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Technisches Gebiet
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Die
Erfindung bezieht sich auf ein Schaltgerät und ein Verfahren
zu dessen Herstellung, genauer gesagt auf ein Schaltgerät,
welches ein Vakuumventil enthält, wobei die äußere
Umfangsoberfläche von einem Vakuumbehälter mit
einem Kunstharz gegossen ist, und auf ein Verfahren zu dessen Herstellung,
und sie bezieht sich insbesondere auf eine Wärmeentspannung
und Elektrofeldentspannung, welche die Auftritte von Brüchen,
Teilentladungen, usw. aufhalten, welche sich im Kunstharzguss entwickeln,
wenn dieser Guss eine Temperaturänderung durchläuft.
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Stand der Technik
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Ein
Vakuumventil stellt seine Isolierleistung auf eine solche Art und
Weise sicher, indem die äußere Umfangsoberfläche
von einem Vakuumbehälter, welcher innerhalb liegend eine
bewegbare Elektrode und eine stationäre Elektrode hat,
mit einem Kunstharz gegossen ist, beispielsweise ein Epoxydharz,
welches ein Außenumfangsisolator ist (im Folgenden als „Kunstharzguss"
bezeichnet).
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Im
Allgemeinen werden in der Praxis Wärmeentspannungsteile
an lediglich erforderliche Teile, das heißt Teile, welche
eine Wärmeentspannung erfordern, angelegt, jedoch nicht
an die weitere Außenumfangsoberfläche von einem
Vakuumbehälter 1A (s. beispielsweise Patentdokument
1).
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Die
Kennzeichen 3B in 8 von Patentdokument
1 zeigen ein Raumtemperatur-Vulkanisationstyp-Silikonkautschuk [im
Folgenden als „RTV(Raumtemperatur-Vulkanisation)-Kautschuk" bezeichnet]
an, welcher gleich den Entspannungsteilen ist, welche als Beschichtungen
angelegt werden, um somit jeweils die Wärmespannungskonzentrationsteile 2C abzudecken,
welche die Teile von der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 1A sind, welche die Wärmeentspannung
erfordern. Im Übrigen sind Metallflansche 2a,
welche beide Enden von einem Vakuumbehälter 2 blockieren,
und eine Keramik-Isolierröhre 2b, welche den Körperabschnitt von
dem Vakuumbehälter 2 ausbildet, angeordnet.
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Der
RTV-Kautschuk oder dergleichen ist ein flüssiger oder viskoser
Kautschuk, welcher als Beschichtungen an die Wärmespannungskonzentrationsteile 2c,
welche die Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 umgeben,
in geeigneten Dicken angelegt wird und dann vulkanisiert wird. Da der
Beschichtungsbetrieb mit genauester Achtsamkeit durchgeführt
werden muss, um keine Luftblasen, welche Teilentladungen bewirken,
in den RTV-Kautschuk einzubeziehen, wurden viel Arbeit und viel
Zeit bei der Durchführung der Wärmeentspannungsteile aufgewendet.
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Daneben
unterscheidet sich der RTV-Kautschuk in seinem Wärmeausdehnungskoeffizienten von
dem Epoxydharz oder dergleichen, welcher die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter isoliert. Es wird daher angenommen,
dass, wenn der Vakuumbehälter eine normale Temperatur von
etwa 20°C annimmt, nachdem er bei einer hohen Temperatur,
welche 100°C übersteigt, gegossen wurde, Spalten
zwischen dem RTV-Kautschuk und dem Epoxydharz auftreten werden,
welche Ursachen für Teilentladungen ausbilden.
- Patentdokument
1: JP-A-2002-358861 (8)
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Beschreibung von der Erfindung
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Probleme, welche durch die Erfindung zu
lösen sind
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Diese
Erfindung dient dazu, um die oben erwähnten zahlreichen
Probleme zu lösen, und ein Schaltgerät, welches
ein Vakuumventil enthält, welches Teilentladungen unfehlbar
verhindert, und welches eine hohe Zuverlässigkeit hat,
und ein Verfahren zu dessen Herstellung zu erlangen.
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Mittel zum Lösen
der Probleme
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Ein
Schaltgerät gemäß dieser Erfindung enthält
ein Vakuumventil, in welchem eine Mehrzahl von Elektroden, welche
in Relation zueinander bewegbar sind, innerhalb eines Vakuumbehälters
angeordnet sind, welcher ein Leitteil und ein Isolierteil enthält, und
bei welchem ein Kunstharzguss auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter angelegt ist, wobei ein ringförmiges
elektrostatisches Abschirmteil, welches sich in seiner radialen
Richtung zusammenzieht, an einer Außenumfangsoberfläche von
dem Vakuumbehälter fixiert ist, um somit ein Elektrofeld
von einem Teil des Vakuumbehälters, welches eine Elektrofeldentspannung
erfordert, zu entspannen.
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Vorteile von der Erfindung
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Gemäß dieser
Erfindung ist es möglich, ein Schaltgerät, welches
ein Vakuumventil enthält, welches Teilentladungen unfehlbar
verhindert, und dessen Zuverlässigkeit hoch ist, und ein
Verfahren zu dessen Herstellung zu erlangen.
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Diese
Erfindung kann zur Wärmeentspannung, um das Auftreten von
Brüchen von einem Kunstharzguss aufzuhalten, und zur Elektrofeldentspannung,
um die Auftritte von Entladungen aufzuhalten, verwendet werden.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine teilweise freigeschnittene Schnittansicht, welche den Aufbau
von einem Schaltgerät, welches ein Vakuumventil enthält,
in einer Ausführungsform 1 gemäß dieser
Erfindung anzeigt.
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2 zeigt eine Perspektivansicht, eine Schnittansicht
und eine Draufsicht von einem Abschirmteil in Ausführungsform
1 gemäß dieser Erfindung an.
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3 ist
eine teilweise freigeschnittene Schnittansicht, welche den Aufbau
von einem Schaltgerät, welches ein Vakuumventil enthält,
in einer Ausführungsform 2 gemäß dieser
Erfindung anzeigt.
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Bester Modus zur Durchführung
der Erfindung
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Ausführungsform 1:
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Eine
Ausführungsform 1 gemäß dieser Erfindung
wird in Verbindung mit 1 und 2 beschrieben. 1 ist
eine teilweise freigeschnittene Schnittansicht, welche den Aufbau
von einem Schaltgerät, welches ein Vakuumventil enthält,
in Ausführungsform 1 anzeigt. 2 zeigt
eine Perspektivansicht, eine Schnittansicht und eine teilweise vergrößerte Draufsicht
an, welche den Aufbau von einem Abschirmteil in Ausführungsform
1 zeigt. 2(a) zeigt die Perspektivansicht
an, 2(b) zeigt die Schnittansicht
an, welche entlang einer Linie B-B in 2(a) genommen
ist, und 2(c) zeigt die teilweise vergrößerte
Draufsicht an.
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Bezug
nehmend auf 1 ist das Vakuumventil 1 aufgebaut
aus einer stationären Elektrode 1a und einer bewegbaren
Elektrode 1b, einem Vakuumbehälter 2,
welcher Metallflansche 2a, eine Metallröhre 2e und
Keramik-Isolierröhren 2b enthält, und welcher
die Elektroden 1a und 1b darin unterbringt, und
einem Kunstharzguss 3, welcher ein Außenumfangsisolator
ist, welcher die Außenumfangsoberfläche von dem
Vakuumbehälter 2 bedeckt. Ein Bezugszeichen 21c kennzeichnet
das Wärmebelastungskonzentrationsteil von dem Vakuumbehälter 2, und
ein Kennzeichen 21d kennzeichnet das Elektrofeldkonzentrationsteil
von dem Vakuumbehälter 2.
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Das
Kantenteil 21d, welches in die Außenumfangsrichtung
von dem Vakuumbehälter 2 vorsteht, existiert beispielsweise
als das Teil von der Außenumfangsoberfläche von
dem Vakuumbehälter 2 entsprechend jener Position
von dem Kunstharzguss 3, bei welcher angenommen wird, dass
sie ein hohes Elektrofeld aufgrund von einer Elektrofeldkonzentration
einnimmt und eine Teilentladung oder einen ähnlichen Nachteil
auf sich nimmt, das heißt, ein Teil, welches eine Elektrofeldentspannung
erfordert.
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Um
die Elektrofelder von solchen Teilen zu entspannen, welche die Elektrofeldentspannung
erfordern, werden spulenförmige Metallabschirmungen 4a,
in welche jeweils ein spulenförmiger Metalldraht in eine
ringförmige Form gebracht ist, an den Außenumfangsoberflächen
von den Metallflanschen 2a in der Nähe zu den
Verbindungsteilen zwischen diesen Metallflanschen 2a und
den entsprechenden Isolierröhren 2b und von der
Metallröhre 2e in der Nähe von den Verbindungsteilen
zwischen dieser Metallröhre 2e und den Isolierröhren 2b fixiert.
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Die
spulenförmige Metallabschirmung 4a ist dergestalt,
dass ein Spulenelement, welches einen Spulenaußendurchmesser
hat, welcher gleich 1/10 Teil des Außendurchmessers von
jedem von beiden Endteilen im Vakuumbehälter 2 entspricht,
welcher aus den Metallflanschen 2a, der Metallröhre 2e und den
Keramik-Isolierröhren 2b aufgebaut ist, aus dem vergleichsweise
feinen Metalldraht ausgebildet ist, und dass das Spulenelement in
einem Ringteil ausgebildet ist, welches einen Innendurchmesser hat, welcher
kleiner als der Außendurchmesser von jedem von beiden Endteilen
in den Vakuumbehälter 2 ist, welcher die Metallflansche 2a in
dem spannungsfreien Zustand davon enthält. Mit einer wie
in 1 und 2(b) angezeigten
Schnittansicht und der in 2(c) angezeigten
vergrößerten Draufsicht, wird die spulenförmige
Metallabschirmung 4a, welche derart ausgebildet ist, auf
den Metallflansch 2a aufgesetzt und damit verbunden, welcher
den Vakuumbehälter 2 bildet, und zwar in einem
Zustand, wo er im Allgemeinen in einer Richtung senkrecht zur Zeichnungsebene
von 1 angeordnet ist. Die Anpassung der spulenförmigen
Metallabschirmung 4a auf dem Metallflansch 2a wird
auf eine solche Art und Weise durchgeführt, dass diese
spiralförmige Metallabschirmung 4a gegen eine
elastische Kraft in die Richtung einer radialen Vergrößerung
derer gezogen wird, wodurch der Innendurchmesser von dieser spulenförmigen
Metallabschirmung 4a größer erstellt wird
als der Außendurchmesser von dem Metallflansch 2a,
welcher den Vakuumbehälter 2 bildet. Die spulenförmige
Metallabschirmung 4a, welche auf den Metallflansch 2a eingesetzt
ist, wird in Druckhaltung zu der Außenumfangsoberfläche
von dem Metallflansch 2a, welcher den Vakuumbehälter 2 bildet, und über
ihren gesamten Umfang durch die Zusammenziehkraft davon gehalten.
Zusätzlich ist die spiralförmige Metallabschirmung 4a elektrisch
mit dem Metallflansch 2a gekoppelt.
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Die
spulenförmige Metallabschirmung 4a ist derart
angeordnet, dass sie in die Außenumfangsrichtung von dem
Vakuumbehälter 2 jenseits des Kantenteils 21d,
welches in die Außenumfangsrichtung vorsteht, vorragt,
und diese spiralförmige Metallabschirmung 4a und
der Metallflansch 2a sind elektrisch verbunden, wobei das
Elektrofeld von dem Kantenteil 21d entspannt werden kann,
und das Auftreten von der Teilentladung unterdrückt werden kann.
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Zudem
werden an den Teilen, welche die Elektrofeldentspannung erfordern,
welche an den Kantenteilen 21d ausgebildet sind, und um
die Elektrofelder um diese Teile herum zu entspannen, spulenförmige
Metallabschirmungen 4b, in welche jeweils ein spulenförmiger
Metalldraht in einer ringförmigen Form eingebracht ist,
an den Außenumfangsoberflächen von den Isolierröhren 2b in
der Nähe zu den Verbindungsteilen zwischen den Metallflanschen 2a und
diesen Isolierröhren 2b und von den Isolierröhren 2b in
der Nähe zu den Verbindungsteilen zwischen dieser Metallröhre 2e und
diesen Isolierröhren 2b fixiert.
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Ebenso
wie bei der spulenförmigen Metallabschirmung 4a,
ist die spulenförmige Metallabschirmung 4b dergestalt,
dass ein Spulenelement, welches einen Spulenaußendurchmesser
hat, welcher etwa 1/10 Teil des Außendurchmessers von jedem von
den Zwischenteilen in dem Vakuumbehälter 2 entspricht,
welcher die Isolierröhren 2b enthält,
aus dem vergleichsweise feinen Metalldraht ausgebildet ist, und
dass das Spulenelement zu einem ringförmigen Teil ausgebildet
ist, welches einen Innendurchmesser hat, welcher kleiner als der
Außendurchmesser von jedem von den Zwischenteilen in dem
Vakuumbehälter 2 ist, welcher die Isolierröhren 2b im spannungsfreien
Zustand davon enthält. Wie in der in 1 angezeigten
Schnittansicht angezeigt, ist die spulenförmige Metallabschirmung 4b,
welche derart ausgebildet ist, auf die Isolierröhre 2b,
welche den Vakuumbehälter 2 bildet, aufgesetzt
und verbunden, und zwar in einem Zustand, wo sie im Allgemeinen
in einer Richtung senkrecht zur Zeichenebene von 1 angeordnet
ist. Das Aufsetzen von der spulenförmigen Metallabschirmung 4b auf
die Isolierröhre 2b wird auf eine solche Art und
Weise durchgeführt, dass diese spulenförmige Metallabschirmung 4b gegen
eine elastische Kraft in Richtung einer radialen Vergrößerung
derer gezogen wird, wodurch der Innendurchmesser von dieser spulenförmigen
Metallabschirmung 4b größer erstellt
wird als der Außendurchmesser von der Isolierröhre 2b,
welche den Vakuumbehälter bildet. Die spulenförmige
Metallabschirmung 4b, welche auf die Isolierröhre 2b aufgesetzt
ist, wird in einer Druckberührung mit der Außenumfangsoberfläche
von der Isolierröhre 2b, welche den Vakuumbehälter 2 bildet,
und über seinen gesamten Umfang durch die Zusammenziehkraft
davon gehalten. Zusätzlich ist die spulenförmige
Metallabschirmung 4b elektrisch mit der Metallröhre 2e gekoppelt.
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Die
spulenförmige Metallabschirmung 4b ist derart
angeordnet, so dass sie in die Außenumfangsrichtung von
dem Vakuumbehälter 2 jenseits des Kantenteils 21d,
welcher in die Außenumfangsrichtung vorsteht, vorragt,
und wobei diese spulenförmige Metallabschirmung 4b und
der Metallflansch 2a elektrisch verbunden sind, wobei das
Elektrofeld um das Kantenteil 21d, welches das Teil ist,
welches eine Elektrofeldentspannung erfordert, weiter entspannt werden
kann, und das Auftreten von der Teilentladung aufgehalten werden
kann.
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Zusätzlich
zu dem Obigen, existiert das Kantenteil 21c, welches in
die Außenumfangsrichtung von dem Vakuumbehälter 2 vorragt,
beispielsweise als jenes Teil von der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 entsprechend jener Position von
dem Kunstharzguss 3, bei welcher angenommen wird, dass
sie einen Bruch oder einen derartigen Nachteil aufgrund von einer
Wärmespannungskonzentration, das heißt, ein Teil,
welches die Wärmeentspannung erfordert, erleidet. Um die
Wärmespannungen zu entspannen, werden solche Teile, welche die
Wärmeentspannung erfordern, mit einem RTV-Kautschuk 5 beschichtet,
welcher Wärmeentspannungsteile ausbildet, woraufhin die
spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b fixiert
werden.
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Der
RTV-Kautschuk 5 wird als Beschichtungen angelegt, wobei
die Brüche oder ähnliche Nachteile durch die Wärmeentspannung
von dem Kunstharzguss 3 verhindert werden können,
und die spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b werden angeordnet
und werden elektrisch mit den Metallflanschen 2a verbunden,
wobei sogar in einem Fall, bei welchem Spalten zwischen dem RTV-Kautschuk 5 und
dem Kunstharzguss 3 auftreten, die Elektrofelder von den
Teilen um die Kantenteile 21d und den Spaltenteilen, welche
die Teile ausbilden, welche die Elektrofeldentspannung erfordern,
entspannt werden können, und die Auftritte von den Teilentladungen aufgehalten
werden können.
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Ferner
existiert das Kantenteil 21c, welches in die Außenumfangsrichtung
von dem Vakuumbehälter 2 vorragt, beispielsweise
als das Teil von der Außenumfangsoberfläche von
dem Vakuumbehälter 2 entsprechend jener Position
von dem Kunstharzguss 3, bei welcher angenommen wird, dass
sie den Bruch oder einen ähnlichen Nachteil aufgrund der Wärmespannungskonzentration,
das heißt ein Teil, welches die Wärmeentspannung
erfordert, erleidet. Um die Wärmespannungen zu entspannen,
werden solche Teile, welche die Wärmeentspannung erfordern,
mit dem RTV-Kautschuk 5 beschichtet, welcher die Wärmeentspannungsteile
ausbildet, woraufhin die spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b vor
der Vulkanisierung von dem RTV-Kautschuk 5 auf eine solche
Art und Weise fixiert werden, so dass Teile von diesen spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b in den RTV-Kautschuk 5 eingebettet
sind.
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Der
RTV-Kautschuk 5 wird als Beschichtungen angelegt, wobei
eine Wirkung erlangt wird, welche, bezogen auf die Verhinderung
von den Brüchen oder ähnlichen Nachteilen durch
die Wärmebelastungsentspannung von dem Kunstharzguss 3 äquivalent
ist, erzielt wird, und die gewickelten Metallabschirmungen 4a und 4b werden
noch näher an den Kantenteilen 21d angeordnet
und werden elektrisch mit den Metallflanschen 2a verbunden,
wobei eine Wirkung erzielt wird, welche, bezogen auf die Elektrofeldentspannung
von den Spaltenteilen äquivalent ist, und im Übrigen
können die Elektrofelder um die Kantenteile 21d,
welche die Teile sind, welche die Elektrofeldentspannung erfordern,
noch mehr entspannt werden, und können die Auftritte von
den Teilentladungen aufgehalten werden.
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Im Übrigen
ist der RTV-Kautschuk 5 als ein bedruckbarer Typ eingestellt,
welcher ein Bedrucken bzw. Bemalen auf die Oberfläche von
dem RTV-Kautschuk 5 nach der Vulkanisation davon erlaubt,
und wird ein leitfähiges oder halbleitfähiges
Beschichtungsmaterial 6, mit welchem eine stärkere
Klebekraft für das Epoxyd als bei dem RTV-Kautschuk erzielt
wird, auf zumindest jene Teile von den Außenumfangsoberflächen
von dem RTV-Kautschuk 5 angelegt, welches mit den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b nach der Vulkanisation
in Kontakt tritt, um mit den Außenumfangsoberflächen von
den Metallflanschen 2a in Kontakt zu treten.
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Das
leitfähige oder halbleitfähige Beschichtungsmaterial 6 wird
als Beschichtungen angelegt, wobei sogar in dem Fall, bei welchem
die Spalten zwischen dem RTV-Kautschuk 5 und dem Kunstharzguss 3 auftraten,
das Beschichtungsmaterial 6, welches derart angelegt ist,
um mit den Außenumfangsoberflächen von den Metallflanschen 2a in
Kontakt zu treten, auf der Seite von dem Kunstharzguss 3 anhaftet,
so dass die Elektrofelder von den Spaltenteilen entspannt werden
können, und die Auftritte von den Teilentladungen aufgehalten
werden können.
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Andererseits
besteht das Kantenteil 21c, welches beispielsweise in die
Außenumfangsrichtung von dem Vakuumbehälter 2 vorragt,
als jenes Teil von der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 entsprechend jener Position
von dem Kunstharzguss 3, bei welchem angenommen wird, dass
bei ihm der Bruch oder ein ähnlicher Nachteil aufgrund
der Wärmespannungskonzentration, das heißt jener
Teil, welcher die Wärmeentspannung erfordert, auftritt.
Um Wärmespannungen an solchen Teilen, welche die Wärmeentspannung
erfordern, zu entspannen, werden die Verbindungsteile zwischen den
Metallflanschen 2a und den Isolierröhren 2b mit dem
RTV-Kautschuk 5 von dem bedruckbaren Typ beschichtet, welcher
das Bedrucken auf der Oberfläche von diesem RTV-Kautschuk 5 nach
der Vulkanisierung davon und nach der Vulkanisierung von dem RTV-Kautschuk 5 erlaubt,
wobei die Außenumfangsoberflächen von dem RTV-Kautschuk 5 von
dem bedruckbaren Typ mit einem Verbindungsmittel 5 beschichtet
werden, welches den RTV-Kautschuk 5 und den Epoxydharzguss 3 verbindet,
um somit mit den Außenumfangsoberflächen von den
Isolierröhren 2b in Kontakt zu treten.
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Die
Wärmespannungen von den Kantenteilen 2c, welche
in die Außenumfangsrichtung von dem Vakuumbehälter 2 vorragen,
und welche die Teile, welche die Wärmeentspannung erfordern,
ausbilden, werden durch den RTV-Kautschuk 5 entspannt, wodurch
die Brüche oder ähnliche Nachteile verhindert
werden, und der RTV-Kautschuk 5 und der Kunstharzguss 3 werden
durch das Kopplungsmittel 7 verbunden, wodurch das Auftreten
von den Spalten, welche den Grund von den Teilentladungen zwischen
dem RTV-Kautschuk 5 und dem Kunstharzguss 3 bewirken,
aufgehalten werden kann.
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Im Übrigen,
obwohl der Aspekt, bei welchem die Metallabschirmungen 4a und 4b als
elektrostatische Abschirmteile angeordnet sind, in 1 und 2 dargestellt wurde, können die
elektrostatischen Abschirmteile aus ringförmigen Teilen
erstellt sein, wobei jedes davon eine elektrische Leitfähigkeit
hat, und jedes davon sich in die Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst
zusammenzieht. Jedes gewünschte Mittel kann verwendet werden,
sofern es den Metallabschirmungen 4a und 4b äquivalent
ist, solange es ein ringförmiges Teil ist, welches in Radialrichtung und
Umfangsrichtung ausdehnbar und zusammenziehbar ist, wie beispielsweise
(a) ein leitfähiger Kunststoff, (b) eine gewellte Platte
bzw. ein gewellter Draht (ausgebildet aus einem Metallstreifen,
einem Metalldraht oder leitfähigen Kunststoffen) oder (c)
ein C-förmiger Ringstreifenmetalldraht, welcher einen bestimmten
Stumpfspalt hat.
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Gemäß der
Ausführungsform 1 gemäß von dieser Erfindung,
enthält ein Schaltgerät ein Vakuumventil 1,
wobei eine Mehrzahl von Elektroden 1a und 1b,
welche in Relation zueinander bewegbar sind, innerhalb eines Vakuumbehälters 2 angeordnet
sind, welcher durch ein leitfähiges Teil, welches einen
Metallflansch 2a und eine Metallröhre 2e enthält,
und ein Isolierteil, welches eine Isolierröhre 2b enthält,
gebildet ist, und wobei ein Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt ist; ringförmige
elektrostatische Abschirmteile, welche elektrisch leitfähig
sind und sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst
zusammenziehen, wobei sie aus spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet
sind, wobei in jede davon ein spulenförmiger Metalldraht
in einer ringförmigen Form oder dergleichen eingebracht
ist, wobei sie an der Außenumfangsoberfläche von
dem Vakuumbehälter 2 beibehalten sind, um somit
die Elektrofelder von den Teilen 21d, welche eine Elektrofeldentspannung
erfordern, von dem Vakuumbehälter 2 entspannen.
Es ist daher möglich, ein Schaltgerät zu erlangen,
welches das Vakuumventil 1 enthält, welches Teilentladungen
unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit hoch ist,
und zwar aufgrund der ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile,
welche elektrisch leitfähig sind und sich in Radialrichtung
von dem Vakuumbehälter 1 selbst zusammenziehen,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, welche an der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 beibehalten sind.
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Genauer
gesagt, ist das Schaltgerät derart aufgebaut, indem es
das Vakuumventil 1, bei welchem die stationäre
Elektrode 1a und die bewegbare Elektrode 1b innerhalb
des Vakuumbehälters 2 angeordnet sind, enthält,
in welchem der Metallflansch 2a, die Metallröhre 2e und
die Isolierröhre 2b verbunden sind, und wobei
der Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt ist, dadurch
gekennzeichnet, dass die ringförmigen elektrostatischen
Abschirmteile elektrisch leitfähig sind und sich in Radialrichtung
von dem Vakuumbehälter 1 selbst zusammenziehen,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet
sind, wobei in jede davon der spulenförmige Metalldraht
in der ringförmigen Form oder dergleichen eingebracht ist,
wobei sie an den Außenumfangsoberflächen von den
Verbindungsteilen zwischen dem Metallflansch 2a und der
Isolierröhre 2b und zwischen der Metallröhre 2e und
der Isolierröhre 2b und in der Nähe von
den Verbindungsteilen zwischen dem Metallflansch 2a und
der Isolierröhre 2d und zwischen der Metallröhre 2e und
der Isolierröhre 2b, an den Außenumfangsoberflächen
von dem Metallflansch 2a und der Metallröhre 2e beibehalten werden,
und wobei der Kunstharzguss 3 danach an der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt wird.
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Demgemäß werden
die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile, welche
elektrisch leitfähig sind und sich in Radialrichtung von
dem Vakuumbehälter 1 selbst zusammenziehen, wobei
sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, angeordnet, und werden sie elektrisch
mit dem Metallflansch 2a verbunden, wobei die Elektrofelder
von den Kantenteilen 21d entspannt werden können,
und die Auftritte von den Teilentladungen aufgehalten werden können.
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(1B)
Gemäß der Ausführungsform 1 gemäß der
Erfindung sind in dem Aufbau des obigen Gegenstandes (1A) die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile elektrisch leitfähig und
ziehen sich in Radialrichtung von dem Vakuumbehälter 1 selbst
zusammen, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet
sind, wobei in jede davon der spulenförmige Metalldraht
in ringförmiger Form oder dergleichen eingebracht ist,
wobei sie an der Außenumfangsoberfläche von dem
Vakuumbehälter 2 durch die Zusammenziehkräfte
von den ringförmigen elektrostatischen Abschirmteilen verbunden
werden, welche elektrisch leitfähig sind und sich in Radialrichtung
von dem Vakuumventil 1 selbst zusammenziehen, wobei sie
aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet
sind, welche in Druckkontakt mit der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 oder dergleichen beibehalten
werden. Es ist daher möglich, ein Schaltgerät
zu erlangen, welches das Vakuumventil 1 enthält,
welches die Teilentladungen unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit
hoch ist, und zwar aufgrund der spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b,
welche in Druckkontakt mit der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 beibehalten werden.
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Genauer
gesagt, ist in dem Vakuumventil 1, welches in dem obigen
Gegenstand (1A) bestimmt ist, das Schaltgerät derart aufgebaut,
dass es das Vakuumventil 1 enthält, dadurch gekennzeichnet,
dass die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile elektrisch
leitfähig sind und sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst
zusammenziehen, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet
sind, wobei in jede davon der Metalldraht derart aufgespult ist,
so dass er einen Innendurchmesser hat, welcher größer
als der Außendurchmesser von der Isolierröhre 2b ist,
wobei er in die ringförmige Form oder dergleichen gebracht
wird, wobei sie in Druckkontakt mit der Umgebung von den Verbindungsteilen
zwischen dem Metallflansch 2a und der Isolierröhre 2b und
zwischen der Metallröhre 2e und der Isolierröhre 2b an
der Außenumfangsoberfläche von der Isolierröhre 2b beibehalten
werden, wobei die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile
elektrisch leitfähig sind und sich in Radialrichtung von
dem Vakuumventil 1 selbst wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet sind,
welche in der Nähe von den Verbindungsteilen zwischen dem
Metallflansch 2a und der Isolierröhre 2b und
zwischen der Metallröhre 2e und der Isolierröhre 2d,
an den Außenumfangsoberflächen von dem Metallflansch 2a und
der Metallröhre 2e oder dergleichen beibehalten
werden, wobei sie elektrisch verbunden sind, und wobei der Kunstharzguss 3 danach
an der Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 angelegt
wird.
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Demgemäß sind
die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile elektrisch
leitfähig und ziehen sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst zusammen,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, wobei sie in Druckkontakt mit den
Verbindungsteilen zwischen dem Metallflansch 2a und der
Isolierröhre 2b und zwischen der Metallröhre 2e und
der Isolierröhre 2b, an der Außenumfangsoberfläche
von der Isolierröhre 2b beibehalten werden, wodurch
die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile angeordnet
werden, welche elektrisch leitfähig sind und sich in Radialrichtung
von dem Vakuumventil 1 selbst zusammenziehen, wobei sie
aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, und wobei sie elektrisch mit dem Metallflansch 2a verbunden
werden, wobei die Elektrofelder von den Kantenteilen 21d entspannt
werden können, und die Auftritte von den Teilentladungen
aufgehalten werden können.
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(1C)
Gemäß Ausführungsform 1 gemäß dieser
Erfindung, in dem Aufbau des obigen Gegenstandes (1A) oder des obigen
Gegenstandes (1B), sind die ringförmigen elektrostatischen
Abschirmteile elektrisch leitfähig und ziehen sich in Radialrichtung von
dem Vakuumventil 1 selbst zusammen, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
ausgebildet sind, wobei sie an den Silikonkautschukteilen beibehalten
werden, welche aus einem RTV-Kautschuk 5 ausgebildet sind,
welches um die Verbindungsteile zwischen dem leitfähigen
Teil, welches den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält,
und dem Isolierteil, welches die Isolierröhre 2b enthält,
vulkanisiert und geschmolzen ist. Es ist daher möglich,
ein Schaltgerät zu erlangen, welches das Vakuumventil 1 enthält, welches
die Teilentladungen unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit
hoch ist, und zwar aufgrund der ringförmigen elektrostatischen
Abschirmteile, welche elektrisch leitfähig sind und welche
sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst zusammenziehen,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet
sind, welche an dem Silikonkautschukteilen beibehalten sind, welche
aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt sind, welches um die Verbindungsteile
zwischen dem leitfähigen Teil, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, und dem Isolierteil,
welches die Isolierröhre 2b enthält,
an der Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 oder
dergleichen vulkanisiert und gegossen ist.
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Genauer
gesagt, ist das Schaltgerät derart aufgebaut, dass es das
Vakuumventil 1 enthält, welches im obigen Gegenstand
(1A) oder im obigen Gegenstand (1B) bestimmt ist, dadurch gekennzeichnet,
dass, nachdem der RTV-Kautschuk 5 als Beschichtungen um
die Verbindungsteile zwischen dem Metallflansch 2a und
der Isolierröhre 2b und zwischen der Metallröhre 2e und
der Isolierröhre 2b angelegt wurde, die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile elektrisch leitfähig sind,
und sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst
zusammenziehen, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, wobei sie nach dem Vulkanisieren von dem
RTV-Kautschuk 5 beibehalten werden, und wobei der Kunstharzguss 3 auf
die Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 angelegt
wird, und zwar nach der Aufrechterhaltung, dass die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile elektrisch leitfähig sind
und sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst
zusammenziehen, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind.
-
Demgemäß können,
zusätzlich zu dem Vorteil, welcher im obigen Gegenstand
(1A) oder im obigen Gegenstand (1B) angegeben ist, die Wärmespannungen
von Kantenteilen 21c entspannt werden, und kann das Auftreten
von Brüchen oder von ähnlichen Nachteilen aufgrund
des RTV-Kautschuks 5 aufgehalten werden.
-
(1D)
Gemäß der Ausführungsform 1 gemäß dieser
Erfindung werden bei dem Aufbau von dem obigen Gegenstand (1A) oder
dem obigen Gegenstand (1B), die Silikonkautschukteile, welche aus RTV-Kautschuk 5 erstellt
sind, angeordnet, wobei der RTV-Kautschuk 5 um die Verbindungsteile
zwischen dem leitfähigen Teil, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, und dem Isolierteil, welches
die Isolierröhre 2b enthält, in einem
Zustand vulkanisiert und gegossen wird, bei welchem Teile von den
ringförmigen elektrostatischen Abschirmteilen elektrisch
leitfähig sind und sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst
zusammenziehen, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, wobei sie in dem RTV-Kautschuk 5 eingebettet
werden. Es ist daher möglich, ein Schaltgerät
zu erlangen, welches das Vakuumventil 1 enthält,
welches die Teilentladungen unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit
hoch ist, und zwar aufgrund der ringförmigen elektrostatischen
Abschirmteile, welche elektrisch leitfähig sind und welche
sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst zusammenziehen,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b erstellt
sind, welche in dem Zustand beibehalten werden, wo sie teilweise
in den Silikonkautschukteilen eingebettet sind, welche aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
sind, welches um die Verbindungsteile zwischen dem leitfähigen
Teil, welches den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält,
und dem Isolierteil, welches die Isolierröhre 2b enthält,
an der Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 oder
dergleichen vulkanisiert und gegossen wird.
-
Genauer
gesagt, ist das Schaltgerät derart aufgebaut, dass es das
Vakuumventil 1 enthält, welches in dem obigen
Gegenstand (1A) oder dem obigen Gegenstand (1B) bestimmt ist, dadurch
gekennzeichnet, dass, nachdem der RTV-Kautschuk 5 als eine
Beschichtung um die Verbindungsteile zwischen dem Metallflansch 2a und
der Isolierröhre 2b und zwischen der Metallröhre 2e und
der Isolierröhre 2b angelegt wurde, die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile elektrisch leitfähig sind
und sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst
zusammenziehen, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, wobei sie an dem RTV-Kautschuk 5 in dem
Zustand beibehalten werden, bei welchem sie teilweise in dem RTV-Kautschuk 5 eingebettet
sind, und zwar vor der Vulkanisierung von dem RTV-Kautschuk 5,
und wobei der Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 nach dem Vulkanisieren
von dem RTV-Kautschuk 5 angelegt wird.
-
Demgemäß können,
zusätzlich zu dem Vorteil, welcher in dem obigen Gegenstand
(1A) oder dem obigen Gegenstand (1B) angegeben ist, die Wärmebelastungen
von den Kantenteilen 21c entspannt werden, und kann das
Auftreten von den Brüchen oder von ähnlichen Nachteilen
aufgehalten werden, und zwar aufgrund des RTV-Kautschuks 5,
wobei die Teile von den ringförmigen elektrostatischen Abschirmteilen
elektrisch leitfähig sind und sich in Radialrichtung von
dem Vakuumventil 1 selbst zusammenziehen, wobei sie aus
den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, welche eingebettet sind.
-
(1E)
Gemäß der Ausführungsform 1 gemäß dieser
Erfindung werden bei dem Aufbau bei dem obigen Gegenstand (1A) oder
dem obigen Gegenstand (1B) leitfähige oder halbleitfähige
Beschichtungsmaterialschichten 6 derart angeordnet, so
dass sie mit dem leitfähigen Teil, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, an zumindest
jenen Teilen von den Außenumfangsoberflächen von
dem Silikonkautschukteilen, welche aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
sind, welches die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile
berührt, welche elektrisch leitfähig sind und
sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst zusammenziehen,
in Verbindung stehen, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
ausgebildet sind. Es ist daher möglich, ein Schaltgerät
zu erlangen, welches das Vakuumventil 1 enthält,
welches die Teilentladungen unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit
hoch ist, und zwar aufgrund der leitfähigen oder halbleitfähigen Beschichtungsmaterialschichten 6,
welche derart angeordnet sind, so dass sie mit dem leitfähigen
Teil in Verbindung stehen, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, und zwar
zumindest an jenen Teilen von den Außenumfangsoberflächen von
dem Silikonkautschukteilen, welche aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
sind, welches die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile
berührt, welche elektrisch leitfähig sind und
sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst zusammenziehen,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind.
-
Genauer
gesagt, ist in dem Vakuumventil 1, welches in dem obigen
Gegenstand (1C) oder dem obigen Gegenstand (1D) bestimmt ist, das
Vakuumventil 1 derart aufgebaut, dass es dadurch gekennzeichnet
ist, dass der RTV-Kautschuk 5 aus einem bedruckbaren Typ
ist, das zumindest jene Teile von den Außenumfangsoberflächen
von dem RTV-Kautschuk 5, welches die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile berührt, elektrisch leitfähig
sind und sich in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 selbst zusammenziehen,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, wobei sie mit dem leitfähigen
oder halbleitfähigen Beschichtungsmaterial 6 beschichtet sind,
so dass sie mit den Außenumfangsoberflächen von
dem Metallflansch 2a und der Metallröhre 2e in Verbindung
stehen, und wobei der Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 nach dem Trocknen von
dem Beschichtungsmaterial 6 angelegt wird.
-
Demgemäß wird,
zusätzlich zu dem Vorteil, welcher bei dem obigen Gegenstand
(1C) oder dem obigen Gegenstand (1D) angegeben ist, das leitfähige
oder halbleitfähige Beschichtungsmaterial 6 als Beschichtung
angelegt, um somit mit der Außenumfangsoberfläche
von dem Metallflansch 2a in Verbindung zu stehen, wobei
sogar in einem Fall, bei welchem irgendein Spalt, welcher einer
Temperaturänderung zuzuschreiben ist, zwischen dem RTV-Kautschuk 5 und
dem Kunstharzguss 3 aufgetreten ist, das Beschichtungsmaterial 6 an
der Seite von dem Kunstharzguss 3 anhaftet, so dass das
Elektrofeld von dem Spaltenteil entspannt werden kann, und der Auftritt
von der Teilentladung aufgehalten werden kann.
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Gemäß der
Ausführungsform 1 gemäß dieser Erfindung
werden bei dem Aufbau bei dem obigen Gegenstand (1C) oder dem obigen
Gegenstand (1D) Kopplungsschichten, welche aus einem Kopplungsmittel 7 erstellt
sind, zwischen den Außenumfangsoberflächen von
den Silikonkautschukteilen, welche aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
sind, und dem Kunstharzguss 3 zwischengelegt. Es ist daher möglich,
ein Schaltgerät zu erlangen, welches das Vakuumventil 1 enthält,
welches die Teilentladungen unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit hoch
ist, und zwar aufgrund der Kopplungsschichten, welche aus dem Kopplungsmittel 7 erstellt
sind, wobei sie zwischen den Außenumfangsoberflächen
von den Silikonkautschukteilen, welche aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
sind, und dem Kunstharzguss 3 zwischengelegt werden.
-
Genauer
gesagt, ist das Schaltgerät derart aufgebaut, dass es das
Vakuumventil 1 enthält, welches in dem obigen
Gegenstand (1C) oder dem obigen Gegenstand (1D) bestimmt ist, dadurch
gekennzeichnet, dass der RTV-Kautschuk 5 von einem bedruckbaren
Typ ist, dass die Außenumfangsoberflächen von
dem RTV-Kautschuk 5 von dem bedruckbaren Typ mit dem Kopplungsmittel 7 beschichtet
werden, um somit eine Verbindung mit der Außenumfangsoberfläche
von der Isolierröhre 2 einzugehen, und dass der
Kunstharzguss 3 danach an der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt wird.
-
Demgemäß werden,
zusätzlich zu dem Vorteil, welcher bei dem obigen Gegenstand
(1C) oder bei dem obigen Gegenstand (1D) angegeben ist, der RTV-Kautschuk 5 und
der Kunstharzguss 3 durch das Kopplungsmittel 7 verbunden,
wobei das Auftreten von irgendeinem Spalt, welcher eine Ursache
für die Teilentladung zwischen dem RTV-Kautschuk 5 und
dem Kunstharzguss 3 ausbildet, aufgehalten wird.
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(1G)
Gemäß der Ausführungsform 1 gemäß dieser
Erfindung ist eine Herstellung für ein Schaltgerät,
welches ein Vakuumventil 1 enthält, bei welchem eine
Mehrzahl von Elektroden 1a und 1b, welche in Relation
zueinander bewegbar sind, innerhalb eines Vakuumbehälters 2 angeordnet
ist, welcher durch ein leitfähiges Teil, welches einen
Metallflansch 2a und eine Metallröhre 2e enthält,
und ein Isolierteil, welches eine Isolierröhre 2b enthält,
aufgebaut ist, und wobei ein Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt ist, dadurch
gekennzeichnet, dass ringförmige elektrostatische Abschirmteile
elektrisch leitfähig sind und in Radialrichtung und in
Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar und zusammenziehbar sind,
wobei sie aus spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet
sind, in welche jeweils ein spulenförmiger Metalldraht
in einer ringförmigen Form eingebracht ist, so dass er
einen Innendurchmesser hat, welcher kleiner als der Außendurchmesser
von dem Vakuumbehälter 2 oder dergleichen ist,
wobei sie in der Nähe von den Verbindungsteilen zwischen
dem leitfähigen Teil, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, und dem Isolierteil,
welches die Isolierröhre 2b enthält,
an der Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 in
einem Zustand beibehalten werden, bei welchem die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile ihre Kompressionskräfte
in Radialrichtung von dem Vakuumventil 1 halten, wobei
die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile elektrisch leitfähig
sind und in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar
und zusammenziehbar sind, wobei das leitfähige Teil den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e und die spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
enthält, welche elektrisch verbunden sind, und wobei der
Kunstharzguss 3 danach an die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt wird. Es ist
daher möglich, ein Verfahren zum Herstellen eines Schaltgerätes
zu erlangen, welches das Vakuumventil 1 enthält,
welches Teilentladungen unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit
hoch ist, indem der Kunstharzguss 3 in einen Zustand angelegt
wird, bei welchem die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile,
welche elektrisch leitfähig sind, und welche sich in Radialrichtung
und Umfangsrichtung von dem Vakuumbehälter 1 ausdehnen
und zusammenziehen, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, in einem Druckkontakt mit der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 beibehalten werden.
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Genauer
gesagt, ist das Verfahren zum Herstellen des Schaltgerätes,
welches das Vakuumventil 1 enthält, dadurch gekennzeichnet,
dass in dem Vakuumventil 1, welches in dem obigen Gegenstand (1A)
bestimmt ist, die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile,
welche elektrisch leitfähig sind, und in Radialrichtung
und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar und
zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b ausgebildet sind,
in welche jeweils der spulenförmige Metalldraht in der
ringförmigen Form gebracht ist, so dass er den Innendurchmesser
hat, welcher kleiner als der Außendurchmesser von der Isolierröhre 2b oder
dergleichen ist, an jener Außenumfangsoberfläche
von der Isolierröhre 2b beibehalten werden, welche
in der Nähe ist zu den Verbindungsteilen zwischen dem Metallflansch 2a und
der Metallröhre 2b und zwischen der Metallröhre 2e und der
Isolierröhre 2b, wobei die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile elektrisch leitfähig sind
und in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar
und zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
ausgebildet sind und an jenen Außenumfangsoberflächen
von dem Metallflansch 2a und der Metallröhre 2e beibehalten
werden, welche in der Nähe sind zu den Verbindungsteilen
zwischen dem Metallflansch 2a und der Isolierröhre 2b und
zwischen der Metallröhre 2e und der Isolierröhre 2b,
wobei sie elektrisch verbunden sind, und wobei der Kunstharzguss 3 danach
an der Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 angelegt
wird.
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Demgemäß ist
es möglich, das Verfahren zum Herstellen des Schaltgerätes
zu erlangen, welches das Vakuumventil 1 enthält,
welches die Elektrofelder von den Kantenteilen 21d entspannen
kann, und welches das Auftreten von den Teilentladungen auf eine
solche Art und Weise aufhalten kann, dass die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile, welche elektrisch leitfähig
sind, und welche in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar
und zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
ausgebildet sind, angeordnet werden, und dass sie mit dem Metallflansch 2a elektrisch
verbunden sind.
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(1H)
Gemäß der Ausführungsform 1 gemäß dieser
Erfindung sind die Inhalte des Verfahrens bei dem obigen Gegenstand
(1G) dadurch gekennzeichnet, dass ein Silikonkautschuk, welches
aus einem RTV-Kautschuk 5 erstellt ist, als Beschichtungen
um die Verbindungsteile zwischen dem leitfähigen Teil, welches
den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält,
und dem Isolierteil, welches die Isolierröhre 2b enthält,
angelegt ist, dass die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile
elektrisch leitfähig sind und sich in Radialrichtung und
Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnen und zusammenziehen,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, wobei sie aufeinanderfolgend nach
der Vulkanisierung von dem Silikonkautschuk, welches aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
ist, beibehalten werden, und dass der Kunstharzguss 3 auf
die Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 nach der
Beibehaltung der ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile
beibehalten wird, welche elektrisch leitfähig sind und
welche in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar und
zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
ausgebildet sind. Es ist daher möglich, ein Verfahren zum
Herstellen eines Schaltgerätes zu erlangen, welches das
Vakuumventil 1 enthält, welches die Teilentladungen
unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit hoch ist,
und zwar auf eine solche Art und Weise, dass die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile, welche elektrisch leitfähig sind,
und welche sich in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnen und
zusammenziehen, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, an den Silikonkautschukteilen, welche
aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt sind, beibehalten werden,
welches um die Verbindungsteile zwischen dem leitfähigen
Teil, welches den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält,
und dem Isolierteil, welche die Isolierröhre 2b enthält,
an der Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 vulkanisiert
und gegossen sind.
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Genauer
gesagt, ist bei dem Verfahren zum Herstellen des Schaltgerätes,
welches das Vakuumventil 1 enthält, wie in dem
obigen Gegenstand (1A) bestimmt, das Verfahren zum Herstellen des
Vakuumventils 1 dadurch gekennzeichnet, dass der RTV-Kautschuk 5 als
Beschichtungen um die Verbindungsteile zwischen dem Metallflansch 2a und
der Isolierröhre 2b und zwischen der Metallröhre 2e und der
Isolierröhre 2b angelegt wird, dass die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile, welche elektrisch leitfähig
sind, und welche in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar
und zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
ausgebildet sind, aufeinanderfolgend nach der Vulkanisierung von
dem RTV-Kautschuk 5 beibehalten werden, und dass der Kunstharzguss 3 auf
die Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 nach
der Beibehaltung von den ringförmigen elektrostatischen
Abschirmteilen angelegt wird, welche elektrisch leitfähig
sind und welche sich in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem
Vakuumventil 1 ausdehnen und zusammenziehen, wobei sie
aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind.
-
Demgemäß können,
zusätzlich zu dem Vorteil, welcher bei dem obigen Gegenstand
(1G) angegeben ist, die Wärmebelastungen von den Kantenteilen 21c entspannt
werden, und kann das Auftreten von Brüchen oder von ähnlichen
Nachteilen durch den RTV-Kautschuk 5 aufgehalten werden.
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Gemäß der
Ausführungsform 1 gemäß dieser Erfindung
sind die Inhalte des Verfahrens in dem obigen Gegenstand (1G) dadurch
gekennzeichnet, dass ein Silikon-Kautschuk, welcher aus einem RTV-Kautschuk 5 erstellt
ist, als Beschichtungen um die Verbindungsteile zwischen dem leitfähigen
Teil, welches den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält,
und dem Isolierteil, welches die Isolierröhre 2b enthält,
angelegt ist, dass die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile,
welche elektrisch leitfähig sind und in Radialrichtung
und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar und
zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, nachfolgend in einem Zustand beibehalten
sind, bei welchem sie teilweise in dem Silikonkautschuk, welches
aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt ist, eingebettet sind,
bevor der Silikonkautschuk, welcher aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
ist, vulkanisiert wird, und dass der Kunstharzguss 3 auf die
Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 angelegt
wird, nachdem der Silikonkautschuk, welcher aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
ist, vulkanisiert wird. Es ist daher möglich, ein Verfahren zum
Herstellen eines Schaltgerätes, welches das Vakuumventil 1 enthält,
zu erlangen, welches die Teilentladungen unfehlbar verhindert, und
dessen Zuverlässigkeit hoch ist, auf eine solche Art und
Weise, dass die ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile,
welche elektrisch leitfähig sind und welche in Radialrichtung
und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar und
zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
erstellt sind, in dem Zustand beibehalten werden, bei welchem sie
teilweise in dem Silikonkautschukteilen, welche aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
sind, eingebettet werden, wenn sie um die Verbindungsteile zwischen
dem leitfähigen Teil, welches Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, und dem Isolierteil,
welches die Isolierröhre 2b enthält,
an der Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 vulkanisiert
und gegossen werden.
-
Genauer
gesagt, bei dem Verfahren zum Herstellen des Schaltgerätes,
welches das Vakuumventil 1 enthält, wie in dem
obigen Gegenstand (1G) bestimmt, ist das Verfahren zum Herstellen
des Vakuumventils 1 dadurch gekennzeichnet, dass der RTV-Kautschuk
als Beschichtungen um die Verbindungsteile zwischen dem Metallflansch 2a und
der Metallröhre 2b und zwischen der Metallröhre 2e und der
Isolierröhre 2b angelegt wird, wobei die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile, welche elektrisch leitfähig
sind und welche in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar
und zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
ausgebildet sind, nachfolgend in dem Zustand beibehalten werden,
bei welchem sie teilweise in dem RTV-Kautschuk 5 vor der
Vulkanisierung von dem RTV-Kautschuk 5 eingebettet werden, und
dass der Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 nach der Vulkanisierung
von dem RTV-Kautschuk 5 angelegt wird.
-
Demgemäß,
zusätzlich zu dem Vorteil, welcher in dem obigen Gegenstand
(1G) angegeben ist, können die Wärmebelastungen
von den Kantenteilen 21c entspannt werden, und kann das
Auftreten von Brüchen oder ähnlichen Nachteilen
durch den RTV-Kautschuk 5 aufgehalten werden, in welchem die
spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b teilweise
eingebettet sind.
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Gemäß Ausführungsform
1 gemäß dieser Erfindung sind die Inhalte des
Verfahrens in dem obigen Gegenstand (1H) oder Gegenstand (1I) dadurch gekennzeichnet,
dass der Silikonkautschuk, welcher aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
ist, bedruckbar ist, dass zumindest jene Teile von den Außenumfangsoberflächen
von dem Silikonkautschuk, welche die ringförmigen elektrostatischen
Abschirmteile berühren, welche elektrisch leitfähig
sind und in Radialrichtung und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar
und zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen
Metallabschirmungen 4a und 4b oder dergleichen
erstellt sind, mit einem leitfähigen oder halbleitfähigen
Beschichtungsmaterial beschichtet sind, um zu dem leitfähigen
Teil, welches den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält, leitfähig
zu sein, und dass der Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt ist, nachdem
das Beschichtungsmaterial getrocknet ist. Es ist daher möglich,
ein Verfahren zum Herstellen eines Schaltgerätes, welches das
Vakuumventil 1 enthält, zu erlangen, welches die Teilentladungen
unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit hoch ist,
und zwar auf eine solche Art und Weise, dass zumindest jene Teile
von den Außenumfangsoberflächen von dem Silikonkautschukteilen,
welche aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt sind, welche die
ringförmigen elektrostatischen Abschirmteile berühren,
welche elektrisch leitfähig sind und welche in Radialrichtung
und Umfangsrichtung von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar und
zusammenziehbar sind, wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen erstellt sind, mit dem leitfähigen oder halbleitfähigen Beschichtungsmaterialschichten 6 beschichtet
sind, welche derart angeordnet sind, um mit dem leitfähigen
Teil leitfähig zu sein, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält.
-
Genauer
gesagt, in dem Vakuumventil 1, welches in dem obigen Gegenstand
(1H) oder dem obigen Gegenstand (1I) bestimmt ist, ist das Verfahren
zum Herstellen des Schaltgerätes, welches das Vakuumventil 1 enthält,
dadurch gekennzeichnet, dass der RTV-Kautschuk 5 vom bedruckbaren
Typ ist, dass zumindest jene Teile von den Außenumfangsoberflächen
von dem RTV-Kautschuk 5, welche die ringförmigen
elektrostatischen Abschirmteile berühren, welche elektrisch
leitfähig sind und in Radialrichtung und Umfangsrichtung
von dem Vakuumventil 1 ausdehnbar und zusammenziehbar sind,
wobei sie aus den spulenförmigen Metallabschirmungen 4a und 4b oder
dergleichen ausgebildet sind, mit dem leitfähigen oder
halbleitfähigen Beschichtungsmaterial 6 beschichtet
sind, um somit eine Verbindung mit den Außenumfangsoberflächen
von dem Metallflansch 2a und der Metallröhre 2e eine
Verbindung einzugehen, und dass der Kunstharzguss 3 auf
die Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 nach
dem Trocknen von dem Beschichtungsmaterial angelegt wird.
-
Demgemäß,
zusätzlich zu dem Vorteil, welcher in dem obigen Gegenstand
(1H) oder dem obigen Gegenstand (1I) angegeben ist, wird das leitfähige
oder halbleitfähige Beschichtungsmaterial 6 als eine
Beschichtung angelegt, um somit eine Verbindung mit der Außenumfangsoberfläche
von dem Metallflansch 2a einzugehen, wobei das Beschichtungsmaterial 6 an
der Seite von dem Kunstharzguss 3 sogar in einem Fall anhaftet,
bei welchem ein Spalt, welcher aufgrund von einer Temperaturänderung herrührt,
zwischen dem RTV-Kautschuk 5 und dem Kunstharzguss 3 auftritt,
so dass das Elektrofeld von dem Spaltteil entspannt werden kann,
und der Auftritt von einer Teilentladung aufgehalten werden kann.
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(1K)
Gemäß Ausführungsform 1 gemäß dieser
Erfindung sind die Inhalte von dem Verfahren in dem obigen Gegenstand
(1H) oder Gegenstand (1I) dadurch gekennzeichnet, dass der Silikonkautschuk, welcher
aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt ist, von einem bedruckbaren
Typ ist, dass ein Kopplungsmittel 7 als eine Beschichtung
auf die Außenumfangsoberfläche von dem Silikonkautschuk,
welches aus dem RTV-Kautschuk 5 von dem bedruckbaren Typ
erstellt ist, angelegt wird, um somit mit der Außenumfangsoberfläche
von dem Isolierteil, welches die Isolierröhre 2b enthält,
eine Verbindung einzugehen, und dass der Kunstharzguss 3 danach
auf die Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 angelegt
wird. Es ist daher möglich, ein Verfahren zum Herstellen eines
Schaltgerätes, welches das Vakuumventil 1 enthält,
zu erlangen, welches die Teilentladungen unfehlbar verhindert, und
dessen Zuverlässigkeit hoch ist, und zwar auf eine solche
Art und Weise, dass eine Kopplungsschicht, welche aus dem Kopplungsmittel 7 erstellt
ist, welches zwischen der Außenumfangsoberfläche
von dem Silikonkautschukteil, welches aus dem RTV-Kautschuk 5 erstellt
ist, und dem Kunstharzguss 3 zwischengelegt ist, als Beschichtung
angelegt wird.
-
Genauer
gesagt, bei dem Vakuumventil 1, welches in dem obigen Gegenstand
(1H) oder (1I) bestimmt ist, ist das Verfahren zum Herstellen des Schaltgerätes,
welches das Vakuumventil 1 enthält, dadurch gekennzeichnet,
dass der RTV-Kautschuk vom bedruckbaren Typ ist, dass das Kopplungsmittel 7 als
Beschichtung auf die Außenumfangsoberfläche von
dem RTV-Kautschuk 5 von dem bedruckbaren Typ angelegt ist,
um somit eine Verbindung mit der Außenumfangsoberfläche
von der Isolierröhre 2b einzugehen, und dass der
Kunstharzguss 3 danach auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt wird.
-
Demgemäß,
zusätzlich zu dem Vorteil, welcher in dem obigen Gegenstand
(1H) oder dem obigen Gegenstand (1I) angegeben ist, werden der RTV-Kautschuk 5 und
der Kunstharzguss 3 durch das Kopplungsmittel 7 verbunden,
wobei der Auftritt von einem jeglichen Spalt, welcher eine Ursache
für die Teilentladung zwischen dem RTV-Kautschuk 5 und
dem Kunstharzguss 3 bildet, aufgehalten werden kann.
-
Ausführungsform 2:
-
Es
wird nun eine Ausführungsform 2 gemäß dieser
Erfindung in Verbindung mit 3 beschrieben. 3 ist
eine teilweise freigeschnittene Schnittansicht, welche den Aufbau
von einem Schaltgerät zeigt, welches ein Vakuumventil 1 in
Ausführungsform 2 enthält.
-
In
dieser Ausführungsform 2 sind, bezogen auf einen Aufbau
mit Ausnahme eines besonderen Aufbaus, welcher hierzu beschrieben
ist, die gleichen Aufbauinhalte und Verfahrensinhalte wie im Aufbau und
Verfahren bei der vorhergehenden Ausführungsform 1 enthalten,
und führen sie ähnliche Betriebe durch. In den
Zeichnungen zeigen gleiche Nummern und Bezugszeichen die gleichen
oder äquivalenten Abschnitte an.
-
Bezug
nehmend auf 3 ist das Vakuumventil 1 aus
einer stationären Elektrode 1a und einer bewegbaren
Elektrode 1b, einem Vakuumbehälter 2, welcher
einen Metallflansch 2a als auch eine Metallröhre 2e und
eine Keramikisolierröhre 2b, und in welchem die
Elektroden 1a und 1b untergebracht sind, aufgebaut,
und ist ein Kunstharzguss 3 an einem Außenumfangsisolator
angebracht, welcher die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 bedeckt. Ein Bezugszeichen 21c kennzeichnet
den Wärmebelastungskonzentrationsteil von dem Vakuumbehälter 2,
und ein Bezugszeichen 21d kennzeichnet den Elektrofeldkonzentrationsteil
von dem Vakuumbehälter 2.
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Das
Kantenteil 21c, welches in die Außenumfangsrichtung
von dem Vakuumbehälter 2 vorragt, liegt beispielsweise
als jener Teil von der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 entsprechend der Position
von dem Kunstharzguss 3 vor, bei welcher angenommen wird,
dass bei ihr ein Bruch oder ein ähnlicher Nachteil aufgrund
der Wärmbelastungskonzentration auftritt, das heißt
ein Teil, welcher eine Wärmeentspannung erfordert. Um Wärmebelastungen
an solchen Teilen, welche eine Wärmeentspannung erfordern,
zu entspannen, werden die Verbindungsteile zwischen den Metallflanschen 2a und den
Isolierröhren 2b mit einem RTV-Kautschuk 5 von einem
bedruckbaren Typ beschichtet, welcher eine Bedruckung auf die Oberfläche
von diesem RTV-Kautschuk 5 nach der Vulkanisierung dessen zulässt,
und nach der Vulkanisierung von dem RTV-Kautschuk 5, und
wobei die Außenumfangsoberflächen von dem RTV-Kautschuk 5 von
dem bedruckbaren Typ mit einem leitfähigen oder halbleitfähigen
Beschichtungsmaterial 6 beschichtet werden, mit welchem
eine höhere Anhaftungskraft für ein Epoxyd erlangt
wird, als bei dem RTV-Kautschuk, um somit eine Verbindung mit den
Außenumfangsoberflächen von den Metallflanschen 2a einzugehen.
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Aufgrund
des RTV-Kautschuks 5 werden die Wärmebelastungen
von den Kantenteilen 21c, welche in die Außenumfangsrichtung
von dem Vakuumbehälter 2 vorragen, welche die
Teile sind, welche die Wärmeentspannung erfordern, entspannt,
wodurch die Brüche oder ähnliche Nachteile verhindert
werden, und sogar in einem Fall, bei welchem Spalten zwischen dem
RTV-Kautschuk 5 und dem Kunstharzguss 3 auftreten,
haftet das Beschichtungsmaterial 6, welches als Beschichtungen
angelegt ist, um somit mit den Außenumfangsoberflächen
von den Metallflanschen 2a eine Verbindung einzugehen,
an der Seite von dem Kunstharzguss 3, so dass die Elektrofelder
von den Kantenteilen 21d und den Spaltteilen entspannt
werden können, und das Auftreten von Teilentladungen aufgehalten
werden kann.
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(2A)
Gemäß Ausführungsform 2 gemäß dieser
Erfindung, in einem Schaltgerät, welches ein Vakuumventil 1 enthält,
wobei eine Mehrzahl von Elektroden 1a und 1b,
welche in Relation zueinander bewegbar sind, innerhalb eines Vakuumbehälters 2 angeordnet
sind, welcher durch ein leitfähiges Teil, welches einen
Metallflansch 2a und eine Metallröhre 2e enthält,
und ein Isolierteil, welches eine Isolierröhre 2b enthält,
aufgebaut ist, und wobei ein Kunstharzguss 3 an der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt ist, sind leitfähige
oder halbleitfähige Beschichtungsmaterialschichten 6 an
den Außenumfangsoberflächen von dem Silikonkautschuk,
welches aus einem RTV-Kautschuk 5 von einem bedruckbaren
Typ erstellt ist, angeordnet, wenn es vulkanisiert wird und an den
Außenumfangsoberflächen von dem leitfähigen
Teil, welches den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält,
und dem Isolierteil, welches die Isolierröhre 2b enthält,
um die Verbindungsteile zwischen dem leitfähigen Teil,
welches den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält,
und dem Isolierteil, welches die Isolierröhre 2b enthält,
angeordnet, um somit eine Verbindung mit dem leitfähigen
Teil, welches den Metallflansch 2a und die Metallröhre 2e enthält,
einzugehen, und wobei der Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt wird. Es ist
daher möglich, ein Schaltgerät zu erlangen, welches
das Vakuumventil 1 enthält, welches Teilentladungen
unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit durch
die leitfähigen oder halbleitfähigen Beschichtungsmaterialschichten 6 hoch
ist.
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Genauer
gesagt, ist das Schaltgerät aufgebaut, welches das Vakuumventil 1 enthält,
wobei die stationäre Elektrode und die bewegbare Elektrode
innerhalb des Vakuumbehälters 2 angeordnet sind,
in welchem der Metallflansch 2a als auch die Metallröhre 2e und
die Isolierröhre 2b verbunden sind, und wobei
der Kunstharzguss 3 auch die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt ist, dadurch
gekennzeichnet, dass der RTV-Kautschuk 5 von dem bedruckbaren
Typ als Beschichtungen auf den Außenumfangsoberflächen
von dem Metallflansch 2a als auch der Metallröhre 2e und
der Isolierröhre 2b um die Verbindungsteile zwischen
dem Metallflansch 2a und der Isolierröhre 2b und
zwischen der Metallröhre 2e und der Isolierröhre 2d angelegt
ist, wobei, nach der Vulkanisierung von dem RTV-Kautschuk 5,
das leitfähige oder halbleitfähige Beschichtungsmaterial 6 als
Beschichtungen auf den Außenumfangsoberflächen
von dem RTV-Kautschuk 5 von dem bedruckbaren Typ angelegt
wird, um somit mit den Außenumfangsoberflächen
von dem Metallflansch 2a und der Metallröhre 2e eine
Verbindung einzugehen, und wobei nach dem Trocknen von dem Beschichtungsmaterial 6 der
Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt wird.
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Demgemäß werden
aufgrund des RTV-Kautschuks 5 die Wärmebelastungen
von den Kantenteilen 21c, welche in die Außenumfangsrichtung
von dem Vakuumbehälter 2 als die Teile, welche
die Wärmeentlastung erfordern, entlastet, wodurch Brüche oder ähnliche
Nachteile verhindert werden, und sogar in einem Fall, bei welchem
Spalte zwischen dem RTV-Kautschuk 5 und dem Kunstharzguss 3 auftreten,
haftet das Beschichtungsmaterial 6, welches als die Beschichtung
angelegt ist, um mit der Außenumfangsoberfläche
von dem Metallflansch 2a eine Verbindung einzugehen, an
der Seite von dem Kunstharzguss 3, so dass die Elektrofelder
von den Kantenteilen 21d und den Spaltteilen entspannt
werden können, und das Auftreten von den Teilentladungen aufgehalten
werden kann.
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(2B)
Gemäß Ausführungsform 1 gemäß dieser
Erfindung, wird beim Herstellen eines Schaltgerätes, welches
ein Vakuumventil 1 enthält, bei welchem eine Mehrzahl
von Elektroden 1a und 1b, welche in Relation zueinander
bewegbar sind, innerhalb eines Vakuumbehälters 2 angeordnet
sind, welcher durch ein leitfähiges Teil, welches einen
Metallflansch 2a und eine Metallröhre 2e enthält,
und ein Isolierteil, welches eine Isolierröhre 2b enthält,
gebildet ist, und wobei ein Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt ist, ein Silikonkautschuk,
welches aus einem RTV-Kautschuk 5 von einem bedruckbaren
Typ erstellt ist, als Beschichtungen auf die Außenumfangsoberflächen von
dem leitfähigen Teil, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, und das Isolierteil, welches
die Isolierröhre 2b enthält, um die Verbindungsteile
zwischen dem leitfähigen Teil, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, und dem Isolierteil,
welches die Isolierröhre 2b enthält,
angelegt, wobei ein leitfähiges oder halbleitfähiges
Beschichtungsmaterial 6 als Beschichtungen auf die Außenumfangsoberflächen
von dem Silikonkautschuk, welches aus dem RTV-Kautschuk 5 von
dem bedruckbaren Typ erstellt ist, nach dem Vulkanisieren von dem
Silikonkautschuk angelegt, um somit mit den Außenumfangsoberflächen
von dem leitfähigen Teil, welches den Metallflansch 2a und
die Metallröhre 2e enthält, in Verbindung
zu stehen, und wobei der Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche von
dem Vakuumbehälter 2 nach dem Trocknen von dem
Beschichtungsmaterial 6 angelegt wird. Es ist daher möglich,
ein Verfahren zum Herstellen eines Schaltgerätes zu erlangen,
welches das Vakuumventil 1 enthält, welches Teilentladungen
unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit hoch ist,
auf eine solche Art und Weise, dass die leitfähigen oder
halbleitfähigen Beschichtungsmaterialschichten 6 als
die Beschichtungen angelegt werden.
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Genauer
gesagt, ist das Verfahren zum Herstellen des Vakuumventils 1,
bei welchem die stationäre Elektrode und die bewegbare
Elektrode innerhalb des Vakuumbehälters 2 angeordnet
sind, wobei der Metallflansch 2a als auch die Metallröhre 2e und die
Isolierröhre 2b verbunden sind, und wobei der Kunstharzguss 3 auf
die Außenumfangsoberfläche von dem Vakuumbehälter 2 angelegt
ist, dadurch gekennzeichnet, dass der RTV-Kautschuk 5 von
dem bedruckbaren Typ als die Beschichtungen auf die Außenumfangsoberflächen
von dem Metallflansch 2a, der Metallröhre 2e und
der Isolierröhre 2b um die Verbindungsteile zwischen
dem Metallflansch 2a und der Isolierröhre 2b und
zwischen der Metallröhre 2e und der Isolierröhre 2b nach
dem Vulkanisieren von dem RTV-Kautschuk 5, angelegt wird,
wobei das leitfähige oder halbleitfähige Beschichtungsmaterial 6 als
die Beschichtungen auf die Außenumfangsoberflächen
von dem RTV-Kautschuk 5 von dem bedruckbaren Typ angelegt
wird, um somit mit den Außenumfangsoberflächen
von dem Metallflansch 2a und der Metallröhre 2e in
Verbindung zu treten, und dass nach dem Trocknen von dem Beschichtungsmaterial 6 der
Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt wird.
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Demgemäß werden
aufgrund des RTV-Kautschuks 5 die Wärmebelastungen
von den Kantenteilen 21c, welche in die Außenumfangsrichtung
von dem Vakuumbehälter 2 vorragen, als jene Teile,
welche die Wärmeentspannung erfordern, entspannt, wodurch
Brüche oder ähnliche Nachteile verhindert werden,
und sogar in einem Fall, bei welchem Spalte zwischen dem RTV-Kautschuk 5 und
dem Kunstharzguss 3 auftreten, wobei das Beschichtungsmaterial 6,
welches als Beschichtung angelegt ist, um somit mit der Außenumfangsoberfläche
von dem Metallflansch 2a in Verbindung zu treten, auf der
Seite von dem Kunstharzguss 3 anhaftet, so dass die Elektrofelder
von den Kantenteilen 21d und den Spaltenteilen entspannt
werden können, und das Auftreten von den Teilentladungen
aufgehalten werden kann.
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Diese
Erfindung bezieht sich auf ein Vakuumventil 1, in welchem
ein Kunstharzguss 3 auf die Außenumfangsoberfläche
von einem Vakuumbehälter 2 angelegt wird, und
auf ein Verfahren zu dessen Herstellung, und genauer gesagt kann
es zur Wärmeentspannung und Elektrofeldentspannung verwendet
werden, welche das Auftreten von Brüchen, Teilentladungen,
usw., welche sich in dem Kunstharzguss 3 entwickeln, wenn
dieser Kunstharzguss 3 sich einer Temperaturänderung
unterzieht, aufhalten.
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Zusammenfassung
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Es
werden ein Schaltgerät, welches ein Vakuumventil enthält,
welches Teilentladungen unfehlbar verhindert, und dessen Zuverlässigkeit
hoch ist, und ein Verfahren zu dessen Herstellung erlangt.
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In
einem Vakuumventil 1, bei welchem eine stationäre
Elektrode 1a und eine bewegbare Elektrode 1b innerhalb
eines Vakuumbehälters 2 angeordnet sind, welcher
durch einen Metallflansch 2a als auch durch eine Metallröhre 2e und
eine Isolierröhre 2b gebildet ist, und wobei ein
Kunstharzguss 3 an die Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 angelegt ist, werden
spulenförmige Metallabschirmungen 4a und 4b,
in welche jeweils ein spulenförmiger Metalldraht in eine
ringförmige Form gebracht ist, an der Außenumfangsoberfläche
von dem Vakuumbehälter 2 beibehalten, um somit
die Elektrofelder von den Teilen 21d, welche eine Elektrofeldentspannung
erfordern, von dem Vakuumbehälter 2 zu entspannen.
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Beschreibung von Bezugszeichen
und Kennzeichnungen
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- 1 Vakuumventil, 2 Vakuumbehälter, 2a Metallflansch, 2b Isolierröhre, 2e Metallröhre, 3 Kunstharzguss
(externer Isolator), 4a, 4b spulenförmige
Metallabschirmungen, 5 Wärmeentspannungsteil (RTV-Kautschuk), 6 leitfähiges
oder teilleitfähiges Beschichtungsmaterial, 7 Kopplungsmittel, 21c Wärmespannungskonzentrationsteil
(ein Teil, welches eine Wärmeentspannung erfordert), 21d Elektrofeldkonzentrationsteil
(ein Teil, welches eine Elektrofeldentspannung erfordert).
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2002-358861
A [0006]