DE102022103578A1

DE102022103578A1 - Testgerät, testverfahren und programm

Info

Publication number: DE102022103578A1
Application number: DE102022103578.6A
Authority: DE
Inventors: Kotaro HASEGAWA; Kouji Miyauchi; Go UTAMARU
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2021-02-26
Filing date: 2022-02-16
Publication date: 2022-09-01
Also published as: JP2022131940A; TWI814193B; KR20220122478A; JP7355773B2; US11788885B2; CN114966352A; US20220276090A1; TW202234079A

Abstract

Testgerät umfassend: eine elektrische Anschlusseinheit, die mit einem Anschluss einer jeden einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Vorrichtungen elektrisch verbunden ist, eine Lichtquelleneinheit, die die Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen gemeinsam mit Licht bestrahlt, eine elektrische Messeinheit, die ein photoelektrisches Signal misst, das durch photoelektrisches Umwandeln des von der Lichtquelleneinheit abgestrahlten Lichts von jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen erhalten wird, eine Lichtemissionssteuereinheit, die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die einer Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, dazu veranlasst, Licht zu emittieren, eine Lichtmesseinheit, die Licht misst, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, emittiert wird, eine Bestimmungseinheit, die eine Qualität jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen auf der Grundlage des Messergebnisses der elektrischen Messeinheit und einem Messergebnis der Lichtmesseinheit bestimmt.

Description

Hintergrund
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Testgerät, ein Testverfahren und ein Programm.
Stand der Technik
Es ist ein Verfahren bekannt, bei dem eine von einem Paar von zu testenden LEDs veranlasst wird, Licht zu emittieren, und die andere veranlasst wird, das Licht zu empfangen, und optische Eigenschaften der LED unter Verwendung eines Stromwerts eines Stroms geprüft werden, der durch einen photoelektrischen Effekt ausgegeben wird (siehe beispielsweise Patentdokumente 1 und 2).
Zitationsliste
Patentdokumente

Patentdokument 1: Japanische Offenlegungsschrift der PCT-Anmeldung Nr. 2019-507953
Patentdokument 2: Veröffentlichung der japanischen Patentanmeldung Nr. 2010-230568

Zusammenfassung
Da es bei dem obigen Verfahren jedoch erforderlich ist, eine Prüfung dadurch durchzuführen, indem aufeinanderfolgend jede LED veranlasst wird, Licht zu emittieren, können optische Eigenschaften einer Vielzahl von LEDs nicht gemeinsam geprüft werden.
Bei einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Testgerät bereitgestellt. Das Testgerät kann eine elektrische Anschlusseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, mit einem Anschluss einer jeden einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Vorrichtungen elektrisch verbunden zu werden. Das Testgerät kann eine Lichtquelleneinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, die Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen gemeinsam mit Licht zu bestrahlen, Das Testgerät kann eine elektrische Messeinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, ein photoelektrisches Signal zu messen, das durch photoelektrisches Umwandeln des von der Lichtquelleneinheit abgestrahlten Lichts von jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen erhalten wird. Das Testgerät kann eine Lichtemissionssteuereinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die einer Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, dazu zu veranlassen, Licht zu emittieren. Das Testgerät kann eine Lichtmesseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, Licht zu messen, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, emittiert wird. Das Testgerät kann eine Bestimmungseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, eine Qualität jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen auf der Grundlage des Messergebnisses der elektrischen Messeinheit und einem Messergebnis der Lichtmesseinheit zu bestimmen.
Das Testgerät kann ferner eine Korrelationsberechnungseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, eine Korrelation zwischen einem photoelektrischen Signal, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung ausgegeben wird, und einer optischen Eigenschaft, die wenigstens eines von Leuchtdichte, Farbigkeit und einem Spektralspektrum von Licht ist, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung emittiert wird, auf der Grundlage von Messergebnissen der elektrischen Messeinheit und der Lichtmesseinheit für die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, zu berechnen.
Die Bestimmungseinheit kann wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, deren optische Eigenschaft als außerhalb eines Normbereichs liegend geschätzt wird, auf der Grundlage des gemessenen photoelektrischen Signals und der Korrelation unter der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen als mangelhaft bestimmen.
Die Bestimmungseinheit kann als Normbereich einen Bereich verwenden, der auf einer Statistik gemäß der optischen Eigenschaft von Licht basiert, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung emittiert wird, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll.
Die Lichtemissionssteuereinheit kann die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, aus der Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Vorrichtungen auf der Grundlage eines Messergebnisses der elektrischen Messeinheit auswählen.
Die Lichtemissionssteuereinheit kann als die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, eine lichtemittierende Vorrichtung auswählen, bei der das von der elektrischen Messeinheit gemessene photoelektrische Signal eine gleich große oder größere Schwankung aufweist als ein vorgegebener Schwellenwert.
Die Lichtemissionssteuereinheit kann einen bestimmten Schwellenwert einer Vielzahl von Schwellenwerten, die gemäß einer Statistik, die dem photoelektrischen Signal entspricht, das von der elektrischen Messeinheit für die Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen gemessen wird, unterschiedlich sind, verwenden.
Die Lichtemissionssteuereinheit kann einen Mittelwert und eine Standardabweichung der photoelektrischen Signale, die von der elektrischen Messeinheit für die Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen gemessenen werden, berechnen und die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, wobei die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung voneinander unterschiedliche Größen der photoelektrischen Signale aufweist, auf der Grundlage des Mittelwerts und der Standardabweichung auswählen.
Die Bestimmungseinheit kann eine Qualität der ausgewählten lichtemittierenden Vorrichtung auf der Grundlage eines Messergebnisses der Lichtmesseinheit bestimmen, das durch Messen von Licht erhalten wird, das von der lichtemittierenden Vorrichtung emittiert wird, die dazu ausgewählt ist, der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen zu werden.
Die Bestimmungseinheit kann die ausgewählte lichtemittierende Vorrichtung in einem Fall als mangelhaft bestimmen, bei dem eine optische Eigenschaft, die wenigstens eines von Leuchtdichte, Farbigkeit und einem Spektralspektrum des von der ausgewählten lichtemittierenden Vorrichtung emittierten Lichts ist, außerhalb eines Normbereichs liegt.
Die Bestimmungseinheit kann als Normbereich einen Bereich verwenden, der auf einer Statistik gemäß der optischen Eigenschaft von Licht basiert, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung emittiert wird, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll.
Bei einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Testverfahren bereitgestellt. Das Testverfahren kann elektrisches Verbinden einer elektrischen Anschlusseinheit mit einem Anschluss einer jeden einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Vorrichtungen enthalten. Das Testverfahren kann gemeinsames Bestrahlen der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen mit Licht enthalten. Das Testverfahren kann Messen eines photoelektrischen Signals, das durch photoelektrisches Umwandeln von abgestrahltem Licht von jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen erhalten wird, enthalten. Das Testverfahren kann Veranlassen, dass wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die einer Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, Licht emittiert, Messen von Licht, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, emittiert wird, enthalten. Das Testverfahren kann Bestimmen einer Qualität jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen auf der Grundlage des Messergebnisses der Messung eines photoelektrischen Signals und eines Messergebnisses der Messung von Licht enthalten.
Bei einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Programm bereitgestellt. Das Programm wird durch ein Testgerät zum Testen einer Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen ausgeführt, wobei das Programm das Testgerät veranlasst, das oben beschriebene Testverfahren auszuführen.
Die zusammenfassende Klausel beschreibt nicht notwendigerweise alle notwendigen Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der oben beschriebenen Merkmale sein.
Kurze Beschreibung der Zeichnung
1 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines Testgeräts 100 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 10 zeigt.
Figurenliste

1 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines Testgeräts 100 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 10 zeigt.
2 ist ein Beispiel (A) einer Seitenansicht und ein Beispiel (B) einer Draufsicht einer Anordnungseinheit 150, einer auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LED-Gruppe und einer elektrischen Anschlusseinheit 110 in einem Zustand, bei dem sich eine Vielzahl von Messfühlern 113 mit einem bestimmten Satz der Vielzahl von LEDs 10 in der LED-Gruppe in Kontakt stehen.
3 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms zum Erläutern eines Ablaufs eines Testverfahrens durch das Testgerät 100.
4 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms, das einen Ablauf zum Berechnen einer Korrelation zwischen einem photoelektrischen Signal und einer Leuchtdichte durch das Testgerät 100 zeigt.
5 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms zum Erläutern eines anderen Ablaufs eines Testverfahrens durch das Testgerät 100.
6 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines Testgeräts 200 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 20 zeigt.
7 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines Testgeräts 300 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 30 zeigt.
8 ist eine Skizze, die ein Beispiel eines Computers 1200 zeigt, in dem eine Vielzahl von Aspekten der vorliegenden Erfindung ganz oder teilweise verkörpert sein können.

Beschreibung exemplarischer Ausführungsbeispiele
Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen der Erfindung beschrieben, aber die folgenden Ausführungsbeispiele schränken die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht ein. Zudem sind nicht alle in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmalskombinationen für die erfindungsgemäße Lösung wesentlich. In der Zeichnung werden gleiche oder ähnliche Teile mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet und eine redundante Beschreibung wird unterlassen.
1 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines testgeräts 100 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 10 zeigt. In 1 sind eine X-Achse mit einer +X-Richtung in der Richtung in der Papieroberfläche nach rechts, eine Z-Achse mit einer +Z-Richtung in der Richtung in der Papieroberfläche nach oben und eine Y-Achse mit einer +Y-Richtung in der Tiefenrichtung der Papieroberfläche so gezeigt, dass sie orthogonal zueinander sind. Im Folgenden kann eine Beschreibung unter Verwendung dieser drei Achsen erfolgen.
Das Testgerät 100 nutzt den photoelektrischen Effekt der LED 10, um gemeinsam die optischen Eigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage des photoelektrischen Signals zu testen, das von der mit Licht bestrahlten LED 10 ausgegeben wird. Das Testgerät 100 enthält eine elektrische Anschlusseinheit 110, eine Lichtquelleneinheit 120, eine Temperatursteuereinheit 126, eine Messeinheit 130, eine Steuereinheit 140, eine Speichereinheit 145, eine Anordnungseinheit 150 und eine Blockierungseinheit 160.
Das Testgerät 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel testet gemeinsam die optischen Eigenschaften eines bestimmten Satzes der Vielzahl von LEDs 10 in der LED-Gruppe in einem Zustand, bei dem die LED-Gruppe, in der die Vielzahl von LEDs 10 auf einem Wafer 15 ausgebildet ist, welches der LED-Wafer ist, bevor die Verdrahtung durch die Rückwand bereitgestellt wird, auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet ist. Die LED 10 ist beim vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Mikro-LED mit einer Abmessung von 100 µm oder weniger. Es gilt zu beachten, dass die LED 10 anstelle der Mikro-LED eine Mini-LED mit einer Abmessung größer als 100 µm und gleich oder kleiner als 200 µm, eine LED mit einer Abmessung größer als 200 µm oder eine andere lichtemittierende Vorrichtung sein kann, wie beispielsweise eine LD.
Außerdem ist die Vielzahl von LEDs 10 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel auf dem Wafer 15 elektrisch nicht miteinander verbunden. Es gilt zu beachten, dass die Vielzahl von LEDs 10 auf einem Wafer, der mit elektrischer Verdrahtung versehenen ist, oder auf einem Panel auf Glasbasis (PLP) mit einer im Wesentlichen rechteckigen äußeren Form ausgebildet sein kann und elektrisch miteinander verbunden sein kann, so dass sie in Einheiten oder Zellen ausgebildet sind. In diesem Fall können die jeweiligen RGB-Farben beispielsweise durch eine Technik des Ausführens eines Laser-Lift-Off und Übertragen von den jeweiligen monochromatischen Wafern aus RGB oder durch eine Technik des Färbens oder Auftragens einer fluoreszierenden Farbe auf einen monochromatischen Wafer aus einem von RGB gemischt werden.
Die elektrische Anschlusseinheit 110 ist beispielsweise eine Messfühlerplatine (Messfühlersubstrat) und ist elektrisch mit einem Anschluss 11 jeder der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 verbunden. Es gilt zu beachten, dass in der Beschreibung der vorliegenden Anmeldung in einem Fall, bei dem der Begriff „elektrisch verbunden“ definiert ist, eine elektrische Verbindung durch Kontakt oder eine kontaktlose elektrische Verbindung verstanden wird. Die elektrische Anschlusseinheit 110 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel ist elektrisch so verbunden, dass sie mit dem Anschluss 11 von jeder der aus der Vielzahl von LEDs 10 in Kontakt steht, kann aber auch kontaktlos elektrisch verbunden sein, beispielsweise durch elektromagnetische Induktion oder Nahfeld-Kommunikation.
Die elektrische Anschlusseinheit 110 schaltet beim vorliegenden Ausführungsbeispiel auch aufeinanderfolgend einen Satz aus der Vielzahl von zu testenden LEDs, mit denen sie verbunden ist, aus der LED-Gruppe, die auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet ist, durch Bewegen der Anordnungseinheit 150 mit der darauf angeordneten LED-Gruppe. Die elektrische Anschlusseinheit 110 ist beim vorliegenden Ausführungsbeispiel zwischen der Lichtquelleneinheit 120 und der Vielzahl von LEDs 10 angeordnet und enthält ein Substrat 111 und eine Vielzahl von Messfühlern 113.
Das Substrat 111 weist eine Öffnung 112 auf, die es ermöglicht, dass Licht von der Lichtquelleneinheit 120 zur Vielzahl von LEDs 10 gelangt. In 1 ist die Öffnung 112 durch eine gestrichelte Linie angedeutet.
Die Vielzahl von Messfühlern 113 erstrecken sich vom Substrat 111 zu jeder der Vielzahl von LEDs 10, die in der Öffnung 112 freiliegen, und kontaktieren den Anschluss 11 jeder der Vielzahl von LEDs 10. Das andere Ende eines jeden Messfühlers 113, gegenüber dem einen Ende in Kontakt mit dem Anschluss 11, ist elektrisch mit der auf dem Substrat 111 vorgesehenen elektrischen Verdrahtung verbunden. Die Vielzahl von elektrischen Verdrahtungen der Vielzahl von Messfühlern 113 erstrecken sich von der Seitenfläche des Substrats 111 und sind elektrisch mit der Messeinheit 130 verbunden.
Es gilt zu beachten, dass es bevorzugt wird, dass die Vielzahl von Messfühlern 113 untereinander die gleiche Form und Abmessung und den gleichen Abstand zueinander von den LEDs 10 aufweisen, mit denen sie in Kontakt stehen, so dass die Lichtaufnahmebeträge von jeder der Vielzahl von LEDs 10 einander gleich sind. Außerdem ist jeder der Vielzahl von Messfühlern 113 vorzugsweise plattiert oder gefärbt, so dass Licht an der Oberfläche des Messfühlers 113 nicht diffus reflektiert wird.
Die Lichtquelleneinheit 120 bestrahlt die Vielzahl von LEDs 10 gemeinsam mit Licht. Die Lichtquelleneinheit 120 bestrahlt beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Vielzahl von LEDs mit Licht in einem Reaktionswellenlängenband der Vielzahl von LEDs. Die Lichtquelleneinheit 120 enthält beim vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Lichtquelle 121 und eine Linseneinheit 123.
Die Lichtquelle 121 emittiert Licht im Reaktionswellenlängenband der Vielzahl von LEDs 10. Die Lichtquelle 121 kann beispielsweise eine Lichtquelle sein, die Licht in einem breiten Wellenlängenband emittiert, wie etwa eine Xenon-Lichtquelle, oder kann eine Lichtquelle sein, die Licht in einem schmalen Wellenlängenband emittiert, wie etwa eine Laserlichtquelle. Die Lichtquelle 121 kann eine Vielzahl von Laserlichtquellen mit voneinander unterschiedlichen Wellenlängen umfassen. Es gilt zu beachten, dass in einem Fall, bei dem die Reaktionswellenlänge und die Lichtemissionswellenlänge der LED 10 voneinander verschieden sind, eine photoelektrische Umwandlung, selbst wenn die LED 10 mit Licht bestrahlt wird, das die Emissionswellenlänge der LED 10 aufweist, aufgrund dieses Unterschieds nicht adäquat erfolgt.
Die Linseneinheit 123 umfasst eine oder mehrere Linsen, ist in der Nähe der Bestrahlungseinheit der Lichtquelle 121 vorgesehen und wandelt das von der Lichtquelle 121 abgestrahlte Streulicht in paralleles Licht 122 um. In 1 ist das parallele Licht 122 schraffiert dargestellt. Die Projektionsebene des parallelen Lichts 122 in der XY-Ebene bedeckt zumindest die Öffnung 112 des Substrats 111.
Die Temperatursteuereinheit 126 unterdrückt einen Temperaturanstieg der Vielzahl von LEDs 10 aufgrund einer Bestrahlung mit Licht. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst die Temperatursteuereinheit 126 einen Temperaturunterdrückungsfilter 125 und eine Filterhalteeinheit 124. Der Temperaturunterdrückungsfilter 125 weist eine hohe Lichtdurchlässigkeit auf und absorbiert einen Wärmestrahl von einfallendem Licht. Die Filterhalteeinheit 124 ist in der Nähe der Linseneinheit 123 vorgesehen und hält den Temperaturunterdrückungsfilter 125. Es gilt zu beachten, dass die Temperatursteuereinheit 126 ferner einen Kühler enthalten kann, der die vom Temperaturunterdrückungsfilter 125 absorbierte Wärme kühlt.
Um die Temperaturen der Vielzahl von LEDs 10 konstant zu halten, kann die Temperatursteuereinheit 126 anstelle oder zusätzlich zur obigen Ausgestaltung eine Temperzuführvorrichtung, die die Temperaturen der Vielzahl von LEDs 10 einstellt, einen Luftblasmechanismus, der Luft in Richtung der Vielzahl von LEDs 10 bläst, und dergleichen enthalten. Im Fall, dass der Luftblasmechanismus verwendet wird, kann die Temperatursteuereinheit 126 ferner eine Einheit zum Entfernen statischer Elektrizität umfassen, die verhindert, dass die Vielzahl von LEDs 10 mit statischer Elektrizität aufgeladen werden, wenn Luft durch den Luftblasmechanismus geblasen wird. Die Einheit zum Entfernen statischer Elektrizität kann beispielsweise ein Ionisator sein. Die oben beschriebene Temperzuführvorrichtung kann auf der Anordnungseinheit 150, dem Substrat 111 oder dergleichen derart vorgesehen sein, dass sie mit der Vielzahl von LEDs 10 in Kontakt steht. Zudem kann der oben beschriebene Luftblasmechanismus so auf der Seite der Anordnungseinheit 150 vorgesehen sein, dass er nicht mit der Vielzahl von LEDs 10 in Kontakt steht.
Die Messeinheit 130 misst das photoelektrische Signal, das durch photoelektrisches Umwandeln des von der Lichtquelleneinheit 120 abgestrahlten und über die elektrische Anschlusseinheit 110 von jeder der Vielzahl von LEDs 10 ausgegebenen Lichts erhalten wird. Die Messeinheit 130 misst das photoelektrische Signal beim vorliegenden Ausführungsbeispiel von einem Satz der Vielzahl von LEDs 10, mit denen die elektrische Anschlusseinheit 110 aufeinanderfolgend verbunden ist.
Genauer gesagt ist die Messeinheit 130 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel mit der elektrischen Verdrahtung verbunden, die elektrisch mit jedem Messfühler 113 der elektrischen Anschlusseinheit 110 verbunden ist, und misst den Stromwert des Stromausgangs vom Satz der Vielzahl von LEDs 10, die so geschaltet sind, dass sie mit der Vielzahl von Messfühlern 113 aus der LED-Gruppe, die auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet ist, in Kontakt kommen. Man beachte, dass die Messeinheit 130 anstelle des Stromwerts einen dem Stromwert entsprechenden Spannungswert messen kann.
Die Messeinheit 130 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel misst ferner Licht, das von wenigstens einer LED 10 emittiert wird, die einer Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll. Genauer gesagt führt die Messeinheit 130 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel über die elektrische Anschlusseinheit 110 einen Strom an wenigstens eine LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, zu. Die Messeinheit 130 umfasst ein Leuchtdichtemessgerät 135 und misst die Leuchtdichte jeder LED 10 auf der Grundlage eines Signalausgangs vom Leuchtdichtemessgerät 135, das Licht von jeder LED 10, die einer Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, aufgenommen hat. Die wenigstens eine LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, kann in der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 enthalten sein oder kann nicht in der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 enthalten sein. Die LED 10, die nicht in der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 enthalten ist, kann beispielsweise die LED 10 sein, die in der Vergangenheit getestet wurde, oder kann eine LED 10 sein, die nicht getestet werden soll und zum Definieren eines Kriteriums zur Bestimmung der Qualität der LED 10 vorbereitet wird.
Wie in 1 gezeigt, ist das Leuchtdichtemessgerät 135 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel in einem Rahmen verschiebbar, der in einem Teil der Blockierungseinheit 160 ausgebildet ist. Das Leuchtdichtemessgerät 135 wird durch die Steuereinheit 140 gesteuert und kann in einen Raum innerhalb der Blockierungseinheit 160 eindringen und sich der LED 10 zuwenden, um Licht von der LED 10 aufzunehmen. Das Leuchtdichtemessgerät 135 wird von der Steuereinheit 140 gesteuert und verlässt den Raum innerhalb der Blockierungseinheit 160 zumindest während die LED-Gruppe mit Licht von der Lichtquelleneinheit 120 bestrahlt wird.
Es gilt zu beachten, dass die Messeinheit 130 anstelle des Leuchtdichtemessgeräts 135 oder zusätzlich dazu einen optischen Sensor, wie etwa eine Fotodiode, zusätzlich zu einem Farbigkeitsmessgerät und einem Leuchtdichtemessgerät, der ähnlich wie das Leuchtdichtemessgerät 135 beschaffen ist, enthalten kann. Zudem kann die Messeinheit 130 anstelle der Leuchtdichte der LED 10 oder zusätzlich dazu die Farbigkeit, ein Spektralspektrum, die Lichtintensität und dergleichen der LED 10 messen. Es gilt zu beachten, dass die Leuchtdichte, die Farbigkeit, ein Spektralspektrum, die Lichtintensität und dergleichen gemeinsam als optische Eigenschaften bezeichnet werden können. Es gilt zu beachten, dass die Messeinheit 130 ein Beispiel einer elektrischen Messeinheit und einer Lichtmesseinheit ist.
Die Steuereinheit 140 steuert jede Komponente des Testgeräts 100. Die Steuereinheit 140 steuert beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Lichtquelle 121 der Lichtquelleneinheit 120, wodurch die Bestrahlungszeit, die Wellenlänge und die Intensität des parallelen Lichts 122 gesteuert werden, mit dem die Vielzahl von LEDs 10 gemeinsam bestrahlt werden. Die Steuereinheit 140 steuert gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel auch die Anordnungseinheit 150, wodurch eine Steuerung so durchgeführt wird, dass ein Satz der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 aus der auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LED-Gruppe aufeinanderfolgend umgeschaltet wird. Um genau zu sein, die Steuereinheit 140 treibt die Anordnungseinheit 150 an, so dass der Messfühler 113 mit dem Anschluss 11 jeder LED 10 des Satzes in Kontakt kommt. Man beachte, dass die Steuereinheit 140 die Positionskoordinaten im Raum der Vielzahl von Messfühlern 113 und die relative Position zwischen jedem der Vielzahl von Messfühlern 113 und jeder LED 10 auf der Anordnungseinheit 150 unter Bezugnahme auf die Referenzdaten in der Speichereinheit 145 erfassen kann. Die Steuereinheit 140 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel steuert auch das Leuchtdichtemessgerät 135, so dass es in den Raum innerhalb der Blockierungseinheit 160 eindringt und den Raum innerhalb der Blockierungseinheit 160 wieder verlässt.
Die Steuereinheit 140 veranlasst ferner wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die ein Ziel der Lichtemissionsverarbeitung ist, Licht zu emittieren. Um genau zu sein, die Steuereinheit 140 führt beim vorliegenden Ausführungsbeispiel einer oder mehreren LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, die in einem Satz der Vielzahl von LEDs 10 enthalten sind, die so geschaltet sind, dass sie mit der Vielzahl von Messfühlern 113 in Kontakt stehen, in der Gruppe von LED-Gruppen, die auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet sind, aufeinanderfolgend einen Strom mit einem vorgegebenen Stromwert von der Messeinheit 130 und veranlasst, dass jede LED 10 aufeinanderfolgend Licht emittiert. Es gilt zu beachten, dass die LED-Gruppe, wie oben beschrieben, dieselbe sein kann wie die zu testende LED-Gruppe oder eine andere LED-Gruppe sein kann, beispielsweise eine nicht zu testende LED-Gruppe.
Die Steuereinheit 140 bestimmt ferner die Qualität jeder der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 auf der Grundlage des Messergebnisses des photoelektrischen Signals und des Messergebnisses des Lichts von der Messeinheit 130. Um genau zu sein, die Steuereinheit 140 berechnet beim vorliegenden Ausführungsbeispiel für wenigstens eine der Lichtemissionsverarbeitung zu unterziehende LED 10 die Korrelation zwischen dem von der wenigstens einen LED 10 ausgegebenen photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte des von der wenigstens einen LED 10 emittierten Lichts auf der Grundlage der Messergebnisse des photoelektrischen Signals und des Lichts von der Messeinheit 130. Die Steuereinheit 140 speichert die Korrelation anzeigenden Daten in der Speichereinheit 145.
Es gilt zu beachten, dass die Korrelation durch eine externe Vorrichtung berechnet werden kann, und in diesem Fall kann das Testgerät 100 Daten erlangen, die die Korrelation von der externen Vorrichtung anzeigen. Außerdem kann die Messung von wenigstens einer LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung zum Berechnen der Korrelation unterzogen werden soll, von einer externen Vorrichtung ausgeführt werden, und in diesem Fall kann das Testgerät 100 Daten erlangen, die das Messergebnis von der externen Vorrichtung angeben, und die Korrelation berechnen.
Die Steuereinheit 140 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel bestimmt ferner wenigstens eine LED 10 unter der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 als mangelhaft, deren Leuchtdichte auf der Grundlage des gemessenen photoelektrischen Signals und der obigen Korrelation als außerhalb des Normbereichs liegend geschätzt wird. Es gilt zu beachten, dass die Steuereinheit 140, wie oben beschrieben, andere optische Eigenschaften, wie zum Beispiel Farbigkeit, ein Spektralspektrum, die Lichtintensität und dergleichen auf der Grundlage des gemessenen photoelektrischen Signals schätzen kann oder wenigstens eine LED 10 als mangelhaft bestimmen kann, deren geschätzte optische Eigenschaften außerhalb des Normbereichs liegen.
Zusätzlich oder alternativ kann die Steuereinheit 140 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel unter der Vielzahl von durch die Messeinheit 130 zu testenden LEDs 10 auf der Grundlage des Messergebnisses der photoelektrischen Signale der Vielzahl von LEDs 10 wenigstens eine LED 10 auswählen, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll. In diesem Fall ist die Anzahl von LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, kleiner als die Anzahl von LEDs 10, die auf das photoelektrische Signal gemessen werden sollen. Zudem kann die Steuereinheit 140 als die wenigstens eine LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, eine LED 10 auswählen, bei der das von der Messeinheit 130 gemessene photoelektrische Signal eine Schwankung zeigt, die gleich oder größer als ein vorgegebener Schwellwert ist. Die Steuereinheit 140 bezieht sich auf die Speichereinheit 145, um eine Ablaufsteuerung einer Vielzahl von Ausgestaltungen im oben beschriebenen Testgerät 100 durchzuführen. Es gilt zu beachten, dass die Steuereinheit 140 als ein Beispiel einer Lichtemissionssteuereinheit, einer Bestimmungseinheit und einer Korrelationsberechnungseinheit dient.
Die Speichereinheit 145 speichert die Daten, die die oben beschriebene Korrelation angeben, den obigen Schwellenwert, Referenzdaten zum Bestimmen der Qualität jeder der Vielzahl von LEDs 10, ein Bestimmungsergebnis, Referenzdaten zum Bewegen der Anordnungseinheit 150, eine Reihenfolge und ein Programm zum Steuern jeder Ausgestaltung im Testgerät 100 und dergleichen. Auf die Speichereinheit 145 wird von der Steuereinheit 140 zurückgegriffen.
Die LED-Gruppe wird in der Anordnungseinheit 150 angeordnet. Die Anordnungseinheit 150 weist beim gezeigten Beispiel in einer Draufsicht eine im Wesentlichen kreisförmige äußere Form auf, kann aber eine andere äußere Form aufweisen. Die Anordnungseinheit 150 hat eine Funktion zum Halten einer Vakuum-Spannvorrichtung, einer elektrostatischen Spannvorrichtung und dergleichen und hält den Wafer 15 der angeordneten LED-Gruppe. Die Anordnungseinheit 150 bewegt sich zweidimensional in der XY-Ebene und bewegt sich in der Z-Achsenrichtung auf und ab, indem sie von der Steuereinheit 140 angetrieben und gesteuert wird. In 1 ist die Darstellung der Anordnungseinheit 150 auf der Seite der negativen Richtung der Z-Achse weggelassen. Außerdem sind in 1 die Bewegungsrichtung der Anordnungseinheit 150 und die Bewegungsrichtung des Leuchtdichtemessgeräts 135 jeweils durch weiße Pfeile angezeigt. Gleiches gilt für die folgenden Zeichnungen.
Die Blockierungseinheit 160 blockiert anderes Licht als das Licht von der Lichtquelleneinheit 120. Die Oberfläche der Blockierungseinheit 160 ist beim vorliegenden Ausführungsbeispiel vollständig schwarz eingefärbt, um eine unregelmäßige Reflexion von Licht auf der Oberfläche zu verhindern. Zudem ist, wie in 1 gezeigt, die Blockierungseinheit 160 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel so vorgesehen, dass sie in engem Kontakt sowohl mit dem äußeren Umfang der Lichtquelle 121 als auch dem äußeren Umfang des Substrats 111 steht, und diese Ausgestaltung blockiert anderes Licht als das Licht von der Lichtquelleneinheit 120.
Es gilt zu beachten, dass die oben beschriebene Ausgestaltung des Leuchtdichtemessgeräts 135 lediglich ein Beispiel ist und der Leuchtdichtemessgerät 135 beispielsweise Seite an Seite mit der Lichtquelle 121 innerhalb der Blockierungseinheit 160 installiert sein kann, d.h. benachbart zur Lichtquelle 121. Zudem kann das Leuchtdichtemessgerät 135 beispielsweise an einer Position befestigt und installiert sein, wo Licht von der Lichtquelle 121 innerhalb der Blockierungseinheit 160 aufgenommen wird. Als ein anderes spezielles Beispiel kann das Leuchtdichtemessgerät 135 dazu beschaffen sein, mit der Lichtquelleneinheit 120 und der Temperatursteuereinheit 126 innerhalb der Blockierungseinheit 160 austauschbar zu sein. Als weiteres spezielles Beispiel kann das Leuchtdichtemessgerät 135 an der Bodenfläche befestigt sein, die sich auf der Seite der positiven Z-Achsenrichtung des Blockierungsrohrs befindet, das ähnlich wie die Blockierungseinheit 160 externes Licht blockiert, unabhängig von der Lichtquelleneinheit 120, der Temperatursteuereinheit 126 und der Blockierungseinheit 160. In diesem Fall kann der Wafer 15 durch die Anordnungseinheit 150 so gefördert werden, dass die Vielzahl von LEDs 10 an Positionen angeordnet sind, die der Lichtaufnahmefläche des Leuchtdichtemessgeräts 135 zugewandt sind.
2 ist ein Beispiel (A) einer Seitenansicht und ein Beispiel (B) einer Draufsicht der Anordnungseinheit 150, einer auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LED-Gruppe und der elektrischen Anschlusseinheit 110 in einem Zustand, bei dem eine Vielzahl von Messfühlern 113 in Kontakt mit einem bestimmten Satz der Vielzahl von LEDs 10 in der LED-Gruppe steht. (A) von 2 zeigt extrahiert nur die Anordnungseinheit 150, die LED-Gruppe und die elektrische Anschlusseinheit 110, die in 1 gezeigt sind. In (B) von 2 ist die Vielzahl von LEDs 10, die infolge des Substrats 111 in der LED-Gruppe auf der Anordnungseinheit 150 nicht gesehen werden kann, durch unterbrochene Linien angedeutet.
Wie in (B) von 2 gezeigt, sind an jeder LED 10 zwei Anschlüsse 11 so ausgebildet, dass sie in Richtung der Y-Achse voneinander separiert sind. Außerdem ist die Vielzahl von LEDs 10 in einem Zustand angeordnet, bei dem sie in einer Matrix auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet ist, und ist im gezeigten Beispiel in einer Matrix von 6 Spalten in der X-Achsenrichtung und 6 Zeilen in der Y-Achsenrichtung angeordnet.
Die Öffnung 112 des Substrats 111 weist ein rechteckiges Profil auf, das in Richtung der Y-Achse gestreckt ist. Beim gezeigten Beispiel liegen als ein Satz der Vielzahl von LEDs 10, deren optische Eigenschaften gemeinsam gemessen werden, 12 LEDs 10 mit zwei Spalten in der X-Achsenrichtung und sechs Zeilen in der Y-Achsenrichtung in der Öffnung 112 frei. Ein Messfühler 113 der elektrischen Anschlusseinheit 110 ist so beschaffen, dass er in Kontakt mit jedem der Vielzahl von Anschlüssen 11 steht, die sich in der Öffnung 112 des Substrats 111 befinden.
3 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms zum Erläutern eines Ablaufs eines Testverfahrens durch das Testgerät 100. Der Ablauf wird gestartet, wenn beispielsweise ein Benutzer eine Eingabe zum Starten eines Tests der LED-Gruppe in Bezug auf das Testgerät 100 in einem Zustand ausführt, bei dem die LED-Gruppe auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet ist.
Das Testgerät 100 führt einen elektrischen Verbindungsschritt zum elektrischen Verbinden der elektrischen Anschlusseinheit 110 mit dem Anschluss 11 jeder der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 aus (Schritt S101). Als spezifisches Beispiel gibt die Steuereinheit 140 einen Befehl an die Anordnungseinheit 150 aus und bewegt die Anordnungseinheit 150 derart, dass ein Satz der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 unter den LED-Gruppen auf der Anordnungseinheit 150 zuerst in Kontakt mit der Vielzahl von Messfühlern 113 kommt.
Das Testgerät 100 führt einen Bestrahlungsschritt zum gemeinsamen Bestrahlen der Vielzahl von LEDs 10 mit Licht aus (Schritt S 103). Als spezifisches Beispiel gibt die Steuereinheit 140 einen Befehl an die Lichtquelleneinheit 120 aus und bestrahlt einen Satz der Vielzahl von LEDs 10, die in der Öffnung 112 freiliegen, mit dem parallelen Licht 122.
Das Testgerät 100 führt einen elektrischen Messschritt zum Messen des photoelektrischen Signals aus, das durch photoelektrisches Umwandeln des eingestrahlten Lichts erhalten und über die elektrische Anschlusseinheit 110 von jeder der Vielzahl von LEDs 10 ausgegeben wird (Schritt S 105). Als spezifisches Beispiel gibt die Steuereinheit 140 einen Befehl an die Messeinheit 130 aus, veranlasst die Messeinheit 130, den Stromwert der Stromausgabe von dem Satz der Vielzahl von LEDs 10 zu messen, die so geschaltet sind, dass sie mit der Vielzahl von Messfühlern 113 in Kontakt stehen, unter der auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LED-Gruppe, und veranlasst, dass das Messergebnis an die Steuereinheit 140 ausgegeben wird. Die Steuereinheit 140 speichert die jeweiligen Messergebnisse der Sätze der Vielzahl von LEDs 10 in der Speichereinheit 145.
Das Testgerät 100 bestimmt, ob die Messung aller auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LEDs 10 abgeschlossen wurde (Schritt S107) und führt, falls nicht abgeschlossen (Schritt S107: NEIN), einen Satzumschaltschritt zum Umschalten eines Satzes aus der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 aus (Schritt S109) und kehrt zu Schritt S101 zurück. Als spezifisches Beispiel bezieht sich die Steuereinheit 140 auf die Referenzdaten in der Speichereinheit 145, bestimmt, ob die Messergebnisse aller auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LEDs 10 gespeichert sind, und gibt, falls nicht gespeichert, einen Befehl an die Anordnungseinheit 150 aus und bewegt dann die Anordnungseinheit 150 so, dass auf einen Satz der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 umgeschaltet wird.
In einem Fall, bei dem die Messung aller auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LEDs 10 in Schritt S107 abgeschlossen wurde (Schritt S107: JA), führt das Testgerät 100 einen Bestimmungsschritt zum Bestimmen der Qualität jeder der Vielzahl aus der LEDs 10 auf der Grundlage der Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte und dem Messergebnis der obigen Messstufe (Schritt S111) aus und der Ablauf endet. Als spezifisches Beispiel bezieht sich die Steuereinheit 140 auf die Referenzdaten in der Speichereinheit 145 und bezieht sich in einem Fall, bei dem die Messergebnisse aller auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LEDs 10 gespeichert sind, auf die Daten, die die Korrelation angeben, der Speichereinheit 145 und bestimmt die Qualität jeder der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage der Korrelation und des Messergebnisses.
Wie oben beschrieben, bestimmt die Steuereinheit 140 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wenigstens eine LED 10, deren Leuchtdichte als außerhalb des Normbereichs liegend geschätzt wird, unter den Vielzahl von zu testenden LEDs 10, auf der Grundlage des gemessenen photoelektrischen Signals und der obigen Korrelation als mangelhaft. Als ein Beispiel des hier beschriebenen Normbereichs kann ein Bereich verwendet werden, der auf einer Statistik basiert, die der Leuchtdichte des Lichts entspricht, das von wenigstens einer LED 10 emittiert wird, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll.
Um genau zu sein, kann als ein Beispiel des Normbereichs ein Bereich basierend auf einer Statistik der Leuchtdichte im gesamten Wafer 15 des Lichts, das von jeder der Vielzahl von LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung auf der Anordnungseinheit 150 unterzogen werden soll, emittiert wird, verwendet werden oder es kann ein Bereich basierend auf der Statistik der Leuchtdichte in der gesamten Charge, die den Wafer 15 enthält, verwendet werden. Als ein Beispiel der Statistik kann ein Bereich innerhalb des Mittelwerts ±1σ, ein Bereich innerhalb des Mittelwerts ±2σ oder ein Bereich innerhalb des Mittelwerts ±3σ der Leuchtdichte verwendet werden.
In diesem Fall berechnet die Steuereinheit 140 den Mittelwert und eine Standardabweichung σ auf der Grundlage der Leuchtdichte, die in der Speichereinheit 145 gespeichert ist, des Lichts, das von jeder der Vielzahl von LEDs 10, die auf der Anordnungseinheit 150 der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, emittiert wird. Zudem kann in einem Fall, bei dem es eine Vielzahl von Spitzen in der Leuchtdichte gibt, die Statistik der Leuchtdichte unter Verwendung einer statistischen Verarbeitung berechnet werden, die in der Lage ist, der Vielzahl von Spitzen ohne Verwendung der Standardabweichung zu entsprechen.
4 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms zum Erläutern eines Ablaufs zum Berechnen der Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte durch das Testgerät 100. Vor dem Ausführen des in 3 gezeigten Ablaufs führt das Testgerät 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel im Vorhinein den in 4 gezeigten Ablauf aus und berechnet die Korrelation.
Der Ablauf wird gestartet, wenn beispielsweise ein Benutzer in das Testgerät 100 eingibt, dass der Ablauf in einem Zustand gestartet wird, bei dem die gleiche Anzahl von LED-Gruppen der Vielzahl von LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, wie die Anzahl der zu testenden Vielzahl von LEDs 10 auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet ist. Es gilt zu beachten, dass die Vielzahl von LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, auf dem Wafer 15 so ausgebildet sind, dass sie eine LED-Gruppe bilden, ähnlich der Vielzahl von zu testenden LEDs 10. Ferner kann, wie oben beschrieben, wenigstens eine LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, in der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 enthalten sein oder nicht in der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 enthalten sein. Jeweilige Schritte S151 bis S155 im Ablauf entsprechen den Schritten S101 bis S105 im Ablauf, der in 3 gezeigt ist, und eine redundante Beschreibung wird weggelassen.
Das Testgerät 100 führt einen Lichtmessschritt aus, bei dem veranlasst wird, dass eine oder mehrere LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, Licht zu emittieren, um das Licht zu messen (Schritt S156). Es gilt zu beachten, dass der Lichtmessschritt einen Lichtemissionssteuerungsschritt umfasst.
Als spezifisches Beispiel gibt die Steuereinheit 140 einen Befehl an die Messeinheit 130 aus, liefert aufeinanderfolgend einen Strom mit einem vorgegebenen Stromwert an eine oder mehrere LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, die in einem Satz der Vielzahl von LEDs 10 enthalten ist, die so geschaltet ist, dass sie mit der Vielzahl von Messfühlern 113 in der LED-Gruppe, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, die auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet ist, in Kontakt steht, und veranlasst, dass jede LED 10 aufeinanderfolgend Licht emittiert. Gemäß dem Befehl von der Steuereinheit 140 misst die Messeinheit 130 die Leuchtdichte jeder LED 10 auf der Grundlage eines Signals, das vom Leuchtdichtemessgerät 135 ausgegeben wird, welches das Licht von jeder LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, aufgenommen hat und gibt ein Messergebnis an die Steuereinheit 140 aus. Die Steuereinheit 140 speichert jedes Messergebnis einer oder mehrerer LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, in der Speichereinheit 145.
Das Testgerät 100 bestimmt, ob die Messung aller Sätze, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, die auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet sind, abgeschlossen wurde (Schritt S157), und falls nicht abgeschlossen (Schritt S157: NEIN), führt sie einen Satzumschaltschritt zum Umschalten der Sätze der Vielzahl von LEDs 10 aus (Schritt S159) und kehrt zu Schritt S151 zurück. Als spezifisches Beispiel bezieht sich die Steuereinheit 140 auf die Referenzdaten in der Speichereinheit 145, bestimmt, ob die Messergebnisse aller auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten Sets gespeichert sind, und gibt, falls nicht gespeichert, einen Befehl an die Anordnungseinheit 150 aus, um die Anordnungseinheit 150 zu bewegen, um auf den nächsten Satz der Vielzahl von LEDs 10 umzuschalten.
In einem Fall, bei dem die Messung aller auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten Sätze in Schritt S157 abgeschlossen ist (Schritt S157: JA), führt das Testgerät 100 einen Korrelationsberechnungsschritt zum Berechnen einer Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal, das von der LED 10 ausgegeben wird, und der Leuchtdichte des von der LED 10 emittierten Lichts auf der Grundlage des Messergebnisses des elektrischen Messschritts von Schritt S155 und des Messergebnisses des Lichtmessschritts von Schritt S156 für alle LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, aus (Schritt S161) und der Ablauf endet. Als spezifisches Beispiel bezieht sich die Steuereinheit 140 auf die Referenzdaten in der Speichereinheit 145 und in einem Fall, bei dem die Messergebnisse des Lichtmessschritts aller LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, die auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet sind, gespeichert sind, wird die Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte auf der Grundlage der Statistik der photoelektrischen Signale und der Leuchtdichte aller LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, berechnet.
Es gilt zu beachten, dass das Testgerät 100 den Lichtmessschritt in Schritt S156 im in 4 gezeigten Ablauf vor dem Bestrahlungsschritt in Schritt S153 ausführen kann. Außerdem kann das Testgerät 100 den Korrelationsberechnungsschritt von Schritt S161 vor Schritt S157 in der Schleife ausführen, d.h. sie kann die Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte für jeden Satz berechnen. Zudem kann das Testgerät 100, um die Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte zu berechnen, die Messung des photoelektrischen Signals oder der Leuchtdichte für jeden Satz ausführen und dann die Messung des anderen des photoelektrischen Signals und der Leuchtdichte für jeden Satz erneut ausführen.
Es gilt zu beachten, dass das Testgerät 100 den in 4 gezeigten Ablauf zum Berechnen der Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte innerhalb des das in 3 gezeigten Ablaufs des Testverfahrens durch Testgerät 100 ausführen kann. In diesem Fall ist wenigstens eine LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, in der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 enthalten.
Beispielsweise kann das Testgerät 100 den Lichtmessschritt von Schritt S156 von 4 vor Schritt S103 oder nach Schritt S105 in der Schleife der Schritte S101 bis S109 von 3 ausführen und kann in diesem Fall ferner den Korrelationsberechnungsschritt von Schritt S161 von 4 vor Schritt S 111 außerhalb der Schleife ausführen. Außerdem kann das Testgerät 100 den Korrelationsberechnungsschritt vor Schritt S107 in der Schleife ausführen, d.h. sie kann die Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte für jeden Satz berechnen.
Zudem kann das Testgerät 100 beispielsweise außerhalb der Schleife der Schritte S101 bis S109 von 3 beispielsweise vor oder nach der Schleife andere Schritte als die Schritte S153 und S155 in der Schleife der Schritte S151 bis S159 von 4 ausführen. In diesem Fall kann ferner der Korrelationsberechnungsschritt von Schritt S161 von 4 vor Schritt S111 außerhalb der zwei Schleifen ausgeführt werden. Außerdem kann das Testgerät 100 den Korrelationsberechnungsschritt vor Schritt S107 oder Schritt S157 in der Schleife ausführen, die chronologisch nach den zwei Schleifen liegt, d.h. sie kann die Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte für jeden Satz unter der Bedingung berechnen, dass jedes Messergebnis des photoelektrischen Signals und der Leuchtdichte erhalten wird.
5 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms zum Erläutern eines anderen Ablaufs des Testverfahrens durch das Testgerät 100. Die Schritte S201 bis S209 im Ablauf entsprechen jeweils jedem der Schritte S101 bis S109 im in 3 gezeigten Ablauf und eine redundante Beschreibung wird weggelassen.
In einem Fall, bei dem die Messung aller auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LEDs 10 in Schritt S207 abgeschlossen wurde (Schritt S207: JA), führt das Testgerät 100 einen Auswahlschritt zum Auswählen wenigstens einer LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, unter der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 auf der Grundlage des Messergebnisses des Messschritts in Schritt S205 aus (Schritt S211). In Schritt S211 wählt das Testgerät 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel verschiedene LEDs 10 aus, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen.
Als spezifisches Beispiel kann die Steuereinheit 140 als wenigstens eine LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, die LED 10 auswählen, bei der das von der Messeinheit 130 gemessene photoelektrische Signal eine Schwankung gleich oder größer als ein vorgegebener Schwellenwert aufweist. Beispielsweise kann sich die Steuereinheit 140 auf den in der Speichereinheit 145 gespeicherten Schwellwert beziehen und die LED 10 auswählen, bei der die Schwankung gleich oder größer als der Schwellwert im photoelektrischen Signal gefunden wird, unter der Annahme, dass die LED mangelhaft ist, und zudem die ausgewählte LED 10 verwenden, um daraus ergänzende Daten zum Analysieren eines Mangelhaftfaktors zu erhalten. Außerdem kann die Steuereinheit 140 einen bestimmten Schwellenwert unter einer Vielzahl von unterschiedlichen Schwellenwerten gemäß einer Statistik verwenden, die dem photoelektrischen Signal entspricht, das von der Messeinheit 130 für die Vielzahl von LEDs 10 gemessen wird. Beispielsweise kann die LED 10, die dem Durchlauftest unterzogen werden soll, unter Verwendung eines anderen Schwellenwerts gemäß der Schwankung oder Verteilung des photoelektrischen Signals des gesamten Wafers 15 ausgewählt werden. Es gilt zu beachten, dass diese in der Speichereinheit 145 gespeicherten Schwellenwerte beispielsweise durch Ratings oder ähnliches bestimmt werden können.
Zudem kann die Steuereinheit 140 einen Mittelwert und eine Standardabweichung (a) der von der Messeinheit 130 gemessenen photoelektrischen Signale für die Vielzahl von LEDs 10 als eine Statistik berechnen und wenigstens eine LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, wobei die wenigstens eine LED unterschiedliche Größen der photoelektrischen Signale aufweist, auf der Grundlage des Mittelwerts und der Standardabweichung auswählen. Beispielsweise können eine oder mehrere LEDs 10 aus jeder Gruppe von LEDs 10 ausgewählt werden, welche unterschiedliche photoelektrische Signale ausgeben, wie beispielsweise eine Gruppe von LEDs 10, die das photoelektrische Signal des Mittelwerts ausgeben, und eine Gruppe von LEDs 10, welche die photoelektrischen Signale des Mittelwerts ± 1α aus (a ist eine Standardabweichung) ausgeben.
Zusätzlich zur statistischen Verarbeitung unter Verwendung des Durchschnitts und der Standardabweichung kann jede beliebige statistische Verarbeitung verwendet werden. Um beispielsweise mit einem Fall fertig zu werden, bei dem es eine Vielzahl von Spitzen gibt, oder einem Fall, bei dem die Spitzen im statistischen Wert des photoelektrischen Signals verzerrt sind, kann eine mathematische Formel der Standardabweichung anders erstellt werden, können andere Algorithmen oder eine Kombination von Algorithmen übernommen werden und diese können in Abhängigkeit von den Eigenschaften der LED 10 verwendet werden. Ein Beispiel für einen anderen Algorithmus kann Good Die in Bad Neighborhood (GDBN), Cluster-Erkennung oder dergleichen sein.
Das Testgerät 100 führt den elektrischen Verbindungsschritt auf die gleiche Weise wie in Schritt S201 (Schritt S212) aus und führt den Lichtmessschritt aus, um zu bewirken, dass verschiedene LEDs 10 der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden, die im Auswahlschritt von Schritt S211 ausgewählt wurden, um aufeinanderfolgend Licht zu emittieren, um die Leuchtdichte zu messen (Schritt S213). Genauer gesagt veranlasst das Testgerät 100 aufeinanderfolgend, dass die ausgewählte LED 10 Licht für jeden Satz der Vielzahl von LEDs 10 emittiert, um die Leuchtdichte zu messen. Spezifische Beispiele der Schritte S212 und S213 können die gleichen wie die Schritte S151 und S156 in 4 sein und eine redundante Beschreibung wird weggelassen. Es gilt zu beachten, dass der Lichtmessschritt einen Lichtemissionssteuerungsschritt umfasst, um zu bewirken, dass wenigstens eine LED 10 der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen wird, um Licht zu emittieren.
Das Testgerät 100 bestimmt, ob die Messung der Leuchtdichte für alle der verschiedenen LEDs 10 abgeschlossen wurde, die im Auswahlschritt von Schritt S211 ausgewählt wurden (Schritt S215). Genauer gesagt bestimmt das Testgerät 100, ob die Schritte S212 und S213 für einen Satz ausgeführt wurden, der die ausgewählten LEDs 10 enthält.
In einem Fall, bei dem die Messung der Leuchtdichte nicht für alle der verschiedenen LEDs 10 abgeschlossen wurde, die im Auswahlschritt von Schritt S211 ausgewählt wurden (Schritt S215: NEIN), führt das Testgerät 100 den eingestellten Umschaltschritt wie in Schritt S209 aus (Schritt S217) und kehrt zu Schritt S212 zurück.
In Schritt S215 führt das Testgerät 100 in einem Fall, bei dem die Messung der Leuchtdichte für alle der verschiedenen LEDs 10, die im Auswahlschritt von Schritt S211 ausgewählt wurden, abgeschlossen ist (Schritt S215: JA), den Bestimmungsschritt des Bestimmens der Qualität jeder der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage des Messergebnisses im elektrischen Messschritt von Schritt S205 und des Messergebnisses im Lichtmessschritt von Schritt S213 aus (Schritt S219) und der Ablauf endet. Als spezifisches Beispiel kann die Steuereinheit 140 die Qualität der ausgewählten LEDs 10 auf der Grundlage eines Messergebnisses bestimmen, das durch Messen von Licht erhalten wird, das von der LED 10 emittiert wird, die ausgewählt ist, um der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen zu werden. Um genau zu sein, die Steuereinheit 140 bezieht sich auf die Referenzdaten in der Speichereinheit 145 und bestimmt in einem Fall, bei dem die Messergebnisse des Lichtmessschritts der verschiedenen auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LEDs 10 gespeichert sind, die Qualität der verschiedenen LEDs 10 auf der Grundlage der photoelektrischen Signale und der Leuchtdichte der verschiedenen LEDs 10. In diesem Fall kann die Steuereinheit 140 bestimmen, dass die verbleibenden LEDs 10, die nicht im Auswahlschritt von Schritt S211 ausgewählt wurden, gut sind.
Die Steuereinheit 140 kann die ausgewählte LED 10 in einem Fall als mangelhaft bestimmen, bei dem die Leuchtdichte des von der ausgewählten LED 10 emittierten Lichts außerhalb des Normbereichs liegt. Die Steuereinheit 140 kann als Normbereich einen Bereich verwenden, der auf einer Statistik basiert, die der Leuchtdichte des Lichts entspricht, das von wenigstens einer LED 10 emittiert wird, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll.
Es gilt zu beachten, dass das Testgerät 100 die Schritte S211 und S213 vor Schritt S207 in der Schleife der Schritte S201 bis S209 des in 5 gezeigten Ablaufs ausführen kann, d.h. es kann den elektrischen Messschritt, den Auswahlschritt und den Lichtmessschritt für jeden Satz ausführen. In diesem Fall führt in einem Fall, bei dem die Messung aller auf der Anordnungseinheit 150 angeordneten LEDs 10 in Schritt S207 abgeschlossen wurde (Schritt S207: JA), das Testgerät 100 den Bestimmungsschritt von Schritt S219 aus und beendet den Ablauf.
Es gilt zu beachten, dass anstelle des Ausführens des Bestimmungsschritts von Schritt S219, nachdem die Messung der Leuchtdichte für alle der verschiedenen LEDs 10 abgeschlossen ist, die in dem Auswahlschritt von Schritt S211 ausgewählt wurden, das Testgerät 100 den Bestimmungsschritt von Schritt S219 vor Schritt S215 ausführen kann, d.h. es kann die Qualität der für jeden Satz ausgewählten LEDs 10 bestimmen.
Als ein Vergleichsbeispiel mit dem Testverfahren durch das Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels ist beispielsweise ein Verfahren zum Testen optischer Eigenschaften von LEDs denkbar, bei dem eine Vielzahl von auf einem Wafer angeordneter LEDs aufeinanderfolgend eine nach der anderen eingeschaltet werden und Licht von einem Bildsensor, einem Spektralleuchtdichtemessgerät oder dergleichen aufgenommen wird, um zu bestimmen, ob Licht korrekt emittiert wird.
In einem Fall, bei dem die optischen Eigenschaften der Vielzahl von LEDs gemeinsam unter Verwendung des Testverfahrens des Vergleichsbeispiels gemessen werden, interferiert Licht, das von jeder der Vielzahl von benachbarten LEDs emittiert wird, miteinander, wobei eine mangelhafte LED mit einer relativ schlechteren optischen Eigenschaft nicht korrekt identifiziert werden kann und ein Bildsensor oder dergleichen zur Ausführung einer Bilderkennung in einem weiten Bereich mit hoher Genauigkeit sehr teuer wird. Insbesondere in einem Fall, bei dem eine Vielzahl von Mikro-LEDs getestet wird, wird das Problem bemerkenswert.
Andererseits ist gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels die elektrische Anschlusseinheit 110 elektrisch mit dem Anschluss 11 jeder der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 verbunden, wobei die Vielzahl von LEDs 10 gemeinsam mit Licht bestrahlt werden, und das photoelektrische Signal, das durch photoelektrisches Umwandeln des eingestrahlten Lichts erhalten und über die elektrische Anschlusseinheit 110 von jeder der Vielzahl von LEDs 10 ausgegeben wird, wird gemessen. Ferner wird gemäß dem Testgerät 100 die Qualität jeder der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage der Messergebnisse der Vielzahl von LEDs 10 bestimmt. Als Ergebnis kann das Testgerät 100 nicht nur die Verarbeitungszeit durch gleichzeitiges Messen der photoelektrischen Signale der Vielzahl von LEDs 10 verkürzen, sondern kann auch eine mangelhafte LED 10 mit verschlechterten optischen Eigenschaften korrekt identifizieren, indem die Qualität der LED 10 unter Verwendung der gemessenen photoelektrischen Signale bestimmt wird, ohne durch die Messung der optischen Eigenschaften der anderen LEDs 10 beeinträchtigt zu werden. Außerdem kann gemäß dem Testgerät 100 die Anzahl der gleichzeitig zu messenden LEDs 10 leicht erweitert werden.
Außerdem kann gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels beispielsweise in einem Fall, bei dem der Ablauf des in 3 gezeigten Testverfahrens ausgeführt wird, die Qualität jeder der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage des Messwerts des photoelektrischen Signals, das von jeder der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 ausgegeben wird, und der Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der für die Vielzahl von LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden, gemessenen Leuchtdichte bestimmt werden. Im Ergebnis kann das Testgerät 100 die Leuchtdichte jeder der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 direkt übernehmen und kann beispielsweise bestimmen, ob die Leuchtdichte ein vorgegebenes Kriterium erfüllt. Somit kann die Messgenauigkeit im Vergleich zu dem Fall verbessert werden, bei dem die Qualität nur auf der Grundlage des Messwerts des photoelektrischen Signals bestimmt wird, das von jeder der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 ausgegeben wird. Außerdem kann durch vorheriges Berechnen der Korrelation das Testgerät 100 verwendet werden, um danach das wiederholte Testverfahren auf der Grundlage der Korrelation zu verbessern. Zudem werden gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels beispielsweise in einem Fall, bei dem ein anderer Ablauf des Testverfahrens, der in 5 gezeigt ist, ausgeführt wird, verschiedene LEDs 10, die der nächsten Messung unterzogen werden sollen, aus der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage des Messergebnisses des photoelektrischen Signals ausgewählt, das von jeder der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 ausgegeben wird, und dann wird die Leuchtdichte gemessen, indem veranlasst wird, dass die verschiedenen LEDs 10 Licht emittieren, und wird die Qualität jeder der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage des Messergebnisses des photoelektrischen Signals und des Messergebnisses der Leuchtdichte bestimmt. Wie oben beschrieben, kann das Testgerät 100 durch Vermindern der Anzahl von LEDs 10 und Messen der Leuchtdichte in einer Durchlaufmanier nicht nur die Messgenauigkeit im Vergleich zu dem Fall verbessern, bei dem die Qualität nur auf der Grundlage des photoelektrischen Signals bestimmt wird, sondern auch die gesamte Testzeit im Vergleich zu dem Fall des Messens aller LEDs 10 in einer Durchlaufmanier verkürzen.
Gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels kann die Vielzahl von Messfühlern 113 und das Substrat 111, die zum Messen der optischen Eigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 verwendet werden, auch zum Messen der elektrischen Eigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 gemeinsam genutzt werden, beispielsweise bei einem VI-Test unter Verwendung eines LED-Testers. Gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels können für die anderen Ausgestaltungen mit Ausnahme der Lichtquelleneinheit 120 und der Blockierungseinheit 160, d.h. für die elektrische Anschlusseinheit 110, die Messeinheit 130, das Leuchtdichtemessgerät 135, die Steuereinheit 140, die Speichereinheit 145 und die Anordnungseinheit 150, diejenigen verwendet werden, die zum Testen von anderen Vorrichtungen als optischen Vorrichtungen wie der LED-Gruppe verwendet werden.
Beim obigen Ausführungsbeispiel wurde im Fall der Berechnung der Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte das Testgerät 100 so beschrieben, dass sie die Messung des photoelektrischen Signals und der Leuchtdichte für die Vielzahl von LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, entsprechend der Anzahl der zu testenden Vielzahl von LEDs 10 oft ausführt. Jedoch kann die Anzahl der Vielzahl von LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, gemäß der für die Korrelation erforderlichen Genauigkeit angepasst werden. Beispielsweise kann das Testgerät 100 die Ausführungszeit des in 4 gezeigten Ablaufs durch Vermindern der Anzahl der Vielzahl von LEDs 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, verkürzen.
Beim obigen Ausführungsbeispiel kann in einem Fall, bei dem eine Ungleichmäßigkeit in der Lichtintensität im Bestrahlungsbereich des Lichts auftritt, das von der Lichtquelle 121 des Testgeräts 100 auf die Vielzahl von LEDs 10 abgestrahlt wird, das photoelektrische Signal und die Leuchtdichte von der LED 10, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, die an derselben Position wie die zu testende LED 10 auf der Anordnungseinheit 150 angeordnet ist, verwendet werden, um die obige Korrelation zu berechnen. Genauer gesagt, erlangt die Steuereinheit 140 des Testgeräts 100 die photoelektrischen Signale, die von der Vielzahl von LEDs 10 ausgegeben werden, die an derselben Position unter den Sätzen der Vielzahl von LEDs 10 angeordnet sind, in den Messergebnissen, die durch Ausführen einer Vielzahl von Messungen durch die Messeinheit 130 erhalten werden, während der Satz der Vielzahl von LEDs 10 aus der LED-Gruppe, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, aufeinanderfolgend geändert wird. Beispielsweise erlangt die Steuereinheit 140 den Stromwert des Stroms, der von der Ziel-LED unter Verwendung der LEDs 10, als Ziel-LED, die an einer Position in derselben Zeile und derselben Spalte angeordnet sind, d.h. derselben Position untereinander vor und nach dem Wechseln des Satzes unter den LED-Gruppen, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden sollen, die in einer Matrix von 6 Spalten in der X-Achsenrichtung und 6 Zeilen in der Y-Achsenrichtung auf der in 2 gezeigten Anordnungseinheit 150 angeordnet sind, ausgegeben wird.
Die Steuereinheit 140 erlangt ferner die Leuchtdichte des Lichts, das von der Vielzahl von Ziel-LEDs emittiert wird, die an derselben Position untereinander aus den Sätzen angeordnet sind, in den Messergebnissen des Lichts, die durch Ausführen einer Vielzahl von Messungen der Messeinheit 130 erhalten werden, während der Satz der Vielzahl von LEDs 10 aus der LED-Gruppe, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, aufeinanderfolgend geändert wird. Die Steuereinheit 140 berechnet ferner eine Korrelation zwischen den photoelektrischen Signalen und der für die Vielzahl von Ziel-LEDs gemessenen Leuchtdichte.
Die Steuereinheit 140 bestimmt ferner wenigstens eine Test-LED, bei der die Leuchtdichte, die durch Umwandeln der photoelektrischen Signale erhalten werden, die für die Vielzahl von LEDs 10, die vor und nach dem Wechseln des Satzes unter den Vielzahl von zu testenden LEDs 10 an derselben Position wie die obige Position angeordnet sind, gemessen werden, auf der Grundlage der Korrelation, die für die an der obigen Position angeordnete Ziel-LED berechnet wurde, außerhalb des Normbereichs liegt, als mangelhaft. In diesem Fall wird als Normbereich ein Bereich verwendet, der auf der Statistik basiert, die der Leuchtdichte des Lichts entspricht, das von der Vielzahl von Ziel-LEDs emittiert wird, die an der entsprechenden Position angeordnet sind. Im Ergebnis kann das Testgerät 100 die Qualität jeder der Vielzahl von LEDs 10 unabhängig von der Schwankung der Lichtintensität bestimmen, mit der die Lichtquelleneinheit 120 jede Position der Vielzahl von LEDs 10 bestrahlt.
Beim obigen Ausführungsbeispiel kann die zu testende LED 10 eine Eigenschaft aufweisen, Licht nicht geeignet zu emittieren, wenn der Stromwert des zugeführten Stroms niedrig ist, d.h. dass sie in einem Fall, bei dem das eingestrahlte Licht schwach ist, die photoelektrische Umwandlung nicht geeignet ausführt, und andererseits Licht geeignet emittiert, wenn der Stromwert hoch ist. Daher kann beispielsweise in einem Fall, bei dem der Test an der Vielzahl von LEDs 10 ausgeführt wird, bei denen vorgegeben ist, dass der Strom mit einem bestimmten Stromwert fließt, das Testgerät100 die LED 10, bei der das photoelektrische Signal außerhalb des Normbereichs liegt und die Leuchtdichte außerhalb des Normbereichs liegt, als mangelhaft bestimmen. Wenn die zu testende LED 10, wie oben beschrieben, beim für den Test verwendeten Stromwert nur versehentlich keine geeignete photoelektrische Umwandlung ausführt, aber in einem Fall, bei dem der Strom mit dem spezifischen Stromwert zugeführt wird, in geeigneter Weise Licht emittiert, kann die LED 10 als nicht mangelhaft angesehen werden. In diesem Fall bestimmt das Testgerät 100 zunächst die Eignung der photoelektrischen Umwandlung für die Vielzahl von zu testenden LEDs 10, wodurch die Anzahl der auf Leuchtdichte, Farbigkeit, Spektralspektrum und dergleichen zu messenden LEDs 10 verringert wird, und die Ausführungszeit des Tests verringert wird.
Beim obigen Ausführungsbeispiel wurde die Vielzahl von LEDs 10 so beschrieben, dass sie eine Ausgestaltung aufweisen, bei der sich die Anschlüsse 11 auf der Seite der Lichtemissionsfläche befinden. Alternativ kann die Vielzahl von LEDs 10 Anschlüsse 11 auf der gegenüberliegenden Seite der Lichtemissionsfläche aufweisen. Die Vielzahl von Messfühlern 113 können unterschiedliche Längen aufweisen, abhängig davon, ob sich jeder Anschluss 11 der Vielzahl von LEDs 10 auf der Seite der Lichtemissionsfläche oder auf der gegenüberliegenden Seite der Lichtemissionsfläche befindet.
Beim obigen Ausführungsbeispiel wurde die Ausgestaltung beschrieben, bei der die Anordnungseinheit 150, auf der die LED-Gruppe angeordnet ist, so bewegt wird, dass die Positionskoordinaten der Vielzahl von Messfühlern 113 der elektrischen Anschlusseinheit 110 und die Positionskoordinaten der Vielzahl von LEDs 10 der LED-Gruppe in der XY-Ebene miteinander übereinstimmen, und dann die Anordnungseinheit 150 nach oben und unten bewegt wird, um die Vielzahl von Anschlüssen 11 der Vielzahl von LEDs 10 mit der Vielzahl von Messfühlern 113 in Kontakt zu bringen. Alternativ kann die Vielzahl von Anschlüssen 11 der Vielzahl von LEDs 10 durch Bewegung des Substrats 111 nach oben und unten, nach Bewegung in der XY-Ebene, mit der Vielzahl von Messfühlern 113 in Kontakt gebracht werden.
Beim obigen Ausführungsbeispiel wurde die Anordnungseinheit 150 als eine im Wesentlichen kreisförmige Außenform aufweisend beschrieben. Alternativ kann beispielsweise in einem Fall, bei dem eine LED-Gruppe, bei der eine Vielzahl von LEDs 10 auf einer Tafel auf Glasbasis (PLP) mit einer im Wesentlichen rechteckigen Außenform, in der elektrische Leitungen ausgebildet sind, ausgebildet ist, darauf angeordnet ist, die Anordnungseinheit 150 eine im Wesentlichen rechteckige äußere Form entsprechend der äußeren Form der LED-Gruppe aufweisen.
6 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines Testgeräts 200 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 20 zeigt. Bei der Beschreibung des in 6 gezeigten Ausführungsbeispiels werden die gleichen Ausgestaltungen wie diejenigen des unter Bezugnahme auf 1 bis 5 beschriebenen Ausführungsbeispiels mit den entsprechenden Bezugszeichen bezeichnet und eine redundante Beschreibung wird weggelassen. Allerdings werden in 6 die Messeinheit 130, das Leuchtdichtemessgerät 135, die Steuereinheit 140, die Speichereinheit 145 und die Anordnungseinheit 150 des Testgeräts 100, das unter Bezugnahme auf 1 bis 5 beschrieben wurde, zur vereinfachten Erläuterung der Beschreibung nicht gezeigt. Das gleiche gilt für die Zeichnung der unten beschriebenen Ausführungsbeispiele und eine redundante Beschreibung wird weggelassen.
Bei dem Ausführungsbeispiel, das unter Bezugnahme auf 1 bis 5 beschrieben wurde, wurde die elektrische Anschlusseinheit 110 mit einer Ausgestaltung beschrieben, bei der die elektrische Anschlusseinheit 110 zwischen der Lichtquelleneinheit 120 und der Vielzahl von LEDs 10 angeordnet ist und das Substrat 111 und die Vielzahl von Messfühlern 113 enthält, die in der Öffnung 112 des Substrats 111 vorgesehen sind. Bei dem Ausführungsbeispiel, das in 6 beschrieben wird, ist stattdessen eine elektrische Anschlusseinheit 210 derart angeordnet, dass die Vielzahl von LEDs 20 zwischen der Lichtquelleneinheit 120 und der elektrischen Anschlusseinheit 210 angeordnet sind, und enthält ein Substrat 211 und eine Vielzahl von Messfühlern 213, die sich vom Substrat 211 hin zu jeder der Vielzahl von LEDs 20 erstrecken und mit den Anschlüssen 21 jeder der Vielzahl von LEDs 20 in Kontakt stehen.
Bei dem Ausführungsbeispiel, das in 6 gezeigt ist, ist die LED-Gruppe vom Flächenemissionstyp, bei dem die Lichtemissionsflächen der Vielzahl von LEDs 20 nicht einem Wafer 25 zugewandt sind, jeder Anschluss 21 der Vielzahl von LEDs 20 dem Wafer 25 zugewandt ist und der Wafer 25 mit einer Vielzahl von Kontaktlöchern 26 ausgebildet ist, die sich an der Position jedes Anschlusses 21 in der Z-Achsenrichtung erstrecken. In einem solchen Fall kann die elektrische Anschlusseinheit 210 die Vielzahl von Messfühlern 213 mit den jeweiligen Anschlüssen 21 der Vielzahl von LEDs 20 von der negativen Richtungsseite der Z-Achse des Wafers 25 durch die Vielzahl von Kontaktlöchern 26, die im Wafer 25 ausgebildet sind, in Kontakt bringen.
Bei der elektrischen Anschlusseinheit 210 des in 6 gezeigten Ausführungsbeispiels kann das Substrat 211 die Öffnung 112 der elektrischen Anschlusseinheit 110 im mit Bezug auf 1 bis 5 beschriebenen Ausführungsbeispiel nicht aufweisen und die Vielzahl von Messfühlern 213 mag sich nicht in der XY-Ebene erstrecken. Wie in 6 gezeigt, kann sich die Vielzahl von Messfühlern 213 so in der Z-Achsenrichtung zum Anschluss 21 jeder LED 20 erstrecken, dass sie zusammen mit dem Substrat 211 die Form eines Berges bilden. Das gleiche gilt für die unten beschriebenen Ausführungsbeispiele und eine redundante Beschreibung wird weggelassen.
Beim in 6 gezeigten Ausführungsbeispiel wird die im Testgerät 100 verwendete Verarbeitung des aufeinanderfolgenden Umschaltens der Sätze der Vielzahl von LEDs 10, so dass sie in der Öffnung 112 des Substrats 111 freiliegen, nicht ausgeführt. Das Testgerät 200 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel verwendet die elektrische Anschlusseinheit 210, die mit allen LEDs 20 elektrisch verbunden werden kann, ohne das Licht von der Lichtquelleneinheit 120 zu blockieren. Im Ergebnis kann das Testgerät 200 alle LEDs20 gemeinsam mit Licht bestrahlen und das photoelektrische Signal, das von jeder LED 20 ausgegeben wird, messen. Das heißt, das Testgerät 200 führt für alle LEDs 20 gemeinsam den elektrischen Verbindungsschritt, den Bestrahlungsschritt, den elektrischen Messschritt und den Bestimmungsschritt aus.
Das Testgerät 200 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel berechnet die Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte, bevor sie den in 7 gezeigten Ablauf des Testverfahrens ausführt. Das Testgerät 200 führt für alle LEDs 20 gemeinsam den elektrischen Verbindungsschritt, den Bestrahlungsschritt, den elektrischen Messschritt, den Lichtmessschritt und den Korrelationsberechnungsschritt aus.
Es gilt zu beachten, dass das Testgerät 200 den Lichtmessschritt vor dem Bestrahlungsschritt ausführen kann. Außerdem kann das Testgerät 200 die Verarbeitung zum Berechnen der Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal und der Leuchtdichte in einem Ablauf des Testens der Vielzahl von zu testenden LEDs 20 ausführen. In diesem Fall ist wenigstens eine LED 20, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, in der Vielzahl von zu testenden LEDs 20 enthalten. Beispielsweise kann das Testgerät 200 den Lichtmessschritt vor dem Bestrahlungsschritt oder nach dem elektrischen Messschritt ausführen. In diesem Fall kann das Testgerät 200 ferner den Korrelationsberechnungsschritt vor dem Bestimmungsschritt ausführen.
Es gilt zu beachten, dass das Testgerät 200 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel den elektrischen Verbindungsschritt, den Bestrahlungsschritt, den elektrischen Messschritt, den Auswahlschritt, den Lichtmessschritt und den Bestimmungsschritt für alle LEDs 20 gemeinsam ausführen kann.
Das Testgerät 200 gemäß dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel hat die gleiche Wirkung wie das Testgerät 100 gemäß dem unter Bezugnahme auf 1 bis 5 beschriebene Ausführungsbeispiel. Da das Testgerät 200 die elektrische Anschlusseinheit 210 mit einer Ausgestaltung enthält, bei der sich die Vielzahl von Messfühlern 213 in der Z-Achsenrichtung von einer Oberfläche des Substrats 211 ohne Öffnung zu dem Anschluss 21 jeder LED 20 erstrecken, kann die Anzahl der Messfühler 213 erhöht werden und die Anzahl der gleichzeitig zu messenden LEDs 20 kann im Vergleich zu dem Fall der Verwendung der elektrischen Anschlusseinheit 110, welche die Vielzahl von Messfühlern 113 aufweist, die sich zum Anschluss 11 der LED 20 erstrecken, die in der Öffnung 112 des Substrats 111 gemäß dem unter Bezugnahme auf 1 bis 5 beschriebenen Ausführungsbeispiel freiliegt.
Es gilt zu beachten, dass beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Anordnungseinheit 150, auf der die LED-Gruppe angeordnet ist, so bewegt wird, dass die Positionskoordinaten der Vielzahl von Messfühlern 113 der elektrischen Anschlusseinheit 110 und die Positionskoordinaten der Vielzahl von LEDs 20 der LED-Gruppe in der XY-Ebene zusammenfallen, und dann das Substrat 211 der elektrischen Anschlusseinheit 210 auf und ab bewegt wird, wie durch einen weißen Pfeil in jeder Zeichnung angedeutet, wodurch die Vielzahl von Anschlüssen 21 der Vielzahl von LEDs 20 mit der Vielzahl von Messfühlern 213 in Kontakt gebracht werden kann.
Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel kann die in 6 gezeigte Ausgestaltung in der Z-Achsenrichtung umgekehrt werden und auf diese Weise kann die Vielzahl von LEDs 20 aus der negativen Richtung der Z-Achse mit dem parallelen Licht 122 von der Lichtquelleneinheit 120 bestrahlt werden.
Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel kann, um zu verhindern, dass der Wafer 25 aufgrund des Pressens durch die Vielzahl von Messfühlern 213 der elektrischen Anschlusseinheit 210 verformt wird, eine lichtdurchlässige Trägerplatte, wie etwa Glas, zwischen dem Wafer 25 und der Blockierungseinheit 160 eingefügt werden.
In einem Fall, bei dem die Vielzahl von LEDs 20 auf der Seite der Lichtquelleneinheit 120 angeordnet ist, wie in 6 gezeigt, wird es bevorzugt, dass die Trägerplatte so beschaffen ist, dass sie die Vielzahl von LEDs 20 nicht berührt, um die Vielzahl von LEDs 20, die auf dem Wafer 25 ausgebildet sind, nicht zu zerstören. Jeder der oben beschriebenen Punkte ist in der unten beschriebenen Ausführungsform ähnlich und eine redundante Beschreibung wird weggelassen.
7 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines Testgeräts 300 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 30 zeigt. Anders als die Testgeräte 100 und 200 weist das Testgerät 300 eine Stellung auf, bei der das gesamte Testgerät 200 in Richtung der Z-Achse invertiert ist. Bei dem in 7 gezeigten Ausführungsbeispiel ist, ähnlich zum in 6 gezeigten Ausführungsbeispiel, eine elektrische Anschlusseinheit 210 so angeordnet, dass die Vielzahl von LEDs 30 zwischen der Lichtquelleneinheit 120 und der elektrischen Anschlusseinheit 210 angeordnet ist, und umfasst ein Substrat 211 und eine Vielzahl von Messfühlern 213, die sich von dem Substrat 211 zu jeder der Vielzahl von LEDs 30 erstrecken und mit Anschlüssen 31 von jeder der Vielzahl von LEDs 30 in Kontakt kommen. Bei dem in 7 gezeigten Ausführungsbeispiel ist die LED-Gruppe vom Rückseitenemissionstyp, bei dem die lichtemittierenden Flächen der Vielzahl von LEDs 30 einem Wafer 35 zugewandt sind und der Wafer 35 lichtdurchlässig ist.
Jeder Anschluss 31 der Vielzahl von LEDs 30 ist nicht dem Wafer 35 zugewandt. Man beachte, dass bei der LED-Gruppe vom Rückseitenemissionstyp, wie beim vorliegenden Ausführungsbeispiel, die Vielzahl von LEDs 30 und der Wafer 35, auf dem die Vielzahl von LEDs 30 befestigt sind, gemeinsam als Wafer bezeichnet werden können.
Bei einer solchen Ausgestaltung bringt die elektrische Anschlusseinheit 210 die Vielzahl von Messfühlern 213 mit den jeweiligen Anschlüssen 31 der Vielzahl von LEDs 30 von der positiven Richtungsseite der Z-Achse des Wafers 35 in Kontakt. Bei dem in 7 gezeigten Ausführungsbeispiel beinhaltet die Anordnungseinheit 155, im Gegensatz zu einer Anordnungseinheit 150, ein Durchgangsloch 156 im Zentrum der XY-Ebene, so dass das von der Vielzahl von LEDs 30 emittierte und durch den Wafer 35 übertragene Licht nicht blockiert wird, und hält den Wafer 35 um das Durchgangsloch 156 herum. Das Testgerät 300 des in 7 gezeigten Ausführungsbeispiels hat die gleiche Wirkung wie die Testgeräte 100 und 200 der Vielzahl von Ausführungsbeispielen, die mit Bezug auf 1 bis 6 beschrieben wurden.
Bei der Vielzahl von oben beschriebenen Ausführungsbeispielen kann in einem Fall, bei dem die LED-Gruppe eine Ausgestaltung aufweist, bei der die Vielzahl von LEDs auf einem Panel auf Glasbasis (PLP) mit einer im Wesentlichen rechteckigen äußeren Form gebildet ist, auf der elektrische Leitungen gebildet sind, die elektrische Anschlusseinheit eine Ausgestaltung aufweisen, bei der die Messfühler mit den jeweiligen Verdrahtungen in Zeilenrichtung und Spaltenrichtung, die an den zwei Seitenflächen der Tafel angeordnet sind, in Kontakt gebracht werden.
8 zeigt ein Beispiel eines Computers 1200, bei dem eine Vielzahl von Aspekten der vorliegenden Erfindung ganz oder teilweise verkörpert sein kann. Ein auf dem Computer 1200 installiertes Programm kann bewirken, dass der Computer 1200 als eine Operation funktioniert, die mit der Vorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung oder einem oder mehreren „Teilen“ der Vorrichtung assoziiert ist, oder die Operation oder die eine oder mehrere „Teile“ ausführt und/oder veranlassen, dass der Computer 1200 einen Prozess gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung oder einen Schritt der Verarbeitung ausführt. Solche Programme können von einer CPU 1212 ausgeführt werden, um den Computer 1200 zu veranlassen, bestimmte Operationen auszuführen, die einigen oder allen Blöcken in den Ablaufplänen und Blockschemata zugeordnet sind, die in der vorliegenden Beschreibung beschrieben sind.
Der Computer 1200 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst die CPU 1212, einen RAM 1214, eine Grafiksteuerung 1216 und eine Anzeigevorrichtung 1218, die durch einen Host-Controller 1210 verbunden sind. Der Computer 1200 umfasst auch Eingabe-/Ausgabeeinheiten wie etwa eine Kommunikationsschnittstelle 1222, ein Festplattenlaufwerk 1224, ein DVD-ROM-Laufwerk 1226 und ein IC-Kartenlaufwerk, die über einen Eingabe-/Ausgabe-Steuerung 1220 mit dem Host-Controller 1210 verbunden sind. Der Computer umfasst auch ältere Eingabe-/Ausgabeeinheiten wie ein ROM 1230 und eine Tastatur 1242, die über einen Eingabe-/Ausgabe-Chip 1240 mit der Eingabe-/Ausgabe-Steuerung 1220 verbunden sind.
Die CPU 1212 arbeitet gemäß Programmen, die im ROM 1230 und dem RAM 1214 gespeichert sind, wodurch jede Einheit gesteuert wird. Die Grafiksteuerung 1216 erfasst von der CPU 1212 erzeugte Bilddaten in einem Bildpuffer oder dergleichen, der im RAM 1214 oder in der Grafiksteuerung 1216 selbst vorgesehen ist, so dass die Bilddaten auf der Anzeigevorrichtung 1218 angezeigt werden.
Die Kommunikationsschnittstelle 1222 kommuniziert mit anderen elektronischen Geräten über ein Netzwerk. Das Festplattenlaufwerk 1224 speichert Programme und Daten, die von der CPU 1212 im Computer 1200 verwendet werden. Das DVD-ROM-Laufwerk 1226 liest Programme oder Daten von der DVD-ROM 1201 und liefert die Programme oder Daten an das Festplattenlaufwerk 1224 über den RAM 1214. Das IC-Kartenlaufwerk liest Programme und Daten von der IC-Karte und/oder schreibt die Programme und Daten auf die IC-Karte.
Der ROM 1230 speichert darin ein Bootprogramm und dergleichen, das vom Computer 1200 zum Zeitpunkt der Aktivierung ausgeführt wird, und/oder ein Programm abhängig von der Hardware des Computers 1200. Der Eingabe-/Ausgabechip 1240 kann auch verschiedene Eingabe-/Ausgabeeinheiten über einen parallelen Anschluss, einen seriellen Anschluss, einen Tastaturanschluss, einen Mausanschluss oder dergleichen mit der Eingabe-/Ausgabe-Steuerung 1220 verbinden.
Das Programm wird von einem computerlesbaren Speichermedium bereitgestellt, wie beispielsweise einer DVD-ROM 1201 oder einer IC-Karte. Das Programm wird von einem computerlesbaren Speichermedium gelesen, das im Festplattenlaufwerk 1224, dem RAM 1214 oder dem ROM 1230 installiert ist, die auch Beispiele des computerlesbaren Speichermediums sind, und von der CPU 1212 ausgeführt. Die in diesen Programmen beschriebene Informationsverarbeitung wird vom Computer 1200 gelesen und stellt eine Zusammenarbeit zwischen den Programmen und verschiedenen Arten von oben beschriebenen Hardwareressourcen bereit. Die Vorrichtung oder das Verfahren kann durch Implementieren des Betriebs oder der Verarbeitung von Informationen gemäß der Verwendung des Computers 1200 beschaffen sein.
Beispielsweise kann in einem Fall, bei dem eine Kommunikation zwischen dem Computer 1200 und einem externen Gerät ausgeführt wird, die CPU 1212 ein in den RAM 1214 geladenes Kommunikationsprogramm ausführen und die Kommunikationsschnittstelle 1222 anweisen, eine Kommunikationsverarbeitung auf der Grundlage von einem im Kommunikationsprogramm beschriebenen Prozess auszuführen. Unter der Steuerung der CPU 1212 liest die Kommunikationsschnittstelle 1222 Übertragungsdaten, die in einem Übertragungspufferbereich gespeichert sind, der in einem Aufzeichnungsmedium wie dem RAM 1214, dem Festplattenlaufwerk 1224, der DVD-ROM 1201 oder der IC-Karte bereitgestellt ist, überträgt die Leseübertragungsdaten an das Netzwerk oder schreibt vom Netzwerk empfangene Empfangsdaten in einen Empfangspufferbereich oder dergleichen, der auf dem Aufzeichnungsmedium vorgesehen ist.
Zudem kann die CPU 1212 den RAM 1214 veranlassen, die gesamte oder einen notwendigen Teil einer Datei oder Datenbank zu lesen, die auf einem externen Aufzeichnungsmedium wie dem Festplattenlaufwerk 1224, dem DVD-ROM-Laufwerk 1226 (DVD-ROM 1201), der IC-Karte oder dergleichen gespeichert ist, und können verschiedene Verarbeitungsarten an Daten im RAM 1214 ausführen. Als nächstes kann die CPU 1212 die verarbeiteten Daten auf das externe Aufzeichnungsmedium zurückschreiben.
Verschiedene Arten von Informationen, wie etwa verschiedene Arten von Programmen, Daten, Tabellen und Datenbanken, können in einem Aufzeichnungsmedium gespeichert werden, um einer Informationsverarbeitung unterzogen zu werden. Die CPU 1212 kann verschiedene Arten von Verarbeitungen an den aus dem RAM 1214 gelesenen Daten ausführen, einschließlich verschiedener Arten von Operationen, Informationsverarbeitung, bedingter Bestimmung, bedingter Verzweigung, unbedingter Verzweigung, Informationsabruf/-ersetzung und dergleichen, die in der vorliegenden Offenbarung durchweg beschrieben wurden und durch eine Befehlssequenz eines Programms spezifiziert sind, und schreibt die Ergebnisse in den RAM 1214 zurück. Ferner kann die CPU 1212 Informationen in einer Datei, einer Datenbank oder dergleichen auf dem Aufzeichnungsmedium abrufen. In einem Fall, bei dem beispielsweise eine Vielzahl von Einträgen, von denen jeder den Attributwert eines ersten Attributs aufweist, das mit dem Attributwert eines zweiten Attributs verknüpft ist, auf dem Aufzeichnungsmedium gespeichert ist, kann die CPU 1212 einen Eintrag abrufen, der der Bedingung entspricht, in der der Attributwert des ersten Attributs aus der Vielzahl von Einträgen spezifiziert ist, den Attributwert des im Eintrag gespeicherten zweiten Attributs lesen und dadurch den Attributwert des zweiten Attributs erlangen, das dem ersten Attribut zugeordnet ist, das die vorgegebene Bedingung erfüllt.
Die Programme oder Softwaremodule gemäß der obigen Beschreibung können in einem computerlesbaren Speichermedium auf oder in der Nähe des Computers 1200 gespeichert sein. Außerdem kann ein Aufzeichnungsmedium wie eine Festplatte oder ein RAM, das in einem Serversystem bereitgestellt wird, das mit einem dedizierten Kommunikationsnetzwerk oder dem Internet verbunden ist, als computerlesbares Speichermedium verwendet werden, wodurch dem Computer 1200 über das Netzwerk ein Programm bereitgestellt wird.
Während die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben wurden, ist der technische Umfang der Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Fachleuten ist klar, dass verschiedene Modifikationen oder Verbesserungen an den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen vorgenommen werden können. Darüber hinaus können die für ein bestimmtes Ausführungsbeispiel beschriebenen Gegenstände innerhalb eines technisch nicht widersprüchlichen Umfangs auf andere Ausführungsbeispiele übertragen werden. Außerdem kann jede Komponente ein ähnliches Merkmal aufweisen wie eine andere Komponente mit demselben Namen und unterschiedlichen Bezugszeichen. Aus dem Schutzumfang der Ansprüche ist auch ersichtlich, dass die mit solchen Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügten Ausführungsbeispiele in den technischen Schutzumfang der Erfindung eingeschlossen werden können.
Die Operationen, Prozeduren, Schritte und Stufen jedes Prozesses, der von einer Vorrichtung, einem System, einem Programm und einem Verfahren ausgeführt werden, die in den Ansprüchen, Ausführungsbeispielen oder Zeichnungen gezeigt sind, können in beliebiger Reihenfolge durchgeführt werden, solange die Reihenfolge nicht durch „im Vorhinein“, „vor“ oder dergleichen angegeben ist und solange die Ausgabe eines vorherigen Prozesses nicht in einem späteren Prozess verwendet wird. Auch wenn der Prozessablauf in den Ansprüchen, Ausführungsbeispielen oder Zeichnungen unter Verwendung von Ausdrücken wie „erster“ oder „nächster“ beschrieben wird, bedeutet dies nicht notwendigerweise, dass der Prozess in dieser Reihenfolge durchgeführt werden muss.
Bezugszeichenliste

10, 20, 30: LED
11, 21, 31: Anschluss
15, 25, 35: Wafer
100, 200, 300: Testgerät
110, 210: elektrische Anschlusseinheit
111, 211: Substrat
112: Öffnung
113,213: Messfühler
120: Lichtquelleneinheit
121: Lichtquelle
122: paralleles Licht
123: Linseneinheit
124: Filterhalteeinheit
125: Temperaturunterdrückungsfilter
126: Temperatursteuereinheit
130: Messeinheit
135: Leuchtdichtemessgerät
140: Steuereinheit
145: Speichereinheit
150, 155: Anordnungseinheit
156: Durchgangsloch
160: Blockierungseinheit
1200: Computer
1201: DVD-ROM
1210: Host-Controller
1212: CPU
1214: RAM
1216: Grafiksteuerung
1218: Anzeigegerät
1220: Eingabe-/Ausgabe-Steuerung
1222: Kommunikationsschnittstelle
1224: Festplattenlaufwerk
1226: DVD-ROM-Laufwerk
1230: ROM
1240: Eingabe-/Ausgabe-Chip
1242: Tastatur

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2019507953 [0002]
JP 2010230568 [0002]

Claims

Testgerät, umfassend: eine elektrische Anschlusseinheit, die dazu beschaffen ist, mit einem Anschluss einer jeden einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Vorrichtungen elektrisch verbunden zu werden, eine Lichtquelleneinheit, die dazu beschaffen ist, die Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen gemeinsam mit Licht zu bestrahlen, eine elektrische Messeinheit, die dazu beschaffen ist, ein photoelektrisches Signal zu messen, das durch photoelektrisches Umwandeln des von der Lichtquelleneinheit abgestrahlten Lichts von jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen erhalten wird, eine Lichtemissionssteuereinheit, die dazu beschaffen ist, wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die einer Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, dazu zu veranlassen, Licht zu emittieren, eine Lichtmesseinheit, die dazu beschaffen ist, Licht zu messen, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, emittiert wird, und eine Bestimmungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine Qualität jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen auf der Grundlage des Messergebnisses der elektrischen Messeinheit und einem Messergebnis der Lichtmesseinheit zu bestimmen.
Testgerät nach Anspruch 1, ferner umfassend eine Korrelationsberechnungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine Korrelation zwischen einem photoelektrischen Signal, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung ausgegeben wird, und einer optischen Eigenschaft, die wenigstens eines von Leuchtdichte, Farbigkeit und einem Spektralspektrum von Licht ist, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung emittiert wird, auf der Grundlage von Messergebnissen der elektrischen Messeinheit und der Lichtmesseinheit für die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, zu berechnen.
Testgerät nach Anspruch 2, wobei die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, deren optische Eigenschaft als außerhalb eines Normbereichs liegend geschätzt wird, auf der Grundlage des gemessenen photoelektrischen Signals und der Korrelation unter der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen als mangelhaft zu bestimmen.
Testgerät nach Anspruch 3, wobei die Bestimmungseinheit als Normbereich einen Bereich verwendet, der auf einer Statistik gemäß der optischen Eigenschaft von Licht basiert, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung emittiert wird, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll.
Testgerät nach Anspruch 1, wobei die Lichtemissionssteuereinheit dazu beschaffen ist, die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, aus der Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Vorrichtungen auf der Grundlage eines Messergebnisses der elektrischen Messeinheit auszuwählen.
Testgerät nach Anspruch 5, wobei die Lichtemissionssteuereinheit dazu beschaffen ist, als die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, eine lichtemittierende Vorrichtung auszuwählen, bei der das von der elektrischen Messeinheit gemessene photoelektrische Signal eine gleich große oder größere Schwankung zeigt als ein vorgegebener Schwellenwert.
Testgerät nach Anspruch 6, wobei die Lichtemissionssteuereinheit dazu beschaffen ist, einen bestimmten Schwellenwert einer Vielzahl von Schwellenwerten, die gemäß einer Statistik, die dem photoelektrischen Signal entspricht, das von der elektrischen Messeinheit für die Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen gemessen wird, unterschiedlich sind, zu verwenden.
Testgerät nach Anspruch 5, wobei die Lichtemissionssteuereinheit dazu beschaffen ist, einen Mittelwert und eine Standardabweichung der photoelektrischen Signale, die von der elektrischen Messeinheit für die Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen gemessenen werden, zu berechnen und die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, wobei die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung voneinander unterschiedliche Größen der photoelektrischen Signale aufweist, auf der Grundlage des Mittelwerts und der Standardabweichung auszuwählen.
Testgerät nach einem der Ansprüche 5 bis 8, wobei die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, eine Qualität der ausgewählten lichtemittierenden Vorrichtung auf der Grundlage eines Messergebnisses der Lichtmesseinheit zu bestimmen, das durch Messen von Licht erhalten wird, das von der lichtemittierenden Vorrichtung emittiert wird, die dazu ausgewählt ist, der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen zu werden.
Testgerät nach Anspruch 9, wobei die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, die ausgewählte lichtemittierende Vorrichtung in einem Fall als mangelhaft zu bestimmen, bei dem eine optische Eigenschaft, die wenigstens eines von Leuchtdichte, Farbigkeit und einem Spektralspektrum des von der ausgewählten lichtemittierenden Vorrichtung emittierten Lichts ist, außerhalb eines Normbereichs liegt.
Testgerät nach Anspruch 10, wobei die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, als Normbereich einen Bereich zu verwenden, der auf einer Statistik gemäß der optischen Eigenschaft von Licht basiert, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung emittiert wird, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll.
Testverfahren, umfassend: elektrisches Verbinden einer elektrischen Anschlusseinheit mit einem Anschluss einer jeden einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Vorrichtungen, gemeinsames Bestrahlen der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen mit Licht, Messen eines photoelektrischen Signals, das durch photoelektrisches Umwandeln von abgestrahltem Licht von jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen erhalten wird, Veranlassen, dass wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung, die einer Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, Licht emittiert, Messen von Licht, das von der wenigstens einen lichtemittierenden Vorrichtung, die der Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll, emittiert wird, und Bestimmen einer Qualität jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen auf der Grundlage des Messergebnisses der Messung eines photoelektrischen Signals und eines Messergebnisses der Messung von Licht.
Programm, das durch ein Testgerät zum Testen einer Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen ausgeführt wird, wobei das Programm das Testgerät veranlasst, das Testverfahren nach Anspruch 12 auszuführen.