JP6440152B1 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
τTt < τD < τTi − τp
tt0-τp < tp < tt0 + τTt
実施形態に係る検査装置及び検査方法を説明する。まず、検査装置の構成を説明する。その後、検査装置を用いた検査方法を説明する。
本実施形態の検査装置の構成を説明する。図4は、実施形態に係る検査装置の構成を例示した図である。図4に示すように、検査装置1は、照明光学系10、光源11、パルスイネーブル回路12、集光光学系20、検査用検出器21、モニタ部30、処理部40及びステージ部50を備えている。照明光学系10は、楕円面鏡13a、楕円面鏡13b、落とし込みミラー14を有している。集光光学系20は、穴開き凹面鏡23、凸面鏡24を有している。穴開き凹面鏡23及び凸面鏡24は、シュバルツシルト拡大光学系を構成している。モニタ部30は、カットミラー31、及び補正用検出器32を有している。処理部40は、位置記録シフトレジスタ41と、輝度レジスタ42と、を含んでもよい。ステージ部50は、ステージ53及び距離計54を有する。
次に、検査装置1を用いた検出方法を説明する。図6は、実施形態に係る検査方法を例示したフローチャート図である。図6のステップS11に示すように、まず、検査用検出器21及び補正用検出器32を準備する。検査用検出器21は、例えば、TDIセンサを含む検出器である。検査用検出器21は、転送方向及び転送方向に直交する方向を含む受光面に配置された複数の画素を含んでいる。検査用検出器21は、複数の画素が受光した光によって発生した電荷を、所定の転送タイミングで転送方向に転送することで、画像データを取得する。補正用検出器32は、例えば、フォトダイオードを含む検出器である。受光した光の輝度を取得する。
本実施形態の検査装置1は、発光の可否を制御するパルスイネーブル回路12を備えている。
10 照明光学系
11 光源
11a ドロップレットジェネレーター(DG)
11b ドロップレット
11c プラズマ化レーザ光
11d パルス光
11e 検出用レーザ光
11f 検出用レーザ光
12 パルスイネーブル回路
13a、13b 楕円面鏡
14 落とし込みミラー
20 集光光学系
21 検査用検出器
23 穴開き凹面鏡
23a 穴
24 凸面鏡
30 モニタ部
31 カットミラー
32 補正用検出器
40 処理部
41 位置記録シフトレジスタ
42 輝度レジスタ
50 ステージ部
51 検査対象
52 上面
53 ステージ
54 距離計
L11 照明光
L12 反射光
IF1 集光点
Claims (12)
- 転送方向及び前記転送方向に直交する方向を含む受光面に配置された複数の画素を含み、前記複数の画素が受光した光によって発生した電荷を、所定の転送タイミングで前記転送方向に転送することにより、画像データを取得する検査用検出器と、
パルス光を含む照明光を発光する光源と、
前記転送タイミングに基づいて、前記光源が前記照明光を発光する発光タイミングを制御するパルスイネーブル回路と、
前記照明光を用いて検査対象を照明する照明光学系と、
前記照明光によって照明された前記検査対象からの光を前記検査用検出器に集光する集光光学系と、
前記検査対象の前記画像データを用いて前記検査対象を検査する処理部と、
を備え、
前記転送タイミングは、周期的な転送周期を有し、
前記光源は、前記転送周期以上の大きさのジッターを有する周期で発光し、
前記パルスイネーブル回路は、前記転送タイミングと前記発光タイミングとが重なる場合に、前記照明光の発光を抑止する、
検査装置。 - 前記光源は、前記転送タイミングと非同期の生成タイミングで生成されるドロップレットに対して、レーザ光を照射することにより前記照明光が発光されるLPP方式であり、
前記パルスイネーブル回路は、前記レーザ光の照射を制御することにより、前記発光タイミングを制御する、
請求項1に記載の検査装置。 - 前記光源において、前記照明光の輝度分布は時間に対して一定の形状であり、前記照明光の輝度は時間とともに変化し、
前記照明光の一部を用いて補正用検出器を照明することにより検出された前記照明光の輝度を取得するモニタ部をさらに備え、
前記処理部は、あらかじめ測定された前記受光面における前記照明光の輝度分布と、前記補正用検出器により取得された前記発光タイミングでの前記照明光の輝度と、を用いて、前記検査対象の前記画像データを補正し、
前記処理部は、補正された前記検査対象の前記画像データを用いて前記検査対象を検査する、
請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記処理部は、
前記転送方向に並んだ前記複数の画素の位置を前記発光タイミングで記録する位置記録シフトレジスタと、
前記照明光の輝度を前記発光タイミングで記録する輝度レジスタと、
を含み、
前記処理部は、あらかじめ測定された前記受光面における前記照明光の輝度分布と、前記位置記録シフトレジスタに記録された各画素の位置と、前記輝度レジスタに記録された前記照明光の輝度と、を用いて、前記検査対象の前記画像データを補正する、
請求項3に記載の検査装置。 - 前記処理部は、前記複数の画素の電荷を積分する時間内に前記光源が発光する複数のパルス光に対応させた複数の前記位置記録シフトレジスタ及び前記輝度レジスタを含み、
前記処理部は、各前記位置記録シフトレジスタに記録された前記各画素の位置を前記転送タイミングに同期させて前記転送方向にシフトさせ、
前記処理部は、シフトさせて出力された前記各位置記録シフトレジスタの前記位置と、各前記輝度レジスタに記録された前記照明光の輝度と、あらかじめ測定された前記受光面における前記照明光の輝度分布と、を用いて、前記検査対象の画像データを補正する、
請求項4に記載の検査装置。 - 前記検査用検出器は、TDIセンサを含む検出器であり、前記補正用検出器は、フォトダイオードを含む検出器である、
請求項3〜5のいずれか一項に記載の検査装置。 - 転送方向及び前記転送方向に直交する方向を含む受光面に配置された複数の画素を含み、前記複数の画素が受光した光によって発生した電荷を、所定の転送タイミングで前記転送方向に転送することで画像データを取得する検査用検出器を準備するステップと、
パルス光を含む照明光を発光する光源を準備するステップと、
前記転送タイミングに基づいて、前記光源が前記照明光を発光させる発光タイミングを制御しつつ前記光源に前記照明光を発光させるステップと、
前記照明光を用いて検査対象を照明するステップと、
前記照明光によって照明された前記検査対象からの光を前記検査用検出器に集光させるステップと、
前記検査対象の前記画像データを用いて前記検査対象を検査するステップと、
を備え、
前記転送タイミングは、周期的な転送周期を有し、
前記光源は、前記転送周期以上の大きさのジッターを有する周期で発光し、
前記光源に前記照明光を発光させるステップにおいて、前記転送タイミングと前記発光タイミングとが重なる場合に、前記照明光の発光を抑止する、
検査方法。 - 前記パルス光を含む照明光を発光する光源を準備するステップにおいて、前記転送タイミングと非同期の生成タイミングで生成されるドロップレットに対して、レーザ光を照射することにより前記照明光が発光されるLPP方式の光源を準備し、
前記照明光を発光させるステップにおいて、
前記レーザ光の照射を制御することにより、前記発光タイミングを制御する、
請求項7に記載の検査方法。 - 前記光源において、照明光の輝度分布は時間に対して一定の形状であり、前記照明光の輝度は時間とともに変化し、
前記照明光の輝度を取得する補正用検出器を準備するステップと、
前記照明光の一部を用いて前記補正用検出器を照明することにより前記照明光の輝度を取得するステップと、
あらかじめ測定された前記受光面における前記照明光の輝度分布と、前記補正用検出器により取得された前記発光タイミングでの前記照明光の輝度と、を用いて、前記検査対象の前記画像データを補正するステップと、
をさらに備え、
前記検査対象を検査するステップにおいて、
補正された前記検査対象の前記画像データを用いて前記検査対象を検査する、
請求項7または8に記載の検査方法。 - 前記検査対象の前記画像データを補正するステップにおいて、
前記転送方向に並んだ前記複数の画素の位置を前記発光タイミングで記録する位置記録シフトレジスタと、
前記照明光の輝度を前記発光タイミングで記録する輝度レジスタと、
を準備し、
あらかじめ測定された前記受光面における前記照明光の輝度分布と、前記位置記録シフトレジスタに記録された各画素の位置と、前記輝度レジスタに記録された前記照明光の輝度と、を用いて、前記検査対象の前記画像データを補正する、
請求項9に記載の検査方法。 - 前記検査対象の画像データを補正するステップにおいて、
前記複数の画素の電荷を積分する時間内に前記光源が発光する複数のパルス光に対応させた複数の前記位置記録シフトレジスタ及び前記輝度レジスタを準備し、
各前記位置記録シフトレジスタに記録された前記各画素の位置を前記転送タイミングに同期させて転送方向にシフトさせ、
シフトさせて出力された前記各位置記録シフトレジスタの前記位置と、各前記輝度レジスタに記録された前記照明光の輝度と、あらかじめ測定された前記受光面における前記照明光の輝度分布と、を用いて、前記検査対象の画像データを補正する、
請求項10に記載の検査方法。 - 前記検査用検出器は、TDIセンサを含む検出器であり、前記補正用検出器は、フォトダイオードを含む検出器である、
請求項9〜11のいずれか一項に記載の検査方法。
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