压力的情况下，由于在与吸液芯4接触的金属箔5的部分之下存在中空部分所以金属箔5 变形，能够降低施加给吸液芯4的压力。由此，能够防止吸液芯4被柱3 压碎。金属箔5的凸部是中空的。例如，如图1所示，通过在与存在该凸部的主面对置的主面设置与该凸部对应的形状的凹部，从而能够使该凸部为中空形状。相对于凸部的体积的、凸部的内侧的中空部分的体积的比例例如在1％以上99％以下即可，优选为10％以上70％以下的范围。凸部的体积是指形成凸部的金属箔的从主面突出的部分的体积、和将形成凸部的金属箔的主面与凸部的边界所包围的区域作为底面，并将金属箔的厚度作为高度的柱的体积的和。在形成凸部的金属箔的从主面突出的部分的内部存在中空的情况下，其体积是指包含中空部的体积。

金属箔5的上表面的凸部8既可以如图1以及图3所示那样，遍及形成在金属箔的整个上表面，也可以如图4以及图10所示那样，部分形成在金属箔5的上表面。在图10的均热板中，在金属箔5的上表面部分地形成凸部8，与形成凸部8的部分的吸液芯的厚度相比较，使未形成凸部8的部分的吸液芯的厚度增加。均热板通过具有这样的构成，能够降低在集中地施加载荷的区域施加给吸液芯的应力，并且能够在厚度较厚的区域，提高吸液芯的透过率。

在图3以及图4对大致四棱柱形状的凸部8进行了记载，但并不限定于此，能够在金属箔5部分地形成任意的形状的凸部。例如，如图5所示，金属箔5的上表面的凸部也可以是大致圆柱形状。另外，虽然未图示，但金属箔5的上表面的凸部也可以是锥台形状。

图3所示的金属箔5的凸部的上表面12的当量圆直径在1μm以上 500μm以下即可，优选为5μm以上300μm以下的范围，更优选为15μm 以上150μm以下的范围。金属箔5的凸部的上表面12通过具有这样的当量圆直径，能够更可靠地通过凸部支承吸液芯，并且，凸部的上表面12 容易进行变形，所以能够有效地降低施加给吸液芯的应力。

图1所示的金属箔5的上表面的凸部8的高度E在1μm以上100μm 以下即可，优选为5μm以上50μm以下的范围，更优选为15μm以上30μm 以下的范围。金属箔5的凸部8通过具有这样的高度E，从而毛细管力变高，透过率变低，所以能够提高使工作流体环流的吸液芯的功能的辅助效果。

另外，如图3所示的金属箔5的上表面的凸部中相邻的凸部彼此的距离F在1μm以上500μm以下即可，优选为5μm以上300μm以下的范围，更优选为15μm以上150μm以下的范围。通过使金属箔5的上表面的凸部中相邻的凸部彼此的距离为上述范围，从而毛细管力变高，透过率变低，所以能够提高使工作流体环流的吸液芯的功能的辅助效果。在本实用新型中，凸部8彼此或者槽10彼此相邻是指在它们之间不夹着其它的凸部8 或者槽10而相邻。

金属箔5的上表面的槽既可以如图6所示那样，遍及形成在金属箔的整个上表面，也可以部分形成在金属箔5的上表面。图6所示的金属箔5 的上表面的槽的宽度G在1μm以上500μm以下即可，优选为5μm以上 300μm以下的范围，更优选为15μm以上150μm以下的范围。金属箔5 的槽通过具有这样的宽度G，从而毛细管力变高，透过率变低，所以能够提高使工作流体环流的吸液芯的功能的辅助效果。

图2所示的金属箔5的上表面的槽的深度H在1μm以上100μm以下即可，优选为5μm以上50μm以下的范围，更优选为15μm以上30μm以下的范围。金属箔5的槽通过具有这样的深度H，从而毛细管力变高，透过率变低，所以能够提高使工作流体环流的吸液芯的功能的辅助效果。

另外，图6所示的金属箔5的上表面的槽中相邻的槽彼此的距离I在 1μm以上500μm以下即可，优选为5μm以上300μm以下的范围，更优选为15μm以上150μm以下的范围。通过使金属箔5的上表面的槽中相邻的槽彼此的距离为上述范围，从而毛细管力变高，透过率变低，所以能够提高使工作流体环流的吸液芯的功能的辅助效果。

金属箔5的上表面的槽既可以如图6所示那样，全部沿着一个方向形成，也可以如图7所示那样一部分槽沿着第一方向形成，其他部分沿着第二方向形成。通过沿着两个方向形成槽，从而毛细管力变高，透过率变低，所以能够提高使工作流体在面方向环流的吸液芯的功能的辅助效果。

另外，如图7所示，也可以第一方向与第二方向正交。通过沿着以 90度相交的两个方向形成金属箔5的上表面的槽，从而毛细管力变高，透过率变低，所以能够提高使工作流体在面方向环流的吸液芯的功能的辅助效果。

在本实用新型的均热板中，也可以金属箔5在上表面具有凸部8以及槽10双方。例如，能够使用如图8所示那样的具有四棱柱形状以及圆柱形状的凸部8、和槽10的金属箔5。本实用新型的金属箔在一方的主面具有中空的凸部以及多个槽的至少任一方，所以实现使工作流体环流的作用。因此，在本实用新型的均热板中，工作流体的环流被吸液芯4以及金属箔5双方促进，所以与不具有金属箔5的均热板相比较具有优异的散热性。

在图1、2、9以及10所示的均热板中都将金属箔5设置为与壳体2 接触，并将吸液芯4设置为与该金属箔5接触并且不与壳体2接触，但并不限定于图示的例子，只要吸液芯与金属箔重叠，并夹持在壳体内面与柱的顶部间即可。例如，也可以将吸液芯4设置为与壳体2接触，并将金属箔5设置为与该吸液芯4接触并且不与壳体2接触。另外，也可以将金属箔5设置为与壳体2接触，将吸液芯4设置为与该金属箔5接触并且不与壳体2接触，并进一步设置另一个金属箔5为与该吸液芯接触。

虽然在图1、图2、图9以及图10未示出，但在本实用新型的均热板的壳体内还封入有工作液。工作液通过来自热源的热量汽化，成为蒸气。其后，成为蒸气的工作液在壳体内移动，并释放出热量返回为液体。返回为液体的工作液由于吸液芯的毛细管现象而再次被输送至热源。然后再次通过来自热源的热量进行汽化，成为蒸气。通过反复该过程，本实用新型的均热板能够不需要外部动力而自主地工作，能够利用工作流体的蒸发/ 凝结潜热，二维地迅速地使热量扩散。

工作液的种类并不特别限定，例如能够使用水、醇类、替代氟利昂等，优选使用水。

在本实用新型的均热板中，工作流体的环流被吸液芯4以及金属箔5 双方促进，所以也能够使用通常不容易环流所以不适合作为工作液的粘性较高的工作液。

本实用新型的均热板为了接近热源，而能够搭载于散热器件。因此，本实用新型也提供具有本实用新型的均热板构成的散热器件。本实用新型的散热器件通过具备本实用新型的均热板，从而能够有效地抑制发热的电子部件以及部件的周边的温度上升。

本实用新型的均热板或者散热器件能够以散热为目的搭载于电子设备。因此，本实用新型提供具有本实用新型的均热板或散热器件构成的电子设备。作为本实用新型的电子设备，例如能够列举智能手机、平板终端、笔记本电脑、游戏机、可佩带设备等。本实用新型的均热板如上述那样，能够不需要外部动力而自主地工作，能够利用工作流体的蒸发/凝结潜热，二维地高速地使热量扩散。因此，电子设备通过具备本实用新型的均热板或散热器件，能够在电子设备内部的有限的空间，有效地实现散热。

本实用新型的均热板例如能够搭载于智能手机、平板终端、笔记本电脑、游戏机、可佩带设备等进行使用。

附图标记说明

1a…均热板，1b…均热板，1c…均热板，1d…均热板，2…壳体，3…柱，4…吸液芯，5…金属箔，6…上部壳体片材，7…下部壳体片材，8…凸部，9…凹部，10…槽，11…凸部，12…凸部的上表面。

Claims (15)

1.一种均热板，具有：

壳体；

柱，在所述壳体的内部空间配置为从内侧支承所述壳体；

工作液，被封入所述壳体的内部空间；

至少一个金属箔，配置在所述壳体的内部空间；以及

至少一个吸液芯，配置在所述壳体的内部空间，

所述金属箔在一方的主面具有多个槽以及中空的凸部的至少任一方，

所述金属箔以及所述吸液芯在它们的至少一部分以层叠的状态被夹持在所述壳体的主内面与所述柱之间。

2.根据权利要求1所述的均热板，其特征在于，

所述金属箔在具有所述凸部的情况下，在与该凸部存在的主面对置的主面具有与该凸部对应的形状的凹部，在具有所述槽的情况下，在与该槽存在的主面对置的主面具有与该槽对应的形状的凸部。

3.根据权利要求1所述的均热板，其特征在于，

所述壳体由密封了外缘部的对置的两个片材构成。

4.根据权利要求1所述的均热板，其特征在于，

所述吸液芯以及所述金属箔分别存在至少两个，一部分的吸液芯以及金属箔被夹持在所述壳体的一个主内面与所述柱之间，另一部分的吸液芯以及金属箔被夹持在与所述一个主内面对置的主内面与所述柱之间。

5.根据权利要求2所述的均热板，其特征在于，

所述吸液芯以及所述金属箔分别存在至少两个，一部分的吸液芯以及金属箔被夹持在所述壳体的一个主内面与所述柱之间，另一部分的吸液芯以及金属箔被夹持在与所述一个主内面对置的主内面与所述柱之间。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的均热板，其特征在于，

所述凸部大致为圆柱形状。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的均热板，其特征在于，

所述凸部大致为四棱柱形状。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的均热板，其特征在于，

所述凸部的上表面的当量圆直径在1μm以上500μm以下。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的均热板，其特征在于，

沿着第一方向形成部分所述槽，并沿着第二方向形成其他槽。

10.根据权利要求9所述的均热板，其特征在于，

所述第一方向与所述第二方向正交。

11.根据权利要求1至5中任一项所述的均热板，其特征在于，

所述槽的宽度在1μm以上500μm以下。

12.根据权利要求1至5中任一项所述的均热板，其特征在于，

所述槽的深度以及所述凸部的高度在1μm以上100μm以下。

13.根据权利要求1至5中任一项所述的均热板，其特征在于，

所述凸部以及所述槽当中相邻的彼此间距离在1μm以上500μm以下。

14.一种散热器件，

构成为具有权利要求1至13中任一项所述的均热板。

15.一种电子设备，

构成为具有权利要求1至13中任一项所述的均热板或权利要求14所述的散热器件。

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