DE1446199A1

DE1446199A1 - Verfahren zum UEberziehen von Scheiben in einer evakuierten Vakuumkammer

Info

Publication number: DE1446199A1
Application number: DE19591446199
Authority: DE
Inventors: Colbert William Harry; Smith Jun Hugh Roscoe
Original assignee: Libbey Owens Ford Glass Co
Current assignee: Libbey Owens Ford Glass Co
Priority date: 1958-07-02
Filing date: 1959-07-02
Publication date: 1968-12-19
Also published as: US3086882A; BE580231A; FR1229225A; DE1446199B2

Description

Verfiihren z11m Ueberziehen von Scheiben in einer evakuierten Vakaumkammer. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufbringen von Filmen auf Gegenstizde und Verfahren zur' Herstellung derartiger Gegenstände. Insbesondere betrifft die Erfindung die llerstellung die Wä=* zurückwerfenden Scheibenglasen--oder andevermittels eines Vakuumverdampfungsverfahröns, Die Anwendung eines die Wärme zurückwarfenden-Ueberzuges auf Glaafenstern, Ist sowohl in Gebäuden als auch in Kraftfahrzeugen nicht deswegen zweckmäßigg weil, derartige Filme die Wärme zurückwerteng sonde= ebenfallst da weniger Wärme von den -Penste= selbst abeorbiert wird, Dies ist im Fall doppel- ter verglaster Einheiten wichtig, bei denen die absorbierte Wärme sowohl in den Glasbautellen als auch in dem Luftraum zwischen denselben eingeachlossen werden kann, Die Verringerung

der durch diese Bauteile absorbierten Wärme verringert die Ar-

beitg die von Klimaanlagen, Seleistet werden -mußg --_da wenig ein-

geschlossene Wärme vorliegt, die-in das-Gebäude hinein abge-

strahlt wird.

Es ist jedoch. bisher nicht praktisch gewesen eine -Ver-.#

glasungseinheit herzustel-l-len, die-mit einem die #Vürma#--zurUck-

warfandän Film äberzogen Ißtt wobei es sich--um Abmeasungen -

einer entsprechenden Einheit handeltg die, sowohl für-.die Ver-

wozUng in. Gebäuden als auch -in Kraf tf ahrzeugen praktisch, ist#.-

Eine der bei der-.li_erstellu.ng derartiger -überzogener Glasa#,ch#ei-

ben hauptsächlich angetrof f enen- Schwierigkei:#en#

sacheg daß die -d ex- do, r -yherzug aufgetra gag, w rd

jedes Mal-. -e)rakuiert_- werden. mu.ßte -sobald# eine- Fensterscheibe,

zu überziehen. war. Line,derartige Ve-rfahrensweise bedur,#ftä

nicht- nur einer erheblichen Zeit.. sondern verbot#,-sich auch

aus Kostengründen , da e ine große Anz ahl von Kammern in jenen

das Überziehen ausgeführt wirdv_benÖtigt wirddie die Glas-

.scheiben in einer Größe,#,wie sie- bei Verglasung.seinheiten an-

gewandt werden, aufnehmen müssen.

Es ist somit ein Zweck der Llfindung.ein.verbossertes

Verfahren für die Herstellung von Wäime zurückwerf eA(#en# Fpnf.-

stern in Vorschlag zu bringen,

Ein weiterer Zweck der -i-rfindun lieL

9 ;t,-darin, qaß. e igo

verbesserte Vorrichtung zum überziehen durchsiebti

vermittels einer Wärmeverdampfung 4-i# Vorschlag, gebraP4t# w

wobei die Vorrichtung.eine Kari-Mer zur"4#ipf üh:#,-=g #!p

ziehens aufweist die immer-evakuiert #4,t4

EI.h: weitärer-'Aff'Ihd:üili#äg(#mäßer Zvireck -besteht dayin

ein verbessertes. Verfahren zum

eine verbesserte Vakuumkammer -zwecks Überz#ehexn. #N

verdampfung und zur Entf#rnuns der Gegenstände aus der Yxemmer n;#ch Aufbringen den Überzuges in Vorschlag gebracht wird* In den beigefügten Zeichnungen ist Fig,1 eine schematische Ansicht der den Film aufbringenden Unheit mit den bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrene in Anwendung gebrachten verschiedenen Valniumkammern, wobei zwei Glasscheiben nach Bintritt-in die Einheit gezeigt sind# Fig, 2 ist eine der Figel ähnlichelt schematische Ansicht, die jedoch die Anordnung der Glasscheiben zeigt, während dieselben im Verlaufe der Reinigung des Arbeitazyklun erhitzt worden# Fig, 3 ist-eine der Pig-1 ähnliche schematische Ansicht, wobei jedoch die Anordnung der Glasscheiben gezeigt ist, während dieselben durch eine Glimmentladung gereinigt werden., Nig. 4 ist eine der Fig.1 ähnlich schematische Ansicht, wobei die Anordnung der Glasscheiben während des 4roten Teilen des übersiehenn den Arbeitszyklus gezeigt wirdt Nig, 5 eine eine der Pigol ähnliche schematische Ansicht,9 die die Anordnung der Glasscheiben während des zweiten Teilen des Überziehens den-Arbeitazyklus zeigto, Yist 6 is t eine der Figol ähüliohe schematische Ansicht# wobei jedoch'die Anordnung der Glasscheiben vor dem Austritt aus der Einheit gezeigt iatt, Fig. 7 ist eine andere erfindungsgemäße Ausführungeform, in der der Zwischenraum zwischen den Glasscheiben erhöht ist, und die Verdampfungsquellen zwischen den ßcheiben angeordnet sind* Fig. 8 ist eine weitere erfindungsgemäße AusfWa=ngaformg bei der die Gl asseheiben durch paarweise parallel angeordne#_o Vakuumkammern geführt werden.

Fig. -9 ist eine weitere erfindungegegläße Ausführungsform, die die filmbildenden (#gellen längs den äuße ren Wänden der Uberzugekammer in Anwendung bringt, Erfindungegemäß wird ein Verfahren zum uberziehen von ,Scheiben in e"iner evakuierten Vakuumkammer in Vorschlag Sobracht" die eine Quelle einen durch Wärmeeinwirkung vordampften Metalles sowie eine Einlaß- und Auslaßkammer aufweist, die mit der Vakuumkammer für den Betrieb verbunden und für die selektive Verbindung mit derselben angepaßt istg ohne daß das-Vakuum in der Vakuumkammer aufgehoben ist, Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnetg daß die ge'samte zu überziehende So . heibe in der Einführungskammer, während dieselbe unter Atmoophärendruck steht, luftdicht verschlossen wird, und sodeum gleichzeitig die Einführungskammer evalmier#-und eine Oberfläche der zu überziehenden Scheibe gereinigt wirde während die Scheibe luftdicht in der K.)mmer verschlossen ist# und sodann eine Verbindung zwischen der Einführungskammer und der Vakuumkammer #ergestellt wird, nachdem die Einführ#mSskammer evakuiert worden ist# Sodann wird die Scheibe von der evakuierten Einführun skammer vemittels dieser offen en Verbindung.in die Vakuumkammer eingeführt, und die Verbindung zwischen der EinfÜhrungskammer und d er Vakuumkammer ges chlossen, Die bcheibe wird in der Vakuumkammer soda= überzogen.,wähxend die Auslaßkammer evakuiert -wird, und sodann zwischen der Vakuumkammer und der Auslaßkammer eine Verbindung hergestellt, nachdem die ;Scheibe überzogen worden -ist,#und weiterhin die Auela3kamir,*'Y.akuiert wurde. Sodann wird die überzogene Scheibe aus der Vakuumkapmer in die eva-.kuierte Auslaßkamer.durch diese o.ffene Verb indung gbertühreg u-nd die überzogene beheibe in der Auslaß1reimmer durch Vor. schließen der Verbindung zwischen der Vakuumkammer und der Auslaakommer luftdicht abgeschlossen, Anschließend wird der Druck in der Auslaßkammer auf den Atmosphärendruck gebracht und die überzogene Scheibe aus der Auslaßkammer entternte Die Erfindung schlägt weiterhin eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens vor# die eine Vielzahl von miteinander verbuddenen Ramme= aufweiatl und zwar einschließlich einer Bintühx=gekamerl einer Vakmmkammer und einer Auslafikamer. Die erfindungegemäßt Vo=Ichtung Ist dadure)i gekennseichnetl daß eine zwischengeordnete Kammer zwisc.#en der Einlaßkammer und-der Vakuunkammer vorgesehen und dergestalt angepaßt'istg daß dieselbe mit diesen in Verbindung stehtz Weiterhin ist eine Hilfskammer innerhalb der zwischengeordneten Kammer und eine Vorrichtung für Glimentladungen in dieser Hilfskammer angeordnet" Weiterhin sind erfindungsgezU die Einführungskumer, die Zwischotkammer, die Vakuumkamerund die Auslaßkammer voneinander trennend* Absperryorrichtungen für die selektive Herstellung und Vemhinderung einer Verbindung zwischen denselben, und Tragvorrichtungen für das Abstützen der zu überziehenden Scheibe für eine Bewegung durch dient Kammern, einschliefsli#h der Hilfakommer, wenn eine Verbindung zwischen denselben hergestellt ist, vorgesehen, Unter ßf->zugnabme auf die Zeichnungen# und insbesondere auf die Nig, 1 bis 61 ißt in denselben-schematisch eine evakuierte Vorrichtung 20 zum Aufbringen von Filmen aufgezeichtp die eine Einlußkammer 21, eine Zwischen- oder Reiuig=gzkommer 22# eine Vakuum- oder Überzugskammer 23 und.eine Auelaß,-kam er 24 aufweist, die vermittels Abeperrvorrichtungen voneinander getrennt sindg, die die Kammern voneinander, oder gegenüber der Atmosphäre im geschlossenen Zustand luftdichtverschließen, und die im geöffneten Zustand eine Verbindung-. zwischen denselben ergeben. Während sich.#die Einlaßkammex 21 unter Atmosphärendruck befindet, reinigt ein Lufttroeken'er 25-kont inuierlich-diesen Bauteil der.Einheit 20-zum Aufbringen eines Zilmes vermittels trockeiner Luft* Die-Einlaßkammer 21 ist gegenüber Atmoophärendruck luftdicht vermittels einer Vakuumeinlaßabsperrvorrichtung 26 und-weiterhin luftdicht von der Reinigungskammer 22 vermitteln der Vakuumabsperrvol,rrichtung 2'7 abgeschlossen. Wenn die Absperrvorrichtungen 26 und 27 geschlossen sindi wird der Druck in der Kammer 21 von dem Atmosphärendruck vermittels geeigneter Vakuumpumpen 28 auf einen Druck von IOJ mm 4g gebracht. Wäh-,re . nd des ersten Teiles des Herauspumpens der- Luft ivird-dieaelbe nach unten über die Oberflächen der mit einem Oberflä-cheafilm zu versehenden Oberflächen von geeigneten Luftpistolen 29 aus abgeblasen.. um anhaftenden:,Staub und-Fasern von der Oberfläche zu entfernen, In der Einlaßkanmar ist ein elektrischer StauL--. abschöider.a.ngeordnet, um den Staub und die Fasern..die durch den Luftstoß aui3- den -I&tftpistolen 29 entfernt wardeng abzuscheiden, Um. zu verhindern, daß sich eine etatische B-eladung auf der zu reinigenden-Oberfläche aufbaut, Werden Flutoniumproben 31 zusammen mit den Luftpistolen-29 angewandt, um die elektrisch* Auf ladung auf, dieser Qberf.läche- zu -neutralisierene une.,um so zu.verhindern daß sich Fremdteilchen wie Staub-und Fasexn, auf -derselben absetzen, ,Um den-Arbeit.szyklus abzukürzon ist -ea gelegentlich., V Ilhaft1'. das Erhi:#zen-,des m4,t einem. Film zu versehenden, Gegenstandes in der Einlaßkammer 21 zu beginnen" um so eineg genügende Zeitspz,.=e zu erhaltent um den Gegenstand auf-die gewünöchte Texperatur zu bringen. Dieses Erwärmen wird durch geeignete Erwärmungselemente 32 bewirktg die Raumerhitzer oder Windungen eines Hochtemperaturwiderstandsdrahtee" der nicht vordampftg oder derglo sein können, die in-der Kammr 21 angeoräet sind. Ein Erwärmen während des ersten Auspumpenn ergibt nicht nur eine zusätzliche ßrhitzungszeitb sondern ergibt ebenfalls ein wirksameren Erhitzenb da der Gegen-stand sowohl durch Konvektion als auch durch Strahlung erhitzt wird* Reizelemente 339 die den Reizelementen 32 ähnlich eincl# sind innerhalb desjenigen Teilen der Reinigungskammer 22 angeordnet, die der Vakuunabsperrvorrichtung 27 benachbart liegen, Eine innere Kammer 349 die vorzugsweise aus Aluminium-oder Titanblech hergestellt Int,. Ist an dem entregenges'etzten Ende der Reinigumgeko=er 22 angeordnet, die der Ueberzugskam er 23 benachbart liegt. Diese innere Kamiar bildet einen Rahmen$ der dem Gegenstand eng angepasst ist und die Glimmentladung während der Reinigmg beschränkt., Eine Glimmplatte 354 die aus Aluminium oder einem-anderen nicht verdampfbaren Material begteht# ist zwischen den zu Überziehenden Oberflichen angeordnet. Somit ist das Glimmen zum groslejen Teil auf die die Glimmplatte 35 umgebende Plächeg und zwar die Gegenst#mde innerhalb der inneren Lammer 349 beschränkt.
Die Reinigungskammer 22 ist wesentlich grösser als die Einlaoskammer 219 wie sieh aus den Fig. 1 bis 6 ergibt* Geeignete Vakuumpumpen 36 halten die Kammer 22 bei einem wela. tiv niedrigen Druck von etwa 10'#' M ES während der Veberführungezeiteng und bei einem höheren Kommerdruckg *r in der GrÖnnenordn=g von 1 bis 10 Xikron Ng liegen kamal während in dieselben durch das, Rohr 37-Sauerstoff für einen Reinigungezyklus unter Verwendung der Glimmentladung bei hohen Voltzahlen eingef#hrt wird. Um die Reinigungskammer 22 von der .Ueberzugakammer 23 abzutrennen und eine Verbindung zwischen denselben herzustellene wird eine Vakuumabtrennvorrichtuüg--38 zwischen denselben eingebäut.

Die relativ grosse Ueberaugekam-Pier 23 liegt-benachbart zu der Reinigungskammer 22 an dem entgegengesetzten Ende der Einlanskammer.-Diese Kammer besitzt eine ausmichende Grösseb no dass jeder.mit einem Uoberzug zu überziehende Gegenstand wenigstens 104 = von den Verdampfungsquellen 39 und 40 eutfernt iste Diese ungewöhnlich grosse Entfernung verringert die Anzahl der benötigten-Verdampfungsquellen und eine Trenn-wand 41 verhindert, daso das verdampfte Metall auz der Quelle sich auf der Oberfläche eines Gegenstandes niederschlMeg wenn sich derselbe in der Lage befindetv# von eimr anderen Quelle verdampftes Metall aufzune-h#ene wie sich insbesondere aus Pig,%5 ergibt# ist die Trennwand 41 zwischen den QueUen 39 rechtwinklig zu der Bewegungsrichtung der zu überziehen-den @egenstände angeordnet und ez%# streckt sich querseite über die Oberzugokammer 23 in einer ausreichden Entfernung, daß die-Quelle 39 die Oberfläche der Gegenstände -auf den Trägern A nicht Osehenn kann» In - ähnlicher Weise kann die quelle 40 die Oberfläche der Gegenstände auf den Träge= B nicht- haehenlms Die Trennwand 41 erstreckt sich jedoch nicht längesein bis zu einem Punkt-t an den dieselbe die nach vorne gerichtete Bewegung, der Geenstände *durch die Vorrichtung 20 zum Äufftagen einen Pilzen -verhindern würdea Es versteht sich somit" daß die Größe der Trennwand. 41 von dem räumlichen Abstand zu der Größe der ##iuellen 39 abhämgt,

D p :Le d-b#e r-i'mfug skamm . er 23 ist mit geeigneten Verschlüssen

42 für die Einführuns und Entfernung der Verdampfungsquellen-39 und 4b von* äe#C Einheit ausgerüstet. Vakuumpumpen 43 halten die 5 Uberzugskammer bei eineim Druck von- weniger als 10--" mm ug wahrend des gesamten Arbeitszyklus zum Auftragen eines über-. Zuges$ wäh-#rend Vakuumpumpen4-4 die VerschlUsäe 42 evakuiereng damit es möglich wird, die Verdampfungsquellen in die Überzugskammer 23 einzuführen* Die dbarzugskammer 23 ist von der Auslaßkammer 24 durch eine Vakuumabsperrvorrichtung 45 abgetrennt, die es verhindert, daß das Vakuum in der Uberzugskammer 23 aufgehoben wird" sobald der Druck In der Auslaßkammer 24 auf ktmosphärendruck gebracht wird. Die Auslaßkammer 24 ist der Einführungskammer 21 ähnlich und von der kulrienluft vermittels der Vakuumabsperrvorrichtung 46 abgetrennte#Geeighete Vakuunpumpen 47 dienen dazug diese Kammer zu evakuierent, Nach dem erfindungeGemüßen Verfahren werden die durchsichtigen Scheiben 48 auf einen geeignet en Träger 49t wie ein Transportgeste-11 oder Transportbandgebracht wie er schematisch in den Fig, 1 bis 6 aufgezigt ist# Sodann wird die Einlaßvakuunabsperrvorrichtung 26 geöffneti um di - e ts cheibe . n 48 und den Träger 49 gemäß A in die Einlaßkammer 21 einzuführeng sodann wird die Einlaßvakuumabsperrvorrichtung 26 geschlossen, wie es in der Fig.1 aufgezeigt ist, Die Einla2-kammer 21 wird aodann« durch Pumpen 28 evakuiert. W&hrend des ersten Teiles dieser Evakierung ist es notwendig, sauberes steub£reias Gas einzufuhren, um so die Überflächexi fÜr das überziehen dadurch vorzubereiten, daß von den ibcheiben vermittels der Pistolen 29 ni

die Oberflächen abgeblasen werdene, um -restliche Faser- oder

Staubteilchen zu entfernen. Der Giasfluß wir gesteue,#ett um einem

ausreichen& hohen Druck aufrecht zu erhalten, so daß der staui)#

abscheider 30 angewandt werden kann, um Fasern oder Staub abzu-

scheiden* Die, Luftpistolen 29 und der Staubabscheider 30 werden

nach einer kurzen kbblasze:Lt, die vorzugsweise unter einer

Minute- lieste gleichzeitig abgeschalteto Die #icheiben können

ebenfa lla durch die Reizelemente 32 erwärmt werdene,. und die

Plutoniumpräben 51 verhindern einen Aufbau statischer Ladungen

auf den Oberflächen der echeiben 48.

Nachdem.die Einlaßkammer 21 auf einen Druok von etwa

.3

.10 'mm US evakuiert worden ist,#-wircl die Absperrvorrichtung

27# die die ginlaßkammer 2,1 von der Reinigungskammer 22 ab-

Schließt. geöffnetl, so daß die iGcheiben 48 aus der Einlaß-

kammer 2-1-heraus und. in die Reinigungskamer 22 eibgeführt

werden können, wobei die Reinigungskammer vorher auf einen

Druck von etwa lo- mm lIg evakuiert worden -ist, Bei. dem Kin-

tritt in diese Kammar werden -die jUcheiben. 48 eng benachbart

zu, den Heirlementen 3-3, wie in der Fig,2 gezeigt, angeordnete

um dieselben weiter zu erwä=ene Die Vakuumabtrennvorrichtung

27 wird sodann geschlossen und man läft sodann die Einlaßkammer

21 sich wieder# mit Luft, auf #ktmoophärend m-ek fülllen# -damit

dieselbe wieder eine- zweit* Träsereinheit B aulnbhmen Irkan,

Der dIese Kammer kcuieiüÜieelicli kit

trockener- Luft wobei dieselbe aich:unter Atmoophäi-indrÜgik

bef üödet. Diese Reinigung erfolgte um ine Abeorption'von

ViasserdaMpf 'an den K.a erobertl a-- chien. zu v#i#hihäe'rng, '*6eu=h

die h'vakuiorung -un-.#.e,.rdt"iitze wird.

Die Reinigungskamder 22 wird bei einem Vakuum vcm entweder 10 -4 mm HS oder 1, bis 10 Nikron Kg gehalten, und 'die Scheiben 48 werden in einem dieser Vakua vermittels der Reizelemente 33 auf die gewünschte Temperatur gebracht-,9 die in der Nähe von 2600C liest. Während die Scheiben auf dem TriXser A vor der Glimmreinigung erwärmt werden# wird ein zweiter Träger B in die Zinlaßkammer 21 dergestalt eingeführt" wie es weiter oben im Zusammenhamg mit dem Träger A beschrieben worden ist, %chdem die Scheiben auf dem Träger A erwärmt worden sind" werden dieselben zu dem Glimmteil der Reinig=Sakammer 22 geführt, die eine innere Kammer 34 aufweist, die sich eng um die Scheiben anschließt. Aus dem Rohr 37 wird in die Kammer Sauerstoff eingeführt, um so ein gewünschtes Vakuum mit einem Druck von z.B. in der Größenordnung von 1 bis 10 Mikron Rg für eine Glimmentladung relativ hoher Spannung aufrecht zu erhalten* Die Glimmentladung kann unterAnwendung'-von etwa 14,500 Volt unter'Verwendung eines nicht verdampfenden Materials ausgeführt werden., wodurch die Scheiben 48 ohne Verschmutzung ihrer Oberflächen ausreichend gereinigt werden. Ehe die Scheiben auf dem,TräGer A durch die Glimmentladung gereinigt werden, wird die Trägereinheit B durch die Vakuumabsperrvorrichtung 27,» wie in der Fig.3 gezeigt, in die Reinig=Sskamer eingeführt# und ein dritter Träger 0 in die Einlaßkammer 21 eingeführt* Nachdem die 5cheiben durch die Glimmentladung gereinigt worden sind# wird die Vakuumabsperrvorrichtung 38 an der Einführungsseite der uberzugskammer 23 geöffnet und der Trager A in die überzugskammer 239 wie in Fig.4 gezeigtg ein-

sefÜhrt, Der Träger B ärird ebenfalls--in die innere Kammer

34 eingeführt, und der Träger C tritt in-die Beinigmgakammer

22 zum Erwärmen ein,-während der beschickte Trä gar D in glei-

eher Vieise in die Einlaßkammer 21 eingeführt wird, Es versteht

sich, daf-.) die Träger'49 automatisch-in eiher Reihenfolge in,

die entsprechenden Bearbeitungeabteilungen eingeführt werdeng

sobald die Vakuumabsperrvorrichtung geöffnet und die Valgaa

nicht längezezeit verändert werdeng

Gemäß einer bevorzugten erfindungsgemäßen- Aus-fÜhrunge-

form sind die Verdampfungsquellen 3c) und 40 genäu-ein,der Mitte

der UberziiE';skammer 23 angeordnet, und die 8cheiben,'48 si& -

längs - der Wändö derselben vorgesehene `Hierdurch wird- -es er-

mögicht$ das Uberzugsmaiterial von beiden Seiten

39 und'40 aus zu verdampfeü# wodurch Verluste verringert wer-

den. Durch eine genaue Anord=ng der quellen 59 =d 40 im-_-- >,

giichen#Abstand --zueinander zwischen den beheiben 46 wird--

bedingt*g.daß die auf den Oberflächen derScheiben--niederge-

schlagenen-Eilme die gleiche Stärke aufweisen«

Üm die Scheiben 48 benachbart zu den Wänden der Uber-

zugskaminer'23 an zuordnen, treten die,die Scheiben 48 tragm- -

den Träger zuerst durch die Vakuümabzip;6errvorrichtuun- 38 In,

die Kämmer 23 ein und werden sodann; nach ßen in. M-Sen ge-

bracht oder geschoben# die zueinander gegenüber angeor-dneten

Wünden der Kammer 23 benachbgrt -änglo* ordnet- - sind, wie, es aus -

der Fis,-4 ersichtlich iste'Nachdem die -Vaitumabsperrvorrich-

tung,38,ges - Chlossen- istg werden die -ich'eiben durch Vakmmver-

dampfung aus 'de-ri# quelle .#9 solange- Überzogen, wie Öä -notwen-

di'g ist-#--um den gewünschten' Ubeif",ug bei der Oberaugslage

herzustellen, Nachdem der erste Arbeitsgang des ArbeitaiWkluo

zu.r.Aufbringung das Filmes ausgeführt worden ist" worden der

Träger 49 und die-Boheiben 48 sodann In die zweite Lage In

der Uberzugskammer 23 für die Ausführung des zweiten vorhez%-

bestimmten Arbeitszyklus zur Aufbringung eines Uberzuges be-

wegt, Dies kam gegebenenfalls unter.Verwendung der in Fig&5

gezeigten 4uelle 40 geschehen, wäbrend die Träger B, Cg D und

E sich ebenfalls automatisch vorwärts bewegen,

Nachdem die Scheiben 48 überzogen worden sind, wird

die 45 geöffnet und die Einheit wird

in die Auslaßkammer 24 bewegt" die vermittels Vakuumpumpen

471, wie in Eig.6 gezeigt, auf einen Druck von 10-3 mm Rg e

kuiert; worden ist* Nach dem 'Verschließen der Vakaumabsperr-

vorrichtunä.45 wird die Auslaßkammer 24 auf Atmosjphä»ndruck

gebracht und die Auelaßvakuumabsperrvorrichtung 46 geöffnet,

wodurch der Träger,49 und die Überzogenen Scheiben 48 aus der

überzugekammer 24 herausgenommen worden können., während die

and»m Trager jeweils in der Reihenfolge weiter'nach vorne

bewest worden,

Die Riß. 71,8 und,9 zeigen weitere Ausführungeformen

der Vorri.rUtungv,die, zur ..Ausführung des -erf indungsgemäßen

Verfahrens angewandt werden. Hierbei werden gleiche Bezugs-

zeichen für die Bezeg'ichnung ähnlicher Baut-eile in allen Fig.

angewandt6 Insbesondere wird in Fig. 7 eine Einheit 20 zum

Auftragen einen FJlmes gezeigtg bei der die Einlaßkammer 50v

5-1 und- die Auslaßkammer 52 praktisch

Breite aufweisen, wie die Übetugskammer 239-

dieselben-,dairch außergewöhnlich- große kbaparrvorr:tchtu4i

..sen 539

549 55, 56 und 57 voneinander getrennt sind, Diese erhÖhte

Breite.gestattet esq dass die-die Scbeiben 48 tragenden

TrEUGer 49 sich längs,eines Weges bewegen können, derz parallel

und benachbart zu den gegenüberliegenden Wänden der--Einheit-'-

#20 durch die entsprechenden Kainiern -verläuft* Weiterhin wird-

die Verfahrenästuft"die Tr&Ser und Scheiben von-der Mittelk-

linie der Einbeit 20 nach aussen hin zu bewegen# ausgescha#1,w-

tetg da diese Bauteile durch die Absperrvorrichtung 55 in die

Ueberzugekamm--er-23 eintreten*

Die Fig, 8 zeigt eine weitere erfindungegeaässe Aus-'

führungsform, bei der eine einzelne grosse Uaberzugekammer 23

mit Vordampfungequellen 39 und 40 in Anwenuung gebracht --

wirdg die praktiscb in der Mitte derselben im gleichen Ab-'-

stand zwischenden-Schelben 48 angeordnet sind, wobei parallel

zueinander angeordnet-zwei Einlasskami,#ern 58, ReinigÜngekam-

mern 59 und AuslaiskamnIern 60 vorgesehen sind, die-- durch rela-

tiv kleine Abspe:c#rvorrichtungen 61.$ 621 63v 64 und 65,Vonäin-

andä:# -getrennt aindo Hierdurch Wird nicht nur diie Verabhie-

bung der Träger 49 in der Ueberzu"#skammer 23 nach aussen in

Fortfäll gebracht$ sondern die Volumina der KamDern 589 599

und 60 werden hierdurch eben£-"alls verrin-ert, wodurch eine

schnelle.:re Evakulerung dieser Teile der Einheit 20 ermög--

licht-wird,

Eine weitere erf lndun,-r AusfÜhrungsform ist

-in de#,- J ?i g . 9 gezeigt,-in'.der die Vor-dampfungequellen,39 und

40 und der Vers#Ihluss 42 benachbart zu den äus.sersten Wänden

der Uüberzugskamt:;er 23 angeordnet sind..' und wobei der die

Scheiben 48 ab-stützende Träger 40 praktisch längs der Mittel-

linie der Einheit 20 zur Auftragung des Filmes bewegt wird*

Hierdurch kommt-#,nicht nur die Verschiebung das Trägers 39

in der-Veberzugskamler in Fortfall, sondern es wird oben-

falle e,=öglich-tA,einen einzigen Träger 49 für die Abstützung

.einer Vielzahl von-Scheiben 48 in Anwendung zu bringeng wobei

man denNorteil einer-kleineren Einlasskae!.er 21, Reinigunge-

kam,-.-ier 22 und Auslasskammex 24 erzielt.

Es versteht sich, dass die zur Filmbild:ung dienende

Linheit 20 eine vielfache Anwendung finden kanng und zur Rar-

stellung von UeberzÜgen lichtdurchlässige und das Licht re-

flektierende Spiegeli,Spiegel,» die Dichroismus zeigen, durch-

lässige gpiegelt Interteranzfilterg-Licht- und Wärmefilter,

Ueberzüge geringer.Reflektiong die elektrisch#leitend sind,$

.sowie Wärme zurückwerfendes Glas, angewandt.werden können,

Weiterhin-könrien nach dem erfindungsgemässen Verfahren

,.Filme.au.f nichtdurchscheinendem und halbdurchscheinendem.-

..Material, wie Metall und Kunststoffen. sowie-auf Glas und

anderen.glasartigen Silikatmaterialien aufgebracht werden,

Claims

Neue Patentansprüche 7-f- Kontinuierlich« Verfahren zum Oberziehen von Gegenatindeng ineb6soudere Glasseheiben,»--durch ther-. misches Aufdampfeng bei den der zulüberziehende Gegen- stand in eine Einfährungskammer gebrachtg dieue abge- schlossen und evakuiert und hernach der Gegenstend in die die Aufdampfvorrichtung enthaltende Vakuumkammer igeleitot wird, ##dadurch gekonnzeichnetv-daß derGegehstend in der Ei nfährungekammer zwzäzhat von trockenem Gas mit atmon- p4iirJ@W»m Druck umgebeng ansöhliessend" wihrend das jKa- kuteren bereito erfolgt, mit eiaem saabe'ren, stauerreien Gas abgeblansn."-g;zd-,nach Erreichen eines #entsprechendta, Vakuune einer an sich bekannten Vakuu»reinigung# a. B. mittels Glimmentladung, ausgesetzt wird* 2- Verfahren naöh Anap ru oh 1,e dadurch#gekenn- an- o.;L.nem. von -der Ein-

fährungskammer gesonderten Raum (Zwischenka=er) er- folgt, wobei das Evakuieren in der Einfährungskammer bis auf etwa 16-3 mm HS, in der Zwischenkammer bin auf etwa 10-4 mm Hg und in der Vakaumkammer b:La.auf,waniger- als 1075 mm HS erfolgt. #)Verfahren nach Ansprüchen 1 bis 29 dadurch So- kennzeichnet, dab der Gegenstand wahre-ad deß Evakuiereas erwarmt xird. 4. Verfahren auch Ansprüchen 1 bis 39 dadurch gekennzeichnet, daß die statische Aufladung auf dem Ge- Seaatand wihrend deu wird. Vorrichtung zur DurchfUhrung des Verfahrens nach Aasprächen 1 bis 4 mit Mehrere-a-hinterein-underge- scUalteten, je durch zu Öfraande Absperrvorrichtungen eiaunder getrennte und tote Kammern, nämlich einer Fiu£Ulirua68kami'üer', einer Va- kugmkammer uad' eiaer Auslasekammärt geke-na'ze,'L'c,'linet durch eine Blau3vorrichtung (29)'ia der iliiiiflhruagskaifimir (21)e eine zwischen. LiilfdhruagskamLer (21) und 'V'iikLiulikam-,er (2"#) geschaltete Zwischeakammer #22)*mit'einer Glimmänt- ladunga-ReiaiganGevorrichtuag (34 . 935) Üad -eiae-Trägärvor- richtung die die Geseatande du r-c- h die Kammern un:d ia Abhängigkeit voa der #,±fa"ua& der Äbsgerrvo'rtichtung voa ei.Ii#r 'Kammer Ia* die andere beweg . t. 6. Vorrichtung zur gleichzeitigen Behandlan6 zvi mr, urch @;6keanzeichaatt d I xeer-Vbrrichtuug l(49#)- -längs --d6ir

80£Mn Mittellinien von EinXührungs-, Zwischen. und Vakuumkammer (21,22,23) verlau.Ct (Fig. 9). Vorrichtung zur gleichezeitigen Behandlung zweler Gegennstaade nach Anspruch 59 dadurch gekennzeich- netg daß eine Dopi.)altragervorrichtung (49) langs der- geLeinsamen Mittellinie von Einfu*i#rungs- und Zwischen" kammer (21,22) verluuft, in der VakuumkamL!er (23) aus- einandergezogen und längs der Seitenwände der-Vakuum- kammer (23) weitergeführt wird sowie zwischen sich eine gemeinsame Aufdamptvorrichtung (399.40) aufnimmt (Fig. 1-6). 8. Vorrichtung zur gleichzeitigen Behandlung zweier Gegenstaade nach Anspruch 5,e dadurch gekonazeich- ne.t11 daß zwei Einzelträgervorrichtungen (49) durdh Ein- fdürunge- und ZwischenkemLer (24,#22) verlaufeni längs der Seitenwande der Vakuumkammer (23) weitergefährt war-- den und zwischen aich eine geLteiasame Aufdampfvorrichtung (39940) aufnahmen. g. Vorrichtung nach AusprUchen 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet# daß die VakuumkamL-er (23) mehrere Be- dampran6astatioaen (29140) aufwij-;s#, die der Gegenstand2 nacheinaLder Pasuiert.