JP2010190738A - 半導体集積回路の故障解析方法、故障解析装置、及び故障解析プログラム - Google Patents
半導体集積回路の故障解析方法、故障解析装置、及び故障解析プログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】半導体検査装置より得た半導体集積回路の解析データに含まれる異常信号データについて解析データにおける装置座標系の座標を求める信号検出工程と、半導体集積回路の複数の基準点について装置座標系の座標と半導体集積回路の設計データにおける設計座標系の座標との対応を求め、装置座標系と設計座標系との座標変換式を求める座標変換工程と、座標変換式による装置座標系の座標と設計座標系の座標との位置誤差を求める誤差算出工程と、座標変換式と位置誤差とを用いて、装置座標系における異常信号の座標から、設計データにおける異常信号に関連する回路を抽出する回路抽出工程と、を有する。
【選択図】図1
Description
2:解析データ
3:信号検出部
4:設計データ
5:座標変換部
5A:基準点指定部
6:誤差算出部
7:回路抽出部
7A:信号座標算出部
8:表示部
10:故障解析装置
11:異常信号(検出信号)
12:異常信号領域(検出信号領域)
13:誤差考慮領域(異常信号の範囲)
21:CPU
22:入力部
23:出力部
24:記憶部
25:故障解析プログラム
26:外部データ取得部
30:コンピュータ
Claims (18)
- 半導体検査装置より得た半導体集積回路の解析データに含まれる異常信号データについて前記解析データにおける装置座標系の座標を求める信号検出工程と、
前記半導体集積回路の複数の基準点について前記装置座標系の座標と前記半導体集積回路の設計データにおける設計座標系の座標との対応を求め、装置座標系と設計座標系との座標変換式を求める座標変換工程と、
前記座標変換式による前記装置座標系の座標と前記設計座標系の座標との位置誤差を求める誤差算出工程と、
前記座標変換式と前記位置誤差とを用いて、前記装置座標系における前記異常信号の座標から、前記設計データにおける前記異常信号に関連する回路を抽出する回路抽出工程と、を有することを特徴とする半導体集積回路の故障解析方法。 - 前記座標変換工程が、前記複数の基準点を指定する基準点指定工程を含み、
前記回路抽出工程が、前記座標変換式と前記位置誤差とを用いて前記設計座標系における異常信号の範囲を求める信号座標算出工程を含むことを特徴とする請求項1記載の故障解析方法。 - 前記座標変換工程において、それぞれ前記装置座標系と前記設計座標系との複数の座標について最小二乗法を用いて前記座標変換式を算出することを特徴とする請求項1又は2記載の故障解析方法。
- 前記誤差算出工程において、複数の座標について、前記座標変換式による平均二乗誤差を求め、前記平均二乗誤差から前記位置誤差を求めることを特徴とする請求項1乃至3いずれか1項記載の故障解析方法。
- 前記座標変換工程において、座標変換式を求めるために最低限必要な数を超える数の前記基準点について前記座標の対応を求め、座標の対応を求めた基準点の中から任意の数の基準点を用いて座標変換式を仮に求め、前記仮に求めた座標変換式を用いたときの各基準点の位置誤差の和を変換誤差として求め、変換誤差が最小になる座標変換式を最終的な座標変換式とすることを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項記載の故障解析方法。
- 前記座標変換式が射影変換による座標変換式であり、前記座標変換工程において、4以上の前記基準点についての前記装置座標系と設計座標系との座標から前記射影変換のパラメータを算出することを特徴とする請求項1乃至5いずれか1項記載の故障解析方法。
- 前記座標変換式が移動量と、回転量と、傾斜量と、伸縮量とを用いた座標変換式であり、前記座標変換工程において、前記3以上の基準点についての前記装置座標系と設計座標系との座標から、前記移動量と、回転量と、傾斜量と、伸縮量とを算出することを特徴とする請求項1乃至5いずれか1項記載の故障解析方法。
- 半導体検査装置より得た半導体集積回路の解析データに含まれる異常信号データについて前記解析データにおける装置座標系の座標を求める信号検出部と、
前記半導体集積回路の複数の基準点について前記装置座標系の座標と前記半導体集積回路の設計データにおける設計座標系の座標との対応を求め、装置座標系と設計座標系との座標変換式を求める座標変換部と、
前記座標変換式による前記装置座標系の座標と前記設計座標系の座標との位置誤差を求める誤差算出部と、
前記座標変換式と前記位置誤差とを用いて、前記装置座標系における前記異常信号の座標から、前記設計データにおける前記異常信号に関連する回路を抽出する回路抽出部と、を有することを特徴とする半導体集積回路の故障解析装置。 - 前記解析データの画像データと前記設計データの画像データとを表示する表示部をさらに含み、
前記座標変換部が、前記複数の基準点を指定する基準点指定部を含み、
前記回路抽出部が、前記座標変換式と前記位置誤差とを用いて前記設計座標系における異常信号の範囲を求める信号座標算出部を含むことを特徴とする請求項8記載の故障解析装置。 - 前記基準点指定部が、前記表示部が表示した前記解析データと設計データとの画像データを用いて前記装置座標系と設計座標系との前記基準点の座標を入力させることを特徴とする請求項9記載の故障解析装置。
- 前記表示部が、前記異常信号を含む前記解析データの画像データと、前記信号座標算出部が求めた異常信号の範囲の画像を含む前記設計データの画像データと、を重ねて表示することを特徴とする請求項9又は10記載の故障解析装置。
- 前記座標変換部が、それぞれ前記装置座標系と前記設計座標系との複数の座標について最小二乗法を用いて前記座標変換式を算出することを特徴とする請求項8乃至11いずれか1項記載の故障解析装置。
- 前記誤差算出部が、複数の座標について、前記座標変換式による平均二乗誤差を求め、前記平均二乗誤差から前記位置誤差を求めることを特徴とする請求項8乃至12いずれか1項記載の故障解析装置。
- 前記座標変換部が、座標変換式を求めるために最低限必要な数を超える数の前記基準点について前記座標の対応を求め、座標の対応を求めた基準点の中から任意の数の基準点を用いて座標変換式を仮に求め、前記仮に求めた座標変換式を用いたときの各基準点の位置誤差の和を変換誤差として求め、変換誤差が最小になる座標変換式を最終的な座標変換式とすることを特徴とする請求項8乃至13いずれか1項記載の故障解析装置。
- 前記座標変換式が射影変換による座標変換式であり、前記座標変換部が、4以上の前記基準点についての前記装置座標系と設計座標系との座標から前記射影変換のパラメータを算出することを特徴とする請求項8乃至14いずれか1項記載の故障解析装置。
- 前記座標変換式が移動量と、回転量と、傾斜量と、伸縮量とを用いた座標変換式であり、前記座標変換部が、前記3以上の基準点についての前記装置座標系と設計座標系との座標から、前記移動量と、回転量と、傾斜量と、伸縮量とを算出することを特徴とする請求項8乃至15いずれか1項記載の故障解析装置。
- 請求項1乃至7いずれか1項記載の故障解析方法をコンピュータに実行させることを特徴とする故障解析プログラム。
- コンピュータを請求項8乃至16いずれか1項記載の故障解析装置として機能させることを特徴とする故障解析プログラム。
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