DE1521258B2 - Vorrichtung zum vakuumbedampfen von plattenfoermigen gegenstaenden insbesondere von glasplatten - Google Patents

Description

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rahmen in einem geringen Abstand voneinander auf- die Bewegungen der Schieber steuert. An Stelle der ruhen. Diese Organe können sich entsprechend dem Abschrägungen weisen die Halterahmen dann Ausein Organ vom anderen trennenden Abstand in senk- nehmungen auf, durch welche die Finger der Schierechter Richtung durch Lager verschieben, und zwar ber auf der Oberseite des Schwenkrahmens hindurchin dem die zu behandelnden Tafeln aufnehmenden 5 gehen, wenn sich derselbe in der waagerechten Stel-Magazin von oben nach unten und in dem die be- lung befindet. Der Schwenkrahmen ist überdies mit handelten Tafeln aufnehmenden Magazin von unten einer elektromagnetisch gesteuerten Klinke versehen, nach oben. Die senkrechten Führungen weisen insbe- welche den Rahmen mit den Längsträgern fest versondere Hebeorgane auf, die auf den Längsträgern bindet, wenn sich derselbe in waagerechter Stellung angeordnet und mit Organen versehen sind, auf wel- io befindet, sowie mit einem Unterbrecher, welcher die chen die Halterahmen aufruhen. Diese Hebeorgane Speisung der die Hebeketten der Magazine betätigenbestehen vorzugsweise aus senkrechten endlosen Ket- den Motoren während der Verschwenkung des Rahten, die durch Elektromotoren angetrieben werden mens automatisch unterbricht.

und die mit im Abstand voneinander liegenden An- Die verschiedenen beweglichen Organe werden

Sätzen versehen sind, welche zum Abstützen der 15 vorzugsweise durch einzelne Motoren betätigt, die im

Halterahmen dienen. Die Enden der Längsträger Inneren der Behandlungsvorrichtung angeordnet sind

sind vorteilhaft auf einem Kranz befestigt, der sich und deren Anschlußkabel durch dichte Verbindun-

auf einer waagerechten kreisförmigen Laufbahn um gen in der Wand der Vorrichtung hindurchgehen,

seine Achse dreht, um den Tafeln in bekannter Weise Die in einem geringen Abstand von den zu behan-

während des Metallisierungsvorganges eine Drehung ao delnden Tafeln angeordneten Metallisierungsorgane

um eine senkrechte Achse zu erteilen. sind vorteilhaft mit einer Einrichtung fest verbunden,

Die Einrichtung zur Übertragung der Tafeln aus welche sie aus dem Weg des Schwenkrahmens entferdem einen Magazin in das andere besteht aus an den nen kann, z. B. mit senkrechten Führungen, in denen Längsträgern befestigten Schienen, auf welchen die die Abstützung der Organe verschiebbar ist, welche Halterahmen während des Metallisierungsvorganges 25 durch eine Schnecke gesteuert wird,
aufruhen und auf welchen sie aus dem Magazin für In der Zeichnung sind mehrere beispielsweise Ausdie zu behandelnden Tafeln in das Magazin zur Auf- führungsformen der Erfindung dargestellt,
nähme der behandelten Tafeln verschoben werden Fig. 1 zeigt im senkrechten Längsschnitt eine können. Im Inneren der Vakuumbehandlungsvor- Metallisierungsvorrichtung, die mit einer erfindungsrichtung ist ein durch einen Elektromotor betätigtes 30 gemäßen Einrichtung zur Zuführung der Tafeln verOrgan vorgesehen, das die Halterahmen aus dem sehen ist;

einen Magazin in das andere verschiebt. Dieses" Or- F i g. 2 zeigt im Schnitt nach der Linie II-II der

gan kann ein Stößel mit einer Zahnstange sein, in F i g. 1 die Vorrichtung im Grundriß, wobei die Ma-

welche das Ritzel eines Elektromotors eingreift, wenn gazine leer dargestellt sind;

die Vorrichtung dazu bestimmt ist, nur eine Seite der 35 . F i g. 3 zeigt einen Halterahmen für eine zu metal-

Tafel zu behandeln. Wenn jedoch in der Vorrichtung lisierende Tafel;

die beiden Seiten einer Tafel nacheinander behandelt F i g. 4 und 5 zeigen in Vorder- und Seitenan-

werden sollen, besteht die Einrichtung zur Ubertra- sieht eine andere Ausführungsform der Magazine,

gung der Tafel vorteilhaft aus einem Rahmen, der welche die Halterahmen enthalten;

um eine waagerechte Achse schwenkbar ist, welche 40 Fig. 6 und 7 zeigen in Vorder- und Seitenan-

unterhalb der Magazine in der Mittelebene zwischen sieht eine Ausführungsform mit einem Schwenkrah-

denselben angeordnet ist, um einen Halterahmen men;

während des Metallisierungsvorganges der Tafel fest- F i g. 8 zeigt in größerem Maßstab eine Draufsicht

zuhalten und denselben durch Verschwenken aus auf den Schwenkrahmen;

dem ersten Magazin in das zweite zu übertragen, in 45 F i g. 9 zeigt eine Seitenansicht des Schwenkrah-

welchem die andere Seite der Tafel während des fol- mens;

genden Vorganges metallisiert werden kann. Mit dem F i g. 10 zeigt eine Einrichtung, welche das Senken

Schwenkrahmen kann jedoch immer nur die eine Sei- der Elektroden ermöglicht.

te jeder Tafel behandelt werden. Zu diesem Zweck Die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Vakuumbe-

wird die Tafel durch Verschwenken des Rahmens in 50 handlungsvorrichtung besteht aus einem Vakuumbe-

das Aufnahmemagazin übergeführt, nachdem die hälter 1, der durch die Wand 2, den Boden 3 und den

eine Seite metallisiert worden ist, oder die Halterah- Deckel 4 gebildet wird und der in seinem unteren

men werden mit zwei Tafeln versehen, von denen die Teil eine Verdampfungsquelle 5 enthält. Der Vaku-

eine nach dem Verschwenken des Rahmens nach der umbehälter 1 ist überdies mit einer waagerechten,

anderen metallisiert wird. 55 kreisförmigen Laufbahn 6 versehen, die an der- zy-

Der Schwenkrahmen weist eine automatische Ver- lindrischen Wand 2 angeordnet ist und auf welcher

riegelung auf, die auf der oberen Seite offen und auf sich die Trägereinrichtung 7 bis 10 in an sich be-

der unteren Seite des Rahmens geschlossen ist, wenn kannter Weise drehen kann, um die Tafel während

sich derselbe für den Eintritt oder den Austritt eines der Behandlung eine oder mehrere Umdrehungen um

Halterahmens in waagerechter Stellung befindet, und 60 die Achse der Trägereinrichtung ausführen zu lassen,

die während der Verschwenkung des Rahmens auf um eine gleichmäßige Metallisierung der Tafel zu ge-

beiden Seiten geschlossen ist. Diese Verriegelung be- währleisten.

steht vorteilhaft aus Schiebern, die auf beiden Seiten Bei einer ersten Ausführungsform sind waagerech-

des Rahmens parallel zur Schwenkachse angeordnet te Schienen 7 auf Längsträgern 8 befestigt, die mit

sind und die mit Fingern versehen sind, welche nach 65 einem Kranz 9 fest verbunden sind, welcher sich auf

dem Inneren des Rahmens gerichtet sind, sowie mit der Laufbahn 6 mittels Rollen 10 dreht. Auf den

einem Anschlag, der über den Rahmen hinausgeht Längsträgern 8 befestigte senkrechte Führungen 11

und der mit einem Nocken in Eingriff kommt, welcher sind derart angeordnet, daß sie ein Magazin 12 bil-

den, in dem waagerechte Halterahmen 13, welche die F i g. 6 bis 9 dargestellt. Sie weist unterhalb der zu behandelnden Tafeln 14 enthalten, übereinander- Längsträger 8 einerseits Stützen 34 für die Lager der liegend gestapelt sind (Fig. 1). Die Halterahmen Wellen 33 mit Kettenrädern 32 und andererseits werden im Vakuumbehälter 1 von oben eingeordnet, Stützen 44 für die Lager auf, in welchen eine Welle nachdem der Deckel 4 abgenommen ist. Den anderen 5 45 gelagert ist. Auf dieser Welle ist ein Schwenkrah-Führungen ähnliche Führungen 15 bilden ein zweites men 46 aufgekeilt, welcher in waagerechter Stellung Magazin 16, das zur Aufnahme der bedampften Ta- das Viereck ausfüllt, das von den vier Ketten des fein bestimmt ist. Die im Magazin 12 gestapelten einen oder anderen Magazins gebildet wird. Dieser Halterahmen 13 ruhen auf den Schienen 7 auf. Die Rahmen 46, der die Halterahmen 13 aufnimmt, kann senkrechten Führungen 11 und 15 können beispiels- io von dem einen Magazin zum anderen verschwenkt weise aus Winkeleisen bestehen, deren Schenkel am werden unter der Wirkung eines Motors 47 mit Ununteren Ende bei 17 in genügender Höhe ausge- tersetzungsgetriebe und zwei Drehrichtungen, und schnitten sind, um den Übergang der Halterahmen zwar mit Hilfe der Kette 48 und des Zahnrades 49, 13 hintereinander auf die Schienen 7 zu ermöglichen. das auf der Welle 45 aufgekeilt ist (F i g. 7).
Ein Ansatz 18 des Vakuumbehälters 1 enthält einen 15 Der Rahmen 46 ist auf einer Seite mit Schiebern Stößel in Form einer Zahnstange 19, welche in den 50 (F i g. 8) versehen, die auf den vorderen und hin-Führungen 20 durch das Ritzel 21 des Motors 22 teren Rändern angeordnet sind, sowie mit Schiebern verschiebbar ist, der eine geringe Drehzahl und zwei 50' auf der entgegengesetzten Seite.
Drehrichtungen · aufweist. Dieser Stößel ermöglicht Diese Schieber, die aus Flacheisen mit Langschlites, den Hälterahmen, der sich -am unteren Ende des 20 zen 51 bestehen, werden durch Muttern 52 geführt Magazins 12 auf den Schienen 7 befindet, unter das und gehalten und weisen Finger 53 oder 53' auf, die Magazin 16 zu verschieben. Unterhalb der Magazine nach dem Inneren des Rahmens vorstehen. Das Ende 12, 16 befindet sich daher eine Tafel, die auf einer 54 jedes Schiebers 50 ragt über den Rahmen auf Seite behandelt werden kann. Nach der Behandlung einer Seite hinaus, während das entgegengesetzte dieser beiden Tafeln auf einer Seite stößt man nach- 25 Ende 54' jedes Schiebers 50' über den Rahmen auf einander zwei Halterahmen 13 auf die Schienen 7, so der anderen Seite hinausragt. Auf jedem Ende 54 daß sich wieder unterhalb jedes Magazins eine zu be- oder 54' ist ein Anschlag 55 befestigt, der beispielshandelnde Tafel befindet. Der Vorgang wiederholt weise aus einer Rolle besteht.

sich, bis der Vorrat der im Magazin 12 gestapelten Die Halterahmen 13 weisen bei dieser Ausfüh-

Halterahmen erschöpft ist. Das Magazin 16 wird 30 rungsform Ausnehmungen 56 auf, welche die in

dann vom oberen Ende des Vakuumbehälters her Fig. 3 gezeigten Abschrägungen 23 und 24 ersetzen,

entleert, nachdem der Deckel 4 abgenommen worden Wenn der Schwenkrahmen und die Schieber die in

ist. F i g. 8 gezeigte Stellung einnehmen, kann ein Halte-

Um die Einführung der Halterahmen 13 unterhalb rahmen mittels der Ketten auf die Finger 53' aufgejene, die bereits im Magazin 16 gestapelt sind, zu er- 35 bracht werden, während die Finger 53 durch die leichtern, werden ihre vorderen und hinteren Kanten Ausnehmungen 56 hindurchgehen. Mit den Längsvorteilhaft, mit Abschrägungen 23 und 24 versehen. trägern 8 fest verbundene Führungen 57 (Fig. 7 und Die Drehung der Trägereinrichtung wird durch einen 9) sind unterhalb der Magazine 12 und 16 angeord-Motor 25 (Fig. 2) bewirkt, der den Kranz 9 über ein net und derart eingestellt, daß die Rollen 55 bei AnUntersetzungsgetriebe 26 antreibt. Der Kranz 9 ist 40 näherung des in waagerechter Stellung befindlichen mit einem Ausschnitt 27 versehen, in den ein magne- Schwenkrahmens in die Führungen eingreifen und tischer Riegel 28 (F i g. 1) eingreift, um die Träger- die Schieber der Oberseite des Schwenkrahmens dereinrichtung während der Übertragung eines Halte- art mitnehmen, daß die Finger 53 neben die Ausnehrahmens aus dem einen Magazin in das andere zu mungen 56 oder an die Stelle derselben gebracht blockieren. Der Eintritt der Anschlußkabel der ver- 45 werden, je nachdem, ob sich der Schwenkrahmen schiedenen Elektromotoren in den Schacht erfolgt vom Magazin 12 entfernt oder sich demselben nädurch dichte Verbindungen 29. hert, bzw. daß die Finger 53' an die Stelle der Aus-

Bei einer anderen Ausführungsform sind die senk- nehmungen 56 oder neben dieselben gebracht werrechten Führungen der Magazine 12 und 16 durch den, je nachdem, ob sich der Schwenkrahmen dem endlose Ketten 30 (F i g. 4 und 5) ersetzt, welche An- 50 Magazin 16 nähert oder sich von demselben entfernt, sätze 31 tragen und zwischen Zahnrädern 32 ge- Wenn sich daher der Schwenkrahmen 46 sowohl unspannt sind. Diese sind auf Wellen 33 befestigt, wel- terhalb des Magazins 12 als auch unterhalb des Mache in mit dem Gestell 35 fest verbundenen Lagern gazins 16 in waagerechter Stellung befindet, liegen 34 gelagert sind. Anstatt übereinander gestapelt zu die oberen Finger den Ausnehmungen 56 gegenüber sein, werden die Halterahmen einzeln auf die Ansät- 55 und ermöglichen die Aufbringung oder die Abnahme ze 31 gestellt. Das Senken der Halterahmen im Zu- eines die Tafel tragenden Halterahmens 13. Während führungsmagazin 12 erfolgt mittels eines Motors 36, der Schwenkung des Rahmens 46 hingegen liegen der eine Welle 37 (F i g. 5) antreibt, welche zwei alle Finger neben den Ausnehmungen 56 und verhin-Schnecken 38 (eine rechtsgängige und eine linksgän- dern das Herabfallen des Halterahmens,
gige) trägt, die mit Zahnrädern 39 in Eingriff stehen, 60 Um zu verhindern, daß sich der Halterahmen 13 welche mit den Wellen 33 fest verbunden sind. Das im Schwenkrahmen 46 seitlich verschiebt, ist es Anheben der Halterahmen im Aufnahmemagazin 16 zweckmäßig, auf den inneren Rändern desselben Anerfolgt mittels einer ähnlichen Einrichtung, die aus schlage 58 zu befestigen.

einem Motor 40 (F i g. 4) besteht, welcher die Räder Um eine unzeitige Ingangsetzung des Motors für

43 mit Hilfe der Welle 41 und der Schnecke 42 betä- 65 das Senken der Tafeln im Magazin 12 zu vermeiden,

tigt. wenn sich der Schwenkrahmen nicht unterhalb des-

Eine Ausführungsform, welche die Behandlung selben befindet, ist unterhalb des Längsträgers 8 ein

der beiden Seiten jeder Tafel ermöglicht, ist in den Unterbrecher 59 (F i g. 7) befestigt, der den Strom-

kreis dieses Motors unabhängig von der normalen äußeren Steuerung unterbricht, sobald sich der Schwenkrahmen vom Magazin 12 entfernt. Dieser Unterbrecher ist nur eingeschaltet, wenn sich der Rahmen 46 in waagerechter Stellung unterhalb dieses Magazins befindet.

Außerdem verbindet ein elektromagnetischer Riegel 60, der in F i g. 7 schematisch dargestellt ist, den Schwenkrahmen mit den Längsträgern 8, während sich dieser Rahmen unterhalb des Magazins 12 befindet, d. h. während der Einführung eines Halterahmens in den Schwenkrahmen und während des Metallisierungsvorganges.

Die beschriebene Vorrichtung mit Schwenkrahmen, die vorgesehen ist, um die beiden Seiten einer Tafel zu bedampfen, ermöglicht jedoch auch, nur eine Seite der Tafel zu bedampfen. Zu diesem Zweck wird jeder Halterahmen mit zwei Tafeln versehen,

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die nacheinander auf einer ihrer Seiten bedampft werden.

Fig. 10 zeigt eine Bedampfungsvorrichtung, die mit Entladungselektroden 61 versehen ist, welche unter den zu behandelnden Tafeln angeordnet sind. Um zu vermeiden, daß die Elektroden die Bewegung des Schwenkrahmens behindern, sind dieselben auf Haltern 62 befestigt, die zwischen Führungen 63 verschiebbar sind. Diese sind mit der Wand 2 des Vakuumbehälters fest verbunden und werden durch Schnecken 64 angetrieben, die über ein Untersetzungsgetriebe mit Motoren 65 gekuppelt sind, welche zwei Drehrichtungen aufweisen.

Selbstverständlich kann der Schwenkrahmen auch zur Behandlung nur einer Seite jeder Tafel dienen. Es genügt in diesem Fall, zwischen jedem Behandlungsvorgang durch den Schwenkrahmen nacheinander zwei Tafeln zu verschieben.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (15)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von Glasplatten, welche das Bedampfen einer bestimmten Anzahl dieser Platten auf einer oder auf beiden Seiten ermöglicht, dadurch gekennzeichnet, daß im Innern eines zylindrischen Vakuumbehälters (1, 2, 3, 4) angeordnet sind: Eine waagerechte, kreisförmige Laufbahn (6), eine waagerechte Trägereinrichtung (7, 8, 9, 10), die auf der Laufbahn (6) drehbar ist, Halterahmen (13), von denen jeder eine zu behandelnde bzw. behandelte Platte in waagerechter Lage trägt, zwei Magazine (12, 16), die oberhalb einer Verdampfungsquelle (5 oder 61) auf der Trägereinrichtung (7, 8, 9, 10) nebeneinander angeordnet sind und von denen jedes mit Führungen (11, 15) bzw. endlosen Ketten (30, 31) versehen ist, welche eine senkrechte Führung der übereinander angeordneten Halterahmen (13) gewährleisten, wobei das eine Magazin (12) die Halterahmen (13) mit den zu behandelnden Platten und das andere Magazin (16) die Halterahmen (13) mit jeweils einer zu behandelnden Platte sowie die bereits behandelten Platten aufnimmt, eine Einrichtung (4 bzw. 4, 30, 31, 34 und 36 bis 39) zur ' Anordnung der mit Platten beladenen Halterahmen (13) im Magazin (12), eine Einrichtung (19 bis 22 bzw. 46 bis 49) zum intermittierenden Verschieben der mit Platten beladenen Halterahmen (13), die mittels der Führungen (11) vom oberen Ende nach dem unteren Ende des einen Magazins (12) gelangen, aus dem unteren Ende des einen Magazins (12) in das untere Ende des anderen Magazins (16), sowie Einrichtungen (23, 24 bzw. 30 bis 34 und 40 bis 43), welche die mit Platten beladenen Halterahmen (13) mittels der Führungen (15) intermittierend vom unteren Ende nach dem oberen Ende des Magazins (16) ansteigen lassen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Vakuumbehälter (1) aus einer Wand (2), einem Boden (3) und einem Dekkel (4) besteht und eine Verdampfungsquelle (5) oder Elektroden (61) enthält.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- ^λ kennzeichnet, daß die Trägereinrichtung aus waagerechten Schienen (7) besteht, die auf Längsträgern (8) befestigt sind, welche mit einem Kranz (9) fest verbunden sind, der sich mittels der Rollen (10) auf einer waagerechten kreisförmigen Laufbahn (6) dreht.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Trägereinrichtung (7 bis 10) zwei Magazine (12, 16) nebeneinander angeordnet sind und daß in das eine Magazin

(12) nach Abnahme des Deckels (4) Halterahmen

(13) eingeführt werden, welche die zu bedampfenden Platten (14) aufnehmen und halten.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum intermittierenden Verschieben der mit Platten beladenen Halterahmen (13) aus dem unteren Ende des Magazins (12) in das untere Ende des Magazins (16) aus einem Stößel besteht, der in Form einer Zahnstange (19) ausgebildet ist, welche mit einem durch einen Motor (22) angetriebenen Ritzel (21) in Eingriff steht.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Magazine (12, 16) mit senkrechten Führungen (11, 15) versehen sind, welche die in den Magazinen gestapelten Halterahmen (13) bei ihrer Abwärtsbewegung oder Aufwärtsbewegung führen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Magazine (12, 16) mit Ketten (30) versehen sind, welche Ansätze (31) aufweisen, auf denen die Halterahmen (13) aufliegen, daß die Ketten (30) über Kettenräder (32) laufen, die auf in Lagern (34) gelagerten Wellen (33) befestigt sind, und daß der Antrieb der Ketten (30) durch einen Motor (36) erfolgt, der eine Welle (37) antreibt, die zwei Schnecken (38) trägt, welche mit Zahnrädern (39) in Eingriff stehen, die mit den Wellen (33) fest verbunden sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Anheben der Halterahmen (13) im Magazin (16) mittels eines Motors (40) erfolgt, der eine Welle (41) antreibt, welche eine Schnecke (42) trägt, die mit einem mit der Welle (33) fest verbundenen Zahnrad (43) in Eingriff steht.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1 zum beidseitigen Bedampfen der Platte, gekennzeichnet durch einen Schwenkrahmen (46), der einen Halterahmen (13) aufnimmt und auf einer Welle (45) gelagert ist, auf welcher ein Zahnrad (49) aufgekeilt ist, das über eine Kette (48) von einem Motor (47) angetrieben wird, so daß der Schwenkrahmen (46) vom unteren Ende des Magazins

(12) nach dem unteren Ende des Magazins (16) verschwenkt werden kann, und umgekehrt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwenkrahmen (46) eine automatische Verriegelung aufweist, die auf der oberen Seite offen und auf der unteren Seite des Rahmens geschlossen ist, wenn sich derselbe für den Eintritt oder den Austritt eines Halterahmens

(13) in waagerechter Stellung befindet, und die während der Verschwenkung des Rahmens auf beiden Seiten geschlossen ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die automatische Verriegelung aus Schiebern (50, 50') besteht, die auf beiden Seiten des Rahmens (46) parallel zur Schwenkachse (45) angeordnet sind und die mit nach dem Inneren des Rahmens (46) gerichteten Fingern (53, 53') versehen sind, sowie mit einem über den Rahmen (46) hinausgehenden Anschlag in Form einer Rolle (55), die mit Führungen (57) in Eingriff kommt, welche die Bewegungen der Schieber (50, 50') steuern.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterahmen (13) Ausnehmungen (56) aufweisen, durch welche die Finger (53) der Schieber (50) auf der Oberseite des Schwenkrahmens (46) hindurchgehen, wenn sich derselbe in der waagerechten Stellung befindet.

13. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwenkrahmen (46) mit einer elektromagnetisch gesteuerten Klinke (60) versehen ist, welche den Rahmen mit den Längs-

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trägern (8) fest verbindet, wenn sich derselbe in den. Über eine Förderstrecke werden sie über eine

waagerechter Stellung befindet. Bedampfungsstation geführt, wobei sie jedoch zu-

14. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7, 8 und nächst in den liegenden Zustand übergeführt werden, 9, gekennzeichnet durch einen Unterbrecher (59), damit der Dampf von unten her auf die entsprechender die Speisung der die Ketten (30) der Magazi- 5 den Flächen einwirken kann. Die Vorrichtung eignet ne (12, 16) betätigenden Motoren (36, 40) wäh- sich nicht zur Bearbeitung größerer Stücke. Der rend der Verschwenkung des Rahmens (46) auto- Übergang vom vertikal hängenden Zustand zum homatisch unterbricht. rizontalen Zustand und zurück ist kritisch, weil hier

15. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- Pendelbewegungen eintreten können, die die Zerstökennzeichnet, daß die Verdampfungsquellen aus io rung der Gegenstände zur Folge haben. Elektroden (61) bestehen, die mit einer Einrich- Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine tung fest verbunden sind, welche sie aus dem Vorrichtung zum Vakuumbedampfen der eingangs Weg des Schwenkrahmens (46) entfernt, und daß genannten Art anzugeben, bei der bei schonender diese Einrichtung aus an der Wand (2) befestig- Behandlung der zu bedampfenden Gegenstände ein ten senkrechten Führungen (63) besteht, in denen 15 gleichmäßiger Auftrag der Dampfschicht unter guter die Halter (62) der Elektroden verschiebbar sind, Ausnutzung der Verdampfungsquelle erfolgt. Diese wobei die Führungen (63) durch Schnecken (64) Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß angetrieben werden, die über Untersetzungsge- im Innern eines zylindrischen Vakuumbehälters antriebe mit Motoren (65) gekuppelt sind. geordnet sind:

20 Eine waagerechte kreisförmige Laufbahn, eine_y waagerechte Trägereinrichtung, die auf der Laufbahn drehbar ist, Halterahmen, von denen jeder eine zu

" behandelnde bzw. behandelte Platte in waagerechter

Lage trägt, zwei Magazine, die oberhalb einer Ver-25 dampfungsquelle auf der Trägereinrichtung neben-

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung einander angeordnet sind und von denen jedes mit zum Vakuumbedampfen von plattenförmigen Gegen- Führungen bzw. endlosen Ketten versehen ist, welche ständen, insbesondere von Glasplatten, welche das eine senkrechte Führung der übereinander angeord-Bedampfen einer bestimmten Anzahl dieser Platten neten Halterahmen gewährleisten, wobei das eine auf einer oder auf beiden Seiten ermöglicht. 30 Magazin die Halterahmen mit den zu behandelnden

Bei einer bekannten Vakuumbedampfungsanlage Platten und das andere Magazin die Halterahmen werden die zu bedampfenden Gegenstände auf Plat- mit jeweils einer zu behandelnden Platte sowie die tenteller gelegt, die zu Tellersätzen übereinanderge- bereits behandelten Platten aufnimmt, eine Einrichstapelt sind. Die Plattenteller besitzen jeweils eine tung zur Anordnung der mit Platten beladenen seitliche Ausnehmung in Form eines Sektorausschnit- 35 Halterahmen im einen Magazin, eine Einrichtung tes, durch die hindurch die Bedampfung des darüber- zum intermittierenden Verschieben der mit Platten liegenden Tellers ermöglicht wird. Infolge der beladenen Halterahmen, die mittels der Führungen zwangläufig geringen Größe der Ausnehmungen im vom oberen Ende nach dem unteren Ende des einen Verhältnis zum Durchmesser der Bedampfungskam- Magazins gelangen, aus dem unteren Ende des einen mer können nur Gegenstände mit geringen Abmes- 40 Magazins in das untere Ende des anderen Magazins sungen bearbeitet werden. Die verschiedenen Halte- sowie Einrichtungen, welche die mit Platten beladeringe, auf denen die Plattenteller und somit auch die nen Halterahmen mittels der Führungen intermittiezu bedampfenden Gegenstände aufliegen, befinden rend vom unteren Ende nach dem oberen Ende des sich in verschiedenen Abständen von der unterhalb Magazins ansteigen lassen.

des Tellersatzes angeordneten Bedampfungsquelle. 45 Hierdurch wird der Vorteil erzielt, daß sämtliche Infolgedessen werden die Gegenstände nicht alle mit Gegenstände einzeln einer gleichmäßigen intensiven gleichmäßiger Intensität bedampft. Die Anzahl der Dampfbehandlung in der Nähe der Verdampfungs-Halteringe ist deshalb beschränkt, weil sonst Unter- quelle ausgesetzt werden, wobei die Konstruktion der schiede hinsichtlich der Bedampfungsdichte bei den Vorrichtung so vorgenommen ist, daß auch größere an verschiedenen Stellen des Tellersatzes befindli- 50 Gegenstände ohne besondere Transportschwierigkeichen Gegenständen auftreten würden. ten bewegt werden können. Die einzigen innerhalb

Bei einer weiteren bekannten Bedampfungsvor- der Verdampfungskammer durchzuführenden Bewerichtung sind die zu bedampfenden Gegenstände gungen sind vertikale Verschiebungen der beiden senkrecht angeordnet. Die zu behandelnden Seiten Stapel und die horizontale Verschiebung des jeweils der Gegenstände sind daher der Einwirkung der un- 55 unteren Halterahmens von einem Magazin in das anter ihnen angeordneten Verdampfungsquelle nur in dere.

ganz geringem Maße ausgesetzt. Außerdem ist die Bei einer ersten Ausführungsform der Erfindung

Bedampfungsdichte im unteren Bereich dieser Ge- bestehen die senkrechten Führungen aus Winkeleigensätze in der Regel stärker als im oberen Bereich, sen, die auf Längsträgern angeordnet sind und die weil die Entfernung zur Verdampfungsquelle hier ge- 60 einen Stapel von übereinanderliegenden Halterahmen ringer ist. Während des selbsttätig erfolgenden festhalten. Die Halterahmen weisen an den vorderen Weitertransportes verändern sich die Abstände der und hinteren Rändern Abschrägungen auf, eine auf Gegenstände von der Verdampfungsquelle. Die auf- der Oberseite und eine auf der Unterseite jedes zutragende Schicht erhält hierdurch eine ungleichmä- Halterahmens, um die Verschiebung der Halterahßige Zusammensetzung. 65 men aus dem einen Magazin in das andere zu erleich-

Ferner ist eine Bedampfungseinrichtung bekannt, tern.

bei der die zu bedampfenden Gegenstände sich nor- Bei anderen Ausführungsformen weisen die Füh-

malerweise in senkrecht hängendem Zustand befin- rungen seitliche Organe auf, auf welchen.die Halte-