JP2016528497A - フォトマスク欠陥性における変化の監視 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2013年7月29日に出願された、「Methods for Monitoring Changes in Photomask Defectivity」と題する、Chun Guanらによる、先行する米国仮出願番号第61/859,670号の優先権を、35U.S.C§119の下で主張し、この出願の全体が、すべての目的のために本明細書に参照によって組み込まれる。
Claims (28)
- フォトリソグラフィレチクルを検査する方法であって、
仕様の範囲内であると特定されているレチクルの第1の単一ダイ検査を実行して、前記レチクルの複数の異常なベースライン特徴に対応する複数のベースライン事象を生成することであって、各ベースライン事象が対応する異常なベースライン特徴の場所及びサイズ値を示す、生成することと、
1つ以上のフォトリソグラフィプロセスにおいて前記レチクルを使用した後、レチクル検査治具を介して前記レチクルの第2の単一ダイ検査を実行して、前記レチクルの複数の現在の異常な特徴に対応する複数の現在の事象を生成することであって、各現在の事象が対応する現在の異常な特徴の場所及びサイズ値を示す、生成することと、
複数の候補レチクル欠陥及びそれらの画像の検査報告を生成することであって、前記候補欠陥が前記現在の事象の第1のサブセット及びそれらの対応する複数の候補欠陥画像を含み、前記現在の事象の第2のサブセット及びそれらの対応する複数の除外された画像を除外し、前記検査報告に含まれる事象の前記第1のサブセットの事象のうちのそれぞれが、事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合しない場所及びサイズ値を有し、前記検査報告から除外された前記第2のサブセットの事象のうちのそれぞれが、前記事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合する場所及びサイズ値を有する、生成することと、を含む、方法。 - 前記ベースライン事象のうちの少なくともいくつかが、同一であるように設計されたレチクル特徴がもはや同一ではなくなるように光学的近接補正(OPC)装飾を付加するために、そのようなレチクル特徴上に実装されるOPCプロセス前に、同一であるように設計された複数のレチクル特徴に対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記ベースライン事象のうちの少なくともいくつかが、そのようなレチクルの元の設計の一部ではなく、そのようなレチクルを使用するウェハ収率を制限しないと決定されたレチクル特徴に対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記ベースライン事象のうちの少なくともいくつかが、前記レチクルを使用するフォトリソグラフィプロセス中に、ウェハ上に印刷されないと決定されているレチクル特徴に対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記ベースライン事象のうちの少なくともいくつかが、前記レチクル上の欠陥を補正するための修復特徴に対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2の単一ダイ検査が、そのような特徴の状況に基づいて、前記レチクルのどの特徴が非典型的であるかを決定する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2の単一ダイ検査がテンプレート照合を含む、請求項6に記載の方法。
- 前記ベースライン事象の複数のベースライン画像を破棄することと、前記第2のサブセット候補事象の対応する画像を破棄することと、を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 各ベースライン事象がチャネルを更に示し、前記検査報告から除外された前記第2のサブセットの事象のうちのそれぞれが、事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象のチャネルならびに場所及びサイズ値と照合するチャネルならびに場所及びサイズ値を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記候補欠陥及びそれらの画像の前記検査報告を生成することが、
事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合しない場所及びサイズ値を有する各現在の事象について、前記第2の単一ダイ検査よりも厳密でない閾値またはアルゴリズムを有する第3の単一ダイ検査を実行することによって、そのような現在の事象が候補欠陥であるかどうかを決定することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記候補欠陥画像及び前記除外された画像が、反射画像、透過画像、または反射画像及び透過画像の組み合わせのうちの1つ以上の組み合わせを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記候補欠陥が、事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズと照合する場所及びサイズ値をそれぞれが有し、修復場所として特定される、現在の事象の第3のサブセットを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の単一ダイ検査がレチクル検査治具を使用して実行される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の単一ダイ検査が、設計データベースから生成されたレチクル画像上に実行される、請求項1に記載の方法。
- 前記現在の異常な事象とベースラインの現在の事象との間の照合が、
前記現在及びベースラインの異常な事象のサブセットのための参照画像ならびにそれらの対応する試験画像を見出すことと、
前記現在及びベースラインの異常な事象のサブセットについて、参照画像とそれらの対応する試験画像との比較に基づいて、現在及びベースラインの候補欠陥を見出すことと、
任意の現在の候補欠陥とベースラインの候補欠陥との間の照合が存在するかどうかを決定し、照合を有さない1つ以上の候補欠陥にのみ更なる処理を実行することであって、前記参照画像の少なくとも一部が、対応する参照画像が見出されなかったベースラインの異常な事象のベースライン画像である、実行することと、によって見出される、請求項1に記載の方法。 - フォトリソグラフィレチクルを検査するための検査システムであって、以下の動作、
仕様の範囲内であると特定されているレチクルの第1の単一ダイ検査において、前記レチクルの複数の異常なベースライン特徴に対応する複数のベースライン事象を生成することであって、各ベースライン事象が対応する異常なベースライン特徴の場所及びサイズ値を示す、生成することと、
1つ以上のフォトリソグラフィプロセスにおいて前記レチクルを使用した後、前記レチクルの第2の単一ダイ検査を実行して、前記レチクルの複数の現在の異常な特徴に対応する複数の現在の事象を生成することであって、各現在の事象が対応する現在の異常な特徴の場所及びサイズ値を示す、生成することと、
複数の候補レチクル欠陥及びそれらの画像の検査報告を生成することであって、前記候補欠陥が前記現在の事象の第1のサブセット及びそれらの対応する複数の候補欠陥画像を含み、前記現在の事象の第2のサブセット及びそれらの対応する複数の除外された画像を除外し、前記検査報告に含まれる前記第1のサブセットの事象のうちのそれぞれが、事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合しない場所及びサイズ値を有し、前記検査報告から除外された前記第2のサブセットの事象のうちのそれぞれが、前記事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合する場所及びサイズ値を有する、生成することと、を実行するように構成される、少なくとも1つのメモリ及び少なくとも1つのプロセッサを備える、システム。 - 前記ベースライン事象のうちの少なくともいくつかが、同一であるように設計されたレチクル特徴がもはや同一ではなくなるように光学的近接補正(OPC)装飾を付加するために、そのようなレチクル特徴上に実装されるOPCプロセス前に、同一であるように設計された複数のレチクル特徴に対応する、請求項16に記載のシステム。
- 前記ベースライン事象のうちの少なくともいくつかが、そのようなレチクルの元の設計の一部ではなく、そのようなレチクルを使用するウェハ収率を制限しないと決定されたレチクル特徴に対応する、請求項16に記載のシステム。
- 前記ベースライン事象のうちの少なくともいくつかが、前記レチクルを使用するフォトリソグラフィプロセス中に、ウェハ上に印刷されないと決定されているレチクル特徴に対応する、請求項16に記載のシステム。
- 前記ベースライン事象のうちの少なくともいくつかが、前記レチクル上の欠陥を補正するための修復特徴に対応する、請求項16に記載のシステム。
- 前記第1及び第2の単一ダイ検査が、そのような特徴の状況に基づいて、前記レチクルのどの特徴が非典型的であるかを決定する、請求項16に記載のシステム。
- 前記第1及び第2の単一ダイ検査がテンプレート照合を含む、請求項21に記載のシステム。
- 前記ベースライン事象の複数のベースライン画像を破棄し、前記第2のサブセットの候補事象の対応する画像を破棄するように更に構成される、前記少なくとも1つのメモリ及び少なくとも1つのプロセッサである、請求項16に記載のシステム。
- 各ベースライン事象がチャネルを更に示し、前記検査報告から除外された前記第2のサブセットの事象のうちのそれぞれが、事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象のチャネルならびに場所及びサイズ値と照合するチャネルならびに場所及びサイズ値を有する、請求項16に記載のシステム。
- 前記候補欠陥及びそれらの画像の前記検査報告を生成することが、
事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合しない場所及びサイズ値を有する各現在の事象について、前記第2の単一ダイ検査よりも厳密でない閾値またはアルゴリズムを有する第3の単一ダイ検査を実行することによって、そのような現在の事象が候補欠陥であるかどうかを決定することを含む、請求項16に記載のシステム。 - 前記候補欠陥画像及び前記除外された画像が、反射画像、透過画像、または反射画像及び透過画像の組み合わせのうちの1つ以上の組み合わせを含む、請求項16に記載のシステム。
- 前記候補欠陥が、事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズと照合する場所及びサイズ値をそれぞれが有し、修復場所として特定される、現在の事象の第3のサブセットを更に含む、請求項16に記載のシステム。
- 以下の動作、
仕様の範囲内であると特定されているレチクルの第1の単一ダイ検査を実行して、前記レチクルの複数の異常なベースライン特徴に対応する複数のベースライン事象を生成することであって、各ベースライン事象が対応する異常なベースライン特徴の場所及びサイズ値を示す、生成することと、
1つ以上のフォトリソグラフィプロセスにおいて前記レチクルを使用した後、光学的レチクル検査治具を介して前記レチクルの第2の単一ダイ検査を実行して、前記レチクルの複数の現在の異常な特徴に対応する複数の現在の事象を生成することであって、各現在の事象が対応する現在の異常な特徴の場所及びサイズ値を示す、生成することと、
複数の候補レチクル欠陥及びそれらの画像の検査報告を生成することであって、前記候補欠陥が前記現在の事象の第1のサブセット及びそれらの対応する複数の候補欠陥画像を含み、前記現在の事象の第2のサブセット及びそれらの対応する複数の除外された画像を除外し、前記検査報告に含まれる事象の前記第1のサブセットのうちのそれぞれが、事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合しない場所及びサイズ値を有し、前記検査報告から除外された前記第2のサブセットの事象のうちのそれぞれが、前記事前に定義された量だけ、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合する場所及びサイズ値を有する、生成することと、を実行するための命令をその上に記憶するコンピュータ可読媒体。
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