JP6462843B1 - 検出方法、検査方法、検出装置及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る検出方法は、パルス光を含む照明光L11を用いて検査対象を照明するステップと、照明光L11によって照明された検査対象からの光を集光し、集光した光を検査用検出器TD1により検出して、検査対象の画像データを取得するステップと、照明光L11の一部を用いて補正用検出器TD2を照明することにより検出された照明光L11の輝度分布の画像データを取得するステップと、輝度分布の画像データに基づいて、検査対象の画像データの補正を行うことにより、検査用画像データを検出するステップと、を備える。
【選択図】図1
Description
実施形態1に係る検査装置及び検査方法を説明する。まず、検査装置を説明する。その後、検査装置を用いた検査方法を説明する。
本実施形態の検査装置の構成を説明する。図1は、実施形態に係る検査装置の構成を例示した図である。図1に示すように、検査装置1は、照明光学系10、検出光学系20、モニタ部30及び処理部40を備えている。照明光学系10は、光源11、楕円面鏡12、楕円面鏡13及び落とし込みミラー14を有している。検出光学系20は、穴開き凹面鏡21、凸面鏡22及び検査用検出器TD1を有している。穴開き凹面鏡21及び凸面鏡22は、シュバルツシルト拡大光学系を構成している。モニタ部30は、カットミラー31、凹面鏡32及び補正用検出器TD2を有している。
次に、実施形態1に係る検査装置1の動作として、検査装置1を用いた検査方法を説明する。図3は、実施形態1に係る検査方法を例示したフローチャート図である。
条件2は、以下のように言い換えてもよい。すなわち、光源11は、TDI検出器の画像データの積算時間τI内にちょうどN回発光する。
τTC=τS/MC (13)
τTI=τTc/R=τS/(MC×R) (15)
τTC=τS/MC=200/16=12.5[μs](80[kHz]) (17)
τTI=τS/(MC×R)=200/16×4=3.125[μs](320[kHz]) (19)
本実施形態では、補正用検出器TD2により照明光L11の輝度分布の画像データを取得し、検査対象の画像データを補正している。よって、検査対象の画像データを精度よく検出することができる。
次に、実施形態2に係る検査装置2を説明する。本実施形態の検査装置2は、遮光部を備えている。図14は、実施形態2に係る検査装置の構成を例示した図である。図14に示すように、検査装置2において、検査用検出器TD1における反射光L12の入射面上及び補正用検出器TD2における照明光L11の入射面上に遮光部60が配置されている。その他の構成は、実施形態1の検査装置1と同様である。
10 照明光学系
11 光源
12、13 楕円面鏡
14 落とし込みミラー
15 光軸
20 検出光学系
21 穴開き凹面鏡
21a 穴
22 凸面鏡
30 モニタ部
31 カットミラー
32 凹面鏡
40 処理部
50 EUVマスク
51 上面
52 ステージ
60 遮光部
61 本体部
62 ピエゾ素子
63a、63b ファインポジショナ
64a、64b 遮光板
65 開口部
66a、66b 辺
67a、67b 凹部
68a、68b、68d、68e 梁
68c、68f 固定部
69 ノッチ
L11 照明光
L12 反射光
IF1 集光点
TD1 検査用検出器
TD2 補正用検出器
Claims (18)
- パルス光を含む照明光を用いて検査対象を照明するステップと、
前記照明光によって照明された前記検査対象からの光を集光し、集光した前記光を検査用検出器により検出して、前記検査対象の画像データを取得するステップと、
前記照明光の一部を用いて補正用検出器を照明することにより検出された前記照明光の輝度分布の画像データを取得するステップと、
前記輝度分布の画像データに基づいて、前記検査対象の画像データの補正を行うことにより、検査用画像データを検出するステップと、
を備え、
前記パルス光を含む照明光を発生させる光源の発光タイミングを、前記検査用検出器及び前記補正用検出器の転送タイミングと一致しないように同期制御する検出方法。 - パルス光を含む照明光を用いて検査対象を照明するステップと、
前記照明光によって照明された前記検査対象からの光を集光し、集光した前記光を検査用検出器により検出して、前記検査対象の画像データを取得するステップと、
前記照明光の一部を用いて補正用検出器を照明することにより検出された前記照明光の輝度分布の画像データを取得するステップと、
前記輝度分布の画像データに基づいて、前記検査対象の画像データの補正を行うことにより、検査用画像データを検出するステップと、
を備え、
前記パルス光の発光周期をτ S とし、
前記検査用検出器の画像データの積算時間内に、前記パルス光が発光する回数をNとした場合に、
前記補正用検出器の転送方向画素数をP TC とし、
前記補正用検出器の転送周期をτ TC とすると、M C を整数として、
P TC =M C ×N
τ TC =τ S /M C
を満たすように、前記補正用検出器の前記転送方向画素数及び前記補正用検出器の前記転送周期を決定する検出方法。 - 前記輝度分布の画像データの倍率に対する前記検査対象の画像データの倍率をRとした場合に、
前記検査用検出器の転送方向画素数をPTIとし、
前記検査用検出器の転送周期をτTIとすると、
PTI=R×MC×N
τTI=τS/(MC×R)
を満たすように、前記検査用検出器の前記転送方向画素数及び前記検査用検出器の前記転送周期を決定する、
請求項2に記載の検出方法。 - 前記検査用検出器及び前記補正用検出器の前記転送方向画素数を、ファインポジショナに取付けられた遮光板により調整する、
請求項2または3に記載の検出方法。 - 前記パルス光を含む照明光を発生させる光源の発光タイミングを、前記検査用検出器及び前記補正用検出器の転送タイミングと一致しないように同期制御する、
請求項2〜4のいずれか一項に記載の検出方法。 - 前記輝度分布の画像データにおける倍率を、前記検査対象の画像データの倍率よりも低くする、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の検出方法。 - 前記照明光の輝度分布の画像データを取得するステップにおいて、
前記検査対象に対して前記照明光を入射させる落とし込みミラーと、前記照明光を収束光として前記落とし込みミラーに入射させる反射鏡と、の間の前記照明光の一部をカットミラーで取り出す、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の検出方法。 - 前記カットミラーが配置された位置における前記照明光の光軸に直交する断面の断面積において、前記一部の断面積を、前記一部以外の断面積よりも小さくする、
請求項7に記載の検出方法。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の検出方法により、前記検査用画像データを検出するステップの後に、前記検査用画像データを用いて、前記検査対象を検査するステップをさらに備えた、
検査方法。 - パルス光を含む照明光を用いて検査対象を照明する照明光学系と、
前記照明光によって照明された前記検査対象からの光を集光し、集光した前記光を検査用検出器により検出して、前記検査対象の画像データを取得する検出光学系と、
前記照明光の一部を用いて補正用検出器を照明することにより検出された前記照明光の輝度分布の画像データを取得するモニタ部と、
前記輝度分布の画像データに基づいて、前記検査対象の画像データの補正を行うことにより、検査用画像データを検出する処理部と、
を備え、
前記パルス光を含む照明光を発生させる光源の発光タイミングを、前記検査用検出器及び前記補正用検出器の転送タイミングと一致しないように同期制御した検出装置。 - パルス光を含む照明光を用いて検査対象を照明する照明光学系と、
前記照明光によって照明された前記検査対象からの光を集光し、集光した前記光を検査用検出器により検出して、前記検査対象の画像データを取得する検出光学系と、
前記照明光の一部を用いて補正用検出器を照明することにより検出された前記照明光の輝度分布の画像データを取得するモニタ部と、
前記輝度分布の画像データに基づいて、前記検査対象の画像データの補正を行うことにより、検査用画像データを検出する処理部と、
を備え、
前記パルス光の発光周期をτ S とし、
前記検査用検出器の画像データの積算時間内に、前記パルス光が発光する回数をNとした場合に、
前記補正用検出器の転送方向画素数をP TC とし、
前記補正用検出器の転送周期をτ TC とすると、M C を整数として、
前記補正用検出器の前記転送方向画素数及び前記補正用検出器の前記転送周期は、
P TC =M C ×N
τ TC =τ S /M C
を満たす検出装置。 - 前記輝度分布の画像データの倍率に対する前記検査対象の画像データの倍率をRとし、
前記検査用検出器の転送方向画素数をPTIとし、
前記検査用検出器の転送周期をτTIとすると、
前記検査用検出器の前記転送方向画素数及び前記検査用検出器の前記転送周期は、
PTI=R×MC×N
τTI=τS/(MC×R)
を満たす、
請求項11に記載の検出装置。 - 前記検査用検出器及び前記補正用検出器の前記転送方向画素数を、ファインポジショナに取付けられた遮光板により調整する遮光部をさらに備えた、
請求項11または12に記載の検出装置。 - 前記パルス光を含む照明光を発生させる光源の発光タイミングを、前記検査用検出器及び前記補正用検出器の転送タイミングと一致しないように同期制御した、
請求項11〜13のいずれか一項に記載の検出装置。 - 前記モニタ部が取得した前記輝度分布の画像データにおける倍率は、前記検出光学系が取得した前記検査対象の画像データの倍率よりも低い、
請求項10〜14のいずれか一項に記載の検出装置。 - 前記照明光学系は、
前記検査対象に対して前記照明光を入射させる落とし込みミラーと、前記照明光を収束光として前記落とし込みミラーに入射させる反射鏡と、を有し、
前記モニタ部は、
前記反射鏡と、前記落とし込みミラーとの間の前記照明光の一部を取り出すカットミラーを有する、
請求項10〜15のいずれか一項に記載の検出装置。 - 前記カットミラーが配置された位置における前記照明光の光軸に直交する断面の断面積において、前記一部の断面積は、前記一部以外の断面積よりも小さい、
請求項16に記載の検出装置。 - 請求項10〜17のいずれか一項に記載の検出装置を備え、
前記処理部は、検出した前記検査用画像データを用いて、前記検査対象を検査する、
検査装置。
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