DE2105167C2 - Vorrichtung zur Bedampfung je von einem Rahmen getragener Glastafeln - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur ι > Bedampfung je von einem Rahmen getragener Glastafeln nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1

Eine Vorrichtung dieser Art ist bereits durch die BE PS 7 20 151 bekannt Bei ihr werden die Glastafeln wahrend der Bedampfung in senkrechter Lage gehalten ><> Auch in einem Aufsatz mit dem Titel »The LOF Semicontinuous Thermal Evaporation Plant« (Juniausgabe 1969 von »Research/Development«, Seite 42) wird eine Vorrichtung zum Aufdampfen von bis zu drei Schichten auf eine in senkrechter Lage gehaltene > > Glasplatte beschrieben Eine Schwierigkeit der bekannten Bedampfungsvornchtungen besteht darin, daß geeignete Verdampfungsquellen fur die Bedampfung senkrechter Flachen nicht ohne weiteres verfugbar sind Außerdem ist der Anwendungsbereich der bekannten jo Gerate, insbesondere hinsichtlich der Große der beschichtbaren Tafeln begrenzt

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine der eingangs genannten Gattung entsprechende Vorrichtung zu schaffen, die es ermöglicht, mit Hilfe der verfugbaren Verdampferquellen bei halbkontinuierli-' ehern Betneb großflächige Glastafeln in rascher Folge auf annähernd der gesamten Ausdehnung ihrer Flache mit einer gleichmaßigen und einwandfreien Beschichtung zu versehen

Diese Aufgabe wird erfindungsgemaß mit dem in dem Patentanspruch 1 gekennzeichneten Merkmal gelost

Möglichkeiten zur vorteilhaften weiteren Ausgestaltung einer solchen Vorrichtung sind in den Ansprüchen 2 bis 10 angegeben

Im folgenden ist die Erfindung anhand einer in den Zeichnungen als Beispiel dargestellten bevorzugten Ausfuhrungsform erläutert Es zeigt

F ι g 1 die Draufsicht auf eine Vorrichtung gemäß der Erfindung,

Fig 2 einen Seitenschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene2-2vonFig 1,

Fig 3 in einem größeren Maßstab einen durch die Linie 3-3 umgrenzten Ausschnitt aus F ι g 2, der die Kammer A der Vorrichtung betrifft,

F ι g 4 eine Schnittansicht mit Blickrichtung auf die Ebene 4 4 von F ι g 3,

F ι g 5 einen Querschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene 5-5 von F ι g 4,

Fig 6 in einem größeren Maßstab einen Teil der in to F ι g 2 dargestellten Vorrichtung, der durch die Linie 6-6 umrandet ist und die Kammer 10 betrifft,

F ι g 7 in einem größeren Maßstab einen Teil der in Fig 2 dargestellten Vorrichtung, der durch die Umrandungslinie 7-7 begrenzt ist und einen Teil der Kammer D betrifft,

Fig 8 einen Querschnitt mit Blickrichtung auf die in F ι g 7 mit der Linie 8 8 angedeuteten Schnittebene,

Fig 9 einen Querschnitt mit Blickrichtung auf die Schnittebene 9 9 von F ι g 7,

F ι g 10 in einem größeren Maßstab einen Teil der in Fig 2 dargestellten Vorrichtung, der durch die Umrandungslinie 10-10 begrenzt ist und die Kammer E betrifft,

Fig 11 einen Querschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene 1111 von Fig 10,

Fig 12 in einem größeren Maßstab einen Teil der in Fig 2 dargestellten Vorrichtung, der durch die Linie 12-12 umrandet ist und die Kammer F sowie einen Abschnitt der Kammer G betrifft,

Fig 13 einen Querschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene 13 13 von Fig 12

Fig 14 einen Querschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene 14 14vonFig 12,

Fig 15 eine Draufsicht auf einen Abschnitt der in Fi g 14 dargestellten Teile,

F ι g 16 einen Querschnitt mit Blickrichtung auf die in Fig 14 mit der Linie 16 16 angedeuteten Schnittebene,

Fig 17 eine isometrische Darstellung der Vorrichtung zur Steuerung des Forderabstandes,

Fig 18 in einem größeren Maßstab einen Teil der verwendeten Maskierungsvorrichtung,

Fig 19 eine Draufsicht auf die in Fig 18 mit der Linie 19-19 angedeuteten Schnittebene und

F ι g 20 ein Schaltschema der elektronischen Steuereinrichtung fur die Fordervorrichtungen

In den Fig 1 und 2 ist eine Mehrschichtbedamp fungsvornchtung gemäß der Erfindung fur halbkontinuierlichen Betrieb und zum Aufbringen von Mehrfachschichten auf großflächige Glasplatten oder -tafeln dargestellt Die Vorrichtung enthalt eine (nicht dargestellte) Waschvorrichtung, mittels deren die zu beschichtenden Unterlagen gewaschen werden, so daß sie vor dem Einfuhren in die Eintrittskammer A völlig sauber sind Die Waschvorrichtung fuhrt die Tafelglas-Substrate einer Hebevorrichtung zu, in der sie in einen Rahmen eingesetzt werden, bevor sie einem Ladeforderer 27 zugeführt werden Der Ladeforderer 27 ist so ausgelegt, daß er die Glastafeln einzeln nacheinander einer Beschichtungs oder Bedampfungsvomchtung 28 zufuhrt Die Bedampfungsvomchtung weist ein Maschinengestell 29 mit einer Vielzahl kastenförmiger geschlossener Räume 31—41 auf Wie aus Fig 2 ersichtlich, enthalt der Raum 31 eine Kammer A der Raum 32 eine Kammer B usw in der Weise, daß die Räume 31—41 jeweils die Kammern A-K umschhe Ben

Eine Vielzahl von Vakuumpumpen unterschiedlicher Ausfuhrungen sind jeweils den einzelnen Räumen zugeordnet und ermöglichen die Evakuierung der einzelnen Räume jeweils auf ein vorbestimmtes Maß Die Vakuumpumpen fur die einzelnen Räume sind von herkömmlicher Ausfuhrung und daher in den Zeichnungen nicht dargestellt

An der Eingangsseite des Raumes 31 befindet sich eine Schleuse V1 und an der Ausgangsseite des Raumes 31 eine entsprechende Schleuse V2 Der Raum 31 hat eine geringere Hohe als die anderen Kammern Der Raum 31 und die von diesem gebildete Kammer sind so klein ausgelegt, weil die Kammer A bei jedem Einfuhren einer neuen Glastafel in die Kammer zur freien Atmosphäre hin entlüftet wird Aus diesem Grunde ist die Kammer so klein wie möglich bemessen, um die zum Auspumpen der Kammer auf das gewünschte Vakuum erforderliche Zeit so kurz wie möglich zu halten

In der Kammer A befindet sich eine Fordervornch

tung 46 mit zwei Antriebsradern 47 und 48, die innerhalb des Raumes 31 auf gegenüberliegenden Seiten drehbar angeordnet sind Der Antrieb fur die Antriebsräder 47 und 48 besteht aus einem Gleichstrommotor 49, der außerhalb des Raumes 31 angeordnet ist Der Motor 49 treibt ein Untersetzungsgetriebe 51 an, das an dem Maschinengestell 29 angebaut ist Die Abtnebswelle 52 des Untersetzungsgetriebes treibt ihrerseits eine Schlupfkupplung 53 an, die wiederum mit einer Welle 54 verbunden ist, welche durch eine Vakuumdurchfuhrung 56 in die Kammer A eingeführt und in dieser mit einer Kardankupplung 57 mit Dehnungsausgleich verbunden ist Die Kupplung 57 treibt das Antriebsrad 47 an, das seinerseits wiederum mit einer weiteren Kardankupplung 58 verbunden ist, die auf ihrer anderen Seite in Verbindung mit einer Weile 59 steht Die Welle 59 steht über eine weitere mit Dehnungsausgleich versehene Kardankupplung 61 mit dem anderen Antriebsrad 48 in Verbindung Die beiden Kardankupplungen mit Dehnungsausgleich gestatten ein Ausdehnen und Zusammenziehen der Welle 59 ohne Beschädigung des Antriebes Die Antriebsrader 47 und 48 treiben zwei Endlosbander 62 und 63 aus nichtrostendem Stahl an Die Antriebsrader 47 und 48 sind ebenfalls aus nichtrostendem Stahl hergestellt Die Endlosbander 62 und 63 sind über zwei Leitrollen 64 und 66 und über eine große Rolle 67 gefuhrt Die erforderliche Spannung der Bander 62 und 63 wird durch große Leitrollen 68 hergestellt, die drehbar an Armen 69 gelagert sind Die Arme 69 sind bei 71 drehbar an dem Gehäuse des Raumes gelagert und tragen je ein Gegengewicht, durch welches die Leitrollen 68 gegen die unteren Trumms der Bander 62 und 63 gedruckt werden, so daß diese durch die ihnen zugeordneten Antriebsrader 47 bzw 48 angetrieben werden können

Um den Raum in der Kammer A noch weiter zu verringern, ist die Bodenwand 74 des Raumes 31 zwischen den beiden Endlosbandern 62 und 63 nach oben gefuhrt, wie es die Fig 3 und 5 zeigen Das Austrittsende der Kammer A weist einen schräg ansteigenden Bodenwandabschnitt 74a auf, in den ein Rohr 76 von großem Durchmesser mundet, das mit einer (nicht dargestellten) Vakuumquelle verbunden ist Der Raum 31 weist an seiner Oberseite eine Zutnttsoffnung 81 auf die normalerweise mit einer durch Klammern 83 gehaltenen Deckelplatte 82 verschlossen ist Ein Mikroschalter MS 2 ist innerhalb der Kammer A des Raumes 31 angeordnet, auf dessen Aufgabe weiter unten eingegangen wird

Wie aus F1 g 2 ersichtlich, sind die geschlossenen Räume 32 und 33 der Bedampfungsvorrichtung nahezu einander gleich, weswegen in Fig 6 nur der Raum 33 dargestellt ist Der Raum 32 weist eine abnehmbare Deckelplatte 84 auf In der Kammer B des Raumes 32 befindet sich eine Fordervorrichtung 86, ähnlich der Fordervorrichtung 46 Außerdem befindet sich in der Kammer B des Raumes 32 eine Forderabstandsregelvornchtung 88, die in der in Fig 2 dargestellten Weise in der Nahe des hinteren Endes der Kammer B angeordnet ist

Der geschlossene Raum 33 weist ebenfalls eine abnehmbare obere Deckelplatte 91 und innerhalb der Kammer C eine den Fördervorrichtungen 86 und 46 ähnlich ausgebildete Fordervorrichtung 92 auf

Der Raum 34 ist wesentlich großer als die Räume 32 und 33 Er weist zwei abnehmbare Deckelplatten % und eine Fordervorrichtung 97 auf, die den Fordervorrichtungen 46,86 und 92 ähnlich ist, mit der Ausnahme, daß sie zusatzliche Leitrollen enthalt, die den Leitrollen 64 und 66 der Fordervorrichtung 46 entsprechen Am Eingang zur Kammer D und in Ausrichtung mit dem oberen Trumm der Fördervorrichtung 87 befindet sich in der Kammer Deine beheizte Dichtungsdurchfuhrung 98

In der Kammer C, und zwar in ihrem oberen Teil, befindet sich eine elektrische Heizvorrichtung 93, die dazu dient, die Temperatur der Glastafeln auf die fur den Beschichtungsvorgang erforderliche Temperatur zu erhohen Die Erwarmungsvornchtung erwärmt die Glastafeln hauptsachlich durch Strahlungswarme

Die beheizte Dichtungsdurchfuhrung 98 besteht aus einem Werkstoff hoher Festigkeit wie ζ Β nichtrostendem Stahl und bildet einen verhältnismäßig engen Kanal oder eine Durchfuhrung 99 (F 1 g 9), der bzw die gerade so groß ist, daß die Glastafeln, ohne mit der Dichtungsdurchfuhrung 98 in Berührung zu kommen, hmdurchgefuhrt werden können Der Kanal 99 bildet einen hohen Widerstand fur den Gasdurchsatz im molekularen Stromungsbereich, so daß sich ein Druckdifferential zwischen benachbarten Kammern einstellen laßt Bei der hier dargestellten Ausfuhrungsform der Erfindung sind die Dichtungsdurchfuhrungen beheizt, um die Vorwarmtemperatur des Glases oder der Unterlage beim Einfuhren in die Kammer C aufrecht zu erhalten Der Dichtungsdurchfuhrung 98 wird ein Niederspannungsstrom über elektrische Durchfuhrungen 102 zugeführt, die in die Kammer D hineinreichen und, wie in F1 g 9 dargestellt, mit der Dichtungsdurchfuhrung 98 verbunden sind Da der Kanal selbst ein Widerstandselement darstellt kann er zwei Zwecken gleichzeitig dienen so lassen sich mit dem geheizten Kanal ohne weiteres Temperaturen von 300° c und darüber erreichen Das Blech aus dem nichtrostenden Stahl der Dichtungsdurchfuhrung 98 ist verhältnismäßig dünn, so daß eine nur sehr geringe Erwärmung erforderlich ist, um sehr schnell Gleichgewichtsbedingungen zu erreichen

Die Kammer D kann auch als Glimmentladungskammer bezeichnet werden Die Dichtungsdurchfuhrung 98 befindet sich am Eingang der Kammer, so daß sich in der Kammer eine Gasatmosphare aus einem Gas wie ζ Β Sauerstoff unter einem festgelegten Druck von 10—4(^bar aufrecht erhalten laßt, ohne daß dieser Druck durch den zwischen den Kammern A und B automatisch erfolgenden Austausch nennenswert beeinträchtigt wird Wenn die Kammer D auf einem vorbestimmten Druck gehalten wird, laßt sich in der Kammer eine Glimmentladungsreinigung der Unterla gen ausfuhren Die Glimmentladung erfolgt mittels Ghmmentladungselektroden 106, die in Längsrichtung der Kammer in gegenseitigen Abstanden angeordnet sind Sie bestehen aus einem T-formigen Gehäuse 107, in dem eine Elektrode 108 angeordnet ist Die Elektrodenabschirmung 109 ist mit dem Gehäuse verbunden und dient dazu, der Glimmentladung eine bestimmte Richtungswirkung zu geben Jede Glimmentladungselektrode 106 weist eine Anschlußklemme 111 auf, die mit einer Hochspannungsquelle verbunden wird

Die auf die Kammer D folgende Kammer fist in vier getrennte kleinere Kammern 116 unterteilt Die kleineren Kammern 116 sind sämtlich durch eine mit einer gemeinsamen Deckelplatte 117 verschlossene öffnung zuganglich, die einen Teil des die Kammer E bildenden Raumes oder Gehäuses 35 bildet Jede kleinere Kammer 116 ist an eine zur Erzielung des gewünschten Druckes dienende eigene Pumpe ange

schlossen Die Pumpen werden so betrieben, daß der Druck in den kleineren Kammern 116 fortschreitend von links nach rechts abnimmt Jede Kammer 116 weist eine elektrisch beheizte Dichtungsdurchfuhrung 118 auf, die der bereits beschriebenen Dichtungsdurchfuhrung 98 entspricht Die Dichtungsdurchfuhrungen 118 sind gegenüber dem die Kammer E bildenden Raum elektrisch isoliert und werden durch Widerstandsheizung erwärmt, so daß die Dichtungsdurchfuhrung selbst Strahlungsenergie an die zu beschichtende Glasplatte to abgibt

Wie F ι g 10 zeigt, ist eine Endlosfördervorrichtung 119 in der Kammer fangeordnet und dient dazu, die in der Vorrichtung zu bedampfenden Glasplatten durch die Kammer E zu transportieren Die Endlosfordervorrichtung 119 weist einen Motor 121 mit einem Untersetzungsgetriebe 122 auf, das auf einen Unterbau 123 aufgesetzt ist, der fest mit dem Maschinengestell 29 verbunden ist Das Untersetzungsgetriebe 122 treibt ein Kettenrad 124 an, das wiederum eine Endloskette 126 antreibt Die Endloskette 126 dient ihrerseits zum Antrieb mehrerer Kettenrader 127, die mit Wellen 128 verbunden sind Die Wellen 128 sind durch Drehlager 129 an dem Maschinengestell 29 durchgeführt und treiben zwei Rollen 131 an, die auf jeweils entgegengesetzten Seiten der Kammern 116 der Kammer E angeordnet sind Die sich gegenüberliegenden Rollen 131 sind durch Wellen 132 miteinander verbunden Wie aus den F1 g 10 und 11 ersichtlich, weist jede Kammer 116 in der Nahe des Austnttsendes der in der Kammer befindlichen Dichtungsdurchfuhrung 118 jeweils ein Rollenpaar auf Eine Kettenspannvornchtung 136 ist ebenfalls an dem Maschinengestell 29 gelagert und dient dazu, die Kette 126 stramm gespannt zu halten

Auf die Kammer E folgt die Kammer F Der die Kammer F bildende Raum 36 weist ebenfalls eine abnehmbare Deckelplatte 141 auf, welche den Zutritt zur Kammer gestattet Das Maschinengestell 29 tragt einen zusätzlichen Raum 142 der wie in den F1 g 12 und 13 dargestellt in Verbindung mit dem Raum 36 steht Der Raum 142 weist eine große Öffnung 143 auf, die wiederum in Verbindung mit einer leistungsfähigen Vakuumpumpe 144 steht Eine beheizte Dichtungsdurchfuhrung 146 ahnlich der beheizten Dichtungsdurchfuhrung 98 ist innerhalb des Raumes 36 am Eingang der Kammer F angeordnet Eine zusatzliche, nicht beheizte Dichtungsdurchfuhrung 148 ist am Ausgangsende der Kammer F vorgesehen Innerhalb der Kammer F befindet sich das eine Ende einer Endlosfordervorrichtung 151, welche dazu dient, die Glastafeln aus der Kammer F in die anschließende Kammer G zu transportieren

Die Kammer G bildet die Hauptbedampfungskammer Sie besteht aus mehreren Abschnitten oder kleineren Kammern 153, die je eine abnehmbare Deckelplatte 154 aufweisen Die Anzahl der kleineren Kammern 153 hangt ab von der Anzahl der Schichten, die nacheinander auf die Glasplatte aufgebracht werden sollen Bei der hier dargestellten Ausfuhrungsform der Bedampfungsvornchtung sind sechs getrennte Kammern 153 vorgesehen, so daß sich dieser Ausfuhrungs form der Vorrichtung sechs Schichten auf die Glasplatte aufdampfen lassen Jede Kammer 153 weist eine nicht beheizte Dichtungsdurchfuhrung 156 an ihrem Eingang und eine entsprechende Dichtungsdurchfuhrung an ihrem Ausgang auf Außerdem kann jede Kammer 153 eine Heizvorrichtung fur die Unterlagen aufweisen, die der Vorrichtung in Kammer C ahnlich und jeweils an der Deckelplatte 154 befestigt ist und dazu dient, die Unterlagen zu erwarmen Das Erwarmen kann wahrend der Bedampfung oder zwischen den Bedampfungsvor gangen fur die einzelnen Schichten erfolgen

Wie aus den F1 g 12 und 14 ersichtlich, hat der Raum 37 der Kammer G eine wesentlich größere Tiefe als der der vorhergehenden Kammern Fur jede kleinere Kammer 153 innerhalb der großen Kammer G ist ein jeweils in Verbindung mit der kleineren Kammer 153 stehender zusätzlicher Raum 158 vorgesehen Jeder Abschnitt bzw jede kleinere Kammer 153 weist ein eigenes Drucksteuer- und Uberwachungssystem und eine eigene Vakuumpumpe 159 auf, die jeweils über eine große Öffnung 161 mit dem Raum 158 in Verbindung steht

Jede kleinere Kammer 153 weist außerdem eine eigene Verdampfungsquelle 163 auf, die von beliebiger Ausfuhrung sein kann Die Verdampfungsquellen weisen eine Elektronenkanone auf, durch welche die jeweils auf die Unterlage aufzubringende Aufdampfsubstanz verdampft wird

Jede Verdampfungsquelle 163 ist mit einer Abschirmung versehen, die aus einem vierseitigen Abschirmkörper 166 besteht, der aus einem gut warmeleitfahigen Werkstoff wie ζ B Kupferblech hergestellt ist Jede der vier Seiten besteht aus einer senkrechten Seitenwand 167 und einem nach innen geneigten Seitenwandabschnitt 168 Die geneigten Seitenwande 168 sind so ausgebildet, daß unmittelbar oberhalb der Mitte der Verdampfungsquelle 163 eine rechteckige Öffnung 169 gebildet wird, wie aus Fig 15 zu ersehen Der Abschirmkörper 166 weist an seinen vier Ecken Pfosten 171 auf, welche die unteren Enden der Seitenwande 167 in einem Abstand oberhalb der Bodenwand des Raumes 37 halten Der Abschirmkörper 166 ist mit Kuhlvorrichtungen wie ζ B Rohrleitungen 172 in der Form einer Kuhlspirale versehen, die mit den Außenflachen der Wände 167 und 168 verschweißt ist, wie aus F1 g 16 zu ersehen Wahrend des Betriebes der Vorrichtung lauft durch die Kuhlspirale 172 kaltes Wasser.

Zu der Abschirmung gehört weiterhin eine Blende oder ein Spritzschild 176 ausreichender Große, um die Öffnung 169 abzudecken Die Blende 176 ist an einem Arm 177 befestigt, der drehbar in einem mit dem Gehäuse des Raumes 37 verbundenen Trager 178 gelagert ist Zum Verstellen der Blende 176 aus einer Lage, in welcher sie den Abschirmkörper 166 überlagert und die Öffnung 169 abdeckt, in eine verschwenkte Lage, wie in Fig 15 dargestellt, dient (nicht dargestellter) Hebel

Jeder Abschnitt bzw jede Kammer 153 der Bedampfungskammer G weist eine Überwachungseinrichtung 186 fur die Verdampfungsgeschwindigkeit auf Dieser kann durch eine Öffnung 187 ein kleiner Anteil der durch die Öffnung 169 in dem Abschirmkörper 166 abgegebenen Verdampfungssubstanz zugeführt werden. Die Verdampfungsgeschwindigkeits-Uberwachungsein richtung 186 dient dazu, die Verdampfungsgeschwindig keit der Verdampfungsquelle 163 zu regeln

In jeder Kammer 153 befindet sich außerdem eine Vorrichtung zur Beeinflussung der Verteilung der Aufdampfsubstanz auf die Glasunterlage, so daß eine gleichförmige Verteilung erhalten wird Diese besteht aus der in den Fig 18 und 19 dargestellten Maskenanordnung 191, die mittels einer Halterung 192 in der Kammer an dem Maschinengestell 29 befestigt ist Wie aus Fig 18 ersichtlich, erstreckt sich die Halterung 192 waagerecht durch die ganze Kammer Zwei U-formige

Bügel 193 sind an entgegengesetzten Enden der Halterung 192 befestigt und tragen jeweils zwei zueinander ausgerichtete Muffen 194 Eine Stange 196 ist durch jedes Muffenpaar 194 durchgeführt und tragt eine weitere Muffe 197, die in den Muffen 194 gefuhrt ist Auf jeder Muffe 197 ist ein Bundring 198 verschiebbar gelagert Eine Z-formige Platte 199 ist mit den beiden Bundringen 198 verbunden und daher ebenfalls auf den Muffen 197 verschiebbar gelagert Eine Maske 201 ist mit Schrauben 202 od dgl mit der Z-formigen Platte 199 verbunden Sie weist einen konvexen vorderen Rand 203 auf, der von der Seite der Kammer nach innen vorsteht

Die zum Verstellen der Blende 201 zum Inneren der Kammer hin dienende Vorrichtung weist eine Innengewindemuffe 206 auf, die ^fest mit der Z-formigen Platte 199 verbunden ist Eine Gewindestange 207, die in die Gewindemuffe 206 eingeschraubt ist, ist vermittels einer Kupplung 208 mit der Abtnebswelle 209 eines Winkelgetriebes 211 verbunden, das an einem mit der Halterung 192 verbundenen Winkel 212 befestigt ist Die Antriebswelle 213 des Getriebes ist über ein Kardangelenk 214 mit einer Welle 216 verbunden Die Welle tragt an ihrem anderen Ende ein weiteres Kardangelenk 217, das mit einer Welle 218 verbunden ist, die zur Außenseite des Raumes durchgeführt ist und außerhalb des Raumes eine (nicht dargestellte) Kurbel tragt, mit der die Welle 216 gedreht und dadurch die Blende 201 in jede gewünschte Lage verstellt werden kann

Wie F1 g 2 zeigt, ist in der Hauptbedampfungskam mer G eine einzige Endlos Fordervorrichtung vorgesehen, die sich bis in die Kammer //erstreckt Der Aufbau des die Kammer //bildenden geschlossenen Raumes 38 ist ahnlich dem des die Kammer Fbildenden Raumes 36 Die Kammer H weist eine Deckelplatte 221 und eine Dichtungsdurchfuhrung 222 auf, welche der nicht beheizten Dichtungsdurchfuhrung 148 in der Kammer F entspricht Die Kammer //weist jedoch außerdem eine wassergekühlte Dichtungsdurchfuhrung 223 auf, in welcher die Wasserkühlung des Kanals dazu dient, die Glasplatte durch Abstrahlung zu kühlen und dadurch den beim Austritt der Platte in die freie Atmosphäre auftretenden Warmeschock zu verringern Wie Fig 2 zeigt, erstreckt sich die Endlos Fordervorrichtung 151 bis in die Kammer H und ist in ihrem Aufbau den vorbeschriebenen Fordervorrichtungen ähnlich Sie enthalt zwei durch einen Elektromotor angetriebene Antriebsrollen 226 und ein (nicht dargestelltes) Untersetzungsgetriebe Die Antriebsrollen 226 sind wie bei den anderen Endlos Fördervorrichtungen miteinander gekoppelt Sie treiben zwei Endlos-Forderbander 227 aus einem Werkstoff wie nichtrostendem Stahl an Die Förderbänder 227 sind über Rollen 228 in der Kammer H und dann über Rollen 229 und auf ihrer anderen Oberflache über Rollen 23t in den einzelnen Abschnitten 153 der Kammer G gefuhrt In der Kammer F sind die Bander über Rollen 232 und um Rollen 233 herumgeführt Die Rollen 232 und 233 sind in Bandspannvornchtungen 234 drehbar gelagert In jedem Abschnitt 153 der Kammer G und neben jeder Rolle 229 ist jeweils ein zusätzliches Paar kleiner Rollen 236 vorgesehen, wie F1 g 16 zeigt

Aus F1 g 2 ist ersichtlich, daß die oberen Trumms der Bander 227 von den kleinen Rollen 236 und den zwischen diesen befindlichen großen Rollen 231 gehalten werden An den Eintritts- und Austrittsenden iedes Abschnittes 153 der Kammer G werden die oberen und unteren Trumms der Bander einander angenähert, so daß sie gemeinsam die verhältnismäßig flachen unbeheizten Dichtungsdurchfuhrungen 156 durchlaufen.

Die sich an die Kammer H anschließende Kammer / ist in zwei Abschnitte 241 unterteilt Eine beiden Abschnitten gemeinsam abnehmbare Deckelplatte 243 bildet einen Teil des die Kammer / bildenden Raumes

39 An den Austrittsenden der Abschnitte 241 befinden sich wassergekühlte Dichtungsdurchfuhrungen 243, die den in der Kammer H befindlichen wassergekühlten Dichtungsvorrichtungen 223 ähnlich ausgebildet sind Außerdem ist innerhalb der Kammer / eine (nicht dargestellte) Fordervorrichtung vorgesehen, die derjenigen in Kammer fsehr ahnlich ist

Die auf die Kammer / folgende Kammer / ist sehr ahnlich der Kammer B Der die Kammer bildende Raum

40 weist eine abnehmbare Deckelplatte 246 auf, und innerhalb der Kammer befindet sich eine Fördervorrichtung 247, die im wesentlichen der in der Kammer B befindlichen Endlos Fordervorrichtung 86 entspricht. Am Austrittsende der Kammer / befindet sich eine große Schleuse V3, die gleich ist der Schleuse V2 am Eintrittsende der Kammer B Die auf die Schleuse V3 folgende Kammer K ist im wesentlichen gleich der Kammer A Der diese Kammer bildende Raum 41 weist eine abnehmbare Deckelplatte 249 und eine Endlos-Fordervornchtung 251 auf, die im wesentlichen der Endlos Fordervorrichtung 46 in der Kammer A entspricht Eine Schleuse V 4, die der Schleuse Vl entspricht, befindet sich am Austnttsende der Kammer K Auf der Austrittsseite der Schleuse V 4 befindet sich eine Endlos-Fordervornchtung 252, welche die von der Kammer K abgegebenen Unterlagen einer Hebevorrichtung 253 zufuhrt Innerhalb der Kammer J sind Mikroschalter angeordnet, deren Lage und Aufgabe noch naher beschrieben werden

Ein Abschnitt der in Kammer B befindlichen Forderabstandsvornchtung 88 ist im Einzelnen in Fig 17 dargestellt Die Vorrichtung weist ein großes Lampengehause 261 mit einer Vielzahl von Ausnehmungen 262 auf, die jeweils eine Lampenfassung 263 zur Aufnahme einer Lampe 264 tragen Das Lampengehause 261 ist an einem oberen und einem unseren Kuhlblock mit Kuhlkanalen befestigt, die mit Rohrleitungen 268 in Verbindung stehen An dem oberen Kuhlblock 266 und dem Lampengehause 261 ist eine Lampenfassungsab deckung 269 befestigt Ein Gehäuse 271 fur gedruckte Schaltungsplatten ist an dem unteren Kuhlblock 267 befestigt Es enthalt eine (nicht dargestellte) gedruckte Schaltungsplatte, welche die Schaltung fur die Forderabstandsvornchtung 88 tragt Das Schaltungsplattengehause 271 ist mit einer Deckelplatte 272 abgedeckt Ein an dem Lampengehause 261 befestigter Abstandsblock 273 halt mittels Schrauben 274 od dgl eine obere und eine untere Lochplatte 276 bzw 277 Wie aus der Darstellung ersichtlich, sind die beiden Lochplatten in einem gegenseitigen Abstand parallel zueinander angeordnet Sie weisen jeweils in zwei Reihen eine Vielzahl von Lochern oder Durchbrechungen 278 auf, wobei sich die Locher in der oberen Lochplatte 276 in Ausrichtung mit den entsprechenden Lochern in der unteren Lochplatte 277 befinden Die Locher 278 in den Lochplatten 276 und 277 sind jeweils so angeordnet, daß die Locher in den beiden Reihen zueinander versetzt sind, so daß durch das von den Lampen 264 abgegebene Licht siebenundvierzig Lichtbundel erzeugt werden Die siebenundvierzig Locher in zwei getrennten Reihen

haben eine solche Lage, daß keine Interferenz zwischen benachbarten Photozellen auftritt. Jedes Lichtbündel dient zur Beleuchtung einer Photozelle auf der gedruckten Schaltungsplatte 271. Jede Photozelle bildet einen Teil der Schaltung auf der gedruckten Schaltungsplatte in dem Gehäuse.

Die obere und die untere Platte 276 bzw. 277 bilden ein Kollimationssystem für jeden der siebenundvierzig Lichtbündel. Der Lampengehäuseblock 261, die obere Lochplatte 276 und ein Lampenschirm umschließen eine das Licht integrierende Kammer, durch welche die siebenundvierzig Löcher in der oberen Lochplatte gleichförmig beleuchtet werden. Dank der integrierenden Lichtkammer dürfen etwa 20—30% der Lampen ausfallen, ohne daß die Arbeitsweise des Systems dadurch beeinträchtigt wird.

Zwischen der unteren Lochplatte 277 und der Oberseite des die gedruckte Schaltungsplatte enthaltenden Gehäuses 271 wird eine U-förmige Ausnehmung 281 gebildet, die solche Abmessungen aufweist, daß die rechteckigen Rahmen 286 durch diese Ausnehmung hindurchgeführt werden können. Die Rahmen 286 können aus einem Werkstoff wie Aluminium bestehen. Wie aus Fig. 17 ersichtlich, weisen die Rahmen 286 an ihrer oberen Oberfläche und in der Nähe des inneren Rahmenrandes eine rechteckige Aussparung 287 auf, deren Größe auf die der aufzunehmenden Glastafeln 288 abgestimmt ist, welche in der Vorrichtung bedampft werden sollen.

Die Schaltung auf der gedruckten Schaltungsplatte ist innerhalb des Gehäuses 271 angeordnet. Sie bildet einen Teil der in F i g. 20 schematisch dargestellten Förderabstandsregelvorrichtung.

Die Bedampfungsvorrichtung als Ganzes gesehen umfaßt noch wesentlich mehr Elektronik, die zum größten Teil von herkömmlicher Ausführung und in Fig. 1 nur schematisch angedeutet ist. So ist beispielsweise für jeden Abschnitt 153 der Kammer G ein Schaltschrank 291 für die Steuerung des Betriebes der Verdampfungsquellen 163 vorgesehen. Weitere Schaltschränke 292 und 293 sind für die automatische Steuerung weiterer Abschnitte der Vorrichtung vorgesehen. Die Förderabstandsregelvorrichtung 88 ist wassergekühlt, so daß sie ohne weiteres innerhalb einer Vakuumkammer wie z. B. der Kammer B betrieben werden kann.

Im folgenden wird die Arbeitsweise der Mehrschichtbedampfungsvorrichtung beschrieben. Dabei wird davon ausgegangen, daß eine Vielzahl von verhältnismäßig großen Glastafeln oder -platten mittels der Mehrschichtbedampfungsvorrichtung durch Bedampfung beschichtet werden soll. Wenn die Glasplatten bereits auf eine vorbestimmte Größe wie z. B. 832 mm 1289 mm zugeschnitten sind, lassen sich beschichtete Glasplatten in einer Größe von 762 1219 mm erhalten. Die Glastafeln durchlaufen zunächst eine Wasch- und Reinigungsvorrichtung, die von herkömmlicher Ausführung sein kann und die Glastafeln auf beiden Seiten wäscht und abspült. Anschließend wird zurückbleibende Feuchtigkeit auf beiden Seiten weggeblasen. Die zu beschichtende Glasunterseite wird während des Durchgangs der Tafeln durch die Vorrichtung nicht von Rollen, Förderbändern od. dgl. berührt. Die trockenen und auf eine Temperatur zwischen 26,7 und 32,5°C gebrachten Glastafeln werden in die Aussparungen 287 der in waagerechter Lage befindlichen Rahmen 286 eingelegt. Die Rahmen 286 mit den Glastafeln werden dann in die (nicht dargestellte) Hebevorrichtung eingeladen, von dieser angehoben und dem Ladeförderer 27 zugeführt, aus dem sie sich dann in einer Lage befinden, in der sie in die Eintrittskammer A eingeführt werden können.
Sobald die Vorrichtung zur Aufnahme der nächsten, in einen weiteren Rahmen 286 eingelegten Glastafel bereit ist, wird die Schleuse Vl geöffnet und der Ladeförderer 27 in Betrieb gesetzt. Der Rahmen 286 überbrückt den Zwischenraum an der Eintrittsschleuse

ίο Vl und bewegt sich mit verhältnismäßig hoher Geschwindigkeit wie z.B. 21,9 m/min. Sobald der Rahmen 286 gegen den Mikroschalter MS-2 stößt, kommt die Endlos-Fördervorrichtung 46 innerhalb der Kammer A zum Stillstand. Dann wird die Schleuse Vl geschlossen und sofort das Pumpsystem der Kammer A in Tätigkeit gesetzt, um die Kammer möglichst schnell auf einen geeigneten Druck wie z. B. 50 μbar auszupumpen. Sobald in der Kammer A dieser Druck erreicht ist und das erste der siebenundvierzig Lichtbündel in der Förderabstandsvorrichtung 88 freigegeben wird, öffnet sich die Schleuse V2. Daraufhin werden die Endlos-Förderbänder 46 und 86 in den Kammern A und B in Betrieb gesetzt, wobei diese mit angenähert gleicher Fördergeschwindigkeit von z.B. 21,9 m/min laufen.

Dadurch wird der Rahmen 286 schnell aus der Kammer A in die Kammer B transportiert. Der aus der Kammer A zugeführte Rahmen wird so lange weiterbewegt, bis er sich unmittelbar neben dem letzten Rahmen befindet, der zuvor in die Kammer B eingeführt worden ist. Der bereits in der Kammer B befindliche und zu einem früheren Zeitpunkt als der nunmehr aus der Kammer A zugeführte Rahmen in die Kammer B eingeführte Rahmen wird mit einer wesentlich geringeren Geschwindigkeit von z.B. 0,6—1,2 m/min fortbewegt, wobei diese Geschwindigkeit von den einzelnen Parametern des jeweils angewendeten Verfahrens abhängig ist. Um zu verhindern, daß der von der Kammer A zugeführte Rahmen gegen das hintere Ende des vorhergehenden Rahmens stößt, ist die Förderabstandsregelvorrichtung 88 vorgesehen, welche die in der Kammer B angeordnete Fördervorrichtung automatisch steuert und einen bestimmten Abstand von z. B. 12 mm zwischen den Rahmen einhält. Sobald der richtige Abstand erreicht ist, wird die Geschwindigkeit der in der Kammer B befindlichen Fördervorrichtung verlangsamt, so daß der aus der Kammer A zugeführte Rahmen mit derselben Geschwindigkeit wie der vorhergehende Rahmen durch die Kammer B hindurchgeführt wird. Von diesem Zeitpunkt an folgt der aus der Kammer A zugeführte Rahmen den vorhergehenden Rahmen und wird bis zum Austrittsende der Vorrichtung mit gleicher Geschwindigkeit wie die vorhergehenden Rahmen weitertransportiert.

Die Förderabstandsregelvorrichtung dient also dazu, den Abstand zwischen zwei sich mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten auf zwei Fördervorrichtungen innerhalb der Vorrichtung fortbewegenden Rahmen auf einen bestimmten Wert einzustellen und dann die Geschwindigkeit einer Fördervorrichtung an die einer anderen Fördervorrichtung anzupassen, damit der Abstand mit Sicherheit eingehalten wird.

Bei der in den Fig. 17 und 20 genauer dargestellten Förderabstandsvorrichtung liefert die in dem Gehäuse 271 untergebrachte gedruckte Schaltung eine Ausgangsspannung von null Volt, wenn jede Photozelle durch das ihr zugeordnete Lichtbündel beleuchtet wird. Jede Photozelle mit ihrer zugeordneten Schaltung läßt sich daher entsprechend der F i g. 20 als Digitalgatter

oder logisches Gatter bezeichnen Die Digitalgatter sind fortlaufend von 1—47 durchnumeriert Der Teil der Vorrichtung, welcher den Abstand zwischen zwei Rahmen 286 mißt, besteht aus den Digitalausgangen und diesen zugeordneten Photozellen, Lichtbundeln usw Die Ausgange der Digitalgatter 2—47 werden einer Analog-Additionsschaltung 301 mit einem Verstärkungsfaktor K zugeführt Die Analog Additionsschaltung 301 liefert eine Ausgangsspannung, welche der Anzahl der beleuchteten Photozellen 2—47 proportional ist Der Verstärkungsfaktor K ist so bemessen, daß das Ausgangssignal angenähert 10 Volt entspricht, wenn samtliche Photozellen beleuchtet sind Wenn samtliche Zellen 2—47 dunkel sind, betragt das Ausgangssignal der Analog-Additionsschaltung 301 null Volt Wenn die Hälfte der Zellen beleuchtet ist, betragt das Ausgangssignal 5 Volt usw Somit laßt sich ersehen, daß sich das Ausgangssignal der Analog-Additionsschaltung 301 um kleine Zuwachsbetrage von jeweils 1—46 von 10VoIt verändert, und daß keine zwischen diesen Zuwachsbetragen liegende Spannungen erhalten werden Das ist darauf zurückzuführen, daß das Ausgangssignal der Digitalgatter 2—46 entweder null oder —30 Volt betragt Ein stufenweise veränderlicher Bezugswertgeber 302 besteht aus einem Spannungsteiler, dessen Ausgang um 7uwachsbetrage verändert werden kann, die den sechsundvierzig Ausgangspegelwerten der Analog-Additionsschaltung gleich sind Dieser veränderliche Bezugswert wird zur Einstellung des Abstandes zwischen dem jeweils vorderen und dem diesem folgenden und in die Forderabstandsregelvornchtung 88 eintretenden Rahmen benutzt

Der Ausgang der Analog-Additionsschaltung 301 wird einem Vergleicher 302' zugeführt, dessen Bezugswert durch den veränderlich einstellbaren Bezugswert- geber 302 geliefert wird Wenn das von der Analog Additionsschaltung 301 abgegebene Ausgangssignal hoher ist als das von dem veränderlich einstellbaren Bezugswertgeber 302 gelieferte Ausgangssignal, entspricht das Ausgangssignal des Vergleichen einem ersten vorbestimmten Wert, und wenn das von der Analog Additionsschaltung 301 abgegebene Ausgangssignal kleiner ist als das von dem veränderlichen Bezugswertgeber 302 gelieferte Signal, hat das AusgangsMgnal des Vergleichen 302' einen jeweils vorbestimmten und unterschiedlichen Wert wie ζ Β von—15 Volt bzw +15VoIt

Die mit der Ziffer 1 bezeichnete Photozelle steuert ein mit der Ziffer 1 bezeichnetes Digitalgatter in gleicher Weise, in der die mit den Ziffern 2—47 bezeichneten Digitalgatter gesteuert werden Das Ausgangssignal des Digitalgatters Nr 1 wird einem Pufferverstarker 303 zugeführt, dessen Ausgang wiederum einem Relais 304 zugeführt wird, das dann erregt ist, wenn ein Lichtbundel auf die Photozelle Nr 1 fallt, und das dann stromlos ist, wenn die Photozelle Nr 1 unbeleuchtet ist Das Relais 304 liefert eine Spannung von — 15 Volt an ein ODER-Gatter 306, wenn das Relais 304 erregt ist Bei nicht erregtem Relais 304 wird dem ODER Gatter 306 eine Spannung von null Volt zugeführt Der Ausgang des Vergleichers 302' stellt den zweiten Eingang fur das ODER-Gatter 306 dar Der Ausgang des ODER Gatters 306 liegt an einem Pufferverstarker 307, und der Ausgang des Pufferverstarkers 307 speist ein Relais 308 Das Relais 308 ist erregt, wenn an einem der beiden Eingange des ODER-Gatters 306 eine vorbestimmte Spannung von ζ B —15 Volt anliegt, und ist dann stromlos, wenn an beiden Eingangen des ODER-Gatters 306 null Volt oder eine positive Spannung hegt Der Ausgang des Relais 308 ist mit einer Motorsteuerung 309 verbunden, die zur Steuerung des Motors 49 der Fordervorrichtung 86 in der Kammer B dient.

Wenn das Relais 308 erregt ist, wird die Fordervorrichtung 86 mit hoher Geschwindigkeit angetrieben, und wenn das Relais 308 stromlos ist, arbeitet die Fordervorrichtung 86 mit langsamer Geschwindigkeit Die langsame Geschwindigkeit der Fordervorrichtung 86 entspricht der gleichen Geschwindigkeit wie die der Fördervorrichtung 92, welche stets mit niedriger Geschwindigkeit angetrieben wird Wenn die Fordervorrichtung 86 beispielsweise mit hoher Geschwindigkeit angetrieben wird, muß diese Geschwindigkeit so hoch sein, daß der von dieser nachgefuhrte Rahmen 286 wenigstens 1,5 m in der Zeit zurücklegt, in welcher der vorausgehende Rahmen 286 auf der Fordervorrichtung 92 angenähert eine Strecke von 0,3 m zurücklegt Das ist deswegen erforderlich, weil der vorausgehende Rahmen 286 sich etwa in einer Entfernung von 1,5 m vor dem nachlaufenden Rahmen 286 befindet, sobald der hintere Rand des vorausgehenden Rahmens 286 an dem auf die Photozelle Nr 1 fallenden Lichtbundel vorbeigelaufen ist.

Zur Erläuterung der Arbeitsweise der Forderabstandsregelvornchtung 88 sei angenommen, daß sich die Bedampfungsvornchtung im Betrieb befindet, sich jedoch keine Rahmen auf den Fordervorrichtungen befinden Wenn der erste Rahmen 286 mit einer in den Rahmen eingesetzten Glastafel der Fordervorrichtung 86 in der Kammer B zugeführt wird, wird diese Fördervorrichtung zunächst mit hoher Geschwindigkeit angetrieben, da alle Lichtbundel 1—47 ihre entsprechenden Photozellen Nr 1—47 beleuchten Sobald der vordere Rand des Rahmens 286 das Lichtbundel Nr 1 schneidet, erhalt die Photozelle Nr 1 kein Licht mehr, so daß das Relais 304 stromlos gemacht wird Das Relais 304 speist einen der beiden Eingange des ODER-Gatters 306, und dieser Eingang fuhrt dann das Signal null An dem anderen Eingang des ODER-Gatters liegt jedoch ein logisches Signal von — 15VoIt, so daß das ODER Gatter ein logisches Signal abgibt und den Motor der Fördervorrichtung 86 im schnellen Betrieb halt

Gleichzeitig wird der zwischen den Rahmen erwünschte Abstand eingestellt und dadurch in die Vorrichtung eingegeben, daß der veränderliche Bezugs wertgeber 302 in der bereits beschriebenen Weise eingestellt wird Der erwünschte Abstand kann beispielsweise einen beliebigen Wert zwischen null und einem vorgegebenen Wert von ζ Β 298 mm betragen Es sei angenommen, daß ein Abstand von 25,4 mm erwünscht sein, was etwa dem Zustand entspricht, bei dem alle Lichtbundel bis auf vier von den Rahmen bei ihrem Durchgang durch die Vorrichtung aufgefangen werden.

Wenn nun der vordere Rand des ersten Rahmens 286 durch die einzelnen Lichtbundel hindurchwandert bis alle Lichtbundel bis auf die letzten vier, d h die Bündel Nr 44—47 blockiert sind, fallt der Ausgang der Analog-Additionsschaltung 301 unter den des von dem Bezugswertgeber 302 gelieferten Bezugswertes ab, so daß der Ausgang des Vergleichers +15VoIt betragt, eine Spannung, welche ein logisches Null fur das ODER-Gatter 306 darstellt In diesem Zeitpunkt ist der Zustand der beiden Eingange des ODER-Gatters gleich dem Logikwert Null und das Relais 308 wird stromlos

wodurch der Motor 49 von hoher auf niedrige Geschwindigkeit umgeschaltet wird. Der erste Rahmen durchläuft dann weiter mit niedriger Geschwindigkeit die übrigen Lichtbündel der Förderabstandsvorrichtung 88. Sobald der hintere Rand des ersten Rahmens 286 aus dem Lichtbündel Nr. 1 herausläuft, wird die Photozelle Nr. 1 beleuchtet, wodurch das Relais 304 erregt und dem ODER Gatter 306 eine logische Eins zugeführt wird. Das ODER-Gatter 306 wiederum liefert dem Relais 308 eine logische Eins, wodurch dieses erregt und die Fördervorrichtung 86 wieder auf hohe Geschwindigkeit umgeschaltet wird.

Wenn das Relais 304 erregt ist und sämtliche andere für die Vorrichtung erforderliche Betriebsbedingungen erfüllt sind, öffnet sich die Schleuse V 2 in der bereits beschriebenen Weise. Die in der Kammer A befindliche Fördervorrichtung 46 wird in Betrieb gesetzt und bewegt den Rahmen mit der eingesetzten Unterlage schnell auf die in der Kammer B befindliche Fördervorrichtung 86, die mit schneller Geschwindigkeit angetrieben wird. Infolge der hohen Geschwindigkeit der Fördervorrichtung 86 holt der von dieser transportierte Rahmen 286 schnell den auf der Fördervorrichtung 92 befindlichen vorausgehenden Rahmen 286 ein, bevor der hintere Rand des vorausgehenden Rahmens 286 aus der Förderabstandsvorrichtung 88 herausgelaufen ist. Sobald der vordere Rand des nachlaufenden Rahmens 286 das Lichtbündel Nr. 1 durchläuft, wird die Photzelle Nr. 1 nicht mehr beleuchtet und das Relais 304 abgeschaltet, wodurch jo einer der beiden Eingänge des ODER Gatters 306 den Logikwert Null annimmt. Da jedoch der vorausgehende Rahmen 286 in dem Zeitpunkt, an dem der nachlaufende Rahmen das Lichtbündel Nr. 1 durchläuft, bereits mehr als vier vorher eingestellte Lichtbündel durchlaufen hat, liegt an dem anderen Eingang des ODER-Gatters 306 der Logikwert Eins, so daß das Relais 308 erregt wird. Daher arbeitet der Motor 49 für die Fördervorrichtung 86 so lange weiter mit hoher Geschwindigkeit, bis alle Photozellen bis auf vier beleuchtet sind. In diesem Zeitpunkt fällt dann das Ausgangssignal der Analog-Additionsschaltung 301 unter den Wert des von dem Bezugswertgeber 302 gelieferten Bezugswertsignals ab, so daß der andere Eingang des ODER-Gatters 306 den Logikwert Null annimmt. In diesem Zeitpunkt befinden sich beide Eingänge des ODER-Gatters 306 auf dem Logikwert Null, so daß das Relais 308 abgeschaltet und der Motor 49 der Fördervorrichtung 86 auf langsame Geschwindigkeit umgeschaltet wird, welche wie bereits erwähnt der Geschwindigkeit der Fördervorrichtung 92 entspricht. Von diesem Zeitpunkt an werden der vorausgehende und der nachlaufende Rahmen 286 mit gleicher Geschwindigkeit fortbewegt, wobei zwischen den Rahmen ein Zwischenraum oder Abstand von 2,54 mm verbleibt. Sobald der hintere Rand des nachlaufenden Rahmens 286 das Lichtbündel Nr. 1 durchlaufen hat, wird die Fördervorrichtung 86 wieder auf schnellen Betrieb umgeschaltet, so daß ein weiterer Rahmen aus der Kammer A auf die Fördervorrichtung 86 zugeführt wird. Dieser nächste Rahmen wird so lange mit hoher Geschwindigkeit fortbewegt, bis er sich auf einen Abstand von 25,4 mm dem vorausgehenden Rahmen genähert hat. In diesem Zeitpunkt schaltet die Fördervorrichtung 86 wiederum in der bereits beschriebenen Weise auf langsame Geschwindigkeit um.

Wie ersichtlich, verhindert die Förderabstandsregelvorrichtung 88, daß die Rahmen gegeneinanderstoßen, und ermöglicht einen schnellen Abtransport der Rahmen aus der Kammer A, so daß die Schleuse V 2 nur kurzzeitig geöffnet sein muß. Außerdem sorgt die Förderabstandsregelvorrichtung für die Einhaltung vorbestimmter gleichförmiger Abstände zwischen den einzelnen Rahmen, so daß sich die Verfahrensparameter mühelos steuern bzw. überwachen lassen. Die Förderabstandsregelvorrichtung 88 arbeitet digital, wodurch sich eine sehr genaue Arbeitsweise erreichen läßt.

Sobald ein Rahmen aus der Kammer A in der vorbeschriebenen Weise zugeführt worden ist und der vordere Rand des Rahmens 286 das erste der siebenundvierzig Lichtbündel in der Förderabstandsregelvorrichtung 88 unterbricht, wird die Schleuse V2 geschlossen. Dann wird die Kammer A mit der freien Atmosphäre verbunden. Dazu wird die Schleuse Vl geöffnet, wobei der nächste Rahmen in die Kammer A eingebracht wird. Somit wiederholt sich der vorbeschriebene Arbeitsablauf. Im Betrieb der Vorrichtung ist erwünscht, das Vakuum in der Kammer B auf einem Mittelwert von etwa 10 μbar zu halten. Die Kammer C wird ebenfalls auf diesem mittleren Vakuumwert gehalten.

Sobald der Rahmen 286 mit der Glasunterlage 288 in die Kammer C transportiert worden ist, wird das Glas in dieser Kammer auf eine Temperatur erhitzt, die etwa der Temperatur entspricht oder etwas höher ist als die Temperatur, auf welcher die Glastafel 288 während des Verfahrens gehalten werden soll. Diese Erhitzung erfolgt vermittels der elektronischen Heizvorrichtung 93, die sich im oberen Teil der Kammer C befindet und Wärme nach unten auf das Glas abstrahlt. Dabei ist zu beachten, daß die in der Kammer C befindliche Glastafel auf eine Temperatur erhitzt werden muß, die wenigstens etwas oberhalb der Temperatur liegt, die während des übrigen Verfahrensganges benötigt wird. Dadurch wird ein einwandfreies Entgasen des Glases und des Rahmens in der Kammer C gewährleistet, so daß in den anschließenden Kammern nur eine geringe oder verringerte Entgasung auftritt.

Während der Rahmen 286 mit der eingesetzten Glastafel 288 langsam durch die Kammer Chindurchgeführt wird, wird er erhitzt, und gelangt dann durch die am Eingang der nächsten Kammer D befindliche erste beheizte Dichtungsdurchführung 98 in diese Kammer D. Wie bereits erwähnt, weist diese Dichtungsdurchführung einen verhältnismäßig engen Kanal 99 auf, so daß ein Druckdifferential zwischen den Kammern C und D aufrecht erhalten und das Gas in der Kammer D zurückgehalten werden kann. Die Kammer D kann als Glimmentladungskammer bezeichnet werden und enthält eine Gasatmosphäre von z. B. Sauerstoff unter einem vorgegebenen und zwischen 10—50 μbar liegenden Druck. Es ist zu empfehlen, daß der in dieser Kammer herrschende Druck durch den zwischen den Kammern A und B der Vorrichtung automatisch erfolgenden Ausgleich nicht sehr stark beeinflußt wird. Anders ausgedrückt, die Kammer D sollte auf einem konstanten und vorbestimmten Druck gehalten werden, so daß die Glimmentladungsreinigung der Unterseite der Glastafel 288 innerhalb der Kammer D erfolgen kann. Die Glimmentladungsreinigung erfolgt in herkömmlicher Weise vermittels mehrerer innerhalb der Kammer D angeordneter Glimmentladungselektroden 106. Die Kammer D hat im Vergleich zur Kammer Cdie doppelte Länge. Dieses Längenverhältnis ist aus dem Grunde wünschenswert, weil sich die Glastafeln durch die Kammer C und D mit gleicher Geschwindigkeit fortbewegen und weil für die Glimmentladungsreini-

gung der Glastafel eine längere Zeit als fur die Erhitzung derselben benotigt wird

Nach der Glimmentladungsreinigung ist die Glastafel 288 bereits zur Einfuhrung in den Hochvakuumabschnitt der Vorrichtung und zum Aufbringen der Beschichtungen Wahrend des Durchgangs durch die Kammer D kann die Temperatur des Glases unter Umstanden etwas abfallen, so daß es erforderlich wird, das Glas noch einmal zu erhitzen, um es auf die gewünschte Temperatur zu bringen Außerdem ist der in der Kammer D herrschende Druck zu hoch fur die anschließenden Verfahrensschritte und muß daher verringert werden Diese Druckverringerung erfolgt in der Kammer £, die in der bereits beschriebenen Weise aus vier getrennten Kammern 116 besteht, die jeweils eine beheizte Dichtungsdurchfuhrung 118 aufweisen Jede Kammer 116 wird getrennt von den anderen Kammern ausgepumpt, so daß der Druck in den vier Kammern 116 allmählich auf angenähert 1 10~⁶ mbar abgesenkt wird Wahrend die Glasunterlage die ^o Kammer E durchlauft, wird sie in den beheizten Dichtungsdurchfuhrungen 118 erhitzt, so daß die Glastafel 288 auf die erwünschte Temperatur gebracht und auf dieser Temperatur gehalten wird

Die vor der Kammer G befindliche Kammer Fund die auf die Kammer G folgende Kammer H werden jeweils auf dem niedrigsten innerhalb der ganzen Vorrichtung herrschenden Druck gehalten, der niedriger sein soll als der Druck in der Kammer G, so daß stets ein Gasstrom aus der Kammer G in die Kammern Fund H auftritt Auf diese Weise laßt sich die Zusammensetzung des Gases in den sechs Beschichtungskammern 163 des Bedampfungsabschnittes G einwandfrei steuern Die Abschnitte oder Kammern 153 des Bedampfungsabschnittes G werden auf einem vorbestimmten Druck von 1 10-" bis 1 10-^bmbar gehalten Die genaue Steuerung der Gasumgebung innerhalb der Kammer laßt sich dadurch erzielen, daß von einem Druck in einer der Kammern 153 ausgegangen und dann dem System zur Steigerung des Druckes Gas zugeführt wird Da bei der gezeigten Ausfuhrungsform sechs Kammern 153 vorgesehen sind lassen sich bei einem Durchgang durch die Vorrichtung eine bis sechs unterschiedliche Aufdampfschichten auf die Glastafel 288 aufbringen Das Aufbringen mehrerer und unterschiedlicher Schichten ist deshalb möglich, weil jede Kammer 153 fur sich getrennt evakuiert wird Außerdem weist jede Kammer 153 eine eigene Verdampfungsquelle 163 und eine Überwachungseinrichtung 186 fur die Verdampfungsge schwindigkeit auf Im Betrieb der Vorrichtung wird die so Verdampfungsquelle in Tätigkeit gesetzt, so daß die von dieser nach oben aufsteigenden Dampfe durch den Abschirmkörper 166 auf die Unterseite der Glastafel 288 gelangen Die abgegebene Beschichtungssubstanz menge wird vermittels der Verdampfungsgeschwindig- ^5S keits Überwachungseinrichtung 186 überwacht, die automatisch die Verdampfungsgeschwindigkeit der Verdampfungsquelle so regelt, daß auf der Glastafel eine gewünschte Schichtdicke erhalten wird Zur Erzielung einer gleichförmigen Beschichtungsverteilung bo auf der Unterseite der Glastafel werden die in den einzelnen Kammern 153 vorgesehenen Blendenvorrichtungen 191 entsprechend betätigt, indem die Blende 201 mehr oder weniger aus bzw eingefahren wird

Die Dicke der auf die Glastafel aufgebrachten Bedampfungsschicht laßt sich durch Veränderung der Durchlaufgeschwindigkeit durch die Kammer verandern Da es jedoch andererseits wünschenswert ist, eine gleichförmige Fortbewegungsgeschwindigkeit in samtlichen Kammern zu haben, wird die Beschichtungsdicke durch Regelung der Verdampfungsgeschwindigkeit der Verdampfungsquelle unter Zuhilfenahme der Überwachungseinrichtung 186 geregelt

Sobald die Glastafel 288 die letzte Beschichtungskammer 153 durchlaufen hat, gelangt sie in die Kammer H, deren Aufgabe bereits erläutert wurde, und von der Kammer H in die Kammer / Die Kammer / wird in ihren beiden Abschnitten unterschiedlich stark evakuiert Dabei dienen die Dichtungsdurchfuhrungen zur Aufrechterhaltung des Druckdifferentials Nach dem Durchlaufen der Kammer / gelangt die Glastafel in die Kammer / und damit zur Schleuse V3 Sobald die Austrittskammer K leer und zur Aufnahme des nächsten Rahmens 286 mit einer dann eingesetzten Glastafel bereit ist, öffnet die Vorrichtung automatisch die Schleuse V3 Wenn die Schleuse V3 geöffnet ist, wird die Fordervorrichtung 247 mit hoher Geschwindigkeit in Betrieb gesetzt, um den Rahmen mit der Glastafel auf die in der Kammer K befindliche Fordervorrichtung 251 zu bringen Innerhalb der Kammer K befindet sich eine Vorrichtung, welche die Fortbewegung des Rahmens 286 unterbricht, sobald sich der Rahmen innerhalb der Kammer K befindet Dann wird die Schleuse V3 geschlossen und anschließend die Kammer K mit der freien Atmosphäre verbunden Als nächstes wird die Schleuse K 4 geöffnet, und der Rahmen 286 mit der Glastafel 288 wird mittels der Fördervorrichtung 251 schnell aus der Kammer K heraus und auf die am Ausgang befindliche Fordervorrichtung 252 befordert, welche den Rahmen wiederum einer Hebevorrichtung 253 zufuhrt, die denselben absenkt Das Glas wird anschließend zugeschnitten, indem die unbeschichteten äußeren Rander abgeschnitten werden, die durch den Rahmen abgedeckt waren Die Rahmen werden dann wieder dem anderen Ende der Vorrichtung zugeführt und stehen dort zur erneuten Aufnahme von Glastafeln und zum Durchlauf durch die Vorrichtung zur Verfugung

Am Ausgang der Vorrichtung werden weniger Dichtungsdurchfuhrungen als am Eingang benotigt, weil dort die Hauptgasbelastung durch die Glimmentladungskammer aufgebracht wird, wodurch ein stärkeres Abpumpen und zusätzliche Dichtungsdurchfuhrungen erforderlich sind

Wie aus dieser Beschreibung ersichtlich, wurden durch die Erfindung eine Vorrichtung zur Mehrschichtbedampfung und eine Steuervorrichtung geschaffen, mittels deren die Glastafeln bereits vor der Glimmentladungsreinigung erhitzt werden Wenn die Glimmentladungsreinigung vor dem Erhitzen der Glastafeln ausgeführt wird, konnte die anschließende Erhitzung möglicherweise eine nachteilige Auswirkung auf die gereinigte und vorbereitete Glasoberflache haben Die Vorrichtung ist ausreichend zum Erhitzen der Glastafel sowie dazu, diese auf einer gewünschten Temperatur zu halten Außerdem kann die jeweilige Glastafel zwischen dem Aufbringen der einzelnen Schichten erhitzt werden, so daß die verschiedenen Beschichtungen bei unterschiedlichen Temperaturen aufgebracht werden können

Die Glastafel bewegt sich wahrend der Bedampfung in waagerechter Lage durch die Vorrichtung, wobei ihre Unterseite beschichtet wird Dies erweist sich als sehr gunstig, da die Unterseite wesentlich sauberer bleibt als die Oberseite, weil keine Fremdstoffe, Veiunieinigun gen usw sich von oben her darauf absetzen können Die

waagerechte Lage der Glastafeln hat den weiteren Vorteil, daß sich Verdampfungsquellen verwenden lassen, welche ihre Dampfe nach oben abgeben Damit ist auch leichter, daß die jeweils verwendete Verdampfungsquelle eine symmetrischere Beschichtungsverteilung erzeugt Außerdem werden viele Stoffe vorteilhafterweise besser vermittels einer Elektronenkanone verdampft und auf die zu beschichtende Oberflache aufgebracht Die Vorrichtung hat den weiteren Vorteil, daß Verdampfungsstoffe, die sich im Inneren der Kammer ansammeln, nach unten fallen können, ohne die Unterseite der zu beschichtenden Glastafel zu verunreinigen.

Die in der Vorrichtung verwendeten Fordervorrichtungen sind verhältnismäßig schmal und flach, so daß die

Trennschleusen Vl₁ V2, V3 und K 4 verhältnismäßig klein gehalten werden können und keine großen öffnungen, sondern lediglich schmale Durchlaßoffnungen fur den Rahmen mit der jeweiligen Glastafel benotigt werden Fur die Hauptbeschichtungskammer G und die auf entgegengesetzten Seiten derselben befindlichen Kammern F und H ist nur eine einzige Fordervorrichtung erforderlich, die auch nur an einem Ende angetrieben werden muß Die erwünschte

ίο Vielseitigkeit bleibt erhalten, und wahrend des Erhitzens ergeben sich keine nachteiligen Auswirkungen durch Entgasung Die beheizten Dichtungsdurchfuhrungen bewirken nicht nur die gewünschte Abdichtung, sondern ermöglichen auch die Erhitzung der Glastafeln auf die gewünschte Temperatur

Hierzu 14 Blatt Zeichnungen

Claims (10)

1. Patentansprüche·

   ft. tydnfctyungf zur Bekämpfung je von einem Rahmen getragener Glastafeln, die mindestens eine Bedampfungskammer, in der sich eine senkrecht angeordnete Bedampfungsquelle zum Verdampfen mindestens eines Materials befindet, eine Eintrittskammer und eine Austnttskammer, die mit der Bedampfungskammer in Verbindung stehen und an deren sich gegenüberstehenden Enden jeweils Schleusen zur Abdichtung dieser beiden Kammern und zur Unterbrechung der Verbindung mit der Bedampfungskammer vorgesehen sind, und getrennte, mit Einzelantrieben versehene Fordervorrichtungen fur Eintrittskammer, Bedampfungskammer und Austnttskammer zum Transport der Rahmen mit den Glastafeln durch diese Kammern hindurch aufweist, dadurch gekennzeichnet,
   daß die Rahmen und Glastafeln zumindest in der Bedampfungskammer in im wesentlichen waagerechter Lage gehalten und die Unterseiten der Glastafeln dem Dampf ausgesetzt sind,
   daß die Fördereinrichtung der Bedampfungskammer mittels ihres Einzelantriebes mit im wesentlichen gleichmäßiger Geschwindigkeit langsam bewegt werden können,

   daß die Schleusen in ihre Öffnungsstellungen bewegbar sind, um den Durchgang der Rahmen zu ermöglichen,

   daß die Fordervorrichtungen in der Ein und in der Austrittskammer mittels ihrer Einzelantriebe mit im Vergleich zu der langsamen Bewegung hoher Geschwindigkeit bewegt werden können, und
   daß eine Vorrichtung zur Steuerung des Abstandes zwischen den Rahmen mit mehr als zwei durch die Rahmen zu betätigenden Fühlelementen zum Abfuhlen der Abstande zwischen den Rahmen vorgesehen ist, um den Betrieb der Fördereinrichtungen so zu steuern, daß jeweils ein Rahmen rasch aus der Eintrittskammer in die Bedampfungskammer bewegt wird, bis zwischen ihm und dem vorhergehenden Rahmen ein vorbestimmter Abstand vorhanden ist
2. 2. Bedampfungsvornchtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Eintrittskammer und der Bedampfungskammer eine zusätzliche Kammer mit einer dieser zugeordneten zusätzlichen Fordervorrichtung, die sowohl mit einer hohen, der Geschwindigkeit der Fördervorrichtung in der Eintrittskammer entsprechenden Geschwindigkeit als auch mit einer niedrigen, der langsamen Geschwindigkeit der Fordervorrichtung in der Bedampfungskammer entsprechenden Geschwindigkeit betrieben werden kann, und daß die Vorrichtung zur Steuerung des Abstandes zwischen den Rahmen einen Fühler enthalt, der anspricht, sobald ein vorbestimmter Abstand zwischen den Rahmen vorhanden ist, um den Übergang der zusätzlichen Fordervorrichtung von der schnellen Bewegung auf die langsame Bewegung zu veranlassen
3. 3 Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Bedampfungskammer eine Heizkammer mit Heizvorrichtung zur Aufnahme der von dem Rahmen getragenen Glastafeln und zu deren Erhitzung vor dem Eintritt in die Bedampfungskammer angeordnet ist, und daß eine Glimmentladungsvorrichtung zum Reinigen der Glastafeln nach deren Erhitzung vorgesehen ist
4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß je eine zusatzliche Kammer an den beiden entgegengesetzten Enden der Bedampfungskammer und zwischen der Eintritts- und Austnttskammer angeordnet ist, durch welche die Rahmen mit den Glastafeln hindurchwandern, und daß diese zusatzlichen Kammern normalerweise auf einem Druck gehalten werden, der niedriger ist als der Druck in der Bedampfungskammer und der Ein- und Austrittskammer.
5. 5 Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere in Reihe angeordnete Bedampfungskammern mit je einer senkrecht angeordneten Bedampfungsquelle vorgesehen sind, daß in bestimmten Bedampfungskammern Heizvorrichtungen angeordnet sind, daß in jeder Bedampfungskammer eine Überwachungs- und Regeleinrichtung fur die Verdampfungsgeschwindigkeit vorgesehen ist, und daß abgedichtete Schleusen zwischen der Eintrittskammer und der Erstbedampfungskammer sowie zwischen der letzten Bedampfungskammer in der Reihe und der Austnttskammer angeordnet sind, so daß eine Druckdifferenz zwischen der Bedampfungskammer und den übrigen Kammern eingehalten werden kann
6. 6 Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die abgedichteten Durchgange Vorrichtungen zur Wärmeübertragung auf die Glastafeln wahrend ihres Durchgangs aufweisen
7. 7 Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

   daß die mehr als zwei durch die Rahmen zu betätigenden Fuhlerelemente zum Abfuhlen der Abstande zwischen den Rahmen umfassende Vorrichtung Lichtquellen zur Bildung von Lichtstrahlenbundeln enthalt, die so angeordnet sind, daß die Lichtstrahlenbundel von den vorruckenden Rahmen unterbrochen werden können,
   daß Fühler zum Abtasten des Vorhandenseins oder NichtVorhandenseins zumindest einzelner Lichtstrahlenbundel, Vergleichereinnchtungen und logische Gatter zum Verbinden dieser mit den Abtastfuhlern vorgesehen sind,
   daß mit den Vergleichereinnchtungen Bezugswertgeber verbunden sind, die dazu dienen, den Vergleichereinrichtungen Signale mit vorgewählter Pegelhohe zuzuführen, und

   daß die Vergleichereinnchtungen zur Feststellung, ob das von dem Bezugswertgeber zugefuhrte Signal großer oder kleiner ist als das Signal aus der Vorrichtung zur Prüfung des Vorhandenseins von Lichtstrahlenbundeln, und zur Abgabe eines Steuersignals fur die Fordervorrichtungen dienen
8. 8 Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest bestimmte Bedampfungskammern mit Masken versehen sind, die fur die Bewegung in einer zu dem Forderweg der Substrate durch dte Vorrichtung parallelen Richtung einstellbar sind
9. 9 Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in der Bedampfungskammer eine Vorrichtung zum Abschirmen der Bedampfungsquelle vorgesehen ist, welche eine die Quelle umgebende Abschirmstruktur mit einer öffnung oberhalb der Quelle sowie eine Blende aufweist die großer als diese Öffnung bemessen und zwischen einer Lage oberhalb der Öffnung und einer die

   Öffnung freigebenden Lage verstellbar ist
10. 10 Vorrichtung nach Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß die Masken eine waagerecht angeordnete Abschirmung mit einem gekrümmten Rand aufweisen, die sich seitlich der Kammer > erstreckt und daß eine Vorrichtung zum gradlinigen Bewegen der Abschirmung in der Bedampfungskammer in einer Richtung parallel zum Forderweg der Glastafeln sowie zwischen den Glastafeln und der Quelle aufweist n