JP2022112209A - 試験装置、試験方法およびプログラム - Google Patents

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Abstract

【課題】検査対象となる一対のＬＥＤの一方を発光させて他方で受光し、光電効果により出力される電流の電流値を用いてＬＥＤの光学特性を検査する方法では、複数のＬＥＤの光学特性を一括して検査することができなかった。【解決手段】試験装置は、行方向および列方向に配列された、それぞれ発光素子を含む複数のセルを有する発光素子パネルに電気的に接続される電気接続部と、複数のセルに対して一括して光を照射する光源部と、発光素子パネルの各行について、列方向に配列された２以上のセルのそれぞれにおいて光が発光素子によって光電変換された光電信号を読み出す読出部と、複数のセルのそれぞれから読み出された光電信号を測定する測定部と、測定部の測定結果に基づいて、複数のセルのそれぞれの良否を判定する判定部とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、試験装置、試験方法およびプログラムに関する。
検査対象となる一対のＬＥＤの一方を発光させて他方で受光し、光電効果により出力される電流の電流値を用いてＬＥＤの光学特性を検査する方法が知られている（例えば、特許文献１、２を参照）。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特表２０１９－５０７９５３号公報
［特許文献２］ 特開２０１０－２３０５６８号公報
しかしながら、上記の方法では、各ＬＥＤを順に発光させて検査を行う必要があり、複数のＬＥＤの光学特性を一括して検査することができなかった。
本発明の一態様においては、試験装置が提供される。試験装置は、行方向および列方向に配列された、それぞれ発光素子を含む複数のセルを有する発光素子パネルに電気的に接続される電気接続部を備えてもよい。試験装置は、複数のセルに対して一括して光を照射する光源部を備えてもよい。試験装置は、発光素子パネルの各行について、列方向に配列された２以上のセルのそれぞれにおいて光が発光素子によって光電変換された光電信号を読み出す読出部を備えてもよい。試験装置は、複数のセルのそれぞれから読み出された光電信号を測定する測定部を備えてもよい。試験装置は、測定部の測定結果に基づいて、複数のセルのそれぞれの良否を判定する判定部を備えてもよい。
読出部は、光が発光素子パネルに照射されている間、列方向に配列された２以上のセルのそれぞれから光電信号を読み出してもよい。
判定部は、複数のセルのうち、測定された光電信号が正常範囲外となった少なくとも１つの発光素子を含む少なくとも１つのセルを不良と判定してもよい。
判定部は、正常範囲として、複数の発光素子がそれぞれ出力する光電信号に応じた統計量を基準とする範囲を用いてもよい。
判定部は、発光素子の発光色ごとに異なる正常範囲を用いてもよい。
列方向に配列された複数のセルにおいて、互いに同じ色を発する複数の同色の発光素子が相互に接続されていてもよい。判定部は、互いに接続された複数の同色の発光素子について測定される光電信号の平均電流量および標準偏差を用いてもよい。
列方向に配列された複数のセルにおいて、互いに同じ色を発する複数の同色の発光素子が相互に接続されていてもよい。判定部は、互いに接続された複数の同色の発光素子を２以上の発光素子ごとに区分した複数の同色ユニットのそれぞれについて測定される光電信号の平均電流量および標準偏差を用いてもよい。
本発明の一態様においては、試験方法が提供される。試験方法は、行方向および列方向に配列された、それぞれ発光素子を含む複数のセルを有する発光素子パネルに電気接続部を電気的に接続する電気接続段階を備えてもよい。試験方法は、複数のセルに対して一括して光を照射する照射段階を備えてもよい。試験方法は、発光素子パネルの各行について、列方向に配列された２以上のセルのそれぞれにおいて光が発光素子によって光電変換された光電信号を読み出す読出段階を備えてもよい。試験方法は、複数のセルのそれぞれから読み出された光電信号を測定する測定段階を備えてもよい。試験方法は、測定段階の測定結果に基づいて、複数のセルのそれぞれの良否を判定する判定段階を備えてもよい。
本発明の一態様においては、それぞれ発光素子を含む複数のセルを有する発光素子パネルを試験する試験装置により実行され、試験装置に上記の試験方法を実行させるためのプログラムが提供される。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
ＬＥＤパネル１５を試験する試験装置１００の概略を示す全体図の一例である。 試験装置１００に接続されている状態のＬＥＤパネル１５の、側面図の一例（Ａ）および平面図の一例（Ｂ）である。 ＬＥＤパネル１５が試験装置１００に接続されている状態を説明するための説明図の一例である。 試験装置１００による試験方法のフローを説明するフロー図の一例である。 本発明の複数の態様が全体的又は部分的に具現化されうるコンピュータ１２００の例を示す図である。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、図面において、同一または類似の部分には同一の参照番号を付して、重複する説明を省く場合がある。
図１は、ＬＥＤパネル１５を試験する試験装置１００の概略を示す全体図の一例である。また、図２は、試験装置１００に電気的に接続されている状態のＬＥＤパネル１５の、側面図の一例（Ａ）および平面図の一例（Ｂ）である。また、図３は、ＬＥＤパネル１５が試験装置１００に接続されている状態を説明するための説明図の一例である。なお、本願明細書において、「電気的に接続」と定義する場合、接触することで電気的に接続すること、または、非接触で電気的に接続すること、を意図する。
図１では、紙面に向かって左方向が＋Ｘ方向となるＸ軸と、紙面に向かって上方向が＋Ｚ方向となるＺ軸と、紙面に向かって手前方向が＋Ｙ方向となるＹ軸とが、互いに直交するように示されている。以降では、これらの３軸を用いて説明する場合がある。
本実施形態におけるＬＥＤパネル１５は、図２に示す通り、配線１１が設けられた、略方形の外形を有するガラスベース等のパネル（ＰＬＰ）に形成された複数のセル１２を備える。複数のセル１２は、ＬＥＤパネル１５において、行方向（図中Ｘ方向）および列方向（図中Ｙ方向）に配列される。各セル１２は、ＬＥＤパネル１５のピクセルに対応してよい。なお、図２では、ＬＥＤパネル１５の内部における一部のＬＥＤ１０および配線１１を図示するため、ＬＥＤパネル１５の一部を波線で区分けしている。また、図３では、ＬＥＤパネル１５が試験装置１００に接続されている状態を説明するために、ＬＥＤパネル１５の内部におけるＬＥＤ１０および配線１１を図示している。なお、図２および図３に示すＬＥＤ１０等の構成は一例に過ぎず、他の構成や数であってもよい。
複数のセル１２のそれぞれは、１または２以上のＬＥＤ１０を有する。本実施形態において、各セル１２は、図２および図３における破線の枠で示したように、一例としてＲＧＢの３色に対応して３つのＬＥＤ１０を有する。
本実施形態におけるＬＥＤパネル１５は、一例として、パッシブマトリクス駆動により駆動される。ＬＥＤパネル１５が有する複数のＬＥＤ１０は、図２に示す通り、配線１１によって互いに電気的に接続された状態で行方向および列方向に配列される。図３に示す通り、各行において、行方向に配列された複数のＬＥＤ１０のアノードは、その行に対応するローライン１１ｒに電気的に接続される。各列において、列方向に配列された複数のＬＥＤ１０のカソードは、その列に対応するカラムライン１１ｃに電気的に接続される。
ここで、本実施形態では、列方向に配列された複数のセル１２において、互いに同じ色を発する複数の同色のＬＥＤ１０が相互に接続されている。列方向に配列された複数のセル１２において、赤色のＬＥＤ１０同士が１本のカラムライン１１ｃで相互に接続されている。同様に、当該複数のセル１２において、緑色のＬＥＤ１０同士が１本のカラムライン１１ｃで相互に接続され、青色のＬＥＤ１０同士が１本のカラムライン１１ｃで相互に接続されている。
本実施形態におけるＬＥＤ１０は、寸法が１００μｍ以下のマイクロＬＥＤである。なお、ＬＥＤ１０は、マイクロＬＥＤに代えて、寸法が１００μｍよりも大きく２００μｍ以下のミニＬＥＤや、寸法が２００μｍよりも大きいＬＥＤであってもよく、その他に、ＬＤ等の他の発光素子であってもよい。例えば、ＬＥＤパネル１５は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれとして、有機発光ダイオードを用いた有機ディスプレイパネルであってよい。
試験装置１００は、ＬＥＤパネル１５における各ＬＥＤ１０の光電効果を利用し、光を照射したＬＥＤ１０から出力される光電信号に基づいて、それぞれがＬＥＤ１０を含む複数のセル１２の光学特性を一括して試験する。本実施形態における試験装置１００は、基板２０と、電気接続部１１０と、光源部１２０と、温度制御部１２６と、読出部１１５と、測定部１３０と、制御部１４０と、格納部１４５と、載置部１５０と、遮蔽部１６０とを備える。
基板２０は、ＬＥＤパネル１５を保持する。基板２０は、載置部１５０上に載置される。なお、試験装置１００は、基板２０を備えなくてもよい。
電気接続部１１０は、ＬＥＤパネル１５に電気的に接続される。より具体的には、本実施形態における電気接続部１１０は、各列のカラムライン１１ｃに電気的に接続される。一例として図３に示すように、電気接続部１１０は、基板２０上においてＬＥＤパネル１５の一側面と対面し、ＬＥＤパネル１５の当該一側面において各カラムライン１１ｃの端子に接することで電気的に接続される。これにより、電気接続部１１０は、当該端子を介して各ラムライン１１ｃの一端に接続され、複数のＬＥＤ１０に電気的に接続される。
電気接続部１１０はまた、測定部１３０に電気的に接続される。電気接続部１１０は、図３に示すように、複数のカラムライン１１ｃのそれぞれが独立して、電気接続部１１０を介して測定部１３０に接続されるように構成される。
本実施形態における電気接続部１１０は、複数のＬＥＤ１０を接続するカラムライン１１ｃに接することで電気的に接続されるが、例えば電磁誘導や近距離無線通信により非接触で電気的に接続されてもよい。
光源部１２０は、複数のセル１２に対して一括して光を照射する。本実施形態における光源部１２０は、複数のセル１２の複数のＬＥＤ１０の反応波長帯域の光を、複数のセル１２の複数のＬＥＤ１０に対して照射する。本実施形態における光源部１２０は、光源１２１と、レンズユニット１２３とを有する。
光源１２１は、複数のＬＥＤ１０の反応波長帯域の光を発する。光源１２１は、例えばキセノン光源のように広い波長帯域の光を発する光源であってもよく、レーザー光源のように狭い波長帯域の光を発する光源であってもよい。光源１２１は、互いに波長が異なる複数のレーザー光源を含んでもよい。なお、ＬＥＤ１０の反応波長と発光波長とが相違する場合、ＬＥＤ１０に対して当該ＬＥＤ１０の発光波長の光を照射しても、当該相違に起因して適切に光電変換されない。
レンズユニット１２３は、１又は複数のレンズを含み、光源１２１の照射部に隣接して設けられ、光源１２１から照射される拡散光を平行光１２２にする。図１では、平行光１２２を斜線で示す。当該平行光１２２のＸＹ平面における投影面は、少なくともＬＥＤパネル１５の複数のセル１２を覆う。なお、図２および図３では光源部１２０の図示を省略している。
温度制御部１２６は、複数のＬＥＤ１０が光を照射されることによって昇温することを抑制する。本実施形態における温度制御部１２６は、温度抑制フィルタ１２５と、フィルタ保持部１２４とを有する。温度抑制フィルタ１２５は、光の透過率が高く、入射光の熱線を吸収する。フィルタ保持部１２４は、レンズユニット１２３に隣接して設けられ、温度抑制フィルタ１２５を保持する。なお、温度制御部１２６は、温度抑制フィルタ１２５が吸収した熱を冷却する冷却器を更に有してもよい。
温度制御部１２６は、複数のＬＥＤ１０の温度を一定に保つべく、当該構成に代えて又は加えて、複数のＬＥＤ１０の温度を調整する温度印加装置や、複数のＬＥＤ１０に向けて風を送る送風機構などを有してもよい。送風機構を用いる場合、温度制御部１２６は、複数のＬＥＤ１０が送風機構により風を送られることによって静電気を帯びることを抑止する静電気除去部を更に有してもよい。静電気除去部は、例えばイオナイザであってもよい。上記の温度印加装置は、ＬＥＤパネル１５に接触する態様で、基板２０などに設けてもよい。また、上記の送風機構は、ＬＥＤパネル１５に接触しない態様で、載置部１５０の側方に設けてもよい。なお、試験装置１００は、温度制御部１２６を備えなくてもよい。なお、図２および図３では温度制御部１２６の図示を省略している。
本実施形態における読出部１１５は、行駆動部１１６および列駆動部１１７を有する。行駆動部１１６は、ローライン１１ｒを介してＬＥＤ１０のアノードに電気的に接続され、列駆動部１１７は、カラムライン１１ｃを介してＬＥＤ１０のカソードに電気的に接続される。
読出部１１５は、ＬＥＤパネル１５の各行について、列方向に配列された２以上のセル１２のそれぞれにおいて光がＬＥＤ１０によって光電変換された光電信号を読み出す。本実施形態における読出部１１５は、光電信号を読み出す対象となるセル１２の３つのＬＥＤ１０が接続された１本のローライン１１ｒに、当該３つのＬＥＤ１０が接続された３本のカラムライン１１ｃの電位、例えばグランド電位よりも高い正の基準電圧を印加することによって、当該３つのＬＥＤ１０が光を光電変換して出力する光電信号を読み出す。なお、図３に示す通り、当該ローライン１１ｒには他の複数のセル１２も接続されている。
本実施形態における読出部１１５は、光がＬＥＤパネル１５に照射されている間、列方向に配列された２以上のセル１２のそれぞれから光電信号を読み出す。読出部１１５は、一例として、光源１２１がＬＥＤパネル１５の複数のセル１２に対して一括して光を照射している間に、図３におけるＹ軸負側からＹ軸正側に向かって、複数のローライン１１ｒのそれぞれに対して順に当該基準電圧を印加することで、列方向に配列された複数のセル１２のそれぞれから光電信号を読み出す。本実施形態において、各ＬＥＤ１０からカラムライン１１ｃに流れる光電信号は、電気接続部１１０を介して測定部１３０に供給される。なお、図２では、読出部１１５の内部における配線１１を図示するため、読出部１１５の一部を波線で区分けしている。
測定部１３０は、複数のセル１２のそれぞれから読み出され、電気接続部１１０を介して供給された光電信号を測定する。本実施形態における測定部１３０は、図３に示すように、電気接続部１１０を介して複数のカラムライン１１ｃのそれぞれと接続され、各カラムライン１１ｃから供給される電流の電流値を個別に測定する。なお、測定部１３０は、当該電流値に代えて、当該電流値に対応する電圧値を測定してもよい。なお、図２では測定部１３０の図示を省略している。
制御部１４０は、試験装置１００の各構成を制御する。本実施形態における制御部１４０は、光源部１２０の光源１２１を制御することにより、複数のセル１２に一括して照射する平行光１２２の照射時間、波長および強度を制御する。本実施形態における制御部１４０はまた、載置部１５０を制御することにより、基板２０を介して載置部１５０上に載置されたＬＥＤパネル１５の少なくとも複数のセル１２が、遮蔽部１６０内で光源部１２０からの光を受光できるように、載置部１５０を駆動する。なお、制御部１４０は、格納部１４５の参照データを参照することにより、遮蔽部１６０の空間内の位置座標、および、遮蔽部１６０と載置部１５０上のＬＥＤパネル１５との相対位置を把握してもよい。
制御部１４０は更に、読出部１１５を制御して、ＬＥＤパネル１５の各行につき、列方向に配列された２以上のセル１２のそれぞれからの光電信号を読み出させる。制御部１４０はまた、読出部１１５の行駆動部１１６および列駆動部１１７を駆動するために用いる電圧を供給する。
制御部１４０は更に、測定部１３０の測定結果に基づいて、複数のセル１２のそれぞれの良否を判定する。より具体的には、本実施形態における制御部１４０は、複数のセル１２のうち、測定された光電信号が正常範囲外となった少なくとも１つのＬＥＤ１０を含む少なくとも１つのセル１２を不良と判定する。制御部１４０は、格納部１４５を参照することにより、上記で説明した試験装置１００における複数の構成をシーケンス制御する。なお、制御部１４０は、判定部の一例として機能する。なお、図２では制御部１４０の図示を省略している。
格納部１４５は、測定結果、複数のセル１２のそれぞれの良否を判定するための参照データ、判定結果、載置部１５０を移動させるための参照データ、試験装置１００における各構成を制御するためのシーケンスやプログラムなどを格納する。格納部１４５は、制御部１４０により参照される。なお、図２では格納部１４５の図示を省略している。
載置部１５０は、ＬＥＤパネル１５を保持した基板２０が載置される。図示の例における載置部１５０は、平面視において、略方形の外形を有するが、他の外形であってもよい。載置部１５０は、真空チャック、静電チャック等の保持機能を有し、載置された基板２０を保持する。また、載置部１５０は、制御部１４０によって駆動制御されることで、ＸＹ平面内を二次元的に移動し、且つ、Ｚ軸方向に昇降する。なお、図１および図２（Ａ）では、載置部１５０のＺ軸負方向側の図示を省略する。また、図１および図２では、載置部１５０の移動方向を白抜きの矢印で示す。以降の図においても同様とする。なお、試験装置１００は、載置部１５０を備えなくてもよい。なお、図３では載置部１５０の図示を省略している。
遮蔽部１６０は、光源部１２０からの光以外の光を遮蔽する。本実施形態における遮蔽部１６０は、表面が全て黒塗りされており、表面での光の乱反射を防ぐ。また、図１に示すように、本実施形態における遮蔽部１６０は、光源１２１の外周およびＬＥＤパネル１５の外周のそれぞれに密着するように設けられ、当該構成によって、光源部１２０からの光以外の光を遮蔽する。なお、試験装置１００は、遮蔽部１６０を備えなくてもよい。なお、図２および図３では遮蔽部１６０の図示を省略している。
図４は、試験装置１００による試験方法のフローを説明するフロー図の一例である。当該フローは、ＬＥＤパネル１５を保持した基板２０が載置部１５０上に載置された状態で、例えば試験装置１００に対して当該ＬＥＤパネル１５の試験を開始するための入力をユーザが行うことにより開始する。
試験装置１００は、ＬＥＤパネル１５に電気接続部１１０を電気的に接続する電気接続段階を実行する（ステップＳ１０１）。具体的な一例として、試験装置１００は、ＬＥＤパネル１５を搬送する搬送装置等に命令を出力し、ＬＥＤパネル１５が基板２０上で読出部１１５および電気接続部１１０に接続されている状態となるように、ＬＥＤパネル１５を基板２０上に配置させてもよい。
試験装置１００は、複数のセル１２に対して一括して光を照射する照射段階を実行する（ステップＳ１０３）。具体的な一例として、制御部１４０は、載置部１５０に命令を出力し、ＬＥＤパネル１５が遮蔽部１６０に密着するように載置部１５０を移動させ、更に、光源部１２０に命令を出力し、平行光１２２をＬＥＤパネル１５の複数のセル１２に照射させる。なお、本実施形態ではＬＥＤパネル１５の複数のセル１２に含まれる全てのＬＥＤ１０に平行光１２２を一括照射するが、これに代えて、全てのＬＥＤ１０のうち一部のＬＥＤ１０毎に順次照射してもよい。
試験装置１００は、ＬＥＤパネル１５の各行について、列方向に配列された２以上のセル１２のそれぞれにおいて光がＬＥＤ１０によって光電変換された光電信号を読み出す読出段階を実行する（ステップＳ１０５）。具体的な一例として、制御部１４０は、読出部１１５に命令を出して、光源１２１がＬＥＤパネル１５の複数のセル１２に対して一括して光を照射している間に、各行について、読み出し対象の行に対応するローライン１１ｒを基準電圧とし、読み出し対象の行以外に対応するローライン１１ｒを、カラムライン１１ｃの電位と同電圧またはそれより低電圧とすることで、列方向に配列された複数のセル１２のそれぞれから各カラムライン１１ｃに出力される光電信号を順次読み出す。当該基準電圧は、光電信号を読み出す対象となるセル１２が接続されたカラムライン１１ｃの電位、例えばグランド電位よりも高い正の電圧である。カラムライン１１ｃがグランド電位である場合、読み出し対象の行以外に対応するローライン１１ｒをグランド電位または負電圧にしてもよい。
試験装置１００は、複数のセル１２のそれぞれから読み出された光電信号を、電気接続部１１０を介して測定する測定段階を実行する（ステップＳ１０７）。具体的な一例として、制御部１４０は、測定部１３０に命令を出し、各行について、電気接続部１１０を介して各カラムライン１１ｃから個別に供給される電流の電流値を測定させ、複数のＬＥＤ１０を含むセル１２毎の測定結果を制御部１４０に出力させる。制御部１４０は、複数のセル１２の各測定結果を格納部１４５に格納する。なお、測定部１３０は、各行について、各カラムライン１１ｃから個別に供給される電流の電流値を、列ごとに順次切り替えながら個別に測定してもよく、セル１２単位で測定してもよい。セル１２単位で測定する場合とは、例えば、セル１２に含まれるＲＧＢの各色を発する３つのＬＥＤ１０が接続された、３本の隣接するカラムライン１１ｃから供給される電流の電流値を一括して測定してもよい。
試験装置１００は、上記の測定段階の測定結果に基づいて、複数のセル１２のそれぞれの良否を判定する判定段階を実行し（ステップＳ１０９）、当該フローは終了する。具体的な一例として、制御部１４０は、格納部１４５の測定結果および参照データを参照し、ＬＥＤパネル１５の全てのセル１２の測定結果が格納されている場合には、当該測定結果に基づいて、複数のセル１２のそれぞれの良否を判定する。
本実施形態における制御部１４０は、上述の通り、複数のセル１２のうち、測定された光電信号が正常範囲外となった少なくとも１つのＬＥＤ１０を含む少なくとも１つのセル１２を不良と判定する。制御部１４０は、当該正常範囲として、複数のＬＥＤ１０がそれぞれ出力する光電信号に応じた統計量を基準とする範囲を用いてもよい。当該統計量の一例として、当該光電信号の、平均値±１σ以内の範囲、当該平均値±２σ以内の範囲、または当該平均値±３σ以内の範囲を用いてもよい。
より具体的には、制御部１４０は、ＬＥＤ１０の発光色ごとに異なる正常範囲を用いてもよい。制御部１４０は更に、各カラムライン１１ｃによって互いに接続された複数の同色のＬＥＤ１０について測定される光電信号の平均電流量および標準偏差を用いてもよい。
この場合、制御部１４０は、格納部１４５に格納されている、カラムライン１１ｃ毎の同色のＬＥＤ１０から流れる電流の電流値に基づいて、または、同色のＬＥＤ１０が接続された複数のカラムライン１１ｃについて測定される電流値に基づいて、当該平均値と標準偏差σを算出する。また、当該電流値にピークが複数ある場合には、標準偏差を用いずに、複数のピークに対応可能な統計処理を用いて、当該電流値の統計量を算出してもよい。
また、平均および標準偏差を用いる統計処理の他に、任意の統計処理が用いられてもよく、例えば光電信号の統計値にピークが複数ある場合やピークが偏る場合に対応すべく、標準偏差の数式を異ならせてもよく、他のアルゴリズム又はアルゴリズムの組み合わせを採用してもよく、これらはＬＥＤ１０の特性によって使い分けてもよい。他のアルゴリズムの一例は、ＧＤＮＢ（Ｇｏｏｄ Ｄｉｅ Ｂａｄ Ｎｅｉｇｈｂｅｒｆｏｏｄ）、クラスターディテクションなどであってもよい。
なお、制御部１４０は、上記の平均電流値および標準偏差に代えて、互いに接続された複数の同色のＬＥＤ１０を２以上のＬＥＤ１０ごとに区分した複数の同色ユニットのそれぞれについて測定される光電信号の平均電流量および標準偏差を用いてもよい。
制御部１４０は、選択されたＬＥＤ１０が発する光の輝度が正常範囲外である場合に、当該選択されたＬＥＤ１０を不良と判定してもよい。制御部１４０は、当該正常範囲として、発光処理の対象となる少なくとも１つのＬＥＤ１０が発する光の輝度に応じた統計量を基準とする範囲を用いてもよい。
本実施形態の試験装置１００による試験方法との比較例として、例えばウェハ上に配列された複数のＬＥＤを１つずつ順次点灯させて、イメージセンサ、分光輝度計などで受光し、正しく光っているかを判断するといったＬＥＤの光学特性の試験方法が考えられる。
当該比較例の試験方法を用いて、上記の複数のＬＥＤの光学特性を一括して測定する場合、隣接する複数のＬＥＤのそれぞれから発せられた光同士が干渉してしまい、光学特性が相対的に悪化している不良のＬＥＤを正しく特定することができず、また、広い範囲を高精度に画像認識させるにはイメージセンサ等が非常に高額になってしまう。特に、複数のマイクロＬＥＤの試験を行う場合に、当該問題が顕著となる。
これに対して、本実施形態の試験装置１００によれば、ＬＥＤパネル１５に電気接続部１１０を電気的に接続し、ＬＥＤパネル１５が有する複数のセル１２に対して一括して光を照射し、ＬＥＤパネル１５の各行について、列方向に配列された２以上のセル１２のそれぞれにおいて光がＬＥＤ１０によって光電変換された光電信号を読み出す。試験装置１００によれば、更に、複数のセル１２のそれぞれから読み出された光電信号を測定し、当該測定結果に基づいて、複数のセル１２のそれぞれの良否を判定する。これにより、試験装置１００は、複数のセル１２の光電信号を同時に測定することで処理時間を短縮することができるだけでなく、他のセル１２の光学特性の測定による影響を受けずに測定された光電信号を用いてセル１２の良否を判定することで、光学特性が悪化している不良のセル１２を正しく特定することができる。また、試験装置１００によれば、同時に測定するセル１２の数を容易に拡張することができる。
また、本実施形態の試験装置１００によれば、光源部１２０、温度制御部１２６、読出部１１５、基板２０および遮蔽部１６０を除く他の構成、すなわち、電気接続部１１０、測定部１３０、制御部１４０、格納部１４５および載置部１５０は、ＬＥＤパネル１５のような光学デバイス以外のデバイスの試験で用いられるものを流用することができる。
本発明の様々な実施形態は、フローチャートおよびブロック図を参照して記載されてよく、ここにおいてブロックは、（１）操作が実行されるプロセスの段階または（２）操作を実行する役割を持つ装置のセクションを表わしてよい。特定の段階およびセクションが、専用回路、コンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプログラマブル回路、および／またはコンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプロセッサによって実装されてよい。専用回路は、デジタルおよび／またはアナログハードウェア回路を含んでよく、集積回路（ＩＣ）および／またはディスクリート回路を含んでよい。プログラマブル回路は、論理ＡＮＤ、論理ＯＲ、論理ＸＯＲ、論理ＮＡＮＤ、論理ＮＯＲ、および他の論理操作、フリップフロップ、レジスタ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブルロジックアレイ（ＰＬＡ）等のようなメモリ要素等を含む、再構成可能なハードウェア回路を含んでよい。
コンピュータ可読媒体は、適切なデバイスによって実行される命令を格納可能な任意の有形なデバイスを含んでよく、その結果、そこに格納される命令を有するコンピュータ可読媒体は、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく実行され得る命令を含む、製品を備えることになる。コンピュータ可読媒体の例としては、電子記憶媒体、磁気記憶媒体、光記憶媒体、電磁記憶媒体、半導体記憶媒体等が含まれてよい。コンピュータ可読媒体のより具体的な例としては、フロッピー（登録商標）ディスク、ディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭまたはフラッシュメモリ）、電気的消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、静的ランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、コンパクトディスクリードオンリメモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイ（ＲＴＭ）ディスク、メモリスティック、集積回路カード等が含まれてよい。
コンピュータ可読命令は、アセンブラ命令、命令セットアーキテクチャ（ＩＳＡ）命令、マシン命令、マシン依存命令、マイクロコード、ファームウェア命令、状態設定データ、またはＳｍａｌｌｔａｌｋ（登録商標）、ＪＡＶＡ（登録商標）、Ｃ＋＋等のようなオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語または同様のプログラミング言語のような従来の手続型プログラミング言語を含む、１または複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで記述されたソースコードまたはオブジェクトコードのいずれかを含んでよい。
コンピュータ可読命令は、汎用コンピュータ、特殊目的のコンピュータ、若しくは他のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサまたはプログラマブル回路に対し、ローカルにまたはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、インターネット等のようなワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を介して提供され、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく、コンピュータ可読命令を実行してよい。プロセッサの例としては、コンピュータプロセッサ、処理ユニット、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ等を含む。
図５は、本発明の複数の態様が全体的又は部分的に具現化されうるコンピュータ１２００の例を示す。コンピュータ１２００にインストールされたプログラムは、コンピュータ１２００に、本発明の実施形態に係る装置に関連付けられるオペレーション又は当該装置の１又は複数の「部」として機能させ、又は当該オペレーション又は当該１又は複数の「部」を実行させることができ、及び／又はコンピュータ１２００に、本発明の実施形態に係るプロセス又は当該プロセスの段階を実行させることができる。このようなプログラムは、コンピュータ１２００に、本明細書に記載のフローチャート及びブロック図のブロックのうちのいくつか又はすべてに関連付けられた特定のオペレーションを実行させるべく、ＣＰＵ１２１２によって実行されてよい。
本実施形態によるコンピュータ１２００は、ＣＰＵ１２１２、ＲＡＭ１２１４、グラフィックコントローラ１２１６、及びディスプレイデバイス１２１８を含み、これらはホストコントローラ１２１０によって相互に接続される。コンピュータ１２００はまた、通信インターフェース１２２２、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６、及びＩＣカードドライブのような入出力ユニットを含み、これらは入出力コントローラ１２２０を介してホストコントローラ１２１０に接続される。コンピュータはまた、ＲＯＭ１２３０及びキーボード１２４２のようなレガシの入出力ユニットを含み、これらは入出力チップ１２４０を介して入出力コントローラ１２２０に接続される。
ＣＰＵ１２１２は、ＲＯＭ１２３０及びＲＡＭ１２１４内に格納されたプログラムに従い動作し、これにより各ユニットを制御する。グラフィックコントローラ１２１６は、ＲＡＭ１２１４内に提供されるフレームバッファ等又は当該グラフィックコントローラ１２１６自体の中に、ＣＰＵ１２１２によって生成されるイメージデータを取得し、イメージデータがディスプレイデバイス１２１８上に表示させる。
通信インターフェース１２２２は、ネットワークを介して他の電子デバイスと通信する。ハードディスクドライブ１２２４は、コンピュータ１２００内のＣＰＵ１２１２によって使用されるプログラム及びデータを格納する。ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６は、プログラム又はデータをＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１から読み取り、ハードディスクドライブ１２２４にＲＡＭ１２１４を介してプログラム又はデータを提供する。ＩＣカードドライブは、プログラム及びデータをＩＣカードから読み取り、及び／又はプログラム及びデータをＩＣカードに書き込む。
ＲＯＭ１２３０は、内部に、アクティブ化時にコンピュータ１２００によって実行されるブートプログラム等、及び／又はコンピュータ１２００のハードウェアに依存するプログラムを格納する。入出力チップ１２４０はまた、様々な入出力ユニットをパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して、入出力コントローラ１２２０に接続してよい。
プログラムが、ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１又はＩＣカードのようなコンピュータ可読記憶媒体によって提供される。プログラムは、コンピュータ可読記憶媒体から読み取られ、コンピュータ可読記憶媒体の例でもあるハードディスクドライブ１２２４、ＲＡＭ１２１４、又はＲＯＭ１２３０にインストールされ、ＣＰＵ１２１２によって実行される。これらのプログラム内に記述される情報処理は、コンピュータ１２００に読み取られ、プログラムと、上記様々なタイプのハードウェアリソースとの間の連携をもたらす。装置又は方法が、コンピュータ１２００の使用に従い情報のオペレーション又は処理を実現することによって構成されてよい。
例えば、通信がコンピュータ１２００及び外部デバイス間で実行される場合、ＣＰＵ１２１２は、ＲＡＭ１２１４にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理に基づいて、通信インターフェース１２２２に対し、通信処理を命令してよい。通信インターフェース１２２２は、ＣＰＵ１２１２の制御の下、ＲＡＭ１２１４、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１、又はＩＣカードのような記録媒体内に提供される送信バッファ領域に格納された送信データを読み取り、読み取られた送信データをネットワークに送信し、又はネットワークから受信した受信データを記録媒体上に提供される受信バッファ領域等に書き込む。
また、ＣＰＵ１２１２は、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６（ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１）、ＩＣカード等のような外部記録媒体に格納されたファイル又はデータベースの全部又は必要な部分がＲＡＭ１２１４に読み取られるようにし、ＲＡＭ１２１４上のデータに対し様々なタイプの処理を実行してよい。ＣＰＵ１２１２は次に、処理されたデータを外部記録媒体にライトバックしてよい。
様々なタイプのプログラム、データ、テーブル、及びデータベースのような、様々なタイプの情報が、情報処理されるべく、記録媒体に格納されてよい。ＣＰＵ１２１２は、ＲＡＭ１２１４から読み取られたデータに対し、本開示の随所に記載され、プログラムの命令シーケンスによって指定される様々なタイプのオペレーション、情報処理、条件判断、条件分岐、無条件分岐、情報の検索／置換等を含む、様々なタイプの処理を実行してよく、結果をＲＡＭ１２１４に対しライトバックする。また、ＣＰＵ１２１２は、記録媒体内のファイル、データベース等における情報を検索してよい。例えば、各々が第２の属性の属性値に関連付けられた第１の属性の属性値を有する複数のエントリが記録媒体内に格納される場合、ＣＰＵ１２１２は、当該複数のエントリの中から、第１の属性の属性値が指定されている条件に一致するエントリを検索し、当該エントリ内に格納された第２の属性の属性値を読み取り、これにより予め定められた条件を満たす第１の属性に関連付けられた第２の属性の属性値を取得してよい。
以上の説明によるプログラム又はソフトウェアモジュールは、コンピュータ１２００上又はコンピュータ１２００近傍のコンピュータ可読記憶媒体に格納されてよい。また、専用通信ネットワーク又はインターネットに接続されたサーバシステム内に提供されるハードディスク又はＲＡＭのような記録媒体が、コンピュータ可読記憶媒体として使用可能であり、これにより、プログラムをコンピュータ１２００にネットワークを介して提供する。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。また、技術的に矛盾しない範囲において、特定の実施形態について説明した事項を、他の実施形態に適用することができる。また、各構成要素は、名称が同一で、参照符号が異なる他の構成要素と同様の特徴を有してもよい。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
１０ ＬＥＤ、１１ 配線、１１ｒ ローライン、１１ｃ カラムライン、１２ セル、１５ ＬＥＤパネル、２０ 基板、１００ 試験装置、１１０ 電気接続部、１１５ 読出部、１１６ 行駆動部、１１７ 列駆動部、１２０ 光源部、１２１ 光源、１２２ 平行光、１２３ レンズユニット、１２４ フィルタ保持部、１２５ 温度抑制フィルタ、１２６ 温度制御部、１３０ 測定部、１４０ 制御部、１４５ 格納部、１５０ 載置部、１６０ 遮蔽部、１２００ コンピュータ、１２０１ ＤＶＤ－ＲＯＭ、１２１０ ホストコントローラ、１２１２ ＣＰＵ、１２１４ ＲＡＭ、１２１６ グラフィックコントローラ、１２１８ ディスプレイデバイス、１２２０ 入出力コントローラ、１２２２ 通信インターフェース、１２２４ ハードディスクドライブ、１２２６ ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ、１２３０ ＲＯＭ、１２４０ 入出力チップ、１２４２ キーボード

Claims (9)

  1. 行方向および列方向に配列された、それぞれ発光素子を含む複数のセルを有する発光素子パネルに電気的に接続される電気接続部と、
    前記複数のセルに対して一括して光を照射する光源部と、
    前記発光素子パネルの各行について、前記列方向に配列された２以上の前記セルのそれぞれにおいて前記光が前記発光素子によって光電変換された光電信号を読み出す読出部と、
    前記複数のセルのそれぞれから読み出された光電信号を測定する測定部と、
    前記測定部の測定結果に基づいて、前記複数のセルのそれぞれの良否を判定する判定部と
    を備える試験装置。
  2. 前記読出部は、前記光が前記発光素子パネルに照射されている間、前記列方向に配列された前記２以上のセルのそれぞれから光電信号を読み出す、請求項１に記載の試験装置。
  3. 前記判定部は、前記複数のセルのうち、測定された前記光電信号が正常範囲外となった少なくとも１つの発光素子を含む少なくとも１つのセルを不良と判定する、
    請求項１または２に記載の試験装置。
  4. 前記判定部は、前記正常範囲として、複数の前記発光素子がそれぞれ出力する前記光電信号に応じた統計量を基準とする範囲を用いる、
    請求項３に記載の試験装置。
  5. 前記判定部は、前記発光素子の発光色ごとに異なる前記正常範囲を用いる、
    請求項４に記載の試験装置。
  6. 前記列方向に配列された前記複数のセルにおいて、互いに同じ色を発する複数の同色の発光素子が相互に接続されており、
    前記判定部は、互いに接続された前記複数の同色の発光素子について測定される前記光電信号の平均電流量および標準偏差を用いる、
    請求項５に記載の試験装置。
  7. 前記列方向に配列された前記複数のセルにおいて、互いに同じ色を発する複数の同色の発光素子が相互に接続されており、
    前記判定部は、互いに接続された前記複数の同色の発光素子を２以上の発光素子ごとに区分した複数の同色ユニットのそれぞれについて測定される前記光電信号の平均電流量および標準偏差を用いる、
    請求項５に記載の試験装置。
  8. 行方向および列方向に配列された、それぞれ発光素子を含む複数のセルを有する発光素子パネルに電気接続部を電気的に接続する電気接続段階と、
    前記複数のセルに対して一括して光を照射する照射段階と、
    前記発光素子パネルの各行について、前記列方向に配列された２以上の前記セルのそれぞれにおいて前記光が前記発光素子によって光電変換された光電信号を読み出す読出段階と、
    前記複数のセルのそれぞれから読み出された光電信号を測定する測定段階と、
    前記測定段階の測定結果に基づいて、前記複数のセルのそれぞれの良否を判定する判定段階と
    を備える試験方法。
  9. それぞれ発光素子を含む複数のセルを有する発光素子パネルを試験する試験装置により実行され、前記試験装置に請求項８に記載の試験方法を実行させるためのプログラム。
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