JP7317176B1 - 試験方法および製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開2018-006408号公報
11 半導体チップ
100、1100 PLP
101 領域
110、1110 デバイス
120 基板
123 供給完了位置
125 未供給位置
130 再配線層
131 引出配線
140 封止部
150 ボール用パッド
160 犠牲パッド
170 パッド
180 ヒューズ
190 位置決め用部材
200 第1予備FT装置
300 個片化装置
400 第2予備FT装置
410 試験装置
420 コンタクタ
430 スライダ
500 PLP形成装置
510 搬送台
520 接着剤供給部
530 第1スライダ
540 チップ配列部
550 第2スライダ
600 BI試験装置
601 コントローラ
602 パネルカセット
603 ストッカ
604 ソーク部
606 アンソーク部
605 搬送部
607 テストサイト
609 スロット
610 キャップ
611 キャップ保持部
620 載置部
621 シーリング部材
625 温度調整部
626 ヒータ
627 冷媒ライン
628 冷媒供給部
630 試験ボード
631 試験回路
632 端子
640 コンタクタ
642 接触子
643 位置決め用部材
700 FT装置
701 コントローラ
705 搬送部
720 載置部
725 温度調整部
726 ヒータ
727 冷媒ライン
728 冷媒供給部
730 第1試験ボード
731 試験回路
732 端子
740 第1コンタクタ
742 接触子
743 位置決め用部材
750 第2試験ボード
751 試験回路
752 端子
760 第2コンタクタ
762 接触子
763 位置決め用部材
800 ボール付け装置
900 選別装置
1150 テスト端子
1160 ボール
1200 コンピュータ
1201 DVD-ROM
1210 ホストコントローラ
1212 CPU
1214 RAM
1216 グラフィックコントローラ
1218 ディスプレイデバイス
1220 入出力コントローラ
1222 通信インターフェース
1224 ハードディスクドライブ
1226 DVD-ROMドライブ
1230 ROM
1240 入出力チップ
1242 キーボード
Claims (17)
- 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージを載置部に載置することと、
前記パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に、試験回路の少なくとも1つの端子に電気的に接続された少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させることと、
前記試験回路が前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験することと
を備え、
前記接触させることは、前記パネルレベルパッケージの前記第2面においてバンプが搭載されていない前記少なくとも1つのデバイスの前記少なくとも1つの端子に、前記少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させることを含み、
前記少なくとも1つのデバイスには、前記パネルレベルパッケージの前記第2面において、バンプが搭載されるための少なくとも1つのバンプ用パッドと、バンプが搭載されない少なくとも1つの犠牲パッドとが形成されており、
前記少なくとも1つのデバイスの前記少なくとも1つの端子は、前記少なくとも1つの犠牲パッドを含み、前記少なくとも1つのバンプ用パッドを含まない、
試験方法。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージを載置部に載置することと、
前記パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に、試験回路の少なくとも1つの端子に電気的に接続された少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させることと、
前記試験回路が前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験することと
を備え、
前記少なくとも1つのデバイスの前記少なくとも1つの端子は、前記パネルレベルパッケージの前記第2面における前記複数のデバイスのそれぞれに隣接する領域から露出しているテスト端子またはピン、および、前記パネルレベルパッケージの前記第2面における前記複数のデバイス上のバンプ、のうちの少なくとも何れかを含む、
試験方法。 - 前記少なくとも1つのデバイスには、前記バンプが前記テスト端子またはピンよりも多く形成されており、
前記試験することは、前記試験回路が、前記少なくとも1つのデバイスの前記テスト端子またはピンに前記少なくとも1つの接触子を電気的に接続させた状態で前記少なくとも1つのデバイスを試験した後、前記少なくとも1つのデバイスの前記バンプに前記少なくとも1つの接触子を電気的に接続させた状態で前記少なくとも1つのデバイスを試験することを含む、
請求項2に記載の試験方法。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージを載置部に載置することと、
前記パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に、試験回路の少なくとも1つの端子に電気的に接続された少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させることと、
前記試験回路が前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験することと
を備え、
前記接触させることは、前記少なくとも1つの接触子が設けられたコンタクタ、および、前記パネルレベルパッケージのそれぞれが有する、互いに対応する位置決め用部材を用いて、前記コンタクタおよび前記パネルレベルパッケージを位置決めしてから、前記少なくとも1つの端子に前記少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させることを含む、
試験方法。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージを載置部に載置することと、
前記パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に、試験回路の少なくとも1つの端子に電気的に接続された少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させることと、
前記試験回路が前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験することと、
前記試験することよりも前に、前記少なくとも1つのデバイスの温度を目標温度に近づける温度制御を実行することと
を備える試験方法。 - 前記温度制御を実行することは、前記載置部に設けられた温度調整部によって前記パネルレベルパッケージの前記第1面を均一に前記目標温度に近づけることを含む、
請求項5に記載の試験方法。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージを載置部に載置することと、
前記パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に、試験回路の少なくとも1つの端子に電気的に接続された少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させることと、
前記試験回路が前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験することと
を備え、
前記試験回路は、第1試験回路、および、前記第1試験回路よりも高い試験周波数で前記少なくとも1つのデバイスの試験を行う第2試験回路を含み、
前記試験することは、前記第1試験回路を用いて前記少なくとも1つのデバイスの試験を行った後、前記第2試験回路を用いて前記少なくとも1つのデバイスの試験を行うことを含む、
試験方法。 - 前記試験することは、前記少なくとも1つのデバイスの動作を個別に確認するためのファンクショナルテストを実行することを含む、
請求項1から7の何れか一項に記載の試験方法。 - 前記載置することよりも前に、複数の半導体チップの動作を個別に確認するためのファンクショナルテストを実行して、その結果として良品と判定した複数の半導体チップを用いて前記複数のデバイスを形成することを更に備える、
請求項1から7の何れか一項に記載の試験方法。 - 前記パネルレベルパッケージにおいて、前記複数のデバイスはマトリクス状に配列され、
前記パネルレベルパッケージにおける前記マトリクスの行方向の一辺側に設けられ、前記複数のデバイスのうち各行の各デバイスの内部回路に対して複数の引出配線を介して接続される複数の接触端子に、試験回路の複数の端子に電気的に接続された複数の接触子をそれぞれ接触させることと、
前記試験回路が前記複数の接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験することと、
を更に備える、請求項1から7の何れか一項に記載の試験方法。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージにおける前記複数のデバイスを請求項1から7の何れか一項に記載の試験方法により試験することと、
前記パネルレベルパッケージから前記複数のデバイスを切り出して個片化することと
を備える製造方法。 - 個片化後の複数のデバイスを、前記試験回路による試験の結果を用いて選別することを更に備える、
請求項11に記載の製造方法。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージが載置される載置部と、
パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させるコンタクタと、
前記少なくとも1つの接触子に電気的に接続された少なくとも1つの端子を有し、前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験する試験回路と
を備え、
前記コンタクタは、前記パネルレベルパッケージの前記第2面においてバンプが搭載されていない前記少なくとも1つのデバイスの前記少なくとも1つの端子に、前記少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させ、
前記少なくとも1つのデバイスには、前記パネルレベルパッケージの前記第2面において、バンプが搭載されるための少なくとも1つのバンプ用パッドと、バンプが搭載されない少なくとも1つの犠牲パッドとが形成されており、
前記少なくとも1つのデバイスの前記少なくとも1つの端子は、前記少なくとも1つの犠牲パッドを含み、前記少なくとも1つのバンプ用パッドを含まない、
試験装置。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージが載置される載置部と、
パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させるコンタクタと、
前記少なくとも1つの接触子に電気的に接続された少なくとも1つの端子を有し、前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験する試験回路と
を備え、
前記少なくとも1つのデバイスの前記少なくとも1つの端子は、前記パネルレベルパッケージの前記第2面における前記複数のデバイスのそれぞれに隣接する領域から露出しているテスト端子またはピン、および、前記パネルレベルパッケージの前記第2面における前記複数のデバイス上のバンプ、のうちの少なくとも何れかを含む、
試験装置。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージが載置される載置部と、
パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させるコンタクタと、
前記少なくとも1つの接触子に電気的に接続された少なくとも1つの端子を有し、前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験する試験回路と
を備え、
前記コンタクタは、前記パネルレベルパッケージが有する位置決め用部材に対応する位置決め用部材を有し、
前記コンタクタは、前記コンタクタおよび前記パネルレベルパッケージのそれぞれの前記位置決め用部材を用いて前記パネルレベルパッケージと位置決めしてから、前記少なくとも1つの端子に前記少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させる、
試験装置。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージが載置される載置部と、
パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させるコンタクタと、
前記少なくとも1つの接触子に電気的に接続された少なくとも1つの端子を有し、前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験する試験回路と
を備え、
前記試験回路は、前記少なくとも1つのデバイスを試験する前に、前記少なくとも1つのデバイスの温度を目標温度に近づける温度制御を実行する、
試験装置。 - 個片化前の複数のデバイスが形成されたパネルレベルパッケージが載置される載置部と、
パネルレベルパッケージにおける前記載置部側の第1面とは反対側の第2面に露出する、前記複数のデバイスのうちの少なくとも1つのデバイスの少なくとも1つの端子に少なくとも1つの接触子をそれぞれ接触させるコンタクタと、
前記少なくとも1つの接触子に電気的に接続された少なくとも1つの端子を有し、前記少なくとも1つの接触子を介して電気的に接続された前記少なくとも1つのデバイスを試験する試験回路と
を備え、
前記試験回路は、第1試験回路、および、前記第1試験回路よりも高い試験周波数で前記少なくとも1つのデバイスの試験を行う第2試験回路を含み、
前記試験回路は、前記第1試験回路を用いて前記少なくとも1つのデバイスの試験を行った後、前記第2試験回路を用いて前記少なくとも1つのデバイスの試験を行う、
試験装置。
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