DE112004002836B4 - Nichtflüchtige Halbleitervorrichtung und Verfahren zum automatischen Beheben eines Löschfehlers in der Halbleitervorrichtung - Google Patents

Nichtflüchtige Halbleitervorrichtung und Verfahren zum automatischen Beheben eines Löschfehlers in der Halbleitervorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE112004002836B4
DE112004002836B4 DE112004002836.1T DE112004002836T DE112004002836B4 DE 112004002836 B4 DE112004002836 B4 DE 112004002836B4 DE 112004002836 T DE112004002836 T DE 112004002836T DE 112004002836 B4 DE112004002836 B4 DE 112004002836B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sector
decoder
address
selected regular
regular
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE112004002836.1T
Other languages
English (en)
Other versions
DE112004002836T5 (de
Inventor
Masaki Shingo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Spansion Japan Ltd
Spansion LLC
Original Assignee
Spansion Japan Ltd
Spansion LLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Spansion Japan Ltd, Spansion LLC filed Critical Spansion Japan Ltd
Publication of DE112004002836T5 publication Critical patent/DE112004002836T5/de
Application granted granted Critical
Publication of DE112004002836B4 publication Critical patent/DE112004002836B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10Programming or data input circuits
    • G11C16/14Circuits for erasing electrically, e.g. erase voltage switching circuits
    • G11C16/16Circuits for erasing electrically, e.g. erase voltage switching circuits for erasing blocks, e.g. arrays, words, groups
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • G11C16/3436Arrangements for verifying correct programming or erasure
    • G11C16/344Arrangements for verifying correct erasure or for detecting overerased cells
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/70Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
    • G11C29/76Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using address translation or modifications
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/70Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
    • G11C29/78Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
    • G11C29/785Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with redundancy programming schemes
    • G11C29/789Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with redundancy programming schemes using non-volatile cells or latches
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10Programming or data input circuits

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

Halbleitervorrichtung mit: – elektrisch löschbaren/programmierbaren regulären Sektoren (61a, 61b, 61c, 61d); – mindestens einem elektrisch löschbaren/programmierbaren Reserve-Sektor (62) als potentieller Ersatz für die regulären Sektoren (61a, 61b, 61c, 61d); – einem Decoder (59), der einen der regulären Sektoren (61a, 61b, 61c, 61d) in Reaktion auf einen Löschbefehl auswählt; – einer Überwachungsschaltung (58), die eine Löschleistung eines von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) während des Löschens überwacht; und – einer Steuerschaltung (57), die automatisch den Reserve-Sektor (62) als Ersatz für den von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) auswählt, wenn der von dem Decoder (59) ausgewählte reguläre Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) eine verringerte Löschleistung aufweist, – wobei sich der Reserve-Sektor (62) anfangs vor dem durch die Steuerschaltung (57) erfolgten Ausgewählt werden in einem Löschzustand befindet, – wobei die Überwachungsschaltung (58) einen Stromdetektor aufweist, der einen beim Löschen in dem von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) fließenden Leckstrom detektiert und – wobei der Leckstrom ein beim Löschen zwischen einer Wortleitung und einer Wanne des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) fließender Strom ist.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine nichtflüchtige Halbleitervorrichtung und ein Verfahren zum automatischen Beheben eines Löschfehlers und insbesondere eine Halbleitervorrichtung, die in der Lage ist, automatisch und schnell einen Löschfehler zu beheben, bei dem in einem Sektor befindliche Daten nicht innerhalb eines vorgebebenen Zeitraums gelöscht werden können (Fehler wegen zu langandauernden Löschens-Langlöschfehler), und ein Verfahren zum automatischen Beheben eines Langlöschfehlers.
  • 2. Beschreibung des einschlägigen Stands der Technik
  • Als ein Typ einer nichtflüchtigen Halbleitervorrichtung ist ein Flash-Speicher bekannt. Der Flash-Speicher weist Sektoren auf, die jeweils aus einer Gruppe von Kernzellen gebildet sind. Um die Vorrichtung gegen Fehler in einem der regulären Sektoren zu schützen, weist der herkömmliche Flash-Speicher eine redundante Schaltung mit einem redundanten Sektor (Reserve-Sektor) auf, der von den regulären Sektoren (normalen Sektoren) getrennt ist und auf demselben Chip vorgesehen ist. Ein bei einer während des Fertigungsprozesses durchgeführten Prüfung/Inspektion identifizierter defekter regulärer Sektor wird durch den Reserve-Sektor ersetzt. Wenn nach der Auslieferung bei der praktischen Anwendung ein langandauerndes Löschen in einem Flash-Speicher-Chip erfolgt, handelt es sich bei dem Chip um einen Chip, bei dem ein ”Langlöschfehler” auftritt, und er wird als defekter Chip behandelt. Wenn ein Löschfehler vor der Auslieferung bei dem Chip-Prüf-/Inspektionsschritt detektiert wird, kann ein Ersetzen durch einen Reserve-Sektor erfolgen, oder der defekte Chip wird bei einem Screening verworfen.
  • Es ist jedoch schwierig, eine Redundanz und ein Screening für Löschfehler vollständig zu implementieren, und es ist unvermeidlich, dass nach der Auslieferung bei der praktischen Anwendung ein Löschfehler auftritt. In JP 8-7597 A ist eine nichtflüchtige Halbleiterspeichervorrichtung beschrieben, die ein automatisches Beheben eines Fehlers ermöglicht, der bei der praktischen Anwendung durch die Endbenutzer auftritt. Diese Vorrichtung weist eine Schaltung auf, die zur Gewährleistung einer guten Speicherleistung verhindert, dass eine Speicherzelle mit verringerter Programmier- oder Löschleistung (im Sinne von Löscheigenschaften) bei der praktischen Anwendung ausgewählt wird.
  • Die in JP 8-7597 A beschriebene Vorrichtung löscht jedoch den spezifizierten Sektor durch automatische Redundanz und ermöglicht Verbesserungen bei der Reduzierung der Zeit, die für ein automatisches Beheben des Sektorfehlers erforderlich ist.
  • Aus JP 2002-170389 A ist ein nichtflüchtiger Halbleiterspeicher bekannt, bei dem das Löschen von Speicherzellen blockweise erfolgt.
  • In JP 2001-195892 A ist ein nichtflüchtiger Halbleiterspeicher beschrieben, bei dem die einzelnen Sektoren auf ihre Funktionsfähigkeit hin überprüft werden und bei dem der Zugriff auf solche Sektoren, die nicht ordnungsgemäß arbeiten, unterbunden ist.
  • ZUSAMMENFASSENDER ÜBERBLICK ÜBER DIE ERFINDUNG
  • Bei der vorliegenden Erfindung werden die oben beschriebenen Probleme berücksichtigt. der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Halbleitervorrichtung bereitzustellen, die in der Lage ist, automatisch und schnell einen Löschfehler, bei dem in einem Sektor gespeicherte Daten nicht innerhalb eines vorgegebenen Zeitraums gelöscht werden können (Langlöschfehler) zu beheben, und damit den Benutzern eine Umgebung zu präsentieren, die im Wesentlichen derjenigen gleich ist, bei der kein Langlöschfehler auftritt Ferner ist es Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum automatischen Beheben eines Langlöschfehlers zu schaffen.
  • Die Lösung der vorgenannten Aufgaben erfolgt erfindungsgemäß mit einer Halbleiterspeichervorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Einzelne Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
  • Die erfindungsgemäß vorgesehene Überwachungsschaltung ist derart konfiguriert, dass sie einen Stromdetektor aufweist, der einen beim Löschen in dem ausgewählten regulären Sektor fließenden Leckstrom detektiert. Die Steuerschaltung wählt den Reserve-Sektor automatisch aus, wenn der Leckstrom beim Löschen einen vorgegebenen Wert erreicht. Dieser Leckstrom fließt beim Löschen zwischen einer Wortleitung und einer Wanne des ausgewählten regulären Sektors.
  • Vorzugsweise wählt die Steuerschaltung automatisch den Reserve-Sektor aus, wenn sich beim Löschen des ausgewählten regulären Sektors herausstellt, dass das Löschen des Sektors nicht innerhalb eines vorgegebenen Zeitraums abgeschlossen ist.
  • Die Überwachungsschaltung kann derart konfiguriert sein, dass sie einen Impulszähler aufweist, der zum Löschen vorgesehene Impulse zählt und das Löschen des ausgewählten regulären Sektors anhand der Anzahl von gezählten Impulsen überwacht. In diesem Fall kann die Steuerschaltung derart konfiguriert sein, dass sie das Löschen verifiziert und automatisch den Reserve-Sektor auswählt, wenn das Verifizieren der Löschung bei einer vorgegebenen Anzahl von gezählten Impulsen einen Fehler anzeigt.
  • Die Steuerschaltung kann derart konfiguriert sein, dass sie einen inhaltsadressierbaren Speicher (CAM-Speicher) zum Speichern einer Adresse des ausgewählten regulären Sektors mit der verringerten Löschleistung aufweist.
  • Die Steuerschaltung kann derart konfiguriert sein, dass sie aufweist: einen inhaltsadressierbaren Speicher (CAM-Speicher) zum Speichern einer Adresse des ausgewählten regulären Sektors mit der verringerten Löschleistung; und eine Adressenvergleichsschaltung zum Vergleichen einer mit dem Löschbefehl übermittelten Adresse mit der in dem CAM-Speicher gespeicherten Adresse und zum Bewirken, dass der Decoder den Reserve-Sektor auswählt, wenn die mit dem Löschbefehl übermittelte Adresse mit der Adresse in dem CAM-Speicher übereinstimmt.
  • Die Steuerschaltung kann derart konfiguriert sein, dass sie das Löschen des ausgewählten regulären Sektors verifiziert und ein Signal erzeugt, das den ausgewählten regulären Sektor bei Durchführung der Verifizierung in einen programmierbaren Zustand setzt.
  • Die Steuerschaltung kann derart konfiguriert sein, dass sie das Verifizieren des Löschens fortsetzt, bis eine vorbestimmte maximale Anzahl von zum Löschen vorgesehenen Impulsen an den Sektor angelegt ist, wenn die Steuerschaltung den Reserve-Sektor nicht automatisch auswählt. Der CAM-Speicher kann eine nichtflüchtige Speicherzelle zum Speichern der Adresse des ausgewählten regulären Sektors aufweisen.
  • Die obige Aufgabe wird ferner durch ein Verfahren zum automatischen Beheben eines Löschfehlers in einer nichtflüchtigen Halbleiterspeichervorrichtung gemäß Anspruch 12 gelöst.
  • Vorzugsweise wird bei dem Auswählschritt automatisch der Reserve-Sektor ausgewählt, wenn sich beim Löschen des ausgewählten regulären Sektors herausstellt, dass das Löschen des ausgewählten regulären Sektors nicht innerhalb eines vorgegebenen Zeitraums abgeschlossen ist.
  • Der Schritt des Auswählens kann einen Schritt des Zählens von zum Löschen vorgesehenen Impulsen zwecks Überwachung des Löschens des ausgewählten regulären Sektors anhand einer Anzahl von gezählten Impulsen umfassen.
  • Der Schritt des Überwachens kann einen Schritt des Detektierens eines beim Löschen in dem ausgewählten regulären Sektor fließenden Leckstroms umfassen.
  • Der Schritt des Überwachens kann einen Schritt des Detektierens eines Leckstroms umfassen, der beim Löschen zwischen einer Wortleitung und einer Wanne des ausgewählten regulären Sektors fließt.
  • Das Verfahren kann ferner einen Schritt des Speicherns einer Adresse des ausgewählten regulären Sektors, der eine verringerte Löschleistung aufweist, umfassen.
  • Das Redundanz-Verfahren kann ferner folgende Schritte umfassen: Speichern einer Adresse des ausgewählten regulären Sektors, der die verringerte Löschleistung aufweist; und Vergleichen einer von dem Löschbefehl angezeigten Adresse mit der gespeicherten Adresse und Auswählen des Reserve-Sektors, wenn die von dem Löschbefehl angezeigte Adresse mit der gespeicherten Adresse übereinstimmt.
  • Bei dem nichtflüchtigen Halbleiterspeicher werden sämtliche Daten in dem Reserve-Sektor derart gelöscht, dass sich der Reserve-Sektor vor der Auslieferung im Lösch-(Leer-)Zustand befindet. Jedes Mal, wenn ein Löschvorgang durchgeführt wird, wird die Anzahl von Löschimpulsen gezählt oder wird der zwischen der Wortleitung, an die der Löschimpuls angelegt ist, und der P-Wanne fließende Strom innerhalb des Speichers überwacht. Das automatische Umschalten auf den Reserve-Sektor ist abgeschlossen, bevor das Auftreten eines Langlöschfehlers bestätigt wird. Somit ist es möglich, den Langlöschfehler zu beheben, bevor das Auftreten eines Langlöschfehlers bestätigt wird, ohne dass der Reserve-Sektor nach der automatischen Durchführung der Redundanz mit dem Reserve-Sektor gelöscht wird.
  • Selbst wenn der Befehl zum Löschen des defekten Sektors nach dem automatischen Beheben eingegeben wird, wird ermittelt, ob die Adresse des von dem eingegebenen Befehl spezifizierten Sektors und die Adresse des defekten Sektors miteinander übereinstimmen. Der durch den Befehl spezifizierte defekte Sektor wird nicht ausgewählt, sondern es wird automatisch der Reserve-Sektor ausgewählt.
  • Somit hat der Benutzer den Eindruck, dass kein Langlöschfehler auftritt, so dass sich für ihn die Situation so darstellt, wie in dem Fall, in dem das Löschen normalerweise abgeschlossen ist. Der Reserve-Sektor oder die Reserve-Sektoren befindet/befinden sich zum Zeitpunkt der Auslieferung im Lösch-(Leer-)Zustand. Somit braucht bei der automatischen Redundanz mit Hilfe des Reserve-Sektors dieser nach dem Ersetzen nicht wieder gelöscht zu werden, und das Löschen kann schnell abgeschlossen werden.
  • Erfindungsgemäß ist es möglich, eine Halbleiterspeichervorrichtung bereitzustellen, die in der Lage ist, Löschfehler, bei denen in einem Sektor gespeicherte Daten nicht innerhalb einer vorgegebenen Zeit (langandauerndes Löschen) gelöscht werden können, automatisch und schnell zu beheben und den Benutzern die Umgebung zu präsentieren, die im Wesentlichen gleich derjenigen ist, in der kein Langlöschfehler auftritt, und ein Verfahren zum Beheben eines Langlöschfehlers zu schaffen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden anhand der folgenden detaillierten Beschreibung unter Hinzuziehung der beiliegenden Zeichnungen offensichtlich. Es zeigen:
  • 1 ein Ablaufdiagramm einer zweiten Sequenz der Behebungsoperation an einem Langlöschfehler, die erfindungsgemäß von einem nichtflüchtigen Halbleiterspeicher durchgeführt wird;
  • 2 ein Blockschaltbild einer Darstellung einer zweiten Konfiguration eines zum automatischen Beheben vorgesehenen Bereichs des erfindungsgemäßen nichtflüchtigen Halbleiterspeichers, der die in 8 gezeigte Sequenz durchführt;
  • 3 eine Querschnittsansicht eines Kerns einer Speicherzelle beim Löschen; und
  • 4 eine schematische Darstellung einer Schaltungskonfiguration, die die Größe eines zwischen einer Wortleitung und einer P-Wanne fließenden Stroms überwacht und ein Leckstrom-Detektionssignal ausgibt.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Es wird nun eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Zusammenhang mit den beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
  • (Erste Ausführungsform)
  • 1 zeigt ein Ablaufdiagramm einer Sequenz der in dem erfindungsgemäßen nichtflüchtigen Halbleiterspeicher ausführbaren automatischen Behebung eines Langlöschfehlers. Die zweite Sequenz ist zum Beheben des Langlöschfehlers in den regulären Sektoren vorgesehen, unterscheidet sich jedoch von der ersten Sequenz des Verfahrens zum Detektieren eines Langlöschfehlers.
  • Der erfindungsgemäße nichtflüchtige Halbleiterspeicher weist einen sich im Leerzustand befindenden Reserve-Sektor auf, der in der Endprüf-/-inspektionsphase vor der Auslieferung gelöscht worden ist. Wenn der Benutzer den Löschbefehl zum Löschen von Daten in einem regulären Sektor gibt, wird in dem Speicher in Reaktion auf den Löschbefehl die folgende Operation durchgeführt.
  • Als erstes wird ermittelt, ob sich der reguläre Sektor im Programmierzustand befindet (Schritt S201). Wenn sich der reguläre Sektor nicht im Programmierzustand befindet (NEIN in Schritt S201), werden Daten in den regulären Sektor geschrieben, der sich somit im Programmierzustand befindet (Schritt S202).
  • Wenn bestätigt wird, dass sich der reguläre Sektor im Programmierzustand befindet (JA in Schritt S201), wird die Operation zum Löschen des in dem regulären Sektor gespeicherten Programms innerhalb der vorgegebenen Zeit durchgeführt (Schritt S203). Eine Leckstrom-Detektionsschaltung, die in dem Speicher vorgesehen ist und nachstehend beschrieben wird, überwacht die Strommenge (die Menge an Strom, die zwischen der Wortleitung und der P-Wanne fließt), die während der Zeit, in der der Löschimpuls angelegt wird, beobachtet wird, und ermittelt, ob ein Leckstrom (Überstrom) vorhanden ist, der beim normalen Löschen nicht auftritt (Schritt S204).
  • Wenn festgestellt wird, das kein Überstrom auftritt (NEIN in Schritt S204), wird in Schritt S203 ermittelt, ob sich der reguläre Sektor tatsächlich im Löschzustand befindet (Schritt S205). Wenn sich der reguläre Sektor im Löschzustand befindet (JA in Schritt S205), ist das Löschen des regulären Sektors abgeschlossen (Schritt S207), und der Speicher wird im nichtdefekten Zustand gehalten (Schritt S208).
  • Wenn festgestellt wird, dass sich der reguläre Sektor nicht im Löschzustand befindet (NEIN in Schritt S205), kehrt der Prozess zum Löschen des aktuellen Sektors zurück, der erneut einem Löschen unterzogen wird.
  • Wenn das Auftreten eines Überstroms bestätigt wird (JA in Schritt S204), wird festgestellt, dass der reguläre Sektor einen Langlöschfehler aufweist, bei dem kein normales Löschen durchgeführt werden kann, und dass er durch den Reserve-Sektor ersetzt wird. Insbesondere ist der CAM-Speicher mit automatischer Redundanz mit der ”Adresse des defekten Sektors” programmiert, das heißt, der Adresse des den Langlöschfehler aufweisenden regulären Sektors, und der defekte reguläre Sektor wird automatisch durch den sich im Leerzustand befindenden Reserve-Sektor ersetzt (Schritt S206).
  • Wenn das automatische Ersetzen durch den Reserve-Sektor abgeschlossen ist (JA in Schritt S206), ist das Löschen abgeschlossen (Schritt S207), und der Speicher wird im nichtdefekten Zustand gehalten (Schritt S208).
  • Im Gegensatz dazu wird dann, wenn das automatische Ersetzen durch den Reserve-Sektor aufgrund einer Situation, wie z. B. der Nichtverfügbarkeit eines im Leerzustand befindlichen Reserve-Sektors (NEIN in Schritt S206), festgestellt, dass die Anzahl von Löschimpulsen die Maximalanzahl erreicht hat (Schritt S209). Wenn die Anzahl von Löschimpulsen die Maximalanzahl erreicht hat (JA in Schritt S209), ist das Löschen des Sektors nicht abgeschlossen (Schritt S210), und es wird festgestellt, dass der Speicher einen Langlöschfehler aufweist (Schritt S211). Wenn die Anzahl von Löschimpulsen die Maximalanzahl noch nicht erreicht hat (NEIN in Schritt S209), kehrt der Prozess zu Schritt S203 zurück, und es wird der nachfolgende Prozess durchgeführt. Der Grund dafür, dass die Maximalanzahl an Löschimpulsen in Schritt S209 verwendet wird, ist der gleiche, der oben in Zusammenhang mit Schritt S109 aus 1 beschrieben ist.
  • 2 zeigt ein Blockschaltbild einer Darstellung einer zweiten Konfiguration des Automatik-Behebungs-Bereichs des erfindungsgemäßen nichtflüchtigen Halbleiterspeichers, wobei die zweite Konfiguration die in 1 gezeigte Sequenz durchführt.
  • Der Speicher weist eine Vorgabe-Leckstrom-Detektionsschaltung 58, eine CAM-Steuerschaltung 56 und eine Steuerschaltung 57 auf. Die Schaltung 58 detektiert im Hinblick auf ein möglicherweise erforderliches Ersetzen eines regulären Sektors durch den Reserve-Sektor (,und zwar aufgrund eines Langlöschfehlers, bei dem das Löschen nicht innerhalb der vorgegebenen Zeit abgeschlossen ist), einen zwischen der Wortleitung und der P-Wanne fließenden Überstrom in diesem defekten regulären Sektor. Die CAM-Steuerschaltung 56 steuert einen CAM-Speicher 55 mit automatischer Redundanz. Die Steuerschaltung 57 erzeugt Signale zum Steuern der CAM-Steuerschaltung 56 und schaltet anhand eines von der Vorgabe-Leckstrom-Detektionsschaltung 58 ausgegebenen Leckstrom-Detektionssignals auf den Reserve-Sektor um.
  • Der von dem Benutzer eingegebene Löschbefehl wird von einer aus einem I/O-Register und einem Puffer gebildeten Löschbefehl-Bestätigungseinheit 51 bestätigt. Das Adressbefehlssignal, das in dem Löschbefehl enthalten ist und einen zu löschenden Sektor anzeigt, wird an einen Adressdatensequenzer 52 ausgegeben, und das in dem Löschbefehl enthaltene Löschbefehlssignal wird an einen Befehlssequenzer 53 ausgegeben.
  • Eine Adressenübereinstimmungs-Detektionsschaltung 54 trifft dahingehend eine Entscheidung, ob in dem Adressdatensequenzer 52 befindliche Adressdaten über den zu löschenden Sektor und die in dem CAM-Speicher 55 mit automatischer Redundanz, der mit der Adresse des defekten Sektors programmiert ist, gespeicherten Adressdaten über den defekten Sektor miteinander übereinstimmen. Wenn die von dem Löschbefehl spezifizierte Adresse des regulären Sektors mit der Adresse des einen Langlöschfehler aufweisenden Sektors übereinstimmt, annulliert die Adressenübereinstimmungs-Detektionsschaltung 54 die Auswahl des spezifizierten regulären Sektors und führt eine automatische Umschaltung auf den Reserve-Sektor durch.
  • Der Speicher weist reguläre Sektoren 61 und einen Reserve Sektor 62 auf, der als redundanter Sektor dient. Eine Wortleitung ist mit Steuer-Gates von Zellen in demselben Sektor verbunden, und eine Bitleitung ist mit Drains der Zellen in derselben Spalte verbunden. Die Wortleitungen und Bitleitungen sind mit einem X-Decoder (Xdec) 59 und einem Y-Decoder (Ydec) 60 verbunden.
  • Der X-Decoder 59 steuert selektiv die Wortleitung (X-Decoder-Knotenpunkt) entsprechend der von dem Adressdatensequenzer 52 und der Adressenübereinstimmungs-Detektionsschaltung 54 angegebenen Adresse anhand eines von einer Spannungsversorgungsschaltung 63 gelieferten Signals an. Der X-Decoder 59 weist einen Decoder zum Decodieren der Eingabeadresssignale und einen Wortleitungstreiber zum Anlegen einer vorgegebenen Spannung an die Wortleitungen auf. Der Y-Decoder 60 steuert selektiv die Bitleitung entsprechend der Adresse von dem Adressdatensequenzer 52 und der Adressenübereinstimmungs-Detektionsschaltung 54 anhand eines von der Spannungsversorgungsschaltung 63 gelieferten Signals an, und er weist einen Decoder zum Decodieren der Eingabeadresssignale und einen Bitleitungstreiber zum Anlegen einer vorgegebenen Spannung an die Bitleitungen auf.
  • Der X-Decoder 59 weist einen Decoder, der das Eingabeadresssignal decodiert, und einen Treiber auf, der eine vorgegebene Spannung an die X-Decoder-Knotenpunkte anlegt. Der Y-Decoder 60 weist einen Decoder, der das Eingabeadresssignal decodiert, und einen Bitleitungstreiber auf, der eine vorgegebene Spannung an die Bitleitungen anlegt.
  • Das Signal, das den Zustand (Lösch-/Programmierzustand) jedes Sektors anzeigt, wird an ein Datenregister 54 ausgegeben und in diesem gespeichert und ferner zu der Steuerschaltung 57 zurückgeführt. Das Ersetzen eines regulären Sektors, der als einen Löschfehler aufweisend beurteilt ist, durch den im Leerzustand befindlichen Reserve-Sektor erfolgt über die von einem von der Steuerschaltung 57 gelieferten Steuersignal angesteuerte Spannungsversorgungsschaltung 63.
  • Der Adressdatensequenzer 52 vermerkt den zu löschenden regulären Sektor und speichert seine Adressdaten, die an den Befehlssequenzer 53 ausgegeben werden.
  • Der Befehlssequenzer 53 führt der Steuerschaltung 57 ein Signal zum Löschen des regulären Sektors anhand des Löschbefehls von der Löschbefehl-Bestätigungseinheit 51 und der Adressdaten von dem Adressdatensequenzer 52 zu.
  • Die Steuerschaltung 57 gibt ein Programmierverifiziersignal an die Spannungsversorgungsschaltung 63 aus, um zu ermitteln, ob sich der zu löschende reguläre Sektor im Lösch- oder Programmierzustand befindet. Die Spannungsversorgungsschaltung 63, der das Programmierverifiziersignal zugeführt wird, ermittelt über den X-Decoder 59 und den Y-Decoder 60, ob sich der reguläre Sektor im Lösch- oder Programmierzustand befindet.
  • Das Ergebnis der Feststellung, ob sich der reguläre Sektor im Lösch- oder Programmierzustand befindet, wird an das Datenregister 64 ausgegeben. Der Steuerschaltung 57 wird das in dem Datenregister 64 gespeicherte Signal zugeführt, wenn sich der reguläre Sektor nicht im Programmierzustand befindet, und sie schreibt Daten über die Spannungsversorgungsschaltung 63 in den regulären Sektor, so dass sich der reguläre Sektor im Programmierzustand befinden kann.
  • Im Gegensatz dazu werden dann, wenn bestätigt wird, dass sich der reguläre Sektor im Programmierzustand befindet, Informationen, die dies anzeigen, von dem Datenregister 64 an die Steuerschaltung 57 ausgegeben, und die Spannungsversorgungsschaltung 63 gibt ein Signal zum Löschen des regulären Sektors innerhalb der vorgegebenen Zeit an den X-Decoder 59 und den Y-Decoder 60 aus, so dass ein Löschen ausgeführt wird.
  • Die Steuerschaltung 57 führt der Spannungsversorgungsschaltung 63 ein Signal zum Überwachen des Stroms zu, der zu derjenigen Zeit zwischen der Wortleitung und der P-Wanne fließt, zu der der Löschimpuls angelegt wird. Die Leckstrom-Detektionsschaltung 58, die eine Ausführungsform der Löschleistungs-Detektionsschaltung ist, überwacht das Vorhandensein/Nichtvorhandensein des aus dem Langlöschfehler resultierenden Überstroms.
  • Bei Nichtvorhandensein des Überstroms zwischen der Wortleitung und der P-Wanne wird der Löschzustand des betroffenen regulären Sektors beim Löschen verifiziert. Wenn festgestellt wird, dass sich der reguläre Sektor im Löschzustand befindet, wird das Ergebnis dieser Feststellung an die Steuerschaltung 57 ausgegeben. Auf diese Weise ist das Löschen abgeschlossen, und es wird festgestellt, dass der Speicher keinen Fehler aufweist. Im Gegensatz dazu gibt dann, wenn der reguläre Sektor nicht gelöscht worden ist, die Spannungsversorgungsschaltung 63 das Signal zum Löschen des betroffenen regulären Sektors innerhalb der vorgegebenen Zeit aus. In Reaktion auf das oben beschriebene Signal führen der X-Decoder 59 und der Y-Decoder 60 kontinuierlich das Löschen durch. Diese Operation wird mehrfach ausgeführt.
  • Wenn die Steuerschaltung 57 den Überstrom zwischen der Wortleitung und der P-Wanne detektiert, wird festgestellt, dass der Sektor einen Langlöschfehler aufweist, und der Reserve-Sektor wird unter Anwendung der nachstehend beschriebenen Sequenz als Ersatz verwendet.
  • Das Ersetzen des regulären Sektors durch den Reservesektor wird wie folgt durchgeführt. Die Steuerschaltung 57, die feststellt, dass der reguläre Sektor durch den Reserve-Sektor ersetzt werden sollte, führt der CAM-Steuerschaltung 56 ein Instruktionssignal zum Speichern einer ”Adresse eines defekten Sektors” in dem CAM-Speicher 55 mit automatischer Redundanz zu. In Reaktion auf das Instruktionssignal wird der CAM-Speicher 55 mit automatischer Redundanz mit der Adresse des defekten Sektors programmiert, und das Ergebnis der Programmierung wird an die Adressenübereinstimmungs-Detektionsschaltung 54 ausgegeben.
  • Die Adressenübereinstimmungs-Detektionsschaltung 54 ermittelt, ob die in dem Adressdatensequenzer 52 gespeicherte Adresse des zu löschenden regulären Sektors und die in dem CAM-Speicher 55 mit automatischer Redundanz gespeicherte Adresse des defekten Sektors miteinander übereinstimmen. Wenn die Adresse des von dem Löschbefehl spezifizierten regulären Sektors mit der Adresse des einen Langlöschfehler aufweisenden defekten Sektors übereinstimmt, führt die Adressenübereinstimmungs-Detektionsschaltung 54 dem X-Decoder 59 und dem Y-Decoder 60 Signale zum Annullieren der Auswahl des regulären Sektors und zum automatischen Umschalten auf den Reserve-Sektor zu. Auf diese Weise kann der einen Langlöschfehler aufweisende reguläre Sektor automatisch durch den sich im Leerzustand befindenden Reserve-Sektor 62 ersetzt werden.
  • Wenn das automatische Ersetzen durch den Reserve-Sektor abgeschlossen ist, ist der mit dem Löschbefehl in Zusammenhang stehende Prozess abgeschlossen, und der Speicher wird im nichtdefekten Zustand gehalten. Im Gegensatz dazu korrigiert dann, wenn das automatische Ersetzen durch den Reserve-Sektor beispielsweise aufgrund einer Situation, in der ein sich im Leerzustand befindlicher Reserve-Sektor nicht zur Verfügung steht, nicht abgeschlossen ist, der Speicher den defekten Sektor nicht, und er wird als einen Langlöschfehler aufweisender defekter Speicher beurteilt.
  • Wenn der Speicher derart konfiguriert ist, dass mehrmals Ersetzungen durchgeführt werden, wird eine größere Anzahl von sich im Leerzustand befindenden Reserve-Sektoren verwendet, wie es bei der ersten Ausführungsform der Fall ist.
  • Es folgt nun eine Beschreibung der Struktur und Operation der Vorgabe-Leckstrom-Detektionsschaltung, mit der der erfindungsgemäße Speicher versehen ist.
  • 10 zeigt eine Querschnittsansicht eines Kerns einer vom Löschen betroffenen Speicherzelle, bei der es sich um eine NOR-Flash-Speicherzelle handelt. Beim Löschen werden der Wortleitung und der P-Wanne eine negative Spannung (–10 V) bzw. eine positive Spannung (+10 V) zugeführt. Ursprünglich besteht kein Leckstromweg zwischen der Wortleitung und der P-Wanne, und deren Potentiale sind separat gewährleistet. Im Gegensatz dazu fließt dann, wenn ein Leckstromweg zwischen der Wortleitung und der P-Wanne besteht, ein Leckstrom über den Weg, und es entsteht ein Spannungsabfall, und die ursprünglichen Potentiale werden nicht mehr aufrechterhalten. Daher ist es möglich, dass kein ausreichendes Löschen erfolgt und ein Langlöschfehler auftreten kann. Die vorliegende Erfindung betrifft das Überwachen des Vorhandenseins/Nichtvorhandenseins von Überstrom und das Verhindern des Auftretens eines Langlöschfehlers.
  • 11 zeigt ein Schaltschema einer Konfiguration der Vorgabe-Leckstrom-Detektionsschaltung 58, die die Menge an zwischen der Wortleitung und der P-Wanne aus 10 fließenden Stroms überwacht und ein Langlösch-Detektionssignal ausgibt, bei dem es sich um das Leckstrom-Detektionssignal handelt. Bei der Schaltung wird eine Stromspiegelkonfiguration verwendet, die eine Situation detektiert, in der die P-Wannen-Spannung gleich einer oder niedriger als eine Schwellenspannung Vref wird, bei der es sich um eine vorbestimmte Vergleichsspannung handelt, und die das Leckstrom-Detektionssignal als Langlösch-Detektionssignal ausgibt. Die oben beschriebene Detektieroperation wird durchgeführt, während ein Signal Löschen angelegt ist, wobei sich das Signal Löschen zu derjenigen Zeit, zu der die in 9 gezeigte Spannungsversorgungsschaltung 63 die Löschspannung ausgibt, auf H-Pegel befindet.
  • Wie oben beschrieben, ist der erfindungsgemäße nichtflüchtige Halbleiterspeicher derart konfiguriert, dass in der Endphase der Fertigung vor der Auslieferung sämtliche Daten in dem Reserve-Sektor oder den Reserve-Sektoren gelöscht sind und der Reserve-Sektor oder die Reserve-Sektoren in den Lösch-(Leer-)Zustand gesetzt ist/sind. Jedes Mal, wenn der Benutzer eine Löschung durchführt, wird der zwischen der Wortleitung, der der Löschimpuls zugeführt wird, und der P-Wanne fließende Strom überwacht, um zu ermitteln, ob ein Überstrom fließt, welcher beim normalen Löschen nicht fließt, und der Reserve-Sektor ersetzt den regulären Sektor, bevor festgestellt wird, dass der Langlöschfehler in dem Speicher auftritt.
  • Somit ist es nicht erforderlich, den Reserve-Sektor nach der automatischen Redundanz wieder zu löschen, und der Langlöschfehler, der bei der praktischen Anwendung durch den Benutzer auftritt, kann behoben werden. Selbst wenn ein Befehl zum Löschen des defekten Sektors nach der automatischen Redundanz geliefert wird, wird der auf den defekten Sektor gerichtete Befehl gelöscht und wird stattdessen anhand der Adressenübereinstimmung zwischen der von dem Eingabebefehl spezifizieren Sektoradresse und der Adresse des defekten Sektors der Reserve-Sektor ausgewählt. Somit ist die Umschaltung auf den Reserve-Sektor automatisch implementierbar.
  • Somit hat der Benutzer den Eindruck, dass kein Langlöschfehler in den regulären Sektoren auftritt, und ihm wird die normale Umgebung präsentiert, in der ein Löschen normalerweise abgeschlossen ist. Der Reserve-Sektor oder die Reserve-Sektoren befindet/befinden sich zum Zeitpunkt der Auslieferung im Lösch-(Leer-)Zustand. Somit braucht bei der automatischen Redundanz mit dem Reserve-Sektor der Reserve-Sektor nach dem Ersetzen nicht wieder gelöscht zu werden, und das Löschen kann schnell abgeschlossen werden.
  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum automatischen und schnellen Beheben eines Langlöschfehlers, bei dem in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherte Daten nicht innerhalb der vorgegebenen Zeit gelöscht werden können. Der erfindungsgemäße nichtflüchtigen Speicher ist nicht auf einen Flash-Speicher oder dergleichen zum primären Speichern von Informationen beschränkt, sondern umfasst auch eine Paketvorrichtung, wie ein System LSI, in dem der nichtflüchtige Speicher zusammen mit anderen Funktionen eingebettet ist.

Claims (17)

  1. Halbleitervorrichtung mit: – elektrisch löschbaren/programmierbaren regulären Sektoren (61a, 61b, 61c, 61d); – mindestens einem elektrisch löschbaren/programmierbaren Reserve-Sektor (62) als potentieller Ersatz für die regulären Sektoren (61a, 61b, 61c, 61d); – einem Decoder (59), der einen der regulären Sektoren (61a, 61b, 61c, 61d) in Reaktion auf einen Löschbefehl auswählt; – einer Überwachungsschaltung (58), die eine Löschleistung eines von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) während des Löschens überwacht; und – einer Steuerschaltung (57), die automatisch den Reserve-Sektor (62) als Ersatz für den von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) auswählt, wenn der von dem Decoder (59) ausgewählte reguläre Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) eine verringerte Löschleistung aufweist, – wobei sich der Reserve-Sektor (62) anfangs vor dem durch die Steuerschaltung (57) erfolgten Ausgewählt werden in einem Löschzustand befindet, – wobei die Überwachungsschaltung (58) einen Stromdetektor aufweist, der einen beim Löschen in dem von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) fließenden Leckstrom detektiert und – wobei der Leckstrom ein beim Löschen zwischen einer Wortleitung und einer Wanne des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) fließender Strom ist.
  2. Halbleitervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerschaltung (57) automatisch den Reserve-Sektor (62) auswählt, wenn die Löschleistung des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) anzeigt, dass das Löschen des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) innerhalb eines vorgegebenen Zeitraums nicht abgeschlossen ist.
  3. Halbleitervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungsschaltung (58) einen Impulszähler aufweist, der zum Löschen vorgesehene Impulse zählt und die Löschleistung des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) anhand der Anzahl von gezählten Impulsen überwacht.
  4. Halbleitervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerschaltung (57) das Löschen verifiziert und automatisch den Reserve-Sektor (62) auswählt, wenn die Verifizierung des Löschens des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) bei einer vorgegebenen Anzahl von gezählten Impulsen immer noch ein nicht abgeschlossenes Löschen anzeigt.
  5. Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerschaltung (57) automatisch den Reserve-Sektor (62) auswählt, wenn der Leckstrom beim Löschen des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) einen vorgegebenen Strom erreicht.
  6. Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerschaltung (57) einen inhaltsadressierbaren Speicher (55) zum Speichern einer Adresse des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) mit verringerter Löschleistung aufweist.
  7. Halbleitervorrichtung nach Anspruch 6, bei der der inhaltsadressierbare Speicher (55) eine nichtflüchtige Speicherzelle zum Speichern der Adresse des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) mit verringerter Löschleistung aufweist.
  8. Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerschaltung (57) aufweist: – einen inhaltsadressierbaren Speicher (55) zum Speichern der Adresse des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) mit der verringerten Löschleistung; und – eine Adressenvergleichsschaltung (54) zum Vergleichen einer durch den Löschbefehl spezifizierten Adresse mit der in dem inhaltsadressierbaren Speicher (55) gespeicherten Adresse und zum Bewirken, dass der Decoder (59) den Reserve-Sektor (62) auswählt, wenn die durch den Löschbefehl spezifizierte Adresse mit der Adresse in dem inhaltsadressierbaren Speicher (55) übereinstimmt.
  9. Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerschaltung (57) das Löschen des ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) verifiziert und ein Signal erzeugt, das den von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) bei Durchführung der Verifizierung in einen programmierbaren Zustand setzt.
  10. Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerschaltung (57), sofern sie den Reserve-Sektor (62) nicht automatisch auswählt, das Verifizieren des Löschens fortsetzt, bis eine vorbestimmte maximale Anzahl von zum Löschen vorgesehenen Impulsen an den von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) angelegt ist.
  11. Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Reserve-Sektor (62) eine Konfiguration aufweist, die mit der der regulären Sektoren (61a, 61b, 61c, 61d) identisch ist.
  12. Verfahren zur Behebung eines Löschfehlers in einem nichtflüchtigen Halbleiterspeicher, mit folgenden Schritten: – Löschen von in einem von einem Löschbefehl von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) gespeicherten Daten; – Überwachen einer Löschleistung eines von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d); und – Auswählen eines Reserve-Sektors (62) als Ersatz für den von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d), wenn der von dem Decoder (59) ausgewählte reguläre Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) eine verringerte Löschleistung aufweist, – wobei sich der Reserve-Sektor (62) anfangs vor dem Auswählschritt in einem Löschzustand befindet und – wobei der Schritt des Überwachens einen Schritt des Detektierens eines beim Löschen zwischen einer Wortleitung und einer Wanne des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) fließenden Leckstroms umfasst.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Reserve-Sektor (62) ausgewählt wird, wenn die Löschleistung des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) anzeigt, dass das Löschen des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) innerhalb eines vorgegebenen Zeitraums nicht abgeschlossen ist.
  14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Überwachens einen Schritt des Zählens von zum Löschen vorgesehenen Impulsen zwecks Überwachung der Löschleistung des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) anhand einer Anzahl von gezählten Impulsen umfasst.
  15. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Überwachens einen Schritt des Detektierens eines beim Löschen in dem von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektor (61a, 61b, 61c, 61d) fließenden Leckstroms umfasst.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, ferner gekennzeichnet durch den Schritt des Speicherns einer Adresse des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) mit verringerter Löschleistung.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, ferner gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: – Speichern einer Adresse des von dem Decoder (59) ausgewählten regulären Sektors (61a, 61b, 61c, 61d) mit verringerter Löschleistung; und – Vergleichen einer durch den Löschbefehl spezifizierten Adresse mit der gespeicherten Adresse und Auswählen des Reserve-Sektors (62), wenn die durch den Löschbefehl angezeigte Adresse mit der gespeicherten Adresse übereinstimmt.
DE112004002836.1T 2004-04-21 2004-04-21 Nichtflüchtige Halbleitervorrichtung und Verfahren zum automatischen Beheben eines Löschfehlers in der Halbleitervorrichtung Expired - Fee Related DE112004002836B4 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2004/005680 WO2005104136A1 (ja) 2004-04-21 2004-04-21 不揮発性半導体装置および不揮発性半導体装置の消去動作不良自動救済方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE112004002836T5 DE112004002836T5 (de) 2007-03-08
DE112004002836B4 true DE112004002836B4 (de) 2014-11-27

Family

ID=35197240

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112004002836.1T Expired - Fee Related DE112004002836B4 (de) 2004-04-21 2004-04-21 Nichtflüchtige Halbleitervorrichtung und Verfahren zum automatischen Beheben eines Löschfehlers in der Halbleitervorrichtung

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7352620B2 (de)
JP (1) JP4642018B2 (de)
CN (1) CN101006520B (de)
DE (1) DE112004002836B4 (de)
GB (1) GB2427731B (de)
WO (1) WO2005104136A1 (de)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101083642B1 (ko) * 2010-07-07 2011-11-16 주식회사 하이닉스반도체 비휘발성 메모리장치 및 이의 동작방법
US8514630B2 (en) 2010-07-09 2013-08-20 Sandisk Technologies Inc. Detection of word-line leakage in memory arrays: current based approach
US8432732B2 (en) * 2010-07-09 2013-04-30 Sandisk Technologies Inc. Detection of word-line leakage in memory arrays
US8305807B2 (en) 2010-07-09 2012-11-06 Sandisk Technologies Inc. Detection of broken word-lines in memory arrays
US8379454B2 (en) 2011-05-05 2013-02-19 Sandisk Technologies Inc. Detection of broken word-lines in memory arrays
US8750042B2 (en) 2011-07-28 2014-06-10 Sandisk Technologies Inc. Combined simultaneous sensing of multiple wordlines in a post-write read (PWR) and detection of NAND failures
US8775901B2 (en) 2011-07-28 2014-07-08 SanDisk Technologies, Inc. Data recovery for defective word lines during programming of non-volatile memory arrays
US8730722B2 (en) 2012-03-02 2014-05-20 Sandisk Technologies Inc. Saving of data in cases of word-line to word-line short in memory arrays
CN103383863B (zh) * 2012-05-04 2017-04-05 北京兆易创新科技股份有限公司 改善快闪存储器擦除性能的方法
US20140013028A1 (en) * 2012-07-09 2014-01-09 Hamilton Sundstrand Corporation Hardware flash memory wear monitoring
US9810723B2 (en) 2012-09-27 2017-11-07 Sandisk Technologies Llc Charge pump based over-sampling ADC for current detection
US9164526B2 (en) 2012-09-27 2015-10-20 Sandisk Technologies Inc. Sigma delta over-sampling charge pump analog-to-digital converter
US9165683B2 (en) 2013-09-23 2015-10-20 Sandisk Technologies Inc. Multi-word line erratic programming detection
US9281078B2 (en) 2014-06-12 2016-03-08 Micron Technology, Inc. Program operations with embedded leak checks
US9460809B2 (en) 2014-07-10 2016-10-04 Sandisk Technologies Llc AC stress mode to screen out word line to word line shorts
US9484086B2 (en) 2014-07-10 2016-11-01 Sandisk Technologies Llc Determination of word line to local source line shorts
US9514835B2 (en) 2014-07-10 2016-12-06 Sandisk Technologies Llc Determination of word line to word line shorts between adjacent blocks
US9443612B2 (en) 2014-07-10 2016-09-13 Sandisk Technologies Llc Determination of bit line to low voltage signal shorts
US9240249B1 (en) 2014-09-02 2016-01-19 Sandisk Technologies Inc. AC stress methods to screen out bit line defects
US9202593B1 (en) 2014-09-02 2015-12-01 Sandisk Technologies Inc. Techniques for detecting broken word lines in non-volatile memories
US9449694B2 (en) 2014-09-04 2016-09-20 Sandisk Technologies Llc Non-volatile memory with multi-word line select for defect detection operations
DE102014115885B4 (de) 2014-10-31 2018-03-08 Infineon Technologies Ag Funktionstüchtigkeitszustand von nicht-flüchtigem Speicher
US9659666B2 (en) 2015-08-31 2017-05-23 Sandisk Technologies Llc Dynamic memory recovery at the sub-block level
US10453535B2 (en) 2015-10-26 2019-10-22 Intel Corporation Segmented erase in memory
US9698676B1 (en) 2016-03-11 2017-07-04 Sandisk Technologies Llc Charge pump based over-sampling with uniform step size for current detection
JP6492202B1 (ja) * 2018-03-05 2019-03-27 ウィンボンド エレクトロニクス コーポレーション 半導体記憶装置および消去方法
CN110838335B (zh) * 2018-08-17 2021-08-03 北京兆易创新科技股份有限公司 一种Nand型快闪存储器的漏电测试方法
CN110729014A (zh) * 2019-10-17 2020-01-24 深圳忆联信息系统有限公司 Ssd存储擦除计数表备份的方法、装置、计算机设备及存储介质
CN112000290B (zh) * 2020-08-21 2023-11-24 珠海创飞芯科技有限公司 Nor flash擦除干扰纠正方法及装置
CN113223596B (zh) * 2021-05-25 2022-06-17 长江存储科技有限责任公司 一种三维非易失性存储器及其数据擦除验证方法
KR20230000168A (ko) * 2021-06-24 2023-01-02 에스케이하이닉스 주식회사 메모리, 메모리의 동작 방법 및 메모리 시스템의 동작 방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001195892A (ja) * 2000-01-06 2001-07-19 Fujitsu Ltd 不揮発性半導体記憶装置
JP2002170389A (ja) * 2000-06-30 2002-06-14 Toshiba Corp 不揮発性半導体記憶装置とその動作方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5168465A (en) * 1988-06-08 1992-12-01 Eliyahou Harari Highly compact EPROM and flash EEPROM devices
EP0617363B1 (de) * 1989-04-13 2000-01-26 SanDisk Corporation Austausch von fehlerhaften Speicherzellen einer EEprommatritze
US5396468A (en) * 1991-03-15 1995-03-07 Sundisk Corporation Streamlined write operation for EEPROM system
US5347484A (en) * 1992-06-19 1994-09-13 Intel Corporation Nonvolatile memory with blocked redundant columns and corresponding content addressable memory sets
FR2716743B1 (fr) * 1994-02-28 1996-09-27 Sgs Thomson Microelectronics Circuit de redondance de mémoire.
JPH087597A (ja) * 1994-06-24 1996-01-12 Toshiba Corp 不揮発性半導体記憶装置
JPH0991977A (ja) * 1995-09-21 1997-04-04 Matsushita Electron Corp フラッシュ型eepromの制御方法および半導体記憶装置
US5774396A (en) * 1996-03-29 1998-06-30 Aplus Integrated Circuits, Inc. Flash memory with row redundancy
JPH09306189A (ja) * 1996-05-10 1997-11-28 Mitsubishi Electric Corp 不揮発性半導体記憶装置
JP3960639B2 (ja) * 1996-05-10 2007-08-15 株式会社ルネサステクノロジ 不揮発性半導体記憶装置
JP3450625B2 (ja) * 1997-02-10 2003-09-29 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 不揮発性半導体記憶装置とその動作方法
JP4413306B2 (ja) * 1999-03-23 2010-02-10 株式会社東芝 半導体記憶装置
JP4205311B2 (ja) * 2001-02-26 2009-01-07 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 フローティングゲートを利用した半導体不揮発性メモリ
JP2002313087A (ja) * 2001-04-17 2002-10-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 不揮発性メモリ内蔵半導体装置
US6778443B2 (en) * 2001-12-25 2004-08-17 Kabushiki Kaisha Toshiba Non-volatile semiconductor memory device having memory blocks pre-programmed before erased
EP1365419B1 (de) * 2002-05-21 2008-12-31 STMicroelectronics S.r.l. Selbstreparaturverfahren für nichtflüchtige Speicheranordnung mit Lösch-/Programmierfehlerdetektion, und nichtflüchtige Speicheranordnung dafür
US7123512B2 (en) * 2002-07-19 2006-10-17 Micron Technology, Inc. Contiguous block addressing scheme
JP4129381B2 (ja) * 2002-09-25 2008-08-06 株式会社ルネサステクノロジ 不揮発性半導体記憶装置
JP4041076B2 (ja) * 2004-02-27 2008-01-30 株式会社東芝 データ記憶システム

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001195892A (ja) * 2000-01-06 2001-07-19 Fujitsu Ltd 不揮発性半導体記憶装置
JP2002170389A (ja) * 2000-06-30 2002-06-14 Toshiba Corp 不揮発性半導体記憶装置とその動作方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4642018B2 (ja) 2011-03-02
WO2005104136A1 (ja) 2005-11-03
US20060239111A1 (en) 2006-10-26
US7352620B2 (en) 2008-04-01
JPWO2005104136A1 (ja) 2008-03-13
GB2427731A (en) 2007-01-03
GB2427731B (en) 2007-11-21
DE112004002836T5 (de) 2007-03-08
CN101006520A (zh) 2007-07-25
CN101006520B (zh) 2010-05-05
GB0620716D0 (en) 2006-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112004002836B4 (de) Nichtflüchtige Halbleitervorrichtung und Verfahren zum automatischen Beheben eines Löschfehlers in der Halbleitervorrichtung
DE102005045031B4 (de) Programmierverfahren und Programmierwiederaufnahmeverfahren für ein nichtflüchtiges Speicherbauelement
DE10301458B4 (de) Speicherbaustein und zugehöriges Lösch-, Programmier- und Rückkopierverfahren
DE3637682C2 (de)
DE4302223C2 (de) Nicht-flüchtige Halbleiterspeichereinrichtung sowie Herstellungsverfahren dafür
DE102005029875B4 (de) Flash-Speichervorrichtung mit verbesserter Vorprogammierfunktion und Verfahren zum Steuern eines Vorprogrammierbetriebs darin
DE102006036070B4 (de) Ladungsfallenspeichervorrichtung und Verfahren für deren Herstellung und Betrieb
DE69500007T2 (de) Speicherredundanzschaltung
DE102007016460A1 (de) Nichtflüchtiges Speicherbauelement, nichtflüchtiges Speichersystem und Leseverfahren für ein nichtflüchtiges Speicherbauelement
DE102005063166B4 (de) Nicht-flüchtiges Speicherelement und Verfahren zur Programmierüberprüfung in einem nicht-flüchtigen Speicherelement
DE69417712T2 (de) Nichtflüchtige Halbleiter-Speichereinrichtung
DE102005057112B4 (de) Nichtflüchtiges Speicherbauelement und Programmierverfahren
DE10026993B4 (de) Flash-Speicherbauelement mit einer neuen Redundanzansteuerschaltung
DE102005034611A1 (de) Speichersystem und zugehörige Betriebs- und Blockverwaltungsverfahren
DE102004041020A1 (de) Reparaturvorrichtung und -verfahren und zugehöriger Halbleiterspeicherbaustein
DE102004041519B4 (de) Programmiersteuerschaltung und Programmiersteuerverfahren
DE102005049845A1 (de) Verfahren zum Testen einer Speicheranordnung, Speicheranordnung und Testeinheit zum Testen einer solchen
DE10147138B4 (de) Verfahren zur Integration von imperfekten Halbleiterspeichereinrichtungen in Datenverarbeitungsvorrichtungen
DE4226847C2 (de) Flash-EEPROM und Verfahren zum Löschen der Speicherzellen von Flash-EEPROMS
DE3827174A1 (de) Halbleiter-speichervorrichtung
DE69426818T2 (de) Fehlertolerantes Speichergerät, insbesondere des Typs "flash EEPROM"
DE102006036146A1 (de) Verfahren zum Überprüfen einer Programmieroperation eines NOR-Flash-Speicherelements und NOR-Flash-Speicherelement
DE69628963T2 (de) Verfahren zum Löschen eines nichtflüchtigen Halbleiterspeichers mit redundanten Zellen
DE60215291T2 (de) Halbleiter Speicheranordnung
DE10201573B4 (de) Redundanter Decoderschaltkreis, zugehöriges Speicherbauelement sowie Zugriffs- und Testverfahren

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20110421

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee