DE1521258A1 - Vorrichtung zum Metallisieren von tafelfoermigen Materialien im Vakuum - Google Patents

Vorrichtung zum Metallisieren von tafelfoermigen Materialien im Vakuum

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DE1521258A1 DE19641521258 DE1521258A DE1521258A1 DE 1521258 A1 DE1521258 A1 DE 1521258A1 DE 19641521258 DE19641521258 DE 19641521258 DE 1521258 A DE1521258 A DE 1521258A DE 1521258 A1 DE1521258 A1 DE 1521258A1
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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    • H—ELECTRICITY
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    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
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Description

FATENTANWXLTE DR.-ING, VON XXIlSLfI DR.-INO. SCHONWALD
KÖLN 1, DEICHAtANNHAUS
Neue unterlagen für Offenle^in|
GIAVERBEL,
79* avenue Louise, Brüssel, Belgien,
Vorrichtung zum Metallisieren von tafelförmigen Materialien im Vakuum.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Ablagerung von Schichten auf tafelförmigen Materialien, insbesondere auf Glastafeln, durch ein Verdampfungsverfahren von Materialien im Vakuum, das nachstehend als Metallisieren im IScuum, das nachstehend als Metallisieren im Vakuum bezeichnet wird, obwohl es auch die Bildung von anderen als metallischen Schichten einsehließt, wie z.B. Schichten aus Verbindungen von metallischen oder nicht metallischen Elementen, mit anderen Elementen.
Die Vorrichtungen zum Metallisieren im Vakuum weisen einen Schacht auf, in welchem eine Tafel angeordnet wird, deren zu behandelnde Seite den Metallisierungsorganen zugekehrt ist, welche sicn im allgemeinen unterhalb der Tafel befinden. Wenn sich die Tafel an ihrem Platz befindet, wird der Schacht geschlossen, in demselben das Vakuum erzeugt und dann die Metallisierung ausgeführt. Sobald diese beendet ist, wird der Druck im Sehacht wieder auf den atmosphärischen Druck gebracht und der Schacht geöffnet, entweder um die Tafel umzud&ien* oder wenn dieselbe auf beiden Seiten behandelt werden soll, oder um dieselbe durch eine andere Tafel zu ersetzten, wenn nur eine Seite zu metallisieren ist. Der Sehacht wird dann wieder geschlossen, man stellt in dem-
Neue Untersagen
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tMt 711 Abs. 2 Nr. 1 Satt 3 Ow AMerungag··. v. 4.9.1.
selben wieder das Vakuum her und die gleiche Reihenfolge der Vorgänge wiederholt sich für Jede zu behandelnde Seite.
Dieses Verfahren ist lang und kostspielig. Das Benützungsverhältnis der Vorrichtung wird stark verringert.
Durch die Erfindung wird das Benutzungsverhältnis beträchtlich verbessert, weil sie ermöglicht, die Metallisierung einer vorherbestimmten Menge von Tafeln auf einer oder auf beiden Seiten auszuführen, ohne daß es erforderlich wäre, den Schacht zu öffnen und in demselben ebenso viele Male das Vakuum herzustellen als Seiten zu behandeln sind. Daraus ergibt sich eine wesentliche Ersparnis von Handarbeit, Antriebskraft und Zeit.
Die Metallisierungsvorrichtung gemäß der Erfindung ermöglicht, die Seiten einer vorherbestimmten Menge von Tafeln nacheinander der Behandlung zuzuführen. Sie ist dadurch gekennzeichnet, daß im Inneren eines zylindrischen Vakuumbehälters angeordnet sind: Eine waagerechte, kreisförmige Laufbahn, eine waagerechte Trägereinrichtung, die auf der Laufbahn drehbar ist, Halterahmen, von denen jeder wenigstens eine zu behandelnde bzw. behandelte Platte in waagerechter Lage trägt, zwei Magazine, die auf der Trägereinrichtung nebeneinander angeordnet sind und von denen jedes mit Führungen bzw. Ketten versehen ist, welche eine senkrechte Führung der übereinander angeordneten Halterahmen gewährleisten, wobei das eine Magazin die Halterahmen mit den zu behandelnden Platten und das andere Magazin die Halterahmen mit den zu behandelnden und den behandelten Platten aufnimmt, eine Einrichtung zur Anordnung der mit Platten belädenen Halterahmen im Magazin, eine Einrichtung zum intermittierenden Verschieben der mit Platten belädenen Halterahmen, die mittels der Führungen vom oberen Ende nach dem unteren Ende des Magazins gelangen,
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aus dem unteren Ende des Magazins in das untere Ende des Magazins, sowie Einrichtungen, welche die mit Platten beladenen Halterahmen mittels der Führungen intermittierend vom unteren Ende nach dem oberen Ende des Magazins ansteigen lassen.
Bei einer ersten Ausführungsform der Erfindung bestehen die senkrechten Führungen aus Winkeleisen, die auf Längsträgern angeordnet sind und die einen Stapel vpn übereinanderliegenden Halterahmen festhalten. Die letzteren weisen ε.η den vorderen und hinteren Rändern Abschrägungen auf, eine auf der Oberseite und eine auf der Unterseite jedes Halterahmens, um die Verschiebung der Halterahmen aus dem einen Magazin in das andere zu erleicntern.
i3ei r.i-.deren Ausführungsformen weisen die Führungen seitliche Organe auf, auf welc.ien die tialterahmen in einem geringen /■,-■Erjr-j υ voneinander aufruhen. Diese Organe können sich entsprechend dem ein Organ vom anderen trennenden Abstand in senkrechter Richtun ; durch Lager verschieben, und zwar in
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der. Me zu behandelnden Tafeln abnehmenden Magazin von oben nsc-i in j'; er und in dem die behandelten Tafeln aufnehmenden ■'.a(Jxsin voi. unten nach oben. Die senl&chten Führungen weise.: ins''es.:-ndeie Me"Ti\ane auf, die auf den Längsträgern ange- -::■;■:.et;- und nit i rTauen verdien sind,auf welchen die Halteiv.'iMeraufru ien. Die'.iebeor^ane bestehen vorzugsweise aus senkrechten endlosen' Ketten, die durch Elektromotoren an etrie'en v:erde^ und die r.iit irr. Abstand voneinander lie-
er.de:. Ansetzer; versehen sind, welcae zum Abstützen der HaI-terc'i:nen dienen. Die Enden der Längsträger sind vorteilhaft auf einen Kranz befestigt, der sich auf einer waagerechten kreisförmigen Laufbahn ur.i seine Achse dreht, um den Tafeln -'.;-. "-e-c-nnter V.'eise während des Metall is ierungsvorganges e".:ie ?re >un; U1T eine senkrechte Achse zu erteilen.
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Die Einrichtung zur Übertragung der Tafeln aus dem einen Magazin in das andere besteht aus an den Längsträgern befestigten Schienen, auf welchen die" Halterahmen während des Metallisierungsvorganges aufruhen^auf welchen sie aus dem Magazin für die zu behandelnden Tafeln in das Magazin zur Aufnahme der behandelten Tafeln verschoben werden können. Im Inneren der Vakuumbehandlungsvorrichtung ist ein durch einen Elektromotor betätigtes Organ vorgesehen, das die Halterahmen aus dem einen Magazin in das andere verschiebt. Dieses Organ kann ein Stößel mit einer Zahnstange sein, in welche das Ritzel eines Elektromotors eingreift, wenn die Vorrichtung dazu bestimmt ist, nur eine Seite der Tafel zu behandeln. Wenn jedoch in der Vorrichtung die beiden Seiten einer Tafel nacheinander behandelt werden sollen, besteht die Einrichtung zur Übertragung der Tafeln vorteilhaft aus einem Rahmen, der um eine waagerechte -Achse schwenkbar ist, welche unterhalb der Magazine in der MJttelebene zwischen denselben angeordnet ist, um einen Halterahmen während des Metallisierungsvorganges der Tafel festzuhalten und denselben durch Verschwenken aus dem ersten Magazin in das zweite zu übertragen, in welchem die andere Seite der Tafel während des folgenden Vorganges metallisiert werden kann. Mit dem Schwenkrahmen kann jedoch immer nur die eine Seite jeder Tafel behandelt werden. Zu diesem Zweck wird die Tafel durch Verschwenken des Rahmens in das Aufnehmemagazin übergeführt, nachdem die eine Seite metallisiert worden ist, oder die Halterahmen werden mit zwei Tafeln versehen, von denen die eine nach dem Verschwenken des Rahmens nach der anderen metallisiert wird.
Der Schwenkrahmen weist eine automatische Verriegelung auf, . die auf der oberen Seite offen und auf der unteren Seite des Rahmens geschlossen ist, wenn sich derselbe für den Eintritt
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oder den Austritt eines Halterahmens in waagerechter Stellung befindet, und die während der Verschwenkung des Rahmens auf beiden Seiten geschlossen ist. Diese Verriegelung besteht vorteilhaft aus Schiebern, die auf beiden Seiten des Rahmens parallel zur Schwenkachse angeordnet sind und die mit Fingern versehen sind, welche nach dem Inneren des Rahmens gerichtet sind,/wie mit einem Anschlag, der über den Rahmen hinausgeht und der mit einer Nooke in Eingriff kommt, weüie die Bewegungen der Schieber steuert. Anstelle der Abschrägungen weisen die Halterahmen dann Ausnehmungen auf, durch welche die Pinger der Schieber auf der Oberseite des Schwenkrahmens hindurchgehen, wenn sich derselbe in der waagerechten Stellung befindet. Der Schwenkrahmen ist überdies mit einer elektromagnetisch gesteuerten Klinke versehen, welche den Rahmen mit den Längsträgern fest verbindet, wenn sich derselbe in waagerechter Stellung befindet, sowie mit einem Unterbrecher, welcher die Speisung der die Hebeketten der Magazine betätigenden Motoren während der Verschwenkung des Rahmens automatisch unterbricht.
Die .verschiedenen -beweglichen Organe werden vorzugsweise durch einzelne Motoren betätigt, die im Inneren der Behandlungsvorrichtung angeordnet sind und deren Anschlußkabel durch dichte Verbindungen in der Wand der Vorrichtung ikidurchgehen.
Die in einem geringen Abstand von den zu behandelnden Tafeln angeordneten Metallisierungsorgane sind vorteilhaft mit einer Einrichtung fest verbunden, welche sie aus dem Weg des Schwenkrahmens entfernen kann, z.B. mit senkrechten Führungen, in denen die Abstützung der Organe verschiebbar ist, welche durch eine Schnecke gesteuert wird.
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In der Zeichnung sind mehrere beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung dargestellt.
Fig. 1 zeigt im senkrechten Längsschnitt eine Metallisierungsvorrichtung, die mit einer erfindungsgemäßen Einrichtung zur Zuführung der Tafeln versehen ist,
Fig. 2 zeigt im Schnitt nach der Linie II-II der Fig. 1 die Vorrichtung im Grundriß, wobei die Magazine leer dargestellt sind.
Fig. 3 zeigt einen Halterahmen für eine zu metallisierende Tafel.
Die Fig. 4 und 5 zeigen in Vorder- und Seitenansicht eine andere Ausführungsform der Magazine, welche die Halerahmen enthalten.
Die Fig. 6 und 7 zeigen in Vorder- und Seitenansicht eine Ausführungsform mit einem Schwenkrahmen.
Fig. 8 zeigt in größerem Maßstab eine Draufsicht auf den S chwenkr ahmen.
Fig. 9 zeigt eine Seitenansicht des Schwenkrahmens.
Fig. 10 zeigt eine Einrichtung, welche das Senken der Elektroden ermöglicht.
Die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Vakuumbehandlungsvorrichtung weist einen Schacht 1 auf, der durch die Wand 2, den Boden 3 und den Deckel 4 gebildet wird und der in seinem
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unteren Teil ein Metallisierungsorgan 5 enthält, z.B. einen Verdampfer. Der Schacht ist überdies mit einer waagerechten, kreisförmigen Laufbahn β versehen, die an der zylindrischen Wand angeordnet ist und auf welcher sich die Vorrichtung gemäß der Erfindung in bekannter Weise drehen kann, um die Tafel während der Behandlung eine oder mehrere Umdrehungen um die Achse der Vorrichtung ausführen zu lassen, was eine wesentliche Bedingung darstellt, um eine gleichmäßirre Metallisierung der Tafel zu gewährleisten.
Bei einer ersten Ausführungsform sind waagerechte Schienen 7 auf Längsträgern S befestigt, die mit einem Kranz Q fest verbunden sind, welcher sich auf der Laufbahn 6 mittels Rollen 10 dreht. Auf den Längsträgern 8 befestigte senkrechte Führungen 11 sind derart angeordnet, daß sie ein Magazin 12 bilden, in dem waagerechte Halterahmen IJ, welche die zu behandelnden Tafeln 14 enthalten, übereinanderliegend Gestapelt sind (Fig. l). Die Halterahmen werden im Schacht von oben angeordnet, nachdem der Deckel 4 abgenommen ist. Den anderen Führungen ähnliche Führungen 15 bilden ein zweites Magazin 16, das zur Aufnahme der behandelten Tafeln bestimmt ist. Die im liagazin 12 gestapelten Halterahmen IJ ruhen auf den Sc'-nenen 7 auf. Die senkrechten Führungen 11 und 15 -rönnen beispielsweise aus Winkeleisen bestehen, deren Schenkel am unteren Znde bei 17 in genügender Höhe ausgeschnitten sind, um den Übergang der Halterahmen 13 hintereinander auf die Schienen 7 zu ermöglichen. Ein Ansatz 18 des Schachtes 1 enthält einen Stößel, der aus einer Zahnstange IQ besteht, Vielehe in den Führungen 20 durch das Ritzel 21 des Motors 22 verschiebbar ist, der eine geringe Dreizahl und zwei Dr^nrichtungen aufweist. Dieser Stößel er-
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möglicht, den Halterahmen, der sich am unteren Ende des Magazins 12 auf den Schienen 7 befindet, unter das Magazin l6 zu verschieben. Unterhalb j-edes Magazins befindet sich daher eine Tafel, die auf einer Seite behandelt werden kann. Nach der Behandlung dieser beiden Tafeln auf einer Seite stößt man nacheinander zwei Halterahmen 13 auf die Schienen 7» so daß sich wieder unterhalb jedes Magazins eine zu behandelnde Tafel befindet. Der Vorgang wiederholt sich, bis der Vorrat der im Magazin 12 gestapelten Halterahmen erschöpft ist. Das Magazin 16 wird dann vom oberen Ende des Schachtes her entleert, nachdem der Deckel 4 abgenommen worden ist.
Um die Einführung der Halterahmen IJ unterhalb jene, die bereits im Magazin ΐβ gestapelt sind, zu erleichtern, werden ihre vorderen und hinteren Ränder vorteilhaft, mit Abschrägungen 2J und 24 versehen. Die Drehung der Vorrichtung wird durch einen Motor 25 (Fig. 2) bewirkt, der den Kranz Q über ein Untersetzungsgetriebe 26 antreibt. Der Kranz Q ist mit einem Ausschnitt 27 versehen, in den ein magnetischer Riegel 28 eingreift, um die Vorrichtung während der Übertragung eines Halterahmens aus dem einen Magazin in das andere zu blockieren. Der Eintritt der Anschlußkabel der verschiedenen Elektromotoren in den Schacht erfolgt durch dichte Verbindungen 29.
Bei einer anderen Ausführungsfirm sind die senkrechten Führungen der Magazine 12 und 16 durch endlose Ketten 30 (Fig. 4 und 5) ersetzt, welche Ansätze j51 tragen und zwischen Zahnrädern J52 gespannt sind. Diese sind auf Wellen 33 befestigt, welche in mit dem Gestell 35 fest verbundenen Lagern 34 gelagert sind. Anstatt übereinander gestapelt zu
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sein, werden die Halterahmen einzeln auf die Ansätze 31 gestellt. Das Senken der Halterahmen im ZufUhrungsmagazin 12 erfolgt mittels eines Motors 36, der eine Welle 37 (Fig. 5) antreibt, welche zwei Schnecken 38 (eine rechtsgängige und eine linksgängige) trägt, die mit Zahnrädern 39 in Eingriff stehen,welche mit den Wellen 33 fest verbunden sind. Das Anheben der Halterahmen im Aufnahmemagazin 1β erfolgt mittels einer ähnlichen Einrichtung, die aus einem Motor 4ü (Fig. 4) besteht, welcher die Räder 43 mit Hilfe der.Welle 4l und der Schnecke 42 betätigt.
Eine Ausführungsform, welche die Behandlung der beiden Seiten jeder Tafel ermöglicht, ist in den Fig. 6 bis 9 dargestellt. Sie weist unterhalb der Längsträger 8 einerseits Stützen 34 für die Lager der Wellen 33 mit Kettenrädern 32 und andererseits Stützen 44 für die Lager auf, in welchen eine Welle 45 gelagert ist. Auf dieser Welle ist ein Schwenkrahmen 46 aufgekeit, welcher in waagerechter Stellung das Viereck ausfüllt, das von den vier Ketten des einen oder anderen Magazin gebildet wird. Dieser Rahmen 46, der die Halterahmen 13 aufnimmt,kann von dem einen Magazin zum anderen verschwenkt werden unter der Wirkung eines Motors 47 mit Untersetzungsgetriebe und zwei Darlegungen, und zwar mit Hilfe der Kette 48 und des Zahnrades 49, das auf der Welle 45 aufgekeilt ist (Fig. 7)·
Der Rahmen 46 ist auf einer Seite mit Schiebern 50 (Fig. 8) versehen, die auf den vorderen und hinteren Rändern angeordnet sind, sowie mit Schiebern 50-' auf der entgegengesetzten Seite. Diese Schieber, die aus Flacheisen mit Langscnlitzen 51 bestehen, werden durch Muttern 52 geführt und gehalten und weisen Finger 53 oder 55! a^f» die nach dem
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Inneren des Rahmens vorstehen. Das Ende 54 jedes Schiebers 50 ragt über den Rahmen auf einer Seite hinaus, während das entgegengesetzte Ende 54' jedes Schiebers 50* über den Rahmen auf der anderen Seite hinausragt. Auf jedem Ende 54 oder 54' ist ein Anschlag 3QCbefestigt, der beispielsweise aus einer Rolle besteht.
Die Halterahmen 13 weisen bei dieser Ausführungsform Ausnehmungen 56 auf, welche die in Fig. 3 gezeigten Abschrägungen 23 und 24 ersetzen. Wenn der Schwenkrahmen und die Schieber die in Fig. 8 gezeigte Stellung einnehmen, kann ein Halterahmen mittels der Ketten auf die Finger 53' aufgebracht werden, während die Finger 53 durch die Ausnehmungen 56 hindurchgehen. Mit den Längsträgern 8 fest verbundene Führungen 57 (Fig. 7 und 9) sind unterhalb der Magazine 12 und 16 angeordnet und derart eingestellt, daß die Rollen 55 bei Annäherung des in waagerechter Stellung befindlichen Schwenkrahmens in die Führungen eingreifen und die Schieber der Oberseite des Schwenkrahmens derart mitnehmen, daß die Finger 53 neben die Ausnehmungen 56 oder an die Stelle derselben gebracht werden, je nachdem, ob sich der Schwenkrahmen vom Magazin 12 entfernt oder sich demselben nähert, bzw. daß die Finger 53* an die Stelle der Ausnehmungen 5β oder neben dieselben gebracht werden, je nachdem, ob sich der Schwenkrahmen dem Magazin l6 nähert oder sich von demselben entfernt. Wenn sich daher der Schwenkrahmen 46 sowohl unterhalb des Magazin 12 als auch unterhalb des Magazins l6 in waagerechter Stellung befindet, liegen die oberen Finger den Ausnehmungen 56 gegenüber und ermöglichen die Aufbringung oder die Abnahme eines die Tafel tragenden Halterahmens 13· Während der Schwenkung des Rahmens 46 hingegen liegen alle Finger neben den Ausnehmungen 56 und verhindern das Herabfallen des Halterahmens.
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Um zu verhindern, daß sich der Halterahmen 1J5 im Schwenkrahmen 46 seitlich verschiebt, ist es zweckmäßig, auf den inneren Rändern desselben Anschläge 53 zu befestigen.
Um eine unzeitige Ingangsetzung des Motors für das Senken der Tafeln im Magazin 12 zu vermeiden, wenn sich der Schwenkrahmen nicht unterhalb desselben befindet, ist es vorteilhaft, unterhalb des Längsträgers G einen Unterbrecher 59 (Fig. 7) zu befestigen, der den Stromkreis dieses Motors unabhängig von der normalen äußeren Steuerung unterbricht, sobald sich der Schwenkrahmen vom Magazin 12 entfernt. Dieser Unterbrecher int nur eingeschaltet, wenn sich der Raiimen 46 in waagerechter Stellung unter-lalb dieses Magazins befindet.
Außerdem verbindet ein elektromagnetischer Riegel 6ü, der in Fig.7 sciiematisch dargestellt ist, den Schwenkrahmen mit den Längsträgern cS, während sieh dieser Rahmen unterhalb des wagazlns 12 befindet, d.h. während der Einführung eines Halterahmens in den Schwenkrahmen und während des Metallisierungsvorganges .
Die beschriebene Vorrichtung mit Schwenkrahmen, die vorgesehen ist, um die beiden Seiten einer Tafel zu metallisieren, ermöglicht j%och auch, nur eine Sdte der Tafel zu metallisieren. Zu diesem Zweck wird jeder Halterahmen mit zwei Tafeln versehen, die' nacheinander auf einer ihrer Seiten metallisiert werden.
Fif-.IC zeigt eine Metallisierungsvorrichtung, die mit Entladungselektroden 6l versehen ist, welche unter den zu behandelnden Tafeln angeordnet sind. Um zu vermeiden, daß die Elektroden die Bewegung des Schwenkrahmens behindern, sind dieselben r.uf Haltern 62 befestigt, die zwischen Führungen 6j> vercc:ie^oar sind. Diese sind mit der Wand 2 des Schachtes i'esi: verbunden und v/erden durch Schnecken 64 angetrieben, die 909830/11U
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über ein Untersetzungsgetriebe 66 mit Motoren 65 gekuppelt sind, welche zwei Drehrichtungen aufweisen.
Selbstverständlich kann der Schwenkrahmen auch zur Behandlung nur einer Seite jeder Tafel dienen. Es genügt in diesem Fall, zwischen jedem Behandlungsvorgang durch den Schwenk rahmen nacheinander zwei Tafeln zu verschieben.
Die Erfindung ist nicht auf die dargestellten und beschriebenen beispielsweisen Ausführungsformen beschränkt, die
verschiedene Abänderungen erfahren können, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
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Claims (1)

  1. Ansprüche
    1. Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von Glasplatten für Verglasungen, v/eiche das Bedampfen einer bestimmten Anzahl dieser Platten auf einer oder auf beiden Seiten ermöglicht, dadurch gekennzeichnet, daß im Inneren eines zylindrischen Vakuumbehälters (1,2,5,4,5 oder 6l) angeordnet sind; Eine waagerechte , kreisförmige Laufbahn (6), eine waagerechte Trägereinrichtung (7,0,9,10), die auf der Laufbahn (6) drehbar ist, Halterahmen (15), von denen jeder wenigstens eine zu behandelnde bzw. behandelte Platte in waagerechter Lage trägt, zwei Magazine (12,1β), die auf der Trägereinrichtung (7,8,0,10) nebeneinander angeordnet sind und von denen jedes mit Führungen (11,15) bzw. Ketten (50,51) versehen ist, welche eine senkrechte Führung der übereinander angeordneten Halterahmen (15) gewährleisten, wobei das eine Magazin (12) die Halterahmen (13) mit den zu behandelnden Platten und das andere Magazin (ΐβ) die Halterahmen (I5) mit den zu behandelnden und den behandelten Platten aufnimmt, eine Einrichtung (4 bzw. 4,50,51,34 und 56-59) zur Anordnung der mit Platten beladenen Halterahmen (15) im Magazin (12), eine Einrichtung (19-22 bzw. 46-49) zum intermittierenden Verschieben der mit Platten beladenen Halterahmen (15), die mittels der Führungen (ll) vom oberen Ende nach dem unteren Ende des Magazins (12) gelangen, aus dem unteren "Ende des Magazins (12) in das untere Ende des Magazins (ΐβ), sowie Einrichtungen (25,24 bzw. 50-54 und 40-45), welche die mit Platten beladenen Halterahmen (15) mittels der Führungen (15) intermittierend vom unteren Ende nach dem oberen Ende des Magazins (ΐβ) ansteigen lassen.
    Unterlagen {Art. 7 § I Abs. 2 Nr. l Satz 3 des Änderungage·. v. 4.9. K
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    bAd
    2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Vakuumbehälter (l) aus einer Wand (2), einem Boden (3) und einem Deckel (4) besteht und eine Verdampfungsquelle (5) oder Elektroden (6l) enthält.
    3· Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurcn gekennzeichnet, daß die Trägereinrichtung aus waagerechten Schienen (7) besteht, die auf Längsträgern (8) befestigt sind, welche mit einem Kranz (9) fest verbunden sind, der sich mittels der Rollen (10) auf einer waagerechten Icreisförmi^en Laufbahn (6) dreht.
    4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Trägereinrichtung (7-10) zwei Magazine (Ι2,1β) nebeneinander angeordnet sind und daß in das eine Magazin (12) nach Abnahme des Deckels (4) Halterahmen (13) eingeführt werden, welche die zu bedampfenden Platten (I1I-) aufnehmen und halten.
    5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch- gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum intermittierenden Verschieben der mit Platten beladenen Halterahmen (13) aus dem unteren Ende des Magazins (12) in das untere Ende des Magazins (16) aus einem Stößel (19) besteht, der in Form einer Zahnstange (20) ausgebildet ist, welche mit einem durch einen Motor (22) angetriebenen Ritzel (21) in Eingriff steht.
    6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Magazine (12,16) mit senkrechten Führungen (11,15) versehen sind, welche die in den Magazinen gestapelten Halterahmen (13) bei ihrer Abwärtsbewegung oder Aufwärtsbewegung führen.
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    7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Magazine (12,16) mit Ketten (30) versehen sind, welche Ansätze (31) aufweisen, auf denen die Halterahmen aufrunen, daß die Ketten (30) über Kettenräder (32) laufen, die auf in Lagern (34)- gelagerten Wellen (33) befestigt sind, und daß der Antrieb der Ketten (30) durch einen Motor (36) erfolgt, der eine Welle (37) antreibt, die zwei Schnecken (38) trägt, welche mit Zahnrädern (39) in Eingriff stehen, die mit den Wellen (33) fest verbunden sind.
    8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    daß das Anheben der Halterahmen (13) im Magazin (16) mittels eines Motors (4ü) erfolgt, der eine Welle (4l) antreibt, Vielehe eine Schnecke (42) trägt, die mit einem mit der VJeIIe (33) fest verbundenen Zahnrad (43) in Eingriff steht.
    Q. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Schwenkrahmen (46), der einen Halterahinen (13) aufnimmt und auf einer Welle (45) gelagert ist, auf welcher eir. Zahnrad (4q) aufgekellt ist, das über eine Kette (48) von einem Motor (47) angetrieben wird, so daß der Schwenkrahmen (46) vom unteren Ende des Magazins (12) nach dem unteren Ende des Magazins (l6) verschwenkt werden kann und umgekefrt.
    Io. Vorrichtung nach Anspruch Q* dadurch gekennzeichnet, daii der Schwenkrahmen (46) eine automatische Verriegelung aufweist, die auf der oberen Seite offen und auf der unteren Seite des Rahmens geschlossen ist, wenn sich derselbe für den Eintritt oder den Austritt eines Halterahmens (13) in waagerechter Stellung befindet, und die während der Verschwenkung des Rahmens auf beiden Seiten geschlossen ist.
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    11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die automatische Verriegelung aus Schiebern (50,50") besteht, die auf beiden Seiten des Rahmens (4-6) parallel zur Schwenkachse (45) angeordnet sind und die mit nach dem Inneren des Rahmens (46) gerichteten Fingern (53>53l) versehen sind, sowie mit einem über den Rahmen (46) hinausgehenden Anschlag in Form einer Rolle (55)* die mit Führungen (57) in Eingriff kommt, welche die Bewegungen der Schieber (50,50') steuern.
    12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterahmen (13) Ausnehmungen (56) aufweisen, durch welche die Finger (53) der Schieber (50) auf der Oberseite des Schwenkrahmens (46) hindurchgehen, wenn sich derselbe in der waagerechten Stellung befindet.
    13,.Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwenkrahmen (46) mit einer e&ktromagnetischen gesteuerten Klinke (60) versehen ist, welche den Rahmen mit den Längs trägem (8) fest verbindet, wenn sich derselbe in waagerechter Stellung befindet.
    14. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7* 8 und. 9* gekennzeichnet durch einen Unterbreche/rfr (59)* der die Speisung der die Ketten (30) der Magazine (12,16) betätigenden Motoren (36,4o) während der Verschwenkung des Rahmens (46) automatisch unterbricht.
    15. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampfungsquellen aus Elektroden (6l) bestehen, die mit einer Einrichtung fest verbunden sind, welche sie
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    aus dem Weg des Schwenkrahmens (46) entfernt, und daß diese Einrichtung aus an der Wand (2) befestigten senkrechten Führungen (63) besteht, in denen die Halter (62) der Elektroden verschiebbar sind, wobei die Führungen (6j5) durch Schnecken (64) angetrieben werden, die über Untersetzungsgetriebe (66) mit Motoren (65) gekuppelt sind.
    909830/1114
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