JP6807844B2 - ビルトインターゲットを用いた検査対デザイン位置揃え - Google Patents
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Description
Claims (26)
- 検査サブシステムにより生成された出力のデザインデータ空間における位置を特定するよう構成されたシステムであって、
少なくともエネルギ源及び検出器を有し、標本に向かうエネルギを生成するようそのエネルギ源が構成されており、その標本から来るエネルギを検出するよう且つ検出したエネルギに応じ出力を生成するようその検出器が構成されている検査サブシステムと、
1個又は複数個のコンピュータサブシステムと、
を備え、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、
1個又は複数個のアライメントターゲットを標本に係るデザインから選択し、但し、当該1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、デザインデータ空間に対する検査結果の位置揃え以外の目的で上記デザインに組み込まれたビルトインターゲットを含むと共に、当該1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が1個又は複数個の個別デバイスフィーチャを含まないものとし、
上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分は標本における構造の隅部を含み、
上記出力のうち、上記1個又は複数個のアライメントターゲットに係る1個又は複数個の出力画像を、上記デザインのうち、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに対応する1個又は複数個のデザイン画像に対し位置揃えし、
上記1個又は複数個の出力画像と、上記デザインのうち上記1個又は複数個のデザイン画像と、の間の一通り又は複数通りのオフセットを、上記1個又は複数個の出力画像を位置揃えした結果に基づき特定し、
標本上の上記1個又は複数個のアライメントターゲットの一通り又は複数通りの位置にて検査サブシステムにより生成された別の出力画像を、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに係る上記1個又は複数個の出力画像に対し、位置揃えし、
標本上の上記1個又は複数個のアライメントターゲットの上記一通り又は複数通りの位置にて生成された別の出力画像と、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに係る上記1個又は複数個の出力画像と、の間の一通り又は複数通りの追加オフセットを、その出力を位置揃えした結果に基づき特定し、
標本上の他位置にて検査サブシステムにより生成された出力のデザインデータ空間内位置を、上記一通り又は複数通りのオフセット、上記一通り又は複数通りの追加オフセット、並びに標本上のそれら他位置にて生成された出力の標本空間内位置に基づき特定する、
よう構成されているシステム。 - 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、計量セルの隅部を含むシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、更に、計量セルの中心を含むシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、スタティックランダムアクセスメモリ構造の隅部を含むシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、リソグラフィ用露出ツールにより用いるべく設計されているアライメントターゲットを含むシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、標本上における上記1個又は複数個のアライメントターゲットの上記一通り又は複数通りの位置にて出力を生成するのに使用されていないシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、いずれのアライメントターゲットも何ら個別デバイスフィーチャを有していないシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも別の部分が個別デバイスフィーチャのうちの一部分を含むシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記選択が標本のデザインについての印刷又は形成されている標本をスキャンした結果を用いることなく実行されるシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記デザインのうち上記1個又は複数個のデザイン画像が検査サブシステムにより生成された画像中でどのように現れるかを描出する1個又は複数個のシミュレート画像を生成するよう構成されており、且つ、上記1個又は複数個の画像の位置揃えにて、当該1個又は複数個のシミュレート画像に対し1個又は複数個の出力画像が位置揃えされるシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記一通り又は複数通りのオフセットの特定が、標本に関し検査サブシステムにより生成された出力の各検査フレームについて実行されるシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記一通り又は複数通りの追加オフセットの特定が、標本に関し検査サブシステムにより生成された出力の各検査フレームについて実行されるシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記デザインデータ空間内位置の特定にて、
上記他位置にて検査サブシステムにより生成された出力と、上記デザインと、の間の一通り又は複数通りの更なるオフセットを、上記一通り又は複数通りのオフセット及び上記一通り又は複数通りの追加オフセットに基づき特定し、
上記一通り又は複数通りの更なるオフセットと、標本上の上記他位置にて生成された出力の標本空間内位置と、に基づき上記デザインデータ空間内位置を特定する、
システム。 - 請求項13記載のシステムであって、上記一通り又は複数通りの更なるオフセットの特定が、標本に関し検査サブシステムにより生成された出力の各検査フレームについて実行されるシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、同じ特性を有する2個以上のアライメントターゲットを有するシステム。
- 請求項15記載のシステムであって、上記1個又は複数個の画像の位置揃えにて、
上記2個以上のアライメントターゲットのうち1個に係る画像を、標本上の当該1個のアライメントターゲットを検査サブシステムで以てイメージングすることにより生成し、
上記1個のアライメントターゲットに係る画像を、上記デザインのうち当該1個のアライメントターゲットに係る画像と位置揃えし、
上記1個のアライメントターゲットに係る上記画像を、上記2個以上のアライメントターゲットのうち他のものに関し検査サブシステムにより生成された画像と位置揃えすることにより、当該2個以上のアライメントターゲットのうち当該他のものに係るそれら画像を上記デザインの上記画像に対し位置揃えする、
システム。 - 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、ダイ内位置を除き同じ特性を有する2個以上のアライメントターゲットを有するシステム。
- 請求項17記載のシステムであって、上記1個又は複数個の画像の位置揃えにて、
上記2個以上のアライメントターゲットのうち1個に係る画像を、標本上の当該1個のアライメントターゲットを検査サブシステムで以てイメージングすることにより生成し、
上記1個のアライメントターゲットに係る上記画像を、上記デザインのうち当該1個のアライメントターゲットに係る画像と位置揃えする、
システム。 - 請求項18記載のシステムであって、上記出力の位置揃えにて、標本上の上記1個又は複数個のアライメントターゲットの上記一通り又は複数通りの位置にて検査サブシステムにより生成された出力を上記1個のアライメントターゲットに係る上記画像に対し位置揃えするシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記他位置にて生成された出力に基づき標本上の欠陥を検出し、且つ当該他位置にて生成された出力のデザインデータ空間内位置に基づき欠陥検出のための1個又は複数個のパラメタを特定するよう、構成されているシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記他位置にて生成された出力に基づき標本上の欠陥を検出し、且つ、当該他位置にて生成された出力のデザインデータ空間内位置に基づきそれら欠陥のデザインデータ空間内位置を特定するよう、構成されているシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、標本がウェハを有するシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、標本に向かうエネルギが光で構成され、標本から検出されるエネルギが光で構成されるシステム。
- 請求項1記載のシステムであって、標本に向かうエネルギが電子で構成され、標本から検出されるエネルギが電子で構成されるシステム。
- 検査サブシステムにより生成された出力のデザインデータ空間における位置を特定するためのコンピュータ利用実現方法を実行すべくコンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令が格納される非一時的コンピュータ可読媒体であって、そのコンピュータ利用実現方法が、
1個又は複数個のアライメントターゲットを標本に係るデザインから選択するステップであり、当該1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、デザインデータ空間に対する検査結果の位置揃え以外の目的で上記デザインに組み込まれたビルトインターゲットを含むと共に、当該1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が1個又は複数個の個別デバイスフィーチャを含まず、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分は標本における構造の隅部を含む、ステップと、
上記出力のうち、上記1個又は複数個のアライメントターゲットに係る1個又は複数個の出力画像を、上記デザインのうち、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに対応する1個又は複数個のデザイン画像に対し位置揃えするステップと、
上記1個又は複数個の出力画像と、上記デザインのうち上記1個又は複数個のデザイン画像と、の間の一通り又は複数通りのオフセットを、当該1個又は複数個の出力画像を位置揃えした結果に基づき特定するステップと、
標本上の上記1個又は複数個のアライメントターゲットの一通り又は複数通りの位置にて検査サブシステムにより生成された別の出力画像を、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに係る上記1個又は複数個の出力画像に対し位置揃えするステップであり、その検査サブシステムが少なくともエネルギ源及び検出器を有し、標本に向かうエネルギを生成するようそのエネルギ源が構成されており、その標本から来るエネルギを検出するよう且つ検出したエネルギに応じ出力を生成するようその検出器が構成されているステップと、
標本上の上記1個又は複数個のアライメントターゲットの上記一通り又は複数通りの位置にて生成された別の出力画像と、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに係る上記1個又は複数個の出力画像と、の間の一通り又は複数通りの追加オフセットを、その出力を位置揃えした結果に基づき特定するステップと、
標本上の他位置にて検査サブシステムにより生成された出力のデザインデータ空間内位置を、上記一通り又は複数通りのオフセット、上記一通り又は複数通りの追加オフセット、並びに標本上のそれら他位置にて生成された出力の標本空間内位置に基づき特定するステップと、
を有する非一時的コンピュータ可読媒体。 - 検査サブシステムにより生成された出力のデザインデータ空間における位置を特定するためのコンピュータ利用実現方法であって、
1個又は複数個のアライメントターゲットを標本に係るデザインから選択するステップであり、当該1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が、デザインデータ空間に対する検査結果の位置揃え以外の目的で上記デザインに組み込まれたビルトインターゲットを含むと共に、当該1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分が1個又は複数個の個別デバイスフィーチャを含まず、上記1個又は複数個のアライメントターゲットのうち少なくとも一部分は標本における構造の隅部を含む、ステップと、
上記出力のうち、上記1個又は複数個のアライメントターゲットに係る1個又は複数個の出力画像を、上記デザインのうち、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに対応する1個又は複数個のデザイン画像に対し位置揃えするステップと、
上記1個又は複数個の出力画像と、上記デザインのうち上記1個又は複数個のデザイン画像と、の間の一通り又は複数通りのオフセットを、当該1個又は複数個の出力画像を位置揃えした結果に基づき特定するステップと、
標本上の上記1個又は複数個のアライメントターゲットの一通り又は複数通りの位置にて検査サブシステムにより生成された別の出力画像を、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに係る上記1個又は複数個の出力画像に対し位置揃えするステップであり、その検査サブシステムが少なくともエネルギ源及び検出器を有し、標本に向かうエネルギを生成するようそのエネルギ源が構成されており、その標本から来るエネルギを検出するよう且つ検出したエネルギに応じ出力を生成するようその検出器が構成されているステップと、
標本上の上記1個又は複数個のアライメントターゲットの上記一通り又は複数通りの位置にて生成された別の出力画像と、当該1個又は複数個のアライメントターゲットに係る上記1個又は複数個の出力画像と、の間の一通り又は複数通りの追加オフセットを、その別の出力画像を位置揃えした結果に基づき特定するステップと、
標本上の他位置にて検査サブシステムにより生成された出力のデザインデータ空間内位置を、上記一通り又は複数通りのオフセット、上記一通り又は複数通りの追加オフセット、並びに標本上のそれら他位置にて生成された出力の標本空間内位置に基づき特定するステップと、
を有し、同方法を構成するステップが1個又は複数個のコンピュータシステムにより実行されるコンピュータ利用実現方法。
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