JP2002250606A - 走査光学系ビーム測定装置および走査光学系ビーム測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】画像形成装置の書込み光学系から照射される走
査ビームの測定において、走査ビームの照射される位置
を正確かつ確実に取得することが可能な走査ビーム測定
装置及び走査ビーム測定方法を提供するものである。 【解決手段】画像形成装置１の書込み光学系２によって
照射される走査ビーム４のドット列を撮像するＣＣＤカ
メラ９と、書込み光学系２の走査面内で主走査方向に移
動させることによって複数の画像を取得させる移動部１
１と、書込み光学系２の走査領域内の走査ビーム４に対
する情報を取得するビーム情報取得部１０とを備え、走
査ビーム４を測定する走査光学系ビーム測定装置におい
て、直前にＣＣＤカメラ９によって取得された画像内の
ドット列のうちＣＣＤカメラ９の移動方向先頭の１ドッ
トが、ＣＣＤカメラ９によって取得される画像内のドッ
ト列に含まれるように制御部１２によってＣＣＤカメラ
９の撮像位置を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複写機やプリンタ
ー製品等に使用されている走査型書込み系ユニットにお
ける走査ビームを測定するための走査光学系検査装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、複写機やプリンターで用いられて
いる書込み光学系から照射されている走査ビームの測定
において、フォトダイオードによって検知された同期信
号を基に、レーザーダイオードの発光タイミング及び回
転多面鏡の回転周期、更にはＣＣＤカメラ等に代表され
る受光デバイスの撮像タイミングを決定し、ビームプロ
ファイルとしての走査ビームに対する情報を取得する方
法が実施されてきた。

【０００３】また、この結果からピーク時の１／２もし
くは１／ｅ²等の光量をビームの径として取得したり、
強度分布プロファイルを２次元表示もしくは３次元表示
する等の方法によって走査ビームに対する情報を視覚的
に認識する方法も行われている。

【０００４】上記測定方法において、ＣＣＤカメラの撮
影可能範囲に対して書込み光学系の書込み幅が極めて広
いため、一回の測定では書込み光学系の持つ走査範囲の
ごく一部の領域に照射されるビームのみしか測定できな
いという問題がある。この問題の解決方法として、ＣＣ
Ｄカメラのサイズに応じた距離だけ主走査方向に移動さ
せるよう移動距離を制御し、順次測定することで得られ
た画像を繋ぎ合わせることによって全領域の走査ビーム
に対する情報を取得する方法や、更にＣＣＤカメラの移
動した距離とＣＣＤカメラによって取得された走査ビー
ムの情報に基づいてビーム位置やビーム間距離を取得す
る方法も考案されている。

【０００５】例えば、特開平６−３４３２９号公報に記
載のビーム径測定装置においては、走査書込みユニット
の像面に受光素子アレイを走査ラインに対して斜めに設
置することによってビームの主走査径および副走査系を
同時に測定している。また、特開平１０−２１３４１５
号公報に記載の光ビーム測定装置においては、副走査方
向に十分な幅を持った受光デバイスを主走査方向に移動
させながら光量を測定し、また、受光デバイスの移動
量、画面上に展開した時の画素数、高さ方向の位置ずれ
等からビーム径や照射位置を補正演算している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】レーザービームプリン
ターや複写機等の画像形成装置の主要機構である書込み
光学系の持つ重要性は年々高まっている。特に画像品質
を高精度高精細化するための重要な要素の一つである走
査ビーム径の小径化はレーザービームプリンターや複写
機等の高解像度化に必要不可欠な要素であり、小径化は
非常に急速に進んでいる。そのため、書込み光学系の測
定装置に要求される性能も年々高くなっている。その１
つとして、走査面全域において照射ビームを正確に且つ
高精度に測定することが可能な測定装置の開発が必要と
なっている。特にビームドット間距離の均一性（リニア
リティー）が画像品質に大きな影響を与える要因であ
り、走査面全域において走査ビームが照射されている絶
対位置、即ち書込み光学系の走査面内において設定した
測定装置原点から距離を高精度で測定することが必要不
可欠であると考えられる。

【０００７】しかしながら上記従来技術においては、受
光デバイスの位置決めに関しては何ら述べられておら
ず、ビーム径が測定できたとしてもビーム照射位置が正
確に取得できなければ、対象となる書込みユニットの性
能を充分に評価することはできないという問題があっ
た。

【０００８】また、副走査方向に関しては、マーカーを
光路上に配置することで走査ビームの各ドットの位置ず
れ量を求めているものもあるが、この場合、主走査方向
に関する位置ずれ量、即ち移動によって生じる主走査方
向の累積誤差を求めることはできない。また、受光デバ
イスの位置決めを行ったとしても、広い走査幅を持つ走
査光学系においてはボールネジ等を用いてＣＣＤカメラ
等の受光デバイスを移動させる移動手段をいかに高精度
に位置決めした場合でも必ず移動誤差は含まれる為、一
走査面を測定する為に複数回にわたる測定を行う場合は
ステージ上に設置されたＣＣＤカメラの位置は累積誤差
分だけ設定値とは異なる場所になってしまい正確な走査
ビームの位置情報が取得できないという問題があった。

【０００９】また、別途用意したレーザ測定器を用いて
ＣＣＤカメラの位置を精度良く測定する方法もあるが、
この時に用いる測長器等は非常に高価であり、コスト高
を招くという欠点があった。

【００１０】その他にも発光ダイオードアレイによる固
体書込みユニットにおける走査ビーム測定のために、受
光デバイスの移動量や画面上に展開した場合の画素数に
基づいてビーム径やビーム照射位置を補正演算している
ものもあるが、受光デバイスの移動はいかに高精度に行
われようとも少なからず誤差が含まれており、正確にビ
ーム位置情報を取得できてはいなかった。

【００１１】そこで、本発明では、複数回の測定によっ
て一走査面を測定する際に、撮像手段の撮像範囲におけ
る端部の１又は複数のドットが重複して測定されるよう
撮像手段の移動量を制御することによって位置決め誤差
の影響を取り除き、また基準ビームを用いることによっ
て、走査機構に誤差がある場合でも走査ビームの照射位
置を正確に取得することが可能な走査光学系ビーム測定
装置および走査光学系ビーム測定方法を提供するもので
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の走査光学系ビー
ム測定装置は、画像形成装置の書込み光学系によって照
射される走査ビームのドット列を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段を前記書込み光学系の走査面内で主走査方
向に移動させることによって、前記撮像手段に複数の画
像を取得させる移動手段と、前記撮像手段によって撮像
された複数の前記画像に基づいて、前記書込み光学系の
走査領域内の前記走査ビームに対する情報を取得するビ
ーム情報取得手段とを備えることによって、前記走査ビ
ームを測定する走査光学系ビーム測定装置において、直
前に前記撮像手段によって取得された前記画像内の前記
ドット列のうち前記撮像手段の移動方向先頭の１ドット
が、前記撮像手段によって取得される前記画像内の前記
ドット列に含まれるように前記移動手段を制御する制御
手段を備えたことを特徴とする構成を備えている。

【００１３】この構成により、撮像手段の撮像範囲に比
べ非常に広い書込み光学系の走査ビームの走査幅のため
に、走査面内で撮像手段を撮像範囲の大きさと等しいだ
けの量を順次移動させることによって複数回の測定を行
い、各測定ポイントで取得された画像を繋ぎ合わせる必
要があった走査ビームを測定において、撮像手段の撮像
範囲の端部１ドット分が重複するように移動手段を移動
することによって位置決め誤差の影響を取り除き、正確
な走査ビームの測定が可能になる。

【００１４】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、画
像形成装置の書込み光学系によって照射される走査ビー
ムのドット列を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を前
記書込み光学系の走査面内で主走査方向に移動させるこ
とによって、前記撮像手段に複数の画像を取得させる移
動手段と、前記撮像手段によって撮像された複数の前記
画像に基づいて、前記書込み光学系の走査領域内の前記
走査ビームに対する情報を取得するビーム情報取得手段
とを備えることによって、前記走査ビームを測定する走
査光学系ビーム測定装置において、直前に前記撮像手段
によって取得された前記画像内の前記ドット列のうち前
記撮像手段の移動方向先頭の複数のドットが、前記撮像
手段によって取得される前記画像内の前記ドット列に含
まれるように前記移動手段を制御する制御手段を備えた
ことを特徴とする構成を備えている。

【００１５】この構成により、撮像手段の撮像範囲の端
部の複数のドットが重複するよう移動手段において移動
することによって撮像手段における走査方向と書込み光
学系の走査方向の平行度の誤差を検出可能となる。

【００１６】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記ビーム情報取得手段が、前記書込み光学系の全走査領
域内において、前記撮像手段によって重複して取得され
た前記ドットから前記撮像手段の位置決め誤差量を算出
し、算出した前記撮像手段の位置決め誤差量に基づき前
記走査ビームの照射位置を補正演算することを特徴とす
る構成を備えている。

【００１７】この構成により、画像の品質に大きく影響
する走査ビームの照射位置の測定において、撮像手段の
位置決め誤差量よる影響を除去し、走査面内における走
査ビームの照射位置を正確に測定することが可能とな
る。

【００１８】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記ビーム情報取得手段が、前記書込み光学系の全走査領
域内において、前記撮像手段によって重複して取得され
た前記ドットから前記撮像手段の位置決め誤差量や回転
量を算出し、算出した前記撮像手段の位置決め誤差量や
回転量に基づき前記走査ビームの照射位置を補正演算す
ることを特徴とする構成を備えている。

【００１９】この構成により、 画像の品質に大きく影
響する走査ビームの照射位置の測定において、撮像手段
の位置決め誤差量や、撮像手段の移動ラインと走査ビー
ムの書込み走査ラインとの平行度の差による影響を除去
し、走査面内における走査ビームの照射位置を正確に測
定することが可能となる。

【００２０】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記撮像手段によって取得された前記画像内のドット数が
前記ビーム情報取得手段によって取得されるとともに、
前記撮像手段の移動方向後端部に設けられ、通過する前
記走査ビームのドットを検出する光検出手段と、前記ビ
ーム情報取得手段によって取得された前記画像内のドッ
ト数を記憶する記憶手段と、前記光検出手段によって検
出された前記走査ビームのドット数をカウントする走査
ビームカウント手段と、前記記憶手段によって記憶され
た前記画像内のドット数と前記走査ビームカウント手段
によってカウントされた前記走査ビームのドット数とを
比較演算する比較手段とを備え、前記制御手段が、前記
比較手段からの演算結果に基づいて、前記移動手段を制
御することを特徴とする構成を備えている。

【００２１】この構成により、撮像手段の撮像範囲内の
ドットの数、及び、撮像範囲外へ通過するドットの数を
カウントし、そのドット数の偏差に応じて移動手段の移
動をすることによって、測定対象機種や測定倍率等が変
更される度に移動量の設定を変更する必要もなく、自動
で位置決めすることが可能となる。

【００２２】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記ビーム情報取得手段が、前記書込み光学系の全走査領
域内における前記走査ビームの各ドット間距離を算出す
ることを特徴とする構成を備えている。

【００２３】この構成により、画像の品質に大きく影響
する要素の1つである、走査ビームのドット間距離を書
込み光学系の走査領域において正確に測定することが可
能となる。

【００２４】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記ビーム情報取得手段によって取得された前記走査ビー
ムに対する情報を画像表示する表示手段を備えることを
特徴とする構成を備えている。

【００２５】この構成により、取得される走査ビームに
対する情報を視覚的に速やかに観察及び確認可能とな
る。

【００２６】本発明の走査光学系ビーム測定方法は、画
像形成装置の書込み光学系によって照射される走査ビー
ムのドット列を撮像する撮像工程と、前記走査ビームの
ドット列を撮像する撮像位置を前記書込み光学系の走査
面内で主走査方向に移動させることによって前記撮像工
程において複数の画像を取得させる移動工程とを備え、
前記移動工程において、直前に前記撮像工程において取
得された前記画像内の前記ドット列のうち前記撮像位置
の移動方向先頭の１ドットが、前記撮像工程によって取
得される前記画像内の前記ドット列に含まれるように前
記撮像位置を主走査方向に移動させることを特徴とする
方法を用いている。

【００２７】この方法により、撮像工程における撮像範
囲に比べ非常に広い書込み光学系の走査ビームの走査幅
のために、走査面内で撮像工程における撮像位置を撮像
範囲の大きさと等しいだけの量を順次移動させることに
よって複数回の測定を行い、各測定ポイントで取得され
た画像を繋ぎ合わせる必要があった走査ビームを測定に
おいて、撮像工程の撮像範囲の端部１ドット分が重複す
るように移動することによって位置決め誤差の影響を取
り除き、正確な走査ビームの測定が可能になる。

【００２８】本発明の走査光学系ビーム測定方法は、画
像形成装置の書込み光学系によって照射される走査ビー
ムのドット列を撮像する撮像工程と、前記走査ビームの
ドット列を撮像する撮像位置を前記書込み光学系の走査
面内で主走査方向に移動させることによって前記撮像工
程において複数の画像を取得させる移動工程とを備え、
前記移動工程において、直前に前記撮像工程において取
得された前記画像内の前記ドット列のうち前記撮像位置
の移動方向先頭の複数のドットが、前記撮像工程におい
て取得される前記画像内の前記ドット列に含まれるよう
に前記撮像位置を主走査方向に移動させることを特徴と
する方法を用いている。

【００２９】この方法により、撮像工程における撮像範
囲の端部の複数のドットが重複するよう移動工程におい
て撮像位置を移動することによって撮像位置の移動方向
と書込み光学系の走査方向の平行度の誤差を検出可能と
なる。

【００３０】本発明の走査光学系ビーム測定方法は、前
記撮像工程において取得された前記画像内の前記走査ビ
ームのドット数を記憶する記憶工程と、前記撮像工程に
おける撮像範囲を通過する前記走査ビームのドット数を
カウントする走査ビームカウント工程と、前記記憶工程
で記憶された前記画像内の前記走査ビームのドット数と
前記走査ビームカウント工程でカウントされた前記走査
ビームのドット数とを比較演算する比較工程とを備え、
前記移動工程において、前記比較工程の演算結果に基づ
いて前記撮像工程における前記撮像位置を移動させるこ
とを特徴とする方法を用いている。

【００３１】この方法により、撮像工程における撮像範
囲内のドットの数、及び、撮像範囲外へ通過するドット
の数をカウントし、そのドット数の偏差に応じて移動工
程において移動を行うことによって、測定対象機種や測
定倍率等が変更される度に各測定位置間の移動距離を設
定変更する必要もなく書込み光学系の走査領域で測定す
ることが可能となる。

【００３２】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、画
像形成装置の書込み光学系によって照射される走査ビー
ムのドット列を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を前
記書込み光学系の走査面内で主走査方向に移動させるこ
とによって、前記撮像手段に画像を取得させる移動手段
と、前記撮像手段によって取得された前記画像に基づい
て、前記書込み光学系の走査領域内の前記走査ビームに
対する情報を取得するビーム情報取得手段とを備えるこ
とによって、前記走査ビームを測定する走査光学系ビー
ム測定装置において、前記走査ビームの前記走査面内に
おける位置を算出する基準となるとともに前記撮像手段
に撮像される基準ビームを照射する基準ビーム照射手段
を備え、前記ビーム情報取得手段が、前記撮像手段によ
って撮像された前記基準ビームの位置に基づいて前記走
査領域内における前記走査ビームの位置を算出すること
を特徴とする構成を備えている。

【００３３】この構成により、撮像手段の撮像範囲に比
べ非常に広い書込み光学系の走査ビームの走査幅のため
に、走査面内で撮像手段を撮像範囲の大きさと等しいだ
けの量を順次移動させることによって複数回の測定を行
い、各測定ポイントで取得された画像を繋ぎ合わせる必
要があった走査ビームを測定において、撮像手段に照射
されるような基準となる基準ビームを用い、基準ビーム
の照射位置に基づいて各走査ビームが照射されている走
査面内における位置を算出することによって位置決め誤
差の影響を取り除き、正確な走査ビームの測定が可能と
なる。

【００３４】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記基準ビーム照射手段によって照射される前記基準ビー
ムのドットが前記走査ビームの走査方向と平行に複数照
射され、前記撮像手段を通過した前記基準ビームのドッ
ト数をカウントする基準ビームカウント手段と、前記基
準ビームカウント手段によってカウントされた前記基準
ビームのドット数を記憶する記憶手段とを備え、前記ビ
ーム情報取得手段が、前記記憶手段に記憶された前記基
準ビームのドット数及び前記撮像手段によって撮像され
た前記基準ビームの位置に基づいて前記走査ビームの前
記走査面内における位置を算出することを特徴とする構
成を備えている。

【００３５】この構成により、書込み光学系の走査領域
における全領域で走査ビームの位置を取得することが可
能となる。

【００３６】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記記憶手段によって記憶されている前記基準ビームのド
ット数及び前記撮像手段によって撮像された前記基準ビ
ームの位置に基づいて、前記撮像手段の実移動距離と所
望の移動距離との差を前記ビーム情報取得手段によって
算出し、算出結果に基づいて前記撮像手段を所望の位置
に移動させるように前記移動手段を制御する制御手段を
備えたことを特徴とする構成を備えている。

【００３７】この構成により、撮像手段を通過した基準
ビームのドット数及び撮像手段に照射されている基準ビ
ームの位置情報に基づいて撮像手段の実移動距離及び予
め設定した所望の移動量との偏差を算出し、この偏差に
基づいた制御をすることによって設定通りの位置決めを
可能とするものである。

【００３８】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記基準ビーム照射手段によって前記撮像手段の撮像範囲
に複数の前記基準ビームが照射され、前記ビーム情報取
得手段が、前記撮像手段によって取得される複数の前記
基準ビームの位置から前記書込み光学系の走査方向と前
記撮像手段の移動方向との傾きを算出し、算出結果に基
づいて前記走査ビームに対する情報から前記傾きを補正
演算することを特徴とする構成を備えている。

【００３９】この構成により、走査ビームと平行に設置
された複数の基準ビームの位置情報に基づいて書込み光
学系と撮像手段の平行度の偏差を検出し、取得された走
査ビームに対する情報をこの偏差に基づいて補正するこ
とによって、正確に走査ビームの位置を取得することが
可能となる。

【００４０】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記撮像手段に対する前記書込み光学系の副走査方向の相
対位置を変更する位置変更手段と、前記撮像手段の撮像
範囲内に前記走査ビームが照射されるように、前記撮像
手段によって撮像される前記基準ビームの位置に基づき
位置変更手段を制御する副走査方向制御手段と、を備え
たことを特徴とする構成を備えている。

【００４１】この構成により、例えば拡大光学系を用い
た場合においても撮像手段に走査ビームが照射されるよ
う、副走査方向に関しても撮像手段と書込み光学系の相
対位置を制御することによって、走査ビームを確実に測
定することが可能となる。

【００４２】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、画
像形成装置の書込み光学系によって照射される走査ビー
ムのドット列を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を前
記書込み光学系の走査面内で主走査方向に移動させるこ
とによって、前記撮像手段に画像を取得させる移動手段
と、前記撮像手段によって取得された前記画像に基づい
て、前記書込み光学系の走査領域内の前記走査ビームに
対する情報を取得するビーム情報取得手段とを備えるこ
とによって、前記走査ビームを測定する走査光学系ビー
ム測定装置において、前記走査ビームの前記走査面内に
おける位置を算出する基準となる基準ビームを照射する
基準ビーム照射手段と、前記基準ビームの位置を検出す
る位置検出素子（ＰＳＤ）とを備え、前記ビーム情報取
得手段が、前記位置検出素子によって検出された前記基
準ビームの位置に基づいて前記走査ビームの前記走査領
域内における位置を算出することを特徴とする構成を備
えている。

【００４３】この構成により、走査ビームを測定するた
めの撮像手段以外に高速で照射位置を検出可能な位置検
出素子を用いることによって、より短時間で位置決め可
能な構成とし、測定に要する時間短縮が可能となる。

【００４４】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記基準ビーム照射手段によって照射される前記基準ビー
ムのドットが前記走査ビームの走査方向と平行に複数照
射され、前記撮像手段を通過した前記基準ビームのドッ
ト数をカウントする基準ビームカウント手段と、前記基
準ビームカウント手段によってカウントされた前記基準
ビームのドット数を記憶する記憶手段とを備え、前記ビ
ーム情報取得手段が、前記記憶手段に記憶された前記基
準ビームのドット数及び前記位置検出素子によって検出
された前記基準ビームの位置に基づいて前記走査ビーム
の前記走査領域内における位置を算出することを特徴と
する構成を備えている。

【００４５】この構成により、書込み光学系の走査領域
における全領域で走査ビームの位置を取得することが可
能となる。

【００４６】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記記憶手段によって記憶されている前記基準ビームのド
ット数及び前記位置検出素子によって検出された前記基
準ビームの位置に基づいて前記撮像手段の実移動距離と
所望の移動距離との差を前記ビーム情報取得手段によっ
て算出し、算出結果に基づいて前記撮像手段を所望の位
置に移動させるように前記移動手段を制御する制御手段
を備えたことを特徴とする構成を備えている。

【００４７】この構成により、撮像手段を通過した基準
ビームのドット数及び位置検出手段に照射されている基
準ビームの位置情報に基づいて撮像手段の実移動距離及
び予め設定した所望の移動量との偏差を算出し、この偏
差に基づいた制御をすることによって設定通りの位置決
めが可能となる。

【００４８】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記基準ビーム照射手段及び前記位置検出素子を前記撮像
手段の撮像範囲外に配置することを特徴とする構成を備
えている。

【００４９】この構成により、基準ビームの漏れ光が撮
像手段に影響を及ぼさないため、撮像手段の撮像範囲が
小さい場合等に発生する基準ビームの漏れ光が走査ビー
ムの情報にノイズとして含まれてしまうという可能性を
無くし、併せて位置検出素子もそれに応じた位置にセッ
トすることで撮像手段によって測定される走査ビームに
ノイズが混入することを防ぎ、より高精度で走査ビーム
に対する情報を取得することが可能となる。

【００５０】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記基準ビーム照射手段によって前記撮像手段の撮像範囲
内に複数の前記基準ビームが照射され、前記ビーム情報
取得手段が、前記位置検出素子によって検出される複数
の前記基準ビームの位置から前記書込み光学系の走査方
向と前記撮像手段の移動方向との傾きを算出し、算出結
果に基づいて前記走査ビームに対する情報から前記傾き
を補正演算することを特徴とする構成を備えている。

【００５１】この構成により、走査ビームと平行に設置
された複数の基準ビームの位置情報に基づいて書込み光
学系と撮像手段の平行度の偏差を検出し、取得された走
査ビームに対する情報をこの偏差に基づいて補正するこ
とによって、正確に走査ビーム位置を取得することが可
能となる。

【００５２】本発明の走査光学系ビーム測定装置は、前
記撮像手段に対する前記書込み光学系の副走査方向の相
対位置を変更する位置変更手段を備え、前記制御手段
が、前記撮像手段の撮像範囲内に前記走査ビームが照射
されるように、前記位置検出素子によって検出される前
記基準ビームの位置に基づき位置変更手段を制御するこ
とを特徴とする構成を備えている。

【００５３】この構成により、例えば拡大光学系を用い
た場合においても撮像手段に走査ビームが照射されるよ
う、副走査方向に関しても撮像手段と書込み光学系の相
対位置を制御することによって、走査ビームを確実に測
定することが可能となる。

【００５４】本発明の走査光学系ビーム測定方法は、画
像形成装置の書込み光学系によって照射される走査ビー
ムのドット列を撮像する撮像工程と、前記撮像工程にお
ける撮像位置を前記書込み光学系の走査面内で主走査方
向に移動させることによって、前記撮像工程において複
数の画像を取得させる移動工程と、前記撮像工程におい
て取得された前記画像に基づいて、前記書込み光学系の
走査領域内の前記走査ビームに対する情報を取得するビ
ーム情報取得工程と、前記走査ビームの前記走査面内に
おける位置を算出する基準となる基準ビームを照射する
基準ビーム照射工程と、前記基準ビーム照射工程によっ
て照射される前記基準ビームの位置を検出する位置検出
工程とを備え、前記ビーム情報取得工程において、前記
位置検出工程において検出された前記基準ビームの位置
に基づいて前記走査面内における前記走査ビームの位置
を算出することを特徴とする方法を用いている。

【００５５】この方法により、撮像工程における撮像範
囲に比べ非常に広い書込み光学系の走査ビームの走査幅
のために、走査面内で撮像工程における撮像位置を撮像
範囲の大きさと等しいだけの量を順次移動させることに
よって複数回の測定を行い、各測定ポイントで取得され
た画像を繋ぎ合わせる必要があった走査ビームを測定に
おいて、位置検出工程における受光範囲に照射されるよ
うな基準となる基準ビームを用い、基準ビームの照射位
置に基づいて各走査ビームが照射されている走査面内に
おける位置を算出することによって位置決め誤差の影響
を取り除き、正確な走査ビームの測定が可能となる。

【００５６】本発明の走査光学系ビーム測定方法は、前
記基準ビーム照射工程によって照射される前記基準ビー
ムのドットが前記走査ビームの走査方向と平行に複数照
射され、前記撮像工程における撮像範囲を通過した前記
基準ビームのドット数をカウントする基準ビームカウン
ト工程と、前記基準ビームカウント工程によってカウン
トされた前記基準ビームのドット数を記憶する記憶工程
と、前記記憶工程によって記憶されている前記基準ビー
ムのドット数及び前記位置検出工程において検出された
前記基準ビームの位置に基づいて、前記ビーム情報取得
工程が前記撮像工程における撮像位置の実移動距離と所
望の移動距離との差を算出し、前記算出結果に基づいて
前記撮像工程における撮像位置を所望の位置に移動させ
るように前記移動工程を制御する制御工程と、を備えた
ことを特徴とする方法を用いている。

【００５７】この方法により、撮像工程における撮像範
囲を通過した基準ビームのドット数及び位置検出工程に
おいて検出された基準ビームの位置情報に基づいて撮像
範囲における撮像位置の実移動距離及び予め設定した所
望の移動距離との偏差を算出し、この偏差に基づいた制
御をすることによって設定通りの位置決めが可能とな
る。

【００５８】本発明の走査光学系ビーム測定方法は、前
記撮像工程における撮像位置に対する前記書込み光学系
の副走査方向の相対位置を変更する位置変更工程を備
え、前記位置変更工程において、前記撮像工程において
前記走査ビームが撮像されるように、前記位置検出工程
において検出される前記基準ビームの位置に基づいて、
前記撮像工程における撮像位置と前記書込み光学系の副
走査方向の相対位置を移動することを特徴とする方法を
用いている。

【００５９】この方法により、例えば拡大光学系を用い
た場合においても撮像工程において撮像範囲に走査ビー
ムが照射されるよう、副走査方向に関しても撮像工程に
おける撮像位置と書込み光学系の相対位置を制御するこ
とによって、走査ビームを確実に測定することが可能と
なる。

【００６０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を用いて説明
する。

【００６１】（第１実施形態）図１は、本発明の第１実
施形態の走査光学系ビーム測定装置を示す図である。

【００６２】図１において、画像形成装置１の書込み光
学系２において、レーザーダイオード３から照射された
走査ビーム４は回転多面鏡５によって反射され、レンズ
群６を通過して書込み面７に結像する。そして同期検知
用フォトダイオード８からの信号をトリガにして書込み
面７上に配置された撮像手段としてのＣＣＤカメラ９の
位置決めや露光時間を制御することによって、図示しな
い感光体等の書込み面７上に結像している走査ビーム４
を撮像し、得られた画像をビーム情報取得部１０で演算
することによりビーム径やビーム位置、ビーム間距離等
のビーム情報を取得する。

【００６３】ＣＣＤカメラ９は、移動可能な移動手段と
しての移動部１１に取り付けられており、また、制御手
段としての制御部１２に接続されている。

【００６４】移動部１１は、書込み光学系２によって照
射される走査ビーム４のドット列を撮像するＣＣＤカメ
ラ９を書込み光学系２の走査面内で主走査方向に移動さ
せることによって、複数の画像を取得させる。

【００６５】制御部１２は、同期検知用フォトダイオー
ド８からの信号をトリガにして書込み面７上に配置され
たＣＣＤカメラ９の位置決めや露光時間を制御したり、
ＣＣＤカメラ９によって撮像された画像に基づいて、移
動部１１を制御することによってＣＣＤカメラ９の位置
決めを行う。

【００６６】次に動作を説明する。ＣＣＤカメラ９が画
像形成装置１の書込み光学系２によって照射される走査
ビーム４のドット列の撮像を行う際、図２に示すよう
に、ＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａは書込み光学系２の
走査範囲に比べ非常に狭い範囲であるため、ＣＣＤカメ
ラ９の撮像範囲９ａの幅Ｌだけ主走査方向に移動させ
て、複数回の測定を行い、得られた画像を繋ぎ合わせ、
繋ぎ合わせた画像によって取得できる情報を基に走査ビ
ーム４のビーム径やビーム照射位置を取得する。しかし
ながら、ＣＣＤカメラ９を移動させる移動部１１の移動
の際には、必ず移動量に誤差を生じてしまう。

【００６７】そこで図３に示すように、書込み面７に照
射される走査ビーム４のドット列を測定する際に、隣り
合う測定個所において、撮像範囲９ａが走査ビーム４の
１ドット分を重複するようＣＣＤカメラ９を移動して撮
像を行い、２回撮像された走査ビーム４を基準とするこ
とで移動量の誤差による影響を取り除くことを可能とし
ている。

【００６８】図４に、本実施形態の走査光学系ビーム測
定方法のフローチャートを示す。測定開始（ステップＳ
１０１）後、まず原点初期化を行いＣＣＤカメラ９を原
点復帰させ、（ステップＳ１０２）、次に走査ビーム４
のドット列を撮像する撮像位置を書込み光学系２の走査
領域内で測定箇所まで主走査方向に移動させることによ
ってＣＣＤカメラ９に複数の画像を取得させる移動工程
を行う（ステップＳ１０３）。測定箇所においては走査
ビーム４のドット列をＣＣＤカメラ９によって撮像する
撮像工程を行う（ステップＳ１０４）。

【００６９】２回目以降の移動では、移動工程におい
て、直前にＣＣＤカメラ９に取得された画像内のドット
列のうちＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａの移動方向先頭
の１ドットが、ＣＣＤカメラ９によって取得される画像
内のドット列に含まれるようにＣＣＤカメラ９を主走査
方向に移動させ（ステップＳ１０５）、測定箇所におい
て走査ビーム４のドット列をＣＣＤカメラ９によって撮
像する撮像工程を行う（ステップＳ１０６）。その工程
を測定範囲が終了するまで繰り返して（ステップＳ１０
７）測定を終了する（ステップＳ１０８）。

【００７０】また、図５（ａ）に示すように、書込み光
学系２の走査ライン１４に対して移動部１１によるＣＣ
Ｄカメラ９の移動が平行でない場合、即ち、ＣＣＤカメ
ラ９の撮像範囲９ａが走査ラインに対して斜めになって
いる場合、取得される走査ビーム４の情報は図５（ｂ）
のように平行度の誤差の情報を含んでしまうため正確な
走査ビームに対する情報が得られない。

【００７１】そこで図６（ａ）に示すように、隣り合う
測定個所において、撮像範囲９ａが走査ビーム４の複数
のドット１３を重複するようにＣＣＤカメラ９を移動さ
せる。

【００７２】そのようにして図６（ａ）に示すような画
像を取得し、重複して撮像した走査ビーム４のドット１
３の重心を通る直線の傾きをビーム情報取得部において
画像演算等によって算出することによって、図６（ｂ）
に示す書込み光学系２の走査ライン１４に対するＣＣＤ
カメラ９の撮像範囲９ａの傾きα、βを取得することが
可能となり、取得された重心を通る直線の傾きα、βの
差分（α−β）だけ各ドットの位置座標を回転演算する
ことによって、ＣＣＤカメラ９の走査ラインと書込み光
学系２の移動ライン１４との平行度の誤差を補正し、よ
り高精度な走査ビーム４に対する情報を取得することが
可能となる。

【００７３】なお、この場合のＣＣＤカメラ９の傾き
α、βの基準となる水平軸は予め設定してもよいし、走
査ビーム４の測定開始時に初期化の作業を行うことでも
よい。

【００７４】図７に、本実施形態の走査光学系ビーム測
定方法のフローチャートを示す。測定開始（ステップＳ
２０１）後、まず原点初期化を行いＣＣＤカメラ９を原
点復帰させ、（ステップＳ２０２）、次に走査ビーム４
のドット列を撮像する撮像位置を書込み光学系２の走査
面内で測定箇所まで主走査方向に移動させることによっ
てＣＣＤカメラ９に複数の画像を取得させる移動工程を
行う（ステップＳ２０３）。測定箇所においては走査ビ
ーム４のドット列をＣＣＤカメラ９によって撮像する撮
像工程を行う（ステップＳ２０４）。

【００７５】２回目以降の移動では、移動工程におい
て、直前にＣＣＤカメラ９に取得された画像内のドット
列のうちＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａの端部、即ち移
動方向先頭の複数のドット１３が、ＣＣＤカメラ９によ
って取得される画像内のドット列に含まれるように主走
査方向に移動させ（ステップＳ２０５）、測定箇所にお
いて走査ビーム４のドット列をＣＣＤカメラ９によって
撮像する撮像工程を行う（ステップＳ２０６）。その工
程を測定範囲が終了するまで繰り返して（ステップＳ２
０７）測定を終了する（ステップＳ２０８）。

【００７６】（第２実施形態）図８は、本発明の第２実
施形態の走査光学系ビーム測定装置を示す図である。本
実施形態の走査光学系ビーム測定装置は、第１実施形態
の構成に加え、ＣＣＤカメラ９の移動方向後端部に設け
られ、通過する走査ビーム４のドット１３を検出する光
検出手段としてのフォトダイオード１５が設けられ、フ
ォトダイオード１５には、フォトダイオード１５によっ
て検出された走査ビーム４のドット１３の数をカウント
するための走査ビームカウント手段としての走査ビーム
カウント部１６が接続され、またビーム情報取得部１０
には記憶手段としての記憶保持部１７が接続され、記憶
保持部１７及び走査ビームカウント部１６には比較演算
手段としての比較演算部１８が接続される構成とする。

【００７７】走査ビームカウント部１６は、フォトダイ
オード１５によって検出された走査ビーム４のドット１
３の数をカウントする。

【００７８】記憶保持部１７は、ビーム情報取得部１０
によって取得された画像内の走査ビーム４のドット１３
の数を記憶する。

【００７９】比較演算部１８は、記憶保持部１７によっ
て記憶されるＣＣＤカメラ９によって撮像された画像内
の走査ビーム４のドット１３の数と走査ビームカウント
部１６によってカウントされた走査ビーム４のドット１
３の数とを比較演算する。

【００８０】次に動作について説明する。図９に、図７
中のＡ以降に続く、本実施形態の走査光学系ビーム測定
方法のフローチャートを示す。書込み光学系２の走査領
域の各測定個所における走査ビーム４の撮像後毎に、Ｃ
ＣＤカメラ９の撮像範囲９ａ内に存在する走査ビーム４
のドット１３の数をビーム情報取得部１０によってラベ
リング処理等の画像処理を行って取得し、取得された走
査ビーム４のドット１３の数を記憶保持部１７によって
記憶する記憶工程を行う（ステップＳ３０１）。この
後、ＣＣＤカメラ９及びフォトダイオード１５を移動工
程において主走査方向に移動させると、フォトダイオー
ド１５からは図１０のような出力が得られる。得られた
出力のうち設定されたしきい値（図１０中に点線で示
す）を超えた回数を走査ビームカウント部１６によって
カウントすることでフォトダイオード１５を通過したド
ット１３、即ちＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａから外れ
たドット１３の数が取得できる走査ビームカウント工程
を行う（ステップＳ３０２）。

【００８１】記憶工程において予め記憶させたＣＣＤカ
メラ９の撮像範囲９ａ内に照射していたドット１３の数
とフォトダイオード１５を通過したドット１３の数を比
較演算する比較工程を行い、所望のドット１３の数、即
ち隣り合う測定個所において撮像範囲９ａが走査ビーム
４の１ドット分又は複数ドット分を重複するようになる
まで移動工程においてＣＣＤカメラ９の移動を行う（ス
テップＳ３０３）。所望のドット１３の数になった地点
においてＣＣＤカメラ９の移動を終了し、走査ビーム４
の測定を行う（ステップＳ３０４）。この工程を書込み
光学系２の走査領域における全ての測定点において終了
するまで繰り返して（ステップＳ３０５）測定を終了す
る（ステップＳ３０６）。

【００８２】この方法により測定対象機種や測定倍率が
変更になった場合でも隣り合う測定地点毎の移動距離を
設定変更することなく、適切な距離だけ自動で移動させ
ることが可能となる。

【００８３】また、本実施形態の構成によれば、図１１
（ａ）に示すように、書込み光学系２の走査領域におい
て、例えば３回の測定を行ってビーム情報取得部１０に
よって走査ビーム４に対する情報、例えば５つのドット
D0、D1、D2、D3、D4に関して各測定で座標D0（X0,Y
0）、D1（X1,Y1）、D2（X2,Y2）、D3（X3,Y3）、D4（X
4,Y4）が得られた場合、ビーム情報取得部１０が、ＣＣ
Ｄカメラ９によって重複して取得されたドットD0とD1そ
してD2とD3から、D0に対するD2の相対座標は（X2−X1,Y
2−Y1）となる。同様の処理を全測定ドットにおいて行
うことによってＣＣＤカメラ９の移動の際の位置決め誤
差量による測定誤差を含まない正確な走査ビーム４の位
置を取得できる。また、測定開始時に初期化を行って走
査面内における原点検出を行ってから上記測定を行うこ
とによって、図１１（ｂ）のように走査面内における走
査ビーム４の照射位置をに取得することが可能となる。

【００８４】さらに、ＣＣＤカメラ９の移動の際の位置
決め誤差量による測定誤差、及び、ＣＣＤカメラ９の移
動ラインと書込み光学系２の走査ライン１４との平行度
の誤差を補正した正確な走査ビーム４の位置を取得した
上で、ビーム情報取得部１０によって書込み光学系２の
走査領域において照射される走査ビーム４のドット間隔
を算出することで正確な走査ビーム４のドット間隔を取
得することができる。

【００８５】なお、上述の構成によって取得された走査
ビーム４に対する情報は、モニタ等に出力することで視
覚的に観察及び確認可能にしてもよい。

【００８６】（第３実施形態）図１２は、本発明の第３
実施形態の走査光学系ビーム測定装置を示す図である。
本実施形態の走査光学系ビーム測定装置は、第１実施形
態の構成に、走査ビーム４の走査面内における位置を算
出する基準となるとともにＣＣＤカメラ９に撮像される
基準ビーム２１を照射する基準ビーム照射手段２０を加
えて構成したものである。

【００８７】図１２に示すように、基準ビーム照射手段
２０は発光ダイオードやレーザーダイオード等の発光源
を備え、発光ダイオードやレーザーダイオード等の発光
源から照射される基準ビーム２１がをＣＣＤカメラ９の
撮像範囲９ａにおいて走査ビーム４と重ならない位置に
結像するように設置する。

【００８８】次に動作について説明する。書込み光学系
２によって照射される走査ビーム４のドット列を撮像す
る撮像工程において走査ビーム４のドット列は撮像され
るが、ＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａは書込み光学系２
の走査範囲に比べ非常に狭い範囲であるため、撮像工程
における撮像位置を走査ビーム４の照射位置まで書込み
光学系２の走査面内で主走査方向に移動させる移動工程
によってＣＣＤカメラ９を移動させて、撮像工程におい
て複数の画像を撮像させる必要がある。ＣＣＤカメラ９
の設定した測定装置原点からの移動量をX1、ＣＣＤカメ
ラ９の撮像面上のドット１３の照射座標をX2とすると、
走査面内でビームが照射されている位置は（X1＋X2）と
なる。しかしながら、ＣＣＤカメラ９の移動においては
累積誤差等が含まれているため、設定量X１だけ正確に
移動していないため、撮像工程において取得された画像
に基づいて、走査面内の走査ビーム４に対する情報を取
得するビーム情報取得工程においては走査ビーム４の位
置を正確に取得することができない。

【００８９】そのため、走査ビーム４の走査面内におけ
る位置を算出する基準となるとともに撮像工程において
撮像される基準ビーム２１を照射する基準ビーム照射工
程において照射される基準ビーム２１の照射位置を基準
に走査ビーム４の位置をビーム情報取得工程において画
像演算することで正確な走査ビーム４の位置を取得す
る。

【００９０】図１３に示すように測定装置原点から基準
ビーム２１のドット２２までの主走査方向の距離をX
３、ＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａ内での照射位置座標
をX4、ＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａ内において取得さ
れている走査ビーム４のドットＤ1の位置座標をX5とす
ると、走査面内における走査ビーム４のD1の照射されて
いる位置は（X3−X4＋X5）となり、ＣＣＤカメラ９の移
動において生じる累積誤差による影響もなく、高精度に
走査ビーム４の照射位置を取得することが可能となる。

【００９１】なお、基準ビーム２１を走査ビーム４とは
明らかに異なる形状にすることによって、基準ビーム２
１と走査ビーム４の誤認による測定ミスを防ぐことがで
きる。

【００９２】（第４実施形態）図１４は、本発明の第４
実施形態の走査光学系ビーム測定装置を示す図である。
本実施形態の走査光学系ビーム測定装置は、第３実施形
態の基準ビーム照射手段２０を書込み光学系２の全走査
領域を含む長さにアレイ状に配列して走査ビーム４のド
ット１３の走査方向と平行に基準ビーム２１を複数照射
するように構成し、また、第３実施形態の構成に基準ビ
ームカウント手段としての基準ビームカウント部２３を
加えて構成したものである。

【００９３】基準ビームカウント部２３は、ＣＣＤカメ
ラ９の撮像範囲９ａを通過した基準ビーム２１のドット
２２の数をカウントするもので、本実施形態において基
準ビームカウント部２３は、基準ビームカウント部２３
によってカウントされた基準ビーム２１のドット２２の
数を記憶する記憶部１７としての役割も併せ持ってい
る。

【００９４】次に動作を説明する。図１４に示すよう
に、書込み光学系２の全走査領域を含む長さにアレイ状
に配列された基準ビーム照射手段２０は、基準ビーム２
１の間隔が一定の間隔Ｌ１になるように設置され、基準
ビーム照射手段２０から照射される基準ビーム２１の間
隔Ｌ１は既知のものであるので、ＣＣＤカメラ９の撮像
面を横切る基準ビーム２１の数をカウントすることによ
って、得られたカウント数と基準ビーム照射手段２０の
基準ビーム２１の間隔と基準ビーム２１の照射位置情報
に基づき走査面内におけるＣＣＤカメラ９の位置を取得
でき、ＣＣＤカメラ９を移動させた場合でも移動の際に
生じる累積誤差の影響を含まない正確な走査ビーム４の
照射されている位置を取得することが可能となる。

【００９５】基準ビーム照射手段２０の基準ビーム２１
の間隔がL1で均一であるとすると、測定装置原点から数
えてｎ個の基準ビーム２１がＣＣＤカメラ９の撮像面を
通過した地点で、ＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａ内にお
ける座標X６、X７に基準ビーム２１及び測定対象である
走査ビーム４が照射されていた場合、走査ビーム４の走
査面内における位置は（L1×ｎ−X8−X6＋X７）とな
る。

【００９６】また、書込み光学系２の走査領域において
は、特に走査領域端部ではＣＣＤカメラ９の移動の際に
生じる累積誤差のために所望の基準ビーム２１がＣＣＤ
カメラ９の撮像範囲９ａに照射されない場合がある。図
１５に示すように、例えば測定装置原点から距離L3付近
に照射されている走査ビーム４のドットD２〜D５を測定
する場合、移動部１１に設けられている図示しないステ
ッピングモータやサーボモータ等を用いてＣＣＤカメラ
９を距離L３だけ移動させる。

【００９７】ＣＣＤカメラ９の移動の際に累積誤差がL4
だけ生じた場合、ＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａに照射
される走査ビーム４のドットはD１〜D４であり、走査ビ
ーム４のドットD5は撮像することができない。そのた
め、ビーム情報取得部１０によってＣＣＤカメラ９の実
移動距離L5、及び、所望の移動距離L3との誤差であるL4
＝L3−L5を算出し、この算出結果に基づいて制御部１２
が、ＣＣＤカメラ９を誤差L4だけ更に移動させるよう移
動部１１を制御することで、走査ビームD5をＣＣＤカメ
ラ９の撮像範囲９ａ内に照射させることができる。

【００９８】図１６に本実施形態の走査光学系ビーム測
定方法のフローチャートに示す。測定開始後（ステップ
Ｓ４０１）、ＣＣＤカメラ９を走査面内の測定装置原点
に原点復帰させる（ステップＳ４０２）。次に、ＣＣＤ
カメラ９を移動工程において主走査方向に移動させ、撮
像工程における撮像範囲９ａを通過した基準ビーム２１
のドット２２の数をカウントする基準ビームカウント工
程においてＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａを通過した基
準ビーム２１のドット２２の数をカウントし（ステップ
Ｓ４０３）、基準ビームカウント工程によってカウント
された基準ビーム２１のドット２２の数を記憶する記憶
工程において、カウントされたドット２２の数は記憶さ
れる。記憶工程において記憶された基準ビーム２１のド
ット２２の数及び基準ビーム２１が照射されている位置
情報に基づいてビーム情報取得部１０がＣＣＤカメラ９
の実移動距離L5、及び、所望の移動距離L3との誤差であ
るL4＝L3−L5を算出する（ステップＳ４０４）。

【００９９】制御部１２が、この算出結果に基づいて撮
像工程における撮像位置を誤差L4だけ更に移動させるよ
う移動部１１を制御することで（ステップＳ４０５）、
所望の走査ビーム４をＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａに
照射させることができ確実に所望の走査ビーム４の画像
の取得が可能となり（ステップＳ４０６）、画像の取得
後測定を終了する（ステップＳ４０７）。

【０１００】また、書込み光学系２の走査ライン１４に
対してＣＣＤカメラ９の移動ラインが平行でない場合、
得られた走査ビーム４の情報には平行度の誤差の情報を
含んでしまい、正確な走査ビームに対する情報が得られ
ない。例えばＣＣＤカメラ９の撮像可能な領域が主走査
方向に700μｍ、平行度の差が１°の場合、 700×tan(π/180)=12.2 となり、走査ビーム４の副走査方向の誤差は10μm以上
になってしまう。

【０１０１】図１７に示すように、複数の基準ビーム２
１のドット２２がＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａに照射
されるように設置し、得られた画像から基準ビーム２１
のドット２２の重心位置を結んだ直線の傾きβをビーム
情報取得部１０によって算出する。この傾きβは書込み
光学系２に対するＣＣＤカメラ９の移動ラインの平行度
の誤差であり、画像演算によって傾きβだけ走査ビーム
４の画像情報を回転する演算を行うことによって図１８
に示すように、傾きを除去した正確な走査ビーム４に対
する情報を取得することが可能となる。

【０１０２】（第５実施形態）図１９は、本発明の第５
実施形態の走査光学系ビーム測定装置を示す図である。
本実施形態の走査光学系ビーム測定装置は、第４実施形
態の構成に基準ビーム２１のドット２２の位置を検出す
る位置検出素子３０を加えて構成したものである。

【０１０３】図１９に示すように、位置検出素子３０は
ＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａ下部にＣＣＤカメラ９の
撮像面と平行に設けられ、位置検出工程において高速で
基準ビーム照射工程によって照射される基準ビーム２１
の位置を検出することが可能なものである。

【０１０４】次に動作について説明する。制御部１２
は、第４実施形態と同様にして、位置検出素子３０によ
って検出される基準ビーム照射位置に基づいて、走査ビ
ーム４の走査面内における位置を算出する。

【０１０５】なお、位置検出素子３０の位置はＣＣＤカ
メラ９の撮像範囲９ａの上部にＣＣＤカメラ９の撮像面
と平行に設けられてもよい。

【０１０６】（第６実施形態）図２０は、本発明の第６
実施形態の走査光学系ビーム測定装置を示す図である。
本実施形態の走査光学系ビーム測定装置は、第５実施形
態の構成において、構成の一つである位置検出素子３０
の位置を変更したものである。

【０１０７】図２０に示すように基準ビーム照射手段２
０及び位置検出素子３０を、走査ビーム４を撮像するＣ
ＣＤカメラ９の撮像範囲９ａ外、即ち、ＣＣＤカメラ９
の走査ビーム４の撮像に影響を及ぼさない位置、例えば
ＣＣＤカメラ９の裏側に設置する。

【０１０８】上述の構成によれば、ＣＣＤカメラ９の撮
像範囲９ａが狭い場合に、基準ビーム２１の漏れ光が測
定されることで発生するノイズ等が走査ビーム４の情報
に与える誤差要因を除去し、高精度に走査ビームに対す
る情報を取得することが可能となる。

【０１０９】なお、基準ビーム照射手段２０及び位置検
出素子３０は走査ビーム４に影響を与えない場所であれ
ばよいので、例えばＣＣＤカメラ９の上下等に設置して
も良い。

【０１１０】（第７実施形態）図２１は、本発明の第７
実施形態の走査光学系ビーム測定装置を示す図である。
本実施形態の走査光学系ビーム測定装置は、第４実施形
態の構成に基準ビーム２１の位置を検出する位置検出素
子３０と位置変更手段としてのＺ軸ステージ４０を加え
て構成したものである。なお、本実施形態において制御
部１２は、ＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａ内に走査ビー
ム４が照射されるように、ＣＣＤカメラ９によって撮像
される基準ビーム２１の位置に基づいてＺステージ４０
を副走査方向に制御する副走査方向制御手段をも構成し
ている。なお、Ｚステージ４０は位置検出素子３０によ
って検出される基準ビーム２１の位置に基づいて副走査
方向制御手段に副走査方向に制御されてもよい。

【０１１１】位置検出素子３０は、例えば図２１に示す
ようにＣＣＤカメラ９の上端及び下端に設けられ、基準
ビーム２１の照射位置の検出を行う。

【０１１２】Ｚ軸ステージ４０は、撮像工程における撮
像位置に対する書込み光学系２の副走査方向の相対位置
を変更する位置変更工程においてＣＣＤカメラ９の撮像
範囲９ａに対する書込み光学系２の副走査方向の相対位
置を変更するものである。

【０１１３】上述の構成によれば、ＣＣＤカメラ９が取
り付けられている移動部１１が副走査方向に振れて走査
ビーム４がＣＣＤカメラ９の撮像範囲９ａ外になってし
まう場合、図２１に示すように、書込み光学系２及び基
準ビーム照射手段２０を搭載したＺ軸ステージ４０によ
って副走査方向に移動可能であるため、ＣＣＤカメラ９
の上端及び下端に設けられている位置検出素子３０によ
って検出される基準ビーム２１の位置情報に基づいて副
走査方向に書込み光学系２及び基準ビーム照射手段２０
を移動することによって、確実に走査ビーム４を測定す
ることが可能となる。

【０１１４】なお、本実施形態の構成は、ＣＣＤカメラ
９に対する書込み光学系２の副走査方向の相対位置の振
れによる影響が顕著になる拡大光学系４１を用いた場合
に、より一層効果的となる。

【０１１５】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、書込み光
学系の走査領域において複数回の測定を行う場合でも、
撮像手段の移動量を正確に求めるために例えばレーザ測
長器などの高価な測定器を必要とせず、移動による誤差
を除去し正確に走査ビームを測定することが可能にな
る。

【０１１６】また、請求項２記載の発明によれば、書込
み光学系の走査方向に対する撮像手段の移動方向の平行
度の影響を除去し、より正確に走査ビームを測定するこ
とが可能となる。

【０１１７】また、請求項３記載の発明によれば、書込
み光学系の走査領域において、撮像手段の位置決め誤差
量の影響を取り除き、走査ビームの照射位置を正確に取
得することが可能となる。

【０１１８】また、請求項４記載の発明によれば、書込
み光学系の走査領域において、撮像手段の位置決め誤差
量、及び、撮像手段の移動方向と書込み光学系の走査方
向の平行度の誤差の影響を取り除き、走査ビームの照射
位置を正確に取得することが可能となる。

【０１１９】また、請求項５記載の発明によれば、測定
対象機種や測定倍率が変更された場合においても、撮像
手段の移動量の設定をその度に変更することなく測定す
ることが可能となる。

【０１２０】また、請求項６記載の発明によれば、走査
面全域において、照射されている走査ビームのドット間
隔を正確に取得することが可能となる。

【０１２１】また、請求項７記載の発明によれば、照射
されている走査ビーム４の位置情報をモニタ上で容易に
観察することが可能となる。

【０１２２】また、請求項８記載の発明によれば、撮像
工程における撮像位置の移動量を正確に求めるために例
えばレーザ測長器などの高価な測定器を用いることな
く、移動による誤差を除去し正確に走査ビームを測定す
ることが可能になる。

【０１２３】また、請求項９記載の発明によれば、書込
み光学系の走査方向に対する撮像工程における撮像位置
の移動方向の平行度の影響を除き、より正確に走査ビー
ムを測定することが可能となる。

【０１２４】また、請求項１０記載の発明によれば、測
定対象機種や測定倍率が変更された場合においても、撮
像工程における撮像位置の移動量の設定をその度に変更
することなく自動で測定することが可能となる。

【０１２５】また、請求項１1記載の発明によれば、移
動手段による位置決め誤差の影響を除去し、書込み光学
系の走査領域において走査ビームが照射されている位置
を取得することが可能となる。

【０１２６】また、請求項１２記載の発明によれば、移
動手段による位置決め誤差の影響を除去し、書込み光学
系の走査領域において走査ビームが照射されている位置
を取得することが可能となる。

【０１２７】また、請求項１３記載の発明によれば、書
込み光学系の走査領域において、所望の走査ビームを設
定通りの位置に移動させることができ、確実に所望の走
査ビームに対する情報を取得することが可能となる。

【０１２８】また、請求項１４記載の発明によれば、書
込み光学系の走査方向に対する撮像手段の撮像方向の平
行度の影響を除き、より正確に走査ビームを測定するこ
とが可能となる。

【０１２９】また、請求項１５記載の発明によれば、副
走査方向に撮像手段がずれた場合においても、撮像手段
と書込み光学系の副走査方向の相対位置を移動させるこ
とで走査ビームを測定することが可能となる。

【０１３０】また、請求項１６記載の発明によれば、撮
像手段をより高速で位置決めすることができ測定時間を
短縮することが可能となる。

【０１３１】また、請求項１７記載の発明によれば、移
動手段による位置決め誤差の影響を除去し、書込み光学
系の走査領域において走査ビームが照射されている位置
を取得することが可能となる。

【０１３２】また、請求項１８記載の発明によれば、書
込み光学系の走査領域において、所望の走査ビームを設
定通りの位置に移動させることができ、確実に所望の走
査ビームに対する情報を取得することが可能となる。

【０１３３】また、請求項１９記載の発明によれば、基
準ビームからの漏れ光による誤差要因を取り除き、より
高精度に走査ビームに対する情報を取得することが可能
となる。

【０１３４】また、請求項２０記載の発明によれば、書
込み光学系の走査方向に対する撮像手段の移動方向の平
行度の影響を除き、より正確に走査ビームを測定するこ
とが可能となる。

【０１３５】また、請求項２１記載の発明によれば、副
走査方向に撮像手段がずれ、走査ビームが撮像手段の撮
像範囲外に照射された場合に関しても撮像手段と書込み
光学系の相対位置を移動させ走査ビーム４の測定するこ
とが可能となる。

【０１３６】また、請求項２２記載の発明によれば、例
えばレーザ測長器などの高価な測定器を用いることな
く、移動工程における位置決め誤差の影響を除去し、走
査ビームが照射されている位置を取得することが可能と
なる。

【０１３７】また、請求項２３記載の発明によれば、書
込み光学系の走査領域において所望の走査ビームが撮像
工程の撮像位置に確実に照射されるよう位置決めするこ
とが可能となる。

【０１３８】また、請求項２４記載の発明によれば、副
走査方向に撮像工程における撮像位置がずれた場合に関
しても撮像工程における撮像位置と書込み光学系の相対
位置を移動させることによって確実に走査ビームを測定
することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る走査光学系ビーム
測定装置を示す図である。

【図２】走査ビームと撮像手段の撮像範囲を示す図であ
る。

【図３】撮像手段の移動を示す図である。

【図４】本発明の第１実施形態に係る走査光学系ビーム
測定方法のフローチャートである。

【図５】撮像手段によって取得された画像を示す図であ
る。

【図６】撮像手段によって取得された傾きをもった画像
を示す図である。

【図７】本発明の第１実施形態に係る走査光学系ビーム
測定方法のフローチャートである。

【図８】本発明の第２実施形態に係る走査光学系ビーム
測定装置を示す図である。

【図９】本発明の第２実施形態に係る走査光学系ビーム
測定方法のフローチャートである。

【図１０】フォトダイオードからの出力を示す図であ
る。

【図１１】撮像手段によって取得されるドットの座標を
示す図である。

【図１２】本発明の第３実施形態に係る走査光学系ビー
ム測定装置を示す図である。

【図１３】書込み光学系の走査面内における基準ビーム
と走査ビームの位置を示す図である。

【図１４】本発明の第４実施形態に係る走査光学系ビー
ム測定装置を示す図である。

【図１５】実移動距離と所望の移動距離との誤差を示す
図である。

【図１６】本発明の第４実施形態に係る走査光学系ビー
ム測定方法のフローチャートである。

【図１７】撮像手段によって取得された傾きをもった画
像を示す図である。

【図１８】取得された画像を画像演算することによって
得られた画像を示す図である。

【図１９】本発明の第５実施形態に係る走査光学系ビー
ム測定装置を示す図である。

【図２０】本発明の第６実施形態に係る走査光学系ビー
ム測定装置を示す図である。

【図２１】本発明の第７実施形態に係る走査光学系ビー
ム測定装置を示す図である。

【符号の説明】

１ 画像形成装置 ２ 書込み光学系 ４ 走査ビーム ９ ＣＣＤカメラ（撮像手段） １１ 移動部（移動手段） １０ ビーム情報取得部（ビーム情報取得手段） １２ 制御部（制御手段） １３ ドット １５ フォトダイオード（光検出手段） １７ 記憶保持部（記憶手段） １６ 走査ビームカウント部（走査ビームカウント手
段） １８ 比較演算部（比較手段） ９ａ 撮像範囲 ２１ 基準ビーム ２０ 基準ビーム照射手段 ４０ Ｚ軸ステージ（位置変更手段） ３０ 位置検出素子 ２３ 基準ビームカウント部（基準ビームカウント手
段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C362 BA89 BB29 BB30 BB31 BB32 2F065 AA19 AA22 AA26 CC00 FF04 GG06 HH04 JJ03 JJ05 JJ18 JJ26 LL15 LL62 MM16 NN11 PP02 QQ23 QQ25 QQ31 QQ51 SS13 5C072 AA03 BA03 BA16 HA02 HA08 HA13 HB08 HB10 XA05

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】画像形成装置の書込み光学系によって照射
   される走査ビームのドット列を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段を前記書込み光学系の走査面内で主走査方
   向に移動させることによって、前記撮像手段に複数の画
   像を取得させる移動手段と、 前記撮像手段によって撮像された複数の前記画像に基づ
   いて、前記書込み光学系の走査領域内の前記走査ビーム
   に対する情報を取得するビーム情報取得手段とを備える
   ことによって、前記走査ビームを測定する走査光学系ビ
   ーム測定装置において、 直前に前記撮像手段によって取得された前記画像内の前
   記ドット列のうち前記撮像手段の移動方向先頭の１ドッ
   トが、前記撮像手段によって取得される前記画像内の前
   記ドット列に含まれるように前記移動手段を制御する制
   御手段を備えたことを特徴とする走査光学系ビーム測定
   装置。
2. 【請求項２】画像形成装置の書込み光学系によって照射
   される走査ビームのドット列を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段を前記書込み光学系の走査面内で主走査方
   向に移動させることによって、前記撮像手段に複数の画
   像を取得させる移動手段と、 前記撮像手段によって撮像された複数の前記画像に基づ
   いて、前記書込み光学系の走査領域内の前記走査ビーム
   に対する情報を取得するビーム情報取得手段とを備える
   ことによって、前記走査ビームを測定する走査光学系ビ
   ーム測定装置において、 直前に前記撮像手段によって取得された前記画像内の前
   記ドット列のうち前記撮像手段の移動方向先頭の複数の
   ドットが、前記撮像手段によって取得される前記画像内
   の前記ドット列に含まれるように前記移動手段を制御す
   る制御手段を備えたことを特徴とする走査光学系ビーム
   測定装置。
3. 【請求項３】前記ビーム情報取得手段が、前記書込み光
   学系の全走査領域内において、前記撮像手段によって重
   複して取得された前記ドットから前記撮像手段の位置決
   め誤差量を算出し、算出した前記撮像手段の位置決め誤
   差量に基づき前記走査ビームの照射位置を補正演算する
   ことを特徴とする請求項１に記載の走査光学系ビーム測
   定装置。
4. 【請求項４】前記ビーム情報取得手段が、前記書込み光
   学系の全走査領域内において、前記撮像手段によって重
   複して取得された前記ドットから前記撮像手段の位置決
   め誤差量や回転量を算出し、算出した前記撮像手段の位
   置決め誤差量や回転量に基づき前記走査ビームの照射位
   置を補正演算することを特徴とする請求項２に記載の走
   査光学系ビーム測定装置。
5. 【請求項５】前記撮像手段によって取得された前記画像
   内のドット数が前記ビーム情報取得手段によって取得さ
   れるとともに、 前記撮像手段の移動方向後端部に設けられ、通過する前
   記走査ビームのドットを検出する光検出手段と、 前記ビーム情報取得手段によって取得された前記画像内
   のドット数を記憶する記憶手段と、 前記光検出手段によって検出された前記走査ビームのド
   ット数をカウントする走査ビームカウント手段と、 前記記憶手段によって記憶された前記画像内のドット数
   と前記走査ビームカウント手段によってカウントされた
   前記走査ビームのドット数とを比較演算する比較手段と
   を備え、 前記制御手段が、前記比較手段からの演算結果に基づい
   て、前記移動手段を制御することを特徴とする請求項１
   〜４の何れかに記載の走査光学系ビーム測定装置。
6. 【請求項６】前記ビーム情報取得手段が、前記書込み光
   学系の全走査領域内における前記走査ビームの各ドット
   間距離を算出することを特徴とする請求項４に記載の走
   査光学系ビーム測定装置。
7. 【請求項７】前記ビーム情報取得手段によって取得され
   た前記走査ビームに対する情報を画像表示する表示手段
   を備えることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載
   の走査光学系ビーム測定装置。
8. 【請求項８】画像形成装置の書込み光学系によって照射
   される走査ビームのドット列を撮像する撮像工程と、 前記走査ビームのドット列を撮像する撮像位置を前記書
   込み光学系の走査面内で主走査方向に移動させることに
   よって前記撮像工程において複数の画像を取得させる移
   動工程とを備え、 前記移動工程において、直前に前記撮像工程において取
   得された前記画像内の前記ドット列のうち前記撮像位置
   の移動方向先頭の１ドットが、前記撮像工程によって取
   得される前記画像内の前記ドット列に含まれるように前
   記撮像位置を主走査方向に移動させることを特徴とする
   走査光学系ビーム測定方法。
9. 【請求項９】画像形成装置の書込み光学系によって照射
   される走査ビームのドット列を撮像する撮像工程と、 前記走査ビームのドット列を撮像する撮像位置を前記書
   込み光学系の走査面内で主走査方向に移動させることに
   よって前記撮像工程において複数の画像を取得させる移
   動工程とを備え、 前記移動工程において、直前に前記撮像工程において取
   得された前記画像内の前記ドット列のうち前記撮像位置
   の移動方向先頭の複数のドットが、前記撮像工程におい
   て取得される前記画像内の前記ドット列に含まれるよう
   に前記撮像位置を主走査方向に移動させることを特徴と
   する走査光学系ビーム測定方法。
10. 【請求項１０】前記撮像工程において取得された前記画
    像内の前記走査ビームのドット数を記憶する記憶工程
    と、 前記撮像工程における撮像範囲を通過する前記走査ビー
    ムのドット数をカウントする走査ビームカウント工程
    と、 前記記憶工程で記憶された前記画像内の前記走査ビーム
    のドット数と前記走査ビームカウント工程でカウントさ
    れた前記走査ビームのドット数とを比較演算する比較工
    程とを備え、 前記移動工程において、前記比較工程の演算結果に基づ
    いて前記撮像工程における前記撮像位置を移動させるこ
    とを特徴とする請求項８又は９に記載の走査光学系ビー
    ム測定方法。
11. 【請求項１１】画像形成装置の書込み光学系によって照
    射される走査ビームのドット列を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段を前記書込み光学系の走査面内で主走査方
    向に移動させることによって、前記撮像手段に画像を取
    得させる移動手段と、 前記撮像手段によって取得された前記画像に基づいて、
    前記書込み光学系の走査領域内の前記走査ビームに対す
    る情報を取得するビーム情報取得手段とを備えることに
    よって、前記走査ビームを測定する走査光学系ビーム測
    定装置において、 前記走査ビームの前記走査面内における位置を算出する
    基準となるとともに前記撮像手段に撮像される基準ビー
    ムを照射する基準ビーム照射手段を備え、 前記ビーム情報取得手段が、前記撮像手段によって撮像
    された前記基準ビームの位置に基づいて前記走査領域内
    における前記走査ビームの位置を算出することを特徴と
    する走査光学系ビーム測定装置。
12. 【請求項１２】前記基準ビーム照射手段によって照射さ
    れる前記基準ビームのドットが前記走査ビームの走査方
    向と平行に複数照射され、 前記撮像手段を通過した前記基準ビームのドット数をカ
    ウントする基準ビームカウント手段と、 前記基準ビームカウント手段によってカウントされた前
    記基準ビームのドット数を記憶する記憶手段とを備え、 前記ビーム情報取得手段が、前記記憶手段に記憶された
    前記基準ビームのドット数及び前記撮像手段によって撮
    像された前記基準ビームの位置に基づいて前記走査ビー
    ムの前記走査面内における位置を算出することを特徴と
    する請求項１１に記載の走査光学系ビーム測定装置。
13. 【請求項１３】前記記憶手段によって記憶されている前
    記基準ビームのドット数及び前記撮像手段によって撮像
    された前記基準ビームの位置に基づいて、前記撮像手段
    の実移動距離と所望の移動距離との差を前記ビーム情報
    取得手段によって算出し、 算出結果に基づいて前記撮像手段を所望の位置に移動さ
    せるように前記移動手段を制御する制御手段を備えたこ
    とを特徴とする請求項１２に記載の走査光学系ビーム測
    定装置。
14. 【請求項１４】前記基準ビーム照射手段によって前記撮
    像手段の撮像範囲に複数の前記基準ビームが照射され、 前記ビーム情報取得手段が、前記撮像手段によって取得
    される複数の前記基準ビームの位置から前記書込み光学
    系の走査方向と前記撮像手段の移動方向との傾きを算出
    し、 算出結果に基づいて前記走査ビームに対する情報から前
    記傾きを補正演算することを特徴とした請求項１１〜１
    ３に記載の走査光学系ビーム測定装置。
15. 【請求項１５】前記撮像手段に対する前記書込み光学系
    の副走査方向の相対位置を変更する位置変更手段と、 前記撮像手段の撮像範囲内に前記走査ビームが照射され
    るように、前記撮像手段によって撮像される前記基準ビ
    ームの位置に基づき位置変更手段を制御する副走査方向
    制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項１１〜１
    ４の何れかに記載の走査光学系ビーム測定装置。
16. 【請求項１６】画像形成装置の書込み光学系によって照
    射される走査ビームのドット列を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段を前記書込み光学系の走査面内で平行移動
    させることによって、前記撮像手段に画像を取得させる
    移動手段と、 前記撮像手段によって取得された前記画像に基づいて、
    前記書込み光学系の走査領域内の前記走査ビームに対す
    る情報を取得するビーム情報取得手段とを備えることに
    よって、前記走査ビームを測定する走査光学系ビーム測
    定装置において、 前記走査ビームの前記走査面内における位置を算出する
    基準となる基準ビームを照射する基準ビーム照射手段
    と、 前記基準ビームの位置を検出する位置検出素子とを備
    え、 前記ビーム情報取得手段が、前記位置検出素子によって
    検出された前記基準ビームの位置に基づいて前記走査ビ
    ームの前記走査領域内における位置を算出することを特
    徴とする走査光学系ビーム測定装置。
17. 【請求項１７】前記基準ビーム照射手段によって照射さ
    れる前記基準ビームのドットが前記走査ビームの走査方
    向と平行に複数照射され、 前記撮像手段を通過した前記基準ビームのドット数をカ
    ウントする基準ビームカウント手段と、 前記基準ビームカウント手段によってカウントされた前
    記基準ビームのドット数を記憶する記憶手段とを備え、 前記ビーム情報取得手段が、前記記憶手段に記憶された
    前記基準ビームのドット数及び前記位置検出素子によっ
    て検出された前記基準ビームの位置に基づいて前記走査
    ビームの前記走査領域内における位置を算出することを
    特徴とする請求項１６に記載の走査光学系ビーム測定装
    置。
18. 【請求項１８】前記記憶手段によって記憶されている前
    記基準ビームのドット数及び前記位置検出素子によって
    検出された前記基準ビームの位置に基づいて前記撮像手
    段の実移動距離と所望の移動距離との差を前記ビーム情
    報取得手段によって算出し、 算出結果に基づいて前記撮像手段を所望の位置に移動さ
    せるように前記移動手段を制御する制御手段を備えたこ
    とを特徴とする請求項１７に記載の走査光学系ビーム測
    定装置。
19. 【請求項１９】前記基準ビーム照射手段及び前記位置検
    出素子を前記撮像手段の撮像範囲外に配置することを特
    徴とする請求項１８に記載の走査光学系ビーム測定装
    置。
20. 【請求項２０】前記基準ビーム照射手段によって前記撮
    像手段の撮像範囲内に複数の前記基準ビームが照射さ
    れ、 前記ビーム情報取得手段が、前記位置検出素子によって
    検出される複数の前記基準ビームの位置から前記書込み
    光学系の走査方向と前記撮像手段の移動方向との傾きを
    算出し、 算出結果に基づいて前記走査ビームに対する情報から前
    記傾きを補正演算することを特徴とした請求項１６〜１
    ８に記載の走査光学系ビーム測定装置。
21. 【請求項２１】前記撮像手段に対する前記書込み光学系
    の副走査方向の相対位置を変更する位置変更手段と、 前記撮像手段の撮像範囲内に前記走査ビームが照射され
    るように、前記位置検出素子によって検出される前記基
    準ビームの位置に基づき位置変更手段を制御する副走査
    方向制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項１６
    〜２０の何れかに記載の走査光学系ビーム測定装置。
22. 【請求項２２】画像形成装置の書込み光学系によって照
    射される走査ビームのドット列を撮像する撮像工程と、 前記撮像工程における撮像位置を前記書込み光学系の走
    査面内で主走査方向に移動させることによって、前記撮
    像工程において複数の画像を取得させる移動工程と、 前記撮像工程において取得された前記画像に基づいて、
    前記書込み光学系の走査領域内の前記走査ビームに対す
    る情報を取得するビーム情報取得工程と、 前記走査ビームの前記走査面内における位置を算出する
    基準となる基準ビームを照射する基準ビーム照射工程
    と、 前記基準ビーム照射工程によって照射される前記基準ビ
    ームの位置を検出する位置検出工程とを備え、 前記ビーム情報取得工程において、前記位置検出工程に
    おいて検出された前記基準ビームの位置に基づいて前記
    走査面内における前記走査ビームの位置を算出すること
    を特徴とする走査光学系ビーム測定方法。
23. 【請求項２３】前記基準ビーム照射工程によって照射さ
    れる前記基準ビームのドットが前記走査ビームの走査方
    向と平行に複数照射され、 前記撮像工程における撮像範囲を通過した前記基準ビー
    ムのドット数をカウントする基準ビームカウント工程
    と、 前記基準ビームカウント工程によってカウントされた前
    記基準ビームのドット数を記憶する記憶工程と、 前記記憶工程によって記憶されている前記基準ビームの
    ドット数及び前記位置検出工程において検出された前記
    基準ビームの位置に基づいて、前記ビーム情報取得工程
    が前記撮像工程における撮像位置の実移動距離と所望の
    移動距離との差を算出し、前記算出結果に基づいて前記
    撮像工程における撮像位置を所望の位置に移動させるよ
    うに前記移動工程を制御する制御工程と、を備えたこと
    を特徴とする請求項２２に記載の走査光学系ビーム測定
    方法。
24. 【請求項２４】前記撮像工程における撮像位置に対する
    前記書込み光学系の副走査方向の相対位置を変更する位
    置変更工程を備え、 前記位置変更工程において、前記撮像工程において前記
    走査ビームが撮像されるように、前記位置検出工程にお
    いて検出される前記基準ビームの位置に基づいて、前記
    撮像工程における撮像位置と前記書込み光学系の副走査
    方向の相対位置を移動することを特徴とする請求項２２
    又は２３記載の走査光学系ビーム測定方法。