WO2007116661A1

WO2007116661A1 - スイッチギヤとその製造方法

Info

Publication number: WO2007116661A1
Application number: PCT/JP2007/056062
Authority: WO
Inventors: Naoaki Inoue; Masahiro Arioka
Original assignee: Mitsubishi Electric Corporation
Priority date: 2006-03-27
Filing date: 2007-03-23
Publication date: 2007-10-18
Also published as: HK1205350A1; KR20080094078A; US20090134125A1; DE112007000724T5; KR101063137B1; CN103094003A; DE112007000724B4; CN101410922A; JPWO2007116661A1; CN104377074B; CN104377074A; JP4686600B2; CN103094003B; US7880111B2

Abstract

　部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空バルブを備えたスイッチギヤとその製造方法を得る。　金属フランジ２ａおよび金属管２ｅと絶縁管２ｂとで構成した真空容器２内に、固定電極１ａおよび可動電極１ｂを設け、外周面に樹脂モールド３を施した真空バルブ１において、金属線をコイル状にしたものを環状にしたコイル状金属製シールド４ａ，４ｂを、真空容器２の外周面に装着し、真空容器２の要電界緩和部分２１ｄの電界を緩和するようにした。　

Description

スィッチギヤとその製造方法

技術分野

[0001] この発明は、スィッチギヤとその製造方法、特に、真空容器の外周面が榭脂モールドされた真空バルブを備えたスィッチギヤとその製造方法とに関し、詳しくは、温度変化を受けた際に前記榭脂モールドで生じる亀裂および部分放電等の発生を阻止する熱応力緩和および電界緩和に関する。

背景技術

[0002] 真空ノレブは、内部に可動電極および固定電極を有する真空容器の外周面が、外周絶縁物としての、例えばエポキシ榭脂などの樹脂でモールド (以下、榭脂モールドと、う）されて、絶縁性能が確保されて、る。

一般的には、熱応力緩和部材を真空容器 1Aの外周面全部にではなく所要部分に対してのみ、即ち、要熱応力緩和部分に対して施すことが行なわれている（例えば、特許文献 1参照)。特許文献 1の図 8における符号 3Bは、真空容器 1Aの外周面の要熱応力緩和部分としての熱応力集中部 2Cをそれぞれ覆うように塗布された応力緩和部材としての室温硬化型シリコンゴム〔以下、 RTV (Room Temperature Vulc anizable)ゴムという〕である。なお、真空容器 2の両端を塞ぐ金属製フランジ 2aおよび真空容器 2の胴部を形成するセラミクス製絶縁管 2bが設けられている。

上記 RTVゴム等は、液状で粘性のあるゴムであり、これを真空容器 2の外周面を巡る熱応力集中部 2cに適度な厚さに塗布して硬化させており、 RTVゴム内に部分放電の原因となる気泡を巻き込まないように細心の注意を払って塗布する必要があるため、この熱応力緩和部材の施工には多大な手間と時間とを費やしていた。

また、上記 RTVゴムは、真空容器の外周面を絶縁するエポキシなどの樹脂と熱膨張係数が異なる為に、 100°Cを越える高温でモールドした後に 20°C前後の常温になると RTVゴムとエポキシ榭脂の間に空隙が生じ、部分放電の原因となることが懸念される。

[0003] 特許文献 1 :特開 2002— 358861号公報（図 8) 発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] この発明は、上記諸問題を解決し、部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空バルブを備えたスィッチギヤとその製造方法を得ようとするものである。

課題を解決するための手段

[0005] この発明に係るスィッチギヤでは、導電部材と絶縁部材とによって構成される真空容器内に、相対的に移動できる複数の電極を設け、外周面に榭脂モールドを施した真空バルブを備えたスィッチギヤにぉ、て、径方向に収縮する環状の静電シールド部材を、前記真空容器の外周面に装着し、前記真空容器の要電界緩和部分の電界を緩和するものである。

発明の効果

[0006] この発明によれば、部分放電を的確に防止し、信頼性の高!、真空バルブを備えたスィッチギヤとその製造方法を得ることができる。

榭脂モールドの亀裂の発生を阻止する熱応力緩和および放電の発生を阻止する電界緩和として利用できる。

図面の簡単な説明

[0007] [図 1]この発明による実施の形態 1における真空バルブを備えたスィッチギヤの構成を示す一部切欠断面図である。

[図 2]この発明による実施の形態 1におけるシールド部材の斜視図および断面図ならびに平面図である。

[図 3]この発明による実施の形態 2における真空バルブを備えたスィッチギヤの構成を示す一部切欠断面図である。

符号の説明

[0008] 1 真空バルブ、 2 真空容器、 2a 金属フランジ、 2b 絶縁管、 2e 金属管、 3 榭脂モールド (外部絶縁物）、 4a, 4b コイル状金属シールド、 5 熱応力緩和部材 (R TVゴム）、 6 導電性又は半導電性の塗料、 7 カップリング剤、 21c 熱応力集中部分 (要熱応力緩和部分)、 21d 電界集中部分 (要電界緩和部分)。発明を実施するための最良の形態

[0009] 実施の形態 1.

この発明による実施の形態 1を図 1および図 2について説明する。図 1は実施の形態 1における真空バルブを備えたスィッチギヤの構成を示す一部切欠断面図である。図 2は実施の形態 1におけるシールド部材の構成を示す斜視図および断面図ならびに部分拡大平面図である。図 2 (a)は斜視図を示し、図 2 (b)は図 2 (a)に B— B線における断面図を示し、図 2 (c)は部分拡大平面図を示している。

[0010] 図 1において、真空バルブ 1は、固定電極 laおよび可動電極 lb、金属製フランジ 2 aおよび金属管 2eとセラミクス製絶縁管 2bとからなり電極 la, lbを収容する真空容器 2、真空容器 2の外周面を覆う外周絶縁物としての榭脂モールド 3で構成されて、る。 21cは真空容器 2の熱応力集中部、 21dは真空容器 2の電界集中部である。

[0011] 電界集中によって高電界となり部分放電などの不具合が生じる虞のある榭脂モールド 3の部位に相応する真空容器 2の外周面の部分、即ち要電界緩和部分としては、例えば、真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21dがある。

このような要電界緩和部分に電界を緩和させるために、金属製フランジ 2aと絶縁管 2bとの接続部近傍の金属製フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部近傍の金属管 2eの外周面に、金属線をコイル状にしたものを環状にしたコイル状金属製シールド 4aを設ける。

このコイル状金属製シールド 4aは、比較的細、金属線によって金属フランジ 2aおよび金属管 2eとセラミクス製絶縁管 2bとで構成される真空容器 2における両端部の外径の 1Z10程度のコイル外径を持つコイル素体を形成し、このコイル素体を、自由状態において金属フランジ 2aで構成される真空容器 2における両端部の外径よりも小さな内径を持つ環状体に形成される。このように形成されたコイル状金属製シールド 4aは、図 1および図 2 (b)に断面が示され、図 2 (c)に拡大平面図が示されるように、全体として図 1の紙面と垂直方向に配置された状態で真空容器 2を構成する金属フランジ 2aに嵌合されて金属フランジ 2aに接合される。コイル状金属製シールド 4a の金属フランジ 2aへの嵌合は、コイル状金属製シールド 4aを径方向に拡大する方向に弾性力に抗して引つ張ることによりコイル状金属製シールド 4aの内径を真空容器 2 を構成する金属フランジ 2aの外径よりも大きくして行われる。金属フランジ 2aへ嵌合されたコイル状金属製シールド 4aはその収縮力によって真空容器 2を構成する金属フランジ 2aの外周面にその全周にわたり圧接される。そして、このコイル状金属製シ一ルド 4aは金属フランジ 2aに電気的に結合される。

[0012] このコイル状金属製シールド 4aを、真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21d より外周方向に突出させて設け、コイル状金属製シールド 4aと金属製フランジ 2aとを電気的に接続することによって、エッジ部 21dの電界を緩和し、部分放電の発生を抑 ff¾することができる。

[0013] また、エッジ部 21dからなる要電界緩和部分へ、その周辺の電界を緩和させるために、金属製フランジ 2aと絶縁管 2bとの接続部近傍の絶縁管 2bおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部近傍の絶縁管 2bの外周面に、金属線をコイル状にしたものを環状にしたコイル状金属製シールド 4bを設ける。

このコイル状金属製シールド 4bは、コイル状金属製シールド 4aと同様に、比較的細い金属線によって絶縁管 2bで構成される真空容器 2における中間部の外径の 1Z1 0程度のコイル外径を持つコイル素体を形成し、このコイル素体を、自由状態において絶縁管 2bで構成される真空容器 2における中間部の外径よりも小さな内径を持つ環状体に形成される。このように形成されたコイル状金属製シールド 4bは、図 1に断面が示されるように、全体として図 1の紙面と垂直方向に配置された状態で真空容器 2を構成する絶縁管 2bに嵌合されて絶縁管 2bに接合される。コイル状金属製シールド 4bの絶縁管 2bへの嵌合は、コイル状金属製シールド 4bを径方向に拡大する方向に弾性力に抗して引つ張ることによりコイル状金属製シールド 4bの内径を真空容器 2 を構成する絶縁管 2bの外径よりも大きくして行われる。絶縁管 2bへ嵌合されたコイル状金属製シールド 4bはその収縮力によって真空容器 2を構成する絶縁管 2bの外周面にその全周にわたり圧接される。そして、このコイル状金属製シールド 4bは金属管 2eに電気的に結合される。

[0014] このコイル状金属製シールド 4bを、真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21d より外周方向に突出させて設け、コイル状金属製シールド 4bと金属製フランジ 2aとを電気的に接続することによって、要電界緩和部分としてのエッジ部 21dの周辺における電界を更に緩和し、部分放電の発生を阻止することができる。

[0015] 上記に加えて、熱応力集中によって亀裂などの不具合が生じる虞のある榭脂モールド 3の部位に相応する真空容器 2の外周面の部分、即ち要熱応力緩和部分としては、例えば、真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21cがある。このような要熱応力緩和部分に熱応力を緩和させるために、熱応力緩和部材として RTVゴム 5を塗布した後に、コイル状金属製シールド 4aおよび 4bを装着する。

[0016] この RTVゴム 5を塗布することにより、榭脂モールド 3の熱応力緩和により亀裂などの不具合を防止できるとともに、コイル状金属製シールド 4aおよび 4bを設け、金属製フランジ 2aと電気的に接続することにより、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3の間に空隙が生じた場合においても、要電界緩和部分としてのエッジ部 21dの周辺部分および前記空隙部分の電界を緩和し、部分放電の発生を阻止することができる。

[0017] 更に、熱応力集中によって亀裂などの不具合が生じる虞のある榭脂モールド 3の部位に相応する真空容器 2の外周面の部分、即ち要熱応力緩和部分としては、例えば、真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21cがある。このような要熱応力緩和部分に熱応力を緩和させるために、熱応力緩和部材として RTVゴム 5を塗布した後に、 RTVゴム 5が硬化する前に、コイル状金属製シールド 4aおよび 4bを、 RTVゴム 5内にコイル状金属製シールド 4aおよび 4bの一部が埋設されるように装着する。

[0018] この RTVゴム 5を塗布することにより、榭脂モールド 3の熱応力緩和により亀裂などの不具合の防止に対しては上記と同等の効果が得られるとともに、コイル状金属製シ一ルド 4aおよび 4bをエッジ部 21dに更に近付けて設け、金属製フランジ 2aとを電気的に接続することにより、空隙部分の電界緩和に対して前記と同等の効果が得られるとともに、上記に加えて、要電界緩和部分としてのエッジ部 21dの周辺における電界を更に緩和し、部分放電の発生を阻止することができる。

[0019] また、前記 RTVゴム 5を硬化後に表面への塗装が可能なぺインタブルタイプ（Pain table type)とし、硬化後に少なくとも RTVゴム 5外周面の前記コイル状金属製シールド 4a, 4bと接する部分に、対 RTVゴムに比べ対エポキシの方が強固な接着力が得られる導電性または半導電性の塗料 6を前記金属フランジ 2aの外周面と連通するように塗布している。 [0020] この導電性または半導電性の塗料 6を塗布することにより、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3の間に空隙が生じた場合においても、金属フランジ 2aの外周面と連通するように塗布した前記塗料 6が、榭脂モールド 3側に付着するために、前記空隙部分の電界を緩和し、部分放電の発生を阻止することができる。

[0021] 一方、熱応力集中によって亀裂などの不具合が生じる虞のある榭脂モールド 3の部位に相応する真空容器 2の外周面の部分、即ち要熱応力緩和部分としては、例えば、真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21cがある。このような要熱応力緩和部分に熱応力を緩和させるために、金属製フランジ 2aと絶縁管 2bとの接続部に、硬化後に表面への塗装が可能なぺインタブルタイプの RTVゴム 5を塗布し、 RTVゴム 5が硬化した後に、前記べインタブルタイプの RTVゴム 5の外周面に、 RTVゴム 5とェポキシ榭脂モールド 3を接合するカップリング剤 7を前記絶縁筒 2bの外周面と連通するように塗布する。

[0022] この RTVゴム 5によって、要熱応力緩和部分である真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21cの熱応力を緩和して、亀裂などの不具合を防止するとともに、カツプリング剤 7によって、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3を接合することで、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3の間での部分放電の原因となる空隙の発生を阻止できる。

[0023] なお、図 1および図 2には、金属製シールド 4a, 4bを静電シールド部材として設けるものについて示した力この静電シールド部材としては真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の部材で構成すればよぐ a)導電性プラスチック、 b )波状板 Z波状線 (金属条、金属線、導電プラスチックで形成されるもの）、 c)若干の突き合わせギャップを有する C形リング条金属線などの径方向および周方向に伸縮可能な環状の部材であれば、金属製シールド 4a, 4bと同等のものとして任意のものを用いることができる。

[0024] (1A)この発明による実施の形態 1によれば、金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材とによって構成される真空容器 2内に、相対的に移動できる複数の電極 la, lbを設け、外周面に榭脂モールド 3を施した真空バルブ 1を備えたスィッチギヤにおいて、金属線をコイル状にしたものを環状にしたコィル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を、前記真空容器 2の外周面に装着し、前記真空容器 2の要電界緩和部分 21dの電界を緩和するようにしたので、真空容器 2の外周面に装着されたコイル状金属製シールド 4a, 4bなどカゝらなる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材により、部分放電を的確に防止し、信頼性の高!、真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを得ることができる。すなわち、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとを接続した真空容器 2内に、固定電極 laおよび可動電極 lbを設け、外周面に榭脂モールド 3を施した真空バルブ 1において、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部外周面に、金属線をコイル状にしたものを環状にしたコイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を、金属フランジ 2aおよび金属管 2e外周面の金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部近傍に装着した後に、真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを構成している。

したがって、コイル状金属製シールド 4a, 4bなどからなる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を設け、金属製フランジ 2aと電気的に接続することによって、エッジ部 21dの電界を緩和し、部分放電の発生を阻止することができる。

(1B)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1A)項における構成において、金属線をコイル状にしたものを環状にした前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなどからなる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を、前記真空容器 2の外周面に圧接して装着されたコイル状金属製シールド 4a , 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材の収縮力により前記真空容器 2の外周面に接合するようにしたので、真空容器 2の外周面に圧接して装着されたコイル状金属製シールド 4a, 4bにより、部分放電を的確に防止し、信頼性の高、真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを得ることができる。

すなわち、前記（1A)項に記載の真空バルブ 1において、絶縁管 2bの外径より大きな内径となるように金属線をコイル状にしたものを環状にしたコイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を、絶縁管 2b外周面の金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部近傍に圧接して装着し、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2e外周面の金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部近傍に装着したコイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を電気的に接続した後に、真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを構成している。

したがって、コイル状金属製シールド 4a, 4bなどからなる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を、絶縁管 2b外周面の金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部近傍に圧接して装着することにより、コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を設け、金属製フランジ 2aと電気的に接続することによって、エッジ部 21dの電界を緩和し、部分放電の発生を阻止することがでさる。

(1C)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1A)項または前記（1B)項における構成において、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2 bからなる絶縁部材との接続部分の周囲に硬化成形された RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材に前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空ノレブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を装着したので、真空容器 2の外周面における金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分の周囲に硬化成形された RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材に装着されたコイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空ノレブ 1 の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材により、部分放電を的確に防止し、信頼性の高、真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを得ることができる。

すなわち、前記（1A)項または前記（1B)項に記載の真空バルブ 1において、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部の周囲に RTVゴム 5を塗布後、 R TVゴム 5が硬化した後に、前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材を装着し、前記金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材装着後に真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを構成している。したがって、前記（1A)項または前記（1B)項に記載の効果に加えて、 RTVゴム 5 によって、エッジ部 21cの熱応力を緩和し、亀裂などの不具合の発生を阻止することができる。

(1D)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1A)項または前記（1B)項における構成において、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2 bからなる絶縁部材との接続部分の周囲に前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなどからなる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材の一部を埋設して硬化成形された RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材を装着したので、真空容器 2の外周面における金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分の周囲に硬化成形された RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材に一部を埋設して装着されたコイル状金属製シールド 4a , 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材により、部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを得ることができる。

すなわち、前記（1A)項または前記（1B)項に記載の真空バルブ 1において、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部の周囲に RTVゴム 5を塗布後、 R TVゴム 5が硬化する前に、 RTVゴム 5に前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力らなる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材の一部を埋設して装着し、 RTVゴム 5が硬化した後に真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを構成している。

したがって、前記（1A)項または前記（1B)項に記載の効果に加えて、コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材の一部を埋設した RTVゴム 5によって、エッジ部 21cの熱応力を緩和し、亀裂などの不具合の発生を阻止することができる。

[0028] (1E)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1C)項または前記（1D)項における構成にお、て、少なくとも前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材外周面の前記コィル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材と接する部分に、導電性または半導電性の塗料層 6を前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と導通するように設けたので、少なくとも前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材外周面の前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材と接する部分に、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と導通するように設けられた導電性または半導電性の塗料層 6 により、部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを得ることができる。

すなわち、前記（1C)項または前記（1D)項に記載の真空バルブ 1において、前記 RTVゴム 5がべインタブルタイプであり、少なくとも RTVゴム 5外周面の前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向に自己収縮する導電性を有する環状の静電シールド部材と接する部分に、導電性または半導電性の塗料 6を前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eの外周面と連通するように塗布し、乾燥した後に真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を構成している。

したがって、前記（1C)項または前記（1D)項に記載の効果に加えて、導電性または半導電性の塗料 6を金属フランジ 2aの外周面と連通するように塗布することにより、RTVゴム 5と榭脂モールド 3の間に温度変化による空隙が生じた場合においても、前記塗料 6が榭脂モールド 3側に付着するので、前記空隙部分の電界を緩和し、部分放電の発生を阻止することができる。

[0029] (1F)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1C)項または前記（1D)項における構成にぉ、て、前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材外周面と榭脂モールド 3との間にカップリング剤 7からなる結合層を設けたので、 RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材外周面と榭脂モールド 3との間に設けられたカップリング剤 7からなる結合層により、部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを得ることがでさる。

すなわち、前記（1C)項または前記（1D)項に記載の真空バルブ 1において、前記 RTVゴム 5がべインタブルタイプであり、前記べインタブルタイプの RTVゴム 5の外周面にカップリング剤 7を前記絶縁管 2bの外周面と連通するように塗布した後に、真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィツチギヤを構成している。

したがって、前記（1C)項または前記（1D)項に記載の効果に加えて、カップリング剤 7によって、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3を接合することで、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3の間での部分放電の原因となる空隙の発生を阻止できる。

(1G)この発明による実施の形態 1によれば、金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材とによって構成される真空容器 2内に、相対的に移動できる複数の電極 la, lbを設け、外周面に榭脂モールド 3を施した真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを製造するにあたり、前記真空容器 2の外径より小さな内径となるように金属線をコイル状にしたものを環状にしたコイル状金属製シールド 4 a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を、前記真空容器 2外周面の金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分近傍に真空バルブ 1の径方向の圧縮力を保持した状態で装着し、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を電気的に接続した後に、前記真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施すことを特徴とするので、真空容器 2の外周面にコイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を圧接して装着した状態で榭脂モールド 3を施すことにより、部分放電を的確に防止し、信頼性の高!、真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法を得ることができる。すなわち、前記（1 A)項に記載の真空バルブ 1において、絶縁管 2bの外径より小さな内径となるように金属線をコイル状にしたものを環状にしたコイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を、絶縁管 2b外周面の金属フランジ 2aおよび金属管 2 eと絶縁管 2bとの接続部近傍に装着し、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2e外周面の金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部近傍に装着したコイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を電気的に接続した後に、真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法としている。

したがって、コイル状金属製シールド 4a, 4bなどからなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を設け、金属製フランジ 2aと電気的に接続することによって、エッジ部 21dの電界を緩和し、部分放電の発生を阻止することができる真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法を得ることがでさる。

(1H)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1G)項における方法内容にお!、て、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分の周囲に RTVゴム 5からなるシリコンゴムを塗布後、前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴムが硬化した後に、前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなどからなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を装着し、前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材装着後に前記真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施すことを特徴とするので、真空容器 2の外周面における金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分の周囲に硬化成形された RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材にコイル状金属製シールド 4a, 4bなどからなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を装着することにより、部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法を得ることができる。

すなわち、前記（1G)項に記載の真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法において、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部の周囲に RTVゴム 5を塗布後、 RTVゴム 5が硬化した後に、前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなどからなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材を装着し、前記金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材装着後に真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1の製造方法としている。

したがって、前記（1G)項に記載の効果に加えて、 RTVゴム 5によって、エッジ部 2 lcの熱応力を緩和し、亀裂などの不具合の発生を阻止することができる。

(II)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1G)項における方法内容にお!、て、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分の周囲に、 RTVゴム 5からなるシリコンゴムを塗布後、前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴムが硬化する前に、前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴムに前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材の一部を埋設して装着し、前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴムが硬化した後に前記真空容器 2の外周面に榭脂モ一ルド 3を施すことを特徴とするので、真空容器 2の外周面における金属フランジ 2a および金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分の周囲に硬化成形された RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材にコイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材の一部を埋設して装着することにより、部分放電を的確に防止し、信頼性の高!、真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法を得ることができる。

すなわち、前記（1G)項に記載の真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法において、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部の周囲に RTVゴムを塗布後、 RTVゴム 5が硬化する前に、 RTVゴム 5に前記コイル状金属製シールド 4 a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材の一部を埋設して装着し、 RTVゴム 5が硬化した後に真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1の製造方法としている。

したがって、前記（1G)項に記載の効果に加えて、コイル状金属製シールド 4a, 4b の一部を埋設させた RTVゴム 5によって、エッジ部 21cの熱応力を緩和し、亀裂などの不具合の発生を阻止することができる。

(1J)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1H)項または（II)項における方法内容にぉ、て、前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴムがぺインタブルタイプであり、少なくとも前記シリコンゴム外周面の前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シ一ルド部材と接する部分に、導電性または半導電性の塗料を前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と導通するように塗布し、乾燥した後に前記真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施すことを特徴とするので、少なくとも前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材外周面の前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力もなる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シ一ルド部材と接する部分に、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と導通するように設けられた導電性または半導電性の塗料層 6を塗布することにより、部分放電を的確に防止し、信頼性の高!、真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法を得ることができる。

すなわち、前記（1H)項または（II)項に記載の真空ノレブ 1において、前記 RTV ゴム 5がべインタブルタイプであり、少なくとも RTVゴム 5外周面の前記コイル状金属製シールド 4a, 4bなど力なる真空バルブ 1の径方向および周方向に伸縮可能な導電性を有する環状の静電シールド部材と接する部分に、導電性または半導電性の塗料 6を前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eの外周面と連通するように塗布し、乾燥した後に真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法として、る。

したがって、前記（1H)項または前記（II)項に記載の効果に加えて、導電性または半導電性の塗料 6を金属フランジ 2aの外周面と連通するように塗布することにより、 R TVゴム 5と榭脂モールド 3の間に温度変化による空隙が生じた場合においても、前記塗料 6が榭脂モールド 3側に付着するので、前記空隙部分の電界を緩和し、部分放電の発生を阻止することができる。

[0034] (1K)この発明による実施の形態 1によれば、前記（1H)項または（II)項における方法内容にぉ、て、前記 RTVゴム 5からなるシリコンゴムがぺインタブルタイプであり、前記べインタブルタイプの RTVゴム 5からなるシリコンゴムの外周面にカップリング剤 7を前記絶縁管 2bからなる絶縁部材の外周面と連通するように塗布した後に、前記真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施すことを特徴とするので、 RTVゴム 5からなるシリコンゴム部材外周面と榭脂モールド 3との間に設けられたカップリング剤 7からなる結合層を塗布することにより、部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法を得ることができる。

すなわち、前記（1H)項または（II)項に記載の真空ノレブ 1において、前記 RTV ゴムがぺインタブルタイプであり、前記べインタブルタイプの RTVゴム 5の外周面に力ップリング剤 7を前記絶縁管 2bの外周面と連通するように塗布した後に、真空容器 2 の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィッチギャの製造方法としている。

したがって、前記（1H)項または前記（II)項に記載の効果に加えて、カップリング剤 7によって、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3を接合することで、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3の間での部分放電の原因となる空隙の発生を阻止できる。

[0035] 実施の形態 2.

この発明による実施の形態 2を図 3について説明する。図 3は実施の形態 2における真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの構成を示す一部切欠断面図である。

この実施の形態 2において、ここで説明する特有の構成以外の構成については、先に説明した実施の形態 1における構成および方法と同一の構成内容および方法内容を具備し、同様の作用を奏するものである。図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

[0036] 図 3において、真空バルブ 1は、固定電極 laおよび可動電極 lb、金属製フランジ 2 aおよび金属管 2eとセラミクス製絶縁管 2bとからなり電極 la, lbを収容する真空容器 2、真空容器 2の外周面を覆う外周絶縁物としての榭脂モールド 3で構成されて、る。 21cは真空容器 2の熱応力集中部、 21dは真空容器 2の電界集中部である。

[0037] 熱応力集中によって亀裂などの不具合が生じる虞のある榭脂モールド 3の部位に相応する真空容器 2の外周面の部分、即ち要熱応力緩和部分としては、例えば、真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21cがある。このような要熱応力緩和部分に熱応力を緩和させるために、金属製フランジ 2aと絶縁管 2bとの接続部に、硬化後に表面への塗装が可能なぺインタブルタイプの RTVゴム 5を塗布し、 RTVゴム 5が硬ィ匕した後に、前記べインタブルタイプの RTVゴムの外周面に、対 RTVゴムに比べ対エポキシの方が強固な接着力が得られる導電性または半導電性の塗料 6を前記金属フランジ 2aの外周面と連通するように塗布する。

[0038] この RTVゴム 5によって、要熱応力緩和部分である真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21cの熱応力を緩和して、亀裂などの不具合を防止するとともに、 RTV ゴム 5と榭脂モールド 3の間に空隙が生じた場合においても、金属フランジ 2aの外周面と連通するように塗布した前記塗料 6が、榭脂モールド 3側に付着するために、エツジ部 21dおよび前記空隙部分の電界を緩和し、部分放電の発生を阻止することができる。

[0039] (2A)この発明による実施の形態 2によれば、金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材とによって構成される真空容器 2内に、相対的に移動できる複数の電極 la, lbを設け、外周面に榭脂モールド 3を施した真空バルブ 1を備えたスィッチギヤにぉ、て、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と前記絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分周辺の前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材および前記絶縁管 2bからなる絶縁部材の外周面に硬化形成されたべインタブルタイプの RTVゴム 5からなるシリコンゴム外周面に導電性または半導電性の塗料層 6を前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材に導通するように設け、前記真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したので、導電性または半導電性の塗料層 6により、部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空ノレブ 1を備えたスィッチギヤを得ることができる。すなわち、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとを接続した真空容器 2内に、固定電極および可動電極を設け、外周面に榭脂モールド 3を施した真空バルブ 1にお、て、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部周辺の金属フランジ 2aおよび金属管 2eならびに絶縁管 2bの外周面に、ぺインタブルタイプの RTV ゴム 5を塗布して硬化した後に、前記べインタブルタイプの RTVゴム 5の外周面に導電性または半導電性の塗料 6を前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eの外周面と連通するように塗布し、乾燥した後に真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを構成している。

したがって、 RTVゴム 5によって、要熱応力緩和部分である真空容器 2の外周方向に突出するエッジ部 21cの熱応力を緩和して、亀裂などの不具合を防止するとともに、 RTVゴム 5と榭脂モールド 3の間に空隙が生じた場合においても、金属フランジ 2a の外周面と連通するように塗布した前記塗料 6が、榭脂モールド 3側に付着するために、エッジ部 21dおよび前記空隙部分の電界を緩和し、部分放電の発生を阻止できる。

(2B)この発明による実施の形態 2によれば、金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と絶縁管 2bからなる絶縁部材とによって構成される真空容器 2内に、相対的に移動できる複数の電極 la, lbを設け、外周面に榭脂モールド 3を施した真空バルブ 1を備えたスィッチギヤを製造するにあたり、前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材と前記絶縁管 2bからなる絶縁部材との接続部分周辺の前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材および前記絶縁管 2bからなる絶縁部材の外周面に、ぺインタブルタイプの RTVゴム 5からなるシリコンゴムを塗布して硬化した後に、前記べインタブルタイプの RTVゴム 5からなるシリコンゴムの外周面に導電性または半導電性の塗料 6を前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eからなる導電部材の外周面と導通するように塗布し、乾燥した後に前記真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したので、導電性または半導電性の塗料層 6を塗布することにより、部分放電を的確に防止し、信頼性の高い真空バルブ 1を備えたスィッチギヤの製造方法を得ることができる。

すなわち、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとを接続した真空容器 2内に、固定電極および可動電極を設け、外周面に榭脂モールド 3を施した真空バルブ 1にお、て、金属フランジ 2aおよび金属管 2eと絶縁管 2bとの接続部周辺の金属フランジ 2a、金属管 2eおよび絶縁管 2bの外周面に、ぺインタブルタイプの RTVゴム 5を塗布して硬化した後に、前記べインタブルタイプの RTVゴム 5の外周面に導電性または半導電性の塗料 6を前記金属フランジ 2aおよび金属管 2eの外周面と連通するように塗布し、乾燥した後に真空容器 2の外周面に榭脂モールド 3を施したことを特徴とする真空バルブ 1の製造方法として、る。

この発明は、真空容器 2の外周面が榭脂モールド 3が施された真空ノレブ 1とその製造方法とに関し、詳しくは、温度変化を受けた際に前記榭脂モールド 3で生じる亀裂および部分放電等の発生を阻止する熱応力緩和および電界緩和として利用できる。

Claims

請求の範囲

[1] 導電部材と絶縁部材とによって構成される真空容器内に、相対的に移動できる複数の電極を設け、外周面に榭脂モールドを施した真空バルブを備えたスィッチギヤにおいて、径方向に収縮する環状の静電シールド部材を、前記真空容器の外周面に装着し、前記真空容器の要電界緩和部分の電界を緩和することを特徴とするスィツチギヤ。

[2] 前記静電シールド部材として、金属線をコイル状にしたものを環状にしたコイル状金属製シールド部材を用いたことを特徴とする請求項 1に記載のスィッチギヤ。

[3] 前記静電シールド部材を、前記真空容器の外周面に装着し、前記静電シールド部材を前記静電シールド部材の収縮力により前記真空容器の外周面に接合することを特徴とする請求項 1または請求項 2に記載のスィッチギヤ。

[4] 前記導電部材と絶縁部材との接続部分の周囲に硬化成形されたシリコンゴム部材に前記静電シールド部材を装着したことを特徴とする請求項 1から請求項 3までのいずれか 1に記載のスィッチギヤ。

[5] 前記導電部材と絶縁部材との接続部分の周囲に前記静電シールド部材の一部を埋設して硬化成形されたシリコンゴム部材を装着したことを特徴とする請求項 1から請求項 3までの!/、ずれか 1に記載のスィッチギヤ。

[6] 少なくとも前記シリコンゴム部材外周面の前記静電シールド部材と接する部分に、導電性または半導電性の塗料層を前記導電部材と導通するように設けたことを特徴とする請求項 4または請求項 5に記載のスィッチギヤ。

[7] 前記シリコンゴム部材外周面と榭脂モールドとの間にカップリング剤力もなる結合層を設けたことを特徴とする請求項 4または請求項 5に記載のスィッチギヤ。

[8] 導電部材と絶縁部材とによって構成される真空容器内に、相対的に移動できる複数の電極を設け、外周面に榭脂モールドを施した真空バルブを備えたスィッチギヤを製造するにあたり、前記真空容器の外径より小さな内径となるようにした径方向に伸縮可能な環状の静電シールド部材を、前記真空容器外周面の導電部材と絶縁部材との接続部分近傍に径方向の圧縮力が保持された状態で装着し、前記導電部材と前記静電シールド部材を電気的に接続した後に、前記真空容器の外周面に榭脂モールドを施すことを特徴とする真空バルブを備えたスィッチギヤの製造方法。

[9] 前記導電部材と絶縁部材との接続部分の周囲にシリコンゴムを塗布後、前記シリコンゴムが硬化した後に、前記静電シールド部材を装着し、前記静電シールド部材装着後に前記真空容器の外周面に榭脂モールドを施すことを特徴とする請求項 8に記載の真空バルブを備えたスィッチギヤの製造方法。

[10] 前記導電部材と絶縁部材との接続部分の周囲にシリコンゴムを塗布後、前記シリコンゴムが硬化する前に、前記シリコンゴムに静電シールド部材の一部を埋設して装着し、前記シリコンゴムが硬化した後に前記真空容器の外周面に榭脂モールドを施すことを特徴とする請求項 8に記載の真空バルブを備えたスィッチギヤの製造方法。

[11] 前記シリコンゴムがぺインタブルタイプであり、少なくとも前記シリコンゴム外周面の前記静電シールド部材と接する部分に、導電性または半導電性の塗料を前記導電部材と導通するように塗布し、乾燥した後に前記真空容器の外周面に榭脂モールドを施すことを特徴とする請求項 8または請求項 9に記載の真空ノレブを備えたスイツチギヤの製造方法。

[12] 前記シリコンゴムがぺインタブルタイプであり、前記べインタブルタイプのシリコンゴムの外周面にカツプリング剤を前記絶縁部材の外周面と連通するように塗布した後に、前記真空容器の外周面に榭脂モールドを施すことを特徴とする真空バルブを備えた請求項 9または請求項 10に記載の製造方法。

[13] 導電部材と絶縁部材とによって構成される真空容器内に、相対的に移動できる複数の電極を設け、外周面に榭脂モールドを施した真空バルブを備えたスィッチギヤにお 1、て、前記導電部材と前記絶縁部材との接続部分周辺の前記導電部材および前記絶縁部材の外周面に硬化形成されたべインタブルタイプのシリコンゴム外周面に導電性または半導電性の塗料層を前記導電部材に導通するように設け、前記真空容器の外周面に榭脂モールドを施したことを特徴とする真空バルブを備えたスイツチギヤ。

[14] 導電部材と絶縁部材とによって構成される真空容器内に、相対的に移動できる複数の電極を設け、外周面に榭脂モールドを施した真空バルブを備えたスィッチギヤを製造するにあたり、前記導電部材と前記絶縁部材との接続部分周辺の前記導電部材および前記絶縁部材の外周面に、ぺインタブルタイプのシリコンゴムを塗布して硬化した後に、前記べインタブルタイプのシリコンゴムの外周面に導電性または半導電性の塗料を前記導電部材の外周面と導通するように塗布し、乾燥した後に前記真空容器の外周面に榭脂モールドを施すことを特徴とする真空バルブを備えたスイツチギヤの製造方法。