JP6371022B1 - 照明方法、検査方法、照明装置及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る照明方法は、光源101から取り出された照明光を反射させて第1集光点IF1に集光させるように第1楕円面鏡103を配置するステップと、第1集光点IF1で集光した後に第1集光点IF1から拡がる照明光を反射させて集光させるように第2楕円面鏡104を配置するステップと、第1集光点IF1の近傍に、照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材115を配置させるステップと、第1楕円面鏡103及び第2楕円面鏡104を介して集光させた照明光により検査対象110を照明するステップと、を備える。
【選択図】図1
Description
実施形態1に係る検査装置について、図を参照しながら説明する。まず、検査装置の構成を説明する。その後、検査装置による検査方法を説明する。図1は、実施形態1に係る検査装置100を例示した構成図である。図1に示すように、実施形態1に係る検査装置100は、例えば、EUVマスクを検査対象110とし、EUVマスクのパターンを検査する。ステージ111上に配置された検査対象110の検査面がXY平面となるようにXYZ直交座標軸を導入する。検査装置100は、光源101、照明光学系120、検出光学系130及び検出器109を備えている。
本実施形態の検査装置100は、光源101から取り出された照明光EUV02を検査対象110へ導く間に第1集光点IF1を形成している。そして、第1集光点IFの近傍において、円錐状のビームとなった照明光EUV02の外周面の2箇所を直線的にカットするように、遮光部材115を配置させている。よって、検査対象110の検査面への照明光EUV04の照射位置がパルスごとに僅かにずれたとしても、検査領域131に渡って積算されるパルス状の照明光EUV04のエネルギー密度分布は、検査面の位置に依らずにほぼ等しくなる。このことを以下で図を用いて説明する。
次に、実施形態2を説明する。実施形態2に係る検査装置は、実施形態1に係る検査装置1と、遮光部材215の構成が異なっている。図12は、実施形態2に係る検査装置において、第1集光点IF1近傍を例示した図である。
次に、実施形態3を説明する。本実施形態は、光源をLPP光源としている。また、本実施形態は、第3楕円面鏡を含んでいる。図14は、実施形態3に係る検査装置を例示した構成図である。
11 基板
12 多層膜
13 吸収体
14 保護膜
100、300 検査装置
101、310 光源
102 プラズマ
103、321 第1楕円面鏡
104、322 第2楕円面鏡
105、107 平面鏡
106 シュバルツシルト光学系
106a 凹面鏡
106b 凸面鏡
108 凹面鏡
109 検出器
110 検査対象
111 XYステージ
112 Y方向スキャンテーブル
115、315 遮光部材
116 スリット
120、320 照明光学系
121 照明領域
130、330 検出光学系
131 検査領域
301 スズ供給タンク
302 スズドロップ
303 回収容器
304 レンズ
323 第3楕円面鏡
324 平面鏡
IF1 第1集光点
IF2 第2集光点
EUV01、EUV02、EUV03、EUV04 照明光
EUV300、EUV301、EUV302、EUV303、EUV304 照明光
EUV05、EUV06 光
PTN パターン
L0 照明光
SC スキャン方向
Claims (14)
- 光源から取り出された照明光を反射させて第1集光点に集光させるように第1楕円面鏡を配置するステップと、
前記第1集光点で集光した後に前記第1集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させるように第2楕円面鏡を配置するステップと、
前記第1集光点の近傍に、前記照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材を配置させるステップと、
前記第1楕円面鏡及び前記第2楕円面鏡を介して集光させた前記照明光により検査対象を照明するステップと、
を備え、
前記遮光部材は、一方の遮光板及び他方の遮光板を含み、
前記遮光部材を配置させるステップにおいて、
前記一方の遮光板は、前記第1楕円面鏡と前記第1集光点との間における前記第1集光点よりも前記第1楕円面鏡側に配置され、
前記他方の遮光板は、前記第1集光点と前記第2楕円面鏡との間における前記第1集光点よりも前記第2楕円面鏡側に配置された照明方法。 - 光源から取り出された照明光を反射させて第1集光点に集光させるように第1楕円面鏡を配置するステップと、
前記第1集光点で集光した後に前記第1集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させるように第2楕円面鏡を配置するステップと、
前記第2楕円面鏡により前記照明光が集光される第2集光点の後で、前記第2集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させるように第3楕円面鏡を配置するステップと、
前記第1集光点の近傍に、前記照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材を配置させるステップと、
前記第1楕円面鏡、前記第2楕円面鏡及び前記第3楕円面鏡を介して集光させた前記照明光により検査対象を照明するステップと、
を備え、
前記遮光部材は、前記照明光の光軸が通るスリットを有する照明方法。 - 前記光源は、LPP光源である、
請求項1または2に記載の照明方法。 - 前記照明光により前記検査対象が照明された照明領域は、前記照明光が前記遮光部材で遮光された部分の間に配置される、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の照明方法。 - 光源から取り出された照明光を反射させて第1集光点に集光させるように第1楕円面鏡を配置するステップと、
前記第1集光点で集光した後に前記第1集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させるように第2楕円面鏡を配置するステップと、
前記第1集光点の近傍に、前記照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材を配置させるステップと、
前記第1楕円面鏡及び前記第2楕円面鏡を介して集光させた前記照明光により検査対象を照明するステップと、
前記照明光により照明された前記検査対象からの光を集光するステップと、
前記検査対象を照明する前記照明光に対して、前記検査対象の検査面に平行な面内の所定のスキャン方向に前記検査対象を移動させながら、集光された前記検査対象からの光を検出し、前記検査対象の画像を取得するステップと、
前記画像に基づいて前記検査対象を検査するステップと、
を備え、
前記遮光部材は、一方の遮光板及び他方の遮光板を含み、
前記遮光部材を配置させるステップにおいて、
前記一方の遮光板は、前記第1楕円面鏡と前記第1集光点との間における前記第1集光点よりも前記第1楕円面鏡側に配置され、
前記他方の遮光板は、前記第1集光点と前記第2楕円面鏡との間における前記第1集光点よりも前記第2楕円面鏡側に配置された検査方法。 - 光源から取り出された照明光を反射させて第1集光点に集光させるように第1楕円面鏡を配置するステップと、
前記第1集光点で集光した後に前記第1集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させるように第2楕円面鏡を配置するステップと、
前記第2楕円面鏡により前記照明光が集光される第2集光点の後で、前記第2集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させるように第3楕円面鏡を配置するステップと、
前記第1集光点の近傍に、前記照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材を配置させるステップと、
前記第1楕円面鏡、前記第2楕円面鏡及び前記第3楕円面鏡を介して集光させた前記照明光により検査対象を照明するステップと、
前記照明光により照明された前記検査対象からの光を集光するステップと、
前記検査対象を照明する前記照明光に対して、前記検査対象の検査面に平行な面内の所定のスキャン方向に前記検査対象を移動させながら、集光された前記検査対象からの光を検出し、前記検査対象の画像を取得するステップと、
前記画像に基づいて前記検査対象を検査するステップと、
を備え、
前記遮光部材は、前記照明光の光軸が通るスリットを有する検査方法。 - 前記照明光により前記検査対象が照明された照明領域は、前記スキャン方向において、前記照明光が前記遮光部材で遮光された部分の間に配置される、
請求項5または6に記載の検査方法。 - 光源から取り出された照明光を反射させて第1集光点に集光させる第1楕円面鏡と、
前記第1集光点で集光した後に前記第1集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させる第2楕円面鏡と、
前記第1集光点の近傍に配置され、前記照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材と、
を備え、
前記第1楕円面鏡及び前記第2楕円面鏡を介して集光させた前記照明光により検査対象を照明する照明装置であって、
前記遮光部材は、一方の遮光板及び他方の遮光板を含み、
前記一方の遮光板は、前記第1楕円面鏡と前記第1集光点との間における前記第1集光点よりも前記第1楕円面鏡側に配置され、
前記他方の遮光板は、前記第1集光点と前記第2楕円面鏡との間における前記第1集光点よりも前記第2楕円面鏡側に配置された照明装置。 - 光源から取り出された照明光を反射させて第1集光点に集光させる第1楕円面鏡と、
前記第1集光点で集光した後に前記第1集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させる第2楕円面鏡と、
前記第2楕円面鏡により前記照明光が集光される第2集光点の後で、前記第2集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させる第3楕円面鏡と、
前記第1集光点の近傍に配置され、前記照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材と、
を備え、
前記第1楕円面鏡、前記第2楕円面鏡及び前記第3楕円面鏡を介して集光させた前記照明光により検査対象を照明する照明装置であって、
前記遮光部材は、前記照明光の光軸が通るスリットを有する照明装置。 - 前記光源は、LPP光源である、
請求項8または9に記載の照明装置。 - 前記照明光により前記検査対象が照明された照明領域は、前記照明光が前記遮光部材で遮光された部分の間に配置される、
請求項8〜10のいずれか一項に記載の照明装置。 - 光源から取り出された照明光を反射させて第1集光点に集光させる第1楕円面鏡と、
前記第1集光点で集光した後に前記第1集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させる第2楕円面鏡と、
前記第1集光点の近傍に配置され、前記照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材と、
を含み、前記第1楕円面鏡及び前記第2楕円面鏡を介して集光させた前記照明光により検査対象を照明する照明光学系と、
前記照明光により照明された前記検査対象からの光を集光する検出光学系と、
前記検査対象を照明する前記照明光に対して、前記検査対象の検査面に平行な面内の所定のスキャン方向に前記検査対象を移動させながら、集光された前記検査対象からの光を検出し、前記検査対象の画像を取得する検出器と、
を備え、
前記遮光部材は、一方の遮光板及び他方の遮光板を含み、
前記一方の遮光板は、前記第1楕円面鏡と前記第1集光点との間における前記第1集光点よりも前記第1楕円面鏡側に配置され、
前記他方の遮光板は、前記第1集光点と前記第2楕円面鏡との間における前記第1集光点よりも前記第2楕円面鏡側に配置された検査装置。 - 光源から取り出された照明光を反射させて第1集光点に集光させる第1楕円面鏡と、
前記第1集光点で集光した後に前記第1集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させる第2楕円面鏡と、
前記第2楕円面鏡により前記照明光が集光される第2集光点の後で、前記第2集光点から拡がる前記照明光を反射させて集光させる第3楕円面鏡と、
前記第1集光点の近傍に配置され、前記照明光における光軸を挟んだ両側の端縁部を遮光する遮光部材と、
を含み、前記第1楕円面鏡、前記第2楕円面鏡及び前記第3楕円面鏡を介して集光させた前記照明光により検査対象を照明する照明光学系と、
前記照明光により照明された前記検査対象からの光を集光する検出光学系と、
前記検査対象を照明する前記照明光に対して、前記検査対象の検査面に平行な面内の所定のスキャン方向に前記検査対象を移動させながら、集光された前記検査対象からの光を検出し、前記検査対象の画像を取得する検出器と、
を備え、
前記遮光部材は、前記照明光の光軸が通るスリットを有する検査装置。 - 前記照明光により前記検査対象が照明された照明領域は、前記スキャン方向において、前記照明光が前記遮光部材で遮光された部分の間に配置される、
請求項12または13に記載の検査装置。
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