DE112022002194T5 - Testgerät, Testverfahren und Programm - Google Patents

Testgerät, Testverfahren und Programm Download PDF

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Kotaro HASEGAWA
Koji Miyauchi
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Abstract

Es wird ein Testgerät bereitgestellt, umfassend: eine Lichtemissionssteuereinheit, die eine Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen veranlasst, Licht zu emittieren, eine Lichtmesseinheit, die das Licht empfängt, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, und Wellenlängen des empfangenen Lichts misst, und eine Bestimmungseinheit, die bestimmt, ob eine Abnormalität in mindestens einem lichtemittierenden Element aus der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen vorliegt, auf der Grundlage von Intensitätsverteilungen der durch die Lichtmesseinheit gemessenen Wellenlängen des Lichts, das von den Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird. Das Testgerät kann ferner umfassen: eine Lichtquelle, ein optisches System, das die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen mit Licht bestrahlt, das von der Lichtquelle emittiert wird, und eine elektrische Messeinheit, die ein photoelektrisches Signal misst, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das Licht photoelektrisch umwandeln, das vom optischen System abgestrahlt wird, und die Lichtmesseinheit kann das Licht, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System empfangen.

Description

  • HINTERGRUND
  • 1. TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Testgerät, ein Testverfahren und ein Programm.
  • 2. STAND DER TECHNIK
  • Es ist ein Verfahren bekannt, bei dem eine von einem Paar zu prüfender LEDs dazu gebracht wird, Licht auszusenden, und die andere dazu gebracht wird, das Licht zu empfangen, und ein Stromwert eines Stroms, der durch einen photoelektrischen Effekt ausgegeben wird, verwendet wird, optische Eigenschaften der LEDs zu überprüfen (siehe beispielsweise Patentdokumente 1 und 2).
  • ZITIERLISTE
  • PATENTDOKUMENT
    • Patentdokument 1: Veröffentlichung der japanischen Übersetzung einer Patentanmeldung über eine PCT-Route Nr. 2019-507953
    • Patentdokument 2: Veröffentlichung der japanischen Patentanmeldung Nr. 2010 - 230568
  • ALLGEMEINE OFFENLEGUNG
  • Bei einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Testgerät bereitgestellt. Das Testgerät umfasst: eine Lichtemissionssteuereinheit, die eine Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen veranlasst, Licht zu emittieren, eine Lichtmesseinheit, die das Licht empfängt, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, und Wellenlängen des empfangenen Lichts misst, und eine Bestimmungseinheit, die bestimmt, ob eine Abnormalität in mindestens einem lichtemittierenden Element aus der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen vorliegt, auf der Grundlage von Intensitätsverteilungen der durch die Lichtmesseinheit gemessenen Wellenlängen des Lichts, das von den Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird.
  • Das Testgerät kann ferner eine Lichtquelle umfassen. Das Testgerät kann ferner ein optisches System umfassen, das die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen mit Licht bestrahlt, das von der Lichtquelle emittiert wird. Das Testgerät kann ferner eine elektrische Messeinheit umfassen, die ein photoelektrisches Signal misst, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das Licht photoelektrisch umwandeln, das vom optischen System abgestrahlt wird. Die Lichtmesseinheit kann das Licht, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System empfangen.
  • Bei jedem der obigen Testgeräte kann die Bestimmungseinheit die Qualität eines jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage der von der elektrischen Messeinheit gemessenen photoelektrischen Signale, die von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen ausgegeben werden, bestimmen und ein lichtemittierendes Element, bei dem festgestellt wurde, dass es mangelhaft ist, von einem Ziel ausschließen, durch die Lichtemissionssteuereinheit veranlasst zu werden, Licht zu emittieren.
  • Bei jedem der obigen Testgeräte kann das optische System das Licht, das von der Lichtquelle emittiert wird, ausstreuen, so dass die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen gemeinsam mit dem Licht, das von der Lichtquelle emittiert wird, bestrahlt wird, und das ausgestreute Licht, das von den Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, bündeln, so dass das Licht zur Lichtmesseinheit geleitet wird.
  • Bei jedem der obigen Testgeräte kann das optische System einen verzweigten Lichtleiter, der Endabschnitte auf einer Verzweigungsseite aufweist, die mit der Lichtquelle und der Lichtmesseinheit verbunden sind, und eine Linseneinheit, die eine oder mehrere Linsen enthält, aufweisen.
  • Bei jedem der obigen Testgeräte kann das optische System Licht, das von einer Vielzahl von Lichtquellen emittiert wird, kombinieren, wobei jede Lichtquelle mit der Lichtquelle identisch ist, die Licht in Wellenlängenbändern emittiert, die sich voneinander verschiedenen, so dass die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen bestrahlt werden.
  • Bei jedem der obigen Testgeräte kann die Bestimmungseinheit auf der Grundlage eines Ergebnisses des Vergleichs der Intensitätsverteilungen mit einer Referenzintensitätsverteilung, die der Anzahl der lichtemittierenden Elemente entspricht, bestimmen, ob die Abnormalität vorliegt.
  • Jedes der obigen Testgeräte kann ferner eine Gruppeneinteilungseinheit umfassen, welche die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen als Reaktion auf die Feststellung, dass die Abnormalität vorliegt, in eine Vielzahl von Gruppen einteilt. Bei jedem der obigen Testgeräte können die Lichtemissionssteuereinheit und die Lichtmesseinheit alle lichtemittierenden Elemente einer jeden der Vielzahl von Gruppen veranlassen, Licht zu emittieren, und Wellenlängen des Lichts messen, und die Bestimmungseinheit auf der Grundlage von Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von allen lichtemittierenden Elementen emittiert wird, die in einer jeden der Vielzahl von Gruppen enthalten sind, bestimmen, ob eine Abnormalität bei mindestens einem lichtemittierenden Element vorliegt, das in einer jeden der Vielzahl von Gruppen enthalten ist.
  • Bei einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Testgerät bereitgestellt. Das Testgerät umfasst: eine Lichtquelle, ein optisches System, das eine Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen mit Licht bestrahlt, das von der Lichtquelle emittiert wird, eine elektrische Messeinheit, die ein photoelektrisches Signal misst, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das vom optischen System abgestrahlte Licht photoelektrisch umwandeln, eine Lichtemissionssteuereinheit, welche die Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen veranlasst, Licht zu emittieren, eine Lichtmesseinheit, die das Licht, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System empfängt und Wellenlängen des empfangenen Lichts misst, und eine Bestimmungseinheit, die die Qualität der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage eines Messergebnisses der elektrischen Messeinheit und/oder der Lichtmesseinheit bestimmt.
  • Die Bestimmungseinheit kann die Qualität eines jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage der von der elektrischen Messeinheit gemessenen photoelektrischen Signale, die von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen ausgegeben werden, bestimmen und ein lichtemittierendes Element, bei dem festgestellt wurde, dass es mangelhaft ist, von einem Ziel ausschließen, durch die Lichtemissionssteuereinheit veranlasst zu werden, Licht zu emittieren.
  • Bei jedem der obigen Testgeräte kann das optische System das Licht, das von der Lichtquelle emittiert wird, ausstreuen, so dass die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen gemeinsam mit dem Licht, das von der Lichtquelle emittiert wird, bestrahlt wird, und das ausgestreute Licht, das von den Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, bündeln, so dass das Licht zur Lichtmesseinheit geleitet wird.
  • Bei jedem der obigen Testgeräte kann das optische System einen verzweigten Lichtleiter, der Endabschnitte auf einer Verzweigungsseite aufweist, die mit der Lichtquelle und der Lichtmesseinheit verbunden sind, und eine Linseneinheit, die eine oder mehrere Linsen enthält, aufweisen.
  • Bei einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Testverfahren bereitgestellt. Das Testverfahren umfasst: Steuern der Lichtemission durch Veranlassen einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen, Licht zu emittieren, Messen von Licht durch Empfangen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, und Messen der Wellenlängen des empfangenen Lichts, und Bestimmen, ob bei mindestens einem lichtemittierenden Element aus der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen eine Abnormalität vorliegt, auf der Grundlage von durch Messen der Wellenlängen des Lichts gemessenen Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird.
  • Bei einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Testverfahren bereitgestellt. Das Testverfahren umfasst: Ausstrahlen von Licht durch ein optisches System, das eine Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen mit Licht bestrahlt, das von einer Lichtquelle emittiert wird, Ausführen einer elektrischen Messung durch Messen eines photoelektrischen Signals, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das vom optischen System abgestrahlte Licht photoelektrisch umwandeln, Steuern der Lichtemission durch Veranlassen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen, Licht zu emittieren, Messen von Licht durch Empfangen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System und Messen der Wellenlängen des empfangenen Lichts, und Bestimmen der Qualität der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage eines Messergebnisses des Ausführens der elektrischen Messung und/oder der Messung des Lichts.
  • Bei einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Programm bereitgestellt. Das Programm veranlasst ein Testgerät, das ein lichtemittierendes Element testet, Operationen auszuführen, die umfassen: Steuern der Lichtemission durch Veranlassen einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen, Licht zu emittieren, Messen von Licht durch Empfangen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, und Messen der Wellenlängen des empfangenen Lichts, und Bestimmen, ob bei mindestens einem lichtemittierenden Element aus der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen eine Abnormalität vorliegt, auf der Grundlage von durch Messen des Lichts gemessenen Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird.
  • Bei einem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Programm bereitgestellt. Das Programm veranlasst ein Testgerät, das ein lichtemittierendes Element testet, Operationen auszuführen, die umfassen: Ausstrahlen von Licht durch ein optisches System, das eine Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen mit Licht bestrahlt, das von einer Lichtquelle emittiert wird, Ausführen einer elektrischen Messung durch Messen eines photoelektrischen Signals, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das vom optischen System abgestrahlte Licht photoelektrisch umwandeln, Steuern der Lichtemission durch Veranlassen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen, Licht zu emittieren, Messen von Licht durch Empfangen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System und Messen der Wellenlängen des empfangenen Lichts, und Bestimmen der Qualität der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage eines Messergebnisses des Ausführens der elektrischen Messung und/oder der Messung des Lichts.
  • Die Zusammenfassungsklausel beschreibt nicht notwendigerweise alle notwendigen Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung. Die Erfindung kann auch eine Unterkombination der oben beschriebenen Merkmale umfassen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
    • 1 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die ein Schema eines Testgeräts 100 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 10 zeigt.
    • 2 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die ein Schema des Testgeräts 100 zum Testen der Vielzahl von LEDs 10 zeigt.
    • 3 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms zur Erläuterung des Ablaufs eines Testverfahrens durch das Testgerät 100.
    • 4 ist ein Beispiel eines Diagramms, das Intensitätsverteilungen von Wellenlängen des Lichts zeigt, das von der Vielzahl von LEDs 10 in einem Messzielbereich emittiert wird.
    • 5 ist ein Beispiel eines Diagramms, das Intensitätsverteilungen von Wellenlängen des Lichts zeigt, das von der Vielzahl von LEDs 10 im Messzielbereich emittiert wird.
    • 6 ist ein Beispiel eines Diagramms, das Intensitätsverteilungen von Wellenlängen des Lichts zeigt, das von der Vielzahl von LEDs 10 im Messzielbereich emittiert wird.
    • 7 zeigt ein Beispiel eines Computers 1200, in dem eine Vielzahl von Aspekten der vorliegenden Erfindung ganz oder teilweise verkörpert sein können.
  • BESCHREIBUNG BEISPIELHAFTER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung beschrieben, aber die folgenden Ausführungsbeispiele schränken die vorliegende anspruchsgemäße Erfindung nicht ein. Darüber hinaus sind nicht alle im Ausführungsbeispiel beschriebenen Merkmalskombinationen für die Lösung der Erfindung wesentlich.
  • Die 1 und 2 sind Beispiele einer Gesamtansicht, die ein Schema eines Testgeräts 100 zum Testen einer Vielzahl von LEDs 10 zeigt. In den 1 und 2 sind eine X-Achse, die eine +X-Richtung nach rechts in Bezug auf eine Papieroberfläche ist, eine Z-Achse, die eine +Z-Richtung in eine Richtung nach oben in Bezug auf die Papieroberfläche ist, und eine Y-Achse, die eine +Y-Richtung in einer Tiefenrichtung in Bezug auf die Papieroberfläche ist, so gezeigt, dass sie orthogonal zueinander sind. Im Folgenden kann eine Beschreibung unter Verwendung dieser drei Achsen erfolgen.
  • In den 1 und 2 ist ein Fluss eines Steuersignals durch einen schwarzen Pfeil angedeutet. Darüber hinaus ist in den 1 und 2 eine Bewegungsrichtung einer Einheit 150 zur elektrischen Verbindung durch einen weißen Pfeil angedeutet. Darüber hinaus ist in 1 das Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, durch Schraffur angedeutet und in ähnlicher Weise ist in 2 das von der Lichtquelle 130 emittierte Licht durch Schraffur angedeutet. In den 1 und 2 ist ein Durchgangsloch 161 einer Anordnungseinheit 160 durch eine gestrichelte Linie angedeutet.
  • Das Testgerät 100 testet gemeinsam die optischen Eigenschaften, wie beispielsweise Wellenlängen, der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage der Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des von der Vielzahl von LEDs 10 emittierten Lichts. Das Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels nutzt ferner den photoelektrischen Effekt der LED 10, um gemeinsam die Leuchtdichteeigenschaften oder die Leuchtkrafteigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage des photoelektrischen Signals, das von der mit Licht bestrahlten LED 10 ausgegeben wird, zu testen.
  • Das Testgerät 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel führt bidirektional eine Wellenlängenmessung und eine Messung des photoelektrischen Signals für die Vielzahl von LEDs 10 unter Verwendung desselben optischen Systems aus. Wenn das Testgerät 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel entweder die Wellenlängenmessung oder die Messung des photoelektrischen Signals beendet und mit dem anderen beginnt, besteht keine Notwendigkeit, eine Geräteausgestaltung zu ändern oder die zu testende LED 10 zu bewegen.
  • Das Testgerät 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel testet gemeinsam die optischen Eigenschaften, wie etwa Wellenlängen, und die Leuchtdichteeigenschaften oder die Leuchtkrafteigenschaften der Vielzahl von LEDs 10, beispielsweise in einem Zustand, bei dem eine LED-Gruppe, in der die Vielzahl von LEDs 10 auf einem Wafer 15, der ein LED-Wafer ist, ausgebildet sind, auf der Anordnungseinheit 160 angeordnet ist. Es gilt zu beachten, dass in der folgenden Beschreibung die optischen Eigenschaften, wie beispielsweise die Wellenlänge, der LED 10 einfach als Wellenlängeneigenschaften bezeichnet werden können.
  • Die LED 10 in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist eine Mikro-LED mit einer Abmessung von 100 µm oder weniger. Es gilt zu beachten, dass die LED 10 anstelle der Mikro-LED eine Mini-LED mit einer Abmessung von mehr als 100 µm und gleich oder weniger als 200 µm, eine LED mit einer Abmessung von mehr als 200 µm oder ein anderes lichtemittierendes Element sein kann, wie etwa eine LD.
  • Darüber hinaus ist die Vielzahl von LEDs 10 in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel nicht elektrisch miteinander auf dem Wafer 15 verbunden. Die LED-Gruppe ist ein Rückseitenemissionstyp, bei dem die lichtemittierenden Flächen der Vielzahl von LEDs 10 dem Wafer 15 zugewandt sind und der Wafer 15 Licht hindurchlässt. An jeder LED 10 sind zwei Anschlüsse 11 in Y-Achsenrichtung getrennt ausgebildet. Jeder Anschluss 11 der Vielzahl von LEDs 10 ist dem Wafer 15 nicht zugewandt. Es gilt zu beachten, dass in der LED-Gruppe vom Rückseitenemissionstyp, wie bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, die Vielzahl von LEDs 10 und der Wafer 15, auf dem die Vielzahl von LEDs 10 angebracht ist, gemeinsam als Wafer bezeichnet werden können. Es gilt zu beachten, dass die LED-Gruppe ein Vorderseitenemissionstyp sein kann, bei dem die lichtemittierenden Flächen der Vielzahl von LEDs 10 nicht dem Wafer 15 zugewandt sind, und in diesem Fall der Wafer 15 kein Licht durchlassen kann, und jeder Anschluss 11 der Vielzahl von LEDs 10 nicht dem Wafer 15 zugewandt sein kann oder dem Wafer 15 zugewandt sein kann. Wenn jeder Anschluss 11 der Vielzahl von LEDs 10 dem Wafer 15 zugewandt ist, kann an der Position eines jeden Anschlusses 11 im Wafer 15 eine Durchkontaktierung, die sich in einer Z-Achsenrichtung erstreckt, ausgebildet sein, so dass eine Stromzuführsonde mit jedem Anschluss 11 in Kontakt gebracht wird.
  • Die Vielzahl von LEDs 10 kann auf einem Wafer, der mit elektrischer Leitungsführung versehen ist, oder auf einem glasbasierten Panel (PLP) ausgebildet sein, das eine im Wesentlichen rechteckige Außenform aufweist, und können elektrisch miteinander verbunden sein, so dass sie modularisiert oder zellularisiert sind.
  • Das Testgerät 100 enthält eine Lichtmesseinheit 110 und eine Steuereinheit 120. Die Lichtmesseinheit 110 empfängt das Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10, die von dem Testgerät 100 zu testen sind, emittiert wird, und misst die Wellenlängen des empfangenen Lichts. Mit anderen Worten, die Lichtmesseinheit 110 misst die Wellenlänge des kombinierten Lichts, das durch Kombinieren des Lichts, das von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, erhalten wird. Die Lichtmesseinheit 110 kann die Wellenlängen des Lichts, das von einer oder mehreren LEDs 10 emittiert wird, in der Gruppe für jede Gruppe, die man durch Unterteilen aller zu testender LEDs 10 in mehrere Gruppen erhält, messen. Darüber hinaus kann die Lichtmesseinheit 110 individuell die Wellenlänge des Lichts, das von einer jeden der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 emittiert wird, messen.
  • Die Lichtmesseinheit 110 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält beispielsweise ein Wellenlängenmessgerät, misst die Wellenlänge des Lichts, das von der LED 10 emittiert wird, unter der Steuerung der Steuereinheit 120 und gibt die Intensitätsverteilung der Wellenlänge des Lichtes an. Die Lichtmesseinheit 110 kann eine Peakwellenlänge oder eine Halbwertsbreite des Lichts auf der Grundlage der Intensitätsverteilung angeben oder kann eine Hauptwellenlänge messen, welche eine Wellenlänge ist, die einer Farbe entspricht, wenn das Licht mit den Augen betrachtet wird. Die Lichtmesseinheit 110 kann ein Spektrometer, ein optischer Spektrumanalysator oder dergleichen anstelle des Wellenlängenmessers sein. Die Lichtmesseinheit 110 gibt Daten, die die vorgegebene Intensitätsverteilung angeben, an die Steuereinheit 120 aus.
  • Die Steuereinheit 120 steuert jede Ausgestaltung des Testgeräts 100. Genauer gesagt steuert die Steuereinheit 120 eine Vielzahl von Ausgestaltungen in dem Testgerät 100 sequenziell durch Bezugnahme auf eine Speichereinheit 180, die eine Sequenz, ein Programm und dergleichen zum Steuern einer jeden Ausgestaltung in dem Testgerät 100.
  • Beispielsweise arbeitet die Steuereinheit 120 als Lichtemissionssteuereinheit 121, die die Vielzahl von LEDs 10 veranlasst, Licht zu emittieren, durch Steuern der Einheit 150 zur elektrischen Verbindung und einer Einheit 155 zur elektrischen Messung, so dass ein Strom mit einem vorbestimmten Stromwert an die Vielzahl von LEDs 10 zugeführt wird. Die Steuereinheit 120 kann die Vielzahl von LEDs 10 veranlassen, Licht auszusenden, durch Steuern der Einheit 150 zur elektrischen Verbindung und der Einheit 155 zur elektrischen Messung, so dass eine Spannung mit einem vorbestimmten Spannungswert der Vielzahl von LEDs 10 zugeführt wird, und eine redundante Beschreibung wird im Folgenden unterlassen. Darüber hinaus arbeitet die Steuereinheit 120 als Bestimmungseinheit 123, die von der Lichtmesseinheit 110 die von der Lichtmesseinheit 110 gemessenen Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, empfängt und auf der Grundlage der Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts bestimmt, ob bei mindestens einer LED 10 aus der Vielzahl von LEDs 10 eine Abnormalität vorliegt. Mit anderen Worten, die Steuereinheit 120 bestimmt das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein einer Abnormalität bei der Vielzahl von LEDs 10 als Ganzes auf der Grundlage der Intensitätsverteilung der Wellenlänge des kombinierten Lichts, das durch Einschalten aller der Vielzahl von LEDs 10, denen der Strom zugeführt wird, gemessen wird.
  • Die Steuereinheit 120 kann sich auf Referenzdaten zum Bestimmen des Vorhandensein oder Nichtvorhandensein einer Abnormalität der Vielzahl von LEDs 10 als Ganzes, auf Referenzdaten zum Bestimmen der Qualität einer jeden der Vielzahl von LEDs 10, auf Bestimmungsergebnisse davon, auf Referenzdaten zum Bewegen der Einheit 150 zur elektrischen Verbindung und dergleichen, die in der Speichereinheit 180 gespeichert sind, beziehen.
  • Darüber hinaus kann das Testgerät 100 ferner eine Lichtquelle 130, ein optisches System 140 und die Einheit 155 zur elektrischen Messung enthalten, um einen photoelektrischen Test der Vielzahl von LEDs 10 auszuführen. Wie in den 1 und 2 gezeigt, ist die Lichtquelle 130 mit dem optischen System 140 verbunden, das der Lichtmesseinheit 110 gemeinsam ist, und emittiert Licht hin zum optischen System 140. Die Lichtquelle 130 emittiert Licht im Reaktionswellenlängenband der Vielzahl von LEDs 10 unter der Steuerung der Steuereinheit 120. Die Bestrahlungszeit, Wellenlänge, Intensität und dergleichen des Lichts, das von der Lichtquelle 130 auszusenden ist, werden von der Steuereinheit 120 gesteuert.
  • Die Lichtquelle 130 kann beispielsweise eine Lichtquelle sein, die Licht in einem breiten Wellenlängenband emittiert, wie etwa eine Xenon-Lichtquelle, oder kann eine Lichtquelle sein, die Licht in einem schmalen Wellenlängenband emittiert, wie etwa eine Laserlichtquelle. Die Lichtquelle 130 kann eine Vielzahl von Laserlichtquellen mit unterschiedlichen Wellenlängen umfassen. Es gilt zu beachten, dass wenn die Reaktionswellenlänge und die Emissionswellenlänge der LED 10 unterschiedlich sind, selbst wenn die LED 10 mit Licht bestrahlt wird, das die Emissionswellenlänge der LED 10 aufweist, das photoelektrisches Umwandeln aufgrund des Unterschieds nicht ordnungsgemäß durchgeführt wird.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, bestrahlt das optische System 140, wie in 2 gezeigt, die Vielzahl von LEDs 10 mit dem Licht, das von der Lichtquelle 130 emittiert wird. Genauer gesagt, das optische System 140 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel streut, wie in 2 gezeigt, das Licht, das von der Lichtquelle 130 emittiert wird, so dass die Vielzahl von LEDs 10 gemeinsam mit dem von der Lichtquelle 130 emittierten Licht bestrahlt wird. Das heißt, eine Projektionsfläche auf der XY-Ebene des Lichts, das von der Lichtquelle 130 über das optische System 140 emittiert wird, deckt zumindest die Vielzahl von LEDs 10 der LED-Gruppe ab.
  • Darüber hinaus bündelt das optische System 140 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, wie in 1 gezeigt, das ausgestreute Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, so dass das Licht zur Lichtmesseinheit 110 geleitet wird. Mit anderen Worten, die Lichtmesseinheit 110 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel empfängt das Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, über das optische System 140. Mit einer solchen Verbindungsausgestaltung des optischen Systems 140, der Lichtquelle 130 und der Lichtmesseinheit 110 kann das Testgerät 100 die Wellenlängenmessung und die Messung des photoelektrischen Signals für die Vielzahl von LEDs 10 durch Verwendung des gemeinsamen optische System 140 bidirektional ausführen.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel leitet das optische System 140, wie in 1 gezeigt, das Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, sowohl zur Lichtmesseinheit 110 als auch zur Lichtquelle 130, aber stattdessen kann das optische System 140 so beschaffen sein, dass es das Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, nur zur Lichtmesseinheit 110 und nicht zur Lichtquelle 130 leitet.
  • Das optische System 140 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst einen gegabelten Lichtleiter 141. Der gegabelte Lichtleiter 141 ist ein Y-förmiger Lichtleiter. Die Endabschnitte des gegabelten Lichtleiters 141 sind auf der Verzweigungsseite mit der Lichtquelle 130 und der Lichtmesseinheit 110 verbunden.
  • Der gegabelte Lichtleiter 141 ist ein Beispiel für einen verzweigten Lichtleiter und anstelle des gegabelten Lichtleiters 141 kann ein mehrfach verzweigter Lichtleiter wie etwa eine dreifach verzweigter Lichtleiter oder ein vierfach verzweigter Lichtleiter verwendet werden. In diesem Fall kann das Testgerät 100 zwei oder mehr Lichtquellen 130 umfassen und eine Lichtquelle 130 kann mit jedem Endabschnitt auf der Verzweigungsseite des mehrfach verzweigten Lichtleiters verbunden sein. In diesem Fall kann das optische System 140 das Licht, das von der Vielzahl von Lichtquellen 130 emittiert wird, welche Licht in Wellenlängenbändern emittieren, die sich voneinander verschiedenen, kombinieren, so dass die Vielzahl von LEDs 10 bestrahlt werden. Wenn die Lichtquelle 130 Licht eines bestimmten Wellenlängenbandes emittiert, sind die Vielzahl von Lichtquellen 130 auf diese Weise mit dem optischen System 140 verbunden, so dass die Wellenlängenbandbreite des Lichts, mit dem die LED 10 bestrahlt wird, erweitert werden kann und die LED 10 veranlasst werden kann, ein photoelektrisches Umwandeln zuverlässiger auszuführen.
  • Darüber hinaus kann das optische System 140 ferner eine Linseneinheit 143 aufweisen, die eine oder mehrere Linsen enthält, und die Linseneinheit 143 ist in einem optischen Pfad im optischen System 140 angeordnet. Zudem bündelt die Linseneinheit 143, wie in 2 gezeigt, das ausgestreute Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, und veranlasst, dass das Licht in den gegabelten Lichtleiter 141 eintritt.
  • Die Einheit 155 zur elektrischen Messung misst ein photoelektrisches Signal, das von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 erhalten wird, durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts, das vom optischen System abgestrahlt wird. Genauer gesagt misst die Einheit 155 zur elektrischen Messung den Stromwert des Stroms, der von der Vielzahl von LEDs 10 über die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung unter der Steuerung der Steuereinheit 120 ausgegeben wird. Die Einheit 155 zur elektrischen Messung gibt den für jede LED 10 gemessenen Stromwert an die Steuereinheit 120 aus. Es gilt zu beachten, dass anstelle des Stromwerts des Stroms, der von der Vielzahl von LEDs 10 ausgegeben wird, die Einheit 155 zur elektrischen Messung einen Spannungswert messen kann, der dem Stromwert entspricht. Es gilt zu beachten, dass die Einheit 155 zur elektrischen Messung gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, wie oben beschrieben, auch Strom an die Vielzahl von LEDs 10 über die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung unter der Steuerung der Steuereinheit 120 zuführt.
  • Darüber hinaus kann das Testgerät 100 ferner die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung, die Anordnungseinheit 160, eine Abschirmeinheit 170 und die Speichereinheit 180 umfassen. Die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung ist beispielsweise eine Sondenplatine (Sondensubstrat) und ist elektrisch mit dem Anschluss 11 einer jeden der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 verbunden. Es gilt zu beachten, dass in der vorliegenden Beschreibung, wenn der Begriff „elektrisch verbunden“ definiert ist, elektrisch verbunden durch Kontakt oder elektrisch verbunden auf kontaktlose Weise gemeint ist. Die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung ist dadurch elektrisch verbunden, dass sie mit dem Anschluss 11 einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 in Kontakt steht, kann jedoch auch auf kontaktlose Weise elektrisch verbunden sein, beispielsweise durch elektromagnetische Induktion oder Nahfeldkommunikation.
  • Die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung enthält ein Substrat 151, das mit einer elektrischen Schaltung und einer Vielzahl elektrischer Leitungsführungen versehen ist, und eine Vielzahl von Sonden 153, die sich vom Substrat 151 hin zu einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 erstrecken und mit den jeweiligen Anschlüssen 11 der Vielzahl von LEDs 10 in Kontakt kommen.
  • Die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung bewegt sich zweidimensional auf der XY-Ebene und bewegt sich auf und ab in Richtung der Z-Achse dadurch, dass sie von der Steuereinheit 120 angetrieben und gesteuert wird. Die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung wird von der Steuereinheit 120 derart angetrieben und gesteuert, dass die Vielzahl von LEDs 10 zwischen der Lichtquelle 130 und der Einheit 150 zur elektrischen Verbindung angeordnet sind. In diesem Zustand steht die Vielzahl von Sonden 153 der Einheit 150 zur elektrischen Verbindung von der Seite der positiven Richtung der Z-Achse des Wafers 15 aus mit jeweiligen Anschlüssen 11 der Vielzahl von LEDs 10 in Kontakt. Das andere Ende einer jeden Sonde 153, das dem einen Ende in Kontakt mit dem Anschluss 11 gegenüberliegt, ist elektrisch mit der elektrischen Leitungsführung verbunden, die auf dem Substrat 151 vorgesehen ist. Die Vielzahl von Leitungsführungen der Vielzahl von Sonden 153 erstreckt sich von der Seitenfläche des Substrats 151 und sind elektrisch mit der Einheit 155 zur elektrischen Messung verbunden.
  • Die LED-Gruppe wird auf der Anordnungseinheit 160 auf der Seite der positiven Richtung der Z-Achse angeordnet. Die Anordnungseinheit 160 weist im gezeigten Beispiel in der Draufsicht eine im Wesentlichen kreisförmige Außenform auf, kann aber auch eine andere Außenform aufweisen. Die Anordnungseinheit 160 hat die Funktion, eine Vakuumspannvorrichtung, eine elektrostatische Spannvorrichtung und dergleichen zu halten und hält den Wafer 15 der angeordneten LED-Gruppe. Die Anordnungseinheit 160 weist das Durchgangsloch 161 in der Mitte der XY-Ebene auf, so dass das Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert und durch den Wafer 15 übertragen wird, nicht blockiert wird, und hält den Wafer 15 um das Durchgangsloch 161 herum.
  • Die Abschirmeinheit 170 schirmt anderes Licht als das von der Lichtquelle 130 emittierte Licht ab. Die Oberfläche der Abschirmeinheit 170 ist bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel vollständig schwarz lackiert, so dass eine unregelmäßige Lichtreflexion auf der Oberfläche verhindert wird. Darüber hinaus ist die Abschirmeinheit 170, wie in 1 gezeigt, so vorgesehen, dass sie durch die Linseneinheit 143, die Anordnungseinheit 160 und den Wafer 15 einen abgedichteten Raum bildet, und diese Ausgestaltung schirmt anderes Licht als das von der Lichtquelle 130 emittierte Licht ab.
  • Das Testgerät 100 kann die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung, die Anordnungseinheit 160 und die Abschirmeinheit 170 nicht enthalten. Zusätzlich oder alternativ kann das Testgerät 100 die Lichtquelle 130, das optische System 140 und die Einheit 155 zur elektrischen Messung nicht enthalten.
  • 3 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms zur Erläuterung eines Ablaufs eines Testverfahrens durch das Testgerät 100. Die Steuereinheit 120 des Testgeräts 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel führt einen photoelektrischen Test der Vielzahl von LEDs 10 durch die Einheit 155 zur elektrischen Messung und einen Test der Wellenlängeneigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 durch die Lichtmesseinheit 110 aus und bestimmt die Qualität der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage des Messergebnisses von mindestens einer der Einheit 155 zur elektrischen Messung oder der Lichtmesseinheit 110.
  • Der in 3 gezeigte Ablauf wird gestartet, wenn beispielsweise ein Benutzer an dem Testgerät 100 eine Eingabe vornimmt, um einen Test der LED-Gruppe in einem Zustand zu starten, in dem die LED-Gruppe auf der Anordnungseinheit angeordnet 160 ist.
  • Das Testgerät 100 führt einen Schritt der elektrischen Verbindung zum Testen der elektrischen Eigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 durch Zuführen von Strom von der Einheit 155 zur elektrischen Messung über die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung an die Vielzahl von zu testenden LEDs 10 aus (Schritt S101).
  • Als konkretes Beispiel treibt die die Steuereinheit 120 des Testgeräts 100 die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung an und steuert diese und verbindet die Vielzahl von Sonden 153 der Einheit 150 zur elektrischen Verbindung elektrisch mit den jeweiligen Anschlüssen 11 der Vielzahl von LEDs. Die Steuereinheit 120 führt der Vielzahl von LEDs 10 über die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung Strom oder Spannung von der Einheit 155 zur elektrischen Messung zu, führt einen Test der elektrischen Eigenschaften der LEDs 10 aus und gibt die LED 10, deren gemessener Spannungs- oder Stromwert außerhalb eines Schwellenwertbereichs liegt, als schlechte elektrische Eigenschaften aufweisend an. Der Schwellenwert wird in der Speichereinheit 180 gespeichert. Die Steuereinheit 120 schließt die LED 10, bei der festgestellt wurde, dass sie schlechte elektrische Eigenschaften aufweist, nach dem Test der elektrischen Eigenschaften vom Ziel der Tests aus. Es gilt zu beachten, dass in jedem Schritt nach Schritt S101 im Ablauf die Steuereinheit 120 jeden Test in einem Zustand ausführt, bei dem die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung elektrisch mit der Vielzahl von LEDs 10 in der LED-Gruppe verbunden ist, und eine redundante Beschreibung wird weggelassen.
  • Im Anschluss an den Test der elektrischen Eigenschaften nutzt das Testgerät 100 den photoelektrischen Effekt der LED 10, um gemeinsam die Leuchtdichteeigenschaften oder Leuchtkrafteigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage des photoelektrischen Signals, das von der mit Licht bestrahlten LED 10 ausgegebenen wird. Das Testgerät 100 spezifiziert eine LED 10, die anhand des Messergebnisses des photoelektrischen Signals eine schlechte Leuchtdichte oder Leuchtkraft aufweist, und schließt die LED 10 vom Ziel des nachfolgenden Tests aus.
  • Insbesondere führt das Testgerät 100 zunächst eine Lichtbestrahlungsschritt aus, bei dem das optische System 140 die Vielzahl von zur Messung des photoelektrischen Signals zu testenden LEDs 10 mit Licht, das von der Lichtquelle 130 emittiert wird, bestrahlt (Schritt S103).
  • Als konkretes Beispiel gibt die Steuereinheit 120 einen Befehl an die Lichtquelle 130 aus, um Licht an die Vielzahl von LEDs 10 über das optische System 140 zu emittieren. Das optische System 140 streut das Licht, das von der Lichtquelle 130 emittiert wird, das von einem Ende des gegabelten Lichtleiters 141 durch die Linseneinheit 143, die mit dem anderen Ende des gegabelten Lichtleiters 141 verbunden ist, eintritt, wodurch die Vielzahl von LEDs 10 gemeinsam mit dem von der Lichtquelle 130 emittierten Licht bestrahlt wird.
  • Das Testgerät 100 führt einen Schritt der elektrischen Messung zum Messen eines photoelektrischen Signals aus, das von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 erhalten wird, die das vom optischen System abgestrahlte Licht photoelektrisch umwandeln (Schritt S 105). Als konkretes Beispiel gibt die Steuereinheit 120 einen Befehl an die Einheit 155 zur elektrischen Messung aus und veranlasst die elektrische Messeinheit, gemeinsam das photoelektrische Signal, das von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 über die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung ausgegeben wird, zu messen, d.h. den Stromwert des Stroms, und jedes Messergebnis an die Steuereinheit 120 auszugeben.
  • Die Steuereinheit 120 bestimmt die Qualität einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage der photoelektrischen Signale, die von der Vielzahl von LEDs 10 ausgegeben und von der Einheit 155 zur elektrischen Messung gemessen werden, und schließt die LED 10, welche als mangelhaft bestimmt wurde, von dem Ziel aus, bei dem Test nach dem Test der Leuchtdichteeigenschaften oder der Leuchtkrafteigenschaften Licht zu emittieren. Die Steuereinheit 120 kann auf die Daten zurückgreifen, die einen normalen Bereich des Stromwerts des photoelektrischen Signals angeben, welche im Vorhinein in der Speichereinheit 180 gespeichert werden, um zu bestimmen, dass eine LED 10, bei der das gemessene photoelektrische Signal außerhalb des normalen Bereichs liegt, mangelhaft ist, und die LED 10 vom Ziel des nachfolgenden Tests auszuschließen. Als ein Beispiel für den normalen Bereich kann ein Bereich verwendet werden, der auf einer Statistik basiert, die dem photoelektrischen Signal entspricht, das von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 ausgegeben wird. Genauer gesagt kann als Beispiel für den Normalbereich ein Bereich innerhalb eines durchschnittlichen Stromwerts ± 1σ, ein Bereich innerhalb des durchschnittlichen Stromwerts ± 2σ oder ein Bereich innerhalb des durchschnittlichen Stromwerts ± 3σ verwendet werden, wobei der durchschnittliche Stromwert ein durchschnittlicher Stromwert des Stroms ist, der von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 ausgegeben wird. In diesem Fall kann die Steuereinheit 120 den durchschnittlichen Stromwert und eine Standardabweichung σ auf der Grundlage des Stromwerts des Stroms, der von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 ausgegeben und in der Speichereinheit 180 gespeichert wird, berechnen.
  • Die Größe des photoelektrischen Signals, das durch den photoelektrischen Effekt der LED 10 ausgegeben wird, ist mit den Leuchtdichteeigenschaften und den Leuchtkrafteigenschaften der LED 10 korreliert. In dieser Hinsicht kann die Steuereinheit 120 zusätzlich oder anstelle der Bestimmung der Qualität der LED 10 unter Bezugnahme auf die Daten, die den Normalbereich des Stromwerts des photoelektrischen Signals angeben, die Leuchtdichte aus dem gemessenen photoelektrischen Signal durch Bezugnahme auf die Daten berechnen, die im Vorhinein in der Speichereinheit 180 gespeichert werden, welche die Korrelation zwischen dem photoelektrischen Signal, das von der LED 10 ausgegeben wird, und der Leuchtdichte des Lichts, das von der LED 10 emittiert wird, angibt. Ähnlich wie bei dem Verfahren zur Berechnung der Leuchtdichte kann die Steuereinheit 120 die Leuchtstärke anstelle oder zusätzlich zur Leuchtdichte berechnen.
  • Die Steuereinheit 120 kann ferner die Qualität der LED 10 auf Basis der berechneten Leuchtdichte und/oder Leuchtkraft bestimmen. Beispielsweise kann die Steuereinheit 120 die Qualität der LED 10 durch Bezugnahme auf die Daten bestimmen, die einen normalen Bereich der Leuchtdichte und/oder Leuchtkraft angeben und die im Vorhinein in der Speichereinheit 180 gespeichert werden. Es gilt zu beachten, dass die oben beschriebene Korrelation im Vorhinein von dem Testgerät 100 berechnet werden kann oder von einer externen Vorrichtung berechnet werden kann. Wenn die Korrelation von einer externen Vorrichtung berechnet wird, kann das Testgerät 100 die Daten, die die Korrelation angeben, von der externen Vorrichtung erlangen.
  • In einer Vielzahl von folgenden Schritten testet das Testgerät 100 gemeinsam die Wellenlängeneigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage der Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird. Durch Verwendung der Intensitätsverteilung der Wellenlänge des kombinierten Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, die verbleiben, ohne bei dem oben beschriebenen photoelektrischen Test ausgeschlossen zu werden, bestimmt das Testgerät 100, ob die LED 10, die eine abnormale Wellenlänge aufweist, in der Vielzahl von LEDs 10 enthalten ist.
  • Wie oben beschrieben führt das Testgerät 100 die Wellenlängenmessung für die Vielzahl von LEDs 10 durch Verwendung des optischen Systems 140, das für die Messung des photoelektrischen Signals gemeinsam ist. Wenn die Wellenlängenmessung gestartet wird, nachdem die Messung des photoelektrischen Signals beendet wird, muss das Testgerät 100 darüber hinaus die Geräteausgestaltung nicht ändern und die zu testende LED 10 nicht bewegen.
  • Insbesondere führt das Testgerät 100 zunächst einen Lichtemissionssteuerschritt aus, bei dem die Vielzahl von LEDs 10 veranlasst wird, Licht zu emittieren (Schritt S107). Als konkretes Beispiel gibt die Steuereinheit 120 einen Befehl an die Einheit 155 zur elektrischen Messung aus, um einen Strom, der einen vorbestimmten Stromwert aufweist, über die Einheit 150 zur elektrischen Verbindung einigen oder allen der Vielzahl von LEDs 10, die auf ihre Wellenlängeneigenschaften zu testen sind, zuzuführen, wodurch bewirkt wird, dass die Vielzahl von LEDs 10, denen der Strom zugeführt wurde, gemeinsam Licht aussenden.
  • Wenn einige LEDs 10 der Vielzahl von LEDs 10, die auf ihre Wellenlängeneigenschaften zu testen sind, veranlasst werden, gemeinsam Licht zu emittieren, wiederholt die Steuereinheit 120 auch für die übrigen LEDs 10 der Vielzahl von LEDs 10, die auf ihre Wellenlängeneigenschaften zu testen sind, das Veranlassen einiger oder aller LEDs 10, gemeinsam Licht zu emittieren, wodurch alle LEDs 10, die auf ihre Wellenlängeneigenschaften zu testen sind, veranlasst werden, sequentiell in Stufen Licht zu emittieren. Es gilt zu beachten, dass bei der vorliegenden Beschreibung beim Test der Wellenlängeneigenschaften die Vielzahl von LEDs 10, die veranlasst werden, auf diese Weise gemeinsam Licht zu emittieren, als eine Vielzahl von LEDs 10 bezeichnet werden kann, die im Messzielbereich der LED-Gruppe enthalten sind. In diesem Fall sind ein oder mehrere Messzielbereiche, die jeweils die Vielzahl von LEDs 10 umfassen, in der LED-Gruppe vorhanden.
  • Das Testgerät 100 empfängt das Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, die im Lichtemissionssteuerschritt veranlasst werden, Licht zu emittieren, und führt einen Lichtmessschritt des Messens der Wellenlängen des empfangenen Lichts aus (Schritt S109). Als konkretes Beispiel gibt die Steuereinheit 120 einen Befehl an die Lichtmesseinheit 110 aus und veranlasst die Lichtmesseinheit, das Licht zu empfangen, das durch das optische System 140 gebündelt und von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, die im Messzielbereich der LED-Gruppe enthalten sind, um die Wellenlänge des kombinierten Lichts der Vielzahl von LEDs 10 zu messen und das Messergebnis an die Steuereinheit 120 auszugeben. Es gilt zu beachten, dass die Steuereinheit 120, wenn eine Vielzahl von Messzielbereichen in der LED-Gruppe vorhanden sind, die Lichtmesseinheit 110 veranlasst, die Messergebnisse der jeweiligen Messzielbereiche an die Steuereinheit 120 auszugeben.
  • Das Testgerät 100 führt einen Bestimmungsschritt des Bestimmens, auf der Grundlage der Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert und in dem Lichtmessschritt gemessen wird, ob eine Abnormalität in mindestens einer LED 10 der Vielzahl von LEDs 10 vorliegt (Schritt S111) und der Ablauf endet.
  • Als konkretes Beispiel bestimmt die Steuereinheit 120, ob bei mindestens einer LED 10 der Vielzahl von LEDs 10, die im Messzielbereich enthalten sind, eine Abnormalität vorliegt, auf der Grundlage der Intensitätsverteilung der Wellenlänge des Lichts, die durch das Messergebnis angegeben wird, das von der Lichtmesseinheit 110 für jeden Messzielbereich eingegeben wird. Genauer gesagt bestimmt die Steuereinheit 120, ob eine Abnormalität bei mindestens einer LED 10 der Vielzahl von LEDs 10 vorliegt, auf der Grundlage eines Ergebnisses des Vergleichs der Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, die im Messzielbereich enthalten sind, mit einer Referenzintensitätsverteilung entsprechend der Anzahl der LEDs 10.
  • Als Reaktion auf die Bestimmung, als Ergebnis der Ausführung des Ablaufs von 3, dass eine Abnormalität in der Vielzahl von LEDs 10, die im Messzielbereich enthalten sind, vorliegt, kann die Steuereinheit 120 einen Befehl and die Einheit 155 zur elektrischen Messung und die Lichtmesseinheit 110 ausgeben, um jede Stufe der Schritte S107 bis S 111 nacheinander an einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 auszuführen, wodurch der Test der Wellenlängeneigenschaften einzeln ausgeführt wird. Allerdings bestimmt die Steuereinheit 120 in diesem Fall im Bestimmungsschritt von Schritt S111 auf der Grundlage der Intensitätsverteilung der Wellenlänge des Lichts, das von einer LED 10 emittiert wird, welche im Lichtmessschritt gemessenen wird, ob eine Abnormalität in der LED 10 vorliegt. Beispielsweise bestimmt die Steuereinheit 120 auf der Grundlage eines Ergebnisses des Vergleichs der Intensitätsverteilung mit einer Referenzintensitätsverteilung im Fall einer LED 10, ob eine Abnormalität in der LED 10 vorliegt.
  • Alternativ kann die Steuereinheit 120 eine Funktion des Aufteilens der Vielzahl von LEDs 10 in eine Vielzahl von Gruppen, als Reaktion auf die Bestimmung, als Ergebnis der Ausführung des Ablaufs von 3, dass eine Abnormalität in der Vielzahl von LEDs 10 vorliegt, die im Messzielbereich enthalten sind, aufweisen. In diesem Fall können die Steuereinheit 120 und die Lichtmesseinheit 110 alle LEDs 10 einer jeden der Vielzahl von Gruppen veranlassen, Licht zu emittieren und die Wellenlängen des Lichts zu messen. Die Steuereinheit 120 kann ferner bestimmen, ob eine Abnormalität bei mindestens einer LED 10 vorliegt, die in einer jeden der Vielzahl von Gruppen enthalten ist, auf der Grundlage der Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von allen LEDs 10 emittiert wird, die in einer jeden der Vielzahl von Gruppen enthalten sind. Beispielsweise kann die Steuereinheit 120 die mangelhaften LEDs 10 durch ein zweiastiges Verfahren schrittweise eingrenzen. Es gilt zu beachten, dass die Steuereinheit 120 in diesem Fall ein Beispiel für eine Gruppeneinteilungseinheit ist.
  • Bei dem Testgerät 100 kann die Reihenfolge der Schritte im Ablauf von 3 unterschiedlich sein und ein oder mehrere Schritte können weggelassen werden. Beispielsweise kann das Testgerät 100 nach dem Ausführen des Tests der elektrischen Eigenschaften in Schritt S101 den Test der Wellenlängeneigenschaften in den Schritten S 107 bis S 111 ausführen und anschließend den Test der Leuchtdichte- oder Leuchtkrafteigenschaften in den Schritten S 103 bis S105 ausführen. Darüber hinaus kann das Testgerät 100 beispielsweise den Test der Wellenlängeneigenschaften in den Schritten S 107 bis S 111 ausführen, ohne den Test der elektrischen Eigenschaften in Schritt S101 und den Test der Leuchtdichte- oder Leuchtkrafteigenschaften in den Schritten S 103 bis S105 auszuführen. Darüber hinaus kann das Testgerät 100 beispielsweise den Test der Leuchtdichte- oder Helligkeitseigenschaften in den Schritten S 103 bis S105 und den Test der Wellenlängeneigenschaften in den Schritten S107 bis S 111 in beliebiger Reihenfolge ausführen, ohne den Test der elektrischen Eigenschaften in Schritt S101 auszuführen.
  • 4 ist ein Beispiel eines Diagramms, das die Intensitätsverteilungen von Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, die im Messzielbereich enthalten sind, zeigt. Im Diagramm von 4 repräsentiert eine horizontale Achse die Wellenlänge des Lichts und die vertikale Achse repräsentiert die Intensität des Lichts. Im Diagramm von 4 ist die Intensitätsverteilung einer jeden Wellenlänge des Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, die im Messzielbereich enthalten sind, durch (1) angegeben und die Intensitätsverteilung der kombinierten Wellenlänge ist durch (2) angegeben. Dasselbe gilt für die folgenden Zeichnungen und eine redundante Beschreibung wird weggelassen.
  • Die Intensität des Lichts, das von der LED 10 emittiert wird, weist eine Korrelation mit der Leuchtdichte und Leuchtkraft des Lichts auf, das von der LED 10 emittiert wird, und weist eine Korrelation mit dem Stromwert des photoelektrischen Signals auf, das durch das photoelektrische Umwandeln des Lichts, das vom optischen System abgestrahlt wird, erhalten wird. Im Beispiel von 4 emittieren alle der Vielzahl von LEDs 10, die im Messzielbereich enthalten sind, Licht mit der gleichen Intensität wie die anderen bei der Wellenlänge, die ursprünglich als Wellenlänge des Emissionslichts der LED 10 erwartet wurde. Das heißt, im Beispiel von 4 ist bei der Vielzahl von LEDs 10 die Wellenlänge nicht abnormal und die Stromwerte der photoelektrischen Signale, die durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts, das gemeinsam von derselben Lichtquelle 130 abgestrahlt wurde, erhalten werden, sind einander gleich.
  • Wie oben beschrieben, ist die Intensitätsverteilung der Wellenlänge des kombinierten Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, bei denen die Stromwerte der photoelektrischen Signale einander gleich sind und die Wellenlänge nicht abnormal ist, wie die Intensitätsverteilung (2) der kombinierten Wellenlänge, die in 4 gezeigt ist. Beispielsweise legt das Testgerät 100 die Intensitätsverteilung (2) der kombinierten Wellenlänge, die in 4 gezeigt ist, als eine der oben beschriebenen Referenzintensitätsverteilungen fest. Das Testgerät 100 kann die Daten, die die Referenzintensitätsverteilung angeben, im Vorhinein in der Speichereinheit 180 für jede Anzahl der LEDs 10 speichern, deren Intensitätsverteilungen der Wellenlängen kombiniert sind, und sich in Schritt S 111 im Ablauf von 3 auf die Daten beziehen. Wenn die Intensitätsverteilung der Wellenlänge des kombinierten Lichts, die für jeden Messzielbereich gemessen wird, mit der Referenzintensitätsverteilung übereinstimmt, die der Anzahl der Vielzahl von LEDs 10 entspricht, die im Messzielbereich enthalten sind, kann das Testgerät 100 beispielsweise bestimmen, dass bei keiner der Vielzahl von LEDs 10 im Messzielbereich eine Abnormalität vorliegt.
  • 5 ist ein Beispiel eines Diagramms, das die Intensitätsverteilungen von Wellenlängen des Lichts zeigt, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, die im Messzielbereich enthalten sind. Bei dem Beispiel von 5 emittiert eine der Vielzahl von LEDs 10, wie durch eine Intensitätsverteilung (f) angezeigt, Licht mit einer schwächeren Intensität als jene der anderen LEDs 10 bei einer Wellenlänge, die von der Wellenlänge von Licht abweicht, die ursprünglich als Wellenlänge von Licht erwartet wird, das von der LED 10 emittiert wird. Das heißt, bei dem Beispiel von 5 liegt bei einer der Vielzahl von LEDs 10 eine Abnormalität in der Wellenlänge vor und der Stromwert des photoelektrischen Signals, das durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts erhalten wird, das insgesamt von derselben Lichtquelle 130 abgestrahlt wird, ist geringer im Vergleich zu denen der übrigen LEDs 10. Die Intensitätsverteilung (2) der kombinierten Wellenlänge, die in 5 gezeigt ist, ist gleich der Intensitätsverteilung (2) der kombinierten Wellenlänge, die in 4 gezeigt ist.
  • Wie beim Beispiel von 5 kann, selbst wenn die LED 10, die eine Abnormalität in der Wellenlänge aufweist, in der Vielzahl von LEDs 10 enthalten ist, in einem Fall, bei dem der Stromwert des photoelektrischen Signals, das von der LED 10 ausgegeben wird, niedriger ist als jener der anderen LEDs 10, die Intensitätsverteilung der Wellenlänge des kombinierten Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, mit der Referenzintensitätsverteilung übereinstimmen, die der Anzahl der Vielzahl von LEDs 10 entspricht. In diesem Fall kann es schwierig sein, die Abnormalität der Wellenlänge der LED 10 zu erfassen.
  • 6 ist ein Beispiel eines Diagramms, das die Intensitätsverteilungen von Wellenlängen des Lichts zeigt, das von der Vielzahl von LEDs 10, die im Messzielbereich enthalten sind, emittiert wird. In dem Beispiel von 6 emittiert, wie durch eine Intensitätsverteilung (f) angezeigt, eine der Vielzahl von LEDs 10 Licht mit der Intensität, die der der anderen LEDs 10 entspricht, bei einer Wellenlänge, die von der Wellenlänge abweicht, die ursprünglich als Wellenlänge des Lichts, das von der LED 10 emittiert wird, erwartet wird. Das heißt, bei dem Beispiel von 6 liegt bei einer der Vielzahl von LEDs 10 im Vergleich zu den übrigen LEDs 10 eine Abnormalität in der Wellenlänge vor, und andererseits ist der Stromwert des photoelektrischen Signals, das durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts erhalten wird, das von derselben Lichtquelle 130 gemeinsam abgestrahlt wird, gleich dem der übrigen LEDs 10. Als Ergebnis unterscheidet sich die Intensitätsverteilung (2) der kombinierten Wellenlänge, die in 6 gezeigt ist, von der Intensitätsverteilung (2), die in 4 gezeigt ist, und weicht an der durch (F) angegebenen Position ab.
  • Wie in Schritt S105 im Ablauf von 3 beschrieben, kann das Testgerät 100 die Qualität einer jeden der Vielzahl von LEDs 10 auf der Grundlage der photoelektrischen Signale bestimmen, die von der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 ausgegebenen werden, und die LED 10, die als mangelhaft bestimmt wurde, von dem Ziel ausschließen, das bei dem Test nach dem Test der Leuchtdichteeigenschaften oder der Leuchtkrafteigenschaften zu veranlassen ist, Licht zu emittieren. Beispielsweise kann das Testgerät 100 die LED 10, bei der der Stromwert des photoelektrischen Signals, das durch gemeinsames Bestrahlen der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 mit Licht von derselben Lichtquelle 130 und Ausführen eines photoelektrischen Umwandelns erhalten wird, relativ niedrig ist unter der Vielzahl von LEDs 10, ausschließen.
  • Wenn die LED 10, die eine normale Lichtintensität und eine abnormale Lichtwellenlänge aufweist und die in der Vielzahl von LEDs 10, die im Messzielbereich enthalten sind, enthalten ist, erzeugt das Testgerät 100 die Intensitätsverteilung (2) der Wellenlänge des kombinierten Lichts, das von der Referenzintensitätsverteilung abweicht, die in 6 gezeigt ist. Daher kann das Testgerät 100 eine Situation, bei der es schwierig wird, die Abnormalität der Wellenlänge der LED 10 wie beim Beispiel von 5 zu erfassen, im Vorhinein vermeiden. Das heißt, durch Kombinieren des photoelektrischen Tests und des Tests der Wellenlängeneigenschaften kann das Testgerät 100 korrekt bestimmen, dass die LED 10, die eine schlechte Leuchtdichte oder Leuchtkraft aufweist, in der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 enthalten ist und dass die LED 10, die eine Abnormalität bei der Wellenlänge aufweist, enthalten ist. Es kann auch gesagt werden, dass das Testgerät 100 die Testgenauigkeit des Tests der Wellenlängeneigenschaften im Vergleich zu einem Fall verbessern kann, bei dem die LED 10, die eine Abnormalität im photoelektrischen Signal oder dergleichen aufweist, nicht vom Ziel des Tests der Wellenlängeneigenschaften ausgeschlossen ist.
  • Darüber hinaus kann, wenn das Testgerät 100 die Intensitätsverteilung der Wellenlänge des kombinierten Lichts erzeugt, wie in 6 gezeigt, und das Vorhandensein der oben beschriebenen Abweichung als Ergebnis des Vergleichs der erzeugten Intensitätsverteilung mit der Referenzintensitätsverteilung bestätigt, die Wellenlängenkomponente für jede Frequenz beispielsweise unter Verwendung eines Verfahrens wie der Fourier-Transformation oder GMM berechnet werden. Im Ergebnis kann das Testgerät 100 zuverlässiger bestätigen, ob eine Wellenlängenkomponente, die nicht vorhanden sein soll, in der Wellenlängenkomponente einer jeden der Vielzahl von LEDs 10, die im Messzielbereich enthalten sind, enthalten ist, und kann somit zuverlässiger bestätigen, ob eine mangelhaft LED 10, die Licht der Wellenlängenkomponente emittiert in der Vielzahl von LEDs 10 enthalten ist. Mit anderen Worten kann das Testgerät 100 bestätigen, dass die Abweichung in der Intensitätsverteilung der Wellenlänge des kombinierten Lichts nicht durch einen Messfehler Störungen oder dergleichen verursacht wird, sondern durch das Vorhandensein der LED 10, die Licht emittiert, das eine Wellenlänge aufweist, die von der Wellenlänge abweicht, die ursprünglich als die Wellenlänge des Emissionslichts der LED 10 erwartet wird, verursacht wird.
  • Wie oben beschrieben, wird gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels die Vielzahl von zu testenden LEDs 10 veranlasst, gemeinsam Licht zu emittieren, die Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, werden umfassend gemessen und es wird auf der Grundlage der umfassenden Intensitätsverteilung der Wellenlängen bestimmt, ob bei mindestens einer der Vielzahl von LEDs 10 eine Abnormalität vorliegt. Im Ergebnis kann das Testgerät 100 die Ausführungszeit des Tests im Vergleich zu einem Fall verkürzen, bei dem die Vielzahl von zu testenden LEDs 10 veranlass wird, einzeln und nacheinander Licht zu emittieren, um die Wellenlängeneigenschaften zu testen.
  • Darüber hinaus werden gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels der Test der Wellenlängeneigenschaften und der Test der Leuchtdichteeigenschaften oder der Test der Leuchtkrafteigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 bidirektional unter Verwendung desselben optischen Systems durchgeführt. Genauer gesagt empfängt das Testgerät 100 umfassend das Licht, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, über das optische System 140 und bestrahlt die Vielzahl von LEDs 10 gemeinsam mit dem von der Lichtquelle 130 emittierten Licht. Das Testgerät 100 testet umfassend die Wellenlängeneigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 unter Verwendung des Lichts, das von der Vielzahl von LEDs 10 emittiert wird, und testet einzeln die Leuchtdichteeigenschaften oder Leuchtkrafteigenschaften der Vielzahl von LEDs 10 unter Verwendung des photoelektrischen Signals, das von einer jeden der Vielzahl von LEDs 10, die das Licht, das vom optischen System abgestrahlt wird, photoelektrisch umwandeln.
  • Wie oben beschrieben, können gemäß dem Testgerät 100 die Wellenlängeneigenschaften der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 umfassend getestet werden, ohne dass die Geräteausgestaltung geändert und die zu testenden LEDs 10 bewegt werden müssen, und die Leuchtdichteeigenschaften oder Leuchtkrafteigenschaften der Vielzahl von zu testenden LEDs 10 können durch Verwendung des gleichen optischen Systems einzeln getestet werden. Im Ergebnis kann das Testgerät 100 im Vergleich zu einem Fall, bei dem die Geräteausgestaltung geändert oder die zu testende LED 10 bewegt werden muss, nicht nur die Ausführungszeit des Tests verkürzen, sondern auch einen Messfehler aufgrund von Umgebungsunterschieden im Fall der Verwendung unterschiedlicher optischer Systeme bei jedem Test verhindern.
  • Bei den oben beschriebenen mehreren Ausführungsbeispielen kann das Testgerät 100 anstelle des verzweigten Lichtleiters, wie etwa des gegabelten Lichtleiters 141, einen anderen Mechanismus, wie beispielsweise ein Prisma, im optischen System 140 enthalten. In diesem Fall weist das Prisma oder dergleichen eine funktionale Ausgestaltung auf, die der funktionalen Ausgestaltung des gegabelten Lichtleiters 141 ähnelt, die in den obigen Ausführungsbeispielen beschrieben wurde.
  • Wenn die LED-Gruppe eine Ausgestaltung aufweist, bei der die Vielzahl von LEDs auf einem glasbasierten Panel (PLP) ausgebildet ist, das eine im Wesentlichen rechteckige Außenform aufweist, auf der elektrische Leitungsführungen ausgebildet sind, kann bei der oben beschriebenen Vielzahl von Ausführungsbeispielen die Einheit zur elektrischen Verbindung eine Ausgestaltung aufweisen, bei welcher die Sonde mit jeder Leitungsführung in Zeilenrichtung und Spaltenrichtung in Kontakt gebracht wird, die auf zwei Seitenflächen des Panels angeordnet sind.
  • Verschiedene Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung können unter Bezugnahme auf Ablaufdiagramme und Blockdiagramme beschrieben werden, deren Blöcke (1) Verarbeitungsschritte repräsentieren können, in denen Operationen ausgeführt werden, oder (2) Abschnitte von Vorrichtungen, die für die Ausführung von Operationen verantwortlich sind. Bestimmte Schritte und Abschnitte können durch dedizierte Schaltungen, programmierbare Schaltungen, die mit computerlesbaren Anweisungen versorgt werden, die auf computerlesbaren Medien gespeichert sind, und/oder Prozessoren, die mit computerlesbaren Anweisungen versorgt werden, die auf computerlesbaren Medien gespeichert sind, implementiert werden. Dedizierte Schaltungen können digitale und/oder analoge Hardware-Schaltungen umfassen und können integrierte Schaltungen (IC) und/oder diskrete Schaltungen umfassen. Die programmierbare Schaltung kann eine rekonfigurierbare Hardwareschaltung umfassen, einschließlich logisches UND, logisches ODER, logisches XOR, logisches NAND, logisches NOR und andere logische Operationen, ein Speicherelement wie ein Flip-Flop, ein Register und ein feldprogrammierbares Gate-Array (FPGA) und ein programmierbares Logikarray (PLA) und dergleichen.
  • Ein computerlesbares Medium kann jedes greifbare Gerät umfassen, das Anweisungen speichern kann, die von einem geeigneten Gerät auszuführen sind, und als Ergebnis umfasst das computerlesbare Medium, auf dem Anweisungen gespeichert sind, einen Herstellungsartikel, der Anweisungen enthält, die ausgeführt werden können, um Mittel zum Ausführen von in den Ablaufdiagrammen oder Blockdiagrammen angegebenen Vorgängen zu erzeugen. Beispiele für das computerlesbare Medium können ein elektronisches Speichermedium, ein magnetisches Speichermedium, ein optisches Speichermedium, ein elektromagnetisches Speichermedium, ein Halbleiterspeichermedium und dergleichen sein. Spezifischere Beispiele für das computerlesbare Medium können eine Floppy Disk (eingetragenes Warenzeichen), eine Diskette, eine Festplatte, einen Direktzugriffsspeicher (RAM), einen Nur-Lese-Speicher (ROM), einen löschbaren programmierbaren Nur-Lese-Speicher (EPROM oder Flash-Speicher), einen elektrisch löschbaren programmierbaren Nur-Lese-Speicher (EEPROM), einen statischen Direktzugriffsspeicher (SRAM), einen Compact-Disc-Nur-Lese-Speicher (CD-ROM), eine Digital Versatile Disk (DVD), eine Blu-ray-Disk (eingetragenes Warenzeichen), einen Speicherstick, eine Platine mit integrierter Schaltung und dergleichen enthalten.
  • Die computerlesbare Anweisung kann eine Assembler-Anweisung, Instruktionssatz-Architektur-Anweisung (ISA-Anweisung), Maschinenanweisung, maschinenabhängige Anweisung, Mikrocode, Firmware-Anweisung, zustandsbestimmende Daten, oder entweder ein Quellcode oder ein Objektcode umfassen, der in einer beliebigen Kombination aus einer oder mehreren Programmiersprachen geschrieben ist, einschließlich einer objektorientierten Programmiersprache wie Smalltalk (eingetragene Marke), JAVA (eingetragene Marke), C++ oder dergleichen und einer herkömmlichen prozeduralen Programmiersprache wie etwa eine „C“-Programmiersprache oder eine ähnliche Programmiersprache.
  • Computerlesbare Anweisungen können einem Prozessor eines Allzweckcomputers, eines Spezialcomputers oder anderer programmierbarer Datenverarbeitungsgeräte oder einer programmierbaren Schaltung lokal oder über ein lokales Netzwerk (LAN) oder ein Weitverkehrsnetzwerk (WAN) bereitgestellt werden, wie das Internet oder dergleichen, um computerlesbare Anweisungen auszuführen und Mittel zum Ausführen von in den Ablaufdiagrammen oder Blockdiagrammen angegebenen Vorgängen zu erzeugen. Ein Beispiel für den Prozessor umfasst einen Computerprozessor, eine Verarbeitungseinheit, einen Mikroprozessor, einen digitalen Signalprozessor, einen Controller, einen Mikrocontroller oder dergleichen.
  • 7 zeigt ein Beispiel eines Computers 1200, in dem mehrere Aspekte der vorliegenden Erfindung ganz oder teilweise verkörpert sein können. Ein auf dem Computer 1200 installiertes Programm kann bewirken, dass der Computer 1200 als eine Operation, die mit einer Vorrichtung gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung verbunden ist, oder als eine oder mehrere „Einheit(en)“ des Geräts fungiert, oder die Operation der einen oder mehreren „Einheit(en)“ auszuführen, und/oder kann den Computer 1200 veranlassen, Prozesse gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung oder Schritte der Prozesse auszuführen. Ein solches Programm kann von einer CPU 1212 ausgeführt werden, um den Computer 1200 zu veranlassen, bestimmte Operationen auszuführen, die mit einigen oder allen Blöcken in den hier beschriebenen Ablaufdiagrammen oder Blockdiagrammen verbunden sind.
  • Der Computer 1200 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst eine CPU 1212, einen RAM 1214, einen Grafikcontroller 1216 und ein Anzeigegerät 1218, die über einen Host-Controller 1210 miteinander verbunden sind. Der Computer 1200 umfasst auch Eingabe/Ausgabe-Einheiten wie eine Kommunikationsschnittstelle 1222, ein Festplattenlaufwerk 1224, ein DVD-ROM-Laufwerk 1226 und ein IC-Kartenlaufwerk, die über einen Eingabe-/Ausgabe-Controller 1220 mit dem Host-Controller 1210 verbunden sind. Der Computer verfügt auch über Alt-Eingabe/Ausgabe-Einheiten wie ein ROM 1230 und eine Tastatur 1242, die über einen Eingabe-/Ausgabe-Chip 1240 mit dem Eingabe-/Ausgabe-Controller 1220 verbunden sind.
  • Die CPU 1212 arbeitet gemäß den im ROM 1230 und im RAM 1214 gespeicherten Programmen und steuert jede Einheit entsprechend. Der Grafikcontroller 1216 erfasst von der CPU 1212 erzeugte Bilddaten in einem Bildpuffer oder dergleichen, der im RAM 1214 oder im Grafikcontroller 1216 selbst bereitgestellt ist, und zeigt die Bilddaten auf dem Anzeigegerät 1218 an.
  • Die Kommunikationsschnittstelle 1222 kommuniziert mit anderen elektronischen Geräten über ein Netzwerk. Das Festplattenlaufwerk 1224 speichert Programme und Daten, die von der CPU 1212 im Computer 1200 verwendet werden sollen. Das DVD-ROM-Laufwerk 1226 liest Programme oder Daten von der DVD-ROM 1201 und stellt die Programme oder Daten dem Festplattenlaufwerk 1224 über den RAM 1214 bereit. Das IC-Kartenlaufwerk liest Programme und Daten von einer IC-Karte und/oder schreibt Programme und Daten in die IC-Karte.
  • Im ROM 1230 ist ein Boot-Programm oder Ähnliches gespeichert, das vom Computer 1200 zum Zeitpunkt der Aktivierung ausgeführt werden soll, und/oder ein Programm, das von der Hardware des Computers 1200 abhängt. Der Eingabe-/Ausgabe-Chip 1240 kann auch verschiedene Eingabe-/Ausgabeeinheiten über einen parallelen Anschluss, einen seriellen Anschluss, einen Tastaturanschluss, einen Mausanschluss oder dergleichen mit dem Eingabe-/Ausgabe-Controller 1220 verbinden.
  • Programme werden von einem computerlesbaren Speichermedium wie der DVD-ROM 1201 oder einer IC-Karte bereitgestellt. Die Programme werden vom computerlesbaren Speichermedium gelesen, auf dem Festplattenlaufwerk 1224, dem RAM 1214 oder dem ROM 1230 installiert, die ebenfalls Beispiele für ein computerlesbares Speichermedium sind, und von der CPU 1212 ausgeführt. Informationsverarbeitung, die in diesen Programmen geschrieben ist, wird vom Computer 1200 gelesen und sorgt für die Zusammenarbeit zwischen den Programmen und den verschiedenen oben beschriebenen Arten von Hardwareressourcen. Eine Vorrichtung oder ein Verfahren kann durch die Realisierung des Betriebs oder der Verarbeitung von Informationen entsprechend der Nutzung des Computers 1200 gebildet werden.
  • Wenn beispielsweise eine Kommunikation zwischen dem Computer 1200 und externen Geräten durchgeführt wird, kann die CPU 1212 ein in den RAM 1214 geladenes Kommunikationsprogramm ausführen und die Kommunikationsschnittstelle 1222 anweisen, eine Kommunikationsverarbeitung basierend auf der in dem Kommunikationsprogramm beschriebenen Verarbeitung auszuführen. Unter der Steuerung der CPU 1212 liest die Kommunikationsschnittstelle 1222 Übertragungsdaten, die in einem Übertragungspufferbereich gespeichert sind, der in einem Aufzeichnungsmedium wie dem RAM 1214, dem Festplattenlaufwerk 1224, dem DVD-ROM 1201 oder einer IC-Karte bereitgestellt ist, und sendet die gelesenen Sendedaten zum Netzwerk oder schreibt vom Netzwerk empfangene Empfangsdaten in einen Empfangspufferbereich oder dergleichen, der im Aufzeichnungsmedium vorgesehen ist.
  • Die CPU 1212 kann auch alle oder erforderliche Teile der Dateien oder Datenbanken auf einem externen Aufzeichnungsmedium wie dem Festplattenlaufwerk 1224, dem DVD-ROM-Laufwerk 1226 (DVD-ROM 1201) oder einer IC-Karte speichern. Die Daten werden vom RAM 1214 gelesen und verschiedene Arten der Verarbeitung der Daten im RAM 1214 ausgeführt. Anschließend kann die CPU 1212 die verarbeiteten Daten zurück auf das externe Aufzeichnungsmedium schreiben.
  • Verschiedene Typen von Informationen, wie beispielsweise verschiedene Typen von Programmen, Daten, Tabellen und Datenbanken, können zur Informationsverarbeitung im Aufzeichnungsmedium gespeichert werden. Die CPU 1212 kann auf den aus dem RAM 1214 gelesenen Daten verschiedene Arten der Verarbeitung ausführen, einschließlich verschiedener Arten von Operationen, Informationsverarbeitung, bedingter Beurteilung, bedingter Verzweigung, bedingungsloser Verzweigung, Informationsabruf/-ersetzung oder dergleichen, die in der vorliegenden Offenbarung durchweg beschrieben wurden und durch eine Befehlssequenz eines Programms spezifiziert sind, um die Ergebnisse zurück in den RAM 1214 zu schreiben. Darüber hinaus kann die CPU 1212 Informationen in einer Datei, einer Datenbank oder dergleichen auf dem Aufzeichnungsmedium abrufen. Wenn beispielsweise mehrere Einträge, von denen jeder einen Attributwert eines ersten Attributs aufweist, der mit einem Attributwert eines zweiten Attributs verknüpft ist, auf dem Aufzeichnungsmedium gespeichert sind, kann die CPU 1212 die mehreren Einträge nach einem Eintrag durchsuchen, dessen Attributwert des ersten Attributs mit einer festgelegten Bedingung übereinstimmt, den im Eintrag gespeicherten Attributwert des zweiten Attributs lesen und dadurch den Attributwert des zweiten Attributs erfassen, das mit dem ersten Attribut verknüpft ist, das eine vorgegebene Bedingung erfüllt.
  • Die Programme oder Softwaremodule in der obigen Beschreibung können auf dem Computer 1200 oder einem computerlesbaren Speichermedium in der Nähe des Computers 1200 gespeichert sein. Außerdem kann ein Aufzeichnungsmedium wie eine Festplatte oder ein RAM, das in einem Serversystem bereitgestellt ist, das mit einem dedizierten Kommunikationsnetzwerk oder dem Internet verbunden ist, als computerlesbares Speichermedium verwendet werden, wodurch dem Computer 1200 über das Netzwerk ein Programm bereitgestellt wird.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist der technische Umfang der vorliegenden Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Für den Fachmann ist es offensichtlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu den oben beschriebenen Ausführungsbeispiele hinzugefügt werden können. Aus dem Umfang der Ansprüche geht auch hervor, dass die durch solche Änderungen oder Verbesserungen ergänzten Ausführungsbeispiele in den technischen Umfang der vorliegenden Erfindung einbezogen werden können.
  • Es gilt zu beachten, dass die Vorgänge, Prozeduren, Schritte und Stufen jedes Prozesses, die von einem Gerät, System, Programm und Verfahren ausgeführt werden, die in den Ansprüchen, Ausführungsbeispielen oder Diagrammen gezeigt sind, in beliebiger Reihenfolge ausgeführt werden können, solange die Reihenfolge nicht durch „im Vorhinein“, „vor“ oder dergleichen angegeben ist und solange die Ausgabe eines vorherigen Prozesses nicht in einem späteren Prozess verwendet wird. Auch wenn der Prozessablauf in den Ansprüchen, Ausführungsbeispielen oder Zeichnungen unter Verwendung von Ausdrücken wie „erster“ oder „nächster“ beschrieben wird, bedeutet dies nicht notwendigerweise, dass der Prozess in dieser Reihenfolge durchgeführt werden muss.
  • ERLÄUTERUNG DER BEZUGSZEICHEN
    • 10
    LED
    11
    Anschluss
    15
    Waver
    100
    Testgerät
    110
    Lichtmesseinheit
    120
    Steuereinheit
    130
    Lichtquelle
    140
    optisches System
    150
    Einheit zur elektrischen Verbindung
    151
    Substrat
    153
    Sonde
    155
    Einheit zur elektrischen Messung
    160
    Anordnungseinheit
    170
    Abschirmeinheit
    180
    Speichereinheit
    1200
    Computer
    1201
    DVD-ROM
    1210
    Host-Controller
    1212
    CPU
    1214
    RAM
    1216
    Grafikcontroller
    1218
    Anzeigegerät
    1220
    Ein-/Ausgabe-Controller
    1222
    Kommunikationsschnittstelle
    1224
    Festplattenlaufwerk
    1226
    DVD-ROM-Laufwerk
    1230
    ROM
    1240
    Ein-/Ausgabe-Chip
    1242
    Tastatur
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2010 [0002]
    • JP 230568 [0002]

Claims (16)

  1. Testgerät, umfassend: eine Lichtemissionssteuereinheit, die eine Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen veranlasst, Licht zu emittieren, eine Lichtmesseinheit, die das Licht empfängt, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, und Wellenlängen des empfangenen Lichts misst, und eine Bestimmungseinheit, die bestimmt, ob eine Abnormalität in mindestens einem lichtemittierenden Element aus der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen vorliegt, auf der Grundlage von Intensitätsverteilungen der durch die Lichtmesseinheit gemessenen Wellenlängen des Lichts, das von den Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird.
  2. Testgerät nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine Lichtquelle, ein optisches System, das die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen mit Licht bestrahlt, das von der Lichtquelle emittiert wird, und eine elektrische Messeinheit, die ein photoelektrisches Signal misst, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das Licht photoelektrisch umwandeln, das vom optischen System abgestrahlt wird, wobei die Lichtmesseinheit das Licht, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System empfängt.
  3. Testgerät nach Anspruch 2, wobei die Bestimmungseinheit die Qualität eines jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage der von der elektrischen Messeinheit gemessenen photoelektrischen Signale, die von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen ausgegeben werden, bestimmt und ein lichtemittierendes Element, bei dem festgestellt wurde, dass es mangelhaft ist, von einem Ziel ausschließt, durch die Lichtemissionssteuereinheit veranlasst zu werden, Licht zu emittieren.
  4. Testgerät nach Anspruch 2 oder 3, wobei das optische System das Licht, das von der Lichtquelle emittiert wird, ausstreut, so dass die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen gemeinsam mit dem Licht, das von der Lichtquelle emittiert wird, bestrahlt wird, und das ausgestreute Licht, das von den Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, bündelt, so dass das Licht zur Lichtmesseinheit geleitet wird.
  5. Testgerät nach Anspruch 4, wobei das optische System aufweist: einen verzweigten Lichtleiter, der Endabschnitte auf einer Verzweigungsseite aufweist, die mit der Lichtquelle und der Lichtmesseinheit verbunden sind, und eine Linseneinheit, die eine oder mehrere Linsen enthält.
  6. Testgerät nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei das optische System Licht, das von einer Vielzahl von Lichtquellen emittiert wird, kombiniert, wobei jede Lichtquelle mit der Lichtquelle identisch ist, die Licht in Wellenlängenbändern emittiert, die sich voneinander verschiedenen, so dass die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen bestrahlt werden.
  7. Testgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Bestimmungseinheit auf der Grundlage eines Ergebnisses des Vergleichs der Intensitätsverteilungen mit einer Referenzintensitätsverteilung, die der Anzahl der lichtemittierenden Elemente entspricht, bestimmt, ob die Abnormalität vorliegt.
  8. Testgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, ferner umfassend: eine Gruppeneinteilungseinheit, welche die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen als Reaktion auf die Feststellung, dass die Abnormalität vorliegt, in eine Vielzahl von Gruppen einteilt, wobei die Lichtemissionssteuereinheit und die Lichtmesseinheit alle lichtemittierenden Elemente einer jeden der Vielzahl von Gruppen veranlassen, Licht zu emittieren, und Wellenlängen des Lichts messen und die Bestimmungseinheit auf der Grundlage von Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von allen lichtemittierenden Elementen emittiert wird, die in einer jeden der Vielzahl von Gruppen enthalten sind, bestimmt, ob eine Abnormalität bei mindestens einem lichtemittierenden Element vorliegt, das in einer jeden der Vielzahl von Gruppen enthalten ist.
  9. Testgerät, umfassend: eine Lichtquelle, ein optisches System, das eine Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen mit Licht bestrahlt, das von der Lichtquelle emittiert wird, eine elektrische Messeinheit, die ein photoelektrisches Signal misst, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das vom optischen System abgestrahlte Licht photoelektrisch umwandeln, eine Lichtemissionssteuereinheit, welche die Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen veranlasst, Licht zu emittieren, eine Lichtmesseinheit, die das Licht, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System empfängt und Wellenlängen des empfangenen Lichts misst, und eine Bestimmungseinheit, die die Qualität der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage eines Messergebnisses der elektrischen Messeinheit und/oder der Lichtmesseinheit bestimmt.
  10. Testgerät nach Anspruch 9, wobei die Bestimmungseinheit die Qualität eines jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage der von der elektrischen Messeinheit gemessenen photoelektrischen Signale, die von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen ausgegeben werden, bestimmt und ein lichtemittierendes Element, bei dem festgestellt wurde, dass es mangelhaft ist, von einem Ziel ausschließt, durch die Lichtemissionssteuereinheit veranlasst zu werden, Licht zu emittieren.
  11. Testgerät nach Anspruch 9 oder 10, wobei das optische System das Licht, das von der Lichtquelle emittiert wird, ausstreut, so dass die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen gemeinsam mit dem Licht, das von der Lichtquelle emittiert wird, bestrahlt wird, und das ausgestreute Licht, das von den Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, bündelt, so dass das Licht zur Lichtmesseinheit geleitet wird.
  12. Testgerät nach Anspruch 11, wobei das optische System aufweist: einen verzweigten Lichtleiter, der Endabschnitte auf einer Verzweigungsseite aufweist, die mit der Lichtquelle und der Lichtmesseinheit verbunden sind, und eine Linseneinheit, die eine oder mehrere Linsen enthält.
  13. Testverfahren, umfassend: Veranlassen einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen, Licht zu emittieren, Empfangen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, und Messen der Wellenlängen des empfangenen Lichts, und Bestimmen, ob bei mindestens einem lichtemittierenden Element aus der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen eine Abnormalität vorliegt, auf der Grundlage von durch Messen der Wellenlängen des Lichts gemessenen Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird.
  14. Testverfahren, umfassend: Bestrahlen, durch ein optisches System, einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen mit Licht, das von einer Lichtquelle emittiert wird, Messen eines photoelektrischen Signals, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das vom optischen System abgestrahlte Licht photoelektrisch umwandeln, Veranlassen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen, Licht zu emittieren, Empfangen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System und Messen der Wellenlängen des empfangenen Lichts, und Bestimmen der Qualität der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage eines Messergebnisses der Messung des photoelektrischen Signals und/oder der Messung der Wellenlängen des Lichts.
  15. Programm, welches ein Testgerät, das ein lichtemittierendes Element testet, veranlasst Operationen auszuführen, die umfassen: Steuern der Lichtemission durch Veranlassen einer Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen, Licht zu emittieren, Messen von Licht durch Empfangen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, und Messen der Wellenlängen des empfangenen Lichts, und Bestimmen, ob bei mindestens einem lichtemittierenden Element aus der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen eine Abnormalität vorliegt, auf der Grundlage von durch Messen des Lichts gemessenen Intensitätsverteilungen der Wellenlängen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird.
  16. Programm, welches ein Testgerät, das ein lichtemittierendes Element testet, veranlasst Operationen auszuführen, die umfassen: Ausstrahlen von Licht durch ein optisches System, das eine Vielzahl von zu testenden lichtemittierenden Elementen mit Licht bestrahlt, das von einer Lichtquelle emittiert wird, Ausführen einer elektrischen Messung durch Messen eines photoelektrischen Signals, das von einem jeden der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen erhalten wird, die das vom optischen System abgestrahlte Licht photoelektrisch umwandeln, Steuern der Lichtemission durch Veranlassen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen, Licht zu emittieren, Messen von Licht durch Empfangen des Lichts, das von der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen emittiert wird, über das optische System und Messen der Wellenlängen des empfangenen Lichts, und Bestimmen der Qualität der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage eines Messergebnisses des Ausführens der elektrischen Messung und/oder der Messung des Lichts.
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