DE102010008251A1

DE102010008251A1 - Ausfallanalyseverfahren, -vorrichtung und -programm für integriete Halbleiterschaltung

Info

Publication number: DE102010008251A1
Application number: DE102010008251A
Authority: DE
Inventors: Masafumi Kawasaki Nikaido
Original assignee: NEC Electronics Corp
Current assignee: Renesas Electronics Corp
Priority date: 2009-02-18
Filing date: 2010-02-17
Publication date: 2010-09-23
Also published as: JP2010190738A; JP4917115B2; US20100241374A1; US8478022B2

Abstract

Es wird ein Signaldetektionsprozess, der Koordinaten in einem Vorrichtungskoordinatensystem in Analysedaten für anormale Signaldaten ableitet, die in den Analysedaten einer integrierten Halbleiterschaltung enthalten sind, welche von einer Halbleiterinspektionseinrichtung erhalten werden; ein Koordinatenumrechnungsprozess, der eine Entsprechung zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in einem Konstruktionskoordinatensystem in den Konstruktionsdaten der integrierten Halbleiterschaltung für eine Anzahl von Referenzpunkten in der integrierten Halbleiterschaltung ableitet und der eine Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; ein Fehlerberechnungsprozess, der einen Positionsfehler zwischen einer durch die Koordinatenumrechnungsformel umgerechneten Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; und ein Schaltungsextraktionsprozess geschaffen, der eine mit dem anormalen Signal in den Konstruktionsdaten verknüpfte Schaltung basierend auf den Koordinaten des anormalen Signals in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers extrahiert.

Description

TECHNISCHES GEBIET
(VERWEIS AUF ZUGEHÖRIGE ANMELDUNG)
Diese Anmeldung basiert auf und beansprucht die Priorität der japanischen Patentanmeldung Nr. 2009-035576 , die am 18. Februar 2009 eingereicht wurde und deren Offenbarung hier vollständig durch Bezugnahme auf dieselbe eingeschlossen ist.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Ausfallanalyseverfahren, eine Ausfallanalysevorrichtung und ein Ausfallanalyseprogramm für eine integrierte Halbleiterschaltung, und insbesondere ein Ausfallanalyseverfahren, eine Ausfallanalysevorrichtung und ein Ausfallanalyseprogramm, die eine verknüpfte Schaltung aus den Bilddaten eines anormalen Signals extrahieren, das von einer Halbleiterinspektionseinrichtung erhalten wurde.
HINTERGRUND
Bei der Ausfallanalyse von integrierten Halbleiterschaltungen umfassen konventionell erhältliche Halbleiterinspektionseinrichtungen zum Erfassen eines beobachteten Bilds Emissionsmikroskope, OBIRCH-Geräte und zeitaufgelöste Emissionsmikroskope. Diese Inspektionsgeräte können einen solchen Defekt wie einen beschädigten Teil in einer integrierten Halbleiterschaltung durch Verwendung eines Bilds analysieren, das als ein beobachtetes Bild des Defekts erfasst wird.
Patentdokument 1 beschreibt ein Halbleiter-Ausfallanalyseverfahren zum Analysieren eines Defekts einer Halbleitereinrichtung unter Verwendung eines beobachteten Bilds derselben, eine Ausfallanalysevorrichtung und ein Ausfallanalyseprogramm. Das Verfahren umfasst einen Inspektionsinformations-Erfassungsschritt zum Erfassen eines beobachteten Bilds des Defekts, das durch einen Defekt entstandene Reaktionsinformationen enthält, welche durch Durchführen einer Inspektion bezüglich des Fehlers erfasst werden, als ein beobachtetes Bild der Halbleitervorrichtung; und einen Layoutinformations-Erfassungsschritt zum Erfassen von Layoutinformationen der Halbleitervorrichtung. Das Verfahren umfasst ferner einen Bereicheinstellschritt zum Einstellen eines Analysebereichs in Übereinstimmung mit den Reaktionsinformationen in Bezug zu dem beobachteten Bild des Defekts; einen Netzinformations-Analysierschritt zum Extrahieren eines den Analysebereich durchquerenden Netzes, anhand einer Mehrzahl in einem Layout der Halbleitervorrichtung enthaltenen Netze; und einen Informationsanzeigeschritt, bei dem man Anzeigemittel Informationen über ein Ergebnis der Analyse des Defekts der Halbleitervorrichtung anzeigen lässt, die durch den Bereicheinstellschritt und den Netzinformations-Analysierschritt erhalten wurden. Der Analysebereich wird breiter als die Reaktionsbereiche in dem beobachteten Bild des Defekts unter Berücksichtigung von Positionsgenauigkeit des Objekttischs eingestellt, auf dem die Halbleitervorrichtung während Inspektion angebracht ist (Absatz 0035 des Patentdokuments 1). Die Positionsausrichtung zwischen dem beobachteten Bild und dem Layoutbild erfolgt durch Benennen von drei Punkten in dem beobachteten Bild und drei entsprechenden Punkten in dem Layoutbild, sowie Bewirken von Positionsanpassung von Koordinaten dieser Punkte. Die Positionsausrichtung kann durch Benennen von vier oder, wie erforderlich, mehr Punkten durchgeführt werden (Absatz 0078). Ferner erwähnt das Patentdokument 1, dass Bedienungstasten zum manuellen Ausführen von Feineinstellungen der Positionsausrichtung wie zum Beispiel Drehen des Musterbildes, sowie Positionieren und Zoomen des Layoutbilds vorgesehen sind (Absatz 0080).
[Patentdokument 1]

Japanische Patentveröffentlichung Kokai Nr. JP-P2007-5497 A , die der Veröffentlichungsnr. US 2007/0020781 A1 der US-Patentanmeldung entspricht.

ZUSAMMENFASSUNG
Die vollständigen Offenbarungen der Patentdokumente sind hier durch Bezugnahme auf dieselben eingeschlossen.
Die folgende Analyse wird durch die vorliegende Erfindung gegeben. Ein von einer Halbleiterinspektionseinrichtung erhaltendes anormales Signal wird allgemein als ein Bild (beobachtetes Bild) erhalten. Aufgrund der Miniaturisierung der LSI-Struktur wird es schwieriger, die Position des beobachteten Bilds und des anormalen Signals auf den Konstruktionsdaten in dem beobachteten Bild visuell zu erkennen. Ferner kann das beobachtete Bild auf Grund der Art, in dem LSIs aufgebaut sind, nur von einer Rückseite erhalten werden. In diesem Fall kann die Beobachtung unter Verwendung von Infrarotlicht durchgeführt werden, es ist jedoch schwierig, die Position des anormalen Signals anhand der Konstruktionsdaten von dem Bild zu spezifizieren, da die Struktur von Mustern nicht deutlich erhalten werden kann.
Patentdokument 1 zufolge können die Positionen des beobachteten Bilds und der Konstruktionsdaten durch Verwendung der Koordinaten von entsprechenden drei Punkten des beobachteten Bilds und der Konstruktionsdaten ausgerichtet werden. Wenn eine defekte LSI, die eine Probe ist, auf den Objekttisch der Vorrichtung gelegt wird, liegen in der Realität jedoch eine Neigung der Probe, Unregelmäßigkeiten auf der beobachteten Oberfläche der Probe, und ein Positionsfehler des Objekttischs der Analysevorrichtung vor. Deshalb tritt ein Fehler auf, wenn die Position des anormalen Signals anhand der Konstruktionsdaten abgeleitet wird. Wenn zum Beispiel ein Fehler bei Positionsausrichtung bei Rückseitenanalyse auftritt, ist es sehr schwierig, den Fehler zu korrigieren, da das Muster den beobachteten Bilds nicht deutlich ist. Um dies zu vermeiden wird das anormale Signal in Patentdokument 1 breit festgelegt (Absatz 0035). Wenn das anormale Signal ausreichend breiter als der Positionsfehler festgelegt wird, können defekte Schaltungen zuverlässig extrahiert werden, es werden jedoch viele Schaltungen extrahiert werden, die nicht mit dem Defekt in Verbindung stehen (pseudo-defekte Schaltungen). Tatsächlich defekte Schaltungen müssen aus einer Liste extrahiert werden, die viele pseudo-defekte Schaltungen enthält. Wenn andererseits das anormale Signal schmaler als der Positionsfehler festgelegt wird, können tatsächlich defekte Schaltungen übersehen werden.
Das Ausmaß dieses Positionsfehlers ändert sich bei jeder Beobachtung, d. h. jeder Ausfallprobe, aufgrund der Neigung der Probenoberfläche und des Positionsfehlers des Objekttischs. Deshalb muss zum genauen Eingrenzen defekter Schaltungen das Ausmaß des Positionsfehlers, das sich bei jeder Beobachtung ändert, genau bestimmt werden.
Ein Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst, eine Koordinate in einem Vorrichtungskoordinatensystem in Analysedaten für anormale Signaldaten abzuleiten, die in den von einer Halbleiterinspektionseinrichtung erhaltenen Analysedaten einer integrierten Halbleiterschaltung enthalten sind; eine Entsprechung zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in einem Konstruktionskoordinatensystem in Konstruktionsdaten der integrierten Halbleiterschaltung für eine Mehrzahl von Referenzpunkten in der integrierten Halbleiterschaltung abzuleiten, und eine Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem abzuleiten; einen Positionsfehler zwischen einer durch die Koordinatenumrechnungsformel umgerechneten Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem abzuleiten; und eine mit dem anormalen Signal in den Konstruktionsdaten verknüpfte Schaltung basierend auf den Koordinaten des anormalen Signals in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers zu extrahieren.
Eine Ausfallanalysevorrichtung für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst einen Signaldetektionsteil, der eine Koordinate in einem Vorrichtungskoordinatensystem in Analysedaten für anormale Signaldaten ableitet, die in den Analysedaten einer integrierten Halbleiterschaltung enthalten sind, welche von einer Halbleiterinspektionseinrichtung erhalten wurden; einen Koordinatenumrechnungsteil, der eine Entsprechung zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem in Konstruktionsdaten der integrierten Halbleiterschaltung für eine Anzahl von Referenzpunkten in der integrierten Halbleiterschaltung ableitet, und der eine Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; einen Fehlerberechnungsteil, der einen Positionsfehler zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem, die durch die Koordinatenumrechnungsformel umgerechnet wurde, und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; und einen Schaltungsextraktionsteil, der eine mit dem anormalen Signal in den Konstruktionsdaten verknüpfte Schaltung basierend auf den Koordinaten des anormalen Signals in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers extrahiert.
In noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Computerprogramm geschaffen, das Ausführen des oben beschriebenen Ausfallanalyseverfahrens durch einen Computer veranlasst. Ferner wird in noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Computerprogramm geschaffen, das Funktionieren des Computers als die oben beschriebene Ausfallanalysevorrichtung bewirkt. Das Programm kann in einem computerlesbaren Speichermedium gespeichert werden.
Die vorteilhaften Auswirkungen der vorliegenden Erfindung werden wie folgt zusammengefasst.
Da der vorliegenden Erfindung zufolge eine Koordinatenumrechnungsformel zwischen einem Vorrichtungskoordinatensystem und einem Konstruktionskoordinatensystem abgeleitet wird, ein Positionsfehler durch diese Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet wird, und eine mit einem anormalen Signal verknüpfte Schaltung unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers extrahiert wird, kann eine mit dem anormalen Signal verknüpfte Schaltung präzise extrahiert werden.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist ein schematisches Ablaufdiagramm eines Ausfallanalyseverfahrens für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist ein detailliertes Verfahrensablaufdiagramm des Ausfallanalyseverfahrens für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einem Beispiel der vorliegenden Erfindung.
3 sind die Bilddaten eines Licht emittierenden Bilds, das durch ein Emissionsmikroskop als ein anormales Signal beobachtet wird.
4 ist ein Beispiel, wie Referenzpunkte in einem Beispiel der vorliegenden Erfindung spezifiziert werden.
5 ist ein Beispiel, wie Referenzpunkte in einem Beispiel der vorliegenden Erfindung spezifiziert werden.
6 ist ein Beispiel, wie Koordinaten in einem Vorrichtungskoordinatensystem und Koordinaten in einem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung einer Bewegungsgröße, Rotationsgröße, Neigungsgröße und Elastizitätsgröße in einem Beispiel der vorliegenden Erfindung umgerechnet werden.
7 ist ein Beispiel von Referenzpunkten in Konstruktionsdaten in einem Beispiel der vorliegenden Erfindung.
8 ist eine Zeichnung zum Erklären eines Positionsfehlers in einem Beispiel der vorliegenden Erfindung.
9 ist ein Blockdiagramm einer Ausfallanalysevorrichtung gemäß einem Beispiel der vorliegenden Erfindung.
10 ist eine Zeichnung, die ein Beispiel zeigt, in dem das anormale Signal in Analysedaten überlagert mit den Konstruktionsdaten in einem Beispiel der vorliegenden Erfindung angezeigt wird.
11 ist eine Zeichnung, die ein anderes Beispiel zeigt, in dem das anormale Signal in den Analysedaten überlagert mit den Konstruktionsdaten in einem Beispiel der vorliegenden Erfindung angezeigt wird.
12 ist ein Blockdiagramm, das ein Beispiel der Konfiguration eines Computers zeigt, der für die Umsetzung der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann.
BEVORZUGTE AUSFÜHRUNGSFORMEN
Es sollen nun Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung bei Bedarf unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden. Es soll festgestellt werden, dass die Zeichnungen und Symbole in den Zeichnungen, auf die in der Beschreibung der Ausführungsformen Bezug genommen wird, zum Beschreiben eines Beispiels einer Ausführungsform verwendet werden und sie Variationen der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung nicht begrenzen.
Wie in den 1 und 9 gezeigt ist, umfasst ein Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vor liegenden Erfindung einen Signaldetektionsprozess S1, der Koordinaten in einem Vorrichtungskoordinatensystem in den Analysedaten 2 für Daten eines anormalen Signals 11 ableitet, die in den Analysedaten 2 einer integrierten Halbleiterschaltung enthalten sind, welche von einer Halbleiterinspektionseinrichtung erhalten wurden; einen Koordinatenumrechnungsprozess S2, der eine Entsprechung zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in einem Konstruktionskoordinatensystem in den Konstruktionsdaten der integrierten Halbleiterschaltung für eine Anzahl von Referenzpunkten in der integrierte Halbleiterschaltung ableitet, und der eine Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; einen Fehlerberechnungsprozess S3, der einen Positionsfehler zwischen einer durch die Koordinatenumrechnungsformel umgerechneten Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; und einen Schaltungsextraktionsprozess S4, der eine mit dem anormalen Signal in den Konstruktionsdaten verknüpfte Schaltung basierend auf den Koordinaten des anormalen Signals 11 in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers extrahiert. Mit anderen Worten, da die Koordinatenumrechnungsformel und der durch die Koordinatenumrechnungsformel berechnete Positionsfehler abgeleitet werden und eine mit dem anormalen Signal verknüpfte Schaltung unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers extrahiert wird, kann eine das anormale Signal verursachende defekte Schaltung für das anormale Signal in einer defekten LSI spezifiziert werden, die durch eine Halbleiterinspektionseinrichtung beobachtet wurde. Genauer ausgedrückt, kann durch quantitatives Ableiten der Größe eines Fehlers bei Positionsausrichtung, der sich bei jeder Beobachtung ändert, und Extrahieren einer Schaltung, die einen Bereich durchquert, der durch Erweitern der Koordinaten des anormalen Signals um die Fehlergröße erhalten wird, eine tatsächlich defekte Schaltung extrahiert werden, während gleichzeitig die Anzahl extrahierter, pseudo-defekter Schaltungen reduziert wird.
Wie zum Beispiel in 2 gezeigt ist, umfasst der Koordinatenumrechnungsprozess S2 bei dem Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ferner einen Referenzpunkt-Spezifizierungsprozess S2A, der eine Mehrzahl von Referenzpunkten spezifiziert, und umfasst der Schaltungsextraktionsprozess S4 einen Signalkoordinaten-Bewertungsprozess S4A, der den Bereich des anor malen Signals in dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers ableitet.
Weiter wird die Koordinatenumrechnungsformel in dem Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung für eine Mehrzahl von Koordinaten in dem Vorrichtungskoordinatensystem bzw. dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung einer Methode der kleinsten Quadrate in dem Koordinatenumrechnungsprozess S2 berechnet. Da eine Methode der kleinsten Quadrate verwendet wird, gibt es keinen menschlichen Faktor bei der Positionsausrichtung und Koordinatenumrechnung kann präzise ausgeführt werden. Ferner kann ein Fehler bei der Positionsausrichtung auf einem Minimum gehalten werden, selbst wenn das beobachtete Bild aufgrund einer Neigung der beobachteten Oberfläche verzerrt ist.
Ferner wird bei dem Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung der mittlere quadratische Fehler durch die Koordinatenumrechnungsformel für eine Mehrzahl von Koordinaten abgeleitet, und der Positionsfehler wird von dem mittleren quadratischen Fehler in dem Fehlerberechnungsprozess S3 abgeleitet. Der mittlere quadratische Fehler kann als der Positionsfehler behandelt werden, oder der Positionsfehler kann durch Multiplizieren des mittleren quadratischen Fehlers mit einem Koeffizienten, oder durch Addieren eines Koeffizienten zu dem mittleren quadratischen Fehler abgeleitet werden. In jedem Fall kann durch Ableiten des Positionsfehlers unter Verwendung des mittleren quadratischen Fehlers eine richtige Größe des Positionsfehlers ohne menschlichen Faktor abgeleitet werden. Genauer ausgedrückt, kann durch quantitatives Ableiten der Größe eines Fehlers bei der Positionsausrichtung, der sich bei jeder Beobachtung ändert, und Extrahieren einer Schaltung, die einen Bereich durchquert, der durch Erweitern der Koordinaten des anormalen Signals um eine Fehlergröße erhalten wird, eine tatsächlich defekte Schaltung extrahiert werden, während die Anzahl extrahierter, pseudo-defekter Schaltungen reduziert wird.
Ferner werden bei dem Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung Entsprechungen zwischen Koordinaten für eine Anzahl von Referenzpunkten abgeleitet, die eine zum Ableiten einer Koordinatenumrechnungsformel erforderliche Mindestanzahl übersteigt, wird eine Koordinatenumrechnungsformel vorläufig unter Verwendung einer beliebigen Anzahl von Referenzpunkten von den Referenzpunkten abgeleitet, für die Koordinatenübereinstimmungen abgeleitet werden, wird die Summe des Positionsfehlers jedes Referenzpunktes als der Umrechnungsfehler unter Verwendung der vorläufig abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet, und wird die Koordinatenumrechnungsformel, die den kleinsten Umrechnungsfehler ableitet, als die endgültige Koordinatenumrechnungsformel in dem Koordinatenumrechnungsprozess betrachtet. Da sich die Positionsgenauigkeit abhängig davon ändern kann, wie die Referenzpunkte gewählt werden, werden Koordinaten für eine Anzahl von Referenzpunkten abgeleitet, die die zum Lösen einer Koordinatenumrechnungsformel erforderliche Mindestanzahl übersteigt, und die Koordinatenumrechnungsformel kann vorläufig unter Verwendung einer beliebigen Anzahl von Referenzpunkten von den Referenzpunkten abgeleitet werden, für die Koordinaten abgeleitet werden. Diese beliebige Anzahl von Referenzpunkten umfasst mindestens eine Anzahl von Referenzpunkten, die zum Lösen der Koordinatenumrechnungsformel benötigt werden. Abhängig davon, welche Referenzpunkte verwendet werden, kann eine Mehrzahl vorläufiger Koordinatenumrechnungsformeln existieren, in diesem Fall kann jedoch die Größe von Fehlervariation aufgrund des Unterschieds, wie die Referenzpunkte gewählt werden, reduziert werden, indem der Umrechnungsfehler unter Verwendung jeder Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet wird und die Koordinatenumrechnungsformel, die den kleinsten Umrechnungsfehler ableitet, als die endgültige Koordinatenumrechnungsformel ausgewählt wird. Insbesondere kann ein Fehler bei der Positionsausrichtung auf einem Minimum gehalten werden, selbst wenn das beobachtete Bild aufgrund von Unebenheit der beobachteten Oberfläche verzerrt ist. Ferner kann durch quantitatives Ableiten der Größe eines Fehlers bei der Positionsausrichtung, der sich bei jeder Beobachtung ändert, und Extrahieren einer Schaltung, die einen Bereich durchquert, der durch Erweitern der Koordinaten des anormalen Signals um eine Fehlergröße erhalten wird, eine tatsächlich defekte Schaltung extrahiert werden, während die Anzahl extrahierter, pseudo-defekter Schaltungen reduziert wird.
Weiter verwendet die Koordinatenumrechnungsformel bei dem Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden eine projektive Transformation (zum Beispiel Formel (4)) und berechnet in dem Koordinatenumrechnungsprozess S2 projektive Transformationsparameter von den Koordinaten von mindestens vier Referenzpunkten in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem. Da es in dem Fall, wenn eine projektive Transformation zum Umrechnen von Koordinaten verwendet wird, erforderlich ist, wie in Formel (4) gezeigt acht Parameter (a₀, b₀, a₁, b₁, c₁, a₂, b₂, c₂) abzuleiten, werden mindestens vier Referenzpunkte benötigt. Als ein Ergebnis kann ein Fehler bei der Positionsausrichtung auf einem Minimum gehalten werden, selbst wenn eine solche Bildverzerrung vorliegt, dass ein rechteckiger Bereich der Probe aufgrund einer Neigung der beobachteten Oberfläche ein willkürlicher konvexer viereckiger Bereich des Analysebilds wird. Ferner kann durch quantitatives Ableiten der Größe eines Fehlers bei der Positionsausrichtung, der sich bei jeder Beobachtung ändert, und Extrahieren einer Schaltung, die einen Bereich durchquert, der durch Erweitern der Koordinaten des anormalen Signals um eine Fehlergröße erhalten wird, eine tatsächlich defekte Schaltung extrahiert werden, während die Anzahl extrahierter, pseudo-defekter Schaltungen reduziert wird.
Weiter verwendet die Koordinatenumrechnungsformel in dem Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wie zum Beispiel in 6 gezeigt ist, eine Bewegungsgröße (xo, yo), eine Rotationsgröße θ, eine Neigungsgröße β, und eine Elastizitätsgröße (λx, λy), und berechnet in dem Koordinatenumrechnungsprozess S2 die Bewegungsgröße (xo, yo), die Rotationsgröße θ, die Neigungsgröße β und die Elastizitätsgröße (λx, λy) von den Koordinaten von mindestens drei Referenzpunkten in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem. Wie oben beschrieben ist, müssen sechs Parameter abgeleitet werden, deshalb werden mindestens drei Referenzpunkte benötigt. Als ein Ergebnis kann ein Fehler bei der Positionsausrichtung auf einem Minimum gehalten werden, selbst wenn eine solche Bildverzerrung vorliegt, dass ein rechteckiger Bereich der Probe aufgrund einer Neigung der beobachteten Oberfläche ein Parallelogramm des Analysebildes wird. Ferner kann durch quantitatives Ableiten der Größe eines Fehlers bei Positionsausrichtung, der sich bei jeder Beobachtung ändert, und Extrahieren einer Schaltung, die einen Bereich durchquert, der durch Erweitern der Koordinaten des anormalen Signals um eine Fehlergröße erhalten wird, eine tatsächlich defekte Schaltung extrahiert werden, während die Anzahl extrahierter, pseudo-defekter Schaltungen reduziert wird.
Weiter umfasst eine Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wie zum Beispiel in 9 gezeigt ist, einen Signaldetektionsteil 3, der eine Koordinate in einem Vorrichtungskoordinatensystem in den Analysedaten 3 für Daten des anormalen Signals 11 ableitet, die in den Analysedaten 2 einer integrierten Halbleiterschaltung enthalten sind, welche von der Halbleiterinspektionseinrichtung 1 erhaltenen wurden; einen Koordinatenumrechnungsteil 5, der eine Entsprechung zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem in den Konstruktionsdaten 4 der integrierten Halbleiterschaltung für eine Mehrzahl von Referenzpunkten in der integrierten Halbleiterschaltung ableitet, und der eine Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; einen Fehlerberechnungsteil 6, der einen Positionsfehler zwischen einer durch die Koordinatenumrechnungsformel umgerechneten Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; und einen Schaltungsextraktionsteil 7, der eine mit dem anormalen Signal 11 in den Konstruktionsdaten 4 verknüpfte Schaltung basierend auf den Koordinaten des anormalen Signals 11 in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers ableitet. Da eine mit dem anormalen Signal verknüpfte Schaltung durch Verwendung des Koordinatenumrechnungsteils 5, der die Koordinatenumrechnungsformel ableitet, und des Fehlerberechnungsteils extrahiert wird, der den Positionsfehler unter Verwendung der durch den Koordinatenumrechnungsteil abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel und des durch den Fehlerberechnungsteil abgeleiteten Positionsfehlers ableitet, kann Schaltungsextraktion genau durchgeführt werden.
Wie zum Beispiel in 9 gezeigt ist, umfasst die Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weiter eine Anzeigeeinheit 8, die die Bilddaten der Analysedaten 2 und die Bilddaten der Konstruktionsdaten 4 anzeigt, umfasst der Koordinatenumrechnungsteil 5 einen Referenzpunkt-Spezifizierungsteil 5A, der eine Mehrzahl von Referenzpunkten spezifiziert, und umfasst der Schaltungsextraktionsteil 7 einen Signalkoordinaten-Berechnungsteil 7A, der den Bereich 13 des anormalen Signals in dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers ableitet.
Ferner lässt der Referenzpunkt-Spezifizierungsteil 5A in der Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einen Benutzer die Koordinaten der Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung der Bilddaten der Analysedaten 2 und der Konstruktionsdaten 4 eingeben, die durch die Anzeigeeinheit 8 angezeigt werden. Zum Beispiel kann die Anzeigeeinheit die Analysedaten und die Konstruktionsdaten wie in 4 gezeigt nebeneinander anzeigen, und der gleiche Punkt kann als ein Referenzpunkt eingegeben werden, oder, wie in 5 gezeigt ist, überlagern sich die Konstruktionsdaten und die Analysedaten und ein Referenzpunkt kann spezifiziert werden.
Wie zum Beispiel in den 10 und 11 gezeigt ist, zeigt ferner die Anzeige 8 in der Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Bilddaten der Analysedaten 2, die das anormale Signal 11 enthalten, und die Bilddaten der Konstruktionsdaten 4, die das durch den Signalkoordinaten-Berechnungsteil 7A abgeleitete Bild des Bereichs 13 des anormalen Signals enthalten, überlagert an.
Ferner berechnet zum Beispiel der Koordinatenumrechnungsteil 5 in der Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Koordinatenumrechnungsformel für eine Mehrzahl von Koordinaten in dem Vorrichtungskoordinatensystem bzw. dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung einer Methode der kleinsten Quadrate. Da der Koordinatenumrechnungsteil die Parameter der Koordinatenumrechnungsformel unter Verwendung einer Methode der kleinsten Quadrate ableitet, kann eine genaue Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet werden. Insbesondere kann ein Fehler bei der Positionsausrichtung auf einem Minimum gehalten werden, selbst wenn das beobachtete Bild aufgrund einer Neigung der beobachteten Oberfläche verzerrt ist.
Ferner leitet zum Beispiel der Koordinatenumrechnungsteil 6 in der Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung den mittleren quadratischen Fehler durch die Koordinatenumrechnungsformel für eine Mehrzahl von Koordinaten (Verweis auf Formel (2) als ein Beispiel) ab, und der Positionsfehler wird von dem mittleren quadratischen Fehler abgeleitet. Da der Positionsfehler von dem mittleren quadratischen Fehler abgeleitet wird, kann eine geeignete Größe des Positionsfehlers unabhängig von den Fähigkeiten der Arbeiter abgeleitet werden. Ferner kann der mittlere quadratische Fehler als der Positionsfehler behandelt werden, oder der Positionsfehler kann durch Multiplizieren des mittleren quadratischen Fehlers mit einer Konstanten, oder durch Addieren der Konstanten zu dem mittleren quadratischen Fehler abgeleitet werden. Indem man den Fehlerberechnungsteil die Größe eines Fehlers bei der Positionsausrichtung, der sich bei jeder Beobachtung ändert, quantitativ ableiten und eine Schaltung extrahieren lässt, die einen Bereich durchquert, der durch Erweitern der Koordinaten des anormalen Signals um die Fehlergröße erhalten wird, kann insbesondere eine tatsächlich defekte Schaltung extrahiert werden, während die Anzahl extrahierter, pseudo-defekter Schaltungen reduziert wird.
Ferner leitet zum Beispiel der Koordinatenumrechnungsteil 5 in der Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung Entsprechungen zwischen den Koordinaten (zum Beispiel Koordinatenentsprechungen zwischen Q1 bis Q4 und P1 bis P4 in 8) für eine Anzahl von Referenzpunkten ab, die eine zum Ableiten einer Koordinatenumrechnungsformel erforderliche Mindestanzahl übersteigt, leitet vorläufig eine Koordinatenumrechnungsformel unter Verwendung einer beliebigen Anzahl von Referenzpunkten von den Referenzpunkten ab, für die Koordinatenentsprechungen abgeleitet werden, leitet die Summe des Positionsfehlers jedes Referenzpunktes als den Umrechnungsfehler unter Verwendung der vorläufig abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel ab, und betrachtet die Koordinatenumrechnungsformel, die den kleinsten Umrechnungsfehler ableitet, als die endgültige Koordinatenumrechnungsformel. Da die Genauigkeit der Koordinatenumrechnungsformel dadurch beeinflusst wird, wie die Referenzpunkte gewählt werden, gemäß der oben beschriebenen Konfiguration, werden Koordinatenumrechnungsformeln von einer Mehrzahl von Arten zum Auswählen von Referenzpunkten abgeleitet, und die Koordinatenumrechnungsformel, die den kleinsten Fehler ableitet, kann als die endgültige Koordinatenumrechnungsformel von den abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformeln ausgewählt werden. Insbesondere kann ein Fehler bei der Positionsausrichtung auf einem Minimum gehalten werden, selbst wenn das beobachtete Bild aufgrund von Unebenheit der beobachteten Oberfläche verzerrt ist. Ferner kann durch quantitatives Ableiten der Größe eines Fehlers bei der Positionsausrichtung, der sich bei jeder Beobachtung ändert, und Extrahieren einer Schaltung, die einen Bereich durchquert, der durch Erweitern der Koordinaten des anormalen Signals um eine Fehlergröße erhalten wird, eine tatsächlich defekte Schaltung extrahiert werden, während die Anzahl extrahierter, pseudo-defekter Schaltungen reduziert wird.
Ferner verwendet die Koordinatenumrechnungsformel in der Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine projektive Transformation (Verweis auf die Formeln (3) und (4) als Beispiele), und der Koordinatenumrechnungsteil 5 berechnet Parameter der projektiven Transformation von den Koordinaten von mindestens vier Referenzpunkten in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem. Wenn die Koordinatenumrechnungsformel durch die projektive Transformation acht Parameter (a0, b0, a1, b1, c1, a2, b2, c2) benötigt, werden die Parameter von den Koordinaten von mindestens vier Referenzpunkten in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem abgeleitet. Infolgedessen kann ein Fehler bei der Positionsausrichtung auf einem Minimum gehalten werden, selbst wenn eine solche Bildverzerrung vorliegt, dass ein rechteckiger Bereich der Probe aufgrund einer Neigung der beobachteten Oberfläche ein willkürlicher konvexer viereckiger Bereich des Analysebilds wird.
Ferner verwendet die Koordinatenumrechnungsformel, wie in 6 gezeigt ist, in der Ausfallanalysevorrichtung 10 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine Bewegungsgröße (xo, yo), eine Rotationsgröße θ, eine Neigungsgröße β, und eine Elastizitätsgröße (λx, λy), und der Koordinatenumrechnungsteil 5 berechnet die Bewegungsgröße, die Rotationsgröße, die Neigungsgröße und die Elastizitätsgröße von den Koordinaten von mindestens drei Referenzpunkten in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem. Die sechs Parameter, die Bewegungsgröße (xo, yo), die Rotationsgröße θ, die Neigungsgröße β und die Elastizitätsgröße (λx, λy) werden von den Koordinaten von mindestens drei Paaren von Referenzpunkten abgeleitet. Als ein Ergebnis kann ein Fehler in der Positionsausrichtung auf einem Minimum gehalten werden, selbst wenn eine solche Bildverzerrung vorliegt, dass ein rechteckiger Bereich der Probe aufgrund einer Neigung der beobachteten Oberfläche ein Parallelogramm des Analysebilds wird.
Ferner veranlasst ein Ausfallanalyseprogramm 25 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einen Computer 30 (12), das oben beschriebene Ausfallanalyseverfahren (1 und 2) auszuführen. Mit anderen Worten kann der Computer durch Installieren des Ausfallanalyseprogramms 25 gemäß der vorliegenden Erfindung auf einem in 12 gezeigten Universalcomputer wie zum Beispiel einer Engineering Workstation und einem PC das in den 1 und 2 gezeigte Ausfallanalyseverfahren ausführen.
Ferner veranlasst das Ausfallanalyseprogramm 25 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung den Computer 30 (12), als die Ausfallanalysevorrichtung 10 (9) zu wirken. Wenn in 9 die Analysedaten 2 ferner aus den Ergebnissen einer durch die Halbleiterinspektionseinrichtung 1 durchgeführten Inspektion stammen, muss die Ausfallanalysevorrichtung 10 die Halbleiterinspektionseinrichtung 1 nicht enthalten. Wenn die Ausfallanalysevorrichtung 10 die Halbleiterinspektionseinrichtung 1 enthält, kann das Ausfallanalyseprogramm 25 die Halbleiterinspektionseinrichtung 1 steuern. Im Folgenden sollen Beispiele detailliert unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden.
[BEISPIEL 1]
2 ist ein detailliertes Prozessablaufdiagramm des Ausfallanalyseverfahrens für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß Beispiel 1. In 2 ist Schritt S1 der Signaldetektionsprozess, der die Koordinaten in der Halbleiterinspektionseinrichtung (dem Vorrichtungskoordinatensystem) des anormalen Signals erhält, welches von der Halbleiterinspektionseinrichtung für eine defekte LSI erhalten wird. Schritt S2A ist der Referenzpunkt-Spezifizierungsprozess, der einen Referenzpunkt zur Koordinatenumrechnung vor dem nächsten Schritt S2, dem Koordinatenumrechnungsprozess spezifiziert. Schritt S2 ist der Koordinatenumrechnungsprozess, der das Positionsverhältnis zwischen Koordinaten des Vorrichtungskoordinatensystems und des Koordinatensystems anhand der Konstruktionsdaten (das Konstruktionskoordinatensystem) als die Koordinatenumrechnungsformel berechnet. Schritt S3 ist der Fehlerberechnungsprozess, der einen Positionsfehler zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem berechnet. Der Positionsfehler wird durch Umrechnen der Koordinaten des Referenzpunkts in dem Vorrichtungskoordinatensystem in Koordinaten in dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung der in Schritt S2 abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel, und Prüfen ihrer Genauigkeit durch Vergleichen des Umrechnungsergebnisses mit den direkt in Schritt S2A spezifizieren Koordinaten des Referenzpunktes in dem Konstruktionskoordinatensystem abgeleitet. Schritt S4A ist der Signalkoordinaten-Berechnungsprozess, der die Vorrichtungskoordinaten des anormalen Signals berechnet. Dieser Schritt S4A ist ein Vorverarbeitungsprozess für den nächsten Schritt S4, dem Schaltungsextraktionsprozess. Im Schritt S4A werden die Koordinaten des anormalen Signals in dem Konstruktionskoordinatensystem und sein Positionsfehlerbereich durch Verwendung der in Schritt S1 abgeleiteten Koordinaten des anormalen Signals in dem Vorrichtungskoordinatensystem, der in Schritt S2 abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel und des im Schritt S3 abgeleiteten Positionsfehlers abgeleitet. Der Schritt S4 ist der Schaltungsextraktionsprozess, der eine mit dem anormalen Signal verknüpfte Schaltung unter Verwendung der Koordinaten des anormalen Signals in dem Konstruktionskoordinatensystem und seines in Schritt S4A abgeleiteten Positionsfehlers extrahiert.
Die in Schritt S1 verwendete Halbleiterinspektionseinrichtung kann eine Emissionsanalyseeinrichtung, die eine Lichtemission als ein anormales Signal detektiert, eine OBIRCH-Analyseinrichtung, die eine OBIRCH-Reaktion als ein anormales Signal detektiert, oder eine jegliche Halbleiterinspektionseinrichtung sein, die ein elektrisches Signal, einen Infrarotlichtstrahl, sichtbares Licht, ultraviolettes Licht, Laserlicht, Röntgenstrahlen, Elektronen, Ionen, Ultraschall und Schwingung an eine LSI liefert und ein elektrisches Signal, einen Infrarotlichtstrahl, sichtbares Licht, ultraviolettes Licht, Laserlicht, Röntgenstrahlen, Elektronen, Ionen, Ultraschall und Schwingung als ein anormales Signal detektiert.
3 zeigt Bilddaten eines lichtemittierenden Bilds, das durch ein Emissionsmikroskop als ein anormales Signal 11 beobachtet wird, als ein Beispiel eines durch die Halbleiterinspektionseinrichtung detektierten anormalen Signals. Wie in 3 gezeigt ist, kann die Halbleiterinspektionseinrichtung ein beobachtetes Bild einer integrierten Halbleiterschaltung, die ein Inspektionsziel ist, und ein in dem beobachteten Bild erscheinendes anormales Signal als Bilddaten detektieren. Im Schritt S1 werden die Koordinaten dieses anormalen Signals 1 in dem Analysebild in dem Vorrichtungskoordinatensystem abgeleitet.
Als nächstes werden im Referenzpunkt-Spezifizierungsprozessschritt S2A zusätzlich zu dem beobachteten, von der Halbleiterinspektionseinrichtung erhaltenen Bild der integrierten Halbleiterschaltung die Bilddaten der Konstruktionsdaten von den Schaltungslayout-Konstruktionsdaten der integrierten Halbleiterschaltung angezeigt, welche das Analyseziel darstellt. Das beobachtete Bild und die Konstruktionsdaten können getrennt, nebeneinander wie in 4 gezeigt ist, oder wie in 5 gezeigt überlagert angezeigt werden.
Ferner wird im Referenzpunkt-Spezifizierungsprozessschritt S2A durch Auswählen eines Punkts in der integrierten Halbleiterschaltung, dem Analyseziel, als einen Referenzpunkt (tatsächlicher Referenzpunkt) und Spezifizieren einer Koordinate in den Konstruktionsdaten, die dem tatsächlichen Referenzpunkt entspricht, als einen Referenzpunkt (Konstruktionsreferenzpunkt), die Vorrichtungskoordinaten tatsächlicher Punkte und die Konstruktionskoordinaten von Konstruktionsreferenzpunkten für eine Mehrzahl von Referenzpunkten spezifiziert. 4 zeigt ein Beispiel eines Verfahrens zum Spezifizieren von Referenzpunkten. In 4 werden das beobachtete Bild (Analysedaten) und die Konstruktionsdaten nebeneinander angezeigt, und zwei Punkte, die visuell als an der derselben Stelle vorliegend erkannt werden, werden als Referenzpunkte spezifiziert. In 4 wird ein Punkt in dem beobachteten Bild als ein tatsächlicher Referenzpunkt spezifiziert, und ein dem tatsächlichen Referenzpunkt entsprechender Punkt in den Konstruktionsdaten wird als ein Konstruktionsreferenzpunkt spezifiziert. Eine Mehrzahl von Paaren von wie beschrieben erhaltenen Referenzpunkten wird spezifiziert. 5 zeigt ein anderes Verfahren zum Spezifizieren von Referenzpunkten aus dem in FIG. dargestellten Verfahren. In 5 werden die Bilddaten des beobachteten Bildes auf der integrierten Halbleiterschaltung, die das Analyseziel darstellt, die durch die Halbleiterinspektionseinrichtung erhalten wurden, und die Konstruktionsdaten überlagert angezeigt, und die Koordinaten eines tatsächlichen Referenzpunkts und eines Konstruktionsreferenzpunkts werden für einen beliebigen Punkt auf den überlagerten Bildern extrahiert. Allgemein gesagt stimmen die Konstruktionsdaten und die Bilddaten nicht an allen Punkten überein, da das beobachtete Bild Bildverzerrung aufweist, es können jedoch zwei zusammenfallende Punkte in den überlagerten Bildern als Referenzpunkte spezifiziert werden. Wie beschrieben werden die entsprechenden Koordinaten in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem für eine Mehrzahl von Referenzpunkten erhalten.
Als nächstes wird im Koordinatenumrechnungsprozessschritt S2 das Positionsverhältnis zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem von der Mehrzahl von Paaren von Referenzpunkten (Paare aus einem Referenzpunkt in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einem Referenzpunkt in dem Konstruktionskoordinatensystem) abgeleitet, die im Referenzpunkt-Spezifizierungsprozessschritt S2A als die Koordinatenumrechnungsformel spezifiziert wurden. Ferner wird im Fehlerberechnungsprozessschritt S3 der Positionsfehler zwischen der Koordinate des Referenzpunkts in dem Konstruktionskoordinatensystem (die in Schritt S2A abgeleitete Koordinate) und der Koordinate, die unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet wurde, in dem Konstruktionskoordinatensystem abgeleitet. Die integrierte Halbleiterschaltung, die das Analyseziel darstellt, wird auf den Objekttisch der Halbleiterinspektionseinrichtung als eine Probe gelegt, und die Koordinaten der im Referenzpunkt-Spezifizierungsprozess (dem Schritt S2A) spezifizierten Referenzpunkte enthalten Fehler aufgrund einer Neigung der Probe, Unregelmäßigkeiten auf der beobachteten Oberfläche der Probe, und einen Positionsfehler des Objekttischs der Halbleiterinspektionseinrichtung. Zum Reduzieren dieser Fehler wird im Koordinatenumrechnungsprozess das Positionsverhältnis zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem als die Koordinatenumrechnungsformel für die Mehrzahl von Paaren von in dem Referenzpunkt-Spezifizierungsprozess spezifizierten Referenzpunkten abgeleitet. Die Parameter dieser Koordinatenumrechnungsformel werden unter Verwendung der Methode der kleinsten Quadrate abgeleitet. Ferner wird von dem Positionsverhältnis zwischen den Koordinaten der unter Verwendung dieser Koordinatenumrechnungsformel abgeleiteten Referenzpunkte und der Koordinaten der vorhergehend spezifizierten Referenzpunkte der mittlere quadratische Fehler für die Mehrzahl von Paaren von Referenzpunkten als der Positionsfehler abgeleitet.
6 zeigt ein Beispiel der Umrechnung zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem. Zum Umrechnen des Vorrichtungskoordinatensystems (x, y) in das Konstruktionskoordinatensystem (X, Y) werden die Bewegungsgröße xo, yo, die Rotationsgröße θ, die Neigungsgröße β und die Elastizitätsgröße λx, λy von einer Gleichung abgeleitet, die aus mindestens drei Paaren von Referenzpunkten (xi, yi) und (Xi, Yi) unter Verwendung einer Methode der kleinsten Quadrate gebildet wird. Die Koordi natenumrechnungsformel wird als Formel (1) in einer allgemeinen Form geschrieben: X = fx(xi, yi), Y = fY(xi, yi) Formel (1)
Der Fehlerberechnungsprozessschritt S3 leitet den mittleren quadratischen Fehler für das Referenzpunktpaar ab, das von dem Positionsverhältnis zwischen den Referenzpunkten in dem Vorrichtungskoordinatensystem und Konstruktionskoordinatensystem abgeleitet wurde, die unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet wurden. Wenn die Koordinatenumrechnungsformel durch Formel (1) ausgedrückt wird, wird der mittlere quadratische Fehler durch Formel (2) ausgedrückt. Die Differenz zwischen den Koordinaten in dem Konstruktionskoordinatensystem, die durch Einsetzen der Koordinaten des Referenzpunkts in dem Vorrichtungskoordinatensystem in die Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet werden, und den wie in Schritt S2A spezifizierten Koordinaten des Referenzpunkts in dem Konstruktionskoordinatensystem, wird berechnet. Ferner wird durch Ableiten der mittleren quadratischen Summe für die Mehrzahl von Referenzpunkten der mittlere quadratische Fehler abgeleitet.
Als nächstes werden im Signalkoordinaten-Berechnungsprozessschritt S4A die Konstruktionskoordinaten des in dem Signaldetektionsprozess erhaltenen anormalen Signals und der Positionsfehler unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel, die in dem Koordinatenumrechnungsprozess erhalten wurde, und des in dem Fehlerberechnungsprozess erhaltenen Positionsfehlers berechnet.
Ferner wird im Schaltungsextraktionsprozessschritt S4 eine Schaltung, die einen Bereich (anormalen Signalbereich) durchquert, der durch Erweitern der in dem Signalkoordinaten-Berechnungsprozess erhaltenen Konstruktionskoordinaten des anormalen Signals um die Größe des Positionsfehlers erhalten wird, von den Konstruktionsdaten extrahiert. Diese extrahierte Schaltung ist eine mit dem anormalen Signal verknüpfte Schaltung.
[BEISPIEL 2]
Ein anderes Ausfallanalyseverfahren für eine andere integrierte Halbleiterschaltung als in Beispiel 1 ist als Beispiel 2 unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben. 7 ist ein Beispiel von Referenzpunkten auf den Konstruktionsdaten. In dem Referenzpunkt-Spezifizierungsprozess werden mindestens vier Paare von Referenzpunkten spezifiziert. Entsprechungen zwischen tatsächlichen Referenzpunkten und Konstruktionsreferenzpunkten sind einfach zu sehen, wenn visuell erkennbare Punkte wie zum Beispiel die Kanten eines LSI-Chips als Referenzpunkte ausgewählt werden. In dem Koordinatenumrechnungsprozess wird die Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem durch Berechnen der projektiven Transformationsparameter von den Paaren von Referenzpunkten unter Verwendung einer Methode der kleinsten Quadrate abgeleitet. Ein Beispiel der Koordinatenumrechnungsformel, die eine projektive Transformation verwendet, ist als Formel (3) gezeigt:
Unter Verwendung einer Methode der kleinsten Quadrate werden acht Parameter (a₀, b₀, a₁, b₁, c₁, a₂, b₂, c₂) in der Koordinatenumrechnungsformel von den Koordinaten in dem beobachteten Bild (xi, yi) und den Koordinaten (Xi, Yi) in den Konstruktionsdaten für mindestens vier Paare von Referenzpunkten abgeleitet. Der Fehlerberechnungsprozess leitet den mittleren quadratischen Fehler für das durch die Koordinatenumrechnungsformel abgeleitete Referenzpaar ab. Konkreter ausgedrückt, wird der mittlere quadratische Fehler durch Einsetzen der Koordinatenumrechnungsformel von Formel (4) in Formel (2) abgeleitet.
[BEISPIEL 3]
Noch ein anderes Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung ist als Beispiel 3 unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben. In dem Koordinatenumrechnungsprozess wird die Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem durch Verwendung von nicht weniger Paaren aus Referenzpunkten (Zielreferenzpunkte) als der Mindestanzahl von Paaren abgeleitet, die zum Ableiten einer Koordinatenumrechnungsformel aus einer Mehrzahl von Paaren aus Referenzpunkten benötigt wird. In dem Fehlerberechnungsprozess wird der Positionsfehler zwischen den Koordinaten der Referenzpunkte in dem Konstruktionskoordinatensystem und den Koordinaten in dem Konstruktionskoordinatensystem, die durch Umrechnen der Koordinaten der Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel erhalten werden, für die von dem Positionsverhältnis abgeleiteten Zielreferenzpunkte abgeleitet, und die Summe des Positionsfehlers jedes Zielreferenzpunkts wird als der Umrechnungsfehler betrachtet.
Zum Beispiel ist es für die Koordinatenumrechnungsformel mit den unter Verwendung von 6 beschriebenen Parametern: der Bewegungsgröße, der Rotationsgröße, der Neigungsgröße und der Elastizitätsgröße erforderlich, mindestens drei Paare von Referenzpunkten zum Ableiten von sechs Umrechnungsparametern zu spezifizieren. Es soll beispielsweise angenommen werden, dass sechs Paare von Referenzpunkten spezifiziert werden. Da der mittlere quadratische Fehler null ist, wenn drei Paare von Referenzpunkten eingesetzt werden, werden vier Paare, fünf Paare, und sechs Paare von Referenzpunkten aus den sechs Paaren von Referenzpunkten genommen. Die Anzahl von Kombinationen aus vier Paaren ist fünfzehn, und Anzahl von Kombinationen aus fünf Paaren ist sechs, und die Anzahl von Kombinationen aus sechs Paaren ist eins. Insgesamt gibt es zweiundzwanzig verschiedene Kombinationen. Eine Koordinatenumrechnungsformel wird für jedes der zweiundzwanzig Paare abgeleitet. Ferner wird der Abstand zwischen einem Punkt in dem Konstruktionskoordinatensystem, der durch Umrechnen der Koordinaten eines tatsächlichen Referenzpunkts und eines Konstruktionsreferenzpunkts erhalten wird, unter Verwendung der abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel berechnet. Die Summe der Abstände für alle der Zielreferenzpunkte, die direkt zum Ableiten der Koordinatenumrechnungsformel verwendet werden, wird als der Umrechnungsfehler betrachtet. Die Koordinatenumrechnungsformel mit dem kleinsten Umrechnungsfehler wird als die endgültige Koordinatenumrechnungsformel verwendet.
8 zeigt Verhältnisse zwischen den Koordinaten (Q1 bis Q4) der in dem beobachteten Bild (Analysedaten) spezifizierten Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem, den Koordinaten (P1 bis P4) der in den Konstruktionsdaten in dem Konstruktionskoordinatensystem spezifizierten Referenzpunkte, und der Koordinate (P1A) in dem Konstruktionskoordinatensystem, die durch Umrechnen der Koordinate P1 in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel erhalten wurde. Wenn die Koordinatenumrechnungsformel richtig war und keine Verzerrung in dem beobachteten Bild und kein Einstellfehler vorlag, würde die durch Umrechnen der Koordinate (der tatsächlichen Koordinate Q1) in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel erhaltene Koordinate (P1A) genau mit der Koordinate (dem Konstruktionsreferenzpunkt P1) des Referenzpunktes in dem Konstruktionskoordinatensystem übereinstimmen. Sie stimmen jedoch aufgrund solcher Gründe wie einer Verzerrung in dem beobachteten Bild nicht genau überein. Es gibt einen Abstand zwischen P1 und P1A. Durch Behandeln der Summe dieses Abstands für jeden Referenzpunkt als den Umrechnungsfehler und weiter Auswählen der Koordinatenumrechnungsformel mit dem kleinsten Umrechnungsfehler als die endgültige Koordinatenumrechnungsformel, kann eine Analyse mit einer höheren Koordinatengenauigkeit durchgeführt werden.
Wichtig ist in diesem Zusammenhang, den Positionsfehler zwischen einem Punkt in dem Konstruktionskoordinatensystem, der durch Umrechnen der Koordinaten eines tatsächlichen Referenzpunktes erhalten wurde, und einem Konstruktionsreferenzpunkt von der abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel abzuleiten, und der Umrechnungsfehler muss nicht die einfache Summe der Abstände darstellen. Zum Beispiel kann ein Fehlerabstand (zum Beispiel der Abstand von P1 zu P1A in 8) gemäß der Position auf der integrierten Halbleiterschaltung wie zum Beispiel der Abstand von dem anormalen Signal bewertet werden, und die Summe der bewerteten Fehler kann als der Umrechnungsfehler betrachtet werden.
[BEISPIEL 4]
Als nächstes soll ein Beispiel einer Ausfallanalysevorrichtung für eine integrierte Halbleiterschaltung als Beispiel 4 beschrieben werden. 9 ist ein Blockdiagramm, das die Konfiguration der Ausfallanalysevorrichtung 1 für eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß Beispiel 4 zeigt. In 9 gibt die Ausfallanalysevorrichtung 10 ein beobachtetes Bild einer integrierten Halbleiterschaltung, welche das Analyseziel darstellt, und ein in dem beobachteten Bild enthaltenes anormales Signal als die Analysedaten 2 aus. Die Analysedaten 2 sind Bilddaten, die von der Halbleiterinspektionseinrichtung 1 ausgegeben werden. Es wird darauf hingewiesen, dass die Ausfallanalysevorrichtung 10 die Halbleiterinspektionseinrichtung 1 nicht enthalten muss, wenn die Ausfallanalysevorrichtung 10 die Analysedaten 2 empfangen kann. Die Konstruktionsdaten 4 sind die Layoutdaten der Schaltungskonfiguration der integrierten Halbleiterschaltung, dem Analyseziel. Der Signaldetektionsteil 3 detektiert die Koordinaten des anormalen Signals aus den Konstruktionsdaten 4 und den Analysedaten 2. Der Referenzpunkt-Spezifizierungsteil 5A spezifiziert eine Mehrzahl von Referenzpunkten und leitet die Koordinatendaten der Referenzpunkte in den Analysedaten 2 und den Konstruktionsdaten 4 ab. Der Koordinatenumrechnungsteil 5 leitet die Koordinatenumrechnungsformel ab, die eine Koordinate in den Analysedaten in eine Koordinate in den Konstruktionsdaten von den Koordinaten der Referenzpunkte in den Analysedaten 2 und den Koordinaten der Referenzpunkte in den Konstruktionsdaten 4 umrechnet. Der Fehlerberechnungsteil 6 leitet den Positionsfehler, wenn eine Koordinate in den Analysedaten in eine Koordinate in den Konstruktionsdaten umgerechnet wird, unter Verwendung der durch den Koordinatenumrechnungsteil 5 abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel ab. Der Signalkoordinaten-Berechnungsteil 7A leitet den Positionsfehler (Bereich) zwischen den Koordinaten des anormalen Signals, die durch den Signaldetektionsteil 3 in dem Vorrichtungskoordinatensystem (die Analysedaten 2) abgeleitet werden, und den Koordinaten des anormalen Signals in dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung der durch den Koordinatenumrechnungsteil 5 abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel und des durch den Fehlerberechnungsteil 6 abgeleiteten Positionsfehlers ab. Der Schaltungsextraktionsteil 7 extrahiert eine mit dem anormalen Signal verknüpfte Schaltung basierend auf dem Bereich, der die Koordinaten des anormalen Signals in dem Vorrichtungskoordinatensystem, die durch den Signalkoordinaten-Berechnungsteil 7A abgeleitet werden, und ihren Positionsfehler berücksichtigt. Der Anzeigeteil 8 zeigt das beobachtete Bild und das Bild des anormalen Signals, das in den Analysedaten enthalten ist, die Bilddaten der Konstruktionsdaten und die Positionen der Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem an.
Ferner kann die in 9 gezeigte Ausfallanalysevorrichtung von Beispiel 4 das oben beschriebene Ausfallanalyseverfahren der Beispiele 1 bis 3 ausführen. Wie in den 10 und 11 gezeigt ist, zeigt die Anzeigeeinheit 8 die Analysedaten und die Konstruktionsdaten überlagert an, zeigt die Koordinaten in dem anormalen Signal in den Konstruktionsdaten, die unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet wurden, als den anormalen Signalbereich zusätzlich zu dem anormalen Signal 11 in den Analysedaten an, und zeigt ferner den Bereich des anormalen Signals in den Konstruktionsdaten mit dem Positionsfehler hinzugefügt als einen als Fehler betrachteten Bereich 13 an. Wenn der Bereich des anormalen Signals von XY Koordinaten abgeleitet werden kann, wird ferner der als Fehler betrachtete Bereich 13 ein wie in 10 gezeigtes Rechteck, und wenn der Bereich des anormalen Signals als ein kreisförmiger oder elliptischer Bereich abgeleitet werden kann, wird der als Fehler betrachtete Bereich 13 ein kreisförmiger oder elliptischer Bereich, wie in 11 gezeigt ist. Es wird darauf hingewiesen, dass der Bereich des als Fehler betrachteten Bereichs die Größe des Fehlers enthalten sollte, und seine Form nicht auf ein Rechteck oder eine Ellipse begrenzt ist.
[BEISPIEL 5]
Die oben beschriebenen Ausfallanalyseverfahren der Beispiele 1 bis 3 und die Ausfallanalysevorrichtung von Beispiel 4 für eine integrierte Halbleiterschaltung können durch das Ausfallanalyseprogramm 25 realisiert werden, das auf dem in 12 gezeigten Computer installiert ist.
In 12 umfasst der Computer 30 eine ZVE 21, eine Eingabeeinheit 22, die Anweisungen zum Ausführen eines Programms eingibt, eine Ausgabeeinheit 23, eine Speichereinheit 24 und eine Einheit 26 zum Erfassen externer Daten, die die Analysedaten 2 und Konstruktionsdaten 4 erfasst, welche von der Halbleiterinspektionseinrichtung 1 erhalten werden. Die Speichereinheit 24 kann eine zusätzliche Speichereinrichtung wie zum Beispiel ein Magnetspeichermedium oder optisches Speichermedium wie zum Beispiel eine Festplatte, CD, DVD, zusätzlich zu einer Hauptspeichereinrichtung wie zum Beispiel einen Cache- und Halbleiterspeicher einschließen.
Die Speichereinheit 24 speichert das Ausfallanalyseprogramm 25, das die ZVE den Signaldetektionsprozess, den Referenzpunkt-Spezifizierungsprozess, den Koordinatenumrechnungsprozess, den Fehlerberechnungsprozess, den Signalkoordinaten-Berechnungsprozess und den Schaltungsextraktionsprozess ausführen lässt, die in den Beispielen 1 bis 3 beschrieben sind. Ferner werden die extern erfassten Analysedaten 2 und Konstruktionsdaten 4 auch in der Speichereinheit 24 gespeichert.
In der Ausgabeeinheit 23 werden die Analysedaten 2, die Konstruktionsdaten 4 und diese Daten überlagert angezeigt. Ferner wird auch der Bereich angezeigt, der durch Erweitern der Koordinaten des anormalen Signals um die Größe des Positionsfehlers erhalten wird. Die Eingabeeinheit 22, die ZVE 21, die Speichereinheit 24, die Einheit 26 zum Erfassen externer Daten, und die Ausgabeeinheit 23 sind jeweils durch eine Busleitung miteinander verbunden.
Ferner wirkt der Computer 30, auf dem das Ausfallanalyseprogramm 25 für eine integrierte Halbleiterschaltung installiert ist, als die Ausfallanalysevorrichtung 10, die den Signaldetektionsteil 3, den Referenzpunkt-Spezifizierungsteil 5A, den Koordinatenumrechnungsteil 5, den Fehlerberechnungsteil 6, den Signalkoordinaten-Berechnungsteil 7A und den Schaltungsextraktionsteil 7 umfasst. Dieser Computer kann eine allgemeine Engineering Workstation oder ein PC sein, der eine Ausgabeeinheit 23 wie zum Beispiel ein Display, die Eingabeeinheit 22 wie zum Beispiel eine Tastatur und Maus, die zusätzliche Speichereinrichtung wie zum Beispiel ein DVD- oder CD-ROM-Laufwerk und eine externe Schnittstellenfunktion wie zum Beispiel eine Internetanschlussmöglichkeit aufweist. Ferner kann das Ausfallanalyseprogramm für eine integrierte Halbleiterschaltung auf dem Computer über ein Speichermedium wie zum Beispiel einen Halbleiterspeicher, eine Magnetspeichereinrichtung und optische Speichereinrichtung oder über das Internet installiert werden.
Es soll festgestellt werden, dass andere Aufgaben, Merkmale und Aspekte der vorliegenden Erfindung in der gesamten Offenbarung deutlich werden und dass Modifikationen vorgenommen werden können, ohne von der Kernaussage und dem Umfang der wie hier offenbarten und im Anhang beanspruchten vorliegenden Erfindung abzuweichen.
Es sollte weiter festgestellt werden, dass eine jegliche Kombination der offenbarten und/oder beanspruchten Elemente, Inhalte und/oder Gegenstände unter die oben genannten Modifikationen fallen können.
Die vorliegende Erfindung kann umfassend für Ausfallanalyse bei einer integrierten Halbleiterschaltung eingesetzt werden. Durch Verwendung der vorliegenden Erfindung kann ein Ausfall einer integrierten Halbleiterschaltung einfach auf der Schaltungsebene analysiert werden, und die Qualität und Ergiebigkeit der integrierten Halbleiterschaltung kann verbessert werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- JP 2009-035576 [0001]
- JP 2007-5497 A [0004]

Claims

Ausfallanalyseverfahren für eine integrierte Halbleiterschaltung, das Folgendes aufweist: Ableiten einer Koordinate in einem Vorrichtungskoordinatensystem in Analysedaten für anormale Signaldaten, die in den Analysedaten einer integrierten Halbleiterschaltung enthalten sind, welche von einer Halbleiterinspektionseinrichtung erhalten wurden; Ableiten einer Entsprechung zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in einem Konstruktionskoordinatensystem in Konstruktionsdaten der integrierten Halbleiterschaltung für eine Anzahl von Referenzpunkten in der integrierten Halbleiterschaltung, und Ableiten einer Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem; Ableiten eines Positionsfehlers zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem, die durch die Koordinatenumrechnungsformel umgerechnet wurde, und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem; und Extrahieren einer mit dem anormalen Signal in den Konstruktionsdaten verknüpften Schaltung basierend auf den Koordinaten des anormalen Signals in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers.
Ausfallanalyseverfahren nach Anspruch 1, bei dem die Anzahl von Referenzpunkten spezifiziert wird, wenn Koordinaten umgerechnet werden; und ein Bereich des anormalen Signals in dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehers abgeleitet wird, wenn die Schaltung extrahiert wird.
Ausfallanalyseverfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Koordinatenumrechnungsformel für eine Anzahl von Koordinaten in dem Vorrichtungskoordinatensystem bzw. dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung einer Methode der kleinsten Quadrate berechnet wird, wenn die Koordinaten umgerechnet werden.
Ausfallanalyseverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem, wenn der Positionsfehler abgeleitet wird, der mittlere quadratische Fehler durch die Koordinatenumrechnungsformel für eine Anzahl von Koordinaten abgeleitet wird und der Positionsfehler von dem mittleren quadratischen Fehler abgeleitet wird.
Ausfallanalyseverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem, wenn die Koordinaten umgerechnet werden, Entsprechungen zwischen den Koordinaten für eine Anzahl der Referenzpunkte abgeleitet werden, die eine zum Ableiten einer Koordinatenumrechnungsformel erforderliche Mindestanzahl übersteigt, eine Koordinatenumrechnungsformel vorläufig unter Verwendung einer beliebigen Anzahl von Referenzpunkten von den Referenzpunkten abgeleitet wird, für die Koordinatenentsprechungen abgeleitet werden, die Summe eines Positionsfehlers für jeden Referenzpunkt als ein Umrechnungsfehler unter Verwendung der vorläufig abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel abgeleitet wird, und eine Koordinatenumrechnungsformel, die den kleinsten Umrechnungsfehler ableitet, als eine endgültige Koordinatenumrechnungsformel betrachtet wird.
Ausfallanalyseverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem die Koordinatenumrechnungsformel eine projektive Transformation verwendende Koordinatenumrechnungsformel ist, und wenn die Koordinaten umgerechnet werden, Parameter der projektiven Transformation von Koordinaten von mindestens vier der Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem berechnet werden.
Ausfallanalyseverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem die Koordinatenumrechnungsformel eine Koordinatenumrechnungsformel ist, die eine Bewegungsgröße, eine Rotationsgröße, eine Neigungsgröße und eine Elastizitätsgröße verwendet, und, wenn die Koordinaten umgerechnet werden, die Bewegungsgröße, Rotationsgröße, Neigungsgröße und Elastizitätsgröße von den Koordinaten der mindestens drei Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem berechnet werden.
Ausfallanalysevorrichtung für eine integrierte Halbleiterschaltung, die Folgendes umfasst: einen Signaldetektionsteil, der eine Koordinate in einem Vorrichtungskoordinatensystem in Analysedaten für anormale Signaldaten ableitet, die in den Analysedaten einer integrierten Halbleiterschaltung enthalten sind, welche von einer Halbleiterinspektionseinrichtung erhalten wurden; einen Koordinatenumrechnungsteil, der eine Entsprechung zwischen einer Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem in Konstruktionsdaten der integrierten Halbleiterschaltung für eine Anzahl von Referenzpunkten in der integrierten Halbleiterschaltung ableitet und der eine Koordinatenumrechnungsformel zwischen dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; einen Fehlerberechnungsteil, der einen Positionsfehler zwischen einer durch die Koordinatenumrechnungsformel umgerechneten Koordinate in dem Vorrichtungskoordinatensystem und einer Koordinate in dem Konstruktionskoordinatensystem ableitet; und einen Schaltungsextraktionsteil, der eine mit dem anormalen Signal in den Konstruktionsdaten verknüpfte Schaltung basierend auf den Koordinaten des anormalen Signals in dem Vorrichtungskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers extrahiert.
Ausfallanalysevorrichtung nach Anspruch 8, die ferner Folgendes umfasst: eine Anzeigeeinheit, die Bilddaten der Analysedaten und Bilddaten der Konstruktionsdaten anzeigt; wobei der Koordinatenumrechnungsteil einen Referenzpunkt-Spezifizierungsteil enthält, der die Anzahl von Referenzpunkten spezifiziert; und der Schaltungsextraktionsteil einen Signalkoordinaten-Berechnungsteil enthält, der einen Bereich des anormalen Signals in dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung der Koordinatenumrechnungsformel und des Positionsfehlers ableitet.
Ausfallanalysevorrichtung nach Anspruch 9, bei der der Referenzpunkt-Spezifizierungsteil einen Benutzer Koordinaten der Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung der durch die Anzeigeeinheit angezeigten Bilddaten der Analysedaten und Konstruktionsdaten eingeben lässt.
Ausfallanalysevorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, bei der die Anzeigeeinheit die Bilddaten der das anormale Signal enthaltenden Analysedaten und die Bilddaten der Konstruktionsdaten überlagert anzeigt, die ein Bild des durch die Koordinatenumrechnungsformel abgeleiteten Bereichs des anormalen Signals enthalten.
Ausfallanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, bei der der Koordinatenumrechnungsteil die Koordinatenumrechnungsformel für eine Anzahl von Koordinaten in dem Vorrichtungskoordinatensystem bzw. dem Konstruktionskoordinatensystem unter Verwendung einer Methode der kleinsten Quadrate berechnet.
Ausfallanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 12, bei der der Fehlerberechnungsteil einen mittleren quadratischen Fehler durch die Koordinatenumrechnungsformel für eine Anzahl von Koordinaten ableitet und der Positionsfehler von dem mittleren quadratischen Fehler abgeleitet wird.
Ausfallanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 13, bei der der Koordinatenumrechnungsteil Entsprechungen zwischen den Koordinaten für eine Anzahl der Referenzpunkte ableitet, die eine zum Ableiten einer Koordinatenumrechnungsformel erforderliche Mindestanzahl übersteigt, vorläufig eine Koordinatenumrechnungsformel unter Verwendung einer beliebigen Anzahl von Referenzpunkten von den Referenzpunkten ableitet, für die Koordinatenentsprechungen abgeleitet werden, die Summe eines Positionsfehlers jedes Referenzpunkts als einen Umrechnungsfehler unter Verwendung der vorläufig abgeleiteten Koordinatenumrechnungsformel ableitet, und eine Koordinatenumrechnungsformel, die den kleinsten Umrechnungsfehler ableitet, als eine endgültige Koordinatenumrechnungsformel betrachtet.
Ausfallanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 14, bei der die Koordinatenumrechnungsformel eine projektive Transformation verwendet und der Koordinatenumrechnungsteil Parameter der projektiven Transformation von den Koordinaten von mindestens vier der Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem berechnet.
Ausfallanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 15, bei dem die Koordinatenumrechnungsformel eine Bewegungsgröße, eine Rotationsgröße, eine Neigungsgröße, und eine Elastizitätsgröße verwendet und der Koordinatenumrechnungsteil die Bewegungsgröße, Rotationsgröße, Neigungsgröße und Elastizitätsgröße von den Koordinaten der mindestens drei Referenzpunkte in dem Vorrichtungskoordinatensystem und dem Konstruktionskoordinatensystem berechnet.
Ausfallanalyseprogramm, das Ausführen des wie in einem der Ansprüche 1 bis 7 definierten Ausfallanalyseverfahrens durch einen Computer veranlasst.
Ausfallanalyseprogramm, das bewirkt, dass ein Computer als die wie in einem der Ansprüche 8 bis 16 definierte Ausfallanalysevorrichtung funktioniert.
Computerlesbares Speichermedium, das das wie in Anspruch 17 oder 18 definierte Programm speichert.