DE2105167A1

DE2105167A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Mehrschichtbedampfung

Info

Publication number: DE2105167A1
Application number: DE19712105167
Authority: DE
Inventors: Edward A Edwards Richard H Eufusia Eugene A Clary Robert M Bergfeit Nils H Santa Rosa Calif Small jun (V St A )
Original assignee: Optical Coating Laboratory Inc
Current assignee: Optical Coating Laboratory Inc
Priority date: 1970-02-05
Filing date: 1971-02-04
Publication date: 1971-10-28
Also published as: DE2105167C2; GB1339164A; CA953905A

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Mehrßchichtbedampfung.
FUr diese Anmeldung wird die Priorität aus der entsprechenden U.S.-Anmeldung Serial-No. 8813 vom 5. Februar 197o in Anspruch genommen.
In der Juniausgabe 1969 von "Research/Development" erscheint auf Seite 42 ein Aufaatz mit dem Titel "The L-O-F Semicontinuous Thermal Evaporation Plant (Halbkontinuierlich arbeitende Bedampfungsanlage), in welchem eine Vorrichtung zum Aufdampfen von bis zu drei Schichten auf eine im wesentlichen senkrecht stehende Glasplatte beschrieben ist. Diese Vorrichtung ist mit mehreren Nachteilen behaftet, wie z.B.
dem, daß eb schwierig ist, gedgnete Verdampfungsquellen für die Bedampfung senkrechter Flächen zu finden. Außerdem ist der Anwendtmgsbereich des Gerätes begrenzt. Es besteht daher ein dringender Bedarf für eine neuartige Vorrichtung und ein Verfahren zu Beschichten großflächiger Unterlagen.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Mehrschichtbedampfung zu schaffen, vermittels deren Mehrschichtbedampfungen schnell und wirtschaftlich auf großformatige Unterlagen aufbringbar sind. Das Verfahren und die Vorrichtung sollen im wesentlichen automatisch sein, sowie eine durchgehende Präzisionssteuerung, das Vorwärmen der Unterlagen vor der Olimmentladungsreinigung und das schnelle Zuführen und Abführen der Glasunterlagen in die bzw. aus der Eintrittskammer und in die bzw. aus der Austrittskammer ermöglichen. Die Vorrichtung soll eine Steuerung aufweisen, durch die verhindert wird, daß die Unterlagen innerhalb der Vorrichtung zusammenstossen, und die zwischen den durch die Vorrichtung durchgeführten Unterlagen vorbestimmte Abstände einhält. Weiterhin sollen Vorrichtungen vorgesehen sein, welche Druckunterschiede zwischen den verschiedenen Kammern aufrecht erhalten, die Unterlagen in verschiedenen Kammern auf verschiedene Temperaturen erwärmen, auf diesen Temperaturen halten und den Transport der Unterlagen in waagerechter Lage vermittels einfacher Fördervorrichtungen gestatten. Außerdem soll es möglich sein, die Beschichtungen in der Verdampfungskammer bei unterschiedlichen und vorbestimmten Temperaturen aufzubringen.
Entsprechend dem nunmehr vorgeschlagenen Verfahren werden die zu bedampfenden Unterlagen fortschreitend in eine waagerechte Lage gebracht, hintereinander durch mehrere Beschichtungskammern durchgeführt, und es werden auf die Unterlagen nacheinander Bedampfungen aus Verdampfungssubstanzen aufgebracht, wobei in jeder Kammer jeweils nur eine Beschichtung aufgedampft wird.
Die zur Durchführung des Verfahrens dienende Vorrichtung ißt erfindungsgemäß gekennzeichnet, durch zur Halterung der Unterlagen dienende Rahmen, eine Beschichtungskammer, eine Eintrittskammer, eine Austrittskammer, jeweils an entgegengesetzten Enden der Eintritts- und der Austrittskammer befindliche Schleusen und zum Transport der Rahmen mit den darin befindlichen Unterlagen dienende Fördervorrichtungen in jeweils der Eintrittskammer, der Beschichtungskammer und der Austrittskammer, wobei die Unterlagen wenigstens in der Beschichtungskammer in waagerechter Lagergehalten werden. Weiterhin ist eine Vorrichtung zur Steuerung des Betriebes der Förderbänder und zum Einhalten vorbestimmter Abstände zwischen den durch die Beschichtungskammer durchgeführten Rahmen vorgesehen.
Das Verfahren und die Vorrichtung nach der Erfindung werden im nachfolgenden anhand eines bevorzugten Ausfnhrungsbeispiels, das in den Zeichnungen dargestellt ist, näher erläutert.
Fig. 1 ist eine Draufsicht auf eine Mehrschicht-Verdampfungsvorri chtung mit einer Steuervorri chtung nach der Erfindung.
Fig. 2 ist ein Querschnitt entlang der Linie 2-2 der Fig. 1.
Fig. 3 zeigt in einem größeren Maßstab einen Schnitt durch einen Teil der Vorrichtung, der in Fig. 2 durch die Linie 3-3 begrenzt ist und aus der Kammer A der Vorrichtung besteht.
Fig. 4 ist ein Querschnitt entlang der Linie 4-4 der Fig. 3.
Fig. 5 ist ein Querschnitt entlang der Linie 5-5 der Fig. 4.
Fig. 6 zeigt in einem größeren Maßstab einen Teil der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung, welcher durch die Linie 6-6 begrenzt ist und aus der Kammer C besteht.
Fig. 7 zeigt in einem größeren Maßstab einen Teil der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung, der durch die Linie 7-7 begrenzt ist und aus einem Teil der Kammer D besteht.
Fig. 8 ist ein Querschnitt entlang der Linie 8-8 der Fig. 7.
Fig. 9 ist ein Querschnitt entlang der Linie 9-9 der Fig. 7.
Fig.lo zeigt in einem größeren Maßstab einen Teil der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung, der durch die Linie soll0 begrenzt ist und aus der Kammer E besteht.
Fig.11 ist ein Querschnitt entlang der Linie 11-11 der Fig. Io.
Fig. 12 zeigt in einem größeren Maßstab einen Teil der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung, der durch die Linie 12-12 begrenzt ist und aus der Kammer F und einem Abschnitt der Kammer G besteht.
Fig. 13 ist ein Querschnitt entlang derwLinie 13-13 der Fig. 12.
Fig. 14 ist ein Querschnitt entlang der Linie 14-14 der Fig. 12.
Fig. 15 ist eine Draufsicht auf einen Abschnitt der in Fig. 14 dargestellten Vorrichtung, wobei einige Teile weggebrochen sind.
Fig. 16 ist ein Querschnitt entlang der Linie 16-16 der Fig. 14.
Fig. 17 ist eine isometrische Darstellung der Förderabstandsvorrichtung in der Bedampfungsvorrichtung.
Fig. 18 zeigt in einem größeren Maßstab einen Teil einer Maskierungsvorrichtung, die in der Vorrichtung verwendet wird.
Fig. 19 ist eine Draufsicht entlang der Linie 19-19 auf die in Fig. 18 dargestellte Msskierungsvorrichtung.
Fig. 20 ist ein schematischer Schaltplan der zum Betrieb der Fördervorrichtungen dienenden elektronischen Steuervorrichtung.
Die in den Figuren 1 und 2 dargestellte Mehrschichtbedampfungsvorrichtung eignet sich besonders für halbkontinuierlichen Betrieb und zum Aufbringen von Mehrfachschichten auf verhältnismäßig großformatige Unterlagen oder Substrate wie z.B. großflächige Glasplatten. Die Vorrichtung schließt eine (nicht dargestellte) Waschvorrichtung ein, vermittels deren die zu beschichtenden Unterlagen gewaschen werden, so daß sie vor dem Einführen in die Eintrittskammer A absolut sauber sind.
Die Waschvorrichtung führt die Tafelglas-Unterlagen einer Hebevorrichtung zu, in welcher die Unterlagen in einen Rahmen eingesetzt werden, und won der dann die in den Rahmen befindlichen Unterlagen einem Ladeförderer 27 zugeführt werden. Der Ladeförderer 27 ist so ausgelegt, daß er die Unterlagen einzeln nacheinander einer ausgedehnten Beschichtungs- oder Bedampfungsvorrichtung 28 zuführt. Die Bedampfungsvorrichtung 28 besteht aus einem ausgedehnten Unterbau oder Maschinengestell 29, das eine Vielzahl kastenförmiger geschlossener Räume 31-41 führt.
Wie insbesondere aus Fig. 2 ersichtlich, umschließt der Raum 31 eine Kammer A, der Raum 32 eine Kammer B usw. in der Weise daß die Räume 31-41 jeweils die Kammern A-K umschließen.
Eine Vielzahl von Vakuumpumpen unterschiedlicher Ausführungen sind jeweils den einzelnen Räumen zugeordnet und gestatten das Entleeren der einzelnen Räume jeweils auf ein vorbestimmtes Vakuum, wie im einzelnen weiter unten ausführlich beschrieben ist. Die Vakuumpumpen für die einzelnen Räume sind von herkömmlicher Ausführung und daher in den Zeichnungen nicht dargestellt.
An der Eingangsseite des Raumes 31 befindet sich eine große Schleuse V1 und an der Ausgangsseite des Raumes 31 eine entsprechend große Schleuse V2. Der Raum 31 hat eine wesentlich geringere Höhe als die anderen Kammern. Der Raum 31 und die von diesem gebildete Kammer sind deswegen so klein wie möglich ausgelegt, weil die Kammer A bei jedem Einführen einer neuen Unterlage in die Kammer zur freien Atmosphäre hin entlüftet wird. Aus diesem Grunde ist es wUnschenswert, die Kammer so klein wie möglich zu bemessen, um die zum Auspumpen der Kammer auf das gewünschte Vakuum erforderliche Zeit so kurz wie möglich zu halten.
Innerhalb der Kammer A befindet sich eine Fördervorrichtung 46 mit zwei Antriebsrädern 47 und 48, die innerhalb des geschlossenen Raumes 31 auf gegenüberliegenden Seiten drehbar angeordnet sind. Der Antrieb für die Antriebsräder 47 und 48 besteht aus einem Gleichstrommotor 49, der außerhalb des Raumes 31 angeordnet ist. Der Motor 49 treibt ein Untersetzungsgetriebe 51 an, das an dem Maschinengestell 29 befestigt ist.
Die Abtriebswelle 52 des Untersetzungsgetriebes treibt ihrerseits eine Schlupfkupplung 53 an, welche wiederum mit einer Welle 54 verbunden ist, welche durch eine Vakuumdurchführung 56 in-die Kammer A eingeführt und in dieser mit einer Kardankupplung 57 mit Dehnungsausgleicher verbunden ist. Die Kupplung 57 treibt das Antriebsrad 47 an, das seinerseits wiederum mit einer weiteren Kardankupplung 58 verbunden ist, die auf ihrer anderen Seite in Verbindung mit einer Welle 59 steht.
Die Welle 59 steht über eine weitere Kardankupplung 61 mit Dehnungsausgleicher mit dem anderen Antriebsrad 48 in Verbindung. Die beiden Kardankupplungen mit Dehnungsausgleicher gestatten ein Ausdehnen und Zusammenziehen der Welle 59 ohne Beschädigung des Antriebes. Die Antriebsräder 47 und 48 treiben zwei Endlosbänder 62 und 63 von geeigneter Ausführung und z.B. aus rostfreiem Stahl an. Die Antriebsräder 47 und 48 sind ihrerseits ebenfalls aus einem geeigneten Werkstoff wie z.B.
rostfreiem Stahl hergestellt. Die Endlosbänder 62 und 63 sind über zwei Leitrollen 64 und 66 und über eine große Rolle 67 geführt. Die erforderliche Spannung der Bänder 62 und 63 wird durch große Leitrollen 68 erzielt, die drehbar an Armen 69 gelagert sind. Die Arme 69 sind bei 71 drehbar an dem Gehäuse des Raumes gelagert und tragen an ihren anderen Enden jeweils ein Gegengewicht 5 durch welches die Leitrollen 68 gegen die unteren Trumms der Bänder 62 und 63 gedrückt werden, so daß diese durch die ihnen jeweils zugeordneten Antriebsräder 47 bzw. 48 angetrieben werden können.
Um den Raum innerhalb der Kammer A noch weiter zu verringen, ist die Bodenwand 74 des Raumes 31 zwischen den beden Endlosbändern 62 und 63 nach oben geführt, wie sich insbesondere aus den Figuren 3 und 5 ersehen läßt. Das Austrittsende der Kammer A weist einen schräg ansteigenden Bodenwandabschnitt 74a auf, in den ein Rohr 76 von großem Durchmesser mündet, das mit einer (nicht dargestellten) Vakuumquelle verbunden ist. Der Raum 31 weist an seiner Oberseite eine Zutrittsöffnung 81 auf, die normalerweise vermittels einer durch Klammern 83 gehaltenen Deckelplatte 82 verschlossen ist. Ein Mikroschalter MS-2 ist innerhalb der Kammer A des Raumes 31 angeordnet, und auf dessen Aufgabe wird weiter unten eingegangen.
Wie aus Fig. 2 ersichtlich, sind die geschlossenen Räume 32 und 33 der Bedampfungsvorrichtung nahezu einander gleich, so daß in Fig. 6 nur der Raum 33 in Einzelheiten dargestellt ist. Der Raum 32 weist eine abnehmbare Deckelplatte 84 auf.
Innerhalb der Kammer B des Raumes 32 befindet sich eine Fördervorrichtung 86, die der Fördervorrichtung 46 ähnlich ausgebildet ist. Außerdem befindet sich innerhalb der Kammer B des Raumes 32 eine Förderabstandsvorrichtung 88, die sich in der in Fig. 2 dargestellten Weise in der Nähe des hinteren Endes der Kammer B befindet.
Der geschlossene Raum 33 weist ebenfalls eine abnehmbare obere Deckelplatte 91 und innerhalb der Kammer C eine den Fördervorrichtungen 86 und 46 ähnlich ausgebildete Fördervorrichtung 92 auf.
Der Raum 34 ist wesentlich größer als die Räume 32 und 33 und weist zwei abnehmbare Deckelplatten 96 und eine Fördervorrichtung 97 auf, die den Fördervorrichtungen 46, 86 und 92 ähnlich ist, mit der Ausnahme, daß sie zusätzliche Leitrollen aufweist, die den Leitrollen 64 und 66 der Fördervorrichtung 46 entsprechen. Am Eingang zur Kammer D und in Ausrichtung mit dem oberen Trumm der Fördervorrichtung 87 befindet sich in der Kammer D eine beheizte Dichtungsdurchführung 98.
Innerhalb und am oberen Ende der Kammer C befindet sich eine elektrische Glaserwärmungsvorrichtung 93 herkömmlicher Ausführung, die dazu dient, die Temperatur der Unterlage auf die für den in der Vorrichtung durchgeführten Beschichtungsvorgang erforderliche Temperatur zu erhöhen. Die Erwärmungsvorrichtung erwärmt die Unterlage hauptsächlich durch Strahlungswärme.
Die beheizte Dichtungsdurchführung 98 besteht aus einem geeigneten Werkstoff hoher Festigkeit wie z.B. rostfreiem Stahl und bildet einen verhältnismäßig engen Kanal oder eine Durchführung 99, der bzw. die gerade so groß ist, daß die Unterlage ohne mit der Dichtungsdurchführung 98 in Berührung zu kommen> durchgeführt werden kann. Der Kanal 99 bildet einen hohen Widerstand für den Gasdurchsatz im molekularen Strömungsbereich, so daß sich ein Druckdifferential zwischen benachbarten Kammern einstellen läßt. Bei der hier dargestellten Aus führungsform der Erfindung sind die Dicht ungs durchführungen geheizt, um die Vorwärmtemperatur des Glases oder der Unterlage beim Einführen in die Kammer C aufrecht zu erhalten.
Der Dichtungsdurchführung 98 wird ein Niederspannungsstrom über elektrische Durchführungen 102 zugeführt, die in die Kammer D eingeführt und in der in Fig. 9 dargestellten Weise mit der Dichtungsdurchführung 98 verbunden sind. Da der Kanal selbst ein Widerstands element darstellt, kann er zwei Zwecken gleichzeitig dienen. So lassen sich mit dem geheizten Kanal ohne weiteres Temperaturen von 300 °C und darüber erreichten. Das Blech aus rostfreiem Stahl, aus dem die Dichtungsdurchführung 98 hergestellt ist, ist verhältnismäßig dünn, so daß eine nur sehr geringe Erwärmung erforderlich ist, um sehr schnell Gleichgewichtsbedingungen zu erreichen.
Die Kammer D kann auch als Glimmentladungskammer bezeichnet werden. Die Dichtungsdurchführung 98 befindet sich am Eingang der Kammer, so daß sich in der Kammer eine Gasatmosphäre aus einem Gas wie z.R. Sauerstoff unter einem festgelegten Druck von 10 - 40 Mikron aufrecht erhalten läßt, ohne daß dieser Druck durch den in der nachstehend beschriebenen Weise zwischen den Kammern A und B automatisch erfolgenden Austausch nennenswert beeinträchtigt wird. Wenn die Kammer D auf einem vorbestimmten Druck gehalten wird, läßt sich innerhalb der Kammer eine Glimmentladungsreinigung der Unterlagen ausführen.
Die Glimmentladung erfolgt vermittels Glimmentladungselektroden to6, die in Längsrichtung der Kammer in gegenseitigen Abständen angeordnet sind. Sie sind im wesentlichen von herkömnlicher Ausführung und bestehen ganz allgemein aus einem T-förmigen Gehäuse 107, in dem eine Elektrode 1o8 angeordnet ist. Die Elektrodenabschirmung 109 ist mit dem Gehäuse verbunden und dient dazu, der Glimmentladung eine bestimmte Richtungswirkung zu geben. Jede Glimmentladungselektrode 1o6 weist eine Anschlußklemme 111 auf, die mit einer Hochspannungsquelle verbunden wird.
Die auf die Kammer D folgende Kammer E ist in vier getrennte kleinere Kammern 116 unterteilt. Die kleineren Kammern 116 sind sämtlich durch eine gemeinsame Deckelplatte 117 zugänglich, die einen Teil des die Kammer E bildenden Raumes oder Gehäuses 35 bildet Jede der Kammern 116 der Kammer E ist jeweils an eine zur Erzielung des gewünschten Druckes dienende eigene Pumpe angeschlossen. Die Pumpen werden im allgemeinen in einer solchen Weise betrieben, daß der Druck in den Kammern 116 der Kammer E fortschreitend von links nach rechts abnimmt. Jede Kammer 116 weist eine elektrisch beheizte Dichtungsdurchführung 118 auf, die jeweils der bereits beschriebenen Dichtungsdurchführung 98 entspricht. Die Dichtungsdurchführungen 118 sind gegenüber dem die Kammer E bildenden Raum elektrisch isoliert und werden durch Widerstandsheizung erwärmt, so daß die Dichtungsdurchführung selbst Strahlungsenergie an die zu beschichtende Unterlage abgibt.
Wie insbesondere aus Fig. 1o ersichtlich, ist eine Endlosföruervorrichtung 119 innerhalb der Kammer E angeordnet und dient dazu, die in der Vorrichtung zu bedampfenden Unterlagen durch die Kammer E zu transportieren. Die Endlosfördervorrichtung 119 weist einen Motor 121 mit einem Untersetzungsgetriebe 122 auf, das auf einen Unterbau 123 aufgesetzt ist, der fest mit dem Maschinengestell 29 verbunden ist. Das Untersetzungsgetriebe 122 treibt ein Kettenrad 124 an, das wiederum eine Endloskette 126 antreibt. Die Endloskette 126 dient ihrerseits zum Antrieb mehrerer Kettenräder 127, die mit Wellen 128 verbunden sind. Die Wellen 128 sind durch Drehdurchführungen 129 an dem Maschinengestell 29 durchgeführt und treiben zwei Rollen 131 an, die auf jeweils entgegengesetzten Seiten der Kammern 116 der Kammer E angeordnet sind. Die sich gegenüberliegenden Rollen 131 sind jeweils durch Verbindungswellen 132 miteinander verbunden. Wie aus den Figuren 10 und 11 ersichtlich, weist jede Kammer 116 in der Nähe des Austrittsendes der in der Kammer befindlichen Dichtungsdurchführung 118 jeweils ein Rollenpaar auf. Eine Kettenspannvorrichtung 136 ist ebenfalls an dem Maschinengestell 29 gelagert und dient dazu, die Kette 126 verhältnismäßig fest gespannt zu halten, wie insbesondere aus den Figuren lo und 11 ersichtlich ist.
Auf die Kammer E folgt die Kammer F. Der die Kammer F bildende Raum 36 weist ebenfalls eine abnehmbare Deckelplatte 141 auf, welche den Zutritt zur Kammer gestattet. Das Maschinengestell 29 trägt einen zusätzlichen Raum 142, der in der in den Figuren 12 und 13 dargestellten Weise in Verbindung mit dem Raum 36 steht. Der Raum 142 weist eine große öffnung 143 aufS die wiederum in Verbindung mit einer Leistungsfähigen Vakuumpumpe 144 herkömmlicher Ausführung steht. Eine beheizte Dichtungsdurchführung 146 von einer der beheizten Dichtungsdurchführung 98 ähnlichen Ausführung ist innerhalb des Raumes 36 am Eingang der Kammer F angeordnet. Eine zusätzliche nicht beheizte Dichtungsdurchführung 148 ist am Ausgangsende der Kammer F vorgesehen. Innerhalb der Kammer F befindet sich das eine Ende einer Endlosfördervorrichtung 151, welche dazu dient, die Unterlagen aus der Kammer F in die anschließende Kammer G zu transportieren.
Die Kammer G kann als Hauptbedampfungskammer bezeichnet werden und besteht aus mehreren Abschnitten oder kleineren Kammern 153, die jeweils eine abnehmbare Deckelplatte 154 aufweisen. Die Anzahl der voneinander getrennten Abschnitte oder Kammern in der Hauptbedampfungskammer G wird durch die Anzahl der Schichten bestimmt, die nacheinander auf die Unterlage aufgebracht werden sollen. Bei der hier dargestellten Ausführungsform der Bedampfungsvorrichtung sind sechs getrennte Kammern 153 vorgesehen, so daß sich also vermittels dieser Ausführungsform sechs Schichten auf die Unterlage aufdampfen lassen. Jede Kammer 153 weist eine nicht beheizte Dichtungsdurchführung 156 an ihrem Eingang und eine entsprechende Dichtungsdurchführung an ihrem Ausgang auf. Außerdem kann jede Kammer 153 eine Erwärmungsvorrichtung für die Unterlagen aufweisen, die der in Kammer C befindlichen Vorrichtung ähnlich und jeweils an der Deckelplatte 154 befestigt ist und dazu dient, die Unterlagen zu erwärmen. Das Erwärmen kann während der Bedampfung oder zwischen den Bedampfungsvorgängen für die einzelnen Schichten erfolgen, wenn anstelle der Beschichtung in einer oder mehreren Kammern nur eine Erwärmung erfolgen soll.
Wie insbesondere aus den Figuren 12 und 14 ersichtlich, hat der Raum 37 der Kammer G eine wesentlich größere Tiefe als der der vorhergehenden Kammern. Für jede kleinere Kammer 153 innerhalb der großen Kammer G ist ein jeweils in Verbindung mit der kleineren Kammer 153 stehender zusätzlicher Raum 158 vorgesehen. Jeder Abschnitt bzw. jede kleinere Kammer 153 weist ein eigenes Drucksteuer- und Überwachungssystem und eine eigene Vakuumpumpe 159 auf, die jeweils über eine große öffnung 161 mit dem Raum 158 in Verbindung steht.
Jede kleinere Kammer 153 weist außerdem eine eigene Verdampfungsquelle 163 auf, die von beliebiger Ausführung sein und beispielsweise der in der weiteren U.S.-Patentanmeldung Serial No. 840 777 vom 10. Juli 1969 beschriebenen Ausführung entsprechen kann. Die dort beschriebenen Verdampfungsquellen weisen eine Elektronenschleuder auf, durch welche die jeweils auf die Unterlage aufzubringende Aufdampfsubstanz verdampft wird.
Jede Verdampfungsquelle 163 it mit anker Abschirmung versehen, die aus einem vierseitigen Abschirmkörper 166 besteht, der aus einem geeigneten und gut wärmeleitfähigen Werkstoff wie z.B. Kupferblech hergestellt ist, wobei jede der vier Seiten aus einer senkrechten Seitenwand 167 und einem nach innen geneigten Seitenwandabschnitt 168 besteht. Die geneigten Seitenwände 168 sind so ausgebildet, daß unmittelbar oberhalb der Mitte der Verdampfungsquelle 163 eine rechteckige Öffnung 169 gebildet wird, wie sich insbesondere aus Fig. 15 ersehen läßt. Der Abschirmkörper 166 weist an seinen vier Ecken jeweils einen Pfosten 171 auf, so daß sich die unteren Enden der Seitenwände 167 in einem Abstand oberhalb der Bodenwand des Raumes 37 befinden. Der Abschirmkörper 166 ist mit Kühivorrichtungen wie z.B. Rohrleitungen 172 in der Form einer Kühlspirale versehen, die mit den Außenflächen der Wände 167 und 168 verschweißt ist, wie sich insbesondere aus Fig. 16 ersehen läßt. Während des Betriebes der Vorrichtung wird durch die KUhlspirale 172 kaltes Wasser umgewälzt.
Die Abschirmung weist weiterhin eine Blende oder ein Spritzschild 176 auf, das ausreichend groß ist, um die öffnung 169 abzudecken. Die Blende 176 ist an einem Arm 177 befestigt, der drehbar in einem mit dem Gehäuse des Raumes 37 verbundenen Träger 178 gelagert ist. Zum Verstellen der Blende 176 aus einer Lage, in welcher sie e den Abschirmkörper 166 überlagert und die Öffnung 169 abdeckt, in eine seitliche Lage wie z.B. die in Fig. 15 dargestellte, ist eine aus einem (nicht dargestellten) Hebel herkömmlicher Ausführung bestehende Vorrichtung vorgesehen.
Jeder Abschnitt bzw. jede Kammer 153 der Bedampfungskammer G weist eine Überwachungseinrichtung 186 für die Verdampfungsgeschwindigkeit auf, der durch eine Öffnung 187 ein kleiner Anteil der durch die Öffnung 169 in dem Abschirmkörper 166 abgegebenen Verdampfungssubstanz zuführbar ist. Wie weiter unten erläutert, dient die Verdampfungsgeschwindigkeits-Uberwachungseinrichtung 186 dazu, die Verdampfungsgeschwindigkeit der Verdampfungsquelle 163 zu steuern bzw. zu überwachen.
In jeder Kammer 153 befindet sich außerdem eine Vorrichtung zur Beeinflussung der Verteilung der Aufdampfsubstanz auf die Glasunterlage, so daß eine gleichförmige Verteilung erhalten wird. Diese Vorrichtung besteht aus der in den Figuren 18 und 19 dargestellten Blendenvorrichtung 191, die vermittels einer Halterung 192 innerhalb der Kammer an dem Maschinengestell 29 befestigt ist. Wie insbesondere aus Fig. 18 ersichtlich, erstreckt sich die Halterung 192 waagerecht durch die ganze Kammer. Zwei U-förmige Bügel 193 sind jeweils an den entgegengesetzten Enden der Halterung 192 befestigt und tragen jeweils zwei zueinander ausgerichtete Muffen 194. Eine Stange 196 ist durch jedes Muffenpaar 194 durchgeführt und trägt eine weitere Muffe 197, die ebenfalls in den Muffen 194 geführt ist. Auf jeder Muffe 197 ist ein Bundring 198 verschiebbar gelagert. Eine Z-förmige Platte 199 ist mit den beiden Bundringen 198 verbunden und daher ebenfalls auf den Muffen 197 verschiebbar gelagert. Eine Blende 201 ist vermittels geeigneter Vorrichtungen wie z.B. Schrauben 202 mit der Z-förmigen Platte 199 verbunden und weist einen konvexen vorderen Rand 203 auf, der von der Seite der Kammer nach innen vorsteht.
Die zum Verstellen der Blende 201 zum Inneren der Kammer hin dienende Vorrichtung weist eine Innengewindemuffe 206 auf, die fest mit der Z-förmigen Platte 199 verbunden ist. Eine Gewindestange 207, die in die Gewindemuffe 206 eingeschraubt ist, ist vermittels einer Kupplung 208 mit der Abtriebswelle 209 eines Winkelgetriebes 211 verbunden, das an einem mit der Halterung 192 verbundenen Winkel 212 befestigt ist. Die Antriebswelle 213 des Getriebes ist über ein Kardangelenk 214 mit einer Welle 216 verbunden, und die Welle trägt an ihrem anderen Ende ein weiteres Kardangelenk 217, das mit einer weiteren Welle 218 verbunden ist, die zur Außenseite des Raumes durchgeführt ist und außerhalb des Raumes eine (nicht dargestellte) Kurbel trägt, vermittels welcher die Welle 216 gedreht und dadurch die Blende 201 in jede gewünschte Lage aus- oder eingefahren werden kann.
Wie Fig. 2 zeigt, ist in der Hauptbedampfungskammer G eine einzige Endlos-Fördervorrichtung vorgesehen, die sich bis in die Kammer H erstreckt. Der Aufbau des die Kammer H bildenden geschlossenen Raumes 38 ist sehr ähnlich dem des die Kammer F bildenden Raumes 36. So weist die Kammer H eine Deckelplatte 221 und eine Dichtungsdurchführung 222 auf, welche der nicht beheizten Dichtungsdurchführung 148 in der Kammer F entspricht. Die Kammer H weist jedoch außerdem eine wassergekühlte Dichtungsdurchführung 223 auf, in welcher die Wasserkühlung des Kanals dazu dient, die Glasunterlage durch Strahlung abzukühlen und dadurch den beim Austritt derselben in die freie Atmosphäre auftretenden Wärmeschock zu verringern. Wie Fig. 2 zeigt, erstreckt sich die Endlos-Fördervorrichtung 151 bis in die Kammer H und ist in ihrem Aufbau den vorbeschriebenen Fördervorrichtungen ähnlich. Sie weist zwei durch einenElektromotor angetriebene Antriebsrollen 226 und ein (nicht dargestelltes) Untersetzungsgetriebe der oben beschriebenen Ausführung auf. Die Antriebsrollen 226 sind in der gleichen Weise wie bei den anderen Endlos-Fördervorrichtungen miteinander gekoppelt und treiben zwei Endlos-Förderbänder 227 aus einem geeigneten Werkstoff wie z.B. rostfreiem Stahl an. Die Förderbänder 227 sind über Rollen 228 in der Kammer H und dann über Rollen 229 und auf ihrer anderen Oberfläche über Rollen 231 in den einzelnen Abschnitten 153 der Kammer G geführt. In der Kammer F änd die Bänder über Rollen 232 und um Rollen 233 herumgeführt. Die Rollen 232 und 233 sind in entsprechenden Bandspannvorrichtungen 234 drehbar gelagert. In jedem Abschnitt 153 der Kammer G und neben jeder Rolle 229 ist jeweils ein zusätzliches Paar kleiner Rollen 236 vorgesehen, wie insbesondere Fig. 16 zeigt.
Aus der Darstellung der Fig. 2 ist ersichtlich, daß die oberen Trumms der Bänder 227 von den kleinen Rollen 236 und den zwischen diesen befindlichen großen Rollen 231 gehalten werden. An den Eintritts- und Austrittsenden jedes Abschnittes 153 der Kammer G werden die oberen und unteren Trumms der Bänder zusammengebracht, so daß sie gemeinsam die verhältnismäßig flachen unbeheizten Dichtungsdurchführungen 156 durchlaufen.
Die sich an die Kammer H anschließende Kammer I ist in zwei Abschnitte 241 unterteilt. Eine beiden Abschnitten gemeinsame abnehmbare Deckelplatte 243 bildet einen Teil des die Kammer I bildenden Raumes 39. An den Austrittsenden der Abschnitte 241 befinden sich wassergekühlte Dichtungsdurchführungen 243, die den in der Kammer H befindlichen wassergekühlten Dichtungsvorrichtung 223 ähnlich ausgebildet sind.
Außerdem ist innerhalb der Kammer I eine (nicht dargestellte) Fördervorrichtung vorgesehen, die derjenigen in Kammer E sehr ähnlich ist.
Die auf die Kammer I folgende Kammer J ist sehr ähnlich der Kammer B. Der die Kammer bildende Raum 40 weist eine abnehmbare Deckelplatte 246 auf, und innerhalb der Kammer befindet sich eine Fördervorrichtung 247, die im wesentlichen der in der Kammer B befindlichen Endlos-Fördervorrichtung 86 ähnlich ist. Am Austrittsende der Kammer J befindet sich eine große Schleuse V3, die identisch ist zu der Schleuse V2 am Eintrittsende der Kammer B. Die auf die Schleuse V3 folgende Kammer K ist im wesentlichen identisch zu der Kammer A.
Der diese Kammer bildende Raum 41 weist eine abnehmbare Deckelplatte 249 und eine Endlos-Fördervorrichtung 251 auf, die im wesentlichen identisch ist zu der Endlos-Fördervorrichtung 46 in der Kammer A. Eine Schleuse V4, die der Schleuse V1 entspricht, befindet sich am Austrittsende der Kammer K. Auf der Austrittsseite der Schleuse V4 befindet sich eine Endlos-Fördervorrichtung 252, welche die von der Kammer K abgegebenen Unterlagen einer Hebevorrichtung 253 zuführt. Innerhalb der Kammer J befinden sich (nicht dargestellte) Mikroschalter, deren genaue Lage und Aufgabe im nachfolgenden beschrieben wird.
Ein Abschnitt der in Kammer B befindlichen Förderabstandsvorrichtung 88 ist in Einzelheiten in Fig. 17 dargestellt.
Die Vorrichtung weist ein großes Lampengehäuse 261 mit einer Vielzahl von Ausnehmungen 262 auf, die jeweils eine Lampenfassung 263 zur Aufnahme einer Lampe 264 tragen. Das Lampengehäuse 261 ist an einem oberen und einem unteren Kühlblock mit (nicht dargestellten) Kühlkanälen befestigt, wobei die Kühlkanäle mit Rohrleitungen 268 in Verbindung stehen. An dem oberen Kühlblock 266 und dem Lampengehäuse 261 ist eine Lampenfassungsabdeckung 269 befestigt. Ein Gehäuse 271 für gedruckte Schaitungsplatten ist an dem unteren Kühlblock 267 befestigt und enthält eine (nicht dargestellte) gedruckte Schaltungsplatte, welche die im nachstehenden beschriebene Schaltung für die Förderabstandsvorrichtung 88 trägt. Das Schaltungsplattengehäuse 271 ist mit einer Deckelplatte 272 abgedeckt. Ein an dem Lampengehäuse 261 befestigter Abstandsblock 273 hält vermittels Befestigungsvorrichtungen wie z.B.
Schrauben 274 eine obere und eine untere Lochplatte 276 bzw.
277. Wie aus der Darstellung ersichtlich, befinden sich die beiden Lochplatten in einem gegenseitigen Abstand parallel zueinander und weisen jeweils in zwei Reihen eine Vielzahl von Löchern oder Durchbrechungen 278 auf, wobei sich die Löcher in der oberen Lochplatte 276 in Ausrichtung mit den entsprechenden Löchern in der unteren Lochplatte 277 befinden.
Die Löcher 278 in den Lochplatten 276 und 277 sind jeweils so angeordnet, daß die Löcher in den beiden Reihen zueinander versetzt sind, so daß durch das von den Lampen 264 abgegebene Licht siebenundvierzig Lichtbündel erzeugt werden. Die siebenundvierzig Löcher in zwei getrennten Reihen haben eine suche Lage, daß keine Interferenz zwischen benachbarten Photozellen auftritt. Jedes Lichtbündel dient jeweils zur Beleuchtung einer Photozelle, die sich auf der gedruckten Schaltungsplatte 271 befindet Jede Photozelle bildet einen Teil der in dem Gehäuse befindlichen gedruckten Schaltungsplatte ausgebildeten Schaltung.
Die obere und ;iie iriter Elatt [6 bzw. 277 bilden ein Nollim-ltionssyster jr j jeden der siebenundvierzig Lichtbündel.
Der Lampengehäuseblock 261, die obere Lochplatte 276 und ein (nicht dargestellter) Lampenschirm bilden eine das Licht integrierende Kammer, durch welche die siebenundvierzig Löcher in der oberen Lochplatte gleichförmig beleuchtet werden. Aufgrund der integrierenden Lichtkammer können angenähert 20 - 30 % der Lampen ausfallen, ohne daß die Arbeitsweise des Systems dadurch beeinträchtigt wird.
Zwischen der unteren Lochplatte 277 und der Oberseite des die gedruckte Schaltungsplatte enthaltenden Gehäuses 271 wird eine U-förmige Ausnehmung 281 gebildet, die sdche Abmessungen aufweist, daß rechteckige Rahmen 286 durch diese Ausnehmung durchgeführt werden können. Die Rahmen 286 können aus jedem geeigneten Werkstoff wie z.B. Aluminium bestehen.
Wie insbesondere aus Fig. 17 ersichtlich, weisen die Rahmen 286 an ihrer oberen Oberfläche und in der Nähe des inneren Rahmenrandes eine rechteckige Aussparung auf, deren Größe auf die aufzunehmenden Glasunterlagen 288 abgestimmt ist, welche innerhalb der Vorrichtung bedampft werden sollen.
Die Schaltung befindet sich auf der (nicht dargestellten) gedruckten Schaltungsplatte, die innerhalb des Gehäuses 271 angeordnet ist und einen Teil der in Fig. 20 schematisch dargestellten Förderabstandsvorrichtung bildet.
Die Bedampfungsvorrichtung als Ganzes gesehen umfaßt noch wesentlich mehr Elektronik, die zum größten Teil von herkömmlicher Ausführung und in Fig. 1 schematisch angedeutet ist. So ist beispielsweise für jeden Abschnitt 153 der Kammer G ein Schaltschrank 291 für die Steuerung des Betriebes der Verdampfungsquellen 163 vorgesehen. Entsprechend sind weitere Schaltschränke 292 und 293 für die automatische Steuerung weiterer Abschnitte der Vorrichtung vorgesehen. Die Förderabstandsvorrichtung 88 ist wassergekühlt, so daß sie ohne weiteres innerhalb einer Vakuumkammer wie z.B. der Kammer B betrieben werden kann.
Das erfindungsgemäße Verfahren soll nun kurz anhand der Arbeitsweise der Mehrschichtbedampfungsvorrichtung beschrieben werden, wozu angenommen werden soll, daß eine Vielzahl von verhältnismäßig großformatigen Unterlagen vermittels der Mehrschichtbedampfungsvorrichtung bedampft werden soll.
Wenn nun die Unterlagen oder Substrate aus Glasplatten bestehen, die bereits auf eine vorbestimmte Größe wie z.B.
832 mm x 1 289 mm zugeschnitten sind, lassen sich beschichtete Glasplatten in einer Größe von 762 x 1 219 mm (3o Zoll x 48 Zoll) erhalten. Die Glastafeln durchlaufen zunächst eine Wasch- und Reinigungsvorrichtung, die von herkömmlicher Ausführung sein kann und die Glastafeln auf beiden Seiten wäscht und abspült. Anschließend wird zurückbleibende Feuchtigkeit auf beiden Seiten weggeblasen. Da die Glasunterseite beschichtet werden soll, wird diese Oberfläche während des Durchgangs durch die Vorrichtung nicht von Förderbändern oder dgl. berührt. Das trockene und auf einer Temperatur zwischen 26,7 und 32,5 0C befindliche Glas wird dann in die Aussparungen 287 der in waagerechter Lage befindlichen Rahmen 286 eingesetzt. Die in den Rahmen 286 befindlichen Glasplatten werden dann in eine (nicht dargestellte) Hebevorrichtung eingesetzt, von dieser angehoben und dann dem Ladeförderer 27 zugeführt, auf dem sie sich in einer Lage befinden, in der sie in die Eintrittskammer A eingeführt werden können.
Wenn die Vorrichtung zur Aufnahme der nächsten in einen Rahmen 286 eingesetzten Glastafel bereit ist, wird die Schleuse V1 geöffnet und der Ladeförderer 27 in Betrieb gesetzt. Der Rahmen 286 überbrückt den Zwischenraum an der Eintrittsschleuse V1 und bewegt sich mit verhältnismäßig hoher Geschwindigkeit wie z.B. 21,9 m/min. Sobald der Rahmen 286 gegen den Mikroschalter MS-2 stößt, kommt die Endlos-Fördervorrichtung 46 innerhalb der Kammer A zum Stillstand. Dann wird die Schleuse V1 geschlossen und das Pumpsystem der Kammer A sofort in Tätigkeit gesetzt, um die Kammer verhältnismäßig schnell auf einen geeigneten Druck wie z.B. 50 Mikron auszupumpen. Sobald in der Kammer A dieser Druck erreicht ist und der erste der siebenundvierzig Lichtbündel in der Förderabstandsvorrichtung 88 freigegeben wird, öffnet sich die Schleuse V2. Daraufhin werden die Endlos-Förderbänder 46 und 86 in den Kammern A und B in Betrieb gesetzt, wobei diese mit angenähert gleicher Fördergexchwindigkeit von z.B. 21,9 m/min laufen. Dadurch wird der Rahmen 286 schnell aus der Kammer A in die Kammer B transportiert. Der aus der Kammer A zugeführte Rahmen wird so lange weiterbewegt, bis er sich unmittelbar neben dem letzten Rahmen befindet, der zuvor in die Kammer B eingeführt worden ist. Der bereits in der Kammer B befindliche und zu einem früheren Zeitpunkt als der nunmehr aus der Kammer A zugeführte Rahmen in die Kammer B eingeführte Rahmen wird mit einer wesentlich geringeren vorbestimmten Geschwindigkeit von z.B. o,6 - 1,2 m/min fortbewegt, wobei diese Geschwindigkeit von den einen Parametern des jeweils angewendeten Verfahrens abhängig ist. Um zu verhindern, daß der von der Kammer A zugeführte Rahmen gegen das hintere Ende des vorhergehenden Rahmens stößt, ist die Förderabstandsvorrichtung 88 vorgesehen, welche die in der Kammer B befindliche Fördervorrichtung automatisch steuert und einen vorbestimmten Abstand von z.B. 12 mm zwischen den Rahmen einhält. Sobald der richtige Abstand erreicht ist, wird die Geschwindigkeit der in der Kammer B befindlichen Fördervorrichtung verlangsamt, so daß der aus der Kammer A zugeführte Rahmen mit derselben Geschwindigkeit wie der vorhergehende Rahmen durch die Kammer B durchgeführt wird. Von diesem Zeitpunkt an folgt der aus der Kammer A zugeführte Rahmen den vorhergehenden Rahmen und wird bis zum Austrittsende der Vorrichtung mit gleicher Geschwindigkeit wie die vorhergehenden Rahmen weitertransportiert.
Wie sich somit ersehen läßt, besteht die Aufgabe der Förderabstandsvorrichtung darin, den Abstand zwischen zwei sich mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten auf zwei Fördervorrichtungen innerhalb der Vorrichtung fortbewegenden Rahmen auf einen vorbestimmten Wert einzustellen und dann die Geschwindigkeit einer Fördervorrichtung an die einer anderen Fördervorrichtung anzupassen, damit der vorbestimmte Abstand konstant eingehalten wird.
Bei der in den Figuren 17 und 20 in Einzelheiten dargestellten Förderabstandsvorrichtung liefert die in dem Gehäuse 271 untergebrachte gedruckte Schaltung eine Ausgangsspannung von null Volt, wenn jede Photozelle durch das ihr zugeordnete Lichtbündel beleuchtet wird. Jede Photozelle mit ihrer zugeordneten Schaltung läßt sich daher entsprechend der Fig. 20 als Digitaltor bezeichnen. Dementsprechend sind die Digitaltore von 1-47 durchnummeriert. Der Teil der Vorrichtung, welcher den Abstand zwischen zwei Rahmen 286 mißt, besteht aus den Digitaltoren 2-47 und den diesen zugeordneten Photozellen, Lichtbündeln usw. Die Ausgänge der Digitaltore 2-47 werden einer Analog-Additionsschaltung 301 mit einem Verstärkungsfaktor K zugeführt. Die Analog-Additionsschaltung 301 liefert eine Ausgangsspannung, welche der Anzahl der beleuchteten Photozellen 2-47 proportional ist. Der Verstärkungsfaktor K ist so bemessen, daß das Ausgangssignal angenähert 10 Volt entspricht, wenn sämtliche Zellen 2-47 beleuchtet sind.
Wenn sämtliche Zellen 2-47 dunkel sind, beträgt das Ausgangssignal der Analog-Additionsschaltung 301 null Volt. Wenn die Hälfte der Zellen beleuchtet ist, beträgt das Ausgangssignal 5 Volt usw. Somit läßt sich ersehen, daß sich das Ausgangssignal der Analog-Additionsschaltung 301 um kleine Zuwachsbeträge von jeweils 1-46 von 10 Volt verändert, und daß keine zwischen diesen Zuwachsbeträgen liegende Spannungen erhalten werden. Das ist darauf zurückzuführen, daß das Ausgangssignal der Digitaltore 2-46 entweder null oder -30 Volt beträgt.
Ein stufenweise veränderlicher Bezugswertgeber 302 besteht aus einem Spannungsteiler, dessen Ausgang um Zuwachsbeträge verändert werden kann, die den sechsundvierzig Ausgangspegelwerten der Analog-Additionsschaltung gleich sind. Dieser veränderliche Bezugswert wird zur Einstellung des Abstandes zwischen dem jeweils vorderen und dem diesem folgenden und in die Förderabstandsvorrichtung 88 eintretenden Rahmen benutzt.
Der Ausgang der Analog-Additionsschaltung 301 wird einem Vergleicher 302' zugeführt, dessen Bezugswert durch den veränderlich einstellbaren Bezugswertgeber 302 geliefert wird. Wenn das von der Analog-Additionsschaltung 301 abgegebene Ausgangssignal höher ist als das von dem veränderlich einstellbaren BEzugswertgeber 302 gelieferte Ausgangssignal, entspricht das Ausgangssignal des Vergleichers einem ersten vorbestimmten Wert, und wenn das von der Analog- Additionsschaltung 301 abgegebene Ausgangssignal kleiner ist als das von dem veränderlichen Bezugswertgeber 302 gelieferte Signal, hat das Ausgangssignal des Vergleichers 302' einen jeweils vorbestimmten und unterschiedlichen Wert wie z.B.
von -15 Volt bzw. +15 Volt.
Die mit der Ziffer 1 bezeichnete Photozelle steuert ein mit der Ziffer 1 bezeichnetes Digitaltor in gleicher Weise, in der die mit den Ziffern 2-47 bezeichneten Digitaltore gesteuert werden. Das Ausgangssignal des Digitaltors Nr. 1 wird einem Pufferverstärker 303 zugeführt, dessen Ausgang wiederum einem Relais 304 zugeführt wird, das dann erregt ist, wenn ein Lichtbündel auf die Photozelle Nr. 1 fällt, und das dann stromlos ist, wenn die Photozelle Nr. 1 unbeleuchtet ist. Das Relais 304 liefert eine Spannung von -15 Volt an ein ODER-Gatter 3o6, wenn das Relais 304 erregt ist. Bei nicht erregtem Relais 304 wird dem ODER-Gatter 306 eine Spannung von null Volt zugeführt. Der Ausgang des Vergleichers 3o2' stellt den zweiten Eingang für das ODER-Gatter 306 dar. Der Ausgang des ODER-Gatters 306 liegt an einem Pufferverstärker 307, und der Ausgang des Pufferverstärkers 307 speist ein Relais 308. Das Relais 308 ist erregt, wenn an einem der beiden Eingänge des oder-Gatters 306 eine vorbestimmte Spannung von z.B. -15 Volt anliegt, und ist dann stromlos, wenn an beiden Eingängen des ODER-Gatters 306 null Volt oder eine positive Spannung liegt. Der Ausgang des Relais 308 ist mit einer Motorsteuerung 309 verbunden, die zur Steuerung des Motors 49 der Fördervorrichtung 86 in der Kammer B dient.
Wenn das Relais 308 erregt ist, wird die Fördervorrichtung 86 mit hoher Geschwindigkeit angetrieben, und wenn das Relais 308 stromlos ist, arbeitet die Fördervorrichtung 86 mit langsamer Geschwindigkeit. Die langsame Geschwindigkeit der Fördervorrichtung 86 entspricht der gleichen Geschwindigkeit wie die der Fördervorrichtung 92, welche stets mit niedriger Geschwindigkeit angetrieben wird. Wenn die Fördervorrichtung 86 beispielsweise mit hoher Geschwindigkeit angetrieben wird, muß diese Geschwindigkeit so hoch sein, daß der von dieser nachgeführte Rahmen 286 wenigstens 1,5 m in der Zeit zurücklegt, in welcher der vorausgehende Rahmen 286 auf der Fördervorrichtung 92 angenähert eine Strecke von o,3 m zurücklegt.
Das ist deswegen erforderlich, weil der vorausgehende Rahmen 286 sich etwa in einer Entfernung von 1,5 m vor dem nachlaufenden Rahmen 286 befindet, sobald der hintere Rand des vorausgehenden Rahmens 286 an dem auf die Photozelle Nr. 1 fallenden Lichtbündel vorbeigelaufen ist.
Zur Erläuterung der Arbeitsweise der Förderabstandsvorrichtung 88 soll nun angenommen werden, daß sich die Bedampfungsvorrichtung im Betrieb befindet, sich jedoch keine Rahmen auf den Fördervorrichtungen befinden. Wenn der erste Rahmen 286 mit einer in den Rahmen eingesetzten Unterlage der Fördervorrichtung 86 in der Kammer B zugeführt wird, wird diese Fördervorrichtung zunächst mit hoher Geschwindigkeit angetrieben, da alle Lichtbündel 1-47 ihre entsprechenden Photozellen Nr. 1-47 beleuchten. Sobald der vordere Rand des Rahmens 286 das Lichtbündel Nr. 1 schneidet, erhält die Photozelle Nr. 1 kein Licht mehr, so daß das Relais 304 stromlos gemacht wird. Das Relais 304 beschickt einen der beiden Eingänge des. ODER-Gatters 306, und dieser Eingang führt dann das Signal null. An dem anderen Eingang des ODER-Gatters liegt jedoch ein logisches Signal von -15 Volt, so daß das ODER-Gatter ein logisches Signal abgibt und den Motor der Fördervorrichtung 86 im schnellen Betrieb hält.
Gleichzeitig wird der zwischen den Rahmen erwünschte Abstand eingestellt und dadurch in die Vorrichtung eingegeben, daß der veränderliche Bezugswertgeber 302 in der bereits beschriebenen Weise eingestellt wird. Der erwünschte Abstand kann beispielsweise einem beliebigen Wert zwischen null und einem vorgegebenen Wert von z.B. 298 mm betragen. Der gewünschje Abstand beträgt beispielsweise 25,4 mm, was etwa dem Zustand entspricht, bei dem alle Lichtbündel bis auf vier von den Rahmen bei ihrem Durchgang durch die Vorrichtung aufgefangen werden.
Wenn nun der vordere Rand des ersten Rahmens 286 durch die einzelnen Lichtbündel hindurchwandert bis alle Lichtbündel bis auf die letzten vier, d.h. die Bündel Nr. 44-47 blockiert sind, fällt der Ausgang der Analog-Additionsschaltung 301 unter den des von dem Bezugswertgeber 302 gelieferten Bezugswertes ab, so daß der Ausgang des Vergleichers auf +15 Volt geht, d.h. eine Spannung, welche ein logisches Null für das ODER-Gatter 306 darstellt. In diesem Zeitpunkt sind die beiden Eingänge des ODER-Gatters auf logisch null und das Relais 308 wird stromlos gemacht, wodurch der Motor 49 von hoher auf niedrige Geschwindigkeit umgeschaltet wird. Der erste Rahmen durchläuft dann weiter mit niedriger Geschwindigkeit die übrigen Lichtbündel der Förderabstandsvorrichtung 88.
Sobald der hintere Rand des ersten Rahmens 286 aus dem Lichtbündel Nr. 1 herausläuft, wird die Photozelle Nr. 1 beleuchtet, wodurch das Relais 304 erregt und dem ODER-Gatter 306 eine logische Eins zugeführt wird. Das ODER-Gatter 306 wiederum liefert dem Relais 308 eine logische Eins, wodurch dieses erregt und die Fördervorrichtung 86 wieder auf hohe Geschwindigkeit umgeschaltet wird.
Wenn das Relais 304 erregt ist und sämtliche andere für die Vorrichtung erforderliche Betriebsbedingungen erfüllt sind, öffnet sich die Schleuse V2 in der bereits beschriebenen Weise, die in der Kammer A befindliche Fördervorrichtung 46 wird in Betrieb gesetzt und bewegt den Rahmen mit der eingesetzten Unterlage schnell auf die in der Kammer B befindliche Fördervorrichtung 86, die mit schneller Geschwindigkeit angetrieben wird. Infolge der hohen Geschwindigkeit der Fördervorrichtung 86 holt der von dieser transportierte Rahmen 286 schnell den auf der Fördervorrichtung 92 befindlichen vorausgehenden Rahmen 286 ein, bevor der hintere Rand des vorausgehenden Rahmens 286 aus der Förderabstandsvorrichtung 88 herausgelaufen ist. Sobald der vordere Rand des nachlaufenden Rahmens 286 das Lichtbündel Nr. 1 durchläuft, wird die Photozelle Nr. 1 nicht länger beleuchtet und das Relais 304 abgeschaltet, wodurch einer der beiden Eingänge des ODER-Gatters 306 den Logikwert Null annimmt.
Da jedoch der vorausgehende Rahmen 286 in dem Zeitpunkt, an dem der nachlaufende Rahmen das Lichtbündel Nr. 1 durchläuft, bereits mehr als vier vorher eingestellte Lichtbündel durchlaufen hat, liegt an dem anderen Eingang des ODER-Gatters 306 der Logikwert Eins, so daß das Relais 308 erregt wird. Daher arbeitet der Motor 49 für die Fördervorrichtung 86 so lange weiter mit hoher Geschwindigkeit bis alle Photozellen bis auf vier beleuchtet sind. In diesem Zeitpunkt fällt dann das Ausgangssignal der Anaiog-Additionsschaltung 301 unter den Wert des von dem Bezugswertgeber 302 gelieferten Bezugswertsignals ab, so daß der andere Eingang des ODER-Gatters 306 logisch null ist. In diesem Zeitpunkt befinden sich beide eingänge des ODER-Gatters 306 auf einem Logikwert Null, so daß das Relais 308 abgeschaltet und der Motor 49 der Fördervorrichtung 86 auf langsame Geschwindigkeit umgeschaltet wird, welche wie bereits erwähnt der Geschwindigkeit der Fördervorrichtung 92 entspricht. Von diesem Zeitpunkt an IGiden ugwl vorausgehende und der nachlaufende Rahmen 236 de t mit gleicher Geschwindigkeit fortbewegt, wobei zwischen den Rahmen ein Zwischenraum oder Abstand von 25,4 mm (1 Zoll) verbleibt. Sobald der hintere Rand des nachlaufenden Rahmens 286 das Lichtbündel Nr. 1 durchlaufen hat, wird die Fördervorrichtung 86 wiederum auf schnellen Betrieb umgeschaltet, so daß ein weiterer Rahmen aus der Kammer A auf die Fördervorrichtung 86 zugeführt wird. Dieser nächste Rahmen wird so lange mit hoher Geschwindigkeit fortbewegt, bis er sich auf einen Abstand von 25,4 mm dem vorausgehenden Rahmen genähert hat, und in diesem Zeitpunkt schaltet die Fördervorrichtung 96 wiederum in der bereits beschriebenen Weise auf langsame Geschwindigkeit um.
Wie somit ersichtlich, verhindert die Förderabstandsvorrichtung 88, daß die Rahmen gegeneinanderstoßen, und ermöglicht einen schnellen Abtransport der Rahmen aus der Kammer A, so daß die Schleuse V2 nur kurzzeitig geöffnet sein muß.
Außerdem sorgt die Förderabstandsvorrichtung für die Einhaltung vorbestimmter gleichförmiger Abstände zwischen den einzelnen Rahmen, so daß sich die Verfahrensparameter mühelos steuern bzw. überwachen lassen. Die Förderabstandsvorrichtung 88 arbeitet digital, wodurch sie eine sehr genaue Arbeitsweise erreichen läßt.
Sobald ein Rahmen aus der Kammer A in der vorbesehrlebenen weise zugefhurt worden ist tmfs . r vordere Rand des @@@ 266 das @@@ der sieber und @@@ig Lient@ündel in der Förderabstandsvorrichtung 88 unterbricht, wird die Schleuse V2 geschlossen. Dann wird die Kammer A zur freien Atmosphäre hin belüftet. Dazu wird die Schleuse V1 geöffnet, wobei der nächste Rahmen in die Kammer A eingebracht wird. Somit wiederholt sich der vorbeschriebene Arbeitsablauf. Im Betrieb der Vorrichtung ist erwünscht, das Vakuum in der Kammer B auf einem Mittelwert von etwa 10 Mikron zu halten. Die Kammer C wird ebenfalls auf diesem mittleren Vakuumwert gehalten.
Sobald der Rahmen 286 mit der Glasunterlage 288 in die Kammer C transportiert worden ist, wird das Glas in dieser Kammer auf eine Temperatur erhitzt, die etwa der Temperatur entspricht oder etwas höher ist als die Temperatur, auf welcher die Glasunterlage 288 während des Verfahrens gehalten werden soll. Diese Erhitzung erfolgt vermittels der elektrischen Glaserwärmungsvorrichtung 93, die sich im oberen Teil der Kammer C befindet und Wärme nach unten auf das Glas abstrahlt. Dabei ist zu beachten, daß die in der Kammer C befindliche Glasunterlage auf eine Temperatur erhitzt werden muß, die wenigstens etwas oberhalb der Temperatur liegt, die während des übrigen Verfahrensganges benötigt wird. Dadurch wird ein einwandfreies Entgasen des Glases und des Rahmens in der Kammer C gewährleistet, so daß in den anschließenden Kammern nur eine geringe oder verringerte Entgasung auftritt.
Während der Rahmen 286 mit der eingesetzten Glasunterlage 288 langsam durch die Kammer C hindurchgeführt wird, wird er erhitzt, und gelangt dann durch die am Eingang der nächsten Kammer D befindliche erste beheizte Dichtungsdurchführung 98 in diese Kammer D. Wie bereits oben erwähnt, weist diese Dichtungsdurchführung einen verhältnismäßig engen Kanal 99 auf, so daß ein Druckdifferential zwischen den Kammern C und D aufrecht erhalten und das Gas in der Kammer D zurückgehalten werden kann. Die Kammer D kann als Glimmentladungskammer bezeichnet werden und enthält eine Gasatmosphäre von z.B. Sauerstoff unter einem vorgegebenen und zwischen 10 - 50 Mikron liegenden Druck, welcher 1-5xlO 2 Torr entspricht. Es ist wünschenswert, daß der in dieser Kammer herrschende Druck durch den zwischen den Kammern A und B der Vorrichtung automatisch erfolgenden Ausgleich nicht sehr stark beeinflußt wird.
Anders ausgedrückt, die Kammer D sollte auf einem konstanten und vorbestimmten Druck gehalten werden, so daß die Glimmentladungsreinigung der Unterseite der Glasunterlage 288 innerhalb der Kammer D erfolgen kann. Die Glimmentladungsreinigung erfolgt in herkömmlicher Weise vermittels mehrerer innerhalb der Kammer D angeordneter Glimmentladungselektroden 106. Die Kammer D hat im Vergleich zur Kammer C die doppelte Länge.
Dieses Längenverhältnis ist aus dem Grunde wünschenswert, weil sich die Glasunterlagen durch die Kammern C und D mit gleicher Geschwindigkeit fortbewegen und für die Glimmentladungsreinigung der Glasunterlage eine längere Zeit als für die Erhitzung derselben benötigt wird.
Nach der Glimmentladungsreinigung ist die Glasunterlage 288 bereit für die Einführung in den Hochvakuumabschnitt der Vorrichtung und zum Aufbringen der Beschichtungen. Während des Durchgangs durch die Kammer D kann die Temperatur des Glases unter Umständen etwas abfallen, so daß es erforderlich wird, das Glas noch einmal zu erhitzen, um es auf die gewünschte Temperatur zu bringen. Außerdem ist der in der Kammer D herrschende Druck zu hoch für die anschließenden Verfahrensschritte und muß daher verringert werden. Diese Druckverringerung erfolgt in der Kammer E, die in der bereits beschriebenen Weise aus vier getrennten Kammern 116 besteht, die jeweils eine beheizte Dichtungsdurchführung 118 aufweisen. Jede Kammer 116 wird getrennt von den anderen Kammern ausgepumpt, so daß der Druck in den vier Kammern 116 allmählich auf angenähert lxlO 6 Torr abgesenkt wird. Während die Glasunterlage die Kammer E durchläuft, wird sie in den beheizten Dichtungsdurchführungen 118 erhitzt, so daß die Glasunterlage 288 auf die erwünschte Temperatur gebracht und auf dieser Temperatur gehalten wird.
Die vor der Kammer G befindliche Kammer F und die auf die Kammer G folgende Kammer H werden jeweils auf dem niedrigsten innerhalb der ganzen Vorrichtung herrschenden Druck gehalten, der niedriger sein sollte als der Druck in der Kammer G, so da; f3tCt ein Gasstrom aus tler Kammer G in die kammern F und H auftritt. Auf diese Weise läßt sich die Zusammensetzung des Gases in den sechs Beschichtungskammern 163 des Bedampfungsabschnittes G einwandfrei steuern. Die Abschnitte oder Kammern 153 des Bedampfungsabschnittes G werden auf einem vorbestimmten Druck von lxlO 4 bis lxlO 6 Torr gehalten. Die genaue Steuerung der Gasumgebung innerhalb der Kammer läßt sich dadurch erzielen, daß von einem Druck in einer der Kammern 153 ausgegangen und dann dem System zur Steigerung des Druckes Gas zugeführt wird. -Da insgesamt sechs Kammern 153 vorgesehen sind, lassen sich bei einem Durchgang durch die Vorrichtung von eins bis sechs unterschiedliche Aufdampfschichten auf die Glasunterlage 288 aufbringen. Das Aufbringen mehrerer und unterschiedlicher Schichten ist deshalb möglich, weil jede Kammer 153 für sich getrennt abgepumpt wird. Außerdem weist jede Kammer 153 eine eigene Verdampfungsquelle 163 und eine Überwachungseinrichtung 186 für die Verdampfungsgeschwindigkeit auf. Im Betrieb der Vorrichtung wird die Verdampfungsquelle in Tätigkeit gesetzt, so daß die von dieser ausgehenden Dämpfe durch den Abschirmkörper 166 nach oben auf die untere Oberfläche der Glasunterlage 288 gelangen. Die abgegebene Beschichtungssubstanzmenge wird vermittels der Verdampfungsgeschwindigkeit-Uberwachungseinrichtung 186 überwacht, wobei die letztgenannte Vorrichtung automatisch die Verdampfungsgeschwindigkeit der Verdampfungsquelle steuert, so daß auf der Unterlage eine gewünschte Uchichtdicke erhalten wird. Zur Erzielung einer gleichförmigen IbeschicntungsverteilunO auf der Unterseite der Glasunterlage werden die in den einzelnen Kammern 153 vorgesehenen Blendenvorrichtungen 191 in entsprechender Weise betätigt, indem die Blende 201 aus- bzw. eingefahren wird.
Die Dicke der auf die Glasunterlage aufgebrachten Bedampfungsschicht läßt sich durch Veränderung der Durchführgeschwindigkeit durch die Kammer verändern. Da es jedoch andererseits wünschenswert ist, eine gleichförmige Fortbewegungsgeschwindigkeit in sämtlichen Kammern zu haben, wird die Beschichtungsdicke dadurch gesteuert, daß die Verdampfungsgeschwindigkeit der Verdampfungsquelle unter Zuhilfenahme der Überwachungseinrichtung 186 in geeigneter Weise gesteuert wird.
Sobald die Glasunterlage 288 die letzte Beschichtungskammer 153 durchlaufen hat, gelangt sie in die Kammer H, deren Aufgabe bereits erläutert wurde, und von der Kammer H in die Kammer 1. Die Kammer I wird in ihren beiden Abschnitten unterschiedlich stark ausgepumpt. Dabei dienen die Dichtungsdurchführungen zur Aufrechterhaltung des Druckdifferentials. Nach dem Durchlaufen der Kammer I gelangt die Glasunterlage in die Kammer J und damit zur Schleuse V3. Sobald die Austrittskammer K leer und zur Aufnahme des nächsten Rahmens 286 mit einer darin eingesetzten Glasunterlage bereit ist, öffnet die Vorrichtung automatisch die Schleuse V3. Wenn die Schleuse V3 geöffnet ist, wird die Fördervorrichtung 247 mit hoher Geschwindigkeit in Tätigkeit gesetzt, um den Rahmen mit der Unterlage auf die in der Kammer K befindliche Fördervorrichtung 251 zu bringen. Innerhalb der Kammer K befindet sich eine Vorrichtung, welche die Fortbewegung des Rahmens 286 unterbricht, sobald sich der Rahmen innerhalb der Kammer K befindet. Dann wird die Schleuse V3 geschlossen und anschließend die Kammer K zur freien Atmosphäre hin belüftet. Als nächstes wird die Schleuse V4 geöffnet, und der Rahmen 286 mit der darin befindlichen Glasunterlage 288 wird vermittels der Fördervorrichtung 251 schnell aus der Kammer K heraus und auf die am Ausgang befindliche Fördervorrichtung 252 befördert, welche den Rahmen wiederum einer Hebevorrichtung 253 zuführt, die denselben absenkt. Das Glas wird anschließend zugeschnitten, indem die unbeschichteten äußeren Ränder abgeschnitten werden, die durch den Rahmen abgedeckt waren.
Die Rahmen werden dann wiederum dem anderen Ende der Vorrichtung zugeführt und stehen dort zur erneuten Aufnahme von Unterlagen und zum Durchgang durch die Vorrichtung zur Verfügung.
Auf der Ausgangsseite der Vorrichtung werden weniger Dichtungsdurchführungen als auf der Eintrittsseite benötigt, weil an der letzteren die Hauptgasbelastung durch die Glimmentladungskammer aufgebracht wird, wodurch ein stärkeres Abpumpen und zusätzliche Dichtungsdurchführungen erforderlich sind.
Wie somit aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich geworden sein dürfte, sind durch die Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Mehrschichtbedampfung, sowie eine neuartige Steuervorrichtung geschaffen worden. Die Vorrichtung ist so ausgelegt, daß die Glasunterlage bereits vor der Glimmentladungsreinigung erhitzt wird. Wenn die Glimmentladungsreinigung vor dem Erhitzen der Unterlage ausgeführt wird, könnte eine anschließend erfolgende Erhitzung möglicherweise eine nachteilige Auswirkung auf die gereinigte und vorbereitete Glasoberfläche haben. Die Vorrichtung hat ausreichend hohe Kapazität zum Erhitzen der Unterlage und um diese auf einer gewünschten Temperatur zu halten. Außerdem kann die Unterlage zwischen dem Aufbringen der einzelnen Schichten erhitzt werden, so daß die verschiedenen Beschichtungen bei unterschiedlichen Temperaturen aufgebracht werden können.
Die Glasunterlarge bewegt sich während der Bedampfung in waagerechter Ausrichtung durch die Vorrichtung, wobei die zu beschichtende Oberfläche nach unten weist. Diese Maßnahme erweist sich als sehr günstig, insofern als die untere Oberfläche wesentlich sauberer bleibt, da keine Fremdstoffe, Verunreinigungen usw. sich von oben her auf dieser Oberfläche absetzen können. Die waagerechte Halterung der Unterlagen hat den weiteren Vorteil, daß sich Verdampfungsquellen verwenden lassen, welche die Dämpfe nach oben abgeben. Damit ist auch leichter, daß die jeweils verwendete Verdampfungsquelle eine symmetrischere Beschichtungsverteilung erzeugt.
Außerdem werden viele Stoffe vorteilhafterweise besser vermittels einer Elektronenschleuder verdampft, wobei sich die zu verdampfenden Stoffe im allgemeinen parallel zu der zu beschichtenden Oberfläche befinden. Die Vorrichtung hat den weiteren Vorteil, daß Verdampfungsstoffe, die sich im Inneren der Kammer ansammeln, herunterfallen können, ohne die untere Oberfläche der zu beschichtenden Unterlage zu verschmutzen.
Die in der Vorrichtung verwendeten Fördervorrichtungen sind verhältnismäßig schmal und flach, so daß die Trennschleusen V1, V2, V3 und V4 verhältnismäßig klein gehalten werden können und keine großen Öffnungen, sondern lediglich sehmale Durchlaßöffnungen für den Rahmen mit der darin befindlichen Unterlage benötigt werden. Für die Hauptbeschichtungskammer G und die auf entgegengesetzten Seiten derselben befindlichen Kammern F und H ist nur eine einzige Fördervorrichtung erforderlich, die auch nur an einem Ende angetrieben werden muß.
Die erwünschte Vielseitigkeit bleibt erhalten, und während des Erhitzens ergeben sich keine nachteiligen Auswirkungen durch Entgasung. Die beheizten Dichtungsdurchfdhrungen bewirken nicht nur die gewünschte Abdichtung, sondern ermöglichen auch die Erhitzung der Unterlagen auf die gewünschte Temperatur.
- Patent ansprüche -

Claims

Patent ansprüche Verfahren zur Bedampfung, insbesondere Mehrschichtbedampfung von Unterlagen, dadurch gekennzeichnet, daß die zu bedampfenden Unterlagen (288) fortschreitend in eine waagerechte Lage gebracht und hintereinander durch mehrere Bedampfungskammern (G, 153) durchgeführt werden, und auf die Unterlagen nacheinander Bedampfungen aus Verdampfungssubstanzen aufgebracht werden, wobei in jeder Kammer jeweils nur eine Beschichtung aufgedampft wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß während des Durchführens der Unterlagen durch die Kammern (F, E), welche sich vor bzw. hinter den Bedampfungskammern befinden, in den Bedampfungskammern ein höherer Druck als in den unmittelbar vor bzw. hinter den Bedampfungskammern befindlichen Kammern aufrecht erhalten wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlagen in einer Vakuumkammer (C) durch Erhitzen entgast und anschließend vor dem Eintritt in die Beschichtungskammer vermittels Glimmentladung gereinigt werden.
h. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß den Unterlagen bei ihrem Durchgang durch bestimmte Bedampfungskammern Wärme zugeführt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampfungsgeschwindigkeit der Verdampfungssubstanz beim Durchgang der Unterlagen durch die Bedampfungskammern gesteuert wird.
6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1-6, gekennzeichnet durch zur Aufnahme der Unterlagen (288) dienende Rahmen (286), eine Bedampfungskammer (G), eine Eintrittskammer (A), eine Austrittskammer (K), jeweils an entgegengesetzten Enden der Eintritts- und Austrittskammer befindliche Schleusen (V1, V2 bzw. V3, V4) und zum Transport der Rahmen (286) mit den darin befindlichen Unterlagen (288) dienende Fördervorrichtungen (46, 151, 251) in jeweils der Eintrittskammer, der Bedampfungskammer und der Austrittskammer, wobei die Unterlagen wenigstens in der Bedampfungskammer in waagerechter Lage gehalten werden.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Fördervorrichtungen aus voneinander getrennten Förderbändern in der Eintrittskammer, der Austrittskammer und der Bedampfungskammer, und einer Vorrichtung (88) zur Steuerung des Betriebes der Förderbänder und zum Einhalten bestimmter Abstände zwischen den Rahmen bestehen, durch welche ein Rahmen mit einer in dieser befindlichen Unterlage schnell aus der Eintrittskammer zur Beschichtungskammer, und von dieser schnell zur Austrittskammer transportierbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Steuerung des Betriebes der Förderbänder dienende Vorrichtung (88) so ausgelegt ist, daß ein vorbestimmter Abstand zwischen den durch die Bedampfungskammer durchgeführten Rahmen aufrecht erhalten wird.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung, durch welche die in der Bedampfungskammer befindliche Fördervorrichtung (151) mit im wesentlichen kontinuierlicher und niedrigerer Geschwindigkeit als die der Fördervorrichtungen in der Eintritts- und in der Austrittskammer betreibbar ist, eine zwischen der Eintrittskammer (A) und der Bedampfungskammer (G) angeordnete weitere Kammer (B) mit einer Fördervorri,chtung (86), die mit hoher oder niedriger Geschwindigkeit betreibbar ist, wobei die hohe Geschwindigkeit der Fördervorrichtung der Geschwindigkeit der in der Eintrittskammer befindlichen Fördervorrichtung, und die niedrige Geschwindigkeit der Fördervorrichtung der Geschwindigkeit der in der Bedampfungskammer befindlichen Fördervorrichtung entspricht, und durch eine in der Förderabstandsvorrichtung befindliche Vorrichtung zur Ermittlung eines vorbestimmten Abstandes zwischen den Rahmen und zum Umschalten der in der weiteren Kammer befindlichen Fördervorrichtung von hohe auf niedrige Arbeitsgeschwindigkeit.
lo. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Ermittlung eines vorbestimmten Abstandes zwischen den Rahmen dienende Vorrichtung ein Photozellengerät mit mehreren in Fortbewegungsrichtung der Rahmen angeordneten Photozellen und einer Vorrichtung (261) zur Abgabe kollimierter Lichtbündel auf die Photozellen besteht, wobei die Rahmen, welche die Förderabstandsvorrichtung durchlaufen, in einer solchen Weise geführt sind, daß sie die Lichtbündel schneiden, und daß eine Vorrichtung (309) zur Umschaltung der in der weiteren Kammer befindlichen Fördervorrichtung auf eine niedrige Geschwindigkeit vorgesehen ist, wenn die auf mehr als eine vorbestimmte Anzahl von Photozellen fallenden Lichtbündel durch die Rahmen unterbrochen werden.
11. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (93) zum Erhitzen der in einem Rahmen befindlichen Unterlage vor dem Einführen derselben in die Bedampfungskammer und eine Vorrichtung (1o6) zur Glimmentladungsreinigung der Unterlage nach dem Erhitzen derselben.
12. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch an beiden Enden der Bedampfungskammer befindliche zusätzliche Kammern (F, H), die dazu dienen, normalerweise auf einem niedrigeren Druck als der Druck in der Bedampfungskammer gehalten zu werden, so daß ein Gasaustritt aus der Bedampfungskammer in beiden Richtungen erfolgt.
13. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bedampfungskammer (G) aus mehreren Kammerabschnitten (153) besteht, und bestimmte Kammerabschnitte jeweils Iieizvorrichtungen für die Unterlage, eine Verdampfungsquelle (163) und eine überwachungseinrichtung (186) zur Überwachung bzw. Steuerung der Verdampfungsgeschwindigkeit aufweisen.
14. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Eintrittskammer, der Bedampfungskammer und der Austrittskammer jeweils Dichtungsdurchführungen (98, 118, 146, 156,222, 223, 243) angeordnet sind, welche dazu dienen, ein Druckdifferential zwischen diesen Rahmen aufrecht zu erhalten.
15. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsdurchführungen (98, 118, 146) Vorrichtungen zum Zuführen von Wärme an die durch die Durchführung durchgeführte Unterlage aufweisen.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsdurchführungen (98,118, 146) aus Metallblech verhältnismäßig hohen Widerstandes und Vorrichtungen zum Zuführen von Strom zu dem Metallblech bestehen, wobei den Unterlagen bei ihrem Durchgang durch die Dichtungsdurchführung Wärme zuführbar ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzliche Dichtungsdurchführungen (156, 222, 223, 243) zwischen der Bedampfungskammer und den zusätzlichen Kammern angeordnet sind.
18. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einige Kammerabschnitte (153) der Bedampfungskammer (G) Blendenvorrichtungen (191) aufweisen, die parallel zur Fortbewegungsrichtung der Unterlagen durch die Vorrichtung verstellbar sind.
19. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vorrichtung (166, 176) zum Abschirmen der Verdampfungsquelle (163) vorgesehen ist.
20. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenvorrichtung (191) eine Blende (201) mit einer an der Kammerseite verlaufenden Bogenfläche und Vorrichtungen zum geradlinigen Verstellen der Blende innerhalb der Kammer in einer Richtung parallel zur Fortbewegungsrichtung der Unterlagen in die Kammer aufweist.
21. Vorrichtung zur Steuerung des Betriebes der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6-20, insbesondere zur Steuerung des Abstandes zwischen Gegenständen, die sich auf einer ersten, zweiten und dritten Fördervorrichtung befinden, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Fördervorrichtung (46) vermittels einer Vorrichtung mit einer ersten Geschwindigkeit antreibbar ist, die zweite Fördervorrichtung (86) vermittels einer Vorrichtung mit der ersten und einer zweiten Geschwindigkeit antreibbar ist, die dritte Fördervorrichtung (92) vermittels einer Vorrichtung mit der zweiten Geschwindigkeit antreibbar ist, und der zweiten Fördervorrichtung Vorrichtungen (88) zur Ermittlung des Abstandes zwischen dem hinteren Rand eines vorausgehenden Gegenstandes und dem vorderen Rand eines nachfolgenden Gegenstandes zugeordnet sind, vermittels welcher die zweite Fördervorrichtung mit der ersten Geschwindigkeit antreibbar ist, bis sich der nachfolgende Gegenstand bis auf einen vorbestimmten Abstand dem vorausgehenden Gegenstand genähert hat, und durch die dann die zweite Fördervorrichtung mit der zweiten Geschwindigkeit antreibbar ist.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Ermittlung des Abstandes zwischen dem hinteren Rand eines vorausgehenden Gegenstandes und dem vorderen Rand eines nachfolgenden Gegenstandes dienenden Vorrichtungen aus einer Vorrichtung (261) die mehrere bei dem Durchgang der Gegenstände durch die Vorrichtung von den Gegenständen unterbrechbare Lichtbündel im Fortbewegungsweg der Gegenstände ausbildet, Vorrichtungen (Digitalgatter Nr. 1-47) zur Ermittlung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins wenigstens bestimmter Lichtbündel, einem Vergleicher (302'), einer den Vergleicher mit den zur Ermittlung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins von Lichtbündeln dienenden Vorrichtungen koppelnden Vorrichtung (301), und einem mit dem Vergleicher verbundenen und zur Zufuhr von Signalen vorbestimmter Pegelwerte zu dem Vergleicher dienenden, veränderlich einstellbaren Bezugswertgeber (302) bestehen, wobei der Vergleicher dazu dient, festzustellen, ob das von dem Bezugswertgeber zugeführte Signal größer oder kleiner ist als die von den zur Ermittlung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins von Lichtbündeln dienenden Vorrichtungen abgegebenen Signale, und ein Steuersignal an die zweite Fördervorrichtung abzugeben.
23. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Kopplung des Vergleichers dienende Vorrichtung aus einer Additionsschaltung (301) besteht, vermittels welcher die von den zur Ermittlung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins von Lichtbündeln dienenden Vorrichtungen abgegebenen Signale addierbar sind.
24. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß ein zusätzliches Lichtbündel (Nr. 1), das von den durch die Fördervorrichtung transportierten Gegenständen unterbrechbar ist, eine zur Ermittlung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins des zusätzlichen Lichtbündels dienende Vorrichtung (Digitalgatter Nr. 1) und ein ODER-Gatter (306) vorgesehen sind, dem ein Signal von dem Vergleicher und ein Signal von der zur Ermittlung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins des zusätzlichen Lichtbündels dienenden Vorrichtung zuführbar sind, und das dazu dient, die Arbeitsweise der zweiten Fördervorrichtung zu steuern.

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