DE1234611B

DE1234611B - Vorrichtung zum Trennen einer Platte aus Germanium od. dgl. in Stuecke

Info

Publication number: DE1234611B
Application number: DEN22404A
Authority: DE
Inventors: Eric Russell Moran; Gordon Ross Jefferies
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1961-11-28
Filing date: 1962-11-26
Publication date: 1967-02-16
Also published as: GB982025A; NL134139C; CH410199A; US3167228A; DK107463C; BE625323A

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

AUSLEGESCHRIFT

Int. CL:

B28d

Deutsche Kl.: 80 d - 2

Nummer: 1234 611

Aktenzeichen: N 22404 I b/80 d

Anmeldetag: 26. November 1962

Auslegetag: 16. Februar 1967

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Trennen einer einseitig mehrere parallele Einkerbungslinien aufweisenden Platte aus Germanium, Silicium od. dgl. längs der Einkerbungslinien in Stücke.

Es ist bereits eine Vorrichtung zum Trennen einer Germaniumplatte od. dgl. in eine größere Anzahl Stücke vorgeschlagen worden, bei der die Platte z. B. einen Durchmesser von 1 cm und eine Stärke von 1 bis 2 mm hat. Hierbei wird die zu trennende Platte auf eine biegsame Unterlage aufgeklebt, die auf einen flachen nicht biegsamen Tisch gelegt wird. Die Platte wird darauf geradlinig an einer Walze mit nicht federnder Oberfläche entlang bewegt, wodurch die Platte nacheinander längs der aufeinanderfolgenden Einkerbungslinien einer Biegung unterworfen und gebrochen wird. Die getrennnten Stücke werden dabei durch die klebende, biegsame Unterlage zusammengehalten und müssen zur Ablösung erst noch einem Waschvorgang unterworfen werden, wobei dies, insbesondere im Hinblick auf die zu fordernde große Reinheit von Halbleiterbauelementen, außerordentlich nachteilig ist. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, mit der es möglich ist, die ganze Platte gleichzeitig zu brechen, ohne sie an eine Unterlage ankleben zu müssen.

Zu diesem Zweck wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß zur Aufnahme der zu trennenden Platte ein Stempel und eine Gegenstütze vorgesehen sind, von deren einander zugekehrte Oberflächen die eine Oberfläche konkav und die andere konvex ist, und daß der Stempel und die Gegenstütze aufeinander zu bewegbar sind.

Es ist vorteilhaft, wenn eine der einander zugekehrten Oberflächen des Stempels und der Gegenstütze, und zwar vorzugsweise die konvexe Oberfläche, elastisch ist, z. B. aus synthetischem Gummi besteht.

Bei einer besonderen Ausführungsform dieser Vorrichtung ist die Gegenstütze über dem in senkrechter Richtung beweglichen Stempel fest angeordnet, wobei die konkave Oberfläche der Gegenstütze unbiegsam und die Oberfläche des unterliegenden Stempels konvex und elastisch ist.

Die Erfindung wird an Hand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.

F i g. 1 ist eine Seitenansicht der Vorrichtung nach der Erfindung zum Trennen einer Platte aus Germanium od. dgl. in Stücke;

F i g. 2 zeigt einen Schnitt gemäß der Linie II-II der F ig. 1;

Vorrichtung zum Trennen einer Platte aus
Germanium od. dgl. in Stücke

Anmelder:

N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven
(Niederlande)

Vertreter:

Dipl.-Ing. H. Zoepke, Patentanwalt,
München 12, Ridlerstr. 37

Als Erfinder benannt:

Eric Russell Moran,

Gordon Ross Jefferies, Southampton

(Großbritannien)

Beanspruchte Priorität:

Großbritannien vom 28. November 1961 (42 480)

F i g. 3 ist eine schaubildliche Darstellung eines Teiles der Bauart nach F i g. 1.

Die Vorrichtung nach der Erfindung besitzt ein Gußstück 1, das durch Bolzen 3 an einer Tischplatte 2 befestigt ist. Das Gußstück 1 besteht aus einem plattenförmigen Teil 4, einem aufrecht stehenden Teil 5, einem Kopfteil 6 und einem flanschförmigen Teil 7.

Unter einer Öffnung 8 in der Tischplatte 2 ist ein Zylinder 9 angeordnet, in dem ein mit einer Kolbenstange 11 verbundener Kolben 10 beweglich ist. Der Zylinder 9 wird durch Stäbe 15 zwischen den Teilen 13 und 14 geklemmt gehalten. An dem Teil 14 ist ein Ventil 17 montiert. Der mit Schraubengewinde versehene Teil 13 reicht durch eine Öffnung im plattenförmigen Teil 4 hindurch. Der Zylinder 9 ist gegenüber dem Gußstück 1 durch eine Mutter 19 fixiert.

Das Ende 23 der Kolbenstange 11 ist gleichfalls mit Schraubengewinde versehen, auf das ein Stahlteil 26 geschraubt ist. Der Teil 26 ist mittels einer Mutter 25 an der Stange 11 befestigt. In das Ende 23 der Stange 11 ist hochkantig ein Bolzen 27 eingeschraubt. Um diesen Bolzen herum ist ein Stempel 28 aus elastischem synthetischem Gummi gegossen. Die Oberfläche 29 des Stempels 28 hat eine konvexe Gestalt.

709 509/23

Ein fest angeordneter Teil 31, der eine konkave Oberfläche 32 aufweist, deren Krümmung etwa gleich der der konvexen Oberfläche 29 ist, ist am Kopfteil 6 mit durch Öffnungen 34 im Kopfteil 6 reichenden Schrauben 33 befestigt.

Eine Abschirmkappe 36 ist am Gußstück 1 um Wellen 37 schwenkbar befestigt und besitzt eine mit Seitenplatten 39, 40 versehene Scheibe 38. An der Scheibe 38 ist ein Handgriff 41 befestigt. An der Seitenplatte 40 (39) ist eine weitere Platte 42 (47) befestigt. Ein Teil der Platte 42 ist als Arm 43 geformt, an dem ein Ende einer Zugfeder 44 befestigt ist. Das andere Ende dieser Feder greift hinter die Wand der in der Verdickung 45 vorhandenen Öffnung. An der Platte 47 ist ein einstellbarer Stift 48 montiert.

Ein Ventil 49, das an eine Preßluftzufuhr 51 angeschlossen ist, ist auf dem in F i g. 3 mit 50 bezeichneten Vorsprung des Gußstücks 1 montiert und kann mit dem Stift 48 zusammenwirken. Mittels des Ventils 49 kann die Preßluftzufuhr zum Ventil 17 und demnach zur unteren Seite des Kolbens 10 hergestellt werden.

Die Wirkungsweise ist wie folgt: Es wird von einem Zustand ausgegangen, in dem die Oberflächen 32 und 29 auseinanderbewegt sind. Auf die elastische Oberfläche 29, deren Krümmungsradius in Wirklichkeit größer als der dargestellte ist, wird eine Platte aus Germanium oder Silicium, also aus sprödem Material, aufgelegt. Dabei muß diejenige Seite der Platte, in der vorher zwei Reihen sich unter etwa 90° schneidender paralleler Einkerbungslinien vorgesehen wurden, der konkaven Oberfläche 32 zugekehrt sein.

Durch Herabdrücken des Handgriffs 41 wird der Stift 48 gemäß der gestrichelten Linie bewegt und kann dann in seiner Endlage mit dem Ventil 49 zusammenwirken. In dieser Lage befinden sich die Seitenplatten 40 und 39 seitlich der Oberflächen 29 und 32. Der Stift 48 betätigt dann das Ventil 49, wodurch Preßluft von z. B. 2 bis 6 atü über das Ventil 17 zur Unterseite des Kolbens 10 zutreten kann. Dadurch wird die Kolbenstange mit dem Stempel 28 heraufbewegt. Die in Stücke zu trennende Germaniumplatte, welche gleichfalls transportiert wird, gelangt infolge dieser Bewegung an die konkave Oberfläche 32, welche als Gegenstütze für den Stempel wirksam ist. Am Ende dieser Bewegung wird die Platte einer Biegung unterworfen.

Da der Stempel 28 aus synthetischem Gummi besteht und also elastisch ist, wird die Oberfläche 29 bei der Bewegung der Oberflächen 29 und 32 aufeinander zu verformt, wobei Biegemomente um sämtliche Einkerbungslinien herum auftreten. Diese bewirken, daß die Platte aus Germanium od. dgl. längs der Einkerbungslinien bricht. Am Ende der Aufwärtsbewegung des Stempels 28 zur Gegenstütze 31 ist die dann in Stücke gebrochene Platte zwischen den erwähnten Oberflächen eingeklemmt.

Durch Loslassen des Handgriffs kann sich die Feder 44 entspannen, und die Abschirmkappe wird in ihre ursprüngliche (dargestellte) Lage zurückbewegt.

ίο Der Stift 48 ist dann wieder von dem Ventil 49 entfernt. Das Ventil 49 ist derart ausgebildet, daß nach diesem Entfernen der Druck unterhalb des Kolbens wegfällt und der Stempel 28 unter dem Einfluß seines Eigengewichtes herabsinkt. Dieses Herabsinken kann auch mittels einer über dem Kolben angeordneten Druckfeder bewirkt werden, die sich entspannt, wenn der Überdruck der Preßluft unterhalb des Kolbens wegfällt.

Die in Stücke gebrochene Platte, die beim Herabbewegen des Kolbens auf der Oberseite des Stempels liegengeblieben ist, kann von Hand entfernt werden. Auch können die Stücke in seitlicher Richtung zu einem Behälter weggeblasen werden.

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Trennen einer einseitig mehrere parallele Einkerbungslinien aufweisenden Platte aus Germanium, Silicium od. dgl. längs der Einkerbungslinien in Stücke, dadurch gekennzeichnet, daß ein Stempel (28) und eine Gegenstütze (31) vorgesehen sind, von deren einander zugekehrte Oberflächen (29, 32) die eine Oberfläche konkav und die andere konvex ist, und daß der Stempel (28) und die Gegenstütze (31) aufeinander zu bewegbar sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine der einander zugekehrten Oberflächen des Stempels und der Gegenstütze elastisch ist, z. B. aus synthetischem Gummi besteht.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstütze (31) über dem vorzugsweise pneumatisch beweglichen Stempel (28) fest angeordnet ist, wobei die Oberfläche (32) der Gegenstütze konkav und unbiegsam und die Stempeloberfläche (29) konvex und elastisch ist.

In Betracht gezogene Druckschriften:

Deutsche Auslegeschrift Nr. 1 212 848;
britische Patentschrift Nr. 852 003;
USA.-Patentschrift Nr. 2 968 866.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen