JP4570208B2 - 試験済み電子部品の分類制御方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路素子などの各種電子部品（以下、代表的にＩＣともいう。）をテストするための電子部品試験装置に関し、特に試験済み電子部品を試験結果に応じて分類する制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハンドラ（handler ）と称される電子部品試験装置では、トレイに収納された多数のＩＣを試験装置内に搬送し、各ＩＣをテストヘッドに電気的に接触させ、ＩＣ試験装置本体（tester）に試験を行わせる。そして、試験を終了すると各ＩＣをテストヘッドから搬出し、試験結果に応じたトレイに載せ替えることで、良品や不良品といったカテゴリへの仕分けが行われる。
【０００３】
従来のハンドラには、試験前のＩＣを収納したり試験済みのＩＣを収納するためのトレイ（以下、カスタマトレイともいう。）と、ハンドラ内を循環搬送されるトレイ（以下、テストトレイともいう。）とが相違するタイプのものがあり、この種のハンドラでは、試験の前後においてカスタマトレイとテストトレイとの間でＩＣの載せ替えが行われ、ＩＣをテストヘッドに接触させてテストを行うテスト工程においては、ＩＣはテストトレイに搭載された状態でテストヘッドに押し付けられる。
【０００４】
この試験を終了したＩＣを試験結果に応じたトレイへ載せ替える場合、良品、不良品、再検査といったカテゴリ分だけ空のカスタマトレイを用意し、これにＩＣを載せ替え、そのカスタマトレイが満杯になるとこれを搬出し、新たな空トレイと入れ替える。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＩＣ製品の検査仕様によっては仕分けすべきカテゴリ数がハンドラの一般分類数を超える場合もある。こうした場合、従来のハンドラでは、カスタマトレイを入れ替えて対応することが行われている。
【０００６】
しかしながら、カスタマトレイを入れ替えている間は分類のための移載動作が停止するので、分類数が増加すると時間あたりの処理個数が減少するという問題がある。
【０００７】
また、テストトレイからカスタマトレイへＩＣを移載する場合、従来のハンドラでは一つのテストトレイに搭載されたＩＣが全て移載されない限り、次のテストトレイからの移載に移らないので、分類数が増加するとこれによっても時間あたりの処理個数が減少する。さらに、テストトレイの交換中もＩＣの移載動作が停止するので、これによっても時間あたりの処理個数が減少する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、分類数が増加しても時間あたりの処理個数を維持できる試験済み電子部品の分類制御方法を提供することを目的とする。
【０００９】
本発明の第１の観点によれば、第１のトレイに搭載された試験済み電子部品を試験結果に応じた第２のトレイに分類して移載する試験済み電子部品の分類制御方法であって、試験結果から前記第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、発生比率の高いカテゴリの電子部品は、二以上の第２のトレイに移載する試験済み電子部品の分類制御方法が提供される。
【００１０】
また、本発明の第２の観点によれば、第１のトレイに搭載された試験済み電子部品を試験結果に応じた第２のトレイに分類して移載する試験済み電子部品の分類制御方法であって、試験結果から前記第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、発生比率の低いカテゴリの電子部品から移載するとともに、当該カテゴリの電子部品を搭載する第２のトレイの交換中は発生比率の高いカテゴリの電子部品を移載する試験済み電子部品の分類制御方法が提供される。
【００１１】
上記発明においては特に限定されないが、少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから該当する第２のトレイへ移載すべき電子部品がなくなったら他方の第１のトレイから前記第２のトレイへ移載することがより好ましい。
【００１２】
また、上記発明においては特に限定されないが、前記他方の第１のトレイが前記一方の第１のトレイのポジションへ搬送されている間も、当該他方の第１のトレイから電子部品を移載することがより好ましい。
【００１３】
また、上記発明においては特に限定されないが、少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから第２のトレイへ電子部品を移載すると同時に、他方の第１のトレイから前記第２のトレイへ電子部品を移載することもできる。
【００１４】
さらに、上記発明においては特に限定されないが、前記第１のトレイと前記第２のトレイの間にバッファ部を有し、前記第１のトレイに搭載された電子部品が分類される第２のトレイが在席しないときは、前記バッファ部に一時的に移載することがより好ましい。
【００１５】
【作用および発明の効果】
第１の発明では、試験結果から第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、発生比率の高いカテゴリの電子部品は、二以上の第２のトレイに移載する。
【００１６】
発生比率の高いカテゴリの電子部品は、移載すべき個数が多いので第２のトレイに移載したときの当該第２のトレイの交換回数も多いことになる。しかしながら、本発明では二以上の第２のトレイを用意してこれに移載するので、一方の第２のトレイが満杯になってこれを交換している間は他方の第２のトレイにそのカテゴリの電子部品を移載することができ、移載動作が中断される（第２のトレイを待機する）ことがない。これにより、連続して移載動作を行うことができ、時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００１７】
第２の発明では、試験結果から第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、発生比率の低いカテゴリの電子部品から移載するとともに、当該カテゴリの電子部品を搭載する第２のトレイの交換中は発生比率の高いカテゴリの電子部品を移載する。
【００１８】
すなわち、発生比率の低いカテゴリの電子部品は移載すべき個数が少ないので、分類数が多くなると第２のトレイの交換頻度が高い。しかしながら、本発明では発生比率の低いカテゴリの電子部品を移載すべき第２のトレイを交換している間は、発生比率の高い、すなわち個数が多い電子部品を移載するので、第２のトレイの交換中も電子部品の移載動作を継続することができ、これにより時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００１９】
また、少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから該当する第２のトレイへ移載すべき電子部品がなくなったら他方の第１のトレイから第２のトレイへ移載するように制御すれば、第１のトレイに対する待ち時間もなくなり、時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００２０】
このとき、他方の第１のトレイが一方の第１のトレイのポジションへ搬送されている間も、当該他方の第１のトレイから電子部品を移載するように制御すれば、より待ち時間をなくすことができ、さらに時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００２１】
また、少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから第２のトレイへ電子部品を移載すると同時に、他方の第１のトレイから第２のトレイへ電子部品を移載するように制御すれば、他方の第１のトレイの待ち時間がなくなり、これによっても時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００２２】
さらに、第１のトレイと第２のトレイの間にバッファ部を設け、第１のトレイに搭載された電子部品が分類される第２のトレイが在席しないときはバッファ部に一時的に移載するように制御すれば、移載動作が中断されることがないことに加え、発生頻度の低いカテゴリの電子部品をまとめて第２のトレイに移載することができ、第２のトレイの交換時間を短縮することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の試験済み電子部品の分類制御方法が適用された電子部品試験装置を示す一部破断斜視図、図２は同装置の電子部品とトレイの取り廻し方法を示す概念図、図３はローダ部３００およびアンローダ部４００の拡大図、図４および図５は本発明の試験済み電子部品の分類制御方法の実施形態を示すフローチャートである。なお、図２および図３は本実施形態の電子部品試験装置におけるトレイの取り廻し方法を理解するための図であって、実際には上下方向に並んで配置されている部材を平面的に示した部分もある。したがって、その機械的（三次元的）構造は図１を参照して説明する。
【００２４】
図１および図２に示すように、本実施形態の電子部品試験装置１は、テストヘッドを含むチャンバ部１００と、これから試験を行なう被試験ＩＣを格納し、また試験済のＩＣを分類して格納するトレイ格納部２００と、被試験ＩＣをチャンバ部１００に送り込むローダ部３００と、チャンバ部１００で試験が行なわれた試験済のＩＣを分類して取り出すアンローダ部４００とから構成されている。
【００２５】
なお、以下の説明では、本発明の試験済み電子部品の分類制御方法をチャンバ方式の電子部品試験装置１に適用した場合を示すが、本発明の試験済み電子部品の分類制御方法は被試験ＩＣが搭載されたトレイ（本発明の第１のトレイに相当する。以下、テストトレイＴＳＴともいう。）を用いるハンドラであれば適用することができ、下記のチャンバ方式電子部品試験装置にのみ限定されるものではない。
【００２６】
トレイ格納部２００
トレイ格納部２００には、試験前の被試験ＩＣを格納する試験前ＩＣストッカ２０１と、試験の結果に応じて分類された被試験ＩＣを格納する試験済ＩＣストッカ２０２とが設けられている。
【００２７】
試験前ＩＣストッカ２０１及び試験済ＩＣストッカ２０２は、詳細な図示は省略するが、枠状のトレイ支持枠と、このトレイ支持枠の下部から侵入して上部に向って昇降可能とするエレベータとで構成され、トレイ支持枠には、カスタマトレイＫＳＴ（本発明の第２のトレイに相当する。）が複数積み重ねられて支持され、この積み重ねられたカスタマトレイＫＳＴがエレベータによって上下に移動される。
【００２８】
そして、試験前ＩＣストッカ２０１には、これから試験が行われる被試験ＩＣが格納されたカスタマトレイＫＳＴが積層されて保持される一方で、試験済ＩＣストッカ２０２には、試験を終えた被試験ＩＣが適宜に分類されたカスタマトレイＫＳＴが積層されて保持されている。
【００２９】
被試験ＩＣストッカ２０１及び試験済ＩＣストッカ２０２の上部には、基板１０５との間において、被試験ＩＣストッカ２０１と試験済ＩＣストッカ２０２の配列方向の全範囲にわたって移動するトレイ移送アーム２０５が設けられている。本例では、被試験ＩＣストッカ２０１および試験済ＩＣストッカ２０２の直上（Ｙ軸方向にずれることなく）にローダ部３００およびアンローダ部４００の窓３０６，４０６が設けられているので、トレイ移送アーム２０５もＸ軸およびＺ軸方向にのみ移動可能になっている。ちなみに、トレイ格納部２００とローダ部３００またはアンローダ部４００との位置関係によっては、トレイ移送アーム２０５をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の全ての方向に移動可能としても良い。
【００３０】
このトレイ移送アーム２０５は、カスタマトレイＫＳＴを左右（Ｘ方向）に並べて保持するための一対のトレイ収納部を備え、ローダ部３００およびアンローダ部４００と被試験ＩＣストッカ２０１および試験済ＩＣストッカ２０２との間でカスタマトレイＫＳＴの移送を行う。
【００３１】
なお、試験前ＩＣストッカ２０１と試験済ＩＣストッカ２０２とは同じ構造とされているので、試験前ＩＣストッカ２０１と試験済ＩＣストッカ２０２とのそれぞれの数を必要に応じて適宜数に設定することができる。図１及び図２に示す例では、試験前ストッカ２０１に２個のストッカＳＴＫ−Ｂを設け、またその隣にアンローダ部４００へ送られる空ストッカＳＴＫ−Ｅを２個設けるとともに、試験済ＩＣストッカ２０２に８個のストッカＳＴＫ−１，ＳＴＫ−２，‥・，ＳＴＫ−８を設けて試験結果に応じて最大８つの分類に仕分けして格納できるように構成されている。たとえば、良品と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のもの、中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再試験が必要なもの等に仕分けすることができる。
【００３２】
ローダ部３００
上述したカスタマトレイＫＳＴは、ローダ部３００に運ばれ、当該ローダ部３００において、カスタマトレイＫＳＴに積み込まれた被試験ＩＣが、ローダ部３００に停止しているテストトレイＴＳＴに積み替えられる。
【００３３】
カスタマトレイＫＳＴからテストトレイＴＳＴへ被試験ＩＣを積み替えるＩＣ搬送装置としては、図１および図２に示すように、基板１０５の上部に架設された２本のレール３０１と、この２本のレール３０１によってテストトレイＴＳＴとカスタマトレイＫＳＴとの間をＹ方向に往復することができる可動アーム３０２と、この可動アーム３０２によって支持され、可動アーム３０２に沿ってＸ方向に移動できる可動ヘッド３０３とを備えたＸ−Ｙ搬送装置３０４が用いられる。
【００３４】
このＸ−Ｙ搬送装置３０４の可動ヘッド３０３には、吸着ヘッドが下向に装着されており、この吸着ヘッドが空気を吸引しながら移動することで、カスタマトレイＫＳＴから被試験ＩＣを吸着し、その被試験ＩＣをテストトレイＴＳＴに積み替える。こうした吸着ヘッドは、可動ヘッド３０３に対して例えば８本程度装着されており、一度に８個の被試験ＩＣをテストトレイＴＳＴに積み替えることができる。
【００３５】
なお、一般的なカスタマトレイＫＳＴにあっては、被試験ＩＣを搭載するための凹状ポケットが、被試験ＩＣの形状よりも比較的大きく形成されているので、カスタマトレイＫＳＴに格納された状態における被試験ＩＣの位置は、大きなバラツキを持っている。したがって、この状態で被試験ＩＣを吸着ヘッドに吸着し、直接テストトレイＴＳＴに運ぶと、テストトレイＴＳＴに形成されたＩＣ収納凹部に正確に落し込むことが困難となる。
【００３６】
このため、本実施形態の電子部品試験装置１では、カスタマトレイＫＳＴの設置位置とテストトレイＴＳＴとの間にプリサイサ３０５と呼ばれるＩＣの位置修正手段が設けられている。このプリサイサ３０５は、比較的深い凹部を有し、この凹部の周縁が傾斜面で囲まれた形状とされているので、この凹部に吸着ヘツドに吸着された被試験ＩＣを落し込むと、傾斜面で被試験ＩＣの落下位置が修正されることになる。これにより、８個の被試験ＩＣの相互の位置が正確に定まり、位置が修正された被試験ＩＣを再び吸着ヘッドで吸着してテストトレイＴＳＴに積み替えることで、テストトレイＴＳＴに形成されたＩＣ収納凹部に精度良く被試験ＩＣを積み替えることができる。
【００３７】
ローダ部３００の基板１０５には、当該ローダ部３００へ運ばれたカスタマトレイＫＳＴが基板１０５の上面に臨むように配置される一対の窓部３０６，３０６が開設されている。また、この窓部３０６のそれぞれには、当該窓部３０６に運ばれたカスタマトレイＫＳＴを保持するための保持用フック（図示を省略する。）が設けられており、カスタマトレイＫＳＴの上面が窓部３０６を介して基板１０５の表面に臨む位置でカスタマトレイＫＳＴが保持される。
【００３８】
また、それぞれの窓部３０６の下側には、カスタマトレイＫＳＴを昇降させるための昇降テーブル（図示を省略する。）が設けられており、ここでは試験前の被試験ＩＣが積み替えられて空になったカスタマトレイＫＳＴを載せて下降し、この空トレイをトレイ移送アーム２０５のトレイ収納部に受け渡す。
【００３９】
チャンバ部１００
本例の電子部品試験装置１は、ＩＣに高温もしくは低温の温度ストレスを与えた状態または温度ストレスを与えない状態でＩＣが適切に動作するかどうかを試験（検査）し、当該試験結果に応じてＩＣを分類する装置である。こうした温度ストレスを与えた状態での動作テストは、試験対象となる被試験ＩＣが多数搭載されたカスタマトレイＫＳＴから当該電子部品試験装置１内を搬送されるテストトレイＴＳＴに被試験ＩＣを載せ替えて実施される。
【００４０】
テストトレイＴＳＴは、ローダ部３００で被試験ＩＣが積み込まれたのちチャンバ部１００に送り込まれ、当該テストトレイＴＳＴに搭載された状態でチャンバ部１００において各被試験ＩＣが試験される。そして、試験済の被試験ＩＣがアンローダ部４００に運び出されたのち、当該アンローダ部４００において各被試験ＩＣは試験結果に応じたカスタマトレイＫＳＴに載せ替えられる。なお、試験済みＩＣがカスタマトレイＫＳＴに載せ替えられて空になったテストトレイＴＳＴは、テストトレイ搬送装置１０８によって、ローダ部３００を介して恒温槽１０１へ返送される。
【００４１】
チャンバ部１００は、テストトレイＴＳＴに積み込まれた被試験ＩＣに目的とする高温又は低温の温度ストレスを与える恒温槽１０１と、この恒温槽１０１で熱ストレスが与えられた状態にある被試験ＩＣをテストヘッド１０４に接触させるテストチャンバ１０２と、テストチャンバ１０２で試験された被試験ＩＣから、与えられた熱ストレイスを除去する除熱槽１０３とで構成されている。
【００４２】
除熱槽１０３では、恒温槽１０１で高温を印加した場合は、被試験ＩＣを送風により冷却して室温に戻し、また恒温槽１０１で例えば−３０℃程度の低温を印加した場合は、被試験ＩＣを温風またはヒータ等で加熱して結露が生じない程度の温度まで戻す。そして、この除熱された被試験ＩＣをアンローダ部４００に搬出する。
【００４３】
アンローダ部４００
アンローダ部４００にも、ローダ部３００に設けられたＸ−Ｙ搬送装置３０４と同一構造のＸ−Ｙ搬送装置４０４，４０４が設けられ、このＸ−Ｙ搬送装置４０４，４０４によって、アンローダ部４００に運び出されたテストトレイＴＳＴから試験済の被試験ＩＣがカスタマトレイＫＳＴに積み替えられる。
【００４４】
アンローダ部４００の基板１０５には、当該アンローダ部４００へ運ばれたカスタマトレイＫＳＴが基板１０５の上面に臨むように配置される６つの窓部４０６が設けられている。また、この窓部４０６のそれぞれには、当該窓部４０６に運ばれたカスタマトレイＫＳＴを保持するための保持用フック（図示を省略する。）が設けられており、カスタマトレイＫＳＴの上面が窓部４０６を介して基板１０５の表面に臨む位置でカスタマトレイＫＳＴが保持される。保持用フックの具体的構成は特に限定されず、たとえば機構的にカスタマトレイＫＳＴを掴んだり、あるいは吸着手段によりカスタマトレイＫＳＴを保持することができる。
【００４５】
また、それぞれの窓部４０６の下側には、カスタマトレイＫＳＴを昇降させるための昇降テーブル（図示を省略する。）が設けられており、ここでは試験済の被試験ＩＣが積み替えられて満杯になったカスタマトレイＫＳＴを載せて下降し、この満杯トレイをトレイ移送アーム２０５のトレイ収納部に受け渡す。なお、昇降テーブルの代わりに、それぞれの窓部４０６の直下に位置するストッカＳＴＫのエレベータ２０４によってカスタマトレイＫＳＴの昇降を行うこともできる。
【００４６】
なお、本実施形態の電子部品試験装置１では、アンローダ部４００のテストトレイＴＳＴと窓部４０６との間にバッファ部４０５を設け、このバッファ部４０５に希にしか発生しないカテゴリの被試験ＩＣを一時的に預かるようにしている。
【００４７】
試験済みＩＣの分類制御方法
本実施形態の電子部品試験装置１では、図３に示すようにアンローダ部４００の窓部４０６には最大６枚のカスタマトレイＫＳＴを配置することができる。したがって、リアルタイムに仕分けできるカテゴリは最大６分類であるが、本例では最も発生比率が大きいカテゴリの被試験ＩＣ用に、２枚のカスタマトレイを割り付けることとしている。
【００４８】
同図に示す例でカテゴリＣＡ１の発生比率が最も大きい場合には、このカテゴリＣＡ１の被試験ＩＣを搭載するカスタマトレイＫＴＳに２枚のカスタマトレイを割り付け、他のカテゴリＣＡ２〜ＣＡ５については１枚ずつのカスタマトレイＫＳＴが割り付ける。
【００４９】
分類するカテゴリの仕様については特に限定されないが、たとえば良品を高速応答素子（カテゴリＣＡ１）、中速応答素子（カテゴリＣＡ２）、低速応答素子（カテゴリＣＡ３）の３つのカテゴリに分類し、これに不良品（カテゴリＣＡ４）と再試験を必要とするもの（カテゴリＣＡ５）に分類することができる。
【００５０】
また、本例では発生比率の最も大きいカテゴリに２枚のカスタマトレイＫＳＴを割り付けるが、上位２つのカテゴリの発生比率がほぼ同じ大きさである場合には、これら２つのカテゴリを３枚のカスタマトレイに割り付け、３枚のうちの一つを何れのカテゴリにも使用できるように被試験ＩＣを移載する。
【００５１】
次に動作を説明する。
ここでは図３乃至図５を参照しながら、アンローダ部４００のテストトレイＴＳＴから窓部４０６に設置された６枚のカスタマトレイＫＳＴに対して試験済みＩＣを分類しながら移載する一連の動作を説明する。なお、以下の説明ではアンローダ部４００の位置ＵＬ１，ＵＬ２には２枚のテストトレイＴＳＴ−１，ＴＳＴ−２が在席し、これらテストトレイＴＳＴ−１，ＴＳＴ−２には試験済みＩＣが満載されており、これを窓部４０６にセットされた６枚のカスタマトレイＫＳＴ−１〜ＫＳＴ−６に移載するものとする。
【００５２】
まず、テストヘッド１０４におけるテスト結果を読み込み、現在アンローダ部ＵＬ１，ＵＬ２のそれぞれに在席するテストトレイＴＳＴ−１，ＴＳＴ−２に搭載された試験済みＩＣのカテゴリ別発生比率を演算する（ステップ１，２）。その結果、たとえば高速応答素子が８９％、中速応答素子が５％、低速応答素子が３％、不良品が２％、再試験品が１％であったとする。
【００５３】
ステップ３では、ステップ２で解析されたカテゴリの発生比率に基づいてカスタマトレイＫＳＴ−１〜ＫＳＴ−６の割り付けを行うが、このとき８９％と最も発生比率が大きい高速応答素子のカテゴリをＣＡ１として２枚のカスタマトレイＫＳＴ−１，ＫＳＴ−２を割り付け、それ以外のカテゴリＣＡ２〜ＣＡ５は順次中速応答素子、低速応答素子、不良品、再試験品としてカスタマトレイＫＳＴ−３〜ＫＳＴ−６を割り付ける。なお、カスタマトレイに対するカテゴリの割り付けは、本実施形態にのみ限定されず、たとえば被試験ＩＣの発生比率が殆ど変動しなければ予め割り付けておくこともできる。また、発生比率が殆ど変動しないカテゴリのみ予め割り付けを行っておき、変動するカテゴリのみその都度割り付けても良い。
【００５４】
次に、ステップ４にてｎを１としたのち、ステップ５に進み、第ｎ番目に発生比率が小さいカテゴリの試験済みＩＣのソーティングを開始する。ここでは１回目のソーティングであることから、最も発生比率の小さい再試験品（１％）のカテゴリの試験済みＩＣをソーティングする。この移載にはＸＹ搬送装置４０４が用いられる。
【００５５】
ステップ５において最も発生比率が小さい再試験品のソーティングを終了すると、ステップ７へ進んでｎに１を加えステップ５へ戻る。すなわち、第２番目に発生比率が小さいカテゴリ、ここでは不良品（２％）のカテゴリの試験済みＩＣをソーティングする。このような操作は、第５番目に発生比率が小さい、すなわち最も発生比率が大きいカテゴリ、ここでは高速応答素子（８９％）のカテゴリの試験済みＩＣのソーティングを終了するまで継続する（ステップ８）。
【００５６】
図５を参照してステップ５のサブルーチンを説明する。
ステップ５において、第ｎ番目に発生比率が小さいカテゴリの試験済みＩＣのソーティングを実行する場合、ステップ５０１にてまずはアンローダ部ＵＬ１のテストトレイＴＳＴ１にある試験済みＩＣからソーティングを開始する。そして、ステップ５０５にて、現在分類中のカテゴリの試験済みＩＣがアンローダ部ＵＬ１のテストトレイＴＳＴ−１から全てソーティングされたら、ステップ５０６へ進み、隣のアンローダ部ＵＬ２のテストトレイＴＳＴ２にある当該カテゴリに分類される試験済みＩＣをカスタマトレイに移載する。以上の動作は、そのカテゴリに分類される試験済みＩＣがなくなるか（ステップ５１０）、それともそのカテゴリの試験済みＩＣ用カスタマトレイが満杯になって新たな空トレイがセットされるまで実行される。
【００５７】
すなわち、ステップ５０２において、たとえば再試験品のカテゴリＣＡ５に分類される試験済みＩＣ用カスタマトレイＫＳＴ−６が満杯になって、これを新たな空トレイと交換する動作に入ると、ステップ５０３へ進み、アンローダ部ＵＬ１のテストトレイＴＳＴ−１に存在する試験済みＩＣの中で最も発生比率が大きい、ここでは高速応答素子のカテゴリＣＡ１に分類される試験済みＩＣを該当するカスタマトレイＫＳＴ−１，ＫＳＴ−２に移載する。この動作は、ステップ５０４において先程の再試験品のカテゴリＣＡ５に相当するカスタマトレイＫＳＴ−６の交換が終了するまで行われる。またこの動作は、アンローダ部ＵＬ２のテストトレイＴＳＴ−２にある試験済みＩＣをソーティングしている間にも実行される（ステップ５０７〜ステップ５０９）。
【００５８】
このように、発生比率の高い高速応答素子のカテゴリＣＡ１のＩＣは個数が多いのでカスタマトレイＫＳＴ−１から移載して行くが、本実施形態では二つのカスタマトレイＫＳＴ−１，ＫＳＴ−２を高速応答素子用としているので、一方のカスタマトレイＫＳＴ−１が満杯になってこれを交換している間でも、他方のカスタマトレイＫＳＴ−２に残りの高速応答素子のカテゴリＣＡ１のＩＣを移載することができ、移載動作が中断されることがない。これにより、連続して移載動作を行うことができ、時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００５９】
また、本実施形態では、発生比率の低いカテゴリのＩＣから移載するとともに、当該カテゴリ用カスタマトレイを交換している間は、発生比率の高い、すなわち個数が多いＩＣのソーティングを実行するので、カスタマトレイの交換中もＩＣの移載動作を継続することができ、これにより時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００６０】
さらに、本実施形態では、アンローダ部ＵＬ１のみならず、当該アンローダ部ＵＬ１にソーティングすべきＩＣがなくなったら、隣のアンローダ部ＵＬ２からもソーティングするので、テストトレイＴＳＴの待ち時間もなくなり、これによっても時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００６１】
このとき、アンローダ部ＵＬ２にあるテストトレイＴＳＴ−２がアンローダ部ＵＬ１へ搬送されている間も、ＸＹ搬送装置と同期をとってソーティングすれば、より待ち時間をなくすことができ、さらに時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００６２】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００６３】
たとえば、テストトレイＴＳＴ−１，ＴＳＴ−２とカスタマトレイＫＳＴとの間に設けられたバッファ部４０５を利用し、目的とするカテゴリのカスタマトレイＫＳＴが窓部４０６に在席しないときは、当該バッファ部４０５にそのＩＣを一時的に移載しておき、そのカテゴリのカスタマトレイＫＳＴが窓部４０６の何れかにセットされたときに当該バッファ部４０５にあるＩＣを移載するように制御しても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の試験済み電子部品の分類制御方法を適用した電子部品試験装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す電子部品試験装置における電子部品およびトレイの取り廻し方法を示す概念図である。
【図３】本発明の試験済み電子部品の分類制御方法を適用した電子部品試験装置のローダ部およびアンローダ部を示す拡大図である。
【図４】本発明の試験済み電子部品の分類制御方法の実施形態を示すフローチャートである。
【図５】図４のステップ５のサブルーチンを示すフローチャートである。
【符号の説明】
１…電子部品試験装置
１００…チャンバ部
２００…トレイ格納部
３００…ローダ部
３０４…Ｘ−Ｙ搬送装置
３０６…窓部
４００…アンローダ部
４０４…Ｘ−Ｙ搬送装置
４０６…窓部
ＴＳＴ…テストトレイ（第１のトレイ）
ＫＳＴ…カスタマトレイ（第２のトレイ）
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路素子などの各種電子部品（以下、代表的にＩＣともいう。）をテストするための電子部品試験装置に関し、特に試験済み電子部品を試験結果に応じて分類する制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハンドラ（handler ）と称される電子部品試験装置では、トレイに収納された多数のＩＣを試験装置内に搬送し、各ＩＣをテストヘッドに電気的に接触させ、ＩＣ試験装置本体（tester）に試験を行わせる。そして、試験を終了すると各ＩＣをテストヘッドから搬出し、試験結果に応じたトレイに載せ替えることで、良品や不良品といったカテゴリへの仕分けが行われる。
【０００３】
従来のハンドラには、試験前のＩＣを収納したり試験済みのＩＣを収納するためのトレイ（以下、カスタマトレイともいう。）と、ハンドラ内を循環搬送されるトレイ（以下、テストトレイともいう。）とが相違するタイプのものがあり、この種のハンドラでは、試験の前後においてカスタマトレイとテストトレイとの間でＩＣの載せ替えが行われ、ＩＣをテストヘッドに接触させてテストを行うテスト工程においては、ＩＣはテストトレイに搭載された状態でテストヘッドに押し付けられる。
【０００４】
この試験を終了したＩＣを試験結果に応じたトレイへ載せ替える場合、良品、不良品、再検査といったカテゴリ分だけ空のカスタマトレイを用意し、これにＩＣを載せ替え、そのカスタマトレイが満杯になるとこれを搬出し、新たな空トレイと入れ替える。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＩＣ製品の検査仕様によっては仕分けすべきカテゴリ数がハンドラの一般分類数を超える場合もある。こうした場合、従来のハンドラでは、カスタマトレイを入れ替えて対応することが行われている。
【０００６】
しかしながら、カスタマトレイを入れ替えている間は分類のための移載動作が停止するので、分類数が増加すると時間あたりの処理個数が減少するという問題がある。
【０００７】
また、テストトレイからカスタマトレイへＩＣを移載する場合、従来のハンドラでは一つのテストトレイに搭載されたＩＣが全て移載されない限り、次のテストトレイからの移載に移らないので、分類数が増加するとこれによっても時間あたりの処理個数が減少する。さらに、テストトレイの交換中もＩＣの移載動作が停止するので、これによっても時間あたりの処理個数が減少する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、分類数が増加しても時間あたりの処理個数を維持できる試験済み電子部品の分類制御方法を提供することを目的とする。
【０００９】
本発明の第１の観点によれば、第１のトレイに搭載された試験済み電子部品を試験結果に応じた第２のトレイに分類して移載する試験済み電子部品の分類制御方法であって、試験結果から前記第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、発生比率の高いカテゴリの電子部品は、二以上の第２のトレイに移載する試験済み電子部品の分類制御方法が提供される。
【００１０】
また、本発明の第２の観点によれば、第１のトレイに搭載された試験済み電子部品を試験結果に応じた第２のトレイに分類して移載する試験済み電子部品の分類制御方法であって、試験結果から前記第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、発生比率の低いカテゴリの電子部品から移載するとともに、当該カテゴリの電子部品を搭載する第２のトレイの交換中は発生比率の高いカテゴリの電子部品を移載する試験済み電子部品の分類制御方法が提供される。
【００１１】
上記発明においては特に限定されないが、少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから該当する第２のトレイへ移載すべき電子部品がなくなったら他方の第１のトレイから前記第２のトレイへ移載することがより好ましい。
【００１２】
また、上記発明においては特に限定されないが、前記他方の第１のトレイが前記一方の第１のトレイのポジションへ搬送されている間も、当該他方の第１のトレイから電子部品を移載することがより好ましい。
【００１３】
また、上記発明においては特に限定されないが、少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから第２のトレイへ電子部品を移載すると同時に、他方の第１のトレイから前記第２のトレイへ電子部品を移載することもできる。
【００１４】
さらに、上記発明においては特に限定されないが、前記第１のトレイと前記第２のトレイの間にバッファ部を有し、前記第１のトレイに搭載された電子部品が分類される第２のトレイが在席しないときは、前記バッファ部に一時的に移載することがより好ましい。
【００１５】
【作用および発明の効果】
第１の発明では、試験結果から第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、発生比率の高いカテゴリの電子部品は、二以上の第２のトレイに移載する。
【００１６】
発生比率の高いカテゴリの電子部品は、移載すべき個数が多いので第２のトレイに移載したときの当該第２のトレイの交換回数も多いことになる。しかしながら、本発明では二以上の第２のトレイを用意してこれに移載するので、一方の第２のトレイが満杯になってこれを交換している間は他方の第２のトレイにそのカテゴリの電子部品を移載することができ、移載動作が中断される（第２のトレイを待機する）ことがない。これにより、連続して移載動作を行うことができ、時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００１７】
第２の発明では、試験結果から第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、発生比率の低いカテゴリの電子部品から移載するとともに、当該カテゴリの電子部品を搭載する第２のトレイの交換中は発生比率の高いカテゴリの電子部品を移載する。
【００１８】
すなわち、発生比率の低いカテゴリの電子部品は移載すべき個数が少ないので、分類数が多くなると第２のトレイの交換頻度が高い。しかしながら、本発明では発生比率の低いカテゴリの電子部品を移載すべき第２のトレイを交換している間は、発生比率の高い、すなわち個数が多い電子部品を移載するので、第２のトレイの交換中も電子部品の移載動作を継続することができ、これにより時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００１９】
また、少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから該当する第２のトレイへ移載すべき電子部品がなくなったら他方の第１のトレイから第２のトレイへ移載するように制御すれば、第１のトレイに対する待ち時間もなくなり、時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００２０】
このとき、他方の第１のトレイが一方の第１のトレイのポジションへ搬送されている間も、当該他方の第１のトレイから電子部品を移載するように制御すれば、より待ち時間をなくすことができ、さらに時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００２１】
また、少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから第２のトレイへ電子部品を移載すると同時に、他方の第１のトレイから第２のトレイへ電子部品を移載するように制御すれば、他方の第１のトレイの待ち時間がなくなり、これによっても時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００２２】
さらに、第１のトレイと第２のトレイの間にバッファ部を設け、第１のトレイに搭載された電子部品が分類される第２のトレイが在席しないときはバッファ部に一時的に移載するように制御すれば、移載動作が中断されることがないことに加え、発生頻度の低いカテゴリの電子部品をまとめて第２のトレイに移載することができ、第２のトレイの交換時間を短縮することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の試験済み電子部品の分類制御方法が適用された電子部品試験装置を示す一部破断斜視図、図２は同装置の電子部品とトレイの取り廻し方法を示す概念図、図３はローダ部３００およびアンローダ部４００の拡大図、図４および図５は本発明の試験済み電子部品の分類制御方法の実施形態を示すフローチャートである。なお、図２および図３は本実施形態の電子部品試験装置におけるトレイの取り廻し方法を理解するための図であって、実際には上下方向に並んで配置されている部材を平面的に示した部分もある。したがって、その機械的（三次元的）構造は図１を参照して説明する。
【００２４】
図１および図２に示すように、本実施形態の電子部品試験装置１は、テストヘッドを含むチャンバ部１００と、これから試験を行なう被試験ＩＣを格納し、また試験済のＩＣを分類して格納するトレイ格納部２００と、被試験ＩＣをチャンバ部１００に送り込むローダ部３００と、チャンバ部１００で試験が行なわれた試験済のＩＣを分類して取り出すアンローダ部４００とから構成されている。
【００２５】
なお、以下の説明では、本発明の試験済み電子部品の分類制御方法をチャンバ方式の電子部品試験装置１に適用した場合を示すが、本発明の試験済み電子部品の分類制御方法は被試験ＩＣが搭載されたトレイ（本発明の第１のトレイに相当する。以下、テストトレイＴＳＴともいう。）を用いるハンドラであれば適用することができ、下記のチャンバ方式電子部品試験装置にのみ限定されるものではない。
【００２６】
トレイ格納部２００
トレイ格納部２００には、試験前の被試験ＩＣを格納する試験前ＩＣストッカ２０１と、試験の結果に応じて分類された被試験ＩＣを格納する試験済ＩＣストッカ２０２とが設けられている。
【００２７】
試験前ＩＣストッカ２０１及び試験済ＩＣストッカ２０２は、詳細な図示は省略するが、枠状のトレイ支持枠と、このトレイ支持枠の下部から侵入して上部に向って昇降可能とするエレベータとで構成され、トレイ支持枠には、カスタマトレイＫＳＴ（本発明の第２のトレイに相当する。）が複数積み重ねられて支持され、この積み重ねられたカスタマトレイＫＳＴがエレベータによって上下に移動される。
【００２８】
そして、試験前ＩＣストッカ２０１には、これから試験が行われる被試験ＩＣが格納されたカスタマトレイＫＳＴが積層されて保持される一方で、試験済ＩＣストッカ２０２には、試験を終えた被試験ＩＣが適宜に分類されたカスタマトレイＫＳＴが積層されて保持されている。
【００２９】
被試験ＩＣストッカ２０１及び試験済ＩＣストッカ２０２の上部には、基板１０５との間において、被試験ＩＣストッカ２０１と試験済ＩＣストッカ２０２の配列方向の全範囲にわたって移動するトレイ移送アーム２０５が設けられている。本例では、被試験ＩＣストッカ２０１および試験済ＩＣストッカ２０２の直上（Ｙ軸方向にずれることなく）にローダ部３００およびアンローダ部４００の窓３０６，４０６が設けられているので、トレイ移送アーム２０５もＸ軸およびＺ軸方向にのみ移動可能になっている。ちなみに、トレイ格納部２００とローダ部３００またはアンローダ部４００との位置関係によっては、トレイ移送アーム２０５をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の全ての方向に移動可能としても良い。
【００３０】
このトレイ移送アーム２０５は、カスタマトレイＫＳＴを左右（Ｘ方向）に並べて保持するための一対のトレイ収納部を備え、ローダ部３００およびアンローダ部４００と被試験ＩＣストッカ２０１および試験済ＩＣストッカ２０２との間でカスタマトレイＫＳＴの移送を行う。
【００３１】
なお、試験前ＩＣストッカ２０１と試験済ＩＣストッカ２０２とは同じ構造とされているので、試験前ＩＣストッカ２０１と試験済ＩＣストッカ２０２とのそれぞれの数を必要に応じて適宜数に設定することができる。図１及び図２に示す例では、試験前ストッカ２０１に２個のストッカＳＴＫ−Ｂを設け、またその隣にアンローダ部４００へ送られる空ストッカＳＴＫ−Ｅを２個設けるとともに、試験済ＩＣストッカ２０２に８個のストッカＳＴＫ−１，ＳＴＫ−２，‥・，ＳＴＫ−８を設けて試験結果に応じて最大８つの分類に仕分けして格納できるように構成されている。たとえば、良品と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のもの、中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再試験が必要なもの等に仕分けすることができる。
【００３２】
ローダ部３００
上述したカスタマトレイＫＳＴは、ローダ部３００に運ばれ、当該ローダ部３００において、カスタマトレイＫＳＴに積み込まれた被試験ＩＣが、ローダ部３００に停止しているテストトレイＴＳＴに積み替えられる。
【００３３】
カスタマトレイＫＳＴからテストトレイＴＳＴへ被試験ＩＣを積み替えるＩＣ搬送装置としては、図１および図２に示すように、基板１０５の上部に架設された２本のレール３０１と、この２本のレール３０１によってテストトレイＴＳＴとカスタマトレイＫＳＴとの間をＹ方向に往復することができる可動アーム３０２と、この可動アーム３０２によって支持され、可動アーム３０２に沿ってＸ方向に移動できる可動ヘッド３０３とを備えたＸ−Ｙ搬送装置３０４が用いられる。
【００３４】
このＸ−Ｙ搬送装置３０４の可動ヘッド３０３には、吸着ヘッドが下向に装着されており、この吸着ヘッドが空気を吸引しながら移動することで、カスタマトレイＫＳＴから被試験ＩＣを吸着し、その被試験ＩＣをテストトレイＴＳＴに積み替える。こうした吸着ヘッドは、可動ヘッド３０３に対して例えば８本程度装着されており、一度に８個の被試験ＩＣをテストトレイＴＳＴに積み替えることができる。
【００３５】
なお、一般的なカスタマトレイＫＳＴにあっては、被試験ＩＣを搭載するための凹状ポケットが、被試験ＩＣの形状よりも比較的大きく形成されているので、カスタマトレイＫＳＴに格納された状態における被試験ＩＣの位置は、大きなバラツキを持っている。したがって、この状態で被試験ＩＣを吸着ヘッドに吸着し、直接テストトレイＴＳＴに運ぶと、テストトレイＴＳＴに形成されたＩＣ収納凹部に正確に落し込むことが困難となる。
【００３６】
このため、本実施形態の電子部品試験装置１では、カスタマトレイＫＳＴの設置位置とテストトレイＴＳＴとの間にプリサイサ３０５と呼ばれるＩＣの位置修正手段が設けられている。このプリサイサ３０５は、比較的深い凹部を有し、この凹部の周縁が傾斜面で囲まれた形状とされているので、この凹部に吸着ヘツドに吸着された被試験ＩＣを落し込むと、傾斜面で被試験ＩＣの落下位置が修正されることになる。これにより、８個の被試験ＩＣの相互の位置が正確に定まり、位置が修正された被試験ＩＣを再び吸着ヘッドで吸着してテストトレイＴＳＴに積み替えることで、テストトレイＴＳＴに形成されたＩＣ収納凹部に精度良く被試験ＩＣを積み替えることができる。
【００３７】
ローダ部３００の基板１０５には、当該ローダ部３００へ運ばれたカスタマトレイＫＳＴが基板１０５の上面に臨むように配置される一対の窓部３０６，３０６が開設されている。また、この窓部３０６のそれぞれには、当該窓部３０６に運ばれたカスタマトレイＫＳＴを保持するための保持用フック（図示を省略する。）が設けられており、カスタマトレイＫＳＴの上面が窓部３０６を介して基板１０５の表面に臨む位置でカスタマトレイＫＳＴが保持される。
【００３８】
また、それぞれの窓部３０６の下側には、カスタマトレイＫＳＴを昇降させるための昇降テーブル（図示を省略する。）が設けられており、ここでは試験前の被試験ＩＣが積み替えられて空になったカスタマトレイＫＳＴを載せて下降し、この空トレイをトレイ移送アーム２０５のトレイ収納部に受け渡す。
【００３９】
チャンバ部１００
本例の電子部品試験装置１は、ＩＣに高温もしくは低温の温度ストレスを与えた状態または温度ストレスを与えない状態でＩＣが適切に動作するかどうかを試験（検査）し、当該試験結果に応じてＩＣを分類する装置である。こうした温度ストレスを与えた状態での動作テストは、試験対象となる被試験ＩＣが多数搭載されたカスタマトレイＫＳＴから当該電子部品試験装置１内を搬送されるテストトレイＴＳＴに被試験ＩＣを載せ替えて実施される。
【００４０】
テストトレイＴＳＴは、ローダ部３００で被試験ＩＣが積み込まれたのちチャンバ部１００に送り込まれ、当該テストトレイＴＳＴに搭載された状態でチャンバ部１００において各被試験ＩＣが試験される。そして、試験済の被試験ＩＣがアンローダ部４００に運び出されたのち、当該アンローダ部４００において各被試験ＩＣは試験結果に応じたカスタマトレイＫＳＴに載せ替えられる。なお、試験済みＩＣがカスタマトレイＫＳＴに載せ替えられて空になったテストトレイＴＳＴは、テストトレイ搬送装置１０８によって、ローダ部３００を介して恒温槽１０１へ返送される。
【００４１】
チャンバ部１００は、テストトレイＴＳＴに積み込まれた被試験ＩＣに目的とする高温又は低温の温度ストレスを与える恒温槽１０１と、この恒温槽１０１で熱ストレスが与えられた状態にある被試験ＩＣをテストヘッド１０４に接触させるテストチャンバ１０２と、テストチャンバ１０２で試験された被試験ＩＣから、与えられた熱ストレイスを除去する除熱槽１０３とで構成されている。
【００４２】
除熱槽１０３では、恒温槽１０１で高温を印加した場合は、被試験ＩＣを送風により冷却して室温に戻し、また恒温槽１０１で例えば−３０℃程度の低温を印加した場合は、被試験ＩＣを温風またはヒータ等で加熱して結露が生じない程度の温度まで戻す。そして、この除熱された被試験ＩＣをアンローダ部４００に搬出する。
【００４３】
アンローダ部４００
アンローダ部４００にも、ローダ部３００に設けられたＸ−Ｙ搬送装置３０４と同一構造のＸ−Ｙ搬送装置４０４，４０４が設けられ、このＸ−Ｙ搬送装置４０４，４０４によって、アンローダ部４００に運び出されたテストトレイＴＳＴから試験済の被試験ＩＣがカスタマトレイＫＳＴに積み替えられる。
【００４４】
アンローダ部４００の基板１０５には、当該アンローダ部４００へ運ばれたカスタマトレイＫＳＴが基板１０５の上面に臨むように配置される６つの窓部４０６が設けられている。また、この窓部４０６のそれぞれには、当該窓部４０６に運ばれたカスタマトレイＫＳＴを保持するための保持用フック（図示を省略する。）が設けられており、カスタマトレイＫＳＴの上面が窓部４０６を介して基板１０５の表面に臨む位置でカスタマトレイＫＳＴが保持される。保持用フックの具体的構成は特に限定されず、たとえば機構的にカスタマトレイＫＳＴを掴んだり、あるいは吸着手段によりカスタマトレイＫＳＴを保持することができる。
【００４５】
また、それぞれの窓部４０６の下側には、カスタマトレイＫＳＴを昇降させるための昇降テーブル（図示を省略する。）が設けられており、ここでは試験済の被試験ＩＣが積み替えられて満杯になったカスタマトレイＫＳＴを載せて下降し、この満杯トレイをトレイ移送アーム２０５のトレイ収納部に受け渡す。なお、昇降テーブルの代わりに、それぞれの窓部４０６の直下に位置するストッカＳＴＫのエレベータ２０４によってカスタマトレイＫＳＴの昇降を行うこともできる。
【００４６】
なお、本実施形態の電子部品試験装置１では、アンローダ部４００のテストトレイＴＳＴと窓部４０６との間にバッファ部４０５を設け、このバッファ部４０５に希にしか発生しないカテゴリの被試験ＩＣを一時的に預かるようにしている。
【００４７】
試験済みＩＣの分類制御方法
本実施形態の電子部品試験装置１では、図３に示すようにアンローダ部４００の窓部４０６には最大６枚のカスタマトレイＫＳＴを配置することができる。したがって、リアルタイムに仕分けできるカテゴリは最大６分類であるが、本例では最も発生比率が大きいカテゴリの被試験ＩＣ用に、２枚のカスタマトレイを割り付けることとしている。
【００４８】
同図に示す例でカテゴリＣＡ１の発生比率が最も大きい場合には、このカテゴリＣＡ１の被試験ＩＣを搭載するカスタマトレイＫＴＳに２枚のカスタマトレイを割り付け、他のカテゴリＣＡ２〜ＣＡ５については１枚ずつのカスタマトレイＫＳＴが割り付ける。
【００４９】
分類するカテゴリの仕様については特に限定されないが、たとえば良品を高速応答素子（カテゴリＣＡ１）、中速応答素子（カテゴリＣＡ２）、低速応答素子（カテゴリＣＡ３）の３つのカテゴリに分類し、これに不良品（カテゴリＣＡ４）と再試験を必要とするもの（カテゴリＣＡ５）に分類することができる。
【００５０】
また、本例では発生比率の最も大きいカテゴリに２枚のカスタマトレイＫＳＴを割り付けるが、上位２つのカテゴリの発生比率がほぼ同じ大きさである場合には、これら２つのカテゴリを３枚のカスタマトレイに割り付け、３枚のうちの一つを何れのカテゴリにも使用できるように被試験ＩＣを移載する。
【００５１】
次に動作を説明する。
ここでは図３乃至図５を参照しながら、アンローダ部４００のテストトレイＴＳＴから窓部４０６に設置された６枚のカスタマトレイＫＳＴに対して試験済みＩＣを分類しながら移載する一連の動作を説明する。なお、以下の説明ではアンローダ部４００の位置ＵＬ１，ＵＬ２には２枚のテストトレイＴＳＴ−１，ＴＳＴ−２が在席し、これらテストトレイＴＳＴ−１，ＴＳＴ−２には試験済みＩＣが満載されており、これを窓部４０６にセットされた６枚のカスタマトレイＫＳＴ−１〜ＫＳＴ−６に移載するものとする。
【００５２】
まず、テストヘッド１０４におけるテスト結果を読み込み、現在アンローダ部ＵＬ１，ＵＬ２のそれぞれに在席するテストトレイＴＳＴ−１，ＴＳＴ−２に搭載された試験済みＩＣのカテゴリ別発生比率を演算する（ステップ１，２）。その結果、たとえば高速応答素子が８９％、中速応答素子が５％、低速応答素子が３％、不良品が２％、再試験品が１％であったとする。
【００５３】
ステップ３では、ステップ２で解析されたカテゴリの発生比率に基づいてカスタマトレイＫＳＴ−１〜ＫＳＴ−６の割り付けを行うが、このとき８９％と最も発生比率が大きい高速応答素子のカテゴリをＣＡ１として２枚のカスタマトレイＫＳＴ−１，ＫＳＴ−２を割り付け、それ以外のカテゴリＣＡ２〜ＣＡ５は順次中速応答素子、低速応答素子、不良品、再試験品としてカスタマトレイＫＳＴ−３〜ＫＳＴ−６を割り付ける。なお、カスタマトレイに対するカテゴリの割り付けは、本実施形態にのみ限定されず、たとえば被試験ＩＣの発生比率が殆ど変動しなければ予め割り付けておくこともできる。また、発生比率が殆ど変動しないカテゴリのみ予め割り付けを行っておき、変動するカテゴリのみその都度割り付けても良い。
【００５４】
次に、ステップ４にてｎを１としたのち、ステップ５に進み、第ｎ番目に発生比率が小さいカテゴリの試験済みＩＣのソーティングを開始する。ここでは１回目のソーティングであることから、最も発生比率の小さい再試験品（１％）のカテゴリの試験済みＩＣをソーティングする。この移載にはＸＹ搬送装置４０４が用いられる。
【００５５】
ステップ５において最も発生比率が小さい再試験品のソーティングを終了すると、ステップ７へ進んでｎに１を加えステップ５へ戻る。すなわち、第２番目に発生比率が小さいカテゴリ、ここでは不良品（２％）のカテゴリの試験済みＩＣをソーティングする。このような操作は、第５番目に発生比率が小さい、すなわち最も発生比率が大きいカテゴリ、ここでは高速応答素子（８９％）のカテゴリの試験済みＩＣのソーティングを終了するまで継続する（ステップ８）。
【００５６】
図５を参照してステップ５のサブルーチンを説明する。
ステップ５において、第ｎ番目に発生比率が小さいカテゴリの試験済みＩＣのソーティングを実行する場合、ステップ５０１にてまずはアンローダ部ＵＬ１のテストトレイＴＳＴ１にある試験済みＩＣからソーティングを開始する。そして、ステップ５０５にて、現在分類中のカテゴリの試験済みＩＣがアンローダ部ＵＬ１のテストトレイＴＳＴ−１から全てソーティングされたら、ステップ５０６へ進み、隣のアンローダ部ＵＬ２のテストトレイＴＳＴ２にある当該カテゴリに分類される試験済みＩＣをカスタマトレイに移載する。以上の動作は、そのカテゴリに分類される試験済みＩＣがなくなるか（ステップ５１０）、それともそのカテゴリの試験済みＩＣ用カスタマトレイが満杯になって新たな空トレイがセットされるまで実行される。
【００５７】
すなわち、ステップ５０２において、たとえば再試験品のカテゴリＣＡ５に分類される試験済みＩＣ用カスタマトレイＫＳＴ−６が満杯になって、これを新たな空トレイと交換する動作に入ると、ステップ５０３へ進み、アンローダ部ＵＬ１のテストトレイＴＳＴ−１に存在する試験済みＩＣの中で最も発生比率が大きい、ここでは高速応答素子のカテゴリＣＡ１に分類される試験済みＩＣを該当するカスタマトレイＫＳＴ−１，ＫＳＴ−２に移載する。この動作は、ステップ５０４において先程の再試験品のカテゴリＣＡ５に相当するカスタマトレイＫＳＴ−６の交換が終了するまで行われる。またこの動作は、アンローダ部ＵＬ２のテストトレイＴＳＴ−２にある試験済みＩＣをソーティングしている間にも実行される（ステップ５０７〜ステップ５０９）。
【００５８】
このように、発生比率の高い高速応答素子のカテゴリＣＡ１のＩＣは個数が多いのでカスタマトレイＫＳＴ−１から移載して行くが、本実施形態では二つのカスタマトレイＫＳＴ−１，ＫＳＴ−２を高速応答素子用としているので、一方のカスタマトレイＫＳＴ−１が満杯になってこれを交換している間でも、他方のカスタマトレイＫＳＴ−２に残りの高速応答素子のカテゴリＣＡ１のＩＣを移載することができ、移載動作が中断されることがない。これにより、連続して移載動作を行うことができ、時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００５９】
また、本実施形態では、発生比率の低いカテゴリのＩＣから移載するとともに、当該カテゴリ用カスタマトレイを交換している間は、発生比率の高い、すなわち個数が多いＩＣのソーティングを実行するので、カスタマトレイの交換中もＩＣの移載動作を継続することができ、これにより時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００６０】
さらに、本実施形態では、アンローダ部ＵＬ１のみならず、当該アンローダ部ＵＬ１にソーティングすべきＩＣがなくなったら、隣のアンローダ部ＵＬ２からもソーティングするので、テストトレイＴＳＴの待ち時間もなくなり、これによっても時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００６１】
このとき、アンローダ部ＵＬ２にあるテストトレイＴＳＴ−２がアンローダ部ＵＬ１へ搬送されている間も、ＸＹ搬送装置と同期をとってソーティングすれば、より待ち時間をなくすことができ、さらに時間あたりの処理個数を増加させることができる。
【００６２】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００６３】
たとえば、テストトレイＴＳＴ−１，ＴＳＴ−２とカスタマトレイＫＳＴとの間に設けられたバッファ部４０５を利用し、目的とするカテゴリのカスタマトレイＫＳＴが窓部４０６に在席しないときは、当該バッファ部４０５にそのＩＣを一時的に移載しておき、そのカテゴリのカスタマトレイＫＳＴが窓部４０６の何れかにセットされたときに当該バッファ部４０５にあるＩＣを移載するように制御しても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の試験済み電子部品の分類制御方法を適用した電子部品試験装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す電子部品試験装置における電子部品およびトレイの取り廻し方法を示す概念図である。
【図３】本発明の試験済み電子部品の分類制御方法を適用した電子部品試験装置のローダ部およびアンローダ部を示す拡大図である。
【図４】本発明の試験済み電子部品の分類制御方法の実施形態を示すフローチャートである。
【図５】図４のステップ５のサブルーチンを示すフローチャートである。
【符号の説明】
１…電子部品試験装置
１００…チャンバ部
２００…トレイ格納部
３００…ローダ部
３０４…Ｘ−Ｙ搬送装置
３０６…窓部
４００…アンローダ部
４０４…Ｘ−Ｙ搬送装置
４０６…窓部
ＴＳＴ…テストトレイ（第１のトレイ）
ＫＳＴ…カスタマトレイ（第２のトレイ）
Claims (6)
- 第１のトレイに搭載された試験済み電子部品を試験結果に応じた第２のトレイに分類して移載する試験済み電子部品の分類制御方法であって、
試験結果から前記第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、
発生比率の高いカテゴリの電子部品は、二以上の第２のトレイに移載する試験済み電子部品の分類制御方法において、
少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから該当する第２のトレイへ移載すべき電子部品がなくなったら他方の第１のトレイから前記第２のトレイへ移載し、
前記他方の第１のトレイが前記一方の第１のトレイのポジションへ搬送されている間も、当該他方の第１のトレイから電子部品を移載する試験済み電子部品の分類制御方法。 - 第１のトレイに搭載された試験済み電子部品を試験結果に応じた第２のトレイに分類して移載する試験済み電子部品の分類制御方法であって、
試験結果から前記第１のトレイに搭載された試験済み電子部品のカテゴリ別発生比率を算出し、
発生比率の低いカテゴリの電子部品から移載するとともに、当該カテゴリの電子部品を搭載する第２のトレイの交換中は発生比率の高いカテゴリの電子部品を移載する試験済み電子部品の分類制御方法。 - 少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから該当する第２のトレイへ移載すべき電子部品がなくなったら他方の第１のトレイから前記第２のトレイへ移載する請求項２記載の試験済み電子部品の分類制御方法。
- 前記他方の第１のトレイが前記一方の第１のトレイのポジションへ搬送されている間も、当該他方の第１のトレイから電子部品を移載する請求項３記載の試験済み電子部品の分類制御方法。
- 少なくとも二つのポジションのそれぞれに第１のトレイが在席し、一方の第１のトレイから第２のトレイへ電子部品を移載すると同時に、他方の第１のトレイから前記第２のトレイへ電子部品を移載する請求項２記載の試験済み電子部品の分類制御方法。
- 前記第１のトレイと前記第２のトレイの間にバッファ部を有し、前記第１のトレイに搭載された電子部品が分類される第２のトレイが在席しないときは、前記バッファ部に一時的に移載する請求項１乃至５のいずれか一項に記載の試験済み電子部品の分類制御方法。
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