DE1446199C - Kontinuierliches Verfahren zum Über ziehen von Gegenstanden, insbesondere Glas scheiben, durch Vakuumaufdampfen und Vornch tung zur Durchfuhrung des Verfahrens - Google Patents

Description

' Die Erfindung bezieht sich auf ein kontinuierliches Verfahren zum Überziehen von Gegenständen, insbesondere Glasscheiben, durch Vakuumaufdampfen und auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Es ist bekannt, die zu überziehenden Gegenstände in eine unter hohem Vakuum stehende Kammer einzugeben, in der das Vakuumaufdampfen erfolgt. Um bei jedesmaliger Beschickung der Bedampfungskammer eine erneute Evakuierung zu vermeiden, ist ein kontinuierliches Verfahren bekannt, bei dem der zu überziehende Gegenstand in eine Einführungskammer gebracht, diese abgeschlossen und evakuiert und hernach der Gegenstand in die Bedampfungskammer geführt und überzogen wird, wobei nach erfolgter Überziehung der Gegenstand über eine ebenfalls verschließbare und evakuierbare Auslaßkammer abgeführt wird. Dieses bekannte Verfahren ist ein kontinuierlich arbeitendes Verfahren, bei dem in der Bedampfungskammer während ihrer Beschickung und ihrer Entleerung das Vakuum praktisch aufrechterhalten bleibt. Während der Bedampfung bei geschlossener Bedampfungskammer wird die Auslaßkammer geschlossen und auf einen der Bedampfungskammer annähernd entsprechenden Wert evakuiert, während gleichzeitig die Einlaßkammer nach Aufnahme des folgenden zu behandelnden Gegenstandes geschlossen und ebenfalls auf einen der Bedampfungskammer entsprechenden Wert evakuiert wird. Auf diese Weise ist es möglich, die Behandlung aufeinanderfolgender Gegenstände in der Bedampfungskammer ohne Evakuierungsvorgänge bedingte Zeitverluste durchzuführen.

Es ist auch schon bekannt, vor der Bedampfung die zu bedampfenden Oberflächen durch Glimmentladung zu reinigen. Da diese Glimmentladung im Vakuum erfolgen muß, geschieht bei den bekannten Ausführungsformen die Reinigung dadurch, daß in der Bedampfungskammer vor der eigentlichen Bedampfungsstation eine Station zur Glimmentladung vorgeschaltet ist. Dies bedingt einmal eine Vergrößerung der Bedampfungskammer, um die Glimmentladungsstation aufnehmen zu können und zum anderen eine einem kontinuierlichen Verfahren abträgliche zeitliche Verzögerung der Behandlung in der Bedampfungskammer, die durch die vorhergehende Glimmentladung bedingt ist. Außerdem reicht die Reinigung durch Glimmentladung allein dort nicht aus, wo einwandfrei gereinigte Oberflächen gefordert werden müssen. Dies ist beispielsweise der Fall bei der Bedampf ung von Glasscheiben, die vorgenommen wird, um den Glasscheiben, beispielsweise bei Scheiben für Kraftwagen und bei unter der Bezeichnung »Thermopan« bekannten, ein Vakuum einschließenden Doppelscheiben für Fensterverglasungen, eine reflektierende Wirkung gegenüber Wärmebestrahlung zu verleihen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein kontinuierliches Verfahren zu schaffen, bei dem eine einwandfreie Reinigung der Oberflächen vor der Bedampfung gewährleistet ist, ohne daß bei der Durchführung der Bedampfung in der Bedampfungskammer zeitliche Verzögerungen auftreten.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Einführungskammer zunächst unter Atmosphärendruck mit trockener Luft gereinigt, sodann der Gegenstand unter Evakuieren bis auf etwa 10~³ mm/Hg mit einem sauberen, staubfreien Gas abgeblasen, anschließend in einer Reinigungskammer erwärmt und bei einem Druck von 10~⁴ mm/Hg in an sich bekannter Weise einer Glimmentladung ausgesetzt und das Überziehen in der Bedampfungs-S kammer bei einem Druck von weniger als 10~⁵ mm/Hg vorgenommen wird.

Ein weiteres Merkmal des Verfahrens kennzeichnet sich dadurch, daß der Gegenstand während des Evakuierens in der Einführungskammer erwärmt wird.

ίο Weiter ist für das Verfahren von Bedeutung, daß die, statische Aufladung während des Evakuierens neutralisiert wird.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß sich eine einwandfreie Reinigung ohne Zeitverluste erreichen läßt, wenn in der Vorkammer drei Reinigungsstufen hintereinander angeordnet sind, und zwar zunächst eine Trocknung bei Atmosphärendruck, anschließend ein Beblasen bei einem bestimmten Vakuum und schließlich eine Behandlung durch

ao Glimmentladung bei einem höheren Vakuum, wobei diese drei Reinigungsstufen während der Zeitdauer der Bedampfung in der Bedampfungskammer vorgenommen werden, so daß zuverlässig eine zeitliche Verzögerung durch die Reinigung vermieden wird.

as Das anfängliche Trocknen erfolgt bei Atmosphärendruck, da sich hierbei die beste Wirkung ergibt. Das anschließende Beblasen im Teilvakuum bringt keine Verzögerung mit sich, da im Vakuum nur ein geringer, durch die Evakuierungspumpen ohne weiteres zu bewältigender Blasstrom erforderlich ist, weil durch die Evakuierung eine sichere Abführung der abgelösten Verunreinigungen erfolgt. Die Behandlung durch Glimmentladung schließlich erfolgt bei einem hohen, praktisch der Bedampfungskammer entsprechenden Vakuum, so daß auch bei dieser Behandlung die größte Wirkung gewährleistet ist, wobei bei der Überführung in die Verdampfungskammer keine neuen Ablagerungen von Verunreinigungen auf der Oberfläche erfolgen können.

Die Durchführung des Verfahrens dienende Vorrichtung besitzt mehrere, hintereinandergeschaltete, jeweils durch luftdichte Absperrvorrichtungen voneinander getrennte und mit Evakuierungsmitteln ausgestatteten Kammern, bestehend aus einer Einführungs-, Bedampfungs- und Auslaßkammer und ist dadurch gekennzeichnet, daß sie besteht aus einem Lufttrockner und einer Blasvorrichtung in der Ein-■ führungskammer, einer zwischen Einführungskammer und Bedampfungskammer angeordneten Reinigungskammer mit Heizelementen und einer Glimmentladungsvorrichtung sowie aus einer Trägervorrichtung, die die Gegenstände durch die einzelnen Kammern in Abhängigkeit von der öffnung der Absperrvorrichtungen bewegt. .

Ein weiteres Merkmal zur gleichzeitigen Behandlung, insbesondere zweier Glasscheiben besteht darin, daß eine Doppelträgervorrichtung längs der gemeinsamen Mittellinie von Einführungs- und Reinigungskammer verläuft, in der Bedampfungskammer längs der Seitenwände der Bedampfungskammer weitergeführt wird, sowie zwischen sich gemeinsame Aufdampfquellen aufweist.

Ein weiteres Merkmal kennzeichnet sich dadurch, daß zwei Einzelträgervorrichtungen durch Einführungs- und Rcinigungskammern verlaufen, längs der Seitenwände der Bedampfungskammer weitergeführt werden und zwischen sich gemeinsame Aufdampfquellen aufweisen.

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Schließlich ist noch erfindungswesentlich, daß eine An die Reinigungskammer 22 schließt die größere

Doppelträgervorrichtung längs der gemeinsamen Bedampfungskammer 23 an; sie ist so bemessen, daß

Mittellinien von Einführungs-, Reimgungs- und Be- die mit einem Überzug zu versehenen Scheiben 48

dampfungskammer verläuft und die Aufdampfquellen wenigstens 100 cm von den Aufdampfungsquellen längs der Seitenwände der Bedampfungskammer an- 5 39, 40 entfernt sind. Eine Trennwand 41 verhindert,

geordnet sind. daß das Verdampfte Metall von der einen Aufdampf-

Die Zeichnungen zeigen beispielsweise Ausfüh- quelle 39 zur anderen Aufdampfquelle 40 gelangen

rungsformen der Vorrichtung, und es bedeuten kann.

F i g. 1 bis 6 Darstellung einer Ausführungsform Wie sich insbesondere aus F i g. 5 ergibt, ist die

der Vorrichtung in verschiedenen Arbeitsstufen, io Trennwand 41 zwischen den Aufdampfquellen 39,

F i g. 7 Abwandlung gemäß F i g. 1 bis 6, 40 rechtwinklig zur Bewegungsrichtung der Scheiben

F i g. 8 weitere Abwandlung der Vorrichtung, 48 angeordnet und besitzt eine solche Länge, daß die

F i g. 9 eine andere weitere Abwandlung der Vor- Aufdampf quelle 39 die Aufdampfquelle 40 nicht berichtung, einträchtigen kann. Zwischen den beiden Enden der

Wie sich aus den F i g. 1 bis 6 ergibt, besteht die 15 Trennwand 41 und den Seitenwandungen der BeVorrichtung aus einer Einführungskammer 21, einer dampfungskammer 23 werden die Scheiben 48 durch Reinigungskammer 22, einer Bedampfungskammer die Bedampfungskammer bewegt.
23 und einer Auslaßkammer 24, die durch luft- Die Bedampfungskammer 23 ist mit geeigneten Abdicht schließende Türen gegeneinander absperrbar Schlüssen 42 für die Einführung und Entfernung der sind. 20 Aufdampfquellen 39, 40 ausgestattet. Vakuumpum-

Die Einführungskammer 21 ist gegenüber der At- pen halten die Bedampfungskammer bei einem Druck mosphäre durch die Tür 26 und gegenüber der Reini- unterhalb von 10~⁵ mm/Hg während des gesamten gungskammer 22 durch die Tür 27 abschließbar. Bei Arbeitszyklus, wobei Vakuumpumpen 44 die Organe geschlossenen Türen 26, 27 wird der Druck in der 42 evakuieren, um die Einführung der Aufdampf-Kammer 21 von dem Atmosphärendruck durch 25 quellen 39, 40 in die Bedampfungskammer 23 zu erVakuumpumpen 28 auf einen Druck von 10~³ mm/Hg möglichen. Die Bedampfungskammer 23 ist von der gebracht. Während des ersten Teiles der Evakuie- Auslaßkammer 24 durch die Absperrvorrichtung 45 rung werden die Oberflächen der Scheiben 48 durch abtrennbar, wodurch verhindert wird, daß das geeignete Luftpistolen 29 abgeblasen, um von der Vakuum in der Bedampfungskammer 23 abfällt, Oberfläche anhaftenden Staub und Fasern zu ent- 30 wenn der Druck in der Auslaßkammer 24 auf fernen. In der Einführungskammer 21 ist ein elektri- Atmosphärendruck ansteigt. Die Auslaßkammer 24 scher Staubabscheider angeordnet, um den Staub und ist ebenso wie die Einführungskammer 21 mit einer die Fasern, die durch die Luftpistolen 29 von den Absperrvorrichtung 46 gegen die Außenluft versehen Oberflächen der Scheiben 48 entfernt werden, abzu- und mit Vakuumpumpen 47 ausgestattet,
scheiden. Um zu verhindern, daß sich eine statische 35 Bei Durchführung des Verfahrens werden die Beladung auf der zu reinigenden Oberfläche aufbaut, Scheiben 48 auf einer Doppelträgervorrichtung 49 werden Plutonium-Proben 31 zusammen mit den aufgenommen. Dann wird die Absperrvorrichtung 26 Luftpistolen angewandt, um die elektrische Auf- geöffnet, um die Scheiben 48 mit der Trägervorrichladung auf dieser Oberfläche zu neutralisieren und tung49 in die Einführungskammer 21 einzuführen, so zu verhindern, daß sich Fremdteilchen wie Staub 40 wie durch A gezeigt ist; darauf wird die Absperrund Fasern auf derselben absetzen. vorrichtung 26 geschlossen, darauf wird die Einfüh-

Zur Beschleunigung des Arbeitszyklus ist es vor- rungskammer 21 durch die Pumpen 28 evakuiert, teilhaft, in der Einführungskammer 21 die Scheiben Während des ersten Teiles der Evakuierung wird 48 zu erhitzen. Diese Erwärmung wird durch Heiz- sauberes staubfreies Gas zugeführt, um die Oberelemente 32 erreicht. 45 flächen der Scheiben 48 mit den Pistolen 29 abzu-

In der Reinigungskammer 22 sind ähnliche Heiz- blasen zur Entfernung haftender Verunreinigungen,

elemente 33 benachbart zu der Absperrvorrichtung Hierbei wird ein Staubabscheider 30 angewendet; die

27 angeordnet. In dem anschließenden Teil der Rei- Luftpistole 29 und der Staubabscheider 30 werden

nigungskammer 22 ist die Glimmentladungsvorrich- nach kurzerAbblaszeit, beispielsweise unterhalb einer

tung 34, 35 angeordnet, die beispielsweise aus Alu- 50 Minute, gleichzeitig abgeschaltet. Die Scheiben 48

minium- oder Titanblech entsteht; sie liegt benach- werden durch Heizelemente 32 erwärmt, und die PIu-

bart zu der Bedampfungskammer 23. Die Glimment- tonium-Proben 31 verhindern einen Aufbau einer sta-

ladungsvorrichtung 34, 35 bildet einen Rahmen 34, tischen Ladung auf den Oberflächen der Scheiben 48.

der dem zu behandelnden Gegenstand eng angepaßt Nachdem die Einführungskammer 21 auf einen

ist, während zwischen den zu bedampfenden Ober- 55 Druck von etwa 10~³ mm/Hg evakuiert ist, wird die

flächen der Scheiben 48 eine Glimmplatte 35 aus Alu- Absperrvorrichtung 27 geöffnet, so daß die Scheiben

minium oder einem anderen, nicht verdampfbaren 48 aus der Einführungskammer 21 heraus in die

Material angeordnet ist. Auf diese Weise ist die Reinigungskammer 22 eingeführt werden können; die

Glimmentladung auf die Abmessungen der Glimm- Reinigungskammer 22 ist vorher auf einen Druck von

vorrichtung 34, 35 beschränkt. 60 etwa 10~⁴ mm/Hg evakuiert worden. Beim Eintritt

Die Reinigungskammer 22 ist wesentlich größer als in die Reinigungskammer 22 werden die Scheiben 48

die Einfuhrungskammer 21, wie F i g. 1 bis 6 zeigen. eng benachbart zu den Heizelementen 33 gemäß

Die Reinigungskammer 22 besitzt Vakuumpumpen F i g. 2 angeordnet zwecks weiterer Erwärmung. Die

36, die ein Vakuum von etwa 10~⁴ mm/Hg erzeugen, Absperrvorrichtung 27 wird dann geschlossen und die

wobei durch das Rohr 37 Sauerstoff für die Reinigung 65 Einführungskammer 21 wird durch öffnung der Ab-

durch Glimmentladung eingeführt wird. Zwischen sperrvorrichtung 26 mit Raumluft gefüllt,

der Reinigungskammer 22 und der Bedampfungs- Die Reinigungskammer 22 wird bei einem Vokuum

kammer 23 ist die Absperrvorrichtung 38 angeordnet. von etwa 10~⁴ mm/Hg gehalten, und die Scheiben 48

Claims (7)

1. werden in diesem Vakuum durch die Heizelemente Scheiben 48 aus der Auslaßkammer 24 herausgenom-

   33 auf die gewünschte Temperatur gebracht, die nahe men werden, wobei ebenfalls eine schrittweise Weiter-

   260° C liegt. Während die Scheiben 48 in der Stel- schaltung der folgenden Trägervorrichtungen ge-

   lung A gemäß F i g. 2 vor der Glimmentladung er- schieht.

   wärmt werden, wird eine zweite Trägervorrichtung 49 5 Die F i g. 7, 8 und 9 zeigen weitere Ausführungsin die Stellung B in die Einführungskammer 21 einge- formen der Vorrichtung. Hierbei sind gleiche Beführt (F i g. 2). . zugszeichen für gleiche Bauteile verwendet. In F i g. 7

   Nachdem die Scheiben auf der Trägervorrichtung wird eine Vorrichtung 20 gezeigt, bei der die Einfühder Stellung A erwärmt worden sind, werden sie zu rungskammer 50, die Reinigungskammer 51 und die der Glimmentladungsvorrichtung 34, 35 der Reini- ίο Auslaßkammer 52 praktisch die gleiche Breite aufgungskammer 22 geführt, die die Scheiben 48 eng weisen, wie die Bedampfungskammer 23, wobei große umschließt. Aus dem Rohr 37 wird Sauerstoff einge- Absperrvorrichtungen 53, 54, 55, 56 und 57 vorgeführt, wobei die Glimmentladung bei einer Spannung sehen sind. Diese erhöhte Breite ermöglicht es, daß von 1500 Volt durchgeführt wird, wobei die Scheiben die die Scheiben 48 tragenden Doppelträgervorrich-48 an ihren Oberflächen zuverlässig gereinigt werden. 15 tungen 49 sich längs eines Weges bewegen können, Bevor die Scheiben auf der Trägervorrichtung in der der parallel und benachbart zu den gegenüberliegen-Stellung A durch die Glimmentladung gereinigt wer- den Wänden der Vorrichtung 20 durch die entden, wird eine folgende Trägervorrichtung aus der sprechenden Kammern verläuft. Hierdurch wird die Stellung B, wie F i g. 3 zeigt, in die Reinigungskam- Auseinanderbewegung der Doppelträgervorrichtunmer 22 eingeführt und eine weitere Trägervorrichtung 20 gen 49, die bei der Ausführungsform nach den in die Stellung C der Einlaßkammer 21 eingeführt. F i g. 1 bis 6 erforderlich ist, vermieden.

   Nachdem die Scheiben 48 durch Glimmentladung . Die F i g. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei

   gereinigt sind, wird die Absperrvorrichtung 38 ge- der eine einzelne große Bedampfungskammer 23 mit

   öffnet und die Trägervorrichtung, wie F i g. 4 zeigt, Aufdampfquellen 39, 40 verwendet wird, wobei die

   aus der Reinigungskammer in die Bedampfungskam- 25 Aufdampfquellen 39, 40 in der Mitte in gleichem Ab-

   mer 23 geführt. Die übrigen nachfolgenden Träger- stand zwischen den Scheiben 48 angeordnet sind;

   vorrichtungen rücken entsprechend vor, wobei dieses hier sind je zwei parallel zueinander angeordnete

   Vorrücken auf automatische Weise erfolgen kann. Einführungskammer 58, Reinigungskammern 59 und

   Bei der Ausführungsform der F i g. 1 bis 8 sind die Auslaßkammern 60 vorgesehen, die durch kleine Ab-Aufdampfquellen 39, 40 in der Mitte der Bedamp- 30 Sperrvorrichtungen 61, 62, 63, 64 und 65 voneinfungskammer 23 angeordnet, und die Scheiben 48 ander trennbar sind. Hierbei wird nicht nur eine Verbefinden sich benachbart zu den Wänden der Be- Schiebung der Doppelträgervorrichtung 49 in der Bedampfungskammer. Hierdurch wird erreicht, daß dampfungskammer 23 nach außen vermieden, sondas Uberzugsmaterial von beiden Seiten der Auf- dem die Volumina der Kammern 58, 59 und 60 werdampfquellen 39, 40 verdampft wird, wodurch Ver- 35 den verringert, wodurch eine schnellere Evakuierung luste vermieden werden. Durch die genaue Anord- dieser Kammern möglich ist.

   nung der Aufdampfquellen 39, 40 im gleichen Ab- Eine weitere Ausführungsform zeigt die F i g. 9, in

   stand zueinander zwischen den Scheiben 48 wird er- der die Aufdampfquellen 39, 42 und 40, 42 benach-

   reicht, daß die auf den Oberflächen der Scheiben bart zu den Außenwänden der Bedampfungskammer

   niedergeschlagenen Filme die gleiche Stärke besitzen. 40 23 angeordnet sind, und wobei die die Scheiben 48

   Um die Scheiben 48 nahe den Wänden der Be- aufnehmende Doppelträgervorrichtung 49 längs der dampfungskammer 23 anzuordnen, treten die die Mittellinie der Vorrichtung 20 bewegt wird. Hier-Scheiben 48 tragenden Doppelträgervorrichtungen 49 durch kommt nicht nur die Verschiebung der Dopzuerst durch die Absperrvorrichtung 38 in die Be- pelträgervorrichtung 49 in der Reinigungskammer in dampfungskammer 23 ein und werden dann nach 45 Fortfall, sondern es kann eine einzige Trägervorrichaußen in die entsprechende Lage verschoben, in der tung 49 für die Abstützung einer Vielzahl von Scheisie benachbart zu den Wänden der Bedampfungs- ben48 verwendet werden, wobei der Vorteil einer kammer 23 liegen (Fig. 4). Nachdem die Absperr- kleineren Einführungskammer 21, Reinigungskamvorrichtung 38 geschlossen ist, werden die Scheiben mer 22 und Auslaßkammer 24 erreicht wird,
   durch Vakuumverdampfung aus der Aufdampfquelle 50 Die Vorrichtung kann vielfache Anwendung finden 39 solange überzogen, bis ein ausreichender Überzug und zur Herstellung von Überzügen beliebiger Art hergestellt ist. Darauf wird die Trägervorrichtung 49 verwendet werden. Ebenso kann die Aufbringung bemit den Scheiben 48 in die zweite Stellung der Be- liebiger Überzüge auf beliebigen Materialien, wie dampfungskammer 23 zur Aufbringung eines zweiten Metall, Kunststoffen, Glas usw. erfolgen.
   Überzuges bewegt. Dies kann unter Verwendung der 55 ..
   in Fig. 5 gezeigten Aufdampfquelle 40 erfolgen; Patentansprüche:
   selbstverständlich werden auch hier die aufeinander- 1. Kontinuierliches Verfahren zum Überziehen folgenden Trägervorrichtungen einen Schritt weiter- von Gegenständen, insbesondere Glasscheiben, bewegt. durch Vakuumaufdampfen, bei dem der zu über-

   Nachdem die Scheiben 48 überzogen sind, wird die 60 ziehende Gegenstand in eine Einführungskammer Absperrvorrichtung 45 geöffnet und die Trägervor- gebracht, diese abgeschlossen und evakuiert und richtung mit den Scheiben in die Auslaßkammer 24 . hernach der Gegenstand in die Bedampfungskambewegt, die durch Vakuumpumpen 47, gemäß mer geführt und überzogen wird, dadurch Fig. 6, auf einen Druck von 10~^smm/Hg evakuiert gekennzeichnet, daß die Einführungskamist. Nach dem Schließen der Absperrvorrichtung 45 65 mer zunächst unter Atmosphärendruck mit trockewird die Auslaßkammer 24 auf Atmosphärendruck '" ner Luft gereinigt, sodann der Gegenstand unter gebracht und die Absperrvorrichtung 46 geöffnet, Evakuieren bis auf.etwa 10~³ mm/Hg mit. einem wobei die Trägervorrichtung 49 mit den überzogenen sauberen, staubfreien Gas, abgeblasen, an-

   schließend in einex Reinigungskammer erwärmt und bei einem Druck von 10 ~⁴ mm/Hg in an sich bekannter Weise einer Glimmentladung ausgesetzt und das Überziehen in der Bedampfungskammer bei einem Druck von weniger als 10~⁵ mm/Hg vorgenommen wird.
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenstand während des Evakuierens in der Einführungskammer erwärmt wird. ίο
3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die statische Aufladung während des Evakuierens neutralisiert wird.
4. 4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 bis 3, mit mehreren, hintereinandergeschalteten, jeweils durch luftdichte Absperrvorrichtungen voneinander getrennte und mit Evakuierungsmitteln ausgestattete Kammern, bestehend aus einer Einführungs-, Bedampfungs- und Auslaßkammer, gekennzeichnet durch einen Lufttrockner (25) und eine Blasvorrichtung (29) in der Einführungskammer (21), eine zwischen Einführungskammer (21) und Bedampfungskammer (23) angeordnete Reinigungskammer (22) mit Heizelementen (33) und einer Glimmentladungsvorrichtung (34, 35) sowie durch eine Trägervorrichtung (49), die die Gegenstände durch die einzelnen Kammern in Abhängigkeit von der Öffnung der Absperrvorrichtungen (26, 27, 38, 45, 46) bewegt.
5. 5. Vorrichtung zur gleichzeitigen Behandlung, insbesondere zweier Glasscheiben, nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Doppelträgervorrichtung (49) längs der gemeinsamen Mittellinie von Einführungs- und Reinigungskammer (21, 22) verläuft, in der Bedampfungskammer längs der Seitenwände der Bedampfungskammer weitergeführt wird sowie zwischen sich gemeinsame Aufdampfquellen (39, 40) aufweist (Fig. 1 bis 6).
6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Einzelträgervorrichtungen (49) durch Einführungs- und Reinigungskammer (21, 22) verlaufen, längs der Seitenwände der Bedampfungskammer (23) weitergeführt werden und zwischen sich gemeinsame Aufdampfquellen (39, 40) aufweisen.
7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Doppelträgervorrichtung (49) längs der gemeinsamen Mittellinien von Einführungs-, Reinigungs- und Bedampfungskammer (21, 22, 23) verläuft und die Aufdampfquellen (39, 40) längs der Seitenwände der Bedampfungskammer (23) angeordnet sind (F i g. 9).

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 109 527/317