DE102022101257A1 - Testgerät, testverfahren und programm - Google Patents

Testgerät, testverfahren und programm Download PDF

Info

Publication number
DE102022101257A1
DE102022101257A1 DE102022101257.3A DE102022101257A DE102022101257A1 DE 102022101257 A1 DE102022101257 A1 DE 102022101257A1 DE 102022101257 A DE102022101257 A DE 102022101257A DE 102022101257 A1 DE102022101257 A1 DE 102022101257A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
cells
unit
emitting device
photoelectric signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102022101257.3A
Other languages
English (en)
Inventor
Kotaro HASEGAWA
Kouji Miyauchi
Go UTAMARU
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Publication of DE102022101257A1 publication Critical patent/DE102022101257A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2632Circuits therefor for testing diodes
    • G01R31/2635Testing light-emitting diodes, laser diodes or photodiodes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B45/00Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED]
    • H05B45/50Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED] responsive to malfunctions or undesirable behaviour of LEDs; responsive to LED life; Protective circuits
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/003Measuring mean values of current or voltage during a given time interval
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/165Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values
    • G01R19/16528Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values using digital techniques or performing arithmetic operations
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G01R31/2825Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere in household appliances or professional audio/video equipment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2879Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to electrical aspects, e.g. to voltage or current supply or stimuli or to electrical loads
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B45/00Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED]
    • H05B45/20Controlling the colour of the light
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B45/00Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED]
    • H05B45/30Driver circuits
    • H05B45/34Voltage stabilisation; Maintaining constant voltage
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B45/00Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED]
    • H05B45/30Driver circuits
    • H05B45/345Current stabilisation; Maintaining constant current
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/06Passive matrix structure, i.e. with direct application of both column and row voltages to the light emitting or modulating elements, other than LCD or OLED
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2360/00Aspects of the architecture of display systems
    • G09G2360/14Detecting light within display terminals, e.g. using a single or a plurality of photosensors
    • G09G2360/145Detecting light within display terminals, e.g. using a single or a plurality of photosensors the light originating from the display screen
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/22Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
    • G09G3/30Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
    • G09G3/32Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
  • Eye Examination Apparatus (AREA)
  • Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
  • Maintenance And Management Of Digital Transmission (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

[Technisches Problem] Mit dem Verfahren, bei dem eine von zwei zu prüfenden LEDs veranlasst wird, Licht zu emittieren, und die andere veranlasst wird, Licht aufzunehmen, und optische Eigenschaften der LEDs unter Verwendung eines Stromwerts einer Stromausgabe durch einen photoelektrischen Effekt geprüft werden, könnten optische Eigenschaften mehrerer LEDs nicht gemeinsam geprüft werden. [Mittel zur Lösung] Ein Testgerät enthält: eine elektrische Anschlusseinheit, die dazu beschaffen ist, elektrisch mit einer Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen verbunden ist, die eine Vielzahl von Zellen aufweist, die jeweils eine lichtemittierende Vorrichtung aufweisen und in einer Zeilenrichtung und einer Spaltenrichtung angeordnet sind, eine Lichtquelleneinheit, die dazu beschaffen ist, die Vielzahl von Zellen gemeinsam mit Licht zu bestrahlen, eine Leseeinheit, die dazu beschaffen ist, für jede Zeile der Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen ein photoelektrisches Signal auszulesen, das durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts in jeder von zwei oder mehr der Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, von der lichtemittierenden Vorrichtung erhalten wird, eine Messeinheit, die dazu beschaffen ist, ein photoelektrisches Signal zu messen, das von jeder der Vielzahl von Zellen ausgelesen wird, und eine Bestimmungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine Qualität einer jeden der Vielzahl von Zellen auf der Grundlage von Messergebnissen der Messeinheit zu bestimmen.

Description

  • Hintergrund
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Testgerät, ein Testverfahren und ein Programm.
  • Stand der Technik
  • Es ist ein Verfahren bekannt, bei dem bewirkt wird, dass eine von einem Paar von zu testenden LEDs Licht emittiert und die andere das Licht empfängt, und optische Eigenschaften der LED unter Verwendung eines Stromwerts einer Stromausgabe geprüft werden, die durch einen photoelektrischen Effekt ausgegeben wird (siehe beispielsweise Patentdokumente 1 und 2).
  • Zitationsliste
  • Patentdokumente
    • Patentdokument 1: Japanische Offenlegungsschrift der PCT-Anmeldung Nr. 2019-507953
    • Patentdokument 2: Veröffentlichung der japanischen Patentanmeldung Nr. 2010 - 230568
  • Zusammenfassung
  • Da es jedoch bei dem obigen Verfahren erforderlich ist, eine Prüfung dadurch durchzuführen, indem aufeinanderfolgend jede LED veranlasst wird, Licht zu emittieren, können optische Eigenschaften einer Vielzahl von LEDs nicht gemeinsam geprüft werden.
  • Bei einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Testgerät bereitgestellt.
  • Das Testgerät kann eine elektrische Anschlusseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, elektrisch mit einer Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen verbunden zu werden, die eine Vielzahl von Zellen aufweist, die jeweils eine lichtemittierende Vorrichtung aufweisen und in einer Zeilenrichtung und einer Spaltenrichtung angeordnet sind. Das Testgerät kann eine Lichtquelleneinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, die Vielzahl von Zellen gemeinsam mit Licht zu bestrahlen. Das Testgerät kann eine Leseeinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, für jede Zeile der Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen ein photoelektrisches Signal auszulesen, das durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts in jeder von zwei oder mehr der Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, von der lichtemittierenden Vorrichtung erhalten wird. Das Testgerät kann eine Messeinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, ein photoelektrisches Signal zu messen, das von jeder der Vielzahl von Zellen ausgelesen wird. Das Testgerät kann eine Bestimmungseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, eine Qualität einer jeden der Vielzahl von Zellen auf der Grundlage von Messergebnissen der Messeinheit zu bestimmen.
  • Die Leseeinheit kann ein photoelektrisches Signal von jeder der zwei oder mehreren Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, während die Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen mit Licht bestrahlt wird, auslesen.
  • Die Bestimmungseinheit kann wenigstens eine Zelle, die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung enthält, bei der das gemessene photoelektrische Signal unter der Vielzahl von Zellen außerhalb eines Normbereichs liegt, als mangelhaft bestimmen.
  • Die Bestimmungseinheit kann als Normbereich einen Bereich verwenden, der auf einer Statistik entsprechend dem photoelektrischen Signal basiert, das von jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen ausgegeben wird.
  • Die Bestimmungseinheit kann den Normbereich verwenden, der sich für jede Emissionsfarbe der lichtemittierenden Vorrichtung unterscheidet.
  • Eine Vielzahl von gleichfarbigen lichtemittierenden Vorrichtungen, die miteinander eine gleiche Farbe emittieren, sind miteinander in der Vielzahl von Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, verbunden. Die Bestimmungseinheit kann einen mittleren Strombetrag und eine Standardabweichung der photoelektrischen Signale verwenden, die für die Vielzahl von gleichfarbigen lichtemittierenden Vorrichtungen gemessen werden, die miteinander verbunden sind.
  • Eine Vielzahl von gleichfarbigen lichtemittierenden Vorrichtungen, die miteinander eine gleiche Farbe emittieren, sind miteinander in der Vielzahl von Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, verbunden. Die Bestimmungseinheit kann einen mittleren Strombetrag und eine Standardabweichung des photoelektrischen Signals verwenden, das für jede einer Vielzahl von gleichfarbigen Einheiten, die durch Unterteilen in zwei oder mehr lichtemittierenden Vorrichtungen erhalten werden, gemessen wird, wobei die Vielzahl von gleichfarbigen lichtemittierenden Vorrichtungen miteinander verbunden sind.
  • Bei einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Testverfahren bereitgestellt. Das Testverfahren kann das elektrische Verbinden einer elektrischen Anschlusseinheit mit einer Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen, die eine Vielzahl von Zellen aufweist, die jeweils eine lichtemittierende Vorrichtung aufweisen und in einer Zeilenrichtung und einer Spaltenrichtung angeordnet sind, enthalten. Das Testverfahren kann das gemeinsame Bestrahlen der Vielzahl von Zellen mit Licht enthalten. Das Testverfahren kann das Auslesen eines photoelektrischen Signals für jede Zeile der Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen, das durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts in jeder von zwei oder mehr der Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, von der lichtemittierenden Vorrichtung erhalten wird, enthalten. Das Testverfahren kann das Messen eines photoelektrischen Signals, das von jeder der Vielzahl von Zellen ausgelesen wird, und Bestimmen einer Qualität einer jeden der Vielzahl von Zellen auf der Grundlage von Messergebnissen der Messeinheit enthalten.
  • Bei einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Programm bereitgestellt, das durch ein Testgerät ausgeführt wird, das eine Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen prüft, die eine Vielzahl von Zellen aufweist, die jeweils eine lichtemittierende Vorrichtung aufweisen, wobei das Programm das Testgerät veranlasst, das oben beschriebene Testverfahren auszuführen.
  • Die zusammenfassende Klausel beschreibt nicht notwendigerweise alle notwendigen Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der oben beschriebenen Merkmale sein.
  • Figurenliste
    • 1 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines Testgeräts 100 zum Testen einer LED-Tafel 15 zeigt.
    • 2 ist ein Beispiel (A) einer Seitenansicht und ein Beispiel (B) einer Draufsicht der LED-Tafel 15 in einem Zustand, bei dem es mit dem Testgerät 100 verbunden ist.
    • 3 ist ein Beispiel für ein exemplarisches Schema zum Erklären eines Zustands, bei dem die LED-Tafel 15 mit dem Testgerät 100 verbunden ist.
    • 4 ist ein Beispiel für ein Ablaufdiagramm, das einen Ablauf eines Testverfahrens durch das Testgerät 100 zeigt.
    • 5 ist ein Schema, das ein Beispiel eines Computers 1200 zeigt, in welchem eine Vielzahl von Aspekten der vorliegenden Erfindung ganz oder teilweise verkörpert sein können.
  • Beschreibung exemplarischer Ausführungsbeispiele
  • Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen der Erfindung beschrieben, aber die folgenden Ausführungsbeispiele schränken die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht ein. Zudem sind nicht alle in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmalskombinationen für die erfindungsgemäße Lösung wesentlich. In der Zeichnung werden gleiche oder ähnliche Teile mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet und eine redundante Beschreibung wird unterlassen.
  • 1 ist ein Beispiel einer Gesamtansicht, die einen Entwurf eines Testgeräts 100 zum Testen einer LED-Tafel 15 zeigt. Zudem ist 2 ein Beispiel (A) einer Seitenansicht und ein Beispiel (B) einer Draufsicht der LED-Tafel 15 in einem Zustand, bei dem es elektrisch mit dem Testgerät 100 verbunden ist. 3 ist ein Beispiel eines exemplarischen Schemas zum Erklären eines Zustands, bei dem die LED-Tafel 15 mit dem Testgerät 100 verbunden ist. Man beachte, dass bei der Beschreibung der vorliegenden Anmeldung in einem Fall, bei dem der Begriff „elektrisch verbunden“ definiert ist, dies elektrisch verbunden durch Kontakt oder in einer kontaktlosen Art und Weise elektrisch verbunden bedeuten soll. In 1 sind eine X-Achse mit einer +X-Richtung in der Richtung in der Papieroberfläche nach rechts, eine Z-Achse mit einer +Z-Richtung in der Richtung in der Papieroberfläche nach oben und eine Y-Achse mit einer +Y-Richtung in der Tiefenrichtung der Papieroberfläche so gezeigt, dass sie orthogonal zueinander sind. Im Folgenden kann eine Beschreibung unter Verwendung dieser drei Achsen erfolgen.
  • Wie in 2 gezeigt, enthält die LED-Tafel 15 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Vielzahl von Zellen 12, die in einer Tafel (PLP), wie etwa einer Glasbasis mit einer im Wesentlichen rechteckigen Außenform und mit einer Verdrahtung 11 versehen, ausgebildet sind. Die Vielzahl von Zellen 12 ist in der LED-Tafel 15 in Zeilenrichtung (X-Richtung in der Zeichnung) und Spaltenrichtung (Y-Richtung in der Zeichnung) angeordnet. Jede Zelle 12 kann einem Pixel der LED-Tafel 15 entsprechen. Man beachte, das in 2 ein Teil der LED-Tafel 15 durch Wellenlinien abgeteilt ist, um einige LEDs 10 und Verdrahtungen 11 innerhalb der LED-Tafel 15 zu zeigen. Zudem sind in 3 die LED 10 und die Verdrahtung 11 innerhalb der LED-Tafel 15 gezeigt, um einen Zustand zu beschreiben, bei dem die LED-Tafel 15 mit dem Testgerät 100 verbunden ist. Man beachte, dass die Ausgestaltung der LEDs 10 und dergleichen, die in 2 und 3 gezeigt sind, lediglich ein Beispiel sind und andere Ausgestaltungen und Zahlen verwendet werden können.
  • Jede der Vielzahl von Zellen 12 enthält eine oder zwei oder mehr LEDs 10. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält jede Zelle 12 drei LEDs 10, die als Beispiel drei RGB-Farben entsprechen, wie durch einen gestrichelten Rahmen in 2 und 3 angedeutet.
  • Beispielsweise wird die LED-Tafel 15 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel durch eine passive Matrixansteuerung angesteuert. Wie in 2 gezeigt, ist die Vielzahl von LEDs 10, die in der LED-Tafel 15 enthalten ist, in Zeilenrichtung und Spaltenrichtung in einem Zustand angeordnet, bei dem sie durch die Verdrahtung 11 elektrisch miteinander verbunden sind. Wie in 3 gezeigt, sind in jeder Zeile die Anoden der Vielzahl von LEDs 10, die in der Zeilenrichtung angeordnet sind, elektrisch mit einer der Zeile entsprechenden Zeilenleitung 11r verbunden. In jeder Spalte sind die Kathoden der Vielzahl von LEDs 10, die in Spaltenrichtung angeordnet sind, elektrisch mit einer der Spalte entsprechenden Spaltenleitung 11c verbunden.
  • Hier sind beim vorliegenden Ausführungsbeispiel bei der Vielzahl von in der Spaltenrichtung angeordneten Zellen 12 eine Vielzahl von gleichfarbigen LEDs 10, die miteinander die gleiche Farbe emittieren, miteinander verbunden. Bei der Vielzahl von in Spaltenrichtung angeordneten Zellen 12 sind rote LEDs 10 miteinander durch eine Spaltenleitung 11c verbunden. Gleicherweise sind bei der Vielzahl von Zellen 12 grüne LEDs 10 miteinander durch eine Spaltenleitung 11c verbunden und blaue LEDs 10 sind miteinander durch eine Spaltenleitung 11c verbunden.
  • Die LED 10 ist beim vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Mikro-LED mit einer Abmessung von 100 µm oder weniger. Man beachte, dass die LED 10 anstelle der Mikro-LED eine Mini-LED mit einer Abmessung von mehr als 100 µm und kleiner oder gleich 200 µm, eine LED mit einer Abmessung von mehr als 200 µm oder eine andere lichtemittierende Vorrichtung sein kann, wie etwa eine LD. Beispielsweise kann die LED-Tafel 15 eine organische Anzeigetafel sein, das eine organische Leuchtdiode als jede der Vielzahl von LEDs 10 verwendet.
  • Das Testgerät 100 nutzt den photoelektrischen Effekt jeder LED 10 in der LED-Tafel 15, um die optischen Eigenschaften der Vielzahl von Zellen 12, die jeweils die LED 10 enthalten, auf der Grundlage eines photoelektrischen Signalausgangs von der LED 10 gemeinsam zu testen, bei der eine Bestrahlung mit Licht durchgeführt wird. Das Testgerät 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält ein Substrat 20, eine elektrische Anschlusseinheit 110, eine Lichtquelleneinheit 120, eine Temperatursteuereinheit 126, eine Leseeinheit 115, eine Messeinheit 130, eine Steuereinheit 140, eine Speichereinheit 145, eine Platzierungseinheit 150 und eine Blockierungseinheit 160.
  • Das Substrat 20 hält die LED-Tafel 15. Das Substrat 20 wird auf der Platzierungseinheit 150 angeordnet. Man beachte, dass das Testgerät 100 das Substrat 20 möglicherweise nicht enthält.
  • Die elektrische Anschlusseinheit 110 ist elektrisch mit der LED-Tafel 15 verbunden. Genauer gesagt ist die elektrische Anschlusseinheit 110 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel elektrisch mit der Spaltenleitung 11c jeder Spalte verbunden. Wie in 3 als Beispiel gezeigt, ist die elektrische Anschlusseinheit 110 einer Seitenfläche der LED-Tafel 15 im Substrat 20 zugewandt und ist dadurch elektrisch angeschlossen, dass sie mit dem Anschluss jeder Spaltenleitung 11c in der einen Seitenfläche der LED-Tafel 15 in Kontakt steht. Im Ergebnis ist die elektrische Anschlusseinheit 110 mit einem Ende jeder Spaltenleitung 11c über den Anschluss verbunden und ist elektrisch mit der Vielzahl von LEDs 10 verbunden.
  • Die elektrische Anschlusseinheit 110 ist zudem elektrisch mit der Messeinheit 130 verbunden. Wie in 3 gezeigt, ist die elektrische Anschlusseinheit 110 so beschaffen, dass jede der Vielzahl von Spaltenleitungen 11c unabhängig über die elektrische Anschlusseinheit 110 mit der Messeinheit 130 verbunden ist.
  • Die elektrische Anschlusseinheit 110 ist beim vorliegenden Ausführungsbeispiel dadurch elektrisch verbunden, dass sie in Kontakt mit der Spaltenleitung 11c steht, die die Vielzahl von LEDs 10 verbindet, kann jedoch auf kontaktlose Weise elektrisch verbunden sein, beispielsweise durch elektromagnetische Induktion oder Nahfeldkommunikation.
  • Die Lichtquelleneinheit 120 bestrahlt die Vielzahl von Zellen 12 gemeinsam mit Licht. Die Lichtquelleneinheit 120 bestrahlt beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Vielzahl von LEDs 10 der Vielzahl von Zellen 12 mit Licht in einem Reaktionswellenlängenband der Vielzahl von LEDs 10 der Vielzahl von Zellen 12. Die Lichtquelleneinheit 120 enthält beim vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Lichtquelle 121 und eine Linseneinheit 123.
  • Die Lichtquelle 121 emittiert Licht im Reaktionswellenlängenband der Vielzahl von LEDs 10. Die Lichtquelle 121 kann beispielsweise eine Lichtquelle sein, die Licht in einem breiten Wellenlängenband emittiert, wie etwa eine Xenon-Lichtquelle, oder kann eine Lichtquelle sein, die Licht in einem schmalen Wellenlängenband emittiert, wie etwa eine Laserlichtquelle. Die Lichtquelle 121 kann eine Vielzahl von Laserlichtquellen mit voneinander unterschiedlichen Wellenlängen umfassen. Man beachte, dass in einem Fall, bei dem die Reaktionswellenlänge und die Lichtemissionswellenlänge der LED 10 voneinander verschieden sind, wegen dieses Unterschieds keine geeignete photoelektrische Umwandlung auftritt, selbst wenn die LED 10 mit Licht bestrahlt wird, das die Lichtemissionswellenlänge der LED 10 aufweist.
  • Die Linseneinheit 123 enthält eine oder mehrere Linsen, ist der Bestrahlungseinheit der Lichtquelle 121 benachbart vorgesehen und wandelt das von der Lichtquelle 121 abgestrahlte Streulicht in paralleles Licht 122 um. In 1 ist das parallele Licht 122 durch Schraffierung angedeutet. Die Projektionsebene des parallelen Lichts 122 in der XY-Ebene deckt mindestens die Vielzahl von Zellen 12 der LED-Tafel 15 ab. In 2 und 3 ist die Darstellung der Lichtquelleneinheit 120 weggelassen.
  • Die Temperatursteuereinheit 126 unterdrückt einen Temperaturanstieg der Vielzahl von LEDs 10 aufgrund einer Bestrahlung mit dem Licht. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst die Temperatursteuereinheit 126 einen Temperaturunterdrückungsfilter 125 und eine Filterhalteeinheit 124. Der Temperaturunterdrückungsfilter 125 weist eine hohe Lichtdurchlässigkeit auf und absorbiert einen Wärmestrahl von einfallendem Licht. Die Filterhalteeinheit 124 ist benachbart zur Linseneinheit 123 vorgesehen und hält den Temperaturunterdrückungsfilter 125. Man beachte, dass die Temperatursteuereinheit 126 ferner einen Kühler enthalten kann, der die vom Temperaturunterdrückungsfilter 125 absorbierte Wärme kühlt.
  • Um die Temperaturen der Vielzahl von LEDs 10 konstant zu halten, kann die Temperatursteuereinheit 126 anstelle oder zusätzlich zur obigen Ausgestaltung eine Temperzuführvorrichtung, die die Temperaturen der Vielzahl von LEDs 10 einstellt, einen Luftblasmechanismus, der Luft in Richtung der Vielzahl von LEDs 10 bläst, und dergleichen enthalten. Im Fall, dass der Luftblasmechanismus verwendet wird, kann die Temperatursteuereinheit 126 ferner eine Einheit zum Entfernen statischer Elektrizität umfassen, die verhindert, dass die Vielzahl von LEDs 10 mit statischer Elektrizität aufgeladen werden, wenn Luft durch den Luftblasmechanismus geblasen wird. Die Einheit zum Entfernen statischer Elektrizität kann beispielsweise ein Ionisator sein. Die oben beschriebene Temperzuführvorrichtung kann im Substrat 20 oder dergleichen derart vorgesehen sein, dass sie mit der LED-Tafel 15 in Kontakt steht. Zudem kann der oben beschriebene Luftblasmechanismus so auf der Seite der Platzierungseinheit 150 vorgesehen sein, dass er nicht mit der LED-Tafel 15 in Kontakt steht. Man beachte, dass das Testgerät 100 die Temperatursteuereinheit 126 möglicherweise nicht enthält. In 2 und 3 ist die Darstellung der Temperatursteuereinheit 126 weggelassen.
  • Die Leseeinheit 115 enthält beim vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Zeilenansteuereinheit 116 und eine Spaltenansteuereinheit 117. Die Zeilenansteuereinheit 116 ist über die Zeilenleitung 11r elektrisch mit der Anode der LED 10 verbunden und die Spaltenansteuereinheit 117 ist über die Spaltenleitung 11c elektrisch mit der Kathode der LED 10 verbunden.
  • Die Leseeinheit 115 liest für jede Zeile der LED-Tafel 15 ein photoelektrisches Signal, das durch photoelektrisches Umwandeln von Licht von der LED 10 in jeder der zwei oder mehr Zellen 12, die in Spaltenrichtung angeordnet sind, erhalten wird. Die Leseeinheit 115 legt beim vorliegenden Ausführungsbeispiel an eine Zeilenleitung 11r, die mit drei LEDs 10 der Zelle 12 verbunden ist, von der das photoelektrische Signal gelesen werden soll, eine positive Referenzspannung an, die höher ist als die Potentiale der drei Spaltenleitungen 11c, die mit den drei LEDs 10 verbundenen sind, beispielsweise ein Massepotential, wodurch das photoelektrische Signal gelesen wird, das von den drei LEDs 10 nach der photoelektrischen Umwandlung von Licht ausgegeben wird. Man beachte, dass zudem eine Vielzahl von anderen Zellen 12 mit der Zeilenleitung 11r verbunden ist, wie in 3 gezeigt.
  • Während die LED-Tafel 15 mit Licht bestrahlt wird, liest die Leseeinheit 115 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel das photoelektrische Signal von jeder der zwei oder mehr Zellen 12 aus, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind. Während beispielsweise die Lichtquelle 121 die Vielzahl von Zellen 12 der LED-Tafel 15 gemeinsam mit Licht bestrahlt, legt die Leseeinheit 115 aufeinanderfolgend von der negativen Seite der Y-Achse zur positiven Seite der Y-Achse in 3 die Referenzspannung an jede der Vielzahl von Zeilenleitungen 11r an, wodurch das photoelektrische Signal von jeder der Vielzahl von Zellen 12 gelesen wird, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel wird das von jeder LED 10 zur Spaltenleitung 11c fließende photoelektrische Signal über die elektrische Anschlusseinheit 110 der Messeinheit 130 zugeführt. Man beachte, dass in 2 ein Teil der Leseeinheit 115 durch eine Wellenlinie abgeteilt ist, um die Verdrahtung 11 innerhalb der Leseeinheit 115 zu zeigen.
  • Die Messeinheit 130 misst das von jeder der Vielzahl von Zellen 12 gelesene und über die elektrische Anschlusseinheit 110 zugeführte photoelektrische Signal. Wie in 3 gezeigt, ist die Messeinheit 130 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel mit jeder der Vielzahl von Spaltenleitungen 11c über die elektrische Anschlusseinheit 110 verbunden und misst individuell den Stromwert des von jeder Spaltenleitung 11c gelieferten Stroms. Man beachte, dass die Messeinheit 130 anstelle des Stromwerts einen dem Stromwert entsprechenden Spannungswert messen kann. In 2 ist die Darstellung der Messeinheit 130 weggelassen.
  • Die Steuereinheit 140 steuert jede Komponente des Testgeräts 100. Die Steuereinheit 140 steuert beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Lichtquelle 121 der Lichtquelleneinheit 120, wodurch die Bestrahlungszeit, die Wellenlänge und die Intensität des parallelen Lichts 122 gesteuert werden, mit dem die Vielzahl von Zellen 12 gemeinsam bestrahlt werden. Die Steuereinheit 140 treibt beim vorliegenden Ausführungsbeispiel zudem die Platzierungseinheit 150 so an, dass zumindest die Vielzahl von Zellen 12 der LED-Tafel 15, die auf der Platzierungseinheit 150 angeordnet sind, durch Steuern der Platzierungseinheit 150über das Substrat 20 Licht von der Lichtquelleneinheit 120 in der Blockierungseinheit 160 empfangen können. Man beachte, dass die Steuereinheit 140 die Positionskoordinaten der Blockierungseinheit 160 im Raum und die relative Position zwischen der Blockierungseinheit 160 und der LED-Tafel 15 auf der Platzierungseinheit 150 unter Bezugnahme auf Referenzdaten in der Speichereinheit 145 erfassen kann.
  • Die Steuereinheit 140 steuert ferner die Leseeinheit 115, das photoelektrische Signal von jeder der zwei oder mehr Zellen zu lesen, die in der Spaltenrichtung für jede Zeile der LED-Tafel 15 angeordnet sind. Die Steuereinheit 140 liefert zudem eine Spannung, die verwendet wird, um die Zeilenansteuereinheit 116 und die Spaltenansteuereinheit 117 der Leseeinheit 115 anzusteuern.
  • Die Steuereinheit 140 bestimmt ferner auf der Grundlage des Messergebnisses der Messeinheit 130 die Qualität jeder der Vielzahl von Zellen 12. Um genau zu sein, bestimmt die Steuereinheit 140 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel mindestens eine Zelle 12, die mindestens eine LED 10 enthält, bei der das gemessene photoelektrische Signal unter der Vielzahl von Zellen 12 außerhalb des Normbereichs liegt, als mangelhaft. Die Steuereinheit 140 bezieht sich auf die Speichereinheit 145, um eine Ablaufsteuerung einer Vielzahl von Ausgestaltungen im oben beschriebenen Testgerät 100 durchzuführen. Man beachte, dass die Steuereinheit 140 als ein Beispiel für eine Bestimmungseinheit fungiert. In 2 ist die Darstellung der Steuereinheit 140 weggelassen.
  • Die Speichereinheit 145 speichert ein Messergebnis, Referenzdaten zum Bestimmen der Qualität jeder der Vielzahl von Zellen 12, ein Bestimmungsergebnis, Referenzdaten zum Bewegen der Platzierungseinheit 150, einen Ablauf und ein Programm zum Steuern jeder Komponente beim Testgerät 100 und dergleichen. Auf die Speichereinheit 145 wird von der Steuereinheit 140 Bezug genommen. In 2 ist die Darstellung der Speichereinheit 145 weggelassen.
  • Das Substrat 20, das die LED-Tafel 15 hält, ist in der Platzierungseinheit 150 angeordnet.
  • Die Platzierungseinheit 150 weist beim veranschaulichten Beispiel in der Draufsicht eine im Wesentlichen rechteckige äußere Form auf, kann jedoch eine andere äußere Form aufweisen. Die Platzierungseinheit 150 weist die Funktion auf, eine Vakuumspannvorrichtung, eine elektrostatische Spannvorrichtung oder dergleichen zu halten und hält das angeordnete Substrat 20. Zudem bewegt sich die Platzierungseinheit 150 zweidimensional in der XY-Ebene und bewegt sich in Richtung der Z-Achse auf und ab, indem sie durch die Steuereinheit 140 angetrieben und gesteuert wird. In 1 und 2(A) ist die Darstellung der Platzierungseinheit 150 auf der Seite der negativen Richtung der Z-Achse weggelassen. Zudem wird die Bewegungsrichtung der Platzierungseinheit 150 in 1 und 2 durch einen weißen Pfeil angezeigt. Gleiches gilt für die folgenden Zeichnungen. Man beachte, dass das Testgerät 100 die Platzierungseinheit 150 möglicherweise nicht enthält. In 3 ist die Darstellung der Platzierungseinheit 150 weggelassen.
  • Die Blockierungseinheit 160 blockiert anderes Licht als das Licht von der Lichtquelleneinheit 120. Die Oberfläche der Blockierungseinheit 160 ist beim vorliegenden Ausführungsbeispiel vollständig schwarz lackiert, um eine unregelmäßige Lichtreflexion auf der Oberfläche zu verhindern. Außerdem ist, wie in 1 gezeigt, die Blockierungseinheit 160 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel so vorgesehen, dass sie in engem Kontakt mit dem Außenumfang der Lichtquelle 121 und dem Außenumfang der LED-Tafel 15 steht, und diese Ausgestaltung schirmt anderes Licht als das Licht von der Lichtquelleneinheit 120 ab. Man beachte, dass das Testgerät 100 die Blockierungseinheit 160 möglicherweise nicht enthält. In 2 und 3 ist die Darstellung der Blockierungseinheit 160 weggelassen.
  • 4 ist ein Beispiel eines Ablaufdiagramms zum Erläutern eines Ablaufs eines Testverfahrens durch das Testgerät 100. Der Ablauf wird gestartet, wenn beispielsweise ein Benutzer in das Testgerät 100 eine Eingabe tätigt, dass ein Test der LED-Tafel 15, wobei das Substrat 20 die LED-Tafel 15 hält, die auf der Platzierungseinheit 150 angeordnet ist.
  • Das Testgerät 100 führt einen elektrischen Verbindungsschritt zum elektrischen Verbinden der elektrischen Anschlusseinheit 110 mit der LED-Tafel 15 aus (Schritt S101). Als ein spezifisches Beispiel kann das Testgerät 100 einen Befehl an eine Fördervorrichtung oder dergleichen ausgeben, die die LED-Tafel 15 fördert, um die LED-Tafel 15 auf dem Substrat 20 anzuordnen, so dass die LED-Tafel 15 mit der Leseeinheit 115 und der elektrischen Anschlusseinheit 110 auf dem Substrat 20 verbunden wird.
  • Das Testgerät 100 führt einen Bestrahlungsschritt des gemeinsamen Bestrahlens der Vielzahl von Zellen 12 mit Licht aus (Schritt S103). Als ein spezifisches Beispiel gibt die Steuereinheit 140 einen Befehl an die Platzierungseinheit 150 aus, bewegt die Platzierungseinheit 150 so, dass die LED-Tafel 15 in engem Kontakt mit der Blockierungseinheit 160 kommt, und gibt ferner einen Befehl an die Lichtquelleneinheit 120 aus, um die Vielzahl von Zellen 12 der LED-Tafel 15 mit dem parallelen Licht 122 zu bestrahlen. Man beachte, dass beim vorliegenden Ausführungsbeispiel alle LEDs 10, die in der Vielzahl von Zellen 12 der LED-Tafel 15 enthalten sind, gemeinsam mit dem parallelen Licht 122 bestrahlt werden, aber stattdessen einige der LEDs 10 aufeinanderfolgend mit dem parallelen Licht 122 bestrahlt werden können.
  • Das Testgerät 100 führt für jede Zeile der LED-Tafel 15 einen Leseschritt zum Auslesen eines photoelektrischen Signals aus, bei dem Licht durch die LED 10 in jeder der zwei oder mehr Zellen 12, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, photoelektrisch umgewandelt wird (Schritt S105). Als ein spezifisches Beispiel liest die Steuereinheit 140, während die Lichtquelle 121 die Vielzahl von Zellen 12 der LED-Tafel 15 gemeinsam mit Licht bestrahlt, indem sie einen Befehl an die Leseeinheit 115 ausgibt, aufeinanderfolgend die photoelektrische Signalausgabe an jede Spaltenleitung 11c von jeder der Vielzahl von in Spaltenrichtung angeordneten Zellen 12 durch Einstellen der Zeilenleitung 11r entsprechend der zu lesenden Zeile als eine Referenzspannung und Einstellen der Zeilenleitungen 11r entsprechend den anderen Zeilen als der zu lesenden Zeile als eine Spannung gleich oder niedriger als das Potential der Spaltenleitung 11c für jede Zeile. Die Referenzspannung ist eine positive Spannung, die größer als das Potential der Spaltenleitung 11c ist, mit der die Zelle 12 verbunden ist, von der das photoelektrische Signal gelesen werden soll, beispielsweise das Massepotential. In einem Fall, bei dem die Spaltenleitung 11c auf Massepotential liegt, können die Zeilenleitungen 11r entsprechend den anderen Zeilen als der zu lesenden Zeile auf Massepotential oder die negative Spannung gesetzt werden.
  • Das Testgerät 100 führt einen Messschritt zum Messen des photoelektrischen Signals aus, das von jeder der Vielzahl von Zellen 12 über die elektrische Anschlusseinheit 110 gelesen wird (Schritt S107). Als ein spezifisches Beispiel gibt die Steuereinheit 140 einen Befehl an die Messeinheit 130 aus, veranlasst, dass der Stromwert des Stroms, der individuell von jeder Spaltenleitung 11c über die elektrische Anschlusseinheit 110 zugeführt wird, für jede Zeile gemessen wird, und veranlasst die Steuereinheit 140, das Messergebnis für jede Zelle 12, enthaltend die Vielzahl von LEDs 10, auszugeben. Die Steuereinheit 140 speichert jedes Messergebnis der Vielzahl von Zellen 12 in der Speichereinheit 145. Man beachte, dass die Messeinheit 130 den Stromwert des Stroms, der einzeln von jeder Spaltenleitung 11c zugeführt wird, für jede Zeile einzeln messen kann, während aufeinanderfolgend jede Spalte umgeschaltet wird, oder den Stromwert in Einheiten von Zellen 12 messen kann. Im Fall des Messens in Einheiten von Zellen 12, können die Stromwerte der Ströme, die von drei benachbarten Spaltenleitungen 11c zugeführt werden, mit denen drei benachbarte in der Zelle 12 enthaltene LEDs 10 verbunden sind, die entsprechende RGB-Farben emittieren, gemeinsam gemessen werden.
  • Das Testgerät 100 führt einen Bestimmungsschritt zum Bestimmen der Qualität jeder der Vielzahl von Zellen 12 auf der Grundlage des Messergebnisses des oben beschriebenen Messschritts (Schritt S109) aus, und der Ablauf endet. Als ein spezifisches Beispiel bestimmt die Steuereinheit 140 in einem Fall, bei dem die Messergebnisse aller Zellen 12 der LED-Tafel 15 unter Bezugnahme auf die Messergebnisse der Speichereinheit 145 und die Referenzdaten gespeichert werden, auf der Grundlage der Messergebnisse die Qualität von jeder aus der Vielzahl von Zellen 12.
  • Wie oben beschrieben bestimmt die Steuereinheit 140 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel mindestens eine Zelle 12 mit mindestens einer LED 10 aus der Vielzahl von Zellen 12, bei der das gemessene photoelektrische Signal außerhalb des Normbereichs liegt, als mangelhaft. Die Steuereinheit 140 kann als Normbereich einen Bereich basierend auf der Statistik verwenden, die dem von jeder der Vielzahl von LEDs 10 ausgegebenen photoelektrischen Signal entspricht. Als Beispiel für die Statistik kann ein Bereich innerhalb des Mittelwerts ±1σ, ein Bereich innerhalb des Mittelwerts ±2σ oder ein Bereich innerhalb des Mittelwerts ±3σ des photoelektrischen Signals verwendet werden.
  • Um genau zu sein, kann die Steuereinheit 140 unterschiedliche Normbereiche für die jeweiligen Emissionsfarben der LEDs 10 verwenden. Die Steuereinheit 140 kann ferner einen mittleren Strombetrag und eine Standardabweichung der photoelektrischen Signale verwenden, die für die Vielzahl von gleichfarbigen LEDs 10, die durch jede Spaltenleitung 11c miteinander verbunden sind, gemessen werden.
  • In diesem Fall berechnet die Steuereinheit 140 den Mittelwert und die Standardabweichung σ auf der Grundlage des aktuellen Werts des Stroms, der von den gleichfarbigen LEDs 10 für jede Spaltenleitung 11c fließt, der in der Speichereinheit 145 gespeichert ist, oder auf der Grundlage der Stromwerte, die für die Vielzahl von Spaltenleitungen 11c gemessen werden, an die die gleichfarbigen LEDs 10 angeschlossen sind. Außerdem kann in einem Fall, bei dem eine Vielzahl von Spitzenwerten in den Stromwerten vorhanden sind, die Statistik der Stromwerte unter Verwendung einer statistischen Verarbeitung berechnet werden, die in der Lage ist, den Vielzahl von Spitzenwerten ohne Verwendung der Standardabweichung zu entsprechen.
  • Zusätzlich zu der statistischen Verarbeitung unter Verwendung des Mittelwerts und der Standardabweichung kann jede beliebige statistische Verarbeitung verwendet werden. Um beispielsweise mit einem Fall zurechtzukommen, bei dem es eine Vielzahl von Spitzenwerten gibt, oder einen Fall, bei dem die Spitzenwerte in dem statistischen Wert des photoelektrischen Signals verzerrt sind, kann eine mathematische Formel der Standardabweichung anders gestaltet werden, andere Algorithmen oder eine Kombination von Algorithmen können übernommen werden und diese können in Abhängigkeit von den Eigenschaften der LED 10 verwendet werden. Ein Beispiel für einen anderen Algorithmus kann Good Die in Bad Neighborhood (GDBN), Cluster-Erkennung oder dergleichen sein.
  • Man beachte, dass die Steuereinheit 140 anstelle des oben beschriebenen mittleren Stromwerts und der Standardabweichung den mittleren Strombetrag und die Standardabweichung des photoelektrischen Signals verwenden kann, die für jede der Vielzahl von gleichfarbigen Einheiten, die durch Unterteilen in zwei oder mehr LEDs 10 erhalten werden, wobei die Vielzahl von gleichfarbigen LEDs 10 miteinander verbunden sind, gemessen werden.
  • Die Steuereinheit 140 kann die ausgewählte LED 10 in einem Fall als manglehaft bestimmen, bei dem die Leuchtdichte des von der ausgewählten LED 10 emittierten Lichts außerhalb des Normbereichs liegt. Die Steuereinheit 140 kann als Normbereich einen Bereich verwenden, der auf einer Statistik basiert, die der Leuchtdichte des Lichts entspricht, das von mindestens einer LED 10 emittiert wird, die einer Lichtemissionsverarbeitung unterzogen werden soll.
  • Als Vergleichsbeispiel mit dem Testverfahren durch das Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels ist beispielsweise ein Testverfahren für optische Eigenschaften von LEDs denkbar, bei dem eine Vielzahl von auf einem Wafer angeordnete LEDs eine nach der anderen aufeinanderfolgend eingeschaltet werden und Licht von einem Bildsensor, einem Spektralleuchtdichtemessgerät oder dergleichen aufgenommen wird, um zu bestimmen, ob das Licht richtig emittiert wird.
  • In einem Fall, bei dem die optischen Eigenschaften der oben beschriebenen Vielzahl von LEDs gemeinsam unter Verwendung des Testverfahrens des Vergleichsbeispiels gemessen werden, überlagert sich Licht, das von jeder der Vielzahl benachbarter LEDs abgestrahlt wird, und eine mangelhafte LED, die vergleichsweise schlechte optische Eigenschaften aufweist, kann nicht korrekt identifiziert werden, und ein Bildsensor oder dergleichen ist zum Ausführen einer Bilderkennung in einem weiten Bereich mit hoher Genauigkeit sehr teuer. Insbesondere in einem Fall, bei dem eine Vielzahl von Mikro-LEDs getestet wird, ist das Problem erheblich.
  • Andererseits ist gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels die elektrische Anschlusseinheit 110 elektrisch mit der LED-Tafel 15 verbunden, die Vielzahl von Zellen 12, die in der LED-Tafel 15 enthalten sind, wird gemeinsam mit Licht bestrahlt, und für jede Zeile der LED-Tafel 15 wird das photoelektrische Signal ausgelesen, bei dem das Licht von der LED 10 in jeder der zwei oder mehr Zellen 12, die in Spaltenrichtung angeordnet sind, photoelektrisch umgewandelt wird. Das Testgerät 100 misst ferner das von jeder der Vielzahl von Zellen 12 ausgelesene photoelektrische Signal und bestimmt die Qualität jeder der Vielzahl von Zellen 12 auf der Grundlage des Messergebnisses. Im Ergebnis kann das Testgerät 100 nicht nur die Verarbeitungszeit durch gleichzeitiges Messen der photoelektrischen Signale der Vielzahl von Zellen 12 verkürzen, sondern kann auch eine mangelhafte Zelle 12 mit schlechten optischen Eigenschaften richtig identifizieren, indem die Qualität der Zelle 12 unter Verwendung der photoelektrischen Signale bestimmt wird, die gemessenen werden, ohne durch die Messung der optischen Eigenschaften der anderen Zellen 12 beeinträchtigt zu werden. Zudem kann gemäß dem Testgerät 100 die Anzahl der gleichzeitig zu messenden Zellen 12 leicht erweitert werden.
  • Gemäß dem Testgerät 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels können für die anderen Ausgestaltungen mit Ausnahme der Lichtquelleneinheit 120, der Temperatursteuereinheit 126, der Leseeinheit 115, des Substrats 20 und der Blockierungseinheit 160, d.h. für die elektrische Anschlusseinheit 110, die Messeinheit 130, die Steuereinheit 140, die Speichereinheit 145 und die Platzierungseinheit 150 diejenigen verwendet werden, die zum Testen von anderen Vorrichtungen als optischen Vorrichtungen, wie beispielsweise die LED-Tafel 15, verwendet werden.
  • Verschiedene Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung können auch unter Bezugnahme auf Ablaufpläne und Blockschemata beschrieben werden, bei denen die Blöcke (1) einen Verarbeitungsschritt darstellen können, bei dem eine Operation ausgeführt wird, oder (2) einen Abschnitt einer Vorrichtung, der verantwortlich ist für die Durchführung der Aktion. Bestimmte Schritte und Abschnitte können durch dedizierte Schaltungen, programmierbare Schaltungen, die mit computerlesbaren Anweisungen versehen sind, die auf einem computerlesbaren Medium gespeichert sind, und/oder einen Prozessor, der mit computerlesbaren Anweisungen versehen ist, die auf einem computerlesbaren Medium gespeichert sind, implementiert werden. Die dedizierten Schaltungen können digitale und/oder analoge Hardwareschaltungen umfassen und können integrierte Schaltungen (ICs) und/oder diskrete Schaltungen umfassen. Die programmierbare Schaltung kann rekonfigurierbare Hardwareschaltungen umfassen, einschließlich Speicherelemente wie logisches UND, logisches ODER, logisches XOR, logisches NAND, logisches NOR und andere logische Operationen, Flip-Flops, Register, feldprogrammierbare Gate-Arrays (FPGA), programmierbare Logik-Arrays (PLA) und dergleichen.
  • Das computerlesbare Medium kann ein beliebiges greifbares Gerät umfassen, das in der Lage ist, von einem geeigneten Gerät auszuführende Anweisungen zu speichern, so dass das computerlesbare Medium mit den darin gespeicherten Anweisungen ein Produkt aufweist, das Anweisungen enthält, die ausgeführt werden können, um Mittel zum Ausführen der in den Ablaufplänen oder Blockschemata angegebenen Operationen zu erzeugen. Beispiele des computerlesbaren Mediums können ein elektronisches Speichermedium, ein magnetisches Speichermedium, ein optisches Speichermedium, ein elektromagnetisches Speichermedium, ein Halbleiterspeichermedium und dergleichen umfassen. Spezifischere Beispiele des computerlesbaren Mediums können eine Floppy Disk (eingetragenes Warenzeichen), eine Diskette, eine Festplatte, einen Direktzugriffsspeicher (RAM), einen Nur-Lese-Speicher (ROM), einen löschbaren programmierbaren Nur-Lese-Speicher (EPROM oder Flash-Speicher), einen elektrisch löschbaren programmierbaren Nur-Lese-Speicher (EEPROM), einen statischen Direktzugriffsspeicher (SRAM), einen Compact-Disc-Nur-Lese-Speicher (CD-ROM), eine Digital Versatile Disk (DVD), eine Blu-ray-Disk (eingetragenes Warenzeichen), einen Speicherstick, eine Platine mit integrierter Schaltung und dergleichen enthalten.
  • Die computerlesbaren Anweisungen können Quellcode oder Objektcode umfassen, der in einer beliebigen Kombination von einer oder mehreren Programmiersprachen geschrieben ist, einschließlich Assembler-Anweisungen, Instruktionssatz-Architektur-Anweisungen (ISA-Anweisungen), Maschinenanweisungen, maschinenabhängige Anweisungen, Mikrocode, Firmware-Anweisungen, Zustandseinstellungsdaten oder eine objektorientierte Programmiersprache wie Smalltalk (eingetragene Marke), JAVA (eingetragene Marke), C++ oder dergleichen und konventionelle prozedurale Programmiersprachen wie die Programmiersprache „C“ oder ähnliche Programmiersprachen enthalten.
  • Die computerlesbaren Anweisungen können für einen Prozessor oder eine programmierbare Schaltung eines Universalcomputers, Spezialcomputers oder andere programmierbarer Datenverarbeitungsgeräte lokal oder über ein Weitverkehrsnetz (WAN) wie ein lokales Netz (LAN), das Internet oder dergleichen bereitgestellt werden und führen die computerlesbaren Anweisungen aus, um Mittel zum Ausführen der in Ablaufplänen oder Blockschemata spezifizierten Operationen zu erzeugen. Beispiele des Prozessors umfassen einen Computerprozessor, eine Verarbeitungseinheit, einen Mikroprozessor, einen digitalen Signalprozessor, einen Controller, einen Mikrocontroller und dergleichen.
  • 5 zeigt ein Beispiel eines Computers 1200, bei dem eine Vielzahl von Aspekten der vorliegenden Erfindung ganz oder teilweise verkörpert sein kann. Ein auf dem Computer 1200 installiertes Programm kann bewirken, dass der Computer 1200 als eine Operation funktioniert, die mit der Vorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung oder einem oder mehreren „Teilen“ der Vorrichtung assoziiert ist, oder die Operation oder die eine oder mehrere „Teile“ ausführt und/oder veranlassen, dass der Computer 1200 einen Prozess gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung oder einen Schritt der Verarbeitung ausführt. Solche Programme können von einer CPU 1212 ausgeführt werden, um den Computer 1200 zu veranlassen, bestimmte Operationen auszuführen, die einigen oder allen Blöcken in den Ablaufplänen und Blockschemata zugeordnet sind, die in der vorliegenden Beschreibung beschrieben sind.
  • Der Computer 1200 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst die CPU 1212, einen RAM 1214, eine Grafiksteuerung 1216 und eine Anzeigevorrichtung 1218, die durch einen Host-Controller 1210 verbunden sind. Der Computer 1200 umfasst auch Eingabe-/Ausgabeeinheiten wie etwa eine Kommunikationsschnittstelle 1222, ein Festplattenlaufwerk 1224, ein DVD-ROM-Laufwerk 1226 und ein IC-Kartenlaufwerk, die über einen Eingabe-/Ausgabe-Steuerung 1220 mit dem Host-Controller 1210 verbunden sind. Der Computer umfasst auch ältere Eingabe-/Ausgabeeinheiten wie ein ROM 1230 und eine Tastatur 1242, die über einen Eingabe-/Ausgabe-Chip 1240 mit der Eingabe-/Ausgabe-Steuerung 1220 verbunden sind.
  • Die CPU 1212 arbeitet gemäß Programmen, die im ROM 1230 und dem RAM 1214 gespeichert sind, wodurch jede Einheit gesteuert wird. Die Grafiksteuerung 1216 erfasst von der CPU 1212 erzeugte Bilddaten in einem Bildpuffer oder dergleichen, der im RAM 1214 oder in der Grafiksteuerung 1216 selbst vorgesehen ist, so dass die Bilddaten auf der Anzeigevorrichtung 1218 angezeigt werden.
  • Die Kommunikationsschnittstelle 1222 kommuniziert mit anderen elektronischen Geräten über ein Netzwerk. Das Festplattenlaufwerk 1224 speichert Programme und Daten, die von der CPU 1212 im Computer 1200 verwendet werden. Das DVD-ROM-Laufwerk 1226 liest Programme oder Daten von der DVD-ROM 1201 und liefert die Programme oder Daten an das Festplattenlaufwerk 1224 über den RAM 1214. Das IC-Kartenlaufwerk liest Programme und Daten von der IC-Karte und/oder schreibt die Programme und Daten auf die IC-Karte.
  • Der ROM 1230 speichert darin ein Bootprogramm und dergleichen, das vom Computer 1200 zum Zeitpunkt der Aktivierung ausgeführt wird, und/oder ein Programm abhängig von der Hardware des Computers 1200. Der Eingabe-/Ausgabechip 1240 kann auch verschiedene Eingabe-/Ausgabeeinheiten über einen parallelen Anschluss, einen seriellen Anschluss, einen Tastaturanschluss, einen Mausanschluss oder dergleichen mit der Eingabe-/Ausgabe-Steuerung 1220 verbinden.
  • Das Programm wird von einem computerlesbaren Speichermedium bereitgestellt, wie beispielsweise einer DVD-ROM 1201 oder einer IC-Karte. Das Programm wird von einem computerlesbaren Speichermedium gelesen, das im Festplattenlaufwerk 1224, dem RAM 1214 oder dem ROM 1230 installiert ist, die auch Beispiele des computerlesbaren Speichermediums sind, und von der CPU 1212 ausgeführt. Die in diesen Programmen beschriebene Informationsverarbeitung wird vom Computer 1200 gelesen und stellt eine Zusammenarbeit zwischen den Programmen und verschiedenen Arten von oben beschriebenen Hardwareressourcen bereit. Die Vorrichtung oder das Verfahren kann durch Implementieren des Betriebs oder der Verarbeitung von Informationen gemäß der Verwendung des Computers 1200 beschaffen sein.
  • Beispielsweise kann in einem Fall, bei dem eine Kommunikation zwischen dem Computer 1200 und einem externen Gerät ausgeführt wird, die CPU 1212 ein in den RAM 1214 geladenes Kommunikationsprogramm ausführen und die Kommunikationsschnittstelle 1222 anweisen, eine Kommunikationsverarbeitung auf der Grundlage von einem im Kommunikationsprogramm beschriebenen Prozess auszuführen. Unter der Steuerung der CPU 1212 liest die Kommunikationsschnittstelle 1222 Übertragungsdaten, die in einem Übertragungspufferbereich gespeichert sind, der in einem Aufzeichnungsmedium wie dem RAM 1214, dem Festplattenlaufwerk 1224, der DVD-ROM 1201 oder der IC-Karte bereitgestellt ist, überträgt die Leseübertragungsdaten an das Netzwerk oder schreibt vom Netzwerk empfangene Empfangsdaten in einen Empfangspufferbereich oder dergleichen, der auf dem Aufzeichnungsmedium vorgesehen ist.
  • Zudem kann die CPU 1212 den RAM 1214 veranlassen, die gesamte oder einen notwendigen Teil einer Datei oder Datenbank zu lesen, die auf einem externen Aufzeichnungsmedium wie dem Festplattenlaufwerk 1224, dem DVD-ROM-Laufwerk 1226 (DVD-ROM 1201), der IC-Karte oder dergleichen gespeichert ist, und können verschiedene Verarbeitungsarten an Daten im RAM 1214 ausführen. Als nächstes kann die CPU 1212 die verarbeiteten Daten auf das externe Aufzeichnungsmedium zurückschreiben.
  • Verschiedene Arten von Informationen, wie etwa verschiedene Arten von Programmen, Daten, Tabellen und Datenbanken, können in einem Aufzeichnungsmedium gespeichert werden, um einer Informationsverarbeitung unterzogen zu werden. Die CPU 1212 kann verschiedene Arten von Verarbeitungen an den aus dem RAM 1214 gelesenen Daten ausführen, einschließlich verschiedener Arten von Operationen, Informationsverarbeitung, bedingter Bestimmung, bedingter Verzweigung, unbedingter Verzweigung, Informationsabruf/-ersetzung und dergleichen, die in der vorliegenden Offenbarung durchweg beschrieben wurden und durch eine Befehlssequenz eines Programms spezifiziert sind, und schreibt die Ergebnisse in den RAM 1214 zurück. Ferner kann die CPU 1212 Informationen in einer Datei, einer Datenbank oder dergleichen auf dem Aufzeichnungsmedium abrufen. In einem Fall, bei dem beispielsweise eine Vielzahl von Einträgen, von denen jeder den Attributwert eines ersten Attributs aufweist, das mit dem Attributwert eines zweiten Attributs verknüpft ist, auf dem Aufzeichnungsmedium gespeichert ist, kann die CPU 1212 einen Eintrag abrufen, der der Bedingung entspricht, in der der Attributwert des ersten Attributs aus der Vielzahl von Einträgen spezifiziert ist, den Attributwert des im Eintrag gespeicherten zweiten Attributs lesen und dadurch den Attributwert des zweiten Attributs erlangen, das dem ersten Attribut zugeordnet ist, das die vorgegebene Bedingung erfüllt.
  • Die Programme oder Softwaremodule gemäß der obigen Beschreibung können in einem computerlesbaren Speichermedium auf oder in der Nähe des Computers 1200 gespeichert sein. Außerdem kann ein Aufzeichnungsmedium wie eine Festplatte oder ein RAM, das in einem Serversystem bereitgestellt wird, das mit einem dedizierten Kommunikationsnetzwerk oder dem Internet verbunden ist, als computerlesbares Speichermedium verwendet werden, wodurch dem Computer 1200 über das Netzwerk ein Programm bereitgestellt wird.
  • Während die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben wurden, ist der technische Umfang der Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Fachleuten ist klar, dass verschiedene Modifikationen oder Verbesserungen an den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen vorgenommen werden können. Darüber hinaus können die für ein bestimmtes Ausführungsbeispiel beschriebenen Gegenstände innerhalb eines technisch nicht widersprüchlichen Umfangs auf andere Ausführungsbeispiele übertragen werden. Außerdem kann jede Komponente ein ähnliches Merkmal aufweisen wie eine andere Komponente mit demselben Namen und unterschiedlichen Bezugszeichen. Aus dem Schutzumfang der Ansprüche ist auch ersichtlich, dass die mit solchen Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügten Ausführungsbeispiele in den technischen Schutzumfang der Erfindung eingeschlossen werden können.
  • Die Operationen, Prozeduren, Schritte und Stufen jedes Prozesses, der von einer Vorrichtung, einem System, einem Programm und einem Verfahren ausgeführt werden, die in den Ansprüchen, Ausführungsbeispielen oder Zeichnungen gezeigt sind, können in beliebiger Reihenfolge durchgeführt werden, solange die Reihenfolge nicht durch „im Vorhinein“, „vor“ oder dergleichen angegeben ist und solange die Ausgabe eines vorherigen Prozesses nicht in einem späteren Prozess verwendet wird. Auch wenn der Prozessablauf in den Ansprüchen, Ausführungsbeispielen oder Zeichnungen unter Verwendung von Ausdrücken wie „erster“ oder „nächster“ beschrieben wird, bedeutet dies nicht notwendigerweise, dass der Prozess in dieser Reihenfolge durchgeführt werden muss.
  • Bezugszeichenliste
  • 10
    LED
    11
    Verkabelung
    11r
    Zeilenlinie
    11c
    Spaltenzeile
    12
    Zelle
    15
    LED-Tafel
    20
    Substrat
    100
    Testgerät
    110
    elektrische Anschlusseinheit
    115
    Leseeinheit
    116
    Zeilenansteuereinheit
    117
    Spaltenansteuereinheit
    120
    Lichtquelleneinheit
    121
    Lichtquelle
    122
    paralleles Licht
    123
    Linseneinheit
    124
    Filterhalteeinheit
    125
    Temperaturunterdrückungsfilter
    126
    Temperatursteuereinheit
    130
    Messeinheit
    140
    Steuereinheit
    145
    Speichereinheit
    150
    Platzierungseinheit
    160
    Blockierungseinheit
    1200
    Computer
    1201
    DVD-ROM
    1210
    Host-Controller
    1212
    CPU
    1214
    RAM
    1216
    Grafiksteuerung
    1218
    Anzeigegerät
    1220
    Eingangs-/Ausgangsregler
    1222
    Kommunikationsschnittstelle
    1224
    Festplattenlaufwerk
    1226
    DVD-ROM-Laufwerk
    1230
    ROM
    1240
    Eingabe-/Ausgabe-Chip
    1242
    Tastatur
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2019507953 [0002]
    • JP 2010 [0002]
    • JP 230568 [0002]

Claims (9)

  1. Testgerät, umfassend: eine elektrische Anschlusseinheit, die dazu beschaffen ist, elektrisch mit einer Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen verbunden zu werden, die eine Vielzahl von Zellen aufweist, die jeweils eine lichtemittierende Vorrichtung aufweisen und in einer Zeilenrichtung und einer Spaltenrichtung angeordnet sind, eine Lichtquelleneinheit, die dazu beschaffen ist, die Vielzahl von Zellen gemeinsam mit Licht zu bestrahlen, eine Leseeinheit, die dazu beschaffen ist, für jede Zeile der Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen ein photoelektrisches Signal auszulesen, das durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts in jeder von zwei oder mehr der Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, von der lichtemittierenden Vorrichtung erhalten wird, eine Messeinheit, die dazu beschaffen ist, ein photoelektrisches Signal zu messen, das von jeder der Vielzahl von Zellen ausgelesen wird, und eine Bestimmungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine Qualität einer jeden der Vielzahl von Zellen auf der Grundlage von Messergebnissen der Messeinheit zu bestimmen.
  2. Testgerät nach Anspruch 1, wobei die Leseeinheit dazu beschaffen ist, ein photoelektrisches Signal von jeder der zwei oder mehreren Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, während die Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen mit Licht bestrahlt wird, auszulesen.
  3. Testgerät nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, wenigstens eine Zelle, die wenigstens eine lichtemittierende Vorrichtung enthält, bei der das gemessene photoelektrische Signal unter der Vielzahl von Zellen außerhalb eines Normbereichs liegt, als mangelhaft zu bestimmen.
  4. Testgerät nach Anspruch 3, wobei die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, als Normbereich einen Bereich zu verwenden, der auf einer Statistik entsprechend dem photoelektrischen Signal basiert, das von jeder der Vielzahl von lichtemittierenden Vorrichtungen ausgegeben wird.
  5. Testgerät nach Anspruch 4, wobei die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, den Normbereich zu verwenden, der sich für jede Emissionsfarbe der lichtemittierenden Vorrichtung unterscheidet.
  6. Testgerät nach Anspruch 5, wobei eine Vielzahl von gleichfarbigen lichtemittierenden Vorrichtungen, die miteinander eine gleiche Farbe emittieren, miteinander in der Vielzahl von Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, verbunden sind, und die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, einen mittleren Strombetrag und eine Standardabweichung der photoelektrischen Signale zu verwenden, die für die Vielzahl von gleichfarbigen lichtemittierenden Vorrichtungen gemessen werden, die miteinander verbunden sind.
  7. Testgerät nach Anspruch 5, wobei eine Vielzahl von gleichfarbigen lichtemittierenden Vorrichtungen, die miteinander eine gleiche Farbe emittieren, miteinander in der Vielzahl von Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, verbunden sind, und die Bestimmungseinheit dazu beschaffen ist, einen mittleren Strombetrag und eine Standardabweichung des photoelektrischen Signals zu verwenden, das für jede einer Vielzahl von gleichfarbigen Einheiten, die durch Unterteilen in zwei oder mehr lichtemittierenden Vorrichtungen erhalten werden, gemessen wird, wobei die Vielzahl von gleichfarbigen lichtemittierenden Vorrichtungen miteinander verbunden sind.
  8. Testverfahren, umfassend: elektrisches Verbinden einer elektrischen Anschlusseinheit mit einer Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen, die eine Vielzahl von Zellen aufweist, die jeweils eine lichtemittierende Vorrichtung aufweisen und in einer Zeilenrichtung und einer Spaltenrichtung angeordnet sind, gemeinsames Bestrahlen der Vielzahl von Zellen mit Licht, Auslesen eines photoelektrischen Signals für jede Zeile der Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen, das durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts in jeder von zwei oder mehr der Zellen, die in der Spaltenrichtung angeordnet sind, von der lichtemittierenden Vorrichtung erhalten wird, Messen eines photoelektrischen Signals, das von jeder der Vielzahl von Zellen ausgelesen wird, und Bestimmen einer Qualität einer jeden der Vielzahl von Zellen auf der Grundlage von Messergebnissen der Messeinheit.
  9. Programm, das durch ein Testgerät ausgeführt wird, das eine Tafel von lichtemittierenden Vorrichtungen prüft, die eine Vielzahl von Zellen aufweist, die jeweils eine lichtemittierende Vorrichtung aufweisen, wobei das Programm das Testgerät veranlasst, das Testverfahren nach Anspruch 8 auszuführen.
DE102022101257.3A 2021-01-21 2022-01-20 Testgerät, testverfahren und programm Pending DE102022101257A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021007928A JP7386190B2 (ja) 2021-01-21 2021-01-21 試験装置、試験方法およびプログラム
JP2021-007928 2021-01-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102022101257A1 true DE102022101257A1 (de) 2022-07-21

Family

ID=82218284

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102022101257.3A Pending DE102022101257A1 (de) 2021-01-21 2022-01-20 Testgerät, testverfahren und programm

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11800619B2 (de)
JP (1) JP7386190B2 (de)
KR (1) KR20220106036A (de)
CN (1) CN114814508A (de)
DE (1) DE102022101257A1 (de)
TW (1) TWI820546B (de)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010230568A (ja) 2009-03-27 2010-10-14 Hitachi Omron Terminal Solutions Corp Ledの検査方法及びledユニット
JP2019507953A (ja) 2016-02-11 2019-03-22 ツェットカーヴェー グループ ゲーエムベーハー 照明装置の、少なくとも2つのledを含むモジュールを検査するための方法およびict装置

Family Cites Families (67)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50103270A (de) 1974-01-11 1975-08-15
JPS5783758A (en) 1980-09-04 1982-05-25 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Gasket tightening method
JPS59230143A (ja) 1983-05-21 1984-12-24 Rohm Co Ltd Led表示器の光もれ検出装置
JPS6161478A (ja) 1984-09-01 1986-03-29 Japan Spectroscopic Co 発光半導体検査装置
JPS62283684A (ja) 1986-06-02 1987-12-09 Hitachi Ltd 光プロ−ブ装置
KR0175268B1 (ko) 1996-05-10 1999-04-01 김광호 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치
US6377300B1 (en) 1998-04-14 2002-04-23 Mcdonnell Douglas Corporation Compact flat-field calibration apparatus
JP2004266250A (ja) 2003-02-12 2004-09-24 Inter Action Corp 固体撮像素子の試験装置、中継装置および光学モジュール
US7064832B2 (en) 2003-02-26 2006-06-20 Delaware Capital Formation, Inc. Color and intensity measuring module for test of light emitting components by automated test equipment
JP2005032704A (ja) 2003-06-18 2005-02-03 Sharp Corp 表示素子および表示装置
WO2005086786A2 (en) 2004-03-08 2005-09-22 Sioptical, Inc. Wafer-level opto-electronic testing apparatus and method
JP2006098054A (ja) 2004-09-28 2006-04-13 Casio Comput Co Ltd 発光ダイオードの色度判別装置。
JP2006215211A (ja) 2005-02-02 2006-08-17 Seiko Epson Corp 光学パネルの検査方法、検査装置、検査プログラム、および記録媒体
KR20070070069A (ko) 2005-12-28 2007-07-03 니혼덴산리드가부시키가이샤 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
JP5283266B2 (ja) 2006-11-15 2013-09-04 日本電子材料株式会社 光デバイス用検査装置
US20080218186A1 (en) 2007-03-07 2008-09-11 Jeff Kooiman Image sensing integrated circuit test apparatus and method
BRPI0818436A2 (pt) 2007-10-11 2015-05-12 Basf Se Dispositivo para determinar pelo menos uma propriedade ópitica de uma amostra, e, método para verificar se um produto é um produto de marca ou uma falsificação de um produto de marca
CN101290340B (zh) 2008-04-29 2011-03-30 李果华 Led太阳模拟器
US20120136470A1 (en) 2009-05-22 2012-05-31 Aurora Control Technologies, Inc. Process for improving the production of photovoltaic products
TW201216391A (en) 2010-10-11 2012-04-16 Ind Tech Res Inst Detection method and detection device for LED chips on wafer and transparent probe card thereof
KR101112193B1 (ko) 2010-11-09 2012-02-27 박양수 회전형 엘이디 검사 장치
CN102486520A (zh) 2010-12-04 2012-06-06 展晶科技(深圳)有限公司 发光二极管光源测试装置
JP2012185157A (ja) 2011-02-18 2012-09-27 Sumitomo Chemical Co Ltd 検査装置および検査方法、並びに当該検査方法を用いた導光板の製造方法
DE102011107645A1 (de) 2011-07-12 2013-01-17 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Detektieren von Licht
ITUD20110115A1 (it) * 2011-07-19 2013-01-20 Applied Materials Italia Srl Dispositivo per la simulazione della radiazione solare e procedimento di test che utilizza tale dispositivo
TW201316013A (zh) 2011-10-12 2013-04-16 Advantest Corp 測試裝置以及測試方法
JP5851810B2 (ja) 2011-11-25 2016-02-03 浜松ホトニクス株式会社 基準光源
WO2013114642A1 (ja) 2012-01-31 2013-08-08 シャープ株式会社 Led分類方法、led分類装置、led分類プログラムおよび記録媒体
EP2634588B1 (de) 2012-03-01 2016-06-01 NeuroNexus Technologies, Inc. System und Verfahren zum Prüfen von Stromkreisen mit einem photoelektrochemischen Effekt
US9250128B2 (en) 2012-03-02 2016-02-02 Beihang University Method and apparatus for optical asynchronous sampling signal measurements
TWI477404B (zh) 2012-06-08 2015-03-21 Nisho Image Tech Inc 發光裝置之光量補償檢查方法
TW201500750A (zh) 2013-06-25 2015-01-01 Mpi Corp 晶圓測試機
CN103364707B (zh) 2013-08-05 2015-08-05 莆田学院 大功率led芯片封装质量检测方法
US9554759B2 (en) * 2013-09-18 2017-01-31 Carestream Health, Inc. Digital radiography detector image readout process
CN105723208B (zh) 2013-09-26 2019-01-08 夏普株式会社 检查系统
EP2881753B1 (de) 2013-12-05 2019-03-06 ams AG Optische Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer optischen Sensoranordnung
TW201528867A (zh) 2013-12-06 2015-07-16 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Led測試方法及系統
JP2015119344A (ja) 2013-12-18 2015-06-25 キヤノン株式会社 撮像素子の感度分布の測定装置及びその制御方法、画像表示装置のキャリブレーション装置及びその制御方法
JP6277207B2 (ja) 2014-01-16 2018-02-07 パイオニア株式会社 光学測定装置
JP2015169524A (ja) 2014-03-06 2015-09-28 株式会社アドバンテスト 試験装置、キャリブレーションデバイス、キャリブレーション方法、および試験方法
KR102287272B1 (ko) 2014-12-04 2021-08-06 삼성전자주식회사 검사장치 및 그 제어 방법
JP6489421B2 (ja) 2015-01-16 2019-03-27 株式会社Screenホールディングス 光強度設定方法、検査方法および検査装置
WO2016147266A1 (ja) 2015-03-13 2016-09-22 富士通株式会社 反応状態測定装置
JP2016173385A (ja) 2015-03-16 2016-09-29 リコーイメージング株式会社 電子機器及び電子機器の制御方法
US9564854B2 (en) 2015-05-06 2017-02-07 Sunpower Corporation Photonic degradation monitoring for semiconductor devices
CN104982242B (zh) 2015-08-03 2018-09-04 京东方科技集团股份有限公司 一种作物生长过程中的智能调光系统及方法
US10453759B2 (en) 2015-09-11 2019-10-22 Sharp Kabushiki Kaisha Image display device
KR102209071B1 (ko) 2016-01-14 2021-01-28 삼성전자주식회사 디스플레이 시스템의 자가 점검 방법 및 그 디스플레이 시스템
CN205844396U (zh) 2016-08-02 2016-12-28 西安中为光电科技有限公司 光电探测器芯片的快速测试装置
KR101816223B1 (ko) 2016-09-29 2018-01-09 주식회사 파이맥스 엘이디 광특성 검사장치 및 이를 구비한 엘이디 융합조명용 자동화 검사 및 조립 시스템
JP6249513B1 (ja) 2017-03-27 2017-12-20 レーザーテック株式会社 補正方法、補正装置及び検査装置
JP7258781B2 (ja) 2017-06-20 2023-04-17 アップル インコーポレイテッド 発光ダイオード(led)テスト装置および製造方法
JP6441435B1 (ja) 2017-10-13 2018-12-19 ハイソル株式会社 プローバ装置およびウェハチャック
TWI695969B (zh) 2017-12-25 2020-06-11 群光電子股份有限公司 發光源檢測系統及其檢測方法
JP6462843B1 (ja) 2017-12-28 2019-01-30 レーザーテック株式会社 検出方法、検査方法、検出装置及び検査装置
WO2019168005A1 (ja) 2018-02-28 2019-09-06 大日本印刷株式会社 光学フィルムおよび画像表示装置
JP7071181B2 (ja) 2018-03-20 2022-05-18 キヤノン株式会社 異物検査装置、成形装置および物品製造方法
JP7158224B2 (ja) 2018-09-26 2022-10-21 浜松ホトニクス株式会社 半導体デバイス検査方法及び半導体デバイス検査装置
TWI670928B (zh) 2018-10-03 2019-09-01 財團法人工業技術研究院 太陽光電系統
JP7210249B2 (ja) 2018-11-30 2023-01-23 キヤノン株式会社 光源装置、照明装置、露光装置及び物品の製造方法
TW202036838A (zh) 2018-12-13 2020-10-01 美商蘋果公司 發光二極體(led)巨量轉移裝置及製造方法
US11474144B2 (en) 2018-12-21 2022-10-18 Industrial Technology Research Institute Method for inspecting light-emitting diodes and inspection apparatus
US20220178837A1 (en) 2019-03-28 2022-06-09 Hamamatsu Photonics K.K. Inspection apparatus and inspection method
JP7245721B2 (ja) * 2019-05-31 2023-03-24 株式会社アドバンテスト 試験装置、試験方法およびプログラム
JP2020201086A (ja) 2019-06-07 2020-12-17 株式会社三球電機製作所 Led搭載基板の検査装置
CN210690739U (zh) 2019-08-16 2020-06-05 珠海易发照明器材有限公司 一种led光源特性检验装置
CN112151426A (zh) 2020-11-04 2020-12-29 东方日升新能源股份有限公司 硅片刻蚀残留在线分拣装置及具有该装置的生产线及方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010230568A (ja) 2009-03-27 2010-10-14 Hitachi Omron Terminal Solutions Corp Ledの検査方法及びledユニット
JP2019507953A (ja) 2016-02-11 2019-03-22 ツェットカーヴェー グループ ゲーエムベーハー 照明装置の、少なくとも2つのledを含むモジュールを検査するための方法およびict装置

Also Published As

Publication number Publication date
US11800619B2 (en) 2023-10-24
US20220232685A1 (en) 2022-07-21
TWI820546B (zh) 2023-11-01
KR20220106036A (ko) 2022-07-28
TW202229902A (zh) 2022-08-01
JP7386190B2 (ja) 2023-11-24
JP2022112209A (ja) 2022-08-02
CN114814508A (zh) 2022-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112016002277B4 (de) Auf spannungskontrast basierte fehler- und defektinferenz in logikchips
DE112019001445T5 (de) Gezielter rückruf von halbleiterbauelementen aufgrund von herstellungsdaten
DE102009044737A1 (de) System und Verfahren zur Fehlerdetektion auf Photoemissionsbasis
DE10000690A1 (de) System und Verfahren zum Bestimmen des Ausbeute-Einflusses bei Halbleiter-Elementen
DE10027826C2 (de) Verfahren zum Auffinden eines fehlerhaften Werkzeuges in einer Halbleiterfertigungseinrichtung sowie System zur Durchführung des Verfahrens
DE102022103578A1 (de) Testgerät, testverfahren und programm
DE112021000600T5 (de) Fortschrittlicher inline part average test
DE102012016685A1 (de) Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren für Licht emittierende Vorrichtungen
EP2245473A2 (de) Messverfahren und vorrichtung zur charakterisierung eines halbleiterbauelement
DE10016996C1 (de) Testanordnung zur Funktionsprüfung eines Halbleiterchips
DE112018006397T5 (de) Silizium-drift-detektionselement, silizium-drift-detektor und strahlungsdetektionsvorrichtung
DE112008001088T5 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen gebrochener Anschlussstifte in einem Testsockel
EP0843317A2 (de) Verfahren zum Testen eines in Zellenfelder unterteilten Speicherchips im laufenden Betrieb eines Rechners unter Einhaltung von Echtzeitbedingungen
DE102009017695B3 (de) Verfahren zur Inspektion von Lötstellen an elektrischen und elektronischen Bauteilen
DE112014000367T5 (de) Bestimmen einer Position einer Ausgabe eines Inspektionssystems im Designdatenraum
DE10134755B4 (de) Verfahren zur Messung einer charakteristischen Abmessung wenigstens einer Struktur auf Halbleiterwafern
DE112014002086T5 (de) Prüfsystem für OLED-Anzeigebildschirme
DE102022101257A1 (de) Testgerät, testverfahren und programm
DE19581448C2 (de) Vorrichtungen und Verfahren zum automatischen Testen von Bauelementen
DE102010008251A1 (de) Ausfallanalyseverfahren, -vorrichtung und -programm für integriete Halbleiterschaltung
DE102019119326A1 (de) HERSTELLUNGSVERFAHREN UND BEWERTUNGSVERFAHREN FÜR EINE SiC-VORRICHTUNG
DE102022100162A1 (de) Testgerät, testverfahren und programm
DE102015225018A1 (de) Verfahren zur Prüfung einer Mehrzahl von in gleicher Weise mit Bauteilen bestückten Bauteilträgern, Computerprogrammprodukt zur Durchführung eines solchen Verfahrens, und Prüfsystem zur Durchführung eines solchen Verfahrens
DE112022002194T5 (de) Testgerät, Testverfahren und Programm
DE102010011066A1 (de) Photovoltaikmodul-, oder Photovoltaikzellen- oder Halbleiterbauelement-Identifikationsverfahren und Photovoltaikmodul- oder, Photovoltaikzellen- oder Halbleiterbauelement-Identifikationsvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed